JPH01308930A - 顕微分光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、顕微鏡に取り付けられた分光装置によってｆ
ｆ１ｌ＋定試料の微小領域からの反射光や？ｉ通過光ス
ペクトルを検出する、いわゆる顕微分光装置に関する。

〈従来の技術〉 第９図は、従来の顕微分光装置の概略構成図である。

図中、符号１０は照明光学系であり、この照明光学系１
０は、照明光を発する光１１ｉＸ１１、コンデンサレン
ズ１２．１５、開口絞り１３、視野絞り１４などから構
成されている。

符号２０は顕微鏡光学系であり、この顕微鏡光学系２０
は、ｇｌｉ微鏡射鏡対物レンズ２１明光学系ｌＯからの
照明光を顕微鏡光学系２０の光路に重ね合わせる半透明
鏡２３、結像レンズ２４などから構成されている。なお
、図中、２２は瞳位置を示している。

この顕微鏡光学系２０によって、測定試料Ｓが反射鏡３
０の近傍に拡大結像される０反射鏡３０には、顕微鏡光
学系２０の結像位置と一致するところに、ピンホール３
１があけられている。

光源１１から照射された照明光は、半透明鏡２３によっ
て測定試料Ｓに向けて反射され、対物レンズ２１を介し
て測定試料Ｓに照射される。測定試料Ｓで反射された反
射光（観察光）は、顕微鏡光学系２０および反射鏡３０
のピンホール３１を介して分光ユニット４０に取り込ま
れる。

分光ユニット４０は、ピンホール３１と共役な測定試料
Ｓ上の点からの観察光を分光する測定用分光手段として
の回折格子４１と、回折格子４１からの分光スペクトル
を検出する測定用光検出手段としての光検出器４２とか
ら構成されている０回折格子４１としては、例えば分光
スペクトルを平面上に結像するフラントフィールド型回
折格子が用いられる。

また、光検出器４２としては例えば、フォトダイオード
アレイやＣＣＤ　（ｃｈａｒｇｅ　ｃｏｕｐｌｅｄ　ｄ
ｅｖｉｃｅ）などが用いられる。この他、掃引機横付の
回折格子や、光電増倍管のような光検出器によって分光
ユニット４０が構成されることもある。

符号５０はモニター用光学系であり、反射鏡３０の近傍
に結像された測定試料Ｓの拡大像をリレーレンズ５１に
よって結像位置５２に結像させて、測定試料Ｓの測定位
置のる′α認や焦点合わせに用いられる。

測定試料Ｓに照射された光は、その試料面で反射される
ときに、その反射光に試料面の情報を取り込む。具体的
には、測定試料Ｓが基板上に透明な薄膜が形成されたも
のである場合、薄膜の上面および下面（基板との境界面
）からの反射光が互いに干渉し、その干渉の度合が基板
および薄膜の屈折率や膜厚ならびに光の波長に依存する
ので、上述した分光ユニット４０によって観察光の分光
スペクトルを調べることにより、基板上の薄膜の膜厚な
どを非破壊、非接触で測定することができる。

そのため、この種の顕微分光装置は膜厚測定装置などに
広く応用されている。

〈発明が解決しようとする課題〉 ところで、上述した観察光の分光スペトル分布は、種々
の因子によって影響を受ける。このような因子として、
照明光学系１０や顕微鏡光学系２０の分光透過率特性や
損失、回折格子４１の分光特性、光検出器４２の分光感
度特性などが例示される。

以下、このような因子による誤差を較正する手法につい
て、顕微分光装置を膜厚測定装置に利用した場合を例に
とって説明する。

一般に、干渉式膜厚測定装置では、測定試料Ｓの分光ス
ペクトルの測定結果Ｓ（λ）から膜厚測定を直接求める
のではなく、例えば、シリコン基板や、アルミニウムが
被着された基板等のように、分光スペクトルＢ（λ）が
既知である試料（以下、基準試料と称する）の分光スペ
クトルを測定し、その測定結果Ｂ’　　（λ）を基に、
被測定試料Ｓの分光スペクトルの測定結果Ｓ’　　（λ
）を補正して、被測定試料Ｓの分光スペクトルＳ（λ）
を求める。

