JPH1196766A - ロジック混載メモリ - Google Patents

ロジック混載メモリ

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JPH1196766A
JPH1196766A JP10185299A JP18529998A JPH1196766A JP H1196766 A JPH1196766 A JP H1196766A JP 10185299 A JP10185299 A JP 10185299A JP 18529998 A JP18529998 A JP 18529998A JP H1196766 A JPH1196766 A JP H1196766A
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友章 矢部
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 メモリマクロの設計期間の短縮と占有面積の
縮小を図る。 【解決手段】 メモリマクロ12は、Kビットの記憶容
量のメモリセルアレイ及びセンスアンプを含むL個のメ
モリアレイブロック1−1,1−2,…1−Lを有す
る。センスアンプを動作させるドライバの電源を発生す
る回路を含むメモリアレイ電源ドライバブロック4−
1,4−2,…4−Lは、メモリアレイブロック1−
1,1−2,…1−Lに対応して設けられている。メモ
リアレイブロック1−1,1−2,…1−Lは、カラム
方向に互いに隣接して配置され、メモリアレイブロック
1−1,1−2,…1−L上には、カラム方向に伸びる
DQ線対が配置されている。電源線ブロック6a−L,
6b−L,7a,7b,8a,8bは、メモリアレイブ
ロックのロウ方向の端部に配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、データを記憶する
メモリとデータについて所定の演算を行うロジックがワ
ンチップに集積されたロジック混載メモリのメモリマク
ロの構成及び設計手法に関する。
【0002】
【従来の技術】図40は、ロジック混載メモリのチップ
上のレイアウトを示している。
【0003】チップ10は、ロジック部11、メモリ部
(以下、メモリマクロと称する)12及び入出力部(以
下、I/O部と称する)13により占められている。メ
モリマクロ12は、メモリとしての機能を有する機能ブ
ロック(IP:IntellectualProperty )又はメガセル
を設計した後、この機能ブロック又はメガセルをチップ
10にそのまま配置することにより形成される。
【0004】チップ10には、最低、一つのメモリマク
ロ12が配置される。図41に示すように、チップ10
には、メモリマクロ12の他に、PLL回路などの所定
の機能を有する機能ブロック(又はメガセル)14a,
14bを配置してもよい。チップ10のうち、メモリマ
クロ12及び機能ブロック14a,14bが配置される
領域以外の領域は、所定の演算を実行するための回路が
形成されるロジック部11を構成している。
【0005】ロジック部11は、ゲートアレイやスタン
ダードセルなどの設計手法によって設計される。
【0006】メモリマクロ12は、メモリマクロ12が
SRAM(スタティックランダムアクセスメモリ)から
構成される場合、CAD処理により所定の行数及び所定
の列数のマトリクス状にメモリセルアレイを自動配置す
る自動設計手法により設計される。
【0007】一方、メモリマクロ12が1メガビット以
上の記憶容量のDRAM(ダイナミックランダムアクセ
スメモリ)から構成される場合、DRAMの動作マージ
ンがビット線やワード線の寄生容量に大きく依存するこ
とから、メモリマクロ12の設計には上述の自動設計手
法を採用することができない。
【0008】そこで、従来、メモリマクロ12が1メガ
ビット以上の記憶容量を持つDRAMから構成される場
合、記憶容量の最小単位となるメモリマクロいわゆるサ
ブメモリマクロを予め設計者による手設計により設計し
ておき、ロジック混載メモリの仕様(ロウ数、カラム
数、入出力数(I/O数)、記憶容量など)に応じて必
要な数だけサブメモリマクロを組み合わせるという設計
手法により形成するのが一般的となっている。この手法
によれば、サブメモリマクロを組み合わせるだけでメモ
リマクロが形成できるため、短い設計期間(TAT:タ
ーンアラウンドタイム)でメモリマクロを設計できる。
各々のサブメモリマクロは、独立した一つのDRAMと
して動作するものであり、例えば、一つのサブメモリマ
クロをそのまま通常のDRAMとして製品化することも
可能である。
【0009】図42は、従来のメモリマクロのフロアプ
ランの一例を示すものである。
【0010】このメモリマクロ12は、各々、例えば、
2メガビットの記憶容量のDRAMとして機能する四つ
のサブメモリマクロ15a〜15dから構成されてい
る。各々のサブメモリマクロは2メガビットの記憶容量
のDRAMとして機能するため、メモリマクロ12は、
8(2×L)メガビットの記憶容量のDRAMとなる
(Lはサブメモリマクロの数を意味し、ここではL=4
の場合を例にとっている)。
【0011】図43は、図42に示したサブメモリマク
ロ15aのブロック図を示したものである。
【0012】サブメモリマクロ15a内には、一つの独
立したDRAMとして動作するため、DRAMに必要な
全ての回路を含んでいる。つまり、サブメモリマクロ1
5a内には、メモリセルアレイ20,センスアンプ2
1,ロウデコーダ22,カラムデコーダ23、入出力デ
ータバッファ24,ロウアドレスバッファ25,カラム
アドレスバッファ26,ロウ系制御回路27,カラム系
制御回路28,基板電位発生回路29,ワード線電位発
生回路30,ビット線電位発生回路31,センスアンプ
電源ドライバ基準電位発生回路32,周辺回路電源電位
発生回路33及びセンスアンプ電源ドライバトランジス
タ34がそれぞれ含まれている。
【0013】一例として、外部電源VEXTは、約3.
3V、基板電位VBBは、約−1V、ワード線電位VP
Pは、約4.3V、ビット線電位VBLは、約1.3
V、センスアンプ電源電位VAAは、約2.5V、周辺
回路電源電位VINTは、約2.8Vとなる。サブメモ
リマクロ15b〜15dも全く同様に構成されている。
【0014】図43に示すサブメモリマクロ15aを複
数個組み合わせて一つのメモリマクロを構成する場合、
各々のサブメモリマクロ15a〜15dが、ロウアドレ
スバッファ25,カラムアドレスバッファ26,ロウ系
制御回路27,カラム系制御回路28,基板電位発生回
路29,ワード線電位発生回路30,ビット線電位発生
回路31,センスアンプ電源ドライバ基準電位発生回路
32,周辺回路電源電位発生回路33及びセンスアンプ
電源ドライバトランジスタ34からなる回路系を含んで
いるので、メモリマクロはこの回路系をサブメモリマク
ロ15aの個数分だけを設けなければならない。
【0015】つまり、サブメモリマクロ15aの数が増
えれば増える程、上記回路が増加してしまうので、メモ
リマクロの面積増大を招くことになる。ロウアドレスバ
ッファ25,カラムアドレスバッファ26,ロウ系制御
回路27,カラム系制御回路28,基板電位発生回路2
9,ワード線電位発生回路30,ビット線電位発生回路
31,センスアンプ電源ドライバ基準電位発生回路3
2,周辺回路電源電位発生回路33及びセンスアンプ電
源ドライバトランジスタ34からなる上記回路系はサブ
メモリマクロ15a〜15dにそれぞれ設ける必要はな
く、一つのメモリマクロ12に一つ存在すれば足りる。
【0016】この欠点を解決する設計手法として、以下
の手法が提案されている。
【0017】図44の設計手法は、特願平7−1373
8号(平成7年1月31日出願)に開示されるものであ
る。
【0018】この手法は、メモリマクロ12を、所望の
記憶容量を実現するための複数個たとえば4個のサブメ
モリマクロ16a〜16d、一つの制御部(制御マク
ロ)17、及び配線部18の組み合わせにより構成する
ものである。この手法によれば、複数個のサブメモリマ
クロ16a〜16dに共通に用いられる制御マクロ17
が存在するため、メモリマクロの不必要な面積増大を防
止することができる。
【0019】図45に示される他の設計手法は、T.Wata
nabe et al. A Modular Architecture for a 6.4-Gbyte
/s, 8-Mb DRAM-Integrated Media Chip, IEEE J.Solid-
State Circuits, vol.32, pp.635-641, May 1997.に開
示されるものである。
【0020】この設計手法は、複数個のメモリブロック
(バンク)42、所定電位発生回路43、センスアンプ
44、及びデータ入出力部45の組み合わせによりメモ
リマクロ41を構成するものである。また、チップ40
上には、メモリマクロ41の他に、メモリマクロ41の
制御部(制御ロジック)46、及びロジック部(演算回
路)47が配置されている。この手法によれば、所定電
位発生回路43、センスアンプ44、データ入出力部4
5、及び制御部46が複数個のメモリブロック(バン
ク)42の個々に設けられているのではなく、共通に一
つ設けられているため、メモリブロック42の増加によ
るメモリマクロの不必要な面積増大を防止することがで
きる。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】図44及び図45の設
計方法によれば、サブメモリマクロ又はメモリブロック
の数を調節するだけで所望の記憶容量を有するメモリマ
クロを提供できるため、ロジック混載メモリの設計期間
を短縮できる。また、サブメモリマクロ又はメモリブロ
ックには、全てのサブメモリマクロ又はメモリブロック
に共通化できる回路が含まれていないため、サブメモリ
マクロ又はメモリブロックの数が増加した場合にメモリ
マクロが必要以上に大きくなる事態を回避できる。
【0022】しかしながら、ロジック混載メモリの仕様
(ロウ数、カラム数、I/O数、記憶容量など)により
サブメモリマクロ又はメモリブロックの数が変わると、
例えば、メモリ動作に必要となるアドレス信号の数も変
わってくるため、これに合わせて、アドレスバッファや
アドレスデコーダなどの所定の回路を設計し直さなけれ
ばならない。
【0023】また、従来では、メモリアレイの実質的な
拡張単位である1メガビットメモリアレイより記憶容量
の小さいメモリマクロ、たとえば64キロビット、32
キロビットのメモリマクロの仕様に対しては1メガビッ
トメモリアレイを設計変更することにより実現してい
る。しかしながら、メモリアレイ自体の設計変更は基本
的変更を伴うものでありCAD操作により自動設計する
ことができず、時間がかかる。また、設計変更されたメ
モリアレイのDQ線対の数に応じて入出力データバッフ
ァのI/O数も変更する必要がある。
【0024】本発明の目的は、ロジック混載メモリの仕
様によりメモリマクロの記憶容量が変化しても、それに
伴う設計変更が簡単かつ自動的に行えるようなメモリマ
クロ内の各回路の配置を提案すると共に、実際に設計期
間の短縮や面積オーバーヘッドの縮小に貢献できる設計
方法を提案することにある。
【0025】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のロジック混載メモリのメモリマクロは、メ
モリマクロとロジック部がワンチップに集積されたロジ
ック混載メモリにおいて、前記ロジック部から入力され
た外部アドレス信号をバッファリングして内部アドレス
信号を生成する手段を有する制御ブロックと、行列状に
配置された各々Nビットの記憶容量の複数のメモリセル
アレイ、前記メモリセルアレイに接続されメモリセルの
データを増幅するセンスアンプ、前記制御ブロックの内
部アドレス信号生成手段によって生成された内部アドレ
ス信号を受け内部アドレス信号によって指定される行列
上の位置のメモリセルを選択するデコーダ、およびデー
タ線を有する少なくとも1つのメモリアレイブロック
と、前記少なくとも1つのメモリアレイブロックの前記
デコーダにより選択されたメモリセルのデータを前記デ
ータ線を介して受けて前記ロジック部に出力する入出力
データバッファブロックとを具備し、それにより前記メ
モリマクロがNビットの整数倍の記憶容量を有する。
【0026】前記少なくとも1つのメモリアレイブロッ
クはカラム方向に複数互いに隣接して配置されており、
前記データ線は前記複数のメモリアレイブロックの前記
メモリセルアレイ上をカラム方向に設けられており、前
記複数のメモリアレイブロックは前記データ線を共有す
る。
【0027】前記少なくとも1つのメモリアレイブロッ
クはカラム方向に複数互いに隣接して配置されており、
前記複数のメモリアレイブロックの互いに隣接する少な
くとも1対のメモリアレイブロックは前記センスアンプ
を共有する。
【0028】前記制御ブロックの前記内部アドレス信号
生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制御
ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部アド
レス信号との対応関係を前記メモリアレイブロックのア
ドレス割付けに合致させるため前記外部アドレス信号と
前記複数のアドレスバッファとの間に対応して設けられ
た複数のスイッチを具備する。
【0029】前記制御ブロックの前記内部アドレス信号
生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制御
ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部アド
レス信号との対応関係を前記メモリアレイブロックのア
ドレス割付けに合致させるため所望の個数のアドレスバ
ッファを活性化するように前記外部アドレス信号と前記
複数のアドレスバッファとの間に対応して設けられた複
数のスイッチを具備する。
【0030】前記メモリマクロは前記メモリアレイブロ
ックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライバブ
ロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバブロ
ックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる
内部電源電圧を生成する手段を具備する。
【0031】前記メモリアレイブロックは外部電源電圧
を受けて前記メモリセルアレイを動作させる内部電源電
圧を生成する手段を具備する。
【0032】前記メモリアレイ電源ドライバブロックは
外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる内部電
源電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備する。
【0033】前記メモリアレイブロックは外部電源電圧
を受けてメモリアレイを動作させる内部電源電圧を生成
する電源降圧トランジスタを具備する。
【0034】前記メモリマクロは外部電源電圧を受け
て、前記メモリアレイブロック、前記入出力データバッ
ファブロック、および前記制御ブロックに供給する直流
電源電位を生成する電源電位生成ブロックを備える。
【0035】前記メモリマクロは前記複数のメモリアレ
イブロックのロウ方向の端部に隣接して配置され、電源
線を含む電源線ブロックをさらに具備する。
【0036】前記複数のスイッチは前記対応関係に応じ
て選択的に接続される。
【0037】前記スイッチは、メタル配線層からなり、
前記対応関係に応じて選択的に切断される。
【0038】前記スイッチは、コンタクト配線層からな
り、前記対応関係に応じて選択的に形成される。
【0039】前記メモリセルアレイは行列状に配置され
たDRAMから構成される。
【0040】前記複数のメモリアレイブロックは、ロウ
デコーダ、カラムデコーダ及び前記センスアンプを動作
させるドライバを含むメモリアレイブロック制御部と、
少なくとも前記メモリアレイブロック制御部のロウ方向
の一端に配置される少なくとも1つのメモリセルアレイ
とを備えている。
【0041】本発明のロジック混載メモリのメモリマク
ロは、メモリマクロとロジック部がワンチップに集積さ
れたロジック混載メモリにおいて、制御ブロックと少な
くとも1つのメモリアレイブロックと複数の入出力デー
タバッファブロックとから成り、前記制御ブロックは前
