JPH119902A - 液体脱気用モジュール - Google Patents
液体脱気用モジュールInfo
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- JPH119902A JPH119902A JP17025697A JP17025697A JPH119902A JP H119902 A JPH119902 A JP H119902A JP 17025697 A JP17025697 A JP 17025697A JP 17025697 A JP17025697 A JP 17025697A JP H119902 A JPH119902 A JP H119902A
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- Physical Water Treatments (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 溶存酸素を高度に脱気し、溶存酸素濃度を１
ｐｐｂ以下のオーダー迄極度に低下させた水を、経済的
に効率よく多量に製造することができる液体脱気用モジ
ュールを提供する。 【解決手段】 中空糸の外側に水を流し、中空糸の内側
を減圧することにより、液体を脱気する外部還流型脱気
モジュールにおいて、中空糸膜の水蒸気透過速度が０．
５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ
以上５０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ以下であり、中空糸の有効長が中空糸の内径
の５００倍以上５０００倍以下であることを特徴とする
液体脱気用モジュール。
ｐｐｂ以下のオーダー迄極度に低下させた水を、経済的
に効率よく多量に製造することができる液体脱気用モジ
ュールを提供する。 【解決手段】 中空糸の外側に水を流し、中空糸の内側
を減圧することにより、液体を脱気する外部還流型脱気
モジュールにおいて、中空糸膜の水蒸気透過速度が０．
５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ
以上５０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ以下であり、中空糸の有効長が中空糸の内径
の５００倍以上５０００倍以下であることを特徴とする
液体脱気用モジュール。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は隔膜を介して、液体
中、特に水中に存在する各種気体を除去する隔膜方式の
脱気に関し、各種溶存気体、特に溶存酸素の濃度を５０
ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以下、最も好ましく
は１ｐｐｂ以下に脱気された超脱気水をコンパクトな装
置で極めて効率良く多量に製造する為の液体脱気用モジ
ュールに関する。
中、特に水中に存在する各種気体を除去する隔膜方式の
脱気に関し、各種溶存気体、特に溶存酸素の濃度を５０
ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以下、最も好ましく
は１ｐｐｂ以下に脱気された超脱気水をコンパクトな装
置で極めて効率良く多量に製造する為の液体脱気用モジ
ュールに関する。
【０００２】本発明は、例えばボイラーの供給用の脱酸
素水、半導体製造プロセスの超純水製造工程での脱酸
素、脱炭酸及び脱窒素に代表される各種溶存ガスの超脱
気及びリソグラフィー工程でのレジスト液及び現像液の
脱気や、ビルやマンション等の赤水防止、発電用水の脱
酸素や脱炭酸、医療用水の脱気や食品用水の脱酸素水の
製造等に利用出来る。
素水、半導体製造プロセスの超純水製造工程での脱酸
素、脱炭酸及び脱窒素に代表される各種溶存ガスの超脱
気及びリソグラフィー工程でのレジスト液及び現像液の
脱気や、ビルやマンション等の赤水防止、発電用水の脱
酸素や脱炭酸、医療用水の脱気や食品用水の脱酸素水の
製造等に利用出来る。
【０００３】
【従来の技術】液体の脱気方法として従来より、加熱脱
気法、真空脱気法、ガス爆気法、還元剤を使用する化学
法、隔膜脱気法等が知られている。これらの中で隔膜脱
気法は脱気装置が小型、安価である事、取扱いが容易
で、メンテナンスが極めて容易である事、脱気に必要な
エネルギーが少ない等の優れた特徴を持っている。
気法、真空脱気法、ガス爆気法、還元剤を使用する化学
法、隔膜脱気法等が知られている。これらの中で隔膜脱
気法は脱気装置が小型、安価である事、取扱いが容易
で、メンテナンスが極めて容易である事、脱気に必要な
エネルギーが少ない等の優れた特徴を持っている。
【０００４】隔膜脱気法として、例えば特開昭５９−２
１６６０６号公報においてシリコーンやポリテトラフル
オロエチレン等の合成樹脂からなる内径０．２ｍｍ程度
のチューブ状の膜、特開昭５５−１８１６においてポリ
プロピレン多孔質中空糸膜、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａ
ｐｐｌｉｅｄ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ、１
６、５９５−６０１（１９７２）においてポリ四弗化エ
チレン多孔質チューブ、ポリスルホン多孔質中空糸を用
いた脱気装置が提案されている。
１６６０６号公報においてシリコーンやポリテトラフル
オロエチレン等の合成樹脂からなる内径０．２ｍｍ程度
のチューブ状の膜、特開昭５５−１８１６においてポリ
プロピレン多孔質中空糸膜、Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ａ
ｐｐｌｉｅｄ Ｐｏｌｙｍｅｒ Ｓｃｉｅｎｃｅ、１
６、５９５−６０１（１９７２）においてポリ四弗化エ
チレン多孔質チューブ、ポリスルホン多孔質中空糸を用
いた脱気装置が提案されている。
【０００５】また特開平２−１０７３１７公報には、中
空糸の内側に液体を流し中空糸の外側を減圧する、いわ
ゆる内部灌流型に比べ、中空糸の外側に接して液体を流
し、中空糸内側を減圧する、いわゆる外部灌流型の方が
溶存ガスの除去性能に優れるとが記載されている。特開
平５−２４５３４７、特開平５−２４５３４８には外部
灌流型において溶存ガス除去性能の改良手段が記載され
ている。
空糸の内側に液体を流し中空糸の外側を減圧する、いわ
ゆる内部灌流型に比べ、中空糸の外側に接して液体を流
し、中空糸内側を減圧する、いわゆる外部灌流型の方が
溶存ガスの除去性能に優れるとが記載されている。特開
平５−２４５３４７、特開平５−２４５３４８には外部
灌流型において溶存ガス除去性能の改良手段が記載され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】液体、特に水に溶解し
ている各種気体の除去は各種腐食性金属配管の腐食防止
目的のみならず多くの目的で広範な産業分野で盛んに行
われており、その重要性も益々高くなってきている。例
えば半導体製造分野において、超純水中の溶存ガス、特
に酸素や炭酸ガスを除去することにより、例えば、超純
水製造装置に使用されているイオン交換樹脂や逆浸透膜
や限外ろ過膜等の細菌類の繁殖等によるスライム防止及
び酸化劣化防止効果等によるこれら樹脂及び膜の寿命延
長が図られる。さらに近年の半導体の高集積化に伴い、
超純水中の溶存酸素が半導体素子の製造課程においてシ
リコンウエハの不要な酸化を引き起こす等デバイスの性
能に悪影響を及ぼす事が指摘され益々超脱気の必要性が
高まっている。次世代の１６Ｍｂさらには６４ＭＢ−Ｄ
−ＲＡＭの製造工程においては、溶存酸素濃度が１０ｐ
ｐｂ以下好ましくは１ｐｐｂ以下が必要とされている。
ている各種気体の除去は各種腐食性金属配管の腐食防止
目的のみならず多くの目的で広範な産業分野で盛んに行
われており、その重要性も益々高くなってきている。例
えば半導体製造分野において、超純水中の溶存ガス、特
に酸素や炭酸ガスを除去することにより、例えば、超純
水製造装置に使用されているイオン交換樹脂や逆浸透膜
や限外ろ過膜等の細菌類の繁殖等によるスライム防止及
び酸化劣化防止効果等によるこれら樹脂及び膜の寿命延
長が図られる。さらに近年の半導体の高集積化に伴い、
超純水中の溶存酸素が半導体素子の製造課程においてシ
リコンウエハの不要な酸化を引き起こす等デバイスの性
能に悪影響を及ぼす事が指摘され益々超脱気の必要性が
高まっている。次世代の１６Ｍｂさらには６４ＭＢ−Ｄ
−ＲＡＭの製造工程においては、溶存酸素濃度が１０ｐ
ｐｂ以下好ましくは１ｐｐｂ以下が必要とされている。
【０００７】また、電力分野においては、発電用タービ
ン用水として溶存酸素濃度５０ｐｐｂ以下及び溶存炭酸
ガス濃度１００ｐｐｂ以下が必要とされている。液体、
特に水の脱気は上述のごとく、多量の脱気水を、簡便
で、効率が良く且つ低運転コストで得る事の出来る脱気
技術の開発が切に要求されている。
ン用水として溶存酸素濃度５０ｐｐｂ以下及び溶存炭酸
ガス濃度１００ｐｐｂ以下が必要とされている。液体、
特に水の脱気は上述のごとく、多量の脱気水を、簡便
で、効率が良く且つ低運転コストで得る事の出来る脱気
技術の開発が切に要求されている。
【０００８】しかしながら、従来より知られている加熱
脱気法、真空脱気法、窒素バブリング法、化学法は、装
置が大型になる、ランニングのコストが高い、高度の脱
気が困難である等いずれも満足のゆくものではなかっ
た。
脱気法、真空脱気法、窒素バブリング法、化学法は、装
置が大型になる、ランニングのコストが高い、高度の脱
気が困難である等いずれも満足のゆくものではなかっ
た。
【０００９】また従来より提案されている隔膜脱気方法
は、高度の脱気が必要とされない領域においては脱気装
置がコンパクトであり、取り扱い及びメンテナンスが容
易であり、低ランニングコストである等、優れた特徴を
もっているものの、例えば半導体製造工程等において多
量の超純水を高度に脱気するためにはモジュール一本当