すなわち、被測定試料Ｓの分光スペクトルの測定結果Ｓ
’　　（λ）に補正係数として、Ｂ（λ）／Ｂ’　　（
λ）を乗算する補正を行ってから、膜厚を算出している
。なお、Ｓ′　（λ）およびＢ’　　（λ）はともに、
上述した各因子の影響を受けているので、上記乗算処理
によって両データに含まれる因子の影響が相殺される。

ところで、上述したような因子は、環境の変化にほとん
ど影響されず一定であるので、基準試料の分光スペクト
ルＢ（λ）の実測値Ｂ”（λ）を最初に一度測定してお
けば充分である。

しかしながら、観察光の分光スペクトルは、上述の因子
以外に、例えば周囲温度（光源の温度）に伴って変化す
る光源１１の色温度の変動、即ち分光放射率特性の変動
による影響を受ける。このような影響まで取り除いて精
度のよい測定をするためには、基準試料の分光スペクト
ルＢ（λ）の実測値Ｂ’　　（λ）を頻繁に測定して、
これを更新しなければならない。

そのために、従来の顕微分光装置は、顕微分光装置の試
料台に測定試料と基準試料とを頻繁に載せ換えて、基準
試料の分光スペクトルを検出していたから、試料の載せ
換え作業がたいへん煩わしく、その結果、作業効率を低
下させるという問題点があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであっ
て、光源の分光放射率特性の変動に起因する誤差を較正
するのに必要なデータを容易に得ることができる顕微分
光装置を提供することを目的としている。

く課題を解決するための手段〉 本発明は、上記目的を達成するために、次のような構成
をとる。

即ち、本発明に係る顕微分光装置は、照明光を発する光
源と、測定試料からの光（［察光）を取り込む顕微鏡光
学系と、前記顕微鏡光学系を介して取り込まれた観察光
を分光する測定用分光手段と、その分光スペクトルを検
出する測定用光検出手段とを備えた顕微分光装置におい
て、前記照明光を分光する較正用分光手段と、前記較正
用分光手段によって分光された光を検出する較正用光検
出手段とを備えたものである。

く作用〉 本発明によれば、光源の分光放射率特性の変動を較正す
る際には、光源からの照明光を較正用分光手段に入射さ
せて、これを分光し、その分光スペクトルを較正用光検
出手段によって検出しているので、この分光スペクトル
から光源の分光放射率特性の変動を知ることができる。

〈実施例〉 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明すなお、以
下に示す各図において、従来例に係る第９図において示
した符号と同一の符号は、各実施例においても、その符
号が示す部品１部分等と同様のものを指し、また、図示
を省略した部分も従来例と同様であるから、その説明は
省略する。

工上尖施炭 第１図は本発明の第１実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である０本実施例は、特に、請求項（２）
に記載の発明に対応している。

本実施例の特徴は次のとおりである。

即ち、本実施例において、照明光の分光スペクトルを分
光する較正用分光手段は、第９図において説明した回折
格子４１と兼用されており、また、前記較正用分光手段
によって分光された光を検出する較正用光検出手段は、
第９図において説明した光検出器４２と兼用されている
。

また、半透明鏡２３を透過した照明光を較正用分光手段
としての回折格子４１に導く光学手段として、反射鏡６
Ｉを備えている。反射鏡６１としては、顕微分光しよう
としている帯域内での分光反射率が極端に変化しないも
のが好ましく、例えばアルミニウム蒸着ミラーなどが用
いられる。ただし、反射鏡６１は、前記帯域内において
分光反射率が必ずしも均一である必要はない。なお、第
１図において、反射鏡６１は、対物レンズ２１の瞳位置
２２と、半透明鏡２３に関し対称な位置に配置されてい
るが、必ずしもこの位置にある必要はなく、例えば、図
の位置よりも光軸方向に前後した位置に配置してもよい
。