記ロジック部から入力された外部アドレス信号をバッフ
ァリングして内部アドレス信号を生成する手段を具備
し、前記少なくとも1つのメモリアレイブロックは行列
状に配置されたMビットのメモリセルアレイよりなるサ
ブメモリセルアレイブロックがロウ方向にP個配置さ
れ、前記制御ブロックの内部アドレス信号生成手段によ
って生成された内部アドレス信号を受け内部アドレス信
号によって指定される行列上の位置のメモリセルを選択
するデコーダを具備し、前記サブメモリアレイブロック
はさらに前記メモリセルに接続されメモリセルのデータ
を増幅するセンスアンプと前記メモリセルアレイの選択
された列のデータを読み出すためのQビット幅のデータ
線を具備し、前記複数の入出力データバッファブロック
の各々は前記少なくとも1つのメモリアレイブロックの
前記デコーダにより選択されたメモリセルのデータを前
記データ線を介して受けて増幅し前記ロジック部に出力
する手段を具備し、それにより前記メモリマクロがMx
Pビットの整数倍の記憶容量とQxPビットの入出力数
を有する。
【0042】前記複数のメモリアレイブロックの各々は
外部電源電圧を受けて前記センスアンプの内部電源電圧
を生成する電源降圧トランジスタを具備する。
【0043】前記少なくとも1つのメモリアレイブロッ
クはカラム方向に複数隣接して配置されており、前記デ
ータ線は前記複数のメモリアレイブロックの前記メモリ
セルアレイ上をカラム方向に設けられており、前記複数
のメモリアレイブロックは前記データ線を共有する。
【0044】前記少なくとも1つのメモリアレイブロッ
クはカラム方向に複数隣接して配置されており、前記複
数のメモリアレイブロックの互いに隣接する少なくとも
1対のメモリアレイブロックは前記センスアンプを共有
する。
【0045】前記制御ブロックの前記内部アドレス信号
生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制御
ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部アド
レス信号との対応関係を前記メモリアレイブロックのア
ドレス割付けに合致させるため前記外部アドレス信号と
前記複数のアドレスバッファとの間に対応して設けられ
た複数のスイッチを具備する。
【0046】前記複数のスイッチは前記対応関係に応じ
て選択的に接続される。
【0047】前記スイッチは、メタル配線層からなり、
前記対応関係に応じて選択的に切断される。
【0048】前記スイッチは、コンタクト配線層からな
り、前記対応関係に応じて選択的に形成される。
【0049】前記メモリマクロは前記メモリアレイブロ
ックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライバブ
ロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバブロ
ックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる
内部電源電圧を生成する手段を具備する。
【0050】前記メモリアレイブロックは外部電源電圧
を受けて前記メモリセルアレイを動作させる内部電源電
圧を生成する手段を具備する。
【0051】前記メモリアレイ電源ドライバブロックは
外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる内部電
源電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備する。
【0052】前記メモリアレイブロックは外部電源電圧
を受けてメモリアレイを動作させる内部電源電圧を生成
する電源降圧トランジスタを具備する。
【0053】前記メモリセルアレイは行列状に配置され
たDRAMから構成される。
【0054】本発明のメモリマクロとロジック部がワン
チップに集積されたロジック混載メモリの設計手法は、
メモリマクロが、前記ロジック部から入力された外部ア
ドレス信号をバッファリングして内部アドレス信号を生
成する手段を有する制御ブロックと、行列状に配置され
た各々Nビットの記憶容量の複数のメモリセルアレイ、
前記メモリセルアレイに接続されメモリセルのデータを
増幅するセンスアンプ、前記制御ブロックの内部アドレ
ス信号生成手段によって生成された内部アドレス信号を
受け内部アドレス信号によって指定される行列上の位置
のメモリセルを選択するデコーダ、およびデータ線を有
する少なくとも1つのメモリアレイブロックと、前記少
なくとも1つのメモリアレイブロックの前記デコーダに
より選択されたメモリセルのデータを前記データ線を介
して受けて前記ロジック部に出力する入出力データバッ
ファブロックとを具備し、前記メモリマクロの仕様を満
たす前記メモリアレイブロックの数L(Lは自然数)を
決定する工程と、決定されたL個の前記メモリアレイブ
ロックを前記入出力データバッファブロック及び前記制
御ブロックに隣接して配置するレイアウトデータをプロ
グラムにしたがって自動処理により作成する工程とを含
み、それにより前記メモリマクロがNxLビットの記憶
容量を有する。
【0055】前記少なくとも1つのメモリアレイブロッ
クはカラム方向に複数隣接して配置され、前記データ線
は前記複数のメモリアレイブロックの前記メモリセルア
レイ上をカラム方向に設けられ、前記複数のメモリアレ
イブロックは前記データ線を共有する。
【0056】前記制御ブロックの前記内部アドレス信号
生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制御
ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記複数のア
ドレスバッファとの間に対応して複数のスイッチを具備
し、前記外部アドレス信号と前記内部アドレス信号との
対応関係を前記メモリアレイブロックのアドレス割付け
に合致させるため前記複数のスイッチを選択的に接続す
る。
【0057】前記制御ブロックの前記内部アドレス信号
生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制御
ブロックはさらに前記制御ブロックはさらに前記外部ア
ドレス信号と前記複数のアドレスバッファとの間に対応
して複数のスイッチを具備し、前記外部アドレス信号と
前記内部アドレス信号との対応関係を前記メモリアレイ
ブロックのアドレス割付けに合致させるため前記複数の
スイッチを選択的に接続して所望の個数のアドレスバッ
ファを活性化する。
【0058】前記メモリマクロは前記メモリアレイブロ
ックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライバブ
ロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバブロ
ックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる
内部電源電圧を生成する手段を具備する。
【0059】前記メモリマクロは外部電源電圧を受け
て、前記メモリアレイブロック、前記入出力データバッ
ファブロック、および前記制御ブロックに供給する直流
電源電位を生成する電源電位生成ブロックを備える。
【0060】本発明のロジック混載メモリの設計手法
は,前記複数のメモリアレイブロックのロウ方向の端部
に隣接して配置され、電源線を含む電源線ブロックをさ
らに具備する。
【0061】前記メモリセルアレイは行列状に配置され
たDRAMから構成される。
【0062】前記メモリアレイブロックの数Lは前記メ
モリマクロのロウ数、コラム数、入出力データ数、総容
量の仕様のうち少なくともlつの仕様を基づいて決定さ
れる。
【0063】本発明のメモリマクロとロジック部がワン
チップに集積されたロジック混載メモリの設計手法は、
メモリマクロが、前記メモリマクロは制御ブロックと少
なくとも1つのメモリアレイブロックと複数の入出力デ
ータバッファブロックとから成り、前記制御ブロックは
前記ロジック部から入力された外部アドレス信号をバッ
ファリングして内部アドレス信号を生成する手段を具備
し、前記少なくとも1つのメモリアレイブロックは行列
状に配置されたMビットのメモリセルアレイよりなるサ
ブメモリセルアレイがロウ方向にP個配置され、前記制
御ブロックの内部アドレス信号生成手段によって生成さ
れた内部アドレス信号を受け内部アドレス信号によって
指定される行列上の位置のメモリセルを選択するデコー
ダとを具備し、前記サブメモリアレイブロックはさらに
前記メモリセルに接続されメモリセルのデータを増幅す
るセンスアンプと前記メモリセルアレイの選択された列
のデータを読み出すためのQビット幅のデータ線を具備
し、前記複数の入出力データバッファブロックの各々は
前記少なくとも1つのメモリアレイブロックの前記デコ
ーダにより選択されたメモリセルのデータを前記データ
線を介して受けて増幅し前記ロジック部に出力する手段
を具備し、前記メモリマクロの仕様を満たす前記サブメ
モリアレイブロックの数Pと前記メモリアレイブロック
の数Lと前記入出力データバッファブロックの数とを決
定する工程と、決定された数の前記メモリアレイブロッ
クPと前記入出力データバッファブロックとを前記制御
ブロックに隣接して配置するレイアウトデータをプログ
ラムにしたがって自動処理により作成する工程とを含
み、それにより前記メモリマクロがMxPxLビットの
記憶容量とQxPビットの入出力数を有する。
【0064】前記複数の入出力データバッファブロック
の各々は外部電源電圧を受けて前記センスアンプの内部
電源電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備する。
【0065】前記少なくとも1つのメモリアレイブロッ
クはカラム方向に複数隣接して配置されており、前記デ
ータ線は前記複数のメモリアレイブロックの前記メモリ
セルアレイ上をカラム方向に設けられており、前記複数
のメモリアレイブロックは前記データ線を共有する。
【0066】前記制御ブロックの前記内部アドレス信号
生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制御
ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部アド
レス信号との対応関係を前記メモリアレイブロックのア
ドレス割付けに合致させるためのスイッチを具備する。
【0067】前記メモリマクロは前記メモリアレイブロ
ックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライバブ
ロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバブロ
ックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる
内部電源電圧を生成する手段を具備する。
【0068】前記メモリセルアレイは行列状に配置され
たDRAMから構成される。
【0069】前記サブメモリアレイブロックの数Pと前
記入出力データバッファブロックの数は前記メモリマク
ロのロウ数、コラム数、入出力データ数、総容量の仕様
のうち少なくともlつの仕様を基づいて決定される。
【0070】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発
明のロジック混載メモリについて詳細に説明する。
【0071】図1は、ロジック混載メモリのフロアプラ
ンの一例を示している。図2は、本発明の第1の実施形
態に関わるメモリマクロ内のフロアプランを示してい
る。
【0072】チップ10は、ロジック部11、メモリマ
クロ12及びI/O部13により占められている。メモ
リマクロ12は、メモリとしての機能を有する機能ブロ
ック(IP)又はメガセルを設計した後、この機能ブロ
ック又はメガセルをチップ10にそのまま配置すること
により形成される。
【0073】チップ10には、少なくとも、一つのメモ
リマクロ12が配置される。チップ10には、メモリマ
クロ12に加えて、PLL回路などの所定の機能を有す
る機能ブロック(又はメガセル)を配置してもよい。チ
ップ10のうち、メモリマクロ12が配置される領域以
外の領域は、所定の演算を実行するロジックが形成され
るロジック部11となっている。ロジック部11は、ゲ
ートアレイやスタンダードセルなどの設計手法によって
設計される。
【0074】メモリマクロ12は、ロジック部11とは
別個に設計される。メモリマクロ12は、L(Lは、自
然数)個のメモリアレイブロック1−1,1−2,…1
−L、直流電位生成ブロック2、入出力データバッファ
ブロック3、メモリアレイ電源ドライバブロック4−
1,4−2,…4−L、制御ブロック5及び電源線ブロ
ック6a−1,6a−2,…6a−L,6b−1,6b
−2,…6b−L,7a,7b,8a,8bにより構成
されている。
【0075】メモリマクロ12の記憶容量は、メモリア
レイブロックの数によって決定される。即ち、一つのメ
モリアレイブロックの記憶容量がKビット(例えば、1
メガビット)である場合には、メモリマクロ12の記憶
容量は、K×Lビット(Lは、メモリアレイブロックの
数)となる。
【0076】また、一つのメモリアレイブロックの記憶
容量が設計段階におけるメモリマクロ12の記憶容量の
最小単位となる。つまり、メモリマクロ12の記憶容量
は、Kビットを単位にして自由に変更可能である。な
お、後述するが、制御ブロック5の構成に応じて、設計
段階で変更できる記憶容量の最大値が決まる。
【0077】メモリアレイブロック1−1,1−2,…
1−Lは、カラム方向(ビット線が伸びる方向)に互い
に隣接して配置される。メモリアレイブロック1−1,
1−2,…1−Lには、例えば、カラム方向に伸びる1
28対のDQ線(データ線)対が配置され、各メモリア
レイブロックのDQ線対は、上記メモリアレイブロック
を隣接して配置することによって互いに結合される。
【0078】直流電位生成ブロック2には、基板電位V
BB、ワード線電位VPP、ビット線電位VBL、セン
スアンプ電源ドライバ用の基準電位VPPA、周辺回路
用電源電位VINTなどの一定電位を生成するための回
路が形成される。直流電位生成ブロック2は、メモリア
レイブロック1−1,1−2,…1−Lのカラム方向の
一端部に配置されている。
【0079】入出力データバッファブロック3は、メモ
リアレイブロック1−1,1−2,…1−Lのカラム方
向の他端部に配置されている。メモリアレイブロック1
−1,1−2,…1−LのDQ線対は、入出力データバ
ッファブロック3に接続される。直流電位生成ブロック
2と入出力データバッファブロック3は、メモリアレイ
ブロック1−1,1−2,…1−Lを間に挟み込んで互
いに対向する位置に配置されている。
【0080】メモリアレイ電源ドライバブロック4−
1,4−2,…4−Lは、メモリアレイブロック1−
1,1−2,…1−Lに対応して配置される。メモリア
レイ電源ドライバブロック4−1,4−2,…4−L
は、センスアンプを駆動するドライバに電源を供給する
回路(トランジスタ)を含む。
【0081】メモリアレイ電源ドライバブロック4−
1,4−2,…4−Lをメモリアレイブロック1−1,
1−2,…1−Lに対応して配置した理由は、センスア
ンプを駆動するドライバに電源を供給する回路(トラン
ジスタ)のサイズをメモリセルアレイの規模(記憶容
量)に応じて可変できるようにするためである。
【0082】即ち、例えば、電源ドライバブロック(ト
ランジスタ)が1つしかない場合には、そのトランジス
タのサイズは、メモリセルアレイの規模にかかわらず、
常に、メモリセルアレイの規模が最大である場合に対応
させて作っておかなければならない。これでは、メモリ
マクロの記憶容量が小さい場合においても、大きなサイ
ズのトランジスタが存在することになり、面積オーバー
ヘッドが大きくなってしまう。
【0083】メモリアレイ電源ドライバブロック4−
1,4−2,…4−Lをメモリアレイブロック1−1,
1−2,…1−Lに対応して配置すれば、センスアンプ
を駆動するドライバに電源を供給する回路(トランジス
タ)のサイズをメモリセルアレイの規模(記憶容量)に
応じて可変できるため、このような事態を回避できると
共に、設計期間も短縮できる。
【0084】制御ブロック5は、ロウアドレスストロ−
ブ信号/RAS、カラムアドレスストロ−ブ信号/CA
S及び書き込み信号/WEの各バッファを含んでいる。