たりの処理量が極度に少ない、または、溶存酸素濃度が
１００ｐｐｂ程度にしか到達しない。
は、高度の脱気が必要とされない領域においては脱気装
置がコンパクトであり、取り扱い及びメンテナンスが容
易であり、低ランニングコストである等、優れた特徴を
もっているものの、例えば半導体製造工程等において多
量の超純水を高度に脱気するためにはモジュール一本当
たりの処理量が極度に少ない、または、溶存酸素濃度が
１００ｐｐｂ程度にしか到達しない。
【００１０】溶存酸素濃度を５０ｐｐｂ以下、好ましく
は１０ｐｐｂ以下、さらに好ましくは１ｐｐｂ以下まで
高度に脱気するためには、膜の気相側を極めて低圧に保
つ必要がある。特に溶存酸素濃度を１ｐｐｂ以下の脱気
を効率よく行うためには膜の気相側の圧力を脱気する水
の飽和水蒸気圧以下に保つ必要がある。かかる条件のも
とでは脱気されるガスと共に多量の水蒸気が膜を透過し
てくる。従って、大処理量の隔膜脱気装置には極めて大
容量の真空ポンプが必要となる欠点を有していた。さら
に透過してくる多量の水蒸気との関係で、使用できる真
空装置の種類が限定されること及び寿命短命化も大きな
問題であった。従って、これらの理由により満足のゆく
隔膜脱気方法はこれまで得られていない。
は１０ｐｐｂ以下、さらに好ましくは１ｐｐｂ以下まで
高度に脱気するためには、膜の気相側を極めて低圧に保
つ必要がある。特に溶存酸素濃度を１ｐｐｂ以下の脱気
を効率よく行うためには膜の気相側の圧力を脱気する水
の飽和水蒸気圧以下に保つ必要がある。かかる条件のも
とでは脱気されるガスと共に多量の水蒸気が膜を透過し
てくる。従って、大処理量の隔膜脱気装置には極めて大
容量の真空ポンプが必要となる欠点を有していた。さら
に透過してくる多量の水蒸気との関係で、使用できる真
空装置の種類が限定されること及び寿命短命化も大きな
問題であった。従って、これらの理由により満足のゆく
隔膜脱気方法はこれまで得られていない。
【００１１】本発明は近年ますます要求水準が高くなる
液体、特に水からの各種気体の脱気に関する各産業から
の要求に鑑み、利点の多い隔膜脱気方式において、特に
溶存酸素濃度を５０ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ
以下、最も好ましくは１ｐｐｂ以下の高度脱気水を経済
的に効率よく多量に製造する事のできる液体脱気用モジ
ュールを提案することを目的とする。
液体、特に水からの各種気体の脱気に関する各産業から
の要求に鑑み、利点の多い隔膜脱気方式において、特に
溶存酸素濃度を５０ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ
以下、最も好ましくは１ｐｐｂ以下の高度脱気水を経済
的に効率よく多量に製造する事のできる液体脱気用モジ
ュールを提案することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、中空糸の
外側に液体を流し、中空糸の内側を減圧することによ
り、液体を脱気する外部灌流型脱気モジュールにおい
て、中空糸の内側の減圧排気の効率が脱気の能力に大き
く寄与することを見出した。減圧排気の効率には中空糸
膜の水蒸気透過速度と中空糸の有効長さ、内径が関係す
ることも見出した。
外側に液体を流し、中空糸の内側を減圧することによ
り、液体を脱気する外部灌流型脱気モジュールにおい
て、中空糸の内側の減圧排気の効率が脱気の能力に大き
く寄与することを見出した。減圧排気の効率には中空糸
膜の水蒸気透過速度と中空糸の有効長さ、内径が関係す
ることも見出した。
【００１３】そこで、中空糸の水蒸気透過速度と中空糸
の有効長さ、内径の相関につて鋭意検討の結果、以下の
発明を完成するに至った。即ち、
の有効長さ、内径の相関につて鋭意検討の結果、以下の
発明を完成するに至った。即ち、
【００１４】請求項１の発明としては、中空糸の外側に
水を流し、中空糸の内側を減圧することにより、液体を
脱気する外部還流型脱気モジュールにおいて、中空糸膜
の水蒸気透過速度が０．５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／
ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上５０００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下であり、中
空糸の有効長が中空糸の内径の５００倍以上５０００倍
以下（中空糸の両端から減圧する場合を基準として）で
あることを特徴とする液体脱気用モジュール。
水を流し、中空糸の内側を減圧することにより、液体を
脱気する外部還流型脱気モジュールにおいて、中空糸膜
の水蒸気透過速度が０．５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／
ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上５０００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下であり、中
空糸の有効長が中空糸の内径の５００倍以上５０００倍
以下（中空糸の両端から減圧する場合を基準として）で
あることを特徴とする液体脱気用モジュール。
【００１５】請求項２の発明としては、中空糸膜の水蒸
気透過速度が２×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅ
ｃ・ｃｍＨｇ以上５００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下である請求項１記載の液体
脱気用モジュール。
気透過速度が２×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅ
ｃ・ｃｍＨｇ以上５００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下である請求項１記載の液体
脱気用モジュール。
【００１６】請求項３の発明としては、中空糸膜の酸素
透過速度が０．５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓ
ｅｃ・ｃｍＨｇ以上５０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）
／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下である請求項１又は２
記載の液体脱気用モジュール。
透過速度が０．５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓ
ｅｃ・ｃｍＨｇ以上５０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）
／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下である請求項１又は２
記載の液体脱気用モジュール。
【００１７】請求項４の発明としては、中空糸膜の酸素
透過速度が８×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ以上５００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2
・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下である請求項３記載の液体脱気
用モジュール。
透過速度が８×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ以上５００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2
・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下である請求項３記載の液体脱気
用モジュール。
【００１８】請求項５の発明としては、中空糸膜がポリ
（４−メチルペンテン−１）樹脂を素材とする中空糸不
均質膜であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか
１つに記載の液体脱気用モジュール。
（４−メチルペンテン−１）樹脂を素材とする中空糸不
均質膜であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか
１つに記載の液体脱気用モジュール。
【００１９】請求項６の発明としては、水中の溶存酸素
濃度を５０ｐｐｂ以下まで除去すること目的とする請求
項１〜５のいずれか１つに記載の液体脱気用モジュー
ル。
濃度を５０ｐｐｂ以下まで除去すること目的とする請求
項１〜５のいずれか１つに記載の液体脱気用モジュー
ル。
【００２０】請求項７の発明としては、中空糸の内側
を、脱気する水の温度における水蒸気圧に５ｍｍＨｇを
加えた圧力以下に減圧することを目的とする請求項１〜
６のいずれか１つに記載の液体脱気用モジュール。
を、脱気する水の温度における水蒸気圧に５ｍｍＨｇを
加えた圧力以下に減圧することを目的とする請求項１〜
６のいずれか１つに記載の液体脱気用モジュール。
【００２１】等である。このような液体脱気用モジュー
ルを用い、中空糸の内側を脱気する水の温度における水
蒸気圧に５ｔｏｒｒを加えた圧力以下に減圧することに
より、驚くべき事に、特に溶存酸素濃度５０ｐｐｂ以
下、更に好ましくは１０ｐｐｂ以下、最も好ましくは１
ｐｐｂの超脱気水を、多量に、効率良く、且つこれまで
困難であった極めて小容量の真空ポンプの使用で実現可
能とされるに至った。
ルを用い、中空糸の内側を脱気する水の温度における水
蒸気圧に５ｔｏｒｒを加えた圧力以下に減圧することに
より、驚くべき事に、特に溶存酸素濃度５０ｐｐｂ以
下、更に好ましくは１０ｐｐｂ以下、最も好ましくは１
ｐｐｂの超脱気水を、多量に、効率良く、且つこれまで
困難であった極めて小容量の真空ポンプの使用で実現可
能とされるに至った。