さらに、本実施例は、照明光の分光スペクトルを検出す
る際には反射鏡６１による反射を許す状態になって、そ
の反射光を半透明鏡２３を介して回折格子４１に入射さ
せ、測定試料Ｓからの反射光（観察光）を検出する際に
は反射鏡６１による照明光の反射を許さない状態になる
第１光学手段としてのシャッタ６２が反射鏡６１と半透
明鏡２３との間に介在されている。

また、照明光を検出する際には回折格子４１への観察光
の入射を許さない状態になり、観察光を検出する際には
その入射を許す状態になる第２光学手段としてのシャッ
タ６３が半透明鏡２３と瞳位置２２との間に介在されて
いる。

以下、上述した顕微分光装置を膜厚測定装置に適用した
場合の較正手法について説明する。

■　まず、測定を始めるにあたって、シャッタ６２を遮
断状態に、シャッタ６３を開放状態に設定して、前述し
た基準試料の分光スペクトルＢ（λ）の実測値Ｂ’　　
（λ）を得る。

■　Ｂ’　　（λ）の測定直後（あるいは直前）に、シ
ャッタ６２を開放状態に、シャッタ６３を遮断状態に設
定する。そうすると、半透明ｔＪ１２３を透過した照明
光が反射鏡６１で反射され、さらに半透明鏡２３で上方
に向けて反射されて、分光ユニット４０に入射され、照
明光の初期分光スペクトルＲ，（λ）が検出される。

■　次に、シャッタ６２を遮断状態に、シャッタ６３を
開放状態にして、測定試料Ｓの分光スペクトルｓ’　　
（λ）を測定する。

■　分光スペクトルＳ′　（λ）の測定直後（あるいは
直前）に、シャッタ６２を開放状態に、シャッタ６３を
遮断状態にして、照明光の新たな分光スペクトルＲ，（
ス）を測定する。

■　Ｒ，（λ）とＲ，（λ）とを比較すれば、光源の変
動状態がわかるので、これにより測定状Ｆ４Ｓの分光ス
ペクトルＳ’　　（λ）を補正する。即ち、Ｓ’　　（
λ）に対して、 Ｒ，（λ）　　　　Ｂ′　（λ） と補正して、この値をＳ（λ）に置き換えると、光源変
動の影響も除去した、測定試料Ｓの分光スペクトルを得
ることができる。

なお、第１実施例を次のように変形実施することも可能
である。

上述の例では第１光学手段としてシャンク６２を用いた
が、これは、測定試料Ｓからの反射光の分光スペクトル
を測定する際に、反射鏡６１を光路から退避させるか、
あるいは、反射鏡６１を光軸と平行になるように１工動
変位させて照明光を反射させないような構造にしてもよ
い。

第４ＪΩ１拠 第２図は本発明の第２実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。本実施例は、特に、請求項（３）
記載の発明に対応している。

本実施例も第１実施例と同様に、較正用分光手段は第９
図において説明した測定用分光手段としての回折格子４
１と兼用され、較正用光検出手段は測定用光検出手段と
しての光検出器４２と兼用されている。

また、半透明鏡２３を透過した照明光を半透明鏡２３に
向けて反射する反射鏡７２を備え、この反射鏡７２と半
透明鏡２３との間に、対物レンズ７１およびシャッタ７
３が、顕＠鏡光学系１０の光路上にシャッタ７４がそれ
ぞれ設けられている。なお、図中、７５は対物レンズ７
１の瞳位置である。

反射鏡７２は対物レンズ７１の合焦点位置に配置されて
いる。また、対物レンズ７１の分光透過率および開口数
は、顕＠鏡光学系２０の対物レンズ２１と同し値になる
ように構成されている。