また、制御ブロック5は、ロウアドレス信号(外部ロウ
アドレス信号)AR0〜AR10、カラムアドレス信号
(外部カラムアドレス信号)AC0〜AC3をバッファ
リングし、内部ロウアドレス信号及び内部カラムアドレ
ス信号を生成するバッファ、及びメモリマクロの記憶容
量(メモリアレイブロックの数)に応じて内部ロウアド
レス信号の一部(ブロック選択用アドレス信号)を所定
値に固定し得るスイッチを含んでいる。このスイッチ
は、メタル層(配線層)やコンタクト層の接続の仕方に
よって自由に切り換えられるもので、設計段階では、C
AD処理により自由にスイッチを切り換えることができ
るが、サンプル作成後のスイッチの切り換えは不可能で
ある。
【0085】電源線ブロック6a−1,6a−2,…6
a−L,6b−1,6b−2,…6b−L,7a,7
b,8a,8bは、メモリアレイブロック1−1,1−
2,…1−Lの ロウ方向の端部に配置されている。電
源線ブロック6a−1,6a−2,…6a−L,6b−
1,6b−2,…6b−L,7a,7b,8a,8b
は、メモリアレイブロック1−1,1−2…1−L、直
流電位生成ブロック2、入出力データバッファブロック
3、メモリアレイ電源ドライバブロック4−1,4−
2,…4−L及び制御ブロック5に外部電源VEXT及
び接地電位GNDを供給する。
【0086】図3及び図4は、メモリアレイブロック内
のフロアプランを示している。
【0087】このメモリアレイブロックのフロアプラン
では、センスアンプの両側に存在するメモリセルアレイ
がそのセンスアンプを共有する共有センスアンプ方式を
採用している。
【0088】図3は、図2のメモリアレイブロック1−
1のフロアプランを示している。メモリアレイブロック
制御部50aは、ロウデコーダ、カラムデコーダ、ロウ
系制御回路などを含んでいる。メモリアレイブロック制
御部50aのロウ方向の一方及び他方の端部には、それ
ぞれに、二つのメモリセルアレイ51−1,51−2が
配置されている。すなわち、メモリアレイブロック制御
部50aを挟んでメモリアレイブロック制御部50aの
一方の側に配置されたメモリアレイブロック1−1aは
メモリセルアレイ51−1,51−2を具備しており、
同様に、メモリアレイブロック制御部50aを挟んでメ
モリアレイブロック制御部50aの他方の側に配置され
たメモリアレイブロック1−1bもメモリセルアレイ5
1−1,51−2を具備している。
【0089】メモリアレイブロック1−1aにおいて、
メモリセルアレイ51−1,51−2は、カラム方向に
隣接している。メモリセルアレイ51−1,51−2の
カラム方向の隣接する端部間にはセンスアンプ(カラム
スイッチを含む)52−2が配置されおり、またメモリ
セルアレイ51−1,51−2のカラム方向の他方の端
部には、センスアンプ(カラムスイッチを含む)52−
1、52−3がそれぞれ配置されている。同様に、メモ
リアレイブロック1−1bにおいて、メモリセルアレイ
51−1,51−2は、カラム方向に隣接している。メ
モリセルアレイ51−1,51−2のカラム方向の隣接
する端部間にはセンスアンプ(カラムスイッチを含む)
52−2が配置されおり、またメモリセルアレイ51−
1,51−2のカラム方向の他方の端部には、センスア
ンプ(カラムスイッチを含む)52−1、52−3がそ
れぞれ配置されている。
【0090】メモリマクロを構成するメモリアレイブロ
ックが一つの場合(図2においてメモリアレイブロック
が1−1のみしかない場合)には、メモリアレイブロッ
クのフロアプランは図3のものを採用する。但し、いわ
ゆる共有センスアンプ方式を採用しない場合には、セン
スアンプ(カラムスイッチを含む)は、カラム方向に隣
接するメモリセルアレイの間にのみ配置すればよい。
【0091】図4は、図2のメモリアレイブロック1−
2のフロアプランを示している。メモリアレイブロック
制御部50bは、ロウデコーダ、カラムデコーダ、ロウ
系制御回路などを含んでいる。メモリアレイブロック制
御部50bのロウ方向の一方及び他方の端部には、それ
ぞれに、二つのメモリセルアレイ51−1,51−2が
配置されている。すなわち、メモリアレイブロック制御
部50bを挟んでメモリアレイブロック制御部50bの
一方の側に配置されたメモリアレイブロック1−2aは
メモリセルアレイ51−1,51−2を具備しており、
同様に、メモリアレイブロック制御部50bを挟んでメ
モリアレイブロック制御部50bの他方の側に配置され
たメモリアレイブロック1−2bもメモリセルアレイ5
1−1,51−2を具備している。
【0092】メモリアレイブロック1−2aにおいて、
メモリセルアレイ51−1,51−2は、カラム方向に
隣接している。メモリセルアレイ51−1,51−2の
カラム方向の隣接する端部間にはセンスアンプ(カラム
スイッチを含む)52−1が配置されおり、またメモリ
セルアレイ51−2のカラム方向の他方の端部(I/O
バッファ側)には、センスアンプ(カラムスイッチを含
む)52−2が配置されている。同様に、メモリアレイ
ブロック1−2bにおいて、メモリセルアレイ51−
1,51−2は、カラム方向に隣接している。メモリセ
ルアレイ51−1,51−2のカラム方向の隣接する端
部間には52−1が配置されおり、またメモリセルアレ
イ51−2のカラム方向の他方の端部(I/Oバッファ
側)には、センスアンプ(カラムスイッチを含む)52
−2が配置されている。他のメモリアレイブロック1−
3,…1−Lのフロアプランはメモリアレイブロック1
−2のフロアプランと同様であるので、説明は省略す
る。
【0093】メモリアレイブロックの記憶容量が例えば
1メガビットである場合には、各メモリセルアレイ51
−1、51−2の記憶容量は、256キロビットとな
る。256キロビットのメモリセルアレイは、例えば、
256(ロウ)×1024(カラム)構成となってい
る。また、16カラムを1つのDQ線対に接続すること
により、同時に入出力できるビット数(I/O数)を1
28ビット(128I/O)とすることができる。
【0094】図5は、図3のメモリアレイブロック1−
1のレイアウトを示すものである。図6は、図4のメモ
リアレイブロック1−2のレイアウトを示すものであ
る。
【0095】本例では、メモリアレイブロックの記憶容
量が1メガビットである場合について説明する。この場
合、各メモリセルアレイ51−1、51−2の記憶容量
は、256キロビットであり、各メモリセルアレイ51
−1、51−2は、例えば、256(ロウ)×1024
(カラム)構成となっている。
【0096】DQ線対DQ0〜DQ63,/DQ0〜/
DQ63は、メモリセルアレイブロック制御部50aの
一方側のメモリセルアレイ51−1、51−2上に配置
され、DQ線対DQ64〜DQ127,/DQ64〜/
DQ127は、メモリセルアレイブロック制御部50a
の他方側のメモリセルアレイ51−1、51−2上に配
置される。
【0097】1つのDQ線対には、16カラム分のビッ
ト線対が接続されている。16カラム分のビット線対の
うち、カラム選択信号により選択された1カラム分のビ
ット線対と1対のDQ線対とのデータの授受が可能とな
るため、同時に入出力できるビット数(I/O数)は、
128ビット(128I/O)となる。なお、図6に破
線で囲んで示すように、メモリアレイブロック1−2
の、メモリアレイブロック1−1におけるセンスアンプ
52−1に相当するセンスアンプは、メモリアレイブロ
ック1−1の、メモリアレイブロック1−2側のセンス
アンプ52−3を共有している。すなわち、互いに隣接
する一対のメモリアレイブロックはそのメモリアレイブ
ロック相互間に配置されているセンスアンプを共有す
る。
【0098】詳述すると、図5に示されるように、メモ
リアレイブロック1−1のメモリアレイブロック1−1
aは、カラム方向に配置された2個の256キロビット
サブメモリセルアレイ51−1、51−2を具備してい
る。2個の256キロビットサブメモリセルアレイ51
−1、51−2の隣接する端部間にはこれら端部に隣接
してセンスアンプ・カラムスイッチ52−2が配置され
ている。端部間に配置されているこのセンスアンプ・カ
ラムスイッチ52−2は2個の256キロビットサブメ
モリセルアレイ51−1、51−2に共有されている。
また、カラム方向において2個の256キロビットメモ
リセルサブアレイ51−1、51−2のそれぞれの他方
の端部に隣接してセンスアンプ・カラムスイッチ52−
1,52−3が配置されている。メモリアレイブロック
1−1のメモリアレイブロック1−1bの構成は、メモ
リアレイブロック1−1のメモリアレイブロック1−1
aと同様の構成であるので、説明は省略する。
【0099】また、図6に示されるように、メモリアレ
イブロック1−2のメモリアレイブロック1−2aは、
同様に、カラム方向に配置された2個の256キロビッ
トサブメモリセルアレイ51−1、51−2を具備して
いる。2個の256キロビットサブメモリセルアレイ5
1−1、51−2はカラム方向に配置されている。2個
の256キロビットサブメモリセルアレイ51−1、5
1−2の隣接する端部間にはこれら端部に隣接してセン
スアンプ・カラムスイッチ52−1が配置されている。
端部間に配置されているこのセンスアンプ・カラムスイ
ッチ52−1は2個の256キロビットサブメモリセル
アレイ51−1、51−2に共有されている。また、カ
ラム方向において256キロビットサブメモリセルアレ
イ51−2の他方の端部に隣接してセンスアンプ・カラ
ムスイッチ52−2が配置されている。メモリアレイブ
ロック1−2aにおいては、メモリアレイブロック1−
1a(図5)におけるサブメモリセルアレイ51−1の
上記他方の端部に隣接して設けられたセンスアンプ・カ
ラムスイッチ52−1に相当するセンスアンプ・カラム
スイッチは設けらていない。その代わりに、メモリアレ
イブロック1−2の一行上のメモリアレイブロック、す
なわちメモリアレイブロック1−1、のメモリアレイブ
ロック1−1aにおけるサブメモリセルアレイ51−2
(図5)の上記他方の端部に隣接して設けられたセンス
アンプ・カラムスイッチ52ー3が共有される。メモリ
アレイブロック1−2のメモリアレイブロック1−2b
の構成は、メモリアレイブロック1−2のメモリアレイ
ブロック1−2aと同様の構成であるので、説明は省略
する。図2のマクロセルにおける他のメモリアレイブロ
ックについても図6に示すメモリアレイブロック1−2
と同様であるので説明は省略する。
【0100】図7は、共有センスアンプ方式のセンスア
ンプの構成を示している。
【0101】カラム方向に隣接する二つのメモリセルア
レイ51の間には、センスアンプ61及びカラムスイッ
チ62が配置されている。センスアンプ61は、活性化
信号SAP,/SANにより活性化され、カラムスイッ
チ62は、カラム選択信号CSWにより活性化される。
【0102】一方のメモリセルアレイに伸びるビット線
対BL1,/BL1は、イコライザ63−1及び選択ゲ
ート64−1を経由してセンスアンプ61及びカラムス
イッチ62に接続されている。他方のメモリセルアレイ
に伸びるビット線対BL2,/BL2は、イコライザ6
3−2及び選択ゲート64−2を経由してセンスアンプ
61及びカラムスイッチ62に接続されている。
【0103】選択ゲート64−1は、選択信号ISO1
により活性化され、選択ゲート64−2は、選択信号I
SO2により活性化される。選択ゲート64−1,64
−2のうちのいずれか一方が活性化され、ビット線対B
L1,/BL1又はビット線対BL2,/BL2がセン
スアンプ61及びカラムスイッチ62に電気的に接続さ
れる。
【0104】図8は、図2の直流電位生成ブロックに形
成される回路を示している。
【0105】基板電位発生回路29は、メモリマクロに
おける基板電位VBBを発生する。ワード線電位発生回
路30は、ロウアドレス信号により選択されたワード線
に与える電位VPPを発生する。ビット線電位発生回路
31は、読み出しデータ又は書き込みデータをビット線
対に導く前にビット線対の電位を所定値にイコライズす
るために設けられる。
【0106】センスアンプ電源ドライバ基準電位発生回
路32は、外部電源VEXTに基づいて電源VPPAを
発生する。電源VPPAは、図9に示すようなメモリセ
ルアレイ電源ドライバブロック4に与えられる。メモリ
セルアレイ電源ドライバブロック4は、ドレインに外部
電源電圧VEXTを受け、またゲートに電源VPPAを
受けて内部電源電圧(センスアンプドライバ(例えば図
14参照)およびメモリアレイブロックの電源VAA)
を生成する電源電圧降下トランジスタを具備している。
センスアンプドライバは、センスアンプに与える信号S
AP,/SANを発生する。
【0107】周辺回路電源電位発生回路33は、メモリ
マクロにおける周辺回路を駆動するための内部電源VI
NTを発生する。
【0108】周辺回路電源ドライバ基準電位発生回路3
3は、外部電源VEXTが与えられて電源VPPIを発
生する。
【0109】周辺回路電源ドライバ34は、外部電源V
EXTが駆動電源として与えられ、また周辺回路電源ド
ライバ基準電位発生回路33から電源VPPIが与えら
れてメモリマクロにおける周辺回路を駆動するための内
部電源VINTを発生する。
【0110】周辺回路電源ドライバの詳細な構成は、例
えば、図8に示されるように、MOSトランジスタから
構成されている。MOSトランジスタのドレインに外部
電源VEXTが駆動電源として与えられ、またゲートに
周辺回路電源ドライバ基準電位発生回路33から電源V
PPIが制御信号として与えられて内部電源VINTを
発生する。
【0111】図10は、図2の入出力データバッファブ
ロック内の構成を示している。
【0112】入出力データバッファブロックは、128
個の入出力データバッファ3−0〜3−127を有して
いる。即ち、図2に示すようなメモリマクロの場合、メ
モリマクロとしては、例えば、2048(ロウ)×20
48(カラム)の4メガビットの記憶容量を有してい
る。また、一つのメモリアレイブロックは、512(ロ
ウ)×2048(カラム)の1メガビットの記憶容量を
有し、一つのメモリセルアレイは、256(ロウ)×1
024(カラム)の256キロビットの記憶容量を有し
ている。
【0113】各メモリセルアレイでは、16カラム(1
6本のビット線対)に対して1本のDQ線対を設けてい
るため、2048カラムでは、128本のDQ線対が必
要となる。
【0114】よって、このような128ビットのデータ
I/O0〜I/O127を同時に読み書きできるような
構成の場合、入出力データバッファも、当然に128個
必要となる。各々の入出力データバッファ3−0〜3−
127は、データの読み出し時に活性化される読み出し
活性化信号RDEN及びデータの書き込み時に活性化さ
れる書き込み活性化信号WTENにより制御される。
【0115】図11は、図2の制御ブロック内の構成を
示すものである。
【0116】制御ブロック5は、/RASバッファ7
1、ロウアドレスバッファ72−0〜72−8,73,
74、/CASバッファ75、カラムアドレスバッファ
76−0〜76−3、/WEバッファ77及び入出力デ
ータバッファ制御回路78を含んでいる。
【0117】/RASバッファ71は、メモリマクロの
外部から与えられるロウアドレスストロ−ブ信号/RA
Sに基づいてメモリマクロの内部で使用するロウアドレ
スストロ−ブ信号RASintを発生する。
【0118】ロウアドレスバッファ72−0〜72−8
は、ロウアドレスストロ−ブ信号RASintに同期し
てロウアドレス信号(外部ロウアドレス信号)AR0〜
AR8をメモリマクロ内部に取り込み、内部ロウアドレ
ス信号AR0int〜AR8int,/AR0int〜
/AR8intを発生する。この内部ロウアドレス信号
AR0int〜AR8int,/AR0int〜/AR
8intは、ロウデコーダに与えられ、選択されたメモ
リアレイブロック内の512のロウのうちの1つのロウ
を選択する。
【0119】ロウアドレスバッファ73,74は、ロウ
アドレスストロ−ブ信号RASintに同期してロウア
ドレス信号(外部ロウアドレス信号)AR9,AR10
をメモリマクロ内部に取り込み、内部ロウアドレス信号
AR9int〜AR10int,/AR9int〜/A
R10intを発生する。この内部ロウアドレス信号A
R9int〜AR10int,/AR9int〜/AR
10intは、複数のメモリアレイブロック(例えば、
4つ)から1つのメモリアレイブロックを選択する。
【0120】メモリアレイブロックを選択するためのロ
ウアドレス信号(ブロック選択用ロウアドレス信号)の