【００２２】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態の典型的なもの
および最良の状態は後記実施例に具体的に示されるが、
その標準的な一例としては次の通りである。
および最良の状態は後記実施例に具体的に示されるが、
その標準的な一例としては次の通りである。
【００２３】ポリ（４−メチルペンテン−１）を素材と
し、酸素透過速度が約１０×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／
ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水蒸気透過速度が約１２×
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外
径約２１５μm、内径約１３６μmの中空糸不均質膜を使
用し、３０デニールのポリエステルのマルチフィラメン
トを縦糸として、中空糸打ち込み本数５８本/吋の簾状
シートを調製し、中空糸の有効長４５０ｍｍ、中空糸外
径基準膜面積９０ｍ2で、簾巻き層の相当直径が約２５
５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイラル状に巻き
付け、モジュールケース内に組み込んだ図１に示す構造
を有する液体脱気用モジュールに、毎分４０リットルの
流量で２５℃の水を流し、消費電力１．５ｋｗ、排気風
量毎分４００リットルのアレスコ岩田製スクロールドラ
イ真空ポンプにて真空度２０ｍｍＨｇに減圧することに
より、溶存酸素濃度を１ｐｐｂまで連続的に除去するこ
とができる。
し、酸素透過速度が約１０×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／
ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水蒸気透過速度が約１２×
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外
径約２１５μm、内径約１３６μmの中空糸不均質膜を使
用し、３０デニールのポリエステルのマルチフィラメン
トを縦糸として、中空糸打ち込み本数５８本/吋の簾状
シートを調製し、中空糸の有効長４５０ｍｍ、中空糸外
径基準膜面積９０ｍ2で、簾巻き層の相当直径が約２５
５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイラル状に巻き
付け、モジュールケース内に組み込んだ図１に示す構造
を有する液体脱気用モジュールに、毎分４０リットルの
流量で２５℃の水を流し、消費電力１．５ｋｗ、排気風
量毎分４００リットルのアレスコ岩田製スクロールドラ
イ真空ポンプにて真空度２０ｍｍＨｇに減圧することに
より、溶存酸素濃度を１ｐｐｂまで連続的に除去するこ
とができる。
【００２４】次に、本発明を実施する上で選択可能な各
構成要件等について更に詳細に説明する。本発明の中空
糸の寸法は、中空糸の両端から減圧する場合を基準とし
て中空糸の有効長が中空糸の内径の５００倍以上５００
０倍以下になるように適当に選択すれば特に制限は無
い。５００倍以下であれば充分な膜面積が得られず、た
とえ十分な排気能力を有する大型の真空ポンプを使用し
たとしても多量の水を溶存酸素濃度を数ｐｐｂ以下まで
脱気する事が困難となる。５０００倍以上であれば、た
とえ十分な排気能力を有する大型の真空ポンプを使用し
たとしても水中の溶存酸素濃度を数ｐｐｂ以下まで脱気
する事が困難となる。
構成要件等について更に詳細に説明する。本発明の中空
糸の寸法は、中空糸の両端から減圧する場合を基準とし
て中空糸の有効長が中空糸の内径の５００倍以上５００
０倍以下になるように適当に選択すれば特に制限は無
い。５００倍以下であれば充分な膜面積が得られず、た
とえ十分な排気能力を有する大型の真空ポンプを使用し
たとしても多量の水を溶存酸素濃度を数ｐｐｂ以下まで
脱気する事が困難となる。５０００倍以上であれば、た
とえ十分な排気能力を有する大型の真空ポンプを使用し
たとしても水中の溶存酸素濃度を数ｐｐｂ以下まで脱気
する事が困難となる。
【００２５】中空糸の片端から減圧排気する場合、中空
糸の有効長は、両端排気の場合の２分の１を目安とし、
中空糸の内径の５００倍以上２５００倍以下になるよう
に適当に選択することが好ましい。
糸の有効長は、両端排気の場合の２分の１を目安とし、
中空糸の内径の５００倍以上２５００倍以下になるよう
に適当に選択することが好ましい。
【００２６】中空糸の有効長とは、中空糸の、外表面が
水に接触する部分の長さをいう。中空糸型のモジュール
においては中空糸の端部が接着剤でシールされている。
シールされていることにより外表面が水に接触しない部
分の長さは有効長に含めない。 中空糸の内径及び有効
長がモジュール内で不均一である場合は、中空糸の有効
長の平均値が中空糸の内径の平均値の５００倍以上、５
０００倍以下であれば良い。
水に接触する部分の長さをいう。中空糸型のモジュール
においては中空糸の端部が接着剤でシールされている。
シールされていることにより外表面が水に接触しない部
分の長さは有効長に含めない。 中空糸の内径及び有効
長がモジュール内で不均一である場合は、中空糸の有効
長の平均値が中空糸の内径の平均値の５００倍以上、５
０００倍以下であれば良い。
【００２７】中空糸の外径に特に制限はないが、８０μ
m〜３７０μmであることが好ましく、さらに好ましくは
１５０μm〜２８０μmである。また中空糸膜の内径は４
０μｍ〜２９０μｍが好ましく、さらに好ましくは８０
μｍ〜２５０μｍである。
m〜３７０μmであることが好ましく、さらに好ましくは
１５０μm〜２８０μmである。また中空糸膜の内径は４
０μｍ〜２９０μｍが好ましく、さらに好ましくは８０
μｍ〜２５０μｍである。
【００２８】本発明に記載の膜モジュールに使用する中
空糸は通常の使用条件において実質的に液体として水を
透過させず、膜の水蒸気透過速度が０．５×１０-5〜５
０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍ
Ｈｇ 、好ましくは２.０×１０-5〜５００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇであることを特
徴とする。水蒸気の透過速度が５０００×１０ー5ｃｍ3
（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇを越えると、排
気能力の極めて高い大型の真空ポンプが必要となるばか
りでなく、中空糸の外側に水を流しつつ中空糸の内側を
減圧に保ち脱気を行ういわゆる外部潅流方式で脱気しよ
うとした場合、たとえ十分な排気能力を有する大型の真
空ポンプを使用したとしても水中の溶存酸素濃度を数ｐ
ｐｂ以下まで脱気する事が困難となる。水蒸気透過速度
が０．５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃ
ｍＨｇを下回ると、脱気したいガスの透過速度も低くな
りすぎ水中の溶存酸素濃度を数ｐｐｂ以下まで脱気する
事が困難となる。
空糸は通常の使用条件において実質的に液体として水を
透過させず、膜の水蒸気透過速度が０．５×１０-5〜５
０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍ
Ｈｇ 、好ましくは２.０×１０-5〜５００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇであることを特
徴とする。水蒸気の透過速度が５０００×１０ー5ｃｍ3
（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇを越えると、排
気能力の極めて高い大型の真空ポンプが必要となるばか
りでなく、中空糸の外側に水を流しつつ中空糸の内側を
減圧に保ち脱気を行ういわゆる外部潅流方式で脱気しよ
うとした場合、たとえ十分な排気能力を有する大型の真
空ポンプを使用したとしても水中の溶存酸素濃度を数ｐ
ｐｂ以下まで脱気する事が困難となる。水蒸気透過速度
が０．５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃ
ｍＨｇを下回ると、脱気したいガスの透過速度も低くな
りすぎ水中の溶存酸素濃度を数ｐｐｂ以下まで脱気する
事が困難となる。
【００２９】また本発明に記載の膜の水蒸気透過速度
は、膜の一方の側に水を流し、膜の反対側を減圧し、透
過してきた水をコールドトラップに捕捉しその量を測定
する事により求める。この際膜の両側の水蒸気の圧力差
は、便宜的に水のその温度での飽和水蒸圧から減圧側の
真空圧力を減じた値とする。
は、膜の一方の側に水を流し、膜の反対側を減圧し、透
過してきた水をコールドトラップに捕捉しその量を測定
する事により求める。この際膜の両側の水蒸気の圧力差
は、便宜的に水のその温度での飽和水蒸圧から減圧側の
真空圧力を減じた値とする。
【００３０】本発明に記載の膜モジュールに使用する中
空糸は、酸素透速度が０．５×１０ -5ｃｍ3（ＳＴＰ）
／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〜５０００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇであればよい。
膜の酸素透過速度は除去する気体の種類、水温、操作圧
力等の条件により該範囲内で適切なものを選択できる。
好ましくは膜の酸素透過速度が８×１０-5ｃｍ3（ＳＴ
Ｐ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〜５００×１０-5ｃｍ3
（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇの範囲であり、
さらに好ましくは、１０×１０-5〜１００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇの範囲である。