このように構成すれば、反射鏡７２で反射された照明光
と、観察光とが略同じ光学的条件で検出されるので、反
射鏡７２を特に基準試料で構成した場合、次のような利
点が得られる。第１実施例と同様にして得られた照明光
の分光スペクトルＲＩ　（λ）を、そのままＢ’　　（
λ）として使用（Ｒｏ　（λ）＝Ｂ’（λ）、ＲＩ（λ
）＝Ｂ′（λ））することができるようになり、第１実
施例のように測定の最初に基準試料を顕微鏡の試料台に
載せてＢ’　　（λ）を測定する手間を省くことができ
るので、操作性が一層向上する。つまり、ばよい。

なお、本実施例においても、前述した第１実施例の変形
例と同様な構造をとることができる。

第↓裏施班 第３図は本発明の第３実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。

照明光の分光スペクトルを検出する際には、半透明鏡２
３から対物レンズ２１にかけての光路上にあって、半透
明鏡２３で反射された照明光を回折格子４１に向けて反
射し、観察光を検出する場合には、顕微鏡光学系２０の
光路から退避し、あるいは光軸と平行な位置に揺動変位
して、照明光を測定試料Ｓに向けて通過させるようにし
た可動反射ｔｎ　８１で構成されている。

本実施例も第１および第２実施例と同様に、較正用分光
手段および較正用光検出手段として回折格子４１および
光検出器４２を兼用している。

第土災為■ 第４図は本発明の第４実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。

照明光学系ｌＯ内に、その光路上と光路外に変位可能な
可動反射鏡９１を設けるとともに、顕微鏡光学系２０の
光路上に同様の可動反射鏡９２を設けている。

本実施例も較正用分光手段および較正用光検出手段とし
て回折格子４１および光検出器４２を兼用している。

観察光を検出する場合には、前記可動反射鏡９１および
９２を各光路外に退避させることにより、上述と同様に
観察光の分光スペクトルが検出される。

一方、照明光を検出する場合には、各可動反射鏡９１．
９２を各光路上に移動させることにより、光源１１から
の照明光は、可動反射鏡９１で反射され、凸し７１９３
１反射鏡９４．凸レンズ９５．９６を介して可動反射鏡
９２に入射され、さらに、この可動反射鏡９２で反射さ
れた照明光が分光ユニット４０に入射して、その分光ス
ペクトルが検出される。

■五１崖貫 第５図は本発明の第５実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図であり、同図（ａ）は分光ユニット周辺の
斜視図、同図（１））は要部光学系の構成図、同図（Ｃ
）は本実施例で使用される空間フィルタの斜視図である
。本実施例は、特に、請求項（４）に記載の発明に対応
している。

同図（ａ）に示すように、本実施例に係る較正用分光手
段は測定用分光手段としての回折格子４１と兼用され、
また、較正用光検出手段は測定用光検出手段としての光
検出器１０１に並設された個別の光検出器１０２によっ
て構成されている。光検出器１０１．１０２は、回折格
子４１の溝方向に所要の距離だけ離間されている。

また、本実施例に係る顕微分光装置は、上述した光検出
器ｌｏｔ、１０２に所要の光を取り込むために次のよう
な光学手段を備えている。

即ち、第９図に示した反射鏡３０が設けられる位置に、
離間した二つのピンホール３２．３３が形成された反射
鏡３０′を備えている。

ピンホール３２を介して回折格子４１に入射した光は、
回折格子４１の溝方向には分散されず、単に鏡面反射さ
れて光検出器１０１上で結像する。一方、ピンホール３
３を介して回折格子４Ｉに入射した光は、前記反射光と
は反対方向に鏡面反射されて光検出器１０２上で結像す
る。

したがって、例えばピンホール３２に観察光のみを入射
させ、ピンホール３３に照明光のみを入射させるように
すれば、観察光の分光スペクトルを光検出器１０１によ
って、照明光の分光スペクトルを光検出器１０２によっ
て、それぞれ同時に検出することができる。

しかし、第１図あるいは第２図に示したような光学系を
使用すると、両方のピンホール３２．３３に測定試料Ｓ
からの反射光および照明光が区別されずに入射されて不
都合である。