数は、メモリマクロ内のメモリアレイブロックの数に応
じて変わる。つまり、メモリマクロ内のメモリアレイブ
ロックの数Mとブロック選択用ロウアドレス信号の数m
は、M≦2mの関係がある。
【0121】本例では、メモリアレイブロックは、最大
で4つ設けることができる設定であるため、ブロック選
択用ロウアドレス信号は、AR9,AR10の2つとな
っている。なお、メモリアレイブロックの数が1つの場
合には、ブロック選択用アドレス信号AR9,AR10
の値を所定値(ここではGND)に固定するため、SW
1、SW4をそれぞれ接点91、92に接続するように
切り換えればよい。
【0122】ここで、重要な点は、変更可能なメモリア
レイブロック数(記憶容量)の最大値に対応させて予め
制御ブロック5が設計されている点にある。つまり、メ
モリマクロ内に配置できる最大のメモリアレイブロック
数をLmaxとした場合に、これらメモリアレイブロッ
クを選択するためのブロック選択用ロウアドレス信号
(外部ロウアドレス信号)の数nは、log2 Lmax
以上設けておくようにする。
【0123】また、メモリアレイブロックを最大数用い
るとき(メモリマクロの記憶容量を最大にするとき)
は、全てのブロック選択用ロウアドレス信号を使用する
ように、スイッチSW1〜SW6を切り換える。
【0124】また、2つのメモリアレイブロックを用い
るときは、例えば、1つのブロック選択用ロウアドレス
信号(外部ロウアドレス信号AR9)を内部ロウアドレ
ス信号AR9int,/AR9intとして使用し、他
のブロック選択用ロウアドレス信号(外部ロウアドレス
信号AR10)を遮断し、内部ロウアドレス信号AR1
0int,/AR10intを共に所定値(例えば、電
源電位VINT)に固定するようにスイッチSW1〜S
W6を切り換える。
【0125】また、メモリアレイブロックを1つしか使
用しないときは、図12に示すように、スイッチSW
1,SW4をGND側に切り換えて全てのブロック選択
用ロウアドレス信号(外部ロウアドレス信号AR9,A
R10)を遮断し、またスイッチSW2、SW3、SW
5、SW6を切り換えて内部ロウアドレス信号AR9i
nt,/AR9int,AR10int,/AR10i
ntを共に所定値(例えば、電源電位VINT)に固定
する。
【0126】即ち、例えば、メモリアレイブロックが1
つの場合、ロウアドレスバッファ73,74の入力を接
地にすれば、ロウアドレスバッファ73,74は、常に
非活性化の状態となる。一方、ブロック選択用ロウアド
レス信号AR9int,AR10int,/AR9in
t,/AR10intを電源VINTに固定すれば、メ
モリアレイブロックは、常に選択状態となる。
【0127】スイッチSW1〜SW6を上記のように切
り換えることにより、外部アドレス信号AR9,AR1
0と内部アドレス信号AR9int,AR10int,
/AR9int,/AR10intとの対応関係をメモ
リアレイブロックのアドレス割付けに合致させることが
できる。すなわち、所望の個数のロウアドレスバッファ
73,74を活性化させて外部アドレス信号AR9,A
R10と内部アドレス信号AR9int,AR10in
t,/AR9int,/AR10intとの対応関係を
メモリアレイブロックのアドレス割付けに合致させるこ
とができる。
【0128】スイッチSW1〜SW6は、電気的に切り
換え可能なものでもよいが、実際は、設計時のみにCA
D処理によって切り換え可能なものであり、製品若しく
はサンプルを作成した後には切り換え不可能となる。つ
まり、メモリマクロ設計時において、メモリマクロの記
憶容量(メモリアレイブロック数)が決まれば、スイッ
チSW1〜SW6の接続関係も決定される。
【0129】このスイッチSW1〜SW6は、図13
(a)、13(b)、13(c)、13(d)にそれぞ
れ示すように、メタル層80a又はコンタクト層80b
を配置することにより構成される。
【0130】例えば、同一高さ面上に形成されているラ
インAとラインBとを接続する場合には、図13
(a),13(b)において破線で囲んだ枠I内に示す
ように、ラインAとラインBとを接続するメタル層80
aをCADにより配置すればよい。同様に、同一高さ面
上に形成されているラインBとラインC(電源線)とを
接続する場合には、図13(c),13(d)において
破線で囲んだ枠I内に示すように、ラインBとラインC
とを接続するメタル層80aをCADにより配置すれば
よい。
【0131】一方、多層構造に形成されているラインA
とラインBとを接続する場合には、図13(a),13
(b)において破線で囲んだ枠II内に示すように、ラ
インAとラインBとを接続するコンタクト層80bをC
ADにより配置すればよい。また、多層構造に形成され
ているラインBとラインC(電源線)とを接続する場合
には、CADにより、図13(c),13(d)におい
て破線で囲んだ枠II内に示すように、ラインBとライ
ンCとを接続するコンタクト層80bをCADにより配
置すればよい。
【0132】なお、実際のウエハプロセスにより、メタ
ル層80a又はコンタクト層80bを形成した後には、
スイッチSW1〜SW6の切り換えは不可能である。
【0133】このようなスイッチSW1〜SW6を設け
た理由は、メモリマクロの設計を容易にするためであ
る。つまり、メモリマクロの仕様(ロウ数、カラム数、
I/O数、記憶容量など)に応じて、その都度、制御ブ
ロックを設計し直す必要がなく、図13に示すように、
予め設計された制御ブロックに対してメタル層又はコン
タクト層のパターンをCAD処理により変更するだけ
で、メモリマクロの仕様に合致した制御ブロックを得る
ことができる。
【0134】/CASバッファ75は、メモリマクロの
外部から与えられるカラムアドレスストロ−ブ信号/C
ASに基づいてメモリマクロの内部で使用するカラムア
ドレスストロ−ブ信号CASintを発生する。
【0135】カラムアドレスバッファ76−0〜76−
3は、カラムアドレスストロ−ブ信号CASintに同
期してカラムアドレス信号AC0〜AC3をメモリマク
ロ内部に取り込み、内部ロウアドレス信号AC0int
〜AC3int,/AC0int〜/AC3intを発
生する。この内部ロウアドレス信号AC0int〜AC
3int,/AC0int〜/AC3intは、カラム
デコーダに与えられ、1対のDQ線対に接続された16
カラムのうちの1カラムを選択する。
【0136】/WEバッファ77は、メモリマクロの外
部から与えられる書き込み信号/WEに基づいてメモリ
マクロの内部で使用する書き込み信号WEintを発生
する。入出力データバッファ制御回路78は、カラムア
ドレスストロ−ブ信号CASintと書き込み信号WE
intに基づいて、図10の入出力データバッファブロ
ック3に与える読み出し活性化信号RDEN及び書き込
み活性化信号WTENを発生する。
【0137】図14は、図2のメモリマクロ12の、特
に電源線ブロック6a−1〜6a−L,6b−1〜6b
−Lの構成を詳細に示すものである。
【0138】電源線ブロック6a−1〜6a−L,7
a,8aは、メモリマクロ12のカラム方向の一端にお
いて伸びる第1のメイン電源線と、第1のメイン電源線
からメモリアレイブロック1−1〜1−L、直流電位生
成ブロック2、および入出力バッファブロック3に電源
VDD,VSSを与えるための複数の第1のサブ電源線
と、メモリマクロ12のカラム方向の他端において伸び
る第2のメイン電源線と、第2のメイン電源線からメモ
リアレイ電源ドライバブロック4−1〜4−L、直流電
位生成ブロック2、および制御ブロック5に電源VD
D,VSSを与えるための複数の第2のサブ電源線と、
から構成される。
【0139】図15は、図3及び図4のメモリアレイブ
ロック制御部50aの構成を示すものである。
【0140】メモリアレイブロック6a−1の記憶容量
が1メガビットである場合は、例えば、512(ロウ)
×1024(カラム)構成を有しているため、そのメモ
リアレイブロック6a−1内のワード線は、ロウアドレ
ス信号の下位9ビットAR0int〜AR8int,/
AR0int〜/AR8intによって選択される。
【0141】ロウデコーダ81には、図11又は図12
の制御ブロック5から内部ロウアドレス信号の下位9ビ
ットAR0int〜AR8int,/AR0int〜/
AR8intが供給される。ロウデコーダ81の出力
は、ワード線ドライバ82に与えられる。ワード線ドラ
イバ82は、内部ロウアドレス信号AR0int〜AR
8int,/AR0int〜/AR8intにより選択
された一本のワード線に所定の電位を供給する。
【0142】内部ロウアドレス信号の上位2ビットAR
9int,AR10int,/AR9int〜/AR1
0intは、メモリマクロが複数のメモリアレイブロッ
クから構成される場合に、1つのブロックを選択するた
めに使用される。
【0143】ブロック選択用の内部ロウアドレス信号A
R9int,AR10int,/AR9int〜/AR
10intは、内部ロウアドレスストロ−ブ信号RAS
intと共に、AND回路83に入力される。AND回
路83の出力は、メモリアレイブロック活性化信号BE
Nとなり、ロウ系制御回路84は、このメモリアレイブ
ロック活性化信号BENによって活性化される。
【0144】ロウ系制御回路84の出力は、センスアン
プ・イコライズ制御回路85に与えられる。センスアン
プ・イコライズ制御回路85は、イコライズ制御信号E
QL1,2を出力し、ビット線対のイコライズのタイミ
ングを決定する。また、センスアンプ・イコライズ制御
回路85は、センスアンプ制御信号SENをセンスアン
プドライバ86に与える。センスアンプドライバ86
は、センスアンプ活性化制御信号SAP0〜SAP2を
出力し、センスアンプの活性化のタイミングを決定す
る。
【0145】カラムデコーダ87には、ブロック選択の
有無を示すメモリアレイブロック活性化信号BEN、内
部ロウアドレス信号AR0int〜AR8int,/A
R0int〜/AR8int及び内部カラムアドレス信
号AC0int〜AC3int,/AC0int〜/A
C3intが入力される。カラムデコーダ87は、カラ
ム選択信号CSW0−1,2−1,…14−1,CSW
1−2,3−2,…15−2,CSW1−5,3−5,
…15−5の活性化を制御する。
【0146】例えば、内部ロウアドレス信号AR8in
tが“H”、内部ロウアドレス信号/AR8intが
“L”である場合、カラム選択信号CSW0−1,2−
1,…14−1,CSW1−5,3−5,…15−5の
活性化が、内部カラムアドレス信号AC0int〜AC
3int,/AC0int〜/AC3intにより制御
される。
【0147】図16は、4つのメモリアレイブロック6
a−1〜6a−4を有するメモリマクロを示し、図17
は、1つのメモリアレイブロック6aのみをを有するメ
モリマクロを示している。
【0148】これら2種類のメモリマクロに関し、メモ
リアレイブロックは、基本的に全て同じ構成のものを用
いるため、図16のメモリマクロは、図17のメモリマ
クロに対して4倍の記憶容量を有していることになる。
つまり、KビットのメモリアレイブロックをL個組み合
わせることによってK×Lビットの記憶容量のメモリマ
クロを容易に提供できる。
【0149】但し、ビット線共有方式を採用する場合に
は、最初の一つのメモリアレイブロック(メモリアレイ
ブロックが一つの場合はそのブロック)は、センスアン
プ・カラムスイッチの配置が図3のようになり、残りの
メモリアレイブロックは、センスアンプ・カラムスイッ
チの配置が図4のようになる。バンク構成を採用する場
合には、各メモリアレイブロックは全て図3の構成にな
る。
【0150】また、互いに記憶容量が異なるメモリマク
ロであっても、いずれも予め設計された各ブロックを組
み合わせるだけで容易にメモリマクロの設計を行うこと
ができる。なお、本発明では、設計時に、CAD処理に
より制御ブロック5内のスイッチを切り換えるだけで、
メモリマクロの記憶容量に応じてブロック選択用ロウア
ドレス信号の数を調節できる。
【0151】図18は、本発明に関わるメモリマクロの
設計フロチャートを示すものである。
【0152】まず、メモリマクロを構成するための基本
要素となるブロックを設計する。ここで設計するブロッ
クには、直流電位生成ブロック、メモリアレイブロック
(Kビット)、入出力データバッファブロック、メモリ
アレイ電源ドライバブロック、制御ブロック及び電源線
ブロックが含まれる。制御ブロックの設計に当たって
は、上述のように、メモリマクロの最大容量に基づい
て、ブロック選択用ロウアドレス信号を入力するアドレ
スバッファ数を決定する。
【0153】次に、これから設計しようとするメモリマ
クロの仕様(記憶容量、ロウ数、カラム数、I/O数な
ど)の確認をする。すなわち、記憶容量、ロウ数、カラ
ム数、I/O数について、例えば、記憶容量=ロウ数x
カラム数xI/O数なる式が成立するか否かを調べ、成
立することを確認する。成立が確認された場合には、仕
様で定められたそれら記憶容量、ロウ数、カラム数、I
/O数などを入力する。ついで、メモリマクロの記憶容
量(又は、ロウ数、カラム数)N及びメモリアレイブロ
ックの記憶容量Kに基づいてメモリアレイブロック数L
=(N/K)を計算する。メモリアレイブロック数Lが
決定したら、CAD処理により、自動的に各ブロックを
組み合わせてメモリマクロを構成する。同時に、制御ブ
ロック内のブロックアドレス用スイッチの切り換えを、
メモリアレイブロック数Lに基づいてCAD処理により
自動的に行う。
【0154】以上より、メモリマクロの設計が終了す
る。この後、ゲートアレイ又はスタンダードセルにより
構成されたロジック部とメモリマクロを組み合わせ、ロ
ジック混載メモリの設計が完了する。
【0155】このような設計手法によれば、メモリマク
ロの記憶容量(又は、ロウ数、カラム数)が決まると、
CAD処理により、自動的に各ブロックを組み合わせて
メモリマクロを構成する。同時に、制御ブロック内のブ
ロックアドレス用スイッチの切り換えを、メモリアレイ
ブロック数Lに基づいてCAD処理により自動的に行
う。従って、短い設計期間でかつ面積オーバーヘッドの
少ないメモリマクロを提供することができる。
【0156】図19は、本発明の第2の実施形態に関わ
るメモリマクロ内のフロアプランを示している。図20
は、図19のメモリアレイブロック1−1内のフロアプ
ランを詳細に示している。
【0157】このメモリマクロは、上述の第1実施の形
態と同様に、図1に示すチップ10内にロジック部と共
に集積されるもので、8メガビット、4バンク構成を有
している。
【0158】即ち、メモリマクロは、8個のメモリアレ
イブロック1−1,1−2,…1−8、直流電位生成ブ
ロック2、入出力データバッファブロック3、メモリア
レイ電源ドライバブロック4a,4b、制御ブロック
5、電源線ブロック6a−1,6a−2,…6a−4,
6b−1,6b−2,…6b−4,7a,7b,8a,
8b、テストブロック9a及び配線ブロック9bにより
構成されている。
【0159】メモリマクロの記憶容量は、メモリアレイ
ブロックの数によって決定される。本例では、一つのメ
モリアレイブロック1−1の記憶容量が例えば1メガビ
ットであるため、この場合には、メモリマクロの記憶容
量は、メモリアレイブロックの数が8個であるから8メ
ガビットとなる。
【0160】なお、一つのメモリアレイブロック1−1
の記憶容量が設計段階におけるメモリマクロの記憶容量
の最小単位となることは、上述の第1実施の形態と同じ
である。つまり、メモリマクロの記憶容量は、例えば1
ビットを単位にして自由に変更可能である。
【0161】メモリアレイブロック1−1,1−2,…
1−4は、カラム方向(カラム線が伸びる方向)に互い
に隣接して配置される。メモリアレイブロック1−1,
1−2,…1−4には、例えば、カラム方向に伸びる1
28対のDQ線対が配置され、各メモリアレイブロック
のDQ線対は、メモリアレイブロック1−1,1−2,
…1−4を互いに隣接して配置することにより互いに結
合される。
【0162】同様に、メモリアレイブロック1−5,1
−6,…1−8は、カラム方向に互いに隣接して配置さ
れる。メモリアレイブロック1−5,1−6,…1−8
には、例えば、カラム方向に伸びる128対のDQ線対
が配置され、各メモリアレイブロックのDQ線対は、メ
モリアレイブロック1−5,1−6,…1−8を互いに
隣接して配置することにより互いに結合される。
【0163】直流電位生成ブロック2には、基板電位V