空糸は、酸素透速度が０．５×１０ -5ｃｍ3（ＳＴＰ）
／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〜５０００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇであればよい。
膜の酸素透過速度は除去する気体の種類、水温、操作圧
力等の条件により該範囲内で適切なものを選択できる。
好ましくは膜の酸素透過速度が８×１０-5ｃｍ3（ＳＴ
Ｐ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ〜５００×１０-5ｃｍ3
（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇの範囲であり、
さらに好ましくは、１０×１０-5〜１００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇの範囲である。
【００３１】酸素透過速度が大きい膜は一般には微多孔
膜となるが、酸素透過速度が５０００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上であると、
例えば加圧された水の脱気及び界面活性剤等を含む水か
らの脱気等の脱気条件によっては水が液体として漏れ出
す場合があり好ましくない。
膜となるが、酸素透過速度が５０００×１０-5ｃｍ
3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上であると、
例えば加圧された水の脱気及び界面活性剤等を含む水か
らの脱気等の脱気条件によっては水が液体として漏れ出
す場合があり好ましくない。
【００３２】ここで膜自身の気体の透過速度の測定はＡ
ＳＴＭ−Ｄ１４３４に準拠して容易に行われる。モジュ
ールの脱気性能は隔膜の酸素透過速度が高くなるにつれ
一般に向上するが、水蒸気の透過速度も大きなものとな
る。両特性のバランスに優れた隔膜を選択する事が重要
である。
ＳＴＭ−Ｄ１４３４に準拠して容易に行われる。モジュ
ールの脱気性能は隔膜の酸素透過速度が高くなるにつれ
一般に向上するが、水蒸気の透過速度も大きなものとな
る。両特性のバランスに優れた隔膜を選択する事が重要
である。
【００３３】本発明に使用する中空糸の素材及び構造及
び形態等特に制限は無いが、膜素材は疎水性の高い素材
が好ましい。例えばポリエチレン系樹脂、ポリプロピレ
ン系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロ
アルコキシフッ素樹脂、ポリヘキサフルオロプロピレン
等の各種フッ素樹脂、ポリブテン系樹脂、シリコーン系
樹脂、ポリ（４−メチルペンテン−１）系樹脂等の素材
が好適に挙げられる。また膜構造も、微多孔膜、均質
膜、不均質膜、複合膜、ポリプロピレン微多孔膜等層で
ウレタン等の薄膜をサンドイッチしたいわゆるサンドイ
ッチ膜等いずれも使用できる。
び形態等特に制限は無いが、膜素材は疎水性の高い素材
が好ましい。例えばポリエチレン系樹脂、ポリプロピレ
ン系樹脂、ポリテトラフルオロエチレン、パーフルオロ
アルコキシフッ素樹脂、ポリヘキサフルオロプロピレン
等の各種フッ素樹脂、ポリブテン系樹脂、シリコーン系
樹脂、ポリ（４−メチルペンテン−１）系樹脂等の素材
が好適に挙げられる。また膜構造も、微多孔膜、均質
膜、不均質膜、複合膜、ポリプロピレン微多孔膜等層で
ウレタン等の薄膜をサンドイッチしたいわゆるサンドイ
ッチ膜等いずれも使用できる。
【００３４】特にポリ（４−メチルペンテン−１）系樹
脂を素材とする中空糸不均質膜は酸素、窒素、炭酸ガス
等のガス透過性に優れ且つ水蒸気バリヤー性が高く最も
好ましい。本不均質膜については、例えば特公平２−３
８２５０号公報、特公平２−５４３７７号公報、特公平
４−１５０１４号公報、特公平４−５００５３号公報及
び特開平５−６６５６号公報等に詳しく述べられてい
る。
脂を素材とする中空糸不均質膜は酸素、窒素、炭酸ガス
等のガス透過性に優れ且つ水蒸気バリヤー性が高く最も
好ましい。本不均質膜については、例えば特公平２−３
８２５０号公報、特公平２−５４３７７号公報、特公平
４−１５０１４号公報、特公平４−５００５３号公報及
び特開平５−６６５６号公報等に詳しく述べられてい
る。
【００３５】ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹
脂及びポリフッ化ビニリデン系樹脂等を素材とする膜の
ごとくその素材のガス透過性が低く、従って液体の脱気
用途に適用するためには微多孔構造を取り、その多孔部
分により脱気せざる得ない様な膜と比較し、ポリ（４−
メチルペンテン−１）系樹脂を素材とする本不均質膜
は、素材自体気体透過性が十分高く、また緻密層部の膜
厚が十分に薄く、膜表面全体が脱気に寄与する事がで
き、結果として実質的な膜面積が大きくなり極めて好ま
しい。
脂及びポリフッ化ビニリデン系樹脂等を素材とする膜の
ごとくその素材のガス透過性が低く、従って液体の脱気
用途に適用するためには微多孔構造を取り、その多孔部
分により脱気せざる得ない様な膜と比較し、ポリ（４−
メチルペンテン−１）系樹脂を素材とする本不均質膜
は、素材自体気体透過性が十分高く、また緻密層部の膜
厚が十分に薄く、膜表面全体が脱気に寄与する事がで
き、結果として実質的な膜面積が大きくなり極めて好ま
しい。
【００３６】また、このポリ（４−メチルペンテン−
１）系樹脂からなる不均質膜は、高い脱気体性能を有し
つつ膜壁を貫く連通細孔の孔径及びその開孔面積が極め
て小さく、従ってＰＰやＰＥの微多孔膜に比べ水蒸気の
バリヤー性に極めて優れた性能を有する。
１）系樹脂からなる不均質膜は、高い脱気体性能を有し
つつ膜壁を貫く連通細孔の孔径及びその開孔面積が極め
て小さく、従ってＰＰやＰＥの微多孔膜に比べ水蒸気の
バリヤー性に極めて優れた性能を有する。
【００３７】さらに、実質的に膜を貫く連通細孔が全く
無いポリ（４−メチルペンテン−１）系樹脂からなるい
わゆる非多孔不均質膜も必要に応じて脱気膜に適用でき
る。かかる非多孔不均質膜は例えば半導体製造用の現像
液やレジスト液等の界面活性剤や膜を濡らす溶剤を含む
液体の脱気用途に好適である。
無いポリ（４−メチルペンテン−１）系樹脂からなるい
わゆる非多孔不均質膜も必要に応じて脱気膜に適用でき
る。かかる非多孔不均質膜は例えば半導体製造用の現像
液やレジスト液等の界面活性剤や膜を濡らす溶剤を含む
液体の脱気用途に好適である。
【００３８】本発明の中空糸の内側は、脱気する液体の
飽和蒸気圧を５ｍｍＨｇ越えた圧力以下の減圧に保つこ
とが好ましく、更に好ましくは飽和蒸気圧以下であるこ
とが好ましい。また、減圧は、単に真空ポンプで排気す
るのみでも良いが、適切なスイープガスを流しながら真
空ポンプで排気しても良い。特定のガスのみを除去する
場合には、スイープガスを併用する方法は有効である。
例えば、溶存酸素のみを除去することが重要な場合は、
スイープガスとして窒素ガス、アルゴンガス、炭酸ガス
等が有効に用いられる。
飽和蒸気圧を５ｍｍＨｇ越えた圧力以下の減圧に保つこ
とが好ましく、更に好ましくは飽和蒸気圧以下であるこ
とが好ましい。また、減圧は、単に真空ポンプで排気す
るのみでも良いが、適切なスイープガスを流しながら真
空ポンプで排気しても良い。特定のガスのみを除去する
場合には、スイープガスを併用する方法は有効である。
例えば、溶存酸素のみを除去することが重要な場合は、
スイープガスとして窒素ガス、アルゴンガス、炭酸ガス
等が有効に用いられる。
【００３９】尚、片端からスイープガスを流し他端から
減圧排気する場合の中空糸の有効長と内径の比率は、両
端から減圧排気する場合の基準に従う。脱気する水の温
度に特に制限はないが、水温は高いほうが好ましい。水
温が高い場合、脱気効率を上げ多量の水を効率良く脱気
する事ができるばかりでなく、水温を高めることによ
り、飽和水蒸気圧も上昇し、したがって膜の気相側の真
空圧力をその分高くても脱気が可能となる。これにより
真空装置の負荷を軽減する事ができ、従って真空装置の
小型化も可能となる。脱気する水の温度は１０℃〜５０
℃が好ましくさらに好ましくは２０℃〜５０℃である。
減圧排気する場合の中空糸の有効長と内径の比率は、両
端から減圧排気する場合の基準に従う。脱気する水の温
度に特に制限はないが、水温は高いほうが好ましい。水
温が高い場合、脱気効率を上げ多量の水を効率良く脱気
する事ができるばかりでなく、水温を高めることによ
り、飽和水蒸気圧も上昇し、したがって膜の気相側の真
空圧力をその分高くても脱気が可能となる。これにより
真空装置の負荷を軽減する事ができ、従って真空装置の
小型化も可能となる。脱気する水の温度は１０℃〜５０
℃が好ましくさらに好ましくは２０℃〜５０℃である。
【００４０】本発明のモジュールの構造及び中空糸膜の
充填方法は脱気される水に遍流が発生しないように構成
されておれば良く、例えば特開平２−１０２７１４号公
報等にいくつかのモジュール構造が開示されている。
充填方法は脱気される水に遍流が発生しないように構成
されておれば良く、例えば特開平２−１０２７１４号公
報等にいくつかのモジュール構造が開示されている。
【００４１】当該公報に記載の外部潅流型モジュール
は、脱気する水の遍流を容易に抑制でき、且つ耐圧性に
優れ、構造が単純であり、また製造が容易である特徴を
有する。
は、脱気する水の遍流を容易に抑制でき、且つ耐圧性に
優れ、構造が単純であり、また製造が容易である特徴を
有する。
【００４２】中空糸の充填方法に制限はなく、中空糸を
不織布体、編み物、織物、好ましいくは中空糸膜を緯糸
または経糸とし、他の糸たとえばポリエステル等からな
るモノフィラメント糸またはマルチフィラメント糸を経
糸緯糸として組織された編み物または織物としてケース
に充填することが好ましい。本発明に記載の外部潅流モ
ジュール構造の好ましい実施形態の一例のモデル図を図
１に示す。
不織布体、編み物、織物、好ましいくは中空糸膜を緯糸
または経糸とし、他の糸たとえばポリエステル等からな
