JPH037051B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH037051B2 JPH037051B2 JP56200489A JP20048981A JPH037051B2 JP H037051 B2 JPH037051 B2 JP H037051B2 JP 56200489 A JP56200489 A JP 56200489A JP 20048981 A JP20048981 A JP 20048981A JP H037051 B2 JPH037051 B2 JP H037051B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- interferometer
- mirror
- infrared
- beam splitter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910001179 chromel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
- G01J3/4535—Devices with moving mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はフーリエ変換型赤外分光光度計に関す
る。この型の分光光度計では移動鏡の位置を検出
するのに、測定対象の光とは別に一定波長の光を
用いその光による干渉縞の変化を検出すると云う
方法を用いている。このため従来のフーリエ変換
型分光光度計では測定対象の光に対する分光用干
渉計とは別の位置検出用の干渉計を構成し、この
位置検出用干渉計に一定波長の光を入射させて得
られる干渉縞の変化によつて移動鏡の位置を検出
するようにしている。
る。この型の分光光度計では移動鏡の位置を検出
するのに、測定対象の光とは別に一定波長の光を
用いその光による干渉縞の変化を検出すると云う
方法を用いている。このため従来のフーリエ変換
型分光光度計では測定対象の光に対する分光用干
渉計とは別の位置検出用の干渉計を構成し、この
位置検出用干渉計に一定波長の光を入射させて得
られる干渉縞の変化によつて移動鏡の位置を検出
するようにしている。
上述したように従来のフーリエ変換型分光光度
計は分光用と移動鏡の位置検出用の２つの干渉計
より成つているので構造的に複雑であり光学的な
調整も面倒なものであつた。そこで本発明は分光
用の干渉計によつて移動鏡の位置検出を行い得る
ようにすることを目的としてなされた。この目的
に従い本発明は、分光用干渉計を構成するビーム
スプリツターの少くとも一部を可視光に対して光
束分割機能を有するようにし、この部分を通るよ
うに測定光と平行に一定波長と可視光を干渉計に
入射させ得るように構成したフーリエ変換型赤外
分光光度計を提供する。この構成によれば分光用
干渉計に入射させた一定波長の光の干渉縞が得ら
れるから、その干渉縞の変化によつて移動鏡の位
置を検出することができる。以下実施例によつて
本発明を説明する。
計は分光用と移動鏡の位置検出用の２つの干渉計
より成つているので構造的に複雑であり光学的な
調整も面倒なものであつた。そこで本発明は分光
用の干渉計によつて移動鏡の位置検出を行い得る
ようにすることを目的としてなされた。この目的
に従い本発明は、分光用干渉計を構成するビーム
スプリツターの少くとも一部を可視光に対して光
束分割機能を有するようにし、この部分を通るよ
うに測定光と平行に一定波長と可視光を干渉計に
入射させ得るように構成したフーリエ変換型赤外
分光光度計を提供する。この構成によれば分光用
干渉計に入射させた一定波長の光の干渉縞が得ら
れるから、その干渉縞の変化によつて移動鏡の位
置を検出することができる。以下実施例によつて
本発明を説明する。
第１図は本発明の一実施例の全体を示す。１が
ビームスプリツター、２は固定鏡、３が移動鏡
で、これらによつてマイケルソン干渉計が構成さ
れている。Ｓは測定用光源、４はコリメータ鏡で
光源Ｓの光を平行光束にしてビームスプリツター
１に入射させる。５は集光鏡で上述マイケルソン
干渉計からの出射光を集光して検出器６に入射さ
せる。以上の構成によつて移動鏡３を移動させ、
この移動量を横軸にとつて検出器６の出力を縦軸
に記録すると測定光に関するインターフエログラ
ムが得られる。
ビームスプリツター、２は固定鏡、３が移動鏡
で、これらによつてマイケルソン干渉計が構成さ
れている。Ｓは測定用光源、４はコリメータ鏡で
光源Ｓの光を平行光束にしてビームスプリツター