BB、ワード線電位VPP、ビット線電位VBL、セン
スアンプ電源ドライバ用の基準電位VPPA、周辺回路
用電源電位VINTなどの一定電位を生成するための回
路が形成される。直流電位生成ブロック2は、メモリア
レイブロック1−1,1−2,…1−8のカラム方向の
一端部に配置されている。
【0164】入出力データバッファブロック3は、メモ
リアレイブロック1−1,1−2,…1−8のカラム方
向の他端部に配置されている。メモリアレイブロック1
−1,1−2,…1−8のDQ線対は、入出力データバ
ッファブロック3に接続される。直流電位生成ブロック
2と入出力データバッファブロック3は、メモリアレイ
ブロック1−1,1−2,…1−8を間に挟み込んで互
いに対向する位置に配置されている。
【0165】メモリアレイ電源ドライバブロック4a,
4bは、各メモリアレイブロック1−1,1−2,…1
−8に隣接して配置される。メモリアレイ電源ドライバ
ブロック4a,4bは、センスアンプ電源をセンスアン
プに供給するためのドライバ(トランジスタ)を含む。
【0166】制御ブロック5は、外部ロウアドレス信号
AR0〜AR10、外部カラムアドレス信号AC0〜A
C3、外部ロウアドレスストロ−ブ信号/RAS、外部
カラムアドレスストロ−ブ信号/外部CAS及び書き込
み信号/外部WEの各バッファと、メモリマクロの記憶
容量(メモリアレイブロックの数)に応じて外部ロウア
ドレス信号AR0〜AR10の一部(ブロック選択信
号)の使用の有無を切り換えられるスイッチとを含んで
いる。このスイッチは、メタル層(配線層)やコンタク
ト層の接続の仕方によって自由に切り換えられるもの
で、設計段階では、自由にスイッチを切り換えることが
できるが、サンプル作成後のスイッチの切り換えは不可
能である。
【0167】電源線ブロック6a−1,6a−2,…6
a−4,6b−1,6b−2,…6b−4,7a,7
b,8a,8bは、メモリアレイブロック1−1,1−
2,…1−8のロウ方向の端部に配置されている。
【0168】メモリアレイブロック制御部50aは、ロ
ウデコーダ、カラムデコーダ、ロウ系制御回路などを含
んでいる。メモリアレイブロック制御部50aのロウ方
向の一方及び他方の端部には、それぞれに、二つのメモ
リセルアレイ51−1,51−2が配置されている。す
なわち、メモリアレイブロック制御部50aを挟んでメ
モリアレイブロック制御部50aの一方の側に配置され
たメモリアレイブロック1−1aはメモリセルアレイ5
1−1,51−2を具備しており、同様に、メモリアレ
イブロック制御部50aを挟んでメモリアレイブロック
制御部50aの他方の側に配置されたメモリアレイブロ
ック1−1bもメモリセルアレイ51−1,51−2を
具備している。
【0169】メモリアレイブロック1−1aにおいて、
メモリセルアレイ51−1,51−2は、カラム方向に
隣接している。メモリセルアレイ51−1,51−2の
カラム方向の隣接する端部間にはセンスアンプ(カラム
スイッチを含む)52−1が配置されている。同様に、
メモリアレイブロック1−1bにおいて、メモリセルア
レイ51−1,51−2は、カラム方向に隣接してい
る。メモリセルアレイ51−1,51−2のカラム方向
の隣接する端部間にはセンスアンプ(カラムスイッチを
含む)52−1が配置されている。他のメモリアレイブ
ロック1−2、…1−8のフロアプランもメモリアレイ
ブロック1−1のフロアプランと同様であるので、説明
は省略する。
【0170】以上のようなメモリマクロのフロアプラン
によれば、記憶容量の増大(メモリアレイブロック数の
増加)があっても各ブロックを適切かつ短時間に配置で
きるため、面積オーバーヘッドが少なくなると共に、短
いTAT(ターンアラウンドタイム)で設計が可能であ
る。
【0171】なお、上記実施の形態においては、メモリ
マクロの記憶容量が一定という条件の下で、ロウアドレ
ス数(又はロウ数)、カラムアドレス数(又はカラム
数)を設計時間の大幅な増加なく、自由に変更すること
が可能である。なぜなら、例えば、ロウアドレス数を設
計段階で変更しても、ロウアドレスバッファやロウアド
レスデコーダの構成はそのままで(再設計せずに)、内
部ロウアドレス信号の一部を固定するか否かを決めるス
イッチの切り換えのみ行えばよいからである。
【0172】ところで、この場合、メモリマクロの記憶
容量が一定であるため、ロウアドレス数とカラムアドレ
ス数は反比例の関係にある。即ち、ロウアドレス数が減
少すれば、カラムアドレス数は、増加する。
【0173】このように、上記例によれば、ロジック混
載メモリの仕様(ロウ数、カラム数、I/O数、記憶容
量など)によりメモリアレイブロックの数が変わると、
アドレス信号の数も変わるが、/RASバッファなどの
回路を設計し直す必要はない。また、上述のように、本
願発明によれば、アドレス数の変更に伴う回路設計の変
更をCAD設計により自動的に行うことができるように
構成されているため、TAT(ターンアラウンドタイ
ム)を短縮することができる。
【0174】さらに、ロジック混載メモリの仕様(ロウ
数、カラム数、I/O数、記憶容量など)に応じてメモ
リを実現する場合、あらかじめ人手設計により設計して
おいたサブメモリアレイブロックを自動処理により組み
合わせて実現することにより人手による設計変更を必要
としない。また、I/O数の変更に合わせて、入出力デ
ータバッファブロックの設計を変更する場合でも、あら
かじめ人手設計により設計しておいたサブメモリアレイ
ブロックをCAD処理により組み合わせることにより自
動的に短時間で行うことができる。
【0175】図21は、本発明の第3の実施形態に関わ
る、1メガビットのメモリアレイブロックを4個、すな
わちメモリアレイブロック1−1〜1−4を、カラム方
向に配列してなる4メガビットのマクロセルのフロアプ
ランを示しているものである。図21に示されるよう
に、実際のレイアウトに合わせてメモリアレイブロック
制御部50a〜50dがメモリアレイブロック1−1〜
1−4の中央にカラム方向に配置されている。メモリア
レイブロック制御部50dにはカラム方向に隣接してさ
らに配線ブロック19が配置されている。メモリアレイ
ブロック制御部50a〜50dを挟んでメモリアレイブ
ロック制御部50a〜50dの一方の側には512キロ
ビットのメモリアレイブロック1−1a〜1−4aがカ
ラム方向に隣接して配置されている。また、メモリアレ
イブロック制御部50a〜50dを挟んでメモリアレイ
ブロック制御部50a〜50dの他方の側には512キ
ロビットのメモリアレイブロック1−1b〜1−4bが
カラム方向に隣接して配置されている。配線ブロック1
9を挟んで配線ブロック19の一方の側には入出力デー
タバッファブロック3aおよび周辺回路電源ドライバブ
ロック34aが配置されている。入出力データバッファ
ブロック3aおよび周辺回路電源ドライバブロック34
aは、メモリアレイブロック1−4aに隣接して順次カ
ラム方向に配置されている。また、配線ブロック19を
挟んで配線ブロック19の他方の側には入出力データバ
ッファブロック3bおよび周辺回路電源ドライバブロッ
ク34bが配置されている。入出力データバッファブロ
ック3bおよび周辺回路電源ドライバブロック34b
は、メモリアレイブロック1−4bに隣接して順次カラ
ム方向に配置されている。入出力データバッファブロッ
ク3aは、メモリアレイブロック1−1a〜1−4aに
共通に設けられたDQ線対DQ0−DQ63〜/DQ0
−/DQ63に対応して設けられている。また、入出力
データバッファブロック3bは、メモリアレイブロック
1b−1〜1−4bに共通に設けられたDQ線対DQ6
4−DQ127〜/DQ64−/DQ127に対応して
設けられている。なお、直流電位生成回路2は、図2、
16では、メモリアレイブロックl−1のカラム方向の
一端に隣接して配置されているが、本例では、図21に
示されるように、制御ブロックに隣接して配置されてお
り、制御ブロックと合わせて制御・直流電位生成ブロッ
ク502として形成されている。
【0176】図22は、512キロビットのメモリアレ
イブロックを4個、すなわちメモリアレイブロック1−
1〜1−4を、カラム方向に配列してなる4メガビット
のマクロセルのフロアプランを示しているものである。
図22に示されるように、実際のレイアウトに合わせて
メモリアレイブロック制御部50a〜50dがメモリア
レイブロック1−1〜1−4の中央にカラム方向に配置
されている。メモリアレイブロック制御部50dにはカ
ラム方向に隣接してさらに配線ブロック19が配置され
ている。メモリアレイブロック制御部50a〜50dを
挟んでメモリアレイブロック制御部50a〜50dの一
方の側には256キロビットのメモリアレイブロック1
−1a〜1−4aがカラム方向に隣接して配置されてい
る。また、メモリアレイブロック制御部50a〜50d
を挟んでメモリアレイブロック制御部50a〜50dの
他方の側には256キロビットのメモリアレイブロック
1−1b〜1−4bがカラム方向に隣接して配置されて
いる。配線ブロック19を挟んで配線ブロック19の一
方の側には入出力データバッファブロック3aおよび周
辺回路電源ドライバブロック34aが配置されている。
入出力データバッファブロック3aおよび周辺回路電源
ドライバブロック34aは、メモリアレイブロック1−
4aに隣接して順次カラム方向に配置されている。ま
た、配線ブロック19を挟んで配線ブロック19の他方
の側には入出力データバッファブロック3bおよび周辺
回路電源ドライバブロック34bが配置されている。入
出力データバッファブロック3bおよび周辺回路電源ド
ライバブロック34bは、メモリアレイブロック1−4
bに隣接して順次カラム方向に配置されている。入出力
データバッファブロック3aは、メモリアレイブロック
1−1a〜1−4aに共通に設けられたDQ線対DQ0
−DQ31〜/DQ0−/DQ31に対応して設けられ
ている。また、入出力データバッファブロック3bは、
メモリアレイブロック1b−1〜1−4bに共通に設け
られたDQ線対DQ32〜DQ63〜/DQ32−/D
Q63に対応して設けられている。なお、直流電位生成
回路2は、図2、16では、メモリアレイブロックl−
1のカラム方向の一端に隣接して配置されているが、本
例では、図22に示されるように、制御ブロックに隣接
して配置されており、制御ブロックと合わせて制御・直
流電位生成ブロック502として形成されている。
【0177】図23は、図21に示されるフロアプラン
におけるマクロセルのメモリアレイブロック1−1a、
メモリアレイブロック制御部50a、およびメモリアレ
イブロック1−1bを示している。なお、メモリアレイ
電源ドライバブロック4−1、電源線ブロック6a−
1、6b−1は図示省略されている。図23に示される
ように、512キロビットビットのメモリアレイブロッ
ク1−1a、1−1bのフロアプランにおいて、メモリ
アレイブロック制御部50aは、図3におけるのと同様
に、ロウデコーダ、カラムデコーダ、ロウ系制御回路な
どを含んでいる。メモリアレイブロック制御部50のロ
ウ方向の各側にメモリアレイブロック1−1a、1−1
bが、それぞれ、配置されている。
【0178】メモリアレイブロック1−1aは、16個
の32キロビットサブメモリアレイブロック101−1
〜101−16からなっており、サブメモリアレイブロ
ック101−1〜101−16はロウ方向に隣接して配
置されている。メモリアレイブロック1−1bも、同様
に、16個の32キロビットサブメモリアレイブロック
101−17〜101−32からなっており、サブメモ
リアレイブロック101−17〜101−32は ロウ
方向に隣接して配置されている。
【0179】32キロビットサブメモリアレイブロック
101−1〜101−32の各々においては16対のビ
ット線対BL,/BL対毎に1対のデータ線対DQ線対
が設けられており、32キロビットサブメモリアレイブ
ロック101−1〜101−16の各々は4対のDQ線
対を具備している。すなわち、32キロビットサブメモ
リアレイブロック101−1、101−2、…101−
16は、それぞれ、4対のDQ線対DQ0,/DQ0〜
DQ3/DQ3、DQ4,/DQ4〜DQ7,/DQ
7、 … DQ59,/DQ59〜DQ63,/DQ63
を具備している。したがって、メモリアレイブロック1
−1aは、64対のDQ線対すなわちDQ0,/DQ0
〜DQ63,/DQ63を具備している。同様に、32
キロビットサブメモリアレイブロック101−17、1
01−18、…101−32は、それぞれ、4対のDQ
線対DQ32,/DQ32〜DQ35,/DQ35、D
Q36,/DQ36〜DQ39,/DQ39、 … DQ
124,/DQ124〜DQ127,/DQ127を具
備している。したがって、メモリアレイブロック1−1
bは、64対のDQ線対すなわちDQ32,/DQ32
〜DQ127,/DQ127を具備している。したがっ
て、1メガビットのメモリアレイブロックは全体として
128対のDQ線対すなわちDQ0,/DQ0〜DQ1
27,/DQ127を具備している。
【0180】このように、一つのメモリアレイサブブロ
ックの記憶容量が設計段階におけるメモリマクロの記憶
容量の最小単位、すなわちメモリマクロの記憶容量の拡
張の基本単位、となる。したがって、本例によれば、メ
モリマクロの記憶容量は、サブメモリアレイブロック1
01−1の記憶容量を基本単位として変更可能である。
【0181】32キロビットサブメモリアレイブロック
の個数p個は、メモリマクロの仕様に応じて適宜選択で
きるものであり、8xp対のDQ線対をメモリアレイブ
ロック上に設けることができる。すなわち、一般的に、
DQ線対のビット幅をQ,サブメモリアレイブロックの
個数をPとすると、QxP対のDQ線対をメモリアレイ
ブロック上に設けることができる。
【0182】記憶容量の基本単位を決定するサブメモリ
アレイブロックの設計は人手作業によるものであるため
相応の設計時間が要求されるが、一度サブメモリアレイ
ブロックの設計してライブラリイに登録しておけば、メ
モリマクロの仕様に定められるサブメモリアレイブロッ
クの設計は、人手設計によりすでに用意されているメモ
リアレイサブブロックをCAD操作によりライブラリイ
からとりだしてサブメモリアレイブロックのレイアウト
を自動処理することにより容易にしかも短時間で実現す
ることができる。
【0183】図24は、図22に示されるフロアプラン
におけるマクロセルのメモリアレイブロック1−1a、
メモリアレイブロック制御部50a、およびメモリアレ
イブロック1−1bを示している。なお、メモリアレイ
電源ドライバブロック4−1、電源線ブロック6a−
1、6b−1は図示省略されている。図24に示される
ように、256キロビットのメモリアレイブロック1−
1a、1−1bのフロアプランにおいて、メモリアレイ
ブロック制御部50aは、図3におけるのと同様に、ロ
ウデコーダ、カラムデコーダ、ロウ系制御回路などを含
んでいる。メモリアレイブロック制御部50aのロウ方
向の各側にメモリアレイブロック1−1a、1−1b
が、それぞれ、配置されている。
【0184】メモリアレイブロック1−1aは、8個の
32キロビットサブメモリアレイブロック101−1〜
101−8からなっており、サブメモリアレイブロック
101−1〜101−8はロウ方向に隣接して配置され
ている。メモリアレイブロック1−1bも、同様に、8
個の32キロビットサブメモリアレイブロック101−
9〜101−16からなっており、サブメモリアレイブ
ロック101−9〜1101−16はロウ方向に隣接し
て配置されている。
【0185】32キロビットサブメモリアレイブロック
101−1〜101−16の各々においては16対のビ
ット線対BL,/BL対(カラム対)毎に1対のDQ線
対が設けられており、32キロビットサブメモリアレイ
ブロック101−1〜101−16の各々は4対のDQ
線対を具備している。すなわち、32キロビットサブメ
モリアレイブロック101−1、101−2、…101
−8は、それぞれ、4対のDQ線対DQ0,/DQ0〜
DQ3,/DQ3、DQ4,/DQ4〜DQ7,/DQ
7、 … DQ28,/DQ28〜DQ31,/DQ31
を具備している。したがって、メモリアレイブロック1
−1aは、32対のDQ線対すなわちDQ0,/DQ0
〜DQ31,/DQ31を具備している。同様に、32
キロビットサブメモリアレイブロック101−9、10
1−10、…101−16は、それぞれ、4対のDQ線
対DQ32,/DQ32〜DQ35,/DQ35、DQ
36,/DQ36〜DQ39,/DQ39、 … DQ5