るモノフィラメント糸またはマルチフィラメント糸を経
糸緯糸として組織された編み物または織物としてケース
に充填することが好ましい。本発明に記載の外部潅流モ
ジュール構造の好ましい実施形態の一例のモデル図を図
１に示す。
【００４３】本発明のモジュールの接続の仕方も並列、
直列どちらでも良いが、脱気する水の流動圧力損失が許
容できる範囲であれば、直列につなぐほうが膜面積あた
りの脱気効率を高めることができより好ましい。
直列どちらでも良いが、脱気する水の流動圧力損失が許
容できる範囲であれば、直列につなぐほうが膜面積あた
りの脱気効率を高めることができより好ましい。
【００４４】
【実施例】次に実施例、比較例により本発明を具体的に
説明するが、本発明はこれにより何等限定されるもので
はない。
説明するが、本発明はこれにより何等限定されるもので
はない。
【００４５】実施例１ ポリプロピレンを素材とする酸素透過速度が約８２０×
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水
蒸気透過速度が１０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約３００μｍ、内径約２
１０μｍの中空糸微多孔膜を横糸とし、３０デニールの
ポリエステルのマルチフィラメントを縦糸として、中空
糸打ち込み本数５８本/吋の簾状シートを調製し、中空
糸有効長４００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積３０ｍ
2で、簾巻き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔
パイプにスパイラル状に巻き付け、モジュールケース内
に組み込んだ図１に示す構造を有する外部潅流型モジュ
ール１を作成した。中空糸の有効長は、中空糸内径の約
１９００倍となっている。
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水
蒸気透過速度が１０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約３００μｍ、内径約２
１０μｍの中空糸微多孔膜を横糸とし、３０デニールの
ポリエステルのマルチフィラメントを縦糸として、中空
糸打ち込み本数５８本/吋の簾状シートを調製し、中空
糸有効長４００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積３０ｍ
2で、簾巻き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔
パイプにスパイラル状に巻き付け、モジュールケース内
に組み込んだ図１に示す構造を有する外部潅流型モジュ
ール１を作成した。中空糸の有効長は、中空糸内径の約
１９００倍となっている。
【００４６】図３にモジュールの脱気装置のフローを示
す。モジュールの入り口より水温２５℃の空気飽和水を
流し、 図中１２に示す排気速度約毎分４００リットル
のスクロールドライ真空ポンプを使用し、中空糸内孔を
中空糸両端から排気したところ、気相側圧力が２０ｍｍ
Ｈｇに到達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄ
o値）をポーラグラフィック酸素計により測定した。Ｄo
値が約２０ｐｐｂに脱気された水を約０．５ｔ／ｈｒ得
ることが出来た。さらにＤｏ値約３５ｐｐｂに脱気され
た水を約１．５ｔ／ｈｒ得ることが出来た。
す。モジュールの入り口より水温２５℃の空気飽和水を
流し、 図中１２に示す排気速度約毎分４００リットル
のスクロールドライ真空ポンプを使用し、中空糸内孔を
中空糸両端から排気したところ、気相側圧力が２０ｍｍ
Ｈｇに到達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄ
o値）をポーラグラフィック酸素計により測定した。Ｄo
値が約２０ｐｐｂに脱気された水を約０．５ｔ／ｈｒ得
ることが出来た。さらにＤｏ値約３５ｐｐｂに脱気され
た水を約１．５ｔ／ｈｒ得ることが出来た。
【００４７】実施例２ 実施例１と同一の簾状シートを使用し、中空糸有効長７
００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積３０ｍ2で、簾巻き層
の厚みが約３５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイ
ラル状に巻き付け、モジュールケース内に組み込んだ図
１に示す構造を有する外部潅流型モジュール２を作成し
た。中空糸の有効長は、中空糸内径の約３３３３倍とな
っている。モジュールの入り口より水温２５℃の空気飽
和水を流し、実施例１と同様にして中空糸内孔を中空糸
両端から排気したところ、気相圧力が２３ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。Ｄo値が約
３０ｐｐｂに脱気された水を約０．５ｔ／ｈｒ得ること
が出来た。さらにＤｏ値約４７ｐｐｂに脱気された水を
約１．５ｔ／ｈｒ得ることが出来た。
００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積３０ｍ2で、簾巻き層
の厚みが約３５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイ
ラル状に巻き付け、モジュールケース内に組み込んだ図
１に示す構造を有する外部潅流型モジュール２を作成し
た。中空糸の有効長は、中空糸内径の約３３３３倍とな
っている。モジュールの入り口より水温２５℃の空気飽
和水を流し、実施例１と同様にして中空糸内孔を中空糸
両端から排気したところ、気相圧力が２３ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。Ｄo値が約
３０ｐｐｂに脱気された水を約０．５ｔ／ｈｒ得ること
が出来た。さらにＤｏ値約４７ｐｐｂに脱気された水を
約１．５ｔ／ｈｒ得ることが出来た。
【００４８】実施例３ ポリ（４−メチルペンテン−１）を素材とし、酸素透過
速度が約２０×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ、水蒸気透過速度が２５×１０-5ｃｍ3（Ｓ
ＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約２５０μm、
内径約１９０μmの中空糸不均質膜を使用し、中空糸有
効長５００ｍｍ、、中空糸外径基準膜面積４０ｍ2、簾巻
き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにス
パイラル状に巻き付け以外は実施例１と同様にして外部
潅流型モジュール３を得た。中空糸の有効長は、中空糸
内径の約２６３２倍となっている。モジュールの入り口
より水温２５℃の空気飽和水を流し、実施例１と同様に
して中空糸内孔を排気したところ、気相圧力が１８ｍｍ
Ｈｇに到達した。また、気相側圧力、水の流量を種々変
更した実験を行った。
速度が約２０×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ、水蒸気透過速度が２５×１０-5ｃｍ3（Ｓ
ＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約２５０μm、
内径約１９０μmの中空糸不均質膜を使用し、中空糸有
効長５００ｍｍ、、中空糸外径基準膜面積４０ｍ2、簾巻
き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにス
パイラル状に巻き付け以外は実施例１と同様にして外部
潅流型モジュール３を得た。中空糸の有効長は、中空糸
内径の約２６３２倍となっている。モジュールの入り口
より水温２５℃の空気飽和水を流し、実施例１と同様に
して中空糸内孔を排気したところ、気相圧力が１８ｍｍ
Ｈｇに到達した。また、気相側圧力、水の流量を種々変
更した実験を行った。
【００４９】結果を図５のグラフ１をに示す。Ｄo値が
約０．５ｐｐｂまで脱気された水を約１ｔ／ｈｒ得るこ
とが出来た。さらに、Ｄo値が約５０ｐｐｂに脱気され
た水を２ｔ／ｈｒ得ることが出来た。
約０．５ｐｐｂまで脱気された水を約１ｔ／ｈｒ得るこ
とが出来た。さらに、Ｄo値が約５０ｐｐｂに脱気され
た水を２ｔ／ｈｒ得ることが出来た。
【００５０】実施例４ ポリエチレンを素材とし、酸素透過速度が約２５００×
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水
蒸気透過速度が３７００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約３５０μm、内径約２５
０μmの中空糸不均質膜を使用し、中空糸有効長１００
０ｍｍ、、中空糸外径基準膜面積４０ｍ 2、簾巻き層の厚
みが約３５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイラル
状に巻き付け以外は実施例１と同様にして外部潅流型モ
ジュール４を得た。中空糸の有効長は、中空糸内径の約
４０００倍となっている。
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水
蒸気透過速度が３７００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約３５０μm、内径約２５
０μmの中空糸不均質膜を使用し、中空糸有効長１００
０ｍｍ、、中空糸外径基準膜面積４０ｍ 2、簾巻き層の厚
みが約３５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイラル
状に巻き付け以外は実施例１と同様にして外部潅流型モ
ジュール４を得た。中空糸の有効長は、中空糸内径の約
４０００倍となっている。
【００５１】モジュールの入り口より水温３０℃の空気
飽和水を流し、実施例１と同様にして中空糸内孔を排気