１に入射させる。５は集光鏡で上述マイケルソン
干渉計からの出射光を集光して検出器６に入射さ
せる。以上の構成によつて移動鏡３を移動させ、
この移動量を横軸にとつて検出器６の出力を縦軸
に記録すると測定光に関するインターフエログラ
ムが得られる。
ビームスプリツター１は全体的に赤外光に対し
て半透明鏡の性質を有しているが、中央の小部分
ｍだけ可視光に対して半透明鏡になつている。コ
リメータ鏡４及び集光鏡５は共に中央に小孔ｈ，
h′が設けられている。７はHe−Neレーザでコリ
メーター鏡４の小孔ｈを通してコリメータ鏡４の
出射光と平行にビームスプリツター１の中央小部
分ｍに一定波長の光を入射させている。上述した
ようにビームスプリツター１の中央部は可視光に
対して半透明鏡になつているから、ビームスプリ
ツター１、固定鏡２、移動鏡３は測定光に対する
と同様レーザー７の出力光に対してもマイケルソ
ンの干渉計を構成しており、この干渉計を出射し
たレーザー７の出力光は集光鏡５の中央小孔h′を
通過して検出器８に入射する。検出器８の出力は
移動鏡３がHe−Neレーザーの出力光の半波長分
の移動毎に変化を繰返すから、これによつて移動
鏡３の移動量の目盛信号が得られる。
て半透明鏡の性質を有しているが、中央の小部分
ｍだけ可視光に対して半透明鏡になつている。コ
リメータ鏡４及び集光鏡５は共に中央に小孔ｈ，
h′が設けられている。７はHe−Neレーザでコリ
メーター鏡４の小孔ｈを通してコリメータ鏡４の
出射光と平行にビームスプリツター１の中央小部
分ｍに一定波長の光を入射させている。上述した
ようにビームスプリツター１の中央部は可視光に
対して半透明鏡になつているから、ビームスプリ
ツター１、固定鏡２、移動鏡３は測定光に対する
と同様レーザー７の出力光に対してもマイケルソ
ンの干渉計を構成しており、この干渉計を出射し
たレーザー７の出力光は集光鏡５の中央小孔h′を
通過して検出器８に入射する。検出器８の出力は
移動鏡３がHe−Neレーザーの出力光の半波長分
の移動毎に変化を繰返すから、これによつて移動
鏡３の移動量の目盛信号が得られる。
第２図はビームスプリツター１の断面を示す。
ａは基板で赤外光に対し透明なKBrで作られて
おり、表面の蒸着層ｂはGeで赤外光に対し半透
明鏡となつている。他方可視光に対してはGeの
層があるので不透明である。中央のｍの部分には
ガラス（BK−７）が嵌め込まれており、その表
面は基板ａの表面と同一平面に仕上げてあり、ク
ロメルの蒸着層ｄが形成してあつて可視光に対し
半透明鏡になつている。他方3μｍ以上の波長の
赤外光に対してガラスは不透明なので、ビームス
プリツターの中央部は赤外光に対しては不透明で
ある。なお云うまでもないが干渉計の構成は上例
のマイケルソン干渉計に限られない。
ａは基板で赤外光に対し透明なKBrで作られて
おり、表面の蒸着層ｂはGeで赤外光に対し半透
明鏡となつている。他方可視光に対してはGeの
層があるので不透明である。中央のｍの部分には
ガラス（BK−７）が嵌め込まれており、その表
面は基板ａの表面と同一平面に仕上げてあり、ク
ロメルの蒸着層ｄが形成してあつて可視光に対し
半透明鏡になつている。他方3μｍ以上の波長の
赤外光に対してガラスは不透明なので、ビームス
プリツターの中央部は赤外光に対しては不透明で
ある。なお云うまでもないが干渉計の構成は上例
のマイケルソン干渉計に限られない。
本発明フーリエ変換型赤外分光光度は上述した
ような構成で、分光用干渉計によつて可視光を干
渉させて移動鏡の位置を検出するので、別に移動
鏡位置検出用の干渉計を用いる従来構成に比し構
造的に簡単であり、分光用干渉計が可視光に対し
ても全く同様に干渉計として機能し得るので可視
光によつて干渉計の光学的調整ができて、調整が
容易迅速に行える利点があり、分光用と同じ干渉
計によつて移動鏡の位置検出を行うので、別の干
渉計を用いるよりも位置検出の精度を向上させる
ことができる。本発明ではビームスプリツターの
中央部が可視光に対して半透明、赤外光に対して
不透明で、他の部分が赤外光に対して半透明、可
視光に対して不透明なので、可視、赤外夫々の検
出部で両種の光の混信が起らず、位置検出の精度
が向上し、赤外スペクトルのバツクグラウンドが
低下する。
ような構成で、分光用干渉計によつて可視光を干
渉させて移動鏡の位置を検出するので、別に移動
鏡位置検出用の干渉計を用いる従来構成に比し構
造的に簡単であり、分光用干渉計が可視光に対し
ても全く同様に干渉計として機能し得るので可視
光によつて干渉計の光学的調整ができて、調整が