9,/DQ59〜DQ63,/DQ63を具備してい
る。したがって、メモリアレイブロック1−1bは、3
2対のDQ線対すなわちDQ32,/DQ32〜DQ6
3,/DQ63を具備している。したがって、512キ
ロビットのメモリアレイブロックは全体として64対の
DQ線対すなわちDQ0,/DQ0〜DQ63,/DQ
63を具備している。
【0186】図25は、図23、24に示されるメモリ
アレイブロック1−1の32キロビットサブメモリアレ
イブロック101−1の構成を概略的に示しており、2
個の16キロビットサブメモリセルアレイ151−1、
151−2がカラム方向に配置されている。2個の16
キロビットサブメモリセルアレイ151−1、151−
2の隣接する端部間にはこれら端部に隣接してセンスア
ンプ・カラムスイッチ152−2が配置されている。端
部間に配置されているこのセンスアンプ・カラムスイッ
チ152−2は2個の16キロビットサブメモリセルア
レイ151−1、151−2に共有されている。また、
カラム方向において2個の16キロビットメモリセルサ
ブアレイ151−1、151−2のそれぞれの他方の端
部に隣接してセンスアンプ・カラムスイッチ152−
1,152−3が配置されている。
【0187】図26は、図25と同様の図であって、図
21、22のマクロセルのメモリアレイブロック1−2
の32キロビットサブメモリアレイブロック102−1
の概略的な構成を示している。メモリアレイブロック1
−2の32キロビットサブメモリアレイブロック102
−1は、メモリアレイブロック1−1の32キロビット
サブメモリアレイブロック101−1にカラム方向にお
いて隣接して配置されている。メモリアレイブロック1
−2の32キロビットサブメモリアレイブロック102
−1においては、2個の16キロビットサブメモリセル
アレイ151−1、151−2がカラム方向に配置され
ている。2個の16キロビットサブメモリセルアレイ1
51−1、151−2の隣接する端部間にはこれら端部
に隣接してセンスアンプ・カラムスイッチ152−1が
配置されている。端部間に配置されているこのセンスア
ンプ・カラムスイッチ152−1は2個の16キロビッ
トサブメモリセルアレイ151−1、151−2に共有
されている。また、カラム方向において16キロビット
サブメモリセルアレイ151−2の他方の端部に隣接し
てセンスアンプ・カラムスイッチ152−2が配置され
ている。メモリアレイブロック102−1においては、
しかしながら、32キロビットサブメモリアレイブロッ
ク101−1(図25)において16キロビットサブメ
モリセルアレイ151−1の上記他方の端部に隣接して
設けられたセンスアンプ・カラムスイッチ152−1に
相当するセンスアンプ・カラムスイッチは設けらていな
い。その代わりに、メモリアレイブロック101−1
(図25)におけるサブメモリセルアレイ151−2の
上記他方の端部に隣接して設けられたセンスアンプ・カ
ラムスイッチ152−3が共有される。メモリアレイブ
ロック102−1におけるサブメモリセルアレイ151
−1は、メモリアレイブロック101−1(図25)に
おけるセンスアンプ・カラムスイッチ152−3にカラ
ム方向において隣接して配置されている。図21、22
のマクロセルの他のメモリアレイブロック1−3、1−
4の32キロビットサブメモリアレイブロックについて
も図26に示す32キロビットサブメモリアレイブロッ
ク102−1と同様であるので説明は省略する。
【0188】図27は、図23の1メガビットのメモリ
アレイブロックの全体、特に、メモリアレイブロック1
−1aにおける32キロビットサブメモリアレイブロッ
ク101−1のDQ0、/DQ0に関連する部分の構成
を詳細に示している。32キロビットサブメモリアレイ
ブロック101−1の回路構成は、図5のメモリアレイ
ブロックの回路構成と比較すると明らかなように基本的
には同様である。しかしながら、具備しているDQ線対
の対数が異なっている。すなわち、図5のメモリアレイ
ブロック1−1aは、DQ0、/DQ0〜DQ63,/
DQ63の64対のDQ線対を具備しているのに対し、
図27のメモリアレイブロック1−1aのサブメモリア
レイブロック101−1は、DQ0,/DQ0〜DQ
3,/DQ3の4対のDQ線対を具備している。すなわ
ち、図27のサブメモリアレイブロック101−1〜1
01−32の各々の具備するDQ線対の対数は、図5の
メモリアレイブロックの具備するDQ線対の対数に対し
1/16となっている。DQ線対の対数が1/16に減
少したのは、記憶容量の拡張単位を32キロビットと
し、かつ16カラム分のビット線対毎に1対のDQ線対
を設けた構成としたからである。DQ線対の対数が1/
16であることにより、32キロビットサブメモリアレ
イブロックの行方向の配置個数を選択するだけでメモリ
マクロの仕様に定められているI/O数を4ビット単位
で容易に実現することができる。なお、図27のメモリ
アレイブロック1−1は、32個の32キロビットサブ
メモリアレイブロックを具備しており、したがって全体
としては、DQ0,/DQ0〜DQ127,/DQ12
7の128対のDQ線対を有している。
【0189】図28は、図27と同様の図であって、図
21のマクロセルのメモリアレイブロック1−2の全
体、特に、メモリアレイブロック1−2における32キ
ロビットサブメモリアレイブロック102−1のDQ
0、/DQ0に関連する部分の構成を詳細に示してい
る。図28の構成は図27の構成とほぼ同様である。異
なる点は、図28において明らかとなるように、メモリ
アレイブロック102−1においては、メモリアレイブ
ロック1−1の32キロビットサブメモリアレイブロッ
ク101−1(図27)におけるセンスアンプ・カラム
スイッチ152−1に相当するセンスアンプ・カラムス
イッチは設けらていない。その代わりに、メモリアレイ
ブロック1−1aのメモリアレイブロック101−1
(図27)におけるサブメモリセルアレイ151−2の
上記他方の端部に隣接して設けられたセンスアンプ・カ
ラムスイッチ152−3が共有される。なお、理解を容
易にする観点から、図28には、メモリアレイブロック
1−1aのメモリアレイブロック101−1(図27)
におけるサブメモリセルアレイ151−2の上記他方の
端部に隣接して設けられたセンスアンプ・カラムスイッ
チ152−3が示されている。図21のマクロセルの他
のメモリアレイブロック1−3、1−4の32キロビッ
トサブメモリアレイブロックについても図28に示す3
2キロビットサブメモリアレイブロック102−1と同
様であるので説明は省略する。
【0190】1対のDQ線対には、16カラム分のビッ
ト線対が接続されている。16カラム分のビット線対の
うち、カラム選択信号により選択された1カラム分のビ
ット線対と1対のDQ線対との間でデータの授受が可能
となるため、同時に入出力できるビット数(I/O数)
は、32キロビットサブメモリアレイブロック当たりで
は4ビット(4I/O)、また1メガビットメモリアレ
イブロック当たりでは128ビット(128I/O)と
なる。
【0191】図29は、図24の512キロビットのメ
モリアレイブロックの全体、特に、メモリアレイブロッ
ク1−1aにおける32キロビットサブメモリアレイブ
ロック101−1のDQ0、/DQ0に関連する部分の
構成を詳細に示している。32キロビットサブメモリア
レイブロック101−1の回路構成は、図5のメモリア
レイブロックの回路構成と比較すると明らかなように基
本的には同様である。しかしながら、具備しているDQ
線対の対数が異なっている。すなわち、図5のメモリア
レイブロック1−1aは、DQ0、/DQ0〜DQ6
3,/DQ63の64対のDQ線対を具備しているのに
対し、図29のメモリアレイブロック1−1aのサブメ
モリアレイブロック101−1は、DQ0,/DQ0〜
DQ3,/DQ3の4対のDQ線対を具備している。す
なわち、図29のサブメモリアレイブロック101−1
〜101−16の各々の具備するDQ線対の対数は、図
5のメモリアレイブロックの具備するDQ線対の対数に
対し1/16である。DQ線対の対数が1/16である
ことにことにより、図27、28に関連して述べた1メ
ガビットメモリの場合と同様に、32キロビットサブメ
モリアレイブロックの行方向の配置個数を選択するだけ
でメモリマクロの仕様に定められているI/O数を4ビ
ット単位で容易に実現することができる。なお、図29
のメモリアレイブロック1−1は、16個の32キロビ
ットサブメモリアレイブロックを具備しており、したが
って全体としては、DQ0,/DQ0〜DQ63,/D
Q63の64対のDQ線対を有している。
【0192】図30は、図28と同様の図であって、図
22のマクロセルのメモリアレイブロック1−2の全
体、特に、メモリアレイブロック1−2における32キ
ロビットサブメモリアレイブロック102−1のDQ
0、/DQ0に関連する部分の構成を詳細に示してい
る。図30の構成は図28の構成とほぼ同様である。異
なる点は、図30において明らかとなるように、メモリ
アレイブロック102−1においては、メモリアレイブ
ロック1−1の32キロビットサブメモリアレイブロッ
ク101−1(図29)におけるセンスアンプ・カラム
スイッチ152−1に相当するセンスアンプ・カラムス
イッチは設けらていない。その代わりに、メモリアレイ
ブロック1−1aのメモリアレイブロック101−1
(図29)におけるメモリアレイブロック1−2a側に
設けられているセンスアンプ・カラムスイッチ152−
3が共有される。なお、理解を容易にする観点から、図
30には、メモリアレイブロック1−1aのメモリアレ
イブロック101−1(図29)におけるメモリアレイ
ブロック1−2a側に設けられているセンスアンプ・カ
ラムスイッチ152−3が示されている。図22のマク
ロセルの他のメモリアレイブロック1−3、1−4の3
2キロビットサブメモリアレイブロックについても図3
0に示す32キロビットサブメモリアレイブロック10
2−1と同様であるので説明は省略する。
【0193】1対のDQ線対には、16カラム分のビッ
ト線対が接続されている。16カラム分のビット線対の
うち、カラム選択信号により選択された1カラム分のビ
ット線対と1対のDQ線対との間でデータの授受が可能
となるため、同時に入出力できるビット数(I/O数)
は、32キロビットサブメモリアレイブロック当たりで
は4ビット(4I/O)、また512キロビットメモリ
アレイブロック当たりでは64ビット(64I/O)と
なる。
【0194】図27〜30のメモリアレイブロックにお
けるセンスアンプ・カラムスイッチの詳細な構成は、図
7に示すのと同じである。
【0195】図31は、図21,22のフロアプランに
おける制御ブロック502の構成を示すものである。図
31の制御ブロック502は、図2に示される制御ブロ
ック5と同様の構成の制御ブロック5と図2に示される
電位生成ブロック2と同様の構成の電位生成ブロック2
とを含んでいる。図31における制御ブロック502の
構成を、図2のフロアプランにおける制御ブロック5の
構成と比較すると、図31の制御ブロック502の構成
は直流電位生成ブロック2をさらに具備している点が異
なっている。これに対し、図2のフロアプランでは、直
流電位生成ブロック2は1メガビットメモリアレイブロ
ック1−1の上端に隣接して配置されている。図2のフ
ロアプランの構成はこの点が図21、22のフロアプラ
ンの構成と異なっている。
【0196】図21、22のフロアプランにおいて、直
流電位生成ブロック2の配置を、図2のフロアプランに
おけるように1メガビットメモリアレイブロック1−1
の上端の配置から、制御ブロック内に変更した理由は、
もし、制御ブロックをメモリブロックの上端に配置した
場合、ロウ方向におけるメモリアレイブロック1−1の
幅が、配置される複数の32キロビットサブメモリアレ
イブロックの個数によって変化してしまい、メモリアレ
イブロックの ロウ方向における幅と直流電位生成ブロ
ック2の ロウ方向における幅とが必ずしも等しくなら
なくなってしまうからである。これを避けるために、図
21、22のフロアプランにおいては、直流電位生成ブ
ロック2の配置を、図2のフロアプランにおけるように
1メガビットメモリアレイブロック1−1の上端から、
制御ブロック内に変更されている。
【0197】図32および33は、図31における制御
および直流電位生成ブロック502の詳細な構成を示す
ものである。
【0198】図32および33に示されるように、制御
および直流電位生成ブロック502は、/RASバッフ
ァ71、ロウアドレスバッファ72−0〜72−8,7
3,74、/CASバッファ75、カラムアドレスバッ
ファ76−0〜76−3、および/WEバッファ77及
び入出力データバッファ制御回路78からなる、図11
に示すのと同じ構成の制御系ブロック5と、種々の電位
発生回路からなる直流電位生成ブロック2とを含んでい
る。
【0199】/RASバッファ71は、メモリマクロの
外部から与えられるロウアドレスストロ−ブ信号/RA
Sに基づいてメモリマクロの内部で使用するロウアドレ
スストロ−ブ信号RASintを発生する。
【0200】ロウアドレスバッファ72−0〜72−8
は、ロウアドレスストロ−ブ信号RASintに同期し
てロウアドレス信号(外部ロウアドレス信号)AR0〜
AR8をメモリマクロ内部に取り込み、内部ロウアドレ
ス信号AR0int〜AR8int,/AR0int〜
/AR8intを発生する。この内部ロウアドレス信号
AR0int〜AR8int,/AR0int〜/AR
8intは、ロウデコーダに与えられ、選択されたメモ
リアレイブロック内の512本の行のうちの1本の行を
選択する。
【0201】ロウアドレスバッファ73,74は、ロウ
アドレスストロ−ブ信号RASintに同期してロウア
ドレス信号(外部ロウアドレス信号)AR9,AR10
をメモリマクロ内部に取り込み、内部ロウアドレス信号
AR9int〜AR10int,/AR9int〜/A
R10intを発生する。この内部ロウアドレス信号A
R9int〜AR10int,/AR9int〜/AR
10intは、複数のメモリアレイブロック(例えば、
4つ)から1つのメモリアレイブロックを選択する。
【0202】メモリアレイブロックを選択するためのロ
ウアドレス信号(ブロック選択用ロウアドレス信号)の
数は、メモリマクロ内のメモリアレイブロックの数に応
じて変わる。
【0203】図32および33に示されるように、制御
および直流電位生成ブロック502ブロック502にお
ける制御ブロック5の構成は図11に示す制御ブロック
5の構成と同じであり、したがって図11、12に関連
して述べられている説明、たとえばメモリアレイブロッ
クの選択に関するスイッチSW1〜SW6の切り換えに
ついての説明、は本例に対しても同様に適用できるもの
である。
【0204】直流電位生成ブロック2は、基板電位発生
回路29、ワード線電位発生回路30、ビット線電位発
生回路31、センスアンプ電源ドライバ基準電位発生回
路32、周辺回路電源基準電位発生回路33を具備して
いる。
【0205】基板電位発生回路29は、メモリマクロに
おける基板電位VBBを発生する。ワード線電位発生回
路30は、ロウアドレス信号により選択されたワード線
に与える電位VPPを発生する。ビット線電位発生回路
31は、読み出しデータ又は書き込みデータをビット線
対に導く前にビット線対の電位を所定値にイコライズす
るために設けられる。
【0206】センスアンプ電源ドライバ基準電位発生回
路32は、外部電源VEXTに基づいて電源VPPAを
発生する。
【0207】周辺回路電源電位発生回路33は、外部電
源VEXTが与えられて電源VPPIを発生する周辺回
路電源電位発生回路34と、電源VPPIがゲートに与
えられてメモリマクロにおける周辺回路を駆動するため
の内部電源VINTを発生する周辺回路電源からなって
いる。
【0208】電源VPPAは、図21、22のフロアプ
ランにおけるメモリセルアレイ電源ドライバブロック4
に与えられる。メモリセルアレイ電源ドライバブロック
4は、センスアンプドライバ(例えば図15参照)の電
源VAAを発生する。メモリセルアレイ電源ドライバブ
ロック4はMOSトランジスタからなり、電源VPPA
はこのMOSトランジスタのゲートに入力される。この
MOSトランジスタのドレインは外部電源VEXTに接
続され、ソースから電源VAAが取り出され、センスア
ンプドライバに与えられる。センスアンプドライバは、
センスアンプに与える信号SAP,/SANを発生す
る。