したところ、気相圧力が３５ｍｍＨｇに到達した。モジ
ュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）をポーラグラフ
ィック酸素計により測定した。Ｄo値が約４０ｐｐｂに
脱気された水を約１ｔ／ｈｒ得ることが出来た。さらに
Ｄｏ値約４５ｐｐｂに脱気された水を約１．５ｔ／ｈｒ
得ることが出来た。
飽和水を流し、実施例１と同様にして中空糸内孔を排気
したところ、気相圧力が３５ｍｍＨｇに到達した。モジ
ュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）をポーラグラフ
ィック酸素計により測定した。Ｄo値が約４０ｐｐｂに
脱気された水を約１ｔ／ｈｒ得ることが出来た。さらに
Ｄｏ値約４５ｐｐｂに脱気された水を約１．５ｔ／ｈｒ
得ることが出来た。
【００５２】実施例５ ポリエチレンを素材とし、酸素透過速度が約３０００×
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水
蒸気透過速度が４５００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約２５０μm、内径約１９
０μmの中空糸微多孔膜を横糸として、３０デニールの
ポリエステルマルチフィラメントを縦糸として、中空糸
不均質膜の打ち込み本数約７０本/吋の簾を調製し、中
空糸有効長を１５０ｍｍとし、中空糸外径基準膜面積７
ｍ2、簾の積層厚み５０ｍｍで、図２に示すモジュールケ
ース内に組み込んだ外部潅流型モジュール５を作成し
た。中空糸の有効長は、中空糸内径の約７９０倍となっ
ている。
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、水
蒸気透過速度が４５００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃ
ｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約２５０μm、内径約１９
０μmの中空糸微多孔膜を横糸として、３０デニールの
ポリエステルマルチフィラメントを縦糸として、中空糸
不均質膜の打ち込み本数約７０本/吋の簾を調製し、中
空糸有効長を１５０ｍｍとし、中空糸外径基準膜面積７
ｍ2、簾の積層厚み５０ｍｍで、図２に示すモジュールケ
ース内に組み込んだ外部潅流型モジュール５を作成し
た。中空糸の有効長は、中空糸内径の約７９０倍となっ
ている。
【００５３】モジュールの入り口より水温２０℃の溶存
酸素濃度５００ｐｐｂの水を流し、第３図中に示す排気
速度約毎分７０リットルの水封式真空ポンプを使用し、
中空糸内孔を中空糸両端より排気したところ、気相圧力
が２０ｍｍＨｇに到達した。
酸素濃度５００ｐｐｂの水を流し、第３図中に示す排気
速度約毎分７０リットルの水封式真空ポンプを使用し、
中空糸内孔を中空糸両端より排気したところ、気相圧力
が２０ｍｍＨｇに到達した。
【００５４】モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo
値）をポーラグラフィック酸素計により測定した。Ｄo
値が約５ｐｐｂに脱気された水を約０．５ｔ／ｈｒ得る
ことが出来た。さらに、Ｄｏ値が３０ｐｐｂに脱気され
た水を１ｔ／ｈｒ得ることができた。
値）をポーラグラフィック酸素計により測定した。Ｄo
値が約５ｐｐｂに脱気された水を約０．５ｔ／ｈｒ得る
ことが出来た。さらに、Ｄｏ値が３０ｐｐｂに脱気され
た水を１ｔ／ｈｒ得ることができた。
【００５５】実施例６ 外部灌流型モジュール１を使用し、モジュールの入り口
より水温２５℃の空気飽和水を流し、図４に示すように
中空糸の片方から窒素ガスを毎分５ｍｌの流量で流入さ
せ、排気速度約毎分４００リットルのスクロールドライ
真空ポンプを使用し、中空糸の他端内孔を排気したとこ
ろ、気相側圧力が２７ｍｍＨｇに到達した。モジュール
の出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）をポーラグラフィック
酸素計により測定した。Ｄo値が約１８ｐｐｂに脱気さ
れた水を約０．５ｔ／ｈｒ得ることが出来た。さらにＤ
ｏ値約３０ｐｐｂに脱気された水を約１．５ｔ／ｈｒ得
ることが出来た。
より水温２５℃の空気飽和水を流し、図４に示すように
中空糸の片方から窒素ガスを毎分５ｍｌの流量で流入さ
せ、排気速度約毎分４００リットルのスクロールドライ
真空ポンプを使用し、中空糸の他端内孔を排気したとこ
ろ、気相側圧力が２７ｍｍＨｇに到達した。モジュール
の出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）をポーラグラフィック
酸素計により測定した。Ｄo値が約１８ｐｐｂに脱気さ
れた水を約０．５ｔ／ｈｒ得ることが出来た。さらにＤ
ｏ値約３０ｐｐｂに脱気された水を約１．５ｔ／ｈｒ得
ることが出来た。
【００５６】比較例１ 実施例１と同一の簾状シートを使用し、中空糸有効長１
２００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積５０ｍ2で、簾巻き
層の厚みが約３５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパ
イラル状に巻き付け、モジュールケース内に組み込んだ
図１に示す構造を有する外部潅流型モジュール６を作成
した。中空糸の有効長は、中空糸内径の約５７１４倍と
なっている。
２００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積５０ｍ2で、簾巻き
層の厚みが約３５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパ
イラル状に巻き付け、モジュールケース内に組み込んだ
図１に示す構造を有する外部潅流型モジュール６を作成
した。中空糸の有効長は、中空糸内径の約５７１４倍と
なっている。
【００５７】実施例１と同様にして中空糸内孔を中空糸
両端より排気したところ、気相圧力が２３ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。水の流量を
種々変化させた場合の結果を図６のグラフ２に示す。水
の流量を種々変化させてもＤｏ値は最小で７０ｐｐｂに
到達するのみであった。
両端より排気したところ、気相圧力が２３ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。水の流量を
種々変化させた場合の結果を図６のグラフ２に示す。水
の流量を種々変化させてもＤｏ値は最小で７０ｐｐｂに
到達するのみであった。
【００５８】比較例２ 実施例１と同一の簾状シートを使用し、中空糸有効長８
０ｍｍ、中空糸外径基準膜面積３ｍ2で、簾巻き層の厚
みが約５０ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイラル
状に巻き付け、モジュールケース内に組み込んだ図１に
示す構造を有する外部潅流型モジュール７を作成した。
中空糸の有効長は、中空糸内径の約３８０倍となってい
る。
０ｍｍ、中空糸外径基準膜面積３ｍ2で、簾巻き層の厚
みが約５０ｍｍとなるよう簾を多孔パイプにスパイラル
状に巻き付け、モジュールケース内に組み込んだ図１に
示す構造を有する外部潅流型モジュール７を作成した。
中空糸の有効長は、中空糸内径の約３８０倍となってい
る。
【００５９】実施例１と同様にして中空糸内孔を中空糸
両端より排気したところ、気相圧力が１８ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。水の流量が
０．５ｔ／ｈｒではＤｏ値は７０ｐｐｂに到達するのみ
であった。水の流量０．２ｔ／ｈｒにおいてＤｏ値が３
０ｐｐｂに到達する。
両端より排気したところ、気相圧力が１８ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。水の流量が
０．５ｔ／ｈｒではＤｏ値は７０ｐｐｂに到達するのみ
であった。水の流量０．２ｔ／ｈｒにおいてＤｏ値が３
０ｐｐｂに到達する。
【００６０】比較例３ ポリプロピレンを素材とする酸素透過速度が約６０００
×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、
水蒸気透過速度が８０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／
ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約３５０μｍ、内径約
２６０μｍの中空糸微多孔膜を横糸とし、３０デニール
のポリエステルのマルチフィラメントを縦糸として、中
空糸打ち込み本数５８本/吋の簾状シートを調製し、中
空糸有効長４００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積２０ｍ2
で、簾巻き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔パ
イプにスパイラル状に巻き付け、モジュールケース内に
組み込んだ図１に示す構造を有する外部潅流型モジュー
ル８を作成した。中空糸の有効長は、中空糸内径の約１
５３８倍となっている。
×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ、
水蒸気透過速度が８０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／
ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約３５０μｍ、内径約
２６０μｍの中空糸微多孔膜を横糸とし、３０デニール
のポリエステルのマルチフィラメントを縦糸として、中
空糸打ち込み本数５８本/吋の簾状シートを調製し、中
空糸有効長４００ｍｍ、中空糸外径基準膜面積２０ｍ2