そこで、各ピンホール３２．３３に観察光および照明光
をそれぞれ個別に入射させるために、本実施例は、第５
図〜）に示すような光学系を備えている。

即ち、半透明鏡２３を透過した照明光の光軸に沿って、
リレーレンズ１０３．対物レンズ１０４および反射鏡１
０５をその順に配置している。そして、リレーレンズ１
０３における、反射鏡１０５と共役な位置に第５図（Ｃ
）に示すような空間フィルタ１０６を挿入している。こ
の空間フィルタ１０６は、観察光が入射するピンホール
３２と共役な部分が遮光４に態になるような遮光域１０
７が形成されている。

一方、第５図では図示を省略しているが、半透明鏡２３
と顕微鏡光学系２０の対物レンズ２１との間にも、前述
のリレーレンズ１０３と同様なリレーレンズが設けられ
ており、このリレーレンズには、照明光が入射するピン
ホール３３と共役な部分が遮光状態になるような空間フ
ィルタが挿入されている。

このように構成することにより、観察光のみがピンホー
ル３２を介して、また、照明光のみがピンホール３３を
介して、それぞれ回折格子４１に入射され、それぞれ個
別に光検出器１０１，１０２に結像されることにより、
観察光および照明光の分光スペクトルが同時に検出され
る。

なお、本実施例は次のように変形実施してもよい。

即ち、上述したようなリレーレンズを設ける代わりに、
反射鏡１０５および顕微鏡光学系２０の光路の一部をそ
れぞれ遮光することによって、ピンホール３２に観察光
のみを、ピンホール３３に照明光のみを入射させるよう
に構成してもよい。

■旦１隻■ 第６図は本発明の第６実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。

本実施例は較正用分光手段として、測定用分光手段とし
ての回折格子４１とは別の簡易な分光手段を用いており
、また、較正用光検出手段として、測定用光検出手段と
は別の光検出手段を用いている。

具体的には、前記較正用分光手段は、半透明鏡２３を透
過した照明光の光路上に設けられ、それぞれ所要波長の
光を反射する光学フィルタ１ｌｌａ。

１１１ｂ、　１ｌｌｃで構成されている。また、較正用
光検出手段は、前記光学フィルタ１ｌｌａ、　ｌ１ｌｂ
、　１ｌｌｃで反射あるいは透過された光を検出するフ
ォトダイオードのような光検出器１１２ａ＝１１２ｄに
よって構成されている。

モニターする波長の数は、光源の特性と要求される測定
精度から適宜に決定される。

■１裏旌曇 第７図は本発明の第７実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。

本実施例は、第６実施例と同様に、較正用分光手段およ
び較正用光検出手段が、測定用分光手段および測定用光
検出手段とは個別に設けられている。

具体的には、較正用分光手段は半透明鏡２３を透過した
照明光を分光するプリズム１２１によって構成され、ま
た、測定用光検出手段は、プリズム１２１からの分光ス
ペクトルを検出するＣＣＤなどの光検出器１２２から構
成されている。

なお、較正用分光手段は、例えば、回折格子によって構
成してもよく、また、較正用光検出手段は、複数個のフ
ォトダイオードなどで構成してもよい。

築ｌｚ指斑 第８図は本発明の第８実施例に係る顕微分光装置の要部
の概略構成図である。本実施例は、特に、請求項（５）
に記載の発明に対応している。

本実施例は、第１図に示した第１実施例における照明光
学系１０の配置と、分光ユニット４０側の光学系の配置
とを相互に入れ換えた構成を備えている。本実施例によ
ると、照明光学系１０からの照明光は半透明鏡２３を透
過して測定試料Ｓに照射され、測定試料Ｓからの観察光
は半透明鏡２３で反射されて分光ユニット４０に導かれ
る。