【0209】図34は、図21のメモリマクロのフロア
プランにおける入出力データバッファブロック3aおよ
び周辺回路電源ドライバブロック34aの構成を詳細に
示している。図示されてはいないが、入出力データバッ
ファブロック3bおよび周辺回路電源ドライバブロック
34bの構成も同様である。
【0210】図34に示されるように、入出力データバ
ッファブロック3aは、ロウ方向に隣接して配置された
64個の入出力データバッファ3a−1〜3a−64か
らなっている。64個の入出力データバッファ3a−1
〜3a−64は64対のDQ線対DQ0,/DQ0〜D
Q63,/DQ63に対応して設けられている。
【0211】例えば、DQ線対DQ0、/DQ0対、D
Q線対DQ1、/DQ1対、DQ2、/DQ2対、…に
対応してそれぞれ入出力データバッファ3a−1、3a
−2、3a−3、…が配置されている。
【0212】また、64個の入出力端子I/O0〜I/
O63が64個の入出力データバッファ3a−1〜3a
−64に対応して設けられており、64個の入出力デー
タバッファ3a−1〜3a−64がそれぞれ64個の入
出力端子I/O0〜I/O64に接続されている。
【0213】このように、入出力データバッファブロッ
クを複数の入出力データバッファから構成するために
は、予め入出力データバッファを設計しておく必要があ
る。入出力データバッファの設計は人手作業によるもの
であり相応の設計時間が要求されるが、一度入出力デー
タバッファを設計してライブラリイに登録しておけば、
メモリマクロの仕様に定められる入出力データバッファ
ブロックの設計は、人手設計によりすでに用意されてい
る入出力データバッファをCAD操作によりライブラリ
イからとりだして入出力データバッファのレイアウトを
自動処理することにより容易にしかも短時間で設計する
ことができる。
【0214】周辺回路電源ドライバブロック34aは入
出力データバッファ3aに隣接して設けられている。す
なわち、互いに隣接してロウ方向に配置された64個の
入出力データバッファ3a−1〜3a−64に隣接しか
つ対応して、64個の周辺回路電源ドライバ34a−1
〜34a−64がロウ方向に隣接して配置されている。
例えば、入出力データバッファ3a−1、3a−2、3
a−3、…に対応してそれぞれ周辺回路電源ドライバ3
4a−1、34a−2、34a−3、…が配置されてい
る。入出力データバッファブロック3bおよび周辺回路
電源ドライバブロック34bの構成も同様であるので、
簡単に説明する。
【0215】すなわち、入出力データバッファブロック
3bは、入出力データバッファブロック3aと同様に、
ロウ方向に隣接して配置された64個の入出力データバ
ッファからなっている。周辺回路電源ドライバ34bも
ロウ方向に隣接して配置された64個の周辺回路電源ド
ライバからなっている。そして、周辺回路電源ドライバ
34bが入出力データバッファ3bに対応して配置され
ている。すなわち、周辺回路電源ドライバ34bの64
個の周辺回路電源ドライバが入出力データバッファブロ
ック3bの64個の入出力データバッファに対応して配
置されている。
【0216】各周辺回路電源ドライバは、外部電源VE
XTが駆動電源として与えられ、また周辺回路電源ドラ
イバ基準電位発生回路33(図8)から電源VPPIが
制御信号として与えられて内部電源VINTを発生す
る。内部電源VINTは各入出力データバッファに駆動
電源として与えられ、かつ、他の回路、例えばアドレス
バッファ、ロウデコーダ、カラムデコーダ等にも駆動電
源として与えられている。各周辺回路電源ドライバの構
成は、例えば、図8の制御ブロック5内の直流電位生成
ブロック2における周辺回路電源ドライバ34のよう
に、MOSトランジスタから構成されている。MOSト
ランジスタのドレインに外部電源VEXTが駆動電源と
して与えられ、またゲートに周辺回路電源ドライバ基準
電位発生回路33から電源VPPIが制御信号として与
えられて内部電源VINTを発生する。内部電源VIN
Tは各入出力データバッファに駆動電源として与えられ
る。
【0217】このように周辺回路電源ドライバを複数の
周辺回路電源ドライバから構成するためには、予め周辺
回路電源ドライバを設計しておく必要がある。周辺回路
電源ドライバの設計は人手作業によるものであり相応の
設計時間が要求されるが、一度周辺回路電源ドライバを
設計してライブラリイに格納しておけば、メモリマクロ
の仕様に定められる周辺回路電源ドライバの設計は、人
手設計によりすでに用意されている周辺回路電源ドライ
バをCAD操作によりライブラリイからとりだして周辺
回路電源ドライバのレイアウトをプログラムにしたがっ
て自動処理することにより容易にしかも短時間で設計す
ることができる。
【0218】図34に示すフロアプランでは、また、6
4個の入出力データバッファ3a−1〜3a−64と6
4個の周辺回路電源ドライバ34a−1〜34a−64
とがロウ方向に互いに概略等しいピッチで配列されてい
る。64個の入出力データバッファ3a−1〜3a−6
4および64個の周辺回路電源ドライバ34a−1〜3
4a−64は64対のDQ0,/DQ0〜DQ63,/
DQ63対に対応して設けられており、64対のDQ
0,/DQ0〜DQ63,/DQ63対は4対毎に各3
2キロビットサブメモリアレイブロックに設けられてい
るので、入出力データバッファ3a−1〜3a−64お
よび周辺回路電源ドライバ34a−1〜34a−64の
ピッチは32キロビットサブメモリアレイブロックのロ
ウ方向のピッチの1/4である。したがって、図34に
示されるように、64個の入出力データバッファ3a−
1〜3a−64および64個の周辺回路電源ドライバ3
4a−1〜34a−64のロウ方向の配列個数を32キ
ロビットサブメモリアレイブロックのロウ方向の配列個
数の4倍とすることができ、多ビット出力に適したもの
となる。
【0219】図35に、入出力データバッファの具体的
な構成例が示されている。入出力データバッファは読み
出しバッファ111と書き込みバッファ112とからな
っている。読み出しバッファ111は読み出し制御信号
RDENによって制御され、DQ線対例えばDQ0、/
DQ0上のデータをI/O部に出力する。書き込みバッ
ファ111は制御信号WTENによって制御され、I/
O部に入力される書き込みデータをDQ線対DQ0、/
DQ0に出力する。
【0220】図36は、図22のメモリマクロのフロア
プランにおける、図34と同様の図を示している。すな
わち、図36は、図21のメモリマクロのフロアプラン
における入出力データバッファブロック3aおよび周辺
回路電源ドライバブロック34aの構成を詳細に示して
いる。図示されてはいないが、入出力データバッファブ
ロック3bおよび周辺回路電源ドライバブロック34b
の構成も同じである。
【0221】図36に示されるように、入出力データバ
ッファブロック3aは、ロウ方向に隣接して配置された
32個の入出力データバッファ3a−1〜3a−32か
らなっている。32個の入出力データバッファ3a−1
〜3a−32は32対のDQ線対DQ0,/DQ0〜D
Q31,/DQ31に対応して設けられている。
【0222】図34に示す入出力データバッファブロッ
クにおけるのと同様に、例えば、DQ線対DQ0、/D
Q0対、DQ線対DQ1、/DQ1対、DQ2、/DQ
2対、…に対応してそれぞれ入出力データバッファ3a
−1、3a−2、3a−3、…が配置されている。
【0223】周辺回路電源ドライバブロック34aは入
出力データバッファ3aに隣接して設けられている。す
なわち、互いに隣接してロウ方向に配置された32個の
入出力データバッファ3a−1〜3a−32に隣接しか
つ対応して、32個の周辺回路電源ドライバ34a−1
〜34a−32がロウ方向に隣接して配置されている。
例えば、入出力データバッファ3a−1、3a−2、3
a−3、…に対応してそれぞれ周辺回路電源ドライバ3
4a−1、34a−2、34a−3、…が配置されてい
る。入出力データバッファブロック3bおよび周辺回路
電源ドライバブロック34bの構成も同じであるので、
簡単に説明する。
【0224】すなわち、入出力データバッファブロック
3bは、入出力データバッファブロック3aと同様に、
ロウ方向に隣接して配置された32個の入出力データバ
ッファからなっている。周辺回路電源ドライバ34bも
ロウ方向に隣接して配置された32個の周辺回路電源ド
ライバからなっている。そして、周辺回路電源ドライバ
34bが入出力データバッファ3bに対応して配置され
ている。すなわち、周辺回路電源ドライバ34bの32
個の周辺回路電源ドライバが入出力データバッファブロ
ック3bの32個の入出力データバッファに対応して配
置されている。
【0225】また、32個の入出力端子I/O0〜I/
O31が32個の入出力データバッファ3a−1〜3a
−32に対応して設けられており、32個の入出力デー
タバッファ3a−1〜3a−32がそれぞれ32個の入
出力端子I/O0〜I/O31に接続されている。
【0226】図36に示すフロアプランでは、また、3
2個の入出力データバッファ3a−1〜3a−32と3
2個の周辺回路電源ドライバ34a−1〜34a−32
とがロウ方向に互いに概略等しいピッチで配列されてい
る。32個の入出力データバッファ3a−1〜3a−3
2および32個の周辺回路電源ドライバ34a−1〜3
4a−32は32対のDQ0,/DQ0対〜DQ31,
/DQ31に対応して設けられており、32対のDQ
0,/DQ0対〜DQ31,/DQ31は4対毎に各3
2キロビットサブメモリアレイブロックに設けられてい
るので、入出力データバッファ3a−1〜3a−32お
よび周辺回路電源ドライバ34a−1〜34a−32の
ピッチは32キロビットサブメモリアレイブロックのロ
ウ方向のピッチの1/4である。
【0227】図34の入出力データバッファブロックが
64個の入出力データバッファ3a−1〜3a−64お
よび64個の周辺回路電源ドライバ34a−1〜34a
−64からなる構成であるのに対し、図36の入出力デ
ータバッファブロックは32個の入出力データバッファ
ブロック3a−1〜3a−32および32個の周辺回路
電源ドライバ34a−1〜34a−32からなる構成と
なっている。この点を除き、図36のフロアプランの構
成は図34のフロアプランの構成と同様である。
【0228】図37は、図34の入出力データバッファ
ブロックの変形例の構成を示す図である。すなわち本例
では、入出力データバッファ3a−1〜3a−64のピ
ッチは図34に示す例と変わらないが、周辺回路電源ド
ライバのピッチが入出力データバッファ3a−1〜3a
−64のピッチの8倍になっており、周辺回路電源ドラ
イバブロック34aは8個の周辺回路電源ドライバ34
a−1〜34a−8から構成されている。すなわち、周
辺回路電源ドライバ34a−1〜34a−8のピッチが
32キロビットサブメモリアレイブロック101−1〜
101−8のピッチの2倍と等しくなっている。
【0229】なお、図34における場合と同様に、64
個の入出力端子I/O0〜I/O63が64個の入出力
データバッファ3a−1〜3a−64に対応して設けら
れており、64個の入出力データバッファ3a−1〜3
a−64がそれぞれ64個の入出力端子I/O0〜I/
O64に接続されている。
【0230】図38は、図36の入出力入出力データバ
ッファブロックの変形例の構成を示す図である。すなわ
ち本例では、入出力データバッファ3a−1〜3a−3
2のピッチは図36に示す例と変わらないが、周辺回路
電源ドライバのピッチが入出力データバッファ3a−1
〜3a−32のピッチの8倍になっており、周辺回路電
源ドライバブロック34aは4個の周辺回路電源ドライ
バ34a−1〜34a−4から構成されている。すなわ
ち、周辺回路電源ドライバ34a−1〜34a−4のピ
ッチが32キロビットサブメモリアレイブロック101
−1〜101−4のピッチの2倍と等しくなっている。
【0231】なお、図36における場合と同様に、32
個の入出力端子I/O0〜I/O31が32個の入出力
データバッファ3a−1〜3a−32に対応して設けら
れており、32個の入出力データバッファ3a−1〜3
a−32がそれぞれ32個の入出力端子I/O0〜I/
O31に接続されている。
【0232】多ビット出力のDRAMマクロにおいて入
出力データバッファ部および周辺回路電源ドライバでの
消費電流は非常に大きく、DRAMマクロにおいて消費
される電流の50%以上が入出力データバッファ部およ
び周辺回路電源ドライバで消費される。上記構成では、
入出力データバッファおよび周辺回路電源ドライバがD
Q線対毎に配置される手法がとられているので、DQ線
対の対数に応じて、設けられるI/O入出力データバッ
ファおよび周辺回路電源ドライバの個数が変えられるた
め、入出力データバッファ部での無駄な電流消費とチッ
プサイズの増大が避けられる。それは、DQ線対の対数
に応じて、設けられるI/O入出力データバッファおよ
び周辺回路電源ドライバの個数が変えられることによ
り、I/O入出力データバッファおよび周辺回路電源ド
ライバでのトランジスタサイズの合計値を必要な最小値
に設定することができるからである。上記構成によれば
また、I/O数が少なく消費電流が小さい場合において
周辺回路電源ドライバのトランジスタサイズの必要面積
が小さくなる。上記構成によればさらに、周辺回路電源
ドライバが、電流を多く消費する入出力データバッファ
に隣接して配置されているため、入出力データバッファ
と周辺回路電源ドライバとの間の電源バス抵抗により生
じる入出力データバッファ電源の電位降下が小さくな
る。図39は、本発明に関わるメモリマクロの設計フロ
チャートを示しているものである。
【0233】まず、メモリマクロを構成するための基本
要素となるブロックを設計する。ここで設計するブロッ
クには、直流電位生成ブロック、メモリアレイブロック
(Kビット)、入出力データバッファブロック、メモリ
アレイ電源ドライバブロック、制御ブロック及び電源線
ブロックが含まれる。制御ブロックの設計に当たって
は、上述のように、メモリマクロの最大容量に基づい
て、ブロック選択用ロウアドレス信号を入力するアドレ
スバッファ数を決定する。
【0234】次に、これから設計するメモリマクロの仕
様(記憶容量、ロウ数、カラム数、I/O数など)につ
いて確認する。すなわち、これから設計しようとするメ
モリマクロの仕様(記憶容量、ロウ数、カラム数、I/
O数など)の確認をする。すなわち、記憶容量、ロウ
数、カラム数、I/O数について、例えば、記憶容量=
ロウ数xカラム数xI/O数なる式が成立するか否かを
調べ、成立することを確認する。成立が確認された場合
には、仕様で定められたそれら記憶容量、ロウ数、カラ
ム数、I/O数などを入力する。ついで、サブメモリア
レイブロック当たりのDQ線対数QとI/O数Rに基づ
いてサブメモリアレイブロック数P=(R/Q)を計算
する。また、入出力データバッファ数をPに等しく設定
する。ついで、メモリマクロの記憶容量(又は、ロウ
数、カラム数)N及びサブメモリアレイブロックの記憶
容量MおよびPに基づいてメモリアレイブロック数L=
N(MxP)を計算する。これらが決定したら、CAD
処理により、自動的にサブメモリアレイブロックおよび
入出力データバッファを組み合わせて仕様に合致したメ
モリアレイブロックおよび入出力データバッファブロッ
クを形成しメモリマクロを構成する。同時に、制御ブロ
ック内のブロックアドレス用スイッチの切り換えを、メ
モリアレイブロック数Lに基づいてCAD処理により自
動的に行う。
【0235】以上より、メモリマクロの設計が終了す
る。この後、ゲートアレイ又はスタンダードセルにより
構成されたロジック部とメモリマクロを組み合わせ、ロ
ジック混載メモリの設計が完了する。
【0236】このような設計手法によれば、メモリマク
ロの仕様が決まると、CAD処理により自動的にサブメ
モリアレイブロックを所定数、および好ましくはさら
に、入出力データバッファ、周辺回路基準ドライバを所
定数組み合わせてメモリマクロを構成する。同時に、制
御ブロック内のブロックアドレス用スイッチの切り換え
を、メモリアレイブロック数Lに基づいてCAD処理に
より自動的に行う。従って、短い設計期間でかつ面積オ
ーバーヘッドの少ないメモリマクロを提供することがで
きる。
【0237】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のロジッ
ク混載メモリによれば、次のような効果を奏する。
【0238】CAD処理により、Mビットのサブメモリ