容易迅速に行える利点があり、分光用と同じ干渉
計によつて移動鏡の位置検出を行うので、別の干
渉計を用いるよりも位置検出の精度を向上させる
ことができる。本発明ではビームスプリツターの
中央部が可視光に対して半透明、赤外光に対して
不透明で、他の部分が赤外光に対して半透明、可
視光に対して不透明なので、可視、赤外夫々の検
出部で両種の光の混信が起らず、位置検出の精度
が向上し、赤外スペクトルのバツクグラウンドが
低下する。
第１図は本発明の一実施例装置の全体を示す平
面図、第２図は上記装置に用いられるビームスプ
リツターの断面図である。 １……ビームスプリツター、２……固定鏡、３
……移動鏡、４……コリメータ鏡、５…集光鏡、
６……測定光検出器、７……He−Neレーザー、
８……レーザー光検出器、Ｓ……測定用光の光
源、ｍ……ビームスプリツターにおける可視光に
対するビームスプリツター部分。
面図、第２図は上記装置に用いられるビームスプ
リツターの断面図である。 １……ビームスプリツター、２……固定鏡、３
……移動鏡、４……コリメータ鏡、５…集光鏡、
６……測定光検出器、７……He−Neレーザー、
８……レーザー光検出器、Ｓ……測定用光の光
源、ｍ……ビームスプリツターにおける可視光に
対するビームスプリツター部分。
Claims (1)
- １ 中央部に可視光に対して光束分割機能を有
し、測定対象の赤外光に対して不透明な部分を有
し、他の部分が可視光に対して不透明な赤外用ビ
ームスプリツターを用いて赤外用干渉計を構成
し、この干渉計に測定対象の赤外光と平行させ
て、上記赤外光光束の中心部に可視光を入射せし
め得るようにしたフーリエ変換型赤外分光光度
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20048981A JPS58100721A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20048981A JPS58100721A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58100721A JPS58100721A (ja) | 1983-06-15 |
| JPH037051B2 true JPH037051B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=16425162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20048981A Granted JPS58100721A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58100721A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0814510B2 (ja) * | 1987-01-22 | 1996-02-14 | 横河電機株式会社 | 分光装置 |
| JP6380662B2 (ja) * | 2015-04-16 | 2018-08-29 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換型分光光度計 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104981A (en) * | 1976-02-28 | 1977-09-02 | Jeol Ltd | Coherent spectrometer |
| JPS5821527A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP20048981A patent/JPS58100721A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52104981A (en) * | 1976-02-28 | 1977-09-02 | Jeol Ltd | Coherent spectrometer |
| JPS5821527A (ja) * | 1981-07-31 | 1983-02-08 | Shimadzu Corp | フ−リエ変換型赤外分光光度計 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58100721A (ja) | 1983-06-15 |
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