で、簾巻き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔パ
イプにスパイラル状に巻き付け、モジュールケース内に
組み込んだ図１に示す構造を有する外部潅流型モジュー
ル８を作成した。中空糸の有効長は、中空糸内径の約１
５３８倍となっている。
【００６１】実施例１と同様にして中空糸内孔を中空糸
両端より排気したところ、気相圧力が２３ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。水の流量を
種々変化させてもＤｏ値は最小で１００ｐｐｂに到達す
るのみであった。高度脱気水を多量に製造することは困
難である。
両端より排気したところ、気相圧力が２３ｍｍＨｇに到
達した。モジュールの出口の溶存酸素濃度（Ｄo値）を
ポーラグラフィック酸素計により測定した。水の流量を
種々変化させてもＤｏ値は最小で１００ｐｐｂに到達す
るのみであった。高度脱気水を多量に製造することは困
難である。
【００６２】比較例４ ポリ（４−メチルペンテン−１）を素材とし、酸素透過
速度が約０．１×１０ -5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅ
ｃ・ｃｍＨｇ、水蒸気透過速度が０．３×１０ -5ｃｍ3
（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約２５０
μm、内径約１９０μmの中空糸均質膜を使用し、中空糸
有効長５００ｍｍ、、中空糸外径基準膜面積４０ｍ2、簾
巻き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプに
スパイラル状に巻き付け以外は実施例１と同様にして外
部潅流型モジュール９を得た。中空糸の有効長は、中空
糸内径の約２６３２倍となっている。モジュールの入り
口より水温２５℃の空気飽和水を流し、実施例１と同様
にして中空糸内孔を中空糸両端より排気したところ、気
相圧力が５ｍｍＨｇに到達した。水の流量を種々変化さ
せてもＤｏ値は最小で１５０ｐｐｂに到達するのみであ
った。
速度が約０．１×１０ -5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅ
ｃ・ｃｍＨｇ、水蒸気透過速度が０．３×１０ -5ｃｍ3
（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇで外径約２５０
μm、内径約１９０μmの中空糸均質膜を使用し、中空糸
有効長５００ｍｍ、、中空糸外径基準膜面積４０ｍ2、簾
巻き層の厚みが約５５ｍｍとなるよう簾を多孔パイプに
スパイラル状に巻き付け以外は実施例１と同様にして外
部潅流型モジュール９を得た。中空糸の有効長は、中空
糸内径の約２６３２倍となっている。モジュールの入り
口より水温２５℃の空気飽和水を流し、実施例１と同様
にして中空糸内孔を中空糸両端より排気したところ、気
相圧力が５ｍｍＨｇに到達した。水の流量を種々変化さ
せてもＤｏ値は最小で１５０ｐｐｂに到達するのみであ
った。
【００６３】
【発明の効果】本発明は以上の如きものであるから、本
発明液体脱気用モジュールを用いて、種々の液体中の種
々の溶存気体の分離・脱気すること、例えば特に水の中
に存在する各種気体を高度に除去・脱気することが可能
とされ、各種溶存気体、特に水中溶存酸素の濃度を、中
空糸の内側気圧を脱気する水の温度における水蒸気圧に
５ｔｏｒｒを加えた圧力以下に減圧することにより、驚
くべき事に、５０ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以
下、最も好ましくは１ｐｐｂ以下に脱気することができ
る。
発明液体脱気用モジュールを用いて、種々の液体中の種
々の溶存気体の分離・脱気すること、例えば特に水の中
に存在する各種気体を高度に除去・脱気することが可能
とされ、各種溶存気体、特に水中溶存酸素の濃度を、中
空糸の内側気圧を脱気する水の温度における水蒸気圧に
５ｔｏｒｒを加えた圧力以下に減圧することにより、驚
くべき事に、５０ｐｐｂ以下、好ましくは１０ｐｐｂ以
下、最も好ましくは１ｐｐｂ以下に脱気することができ
る。
【００６４】しかも本発明モジュールは、超脱気水をコ
ンパクトな装置で、即ち極めて小容量の真空ポンプの使
用で極めて効率良く多量に製造することができる。従っ
て本発明は、例えばボイラーの供給用の脱酸素水、半導
体製造プロセスの超純水製造工程での脱酸素、脱炭酸及
び脱窒素に代表される各種溶存ガスの超脱気及びリソグ
ラフィー工程でのレジスト液及び現像液の脱気や、ビル
やマンション等の赤水防止、発電用水の脱酸素や脱炭
酸、医療用水の脱気や食品用水の脱酸素水の製造等に利
用出来る。
ンパクトな装置で、即ち極めて小容量の真空ポンプの使
用で極めて効率良く多量に製造することができる。従っ
て本発明は、例えばボイラーの供給用の脱酸素水、半導
体製造プロセスの超純水製造工程での脱酸素、脱炭酸及
び脱窒素に代表される各種溶存ガスの超脱気及びリソグ
ラフィー工程でのレジスト液及び現像液の脱気や、ビル
やマンション等の赤水防止、発電用水の脱酸素や脱炭
酸、医療用水の脱気や食品用水の脱酸素水の製造等に利
用出来る。
【図１】実施例及び比較例で用いた外部潅流型中空糸膜
モジュールの第１のタイプのモデル図である。
モジュールの第１のタイプのモデル図である。
【図２】実施例及び比較例で用いた外部潅流型中空糸膜
モジュールの第２のタイプのモデル図である。
モジュールの第２のタイプのモデル図である。
【図３】本発明の実施例及び比較例で用いた脱気モジュ
ールの評価システムの第１のタイプの概念図である。
ールの評価システムの第１のタイプの概念図である。
【図４】本発明の実施例及び比較例で用いた脱気モジュ
ールの評価システムの第２のタイプの概念図である。
ールの評価システムの第２のタイプの概念図である。
【図５】本発明の実施例３で達せられた脱酸素特性を示
すグラフである。
すグラフである。
【図６】比較例１で達せられた脱酸素特性を示すグラフ
である。
である。
１ キャップ ２ 脱気口 ３ 中空糸膜簾 ４ ハウジング ５ 原水入口 ６ 樹脂封止部 ７ 脱気処理水出口 ８ 多孔パイプ ９ 膜モジュール １０ 真空圧力計 １１ コンダクタンスバルブ １２ 真空ポンプ。
Claims (7)
- 【請求項１】 中空糸の外側に水を流し、中空糸の内側
を減圧することにより、液体を脱気する外部還流型脱気
モジュールにおいて、中空糸膜の水蒸気透過速度が０．
５×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ
以上５０００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ
・ｃｍＨｇ以下であり、中空糸の有効長が中空糸の内径
の５００倍以上５０００倍以下（中空糸の両端から減圧
する場合を基準として）であることを特徴とする液体脱
気用モジュール。 - 【請求項２】 中空糸膜の水蒸気透過速度が２×１０-5
ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上５００
×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以
下である請求項１記載の液体脱気用モジュール。 - 【請求項３】 中空糸膜の酸素透過速度が０．５×１０
-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上５０
００×１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨ
ｇ以下である請求項１又は２記載の液体脱気用モジュー
ル。 - 【請求項４】 中空糸膜の酸素透過速度が８×１０-5ｃ
ｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以上５００×
１０-5ｃｍ3（ＳＴＰ）／ｃｍ2・ｓｅｃ・ｃｍＨｇ以下
である請求項３記載の液体脱気用モジュール。 - 【請求項５】 中空糸膜がポリ（４−メチルペンテン−
１）樹脂を素材とする中空糸不均質膜であることを特徴
とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の液体脱気用
モジュール。 - 【請求項６】 水中の溶存酸素濃度を５０ｐｐｂ以下ま
で除去すること目的とする請求項１〜５のいずれか１つ
に記載の液体脱気用モジュール。 - 【請求項７】 中空糸の内側を、脱気する水の温度にお
ける水蒸気圧に５ｍｍＨｇを加えた圧力以下に減圧する
ことを目的とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の
液体脱気用モジュール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17025697A JP3685289B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 液体脱気用モジュール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17025697A JP3685289B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 液体脱気用モジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH119902A true JPH119902A (ja) | 1999-01-19 |
| JP3685289B2 JP3685289B2 (ja) | 2005-08-17 |
Family
ID=15901577