なお、本発明は上述した各実施例のものに限定されるも
のでなく、種々変更実施することができる。例えば、第
１ないし第５の各実施例において、分光手段として回折
格子４１を使用したが、これはプリズム等のように、分
光機能を有する他の光学素子で代用してもよい。要する
に、本発明は光源の変動を検出するためのデータを得る
のに、従来例のように較正用の基準試料を顕微鏡の試料
台にｉ！置することなく、光源から照明光を適宜の光学
系を介して、あるいは、直接に較正用分光手段に入射し
て分光し、その分光スペクトルを較正用光検出手段で検
出することを特徴としているから、このような特徴を備
えるものである限り、本発明に含まれるものである。

〈発明の効果〉 以上の説明から明らかなように、本発明によれば次のよ
うな効果を奏する。

請求項（１）に記載の発明によれば、光源の分光放射率
特性の変動を較正する際には、光源からの照明光を較正
用分光手段に入射させて、これを分光し、その分光スペ
クトルを較正用光検出手段によ・って検出しているので
、従来装置のように、較正のために顕微鏡の試料台に較
正用の基準試料を載置してデータを得る必要がなく、較
正に必要なデータを容易かつ迅速に得ることができる。

請求項（２）に記載の発明によれば、較正用分光手段を
測定用分光手段と兼用し、較正用光検出手段を測定用光
検出手段と兼用しているので、これらを個別に設ける場
合に比較して、装置構成が簡略化される。また、上述の
ように各手段を兼用すると、測定用のデータと同じ条件
で較正用のデータが得られるので、較正時のデータ処理
を行う上で好都合である。

請求項（３）に記載の発明によれば、前記請求項（２）
に記載の発明の構成に加えて、半透明鏡と反射手段との
間に較正用対物レンズを設け、この対物レンズの分光透
過率および開口数を顕微鏡光学系の対物レンズと略同じ
値に設定し、かつ、前記反射手段を較正用対物レンズの
合焦点位置近傍に配置しているので、前記反射手段を較
正用の基準試料として使用することができ、測定の最初
に基準試料を顕微鏡の試料台に載せて基準試料のデータ
を得る手間が省くことができ、操作性が一層向上する。

請求項（４）に記載の発明によれば、較正用分光手段が
測定用分光手段と兼用され、較正用光検出手段は前記測
定用光検出手段に並設された個別の光検出手段で構成し
、照明光を前記測定用分光手段（較正用分光手段）を介
して較正用光検出手段にのみ導き、観察光を前記測定用
分光手段（較正用分光手段）を介して測定用光検出手段
にのみ導いているので、測定用データと同時に較正用デ
ータを得ることができる。したがって、この実施例によ
れば、より精度の高い較正用データを得ることができる
ので、光源変動の較正を正確に行うことができる。また
、較正用分光手段と測定用分光手段とを兼用する結果、
これらの分光手段間の光学的特性の差異が生じないので
、較正用データを処理する上で好都合である。

請求項（５）に記載の発明によれば、請求項（２）に記
載の発明と同様に、較正用分光手段をｆｆ１ｌｌ定用分
光手段と兼用し、較正用光゛検出手段を測定用光検出手
段と兼用しているので、これと同様の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第８図は本発明に係る顕微分光装置の実施
例の説明図であり、第１図は第１実施例の要部概略構成
図、第２図は第２実施例の要部概略構成図、第３図は第
３実施例の要部概略構成図、第４図は第４実施例の要部
概略構成図、第５図は第５実施例の要部概略構成図、第
６図は第６実施例の要部概略構成図、第７図は第７実施
例の要部概略構成図、第８図は第８実施例の要部概略構
成図である。 また、第９図は従来の顕微分光装置の概略構成図である
。 Ｓ・・・測定試料 １０・・・照明光学系 １１・・・光源 ２０・・・顕微鏡光学系 ２１・・・顕微鏡対物レンズ ２３・・・半透明鏡 ３０．３０′・・・反射鏡 ３１、３２．３３・・・ピンホール ４１・・・回折格子 ４２、１０１，１０２．１１２ａ　−１１２ｄ、１２２
−光検出器６１．７２．９４，１０５・・・反射鏡６２
、６３．７３．７４・・・シャッタ７１．１０４・・・
対物レンズ ８１．９１．９２・・・可動反射鏡 １０３・・・リレーレンズ １０６・・・空間フィルタ １１１ａ　＝１１１ｃ・・・光学フィルタ１２１・・・
プリズム 出願人　大日本スクリーン製造株式会社代理人　弁理士
　　杉　　谷　　　勉

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. （１）照明光を発する光源と、測定試料からの光（観察
   光）を取り込む顕微鏡光学系と、前記顕微鏡光学系を介
   して取り込まれた観察光を分光する測定用分光手段と、
   その分光スペクトルを検出する測定用光検出手段とを備
   えた顕微分光装置において、 前記照明光を分光する較正用分光手段と、 前記較正用分光手段によって分光された光を検出する較
   正用光検出手段とを備えたことを特徴とする顕微分光装
   置。
2. （２）請求項（１）に記載の顕微分光装置において、較
   正用分光手段は測定用分光手段と兼用されるものであり
   、 較正用光検出手段は測定用光検出手段と兼用されるもの
   であり、 顕微鏡光学系は照明光を顕微鏡光学系の光路に重ね合わ
   せる半透明鏡を含み、 かつ、前記半透明鏡を透過した照明光をその半透明鏡に
   向けて反射する反射手段と、 照明光を検出する際には前記反射手段による反射を許す
   状態になって、その反射光を前記半透明鏡を介して較正
   用分光手段（測定用分光手段）に入射させ、観察光を検
   出する際には前記反射手段による照明光の反射を許さな
   い状態になる第１光学手段と、 照明光を検出する際には較正用分光手段（測定用分光手
   段）への観察光の入射を許さない状態になり、観察光を
   検出する際には前記入射を許す状態になる第２光学手段
   とを備えた顕微分光装置。
3. （３）請求項（２）に記載の顕微分光装置において、半
   透明鏡と反射手段との間に較正用対物レンズを設け、こ
   の対物レンズの分光透過率および開口数を顕微鏡光学系
   の対物レンズと略同じ値に設定し、かつ、前記反射手段
   は、分光反射スペクトルが既知であって、較正用対物レ
   ンズの合焦点位置近傍に配置されている顕微分光装置。
4. （４）請求項（１）に記載の顕微分光装置において、較
   正用分光手段は測定用分光手段と兼用されるものであり
   、 較正用光検出手段は測定用光検出手段に並設された個別
   の光検出手段であり、 顕微鏡光学系は照明光を顕微鏡光学系の光路に重ね合わ
   せる半透明鏡を含み、 前記半透明鏡を透過した照明光を前記半透明鏡に向けて
   反射する反射鏡と、 前記反射鏡で反射された照明光を前記測定用分光手段（
   較正用分光手段）を介して較正用光検出手段に導き、か
   つ、観察光を前記測定用分光手段（較正用分光手段）を
   介して測定用光検出手段にのみ導く光学手段とを備えた
   顕微分光装置。
5. （５）請求項（１）に記載の顕微分光装置において、較
   正用分光手段は測定用分光手段と兼用されるものであり
   、 較正用光検出手段は測定用光検出手段と兼用されるもの
   であり、 顕微鏡光学系は、観察光に対しては反射することによっ
   て測定用分光手段へ取り込ませ、かつ照明光に対しては
   透過することによって、顕微鏡光学系の光路に重ね合わ
   せる半透明鏡を含み、かつ、前記半透明鏡で反射した照
   明光をその半透明鏡に向けて反射する反射手段と、 照明光を検出する際には前記反射手段による反射を許す
   状態になって、その反射光を前記半透明鏡を透過して較
   正用分光手段（測定用分光手段）に入射させ、観察光を
   検出する際には前記反射手段による照明光の反射を許さ
   ない状態になる第１光学手段と、 照明光を検出する際には較正用分光手段（測定用分光手
   段）への観察光の入射を許さない状態になり、観察光を
   検出する際には前記入射を許す状態になる第２光学手段
   とを備えた顕微分光装置。