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17025697A Expired - Lifetime JP3685289B2 (ja) | 1997-06-26 | 1997-06-26 | 液体脱気用モジュール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3685289B2 (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004281075A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-10-07 | Seibu Gas Co Ltd | 固体高分子形燃料電池用水処理装置 |
| US7377112B2 (en) | 2005-06-22 | 2008-05-27 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation for improved combustion performance |
| US7393388B2 (en) | 2005-05-13 | 2008-07-01 | United Technologies Corporation | Spiral wound fuel stabilization unit for fuel de-oxygenation |
| US7435283B2 (en) | 2005-05-18 | 2008-10-14 | United Technologies Corporation | Modular fuel stabilization system |
| US7465336B2 (en) | 2005-06-09 | 2008-12-16 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-planar plate members |
| US7569099B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-08-04 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-metallic fuel plate assembly |
| US7582137B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-09-01 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenator with non-planar fuel channel and oxygen permeable membrane |
| US7615104B2 (en) | 2005-11-03 | 2009-11-10 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with multi-layer oxygen permeable membrane |
| JP2009268980A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心機 |
| US7824470B2 (en) | 2006-01-18 | 2010-11-02 | United Technologies Corporation | Method for enhancing mass transport in fuel deoxygenation systems |
| JP2012076076A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-04-19 | Shefco Co Ltd | 飲料用水素含有水を製造する方法 |
| JP2012161793A (ja) * | 2000-06-02 | 2012-08-30 | Celgard Inc | 膜接触装置による液体の脱ガス |
| JP2013049002A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 廃水の処理方法、および廃水の処理装置 |
| JP5731093B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2015-06-10 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットインクの脱気方法およびインクジェットインクの製造方法 |
| CN112362613A (zh) * | 2020-10-22 | 2021-02-12 | 中国科学院南海海洋研究所 | 一种低功耗小体积长期值守深海痕量气体原位测量仪 |
| JP6979556B1 (ja) * | 2020-12-18 | 2021-12-15 | 恵二 渡辺 | 酒類中の自然発泡炭酸ガスの残存ならびに劣化抑止システム |
-
1997
- 1997-06-26 JP JP17025697A patent/JP3685289B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014159032A (ja) * | 2000-06-02 | 2014-09-04 | Celgard Inc | 膜接触装置による液体の脱ガス |
| JP2012161793A (ja) * | 2000-06-02 | 2012-08-30 | Celgard Inc | 膜接触装置による液体の脱ガス |
| JP4655451B2 (ja) * | 2003-03-12 | 2011-03-23 | 西部瓦斯株式会社 | 固体高分子形燃料電池システム |
| JP2004281075A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-10-07 | Seibu Gas Co Ltd | 固体高分子形燃料電池用水処理装置 |
| US7393388B2 (en) | 2005-05-13 | 2008-07-01 | United Technologies Corporation | Spiral wound fuel stabilization unit for fuel de-oxygenation |
| US7435283B2 (en) | 2005-05-18 | 2008-10-14 | United Technologies Corporation | Modular fuel stabilization system |
| US7465336B2 (en) | 2005-06-09 | 2008-12-16 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-planar plate members |
| US7377112B2 (en) | 2005-06-22 | 2008-05-27 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation for improved combustion performance |
| US7615104B2 (en) | 2005-11-03 | 2009-11-10 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with multi-layer oxygen permeable membrane |
| JP5731093B2 (ja) * | 2005-11-30 | 2015-06-10 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットインクの脱気方法およびインクジェットインクの製造方法 |
| US7824470B2 (en) | 2006-01-18 | 2010-11-02 | United Technologies Corporation | Method for enhancing mass transport in fuel deoxygenation systems |
| US7582137B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-09-01 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenator with non-planar fuel channel and oxygen permeable membrane |
| US7569099B2 (en) | 2006-01-18 | 2009-08-04 | United Technologies Corporation | Fuel deoxygenation system with non-metallic fuel plate assembly |
| JP2009268980A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi Koki Co Ltd | 遠心機 |
| JP2012076076A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-04-19 | Shefco Co Ltd | 飲料用水素含有水を製造する方法 |
| JP2013049002A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | 廃水の処理方法、および廃水の処理装置 |
| CN112362613A (zh) * | 2020-10-22 | 2021-02-12 | 中国科学院南海海洋研究所 | 一种低功耗小体积长期值守深海痕量气体原位测量仪 |
| JP6979556B1 (ja) * | 2020-12-18 | 2021-12-15 | 恵二 渡辺 | 酒類中の自然発泡炭酸ガスの残存ならびに劣化抑止システム |
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|---|---|
| JP3685289B2 (ja) | 2005-08-17 |
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