アレイブロックをPxL個組み合わせるだけで、M×L
ビットのメモリマクロを設計することができる。しか
も、センスアンプ・カラムスイッチは、その両端に存在
する二つのメモリセルアレイに共有されているため、メ
モリマクロの記憶容量が大きくなっても、面積オーバー
ヘッドが少ない。また、DQ線対及び入出力データバッ
ファブロックを複数のメモリアレイブロックに共通に設
けることも、メモリマクロの面積縮小に貢献する。
【0239】また、記憶容量増減の最小単位となるメモ
リアレイブロック毎に、メモリアレイ電源ドライバを配
置するようにしているため、記憶容量が小さい場合に過
剰なサイズのメモリアレイ電源ドライバが存在するとい
う事態を回避することができる。また、異なる記憶容量
のメモリマクロを実現するに当たっては、CAD処理に
よりスイッチを切り換えて、ブロック選択用アドレス信
号の数を調節するだけでよい。
【0240】さらに、人手設計によりサブメモリアレイ
ブロックを用意しておき、必要な記憶容量に応じた数の
サブメモリアレイブロックのレイアウトをCAD操作に
より自動処理することにより、人手による複雑な設計変
更を必要とすることなく短時間で仕様に応じたメモリマ
クロを実現することができる。
【0241】また、基本単位の入出力データバッファを
用意しておき、必要な記憶容量に応じた数の入出力デー
タバッファサブロックのレイアウトをCAD操作により
自動処理することにより、人手による複雑な設計変更を
必要とすることなくI/O数の入出力データバッファブ
ロックを容易に実現することができる。
【0242】しかも、入出力データバッファブロックに
並置しかつ入出力データバッファブロックの ロウ方向
の幅に合わせた周辺回路電源ドライバを、基本単位の周
辺回路電源ドライバを用意しておき、必要な数の周辺回
路電源ドライバを用いて、CAD操作により自動処理す
ることにより、人手による複雑な設計変更を必要とする
ことなく容易に実現することができる。
【0243】以上より、メモリマクロの仕様に変更があ
っても、人手による設計変更を必要とすることなく、C
AD操作による自動設計により面積オーバーヘッドの少
ないメモリマクロを短い設計期間で供給することが可能
となる。すなわち、複雑で長期の設計期間を必要とする
基本設計を人手により行い、かつメモリマクロの仕様の
変更に対しては基本設計を用いてCAD操作により容易
に自動処理することにより、短期間で面積オーバーヘッ
ドの少ないメモリマクロを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】ロジック混載メモリのフロアプランの一例を示
す図。
【図2】本発明の第1の実施形態のメモリマクロのフロ
アプランを示す図。
【図3】図2のメモリアレイブロックのフロアプランを
示す図。
【図4】図2のメモリアレイブロックのフロアプランを
示す図。
【図5】図3のメモリアレイブロック内の構成を示す
図。
【図6】図4のメモリアレイブロック内の構成を示す
図。
【図7】共通センスアンプ方式のセンスアンプ・カラム
スイッチの構成を示す図。
【図8】図2の直流電位生成ブロック内の構成を示す
図。
【図9】図2のメモリアレイ電源ドライバブロック内の
構成を示す図。
【図10】図2の入出力データバッファブロック内の構
成を示す図。
【図11】図2の制御ブロック内の構成を示す図。
【図12】図2の制御ブロック内の構成を示す図。
【図13】(a)、(b)、(c)、(d)はそれぞれ
図11及び図12のスイッチの切り換え手法について示
す図。
【図14】図2の電源線ブロック内の構成を示す図。
【図15】図3及び図4のメモリアレイブロック制御部
内の構成を示す図。
【図16】4メガビットメモリマクロのフロアプランの
一例を示す図。
【図17】1メガビットメモリマクロのフロアプランの
一例を示す図。
【図18】メモリマクロの設計フロチャート。
【図19】本発明の第2の実施形態のメモリマクロのフ
ロアプランを示す図。
【図20】図19のメモリアレイブロックのフロアプラ
ンを示す図。
【図21】本発明の第3の実施形態の4メガビットのメ
モリマクロのフロアプランを示す図。
【図22】図21と同様の図であって、2メガビットの
メモリマクロのフロアプランを示す図。
【図23】図21のメモリアレイブロックのフロアプラ
ンを示す図。
【図24】図23と同様の図であって、図22のメモリ
アレイブロックのフロアプランを示す図。
【図25】図23、24のメモリアレイブロックのサブ
メモリアレイブロックの構成の一部を概略的に示す図。
【図26】図23、24のメモリアレイブロックのサブ
メモリアレイブロックの構成の他の一部を概略的に示す
図。
【図27】図23に概略的に示したサブメモリアレイブ
ロックの一部の構成を詳細に示す図であって、特に、サ
ブメモリアレイブロックの一部の構成を詳細に示す図。
【図28】図23に概略的に示したサブメモリアレイブ
ロックの一部の構成を詳細に示す図であって、特に、サ
ブメモリアレイブロックの一部の構成を詳細に示す図。
【図29】図24に概略的に示したメモリアレイブロッ
クの一部の構成を詳細に示す図であって、特に、サブメ
モリアレイブロックの一部の構成を詳細に示す図。
【図30】図24に概略的に示したメモリアレイブロッ
クの一部の構成を詳細に示す図であって、特に、サブメ
モリアレイブロックの一部の構成を詳細に示す図。
【図31】図21、22のメモリのフロアプランにおけ
る制御ブロック・直流電位生成ブロック内の構成を概略
的に示す図。
【図32】図21、22のメモリのフロアプランにおけ
る制御・直流電位生成ブロック内の制御ブロックの構成
を詳細に示す図。
【図33】図21、22のメモリのフロアプランにおけ
る制御・直流電位生成ブロック内の直流電位生成ブロッ
クの構成を詳細に示す図。
【図34】図21のメモリマクロのフロアプランにおけ
る入出力データバッファブロックおよび周辺回路電源ド
ライバブロックの構成を詳細に示す図。
【図35】入出力データバッファの具体的な構成を示す
図。
【図36】図22のメモリマクロのフロアプランにおけ
る入出力データバッファブロックおよび周辺回路電源ド
ライバブロックの構成を詳細に示す図。
【図37】図21のメモリマクロのフロアプランにおけ
る入出力データバッファブロックおよび周辺回路電源ド
ライバブロックの他の構成を詳細に示す図。
【図38】図22のメモリマクロのフロアプランにおけ
る入出力データバッファブロックおよび周辺回路電源ド
ライバブロックの他の構成を詳細に示す図。
【図39】メモリマクロの設計フロチャート。
【図40】ロジック混載メモリのフロアプランの一例を
示す図。
【図41】ロジック混載メモリのフロアプランの一例を
示す図。
【図42】従来のメモリマクロのフロアプランの一例を
示す図。
【図43】図42のメモリアレイブロック内の構成を示
す図。
【図44】従来のメモリマクロのフロアプランの一例を
示す図。
【図45】従来のメモリマクロのフロアプランの一例を
示す図。
【符号の説明】
1−1,1−2,…1−L :メモリアレイブ
ロック、 1−1a,1−1b、1−2a,1−2b:メモリアレ
イブロック、 2 :直流電位生成ブ
ロック、 3、3a、3b :入出力データバ
ッファブロック、 3a−1〜3a−64 :入出力データバ
ッファ、 4−1,4−2,…4−L :メモリアレイ電
源ドライバブロック、 5 :制御ブロック、 6a−1〜6a−L,6b−1〜6b−L:電源線ブロ
ック、 7a,7b :電源線ブロッ
ク、 8a,8b :電源線ブロッ
ク、 9a :テストブロッ
ク、 9b :配線ブロック、 10 :チップ、 11 :ロジック部、 12 :メモリマク
ロ、 13 :入出力部(I
/O部)、 14a,14b :機能ブロッ
ク、 15a〜15d,16a〜16d :サブメモリマ
クロ、 17 :制御部マク
ロ、 18 :配線部、 19 :配線ブロッ
ク、 20 :メモリセルア
レイ、 21 :センスアン
プ、 22 :ロウデコー
ダ、 23 :カラムデコー
ダ、 24 :入出力データ
バッファ、 25 :ロウアドレス
バッファ、 26 :カラムアドレ
スバッファ、 27 :ロウ系制御回
路、 28 :カラム系制御
回路、 29 :基板電位発生
回路、 30 :ワード線電位
発生回路、 31 :ビット線電位
発生回路、 32 :S/Aドライ
バ基準電位発生回路、 33 :周辺回路電源
ドライバ基準電位発生回路、 34a :周辺回路電源
ドライバブロック、 34a−1〜34a−64 :周辺回路電源
ドライバ、 50a〜50d :メモリアレイ
ブロック制御部、 51−1、51−2 :メモリセルア
レイ、 52−1〜52−3 :センスアンプ
・カラムスイッチ、 61 :センスアン
プ、 62 :カラムスイッ
チ、 63−1,63−2 :イコライザ、 64−1,64−2 :セルアレイ選
択ゲート、 71 :/RASバッ
ファ、 72−0〜72−8,73,74 :ロウアドレス
バッファ、 75 :/CASバッ
ファ、 76−0〜76−3 :カラムアドレ
スバッファ、 77 :/WEバッフ
ァ、 78 :入出力データ
バッファ制御回路、 80a :メタル層 80b :コンタクト層 81 :ロウデコー
ダ、 82 :ワード線ドラ
イバ、 83 :アンド回路、 84 :ロウ系制御回
路、 85 :センスアンプ
・イコライズ制御回路、 86 :センスアンプ
ドライバ、 87 :カラムデコー
ダ、 91、92 :センスアン
プ、 101−1〜101−32 :サブメモリア
レイブロック 102−1 :サブメモリア
レイブロック 151−1、151−2 :サブメモリセ
ルアレイ、 152−1〜152−3 :センスアンプ
・カラムスイッチ、 502 :制御・直流電
位生成ブロック DQ0、/DQ0〜DQ127、/DQ127:DQ線
対 SW1〜SW6 :スイッチ。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 27/10 461

Claims (45)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 メモリマクロとロジック部がワンチップ
    に集積されたロジック混載メモリにおいて、前記メモリ
    マクロは、前記ロジック部から入力された外部アドレス
    信号をバッファリングして内部アドレス信号を生成する
    手段を有する制御ブロックと、行列状に配置された各々
    Nビットの記憶容量の複数のメモリセルアレイ、前記メ
    モリセルアレイに接続されメモリセルのデータを増幅す
    るセンスアンプ、前記制御ブロックの内部アドレス信号
    生成手段によって生成された内部アドレス信号を受け内
    部アドレス信号によって指定される行列上の位置のメモ
    リセルを選択するデコーダ、およびデータ線を有する少
    なくとも1つのメモリアレイブロックと、前記少なくと
    も1つのメモリアレイブロックの前記デコーダにより選
    択されたメモリセルのデータを前記データ線を介して受
    けて前記ロジック部に出力する入出力データバッファブ
    ロックとを具備し、それにより前記メモリマクロがNビ
    ットの整数倍の記憶容量を有することを特徴とするロジ
    ック混載メモリ。
  2. 【請求項2】 前記少なくとも1つのメモリアレイブロ
    ックはカラム方向に複数互いに隣接して配置されてお
    り、前記データ線は前記複数のメモリアレイブロックの
    前記メモリセルアレイ上をカラム方向に設けられてお
    り、前記複数のメモリアレイブロックは前記データ線を
    共有することを特徴とする請求項1記載のロジック混載
    メモリ。
  3. 【請求項3】 前記少なくとも1つのメモリアレイブロ
    ックはカラム方向に複数互いに隣接して配置されてお
    り、前記複数のメモリアレイブロックの互いに隣接する
    少なくとも1対のメモリアレイブロックは前記センスア
    ンプを共有することを特徴とする請求項1又は2記載の
    ロジック混載メモリ。
  4. 【請求項4】 前記制御ブロックの前記内部アドレス信
    号生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制
    御ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部ア
    ドレス信号との対応関係を前記メモリアレイブロックの
    アドレス割付けに合致させるため前記外部アドレス信号
    と前記複数のアドレスバッファとの間に対応して設けら
    れた複数のスイッチを具備することを特徴とする請求項
    1乃至3のいずれかに記載のロジック混載メモリ。
  5. 【請求項5】 前記制御ブロックの前記内部アドレス信
    号生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記制
    御ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部ア
    ドレス信号との対応関係を前記メモリアレイブロックの
    アドレス割付けに合致させるため所望の個数のアドレス
    バッファを活性化するように前記外部アドレス信号と前
    記複数のアドレスバッファとの間に対応して設けられた
    複数のスイッチを具備することを特徴とする請求項1乃
    至3のいずれかに記載のロジック混載メモリ。
  6. 【請求項6】 前記メモリマクロは前記メモリアレイブ
    ロックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライバ
    ブロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバブ
    ロックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させ
    る内部電源電圧を生成する手段を具備することを特徴と
    する請求項1乃至5のいずれかに記載のロジック混載メ
    モリ。
  7. 【請求項7】 前記メモリアレイブロックは外部電源電
    圧を受けて前記メモリセルアレイを動作させる内部電源
    電圧を生成する手段を具備することを特徴とする請求項
    1乃至5のいずれかに記載のロジック混載メモリ。
  8. 【請求項8】 前記メモリアレイ電源ドライバブロック
    は外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる内部
    電源電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備するこ
    とを特徴とする請求項6記載のロジック混載メモリ。
  9. 【請求項9】 前記メモリアレイブロックは外部電源電
    圧を受けてメモリアレイを動作させる内部電源電圧を生
    成する電源降圧トランジスタを具備することを特徴とす
    る請求項7記載のロジック混載メモリ。
  10. 【請求項10】 前記メモリマクロは外部電源電圧を受
    けて、前記メモリアレイブロック、前記入出力データバ
    ッファブロック、および前記制御ブロックに供給する直
    流電源電位を生成する電源電位生成ブロックを備えるこ
    とを特徴とする請求項1乃至3及び6のいずれかに記載
    のロジック混載メモリ。
  11. 【請求項11】 前記複数のメモリアレイブロックのロ
    ウ方向の端部に隣接して配置され、電源線を含む電源線
    ブロックをさらに具備することを特徴とする請求項1乃
    至3及び6のいずれかに記載のロジック混載メモリ。
  12. 【請求項12】 前記複数のスイッチは前記対応関係に
    応じて選択的に接続されることを特徴とする請求項4又
    は5に記載のロジック混載メモリ。
  13. 【請求項13】 前記スイッチは、メタル配線層からな
    り、前記対応関係に応じて選択的に切断されることを特
    徴とする請求項12記載のロジック混載メモリ。
  14. 【請求項14】 前記スイッチは、コンタクト配線層か
    らなり、前記対応関係に応じて選択的に形成されること
    を特徴とする請求項12記載のロジック混載メモリ。
  15. 【請求項15】 前記メモリセルアレイは行列状に配置
    されたDRAMから構成されることを特徴とする請求項
    1乃至14のいずれかに記載のロジック混載メモリ。
  16. 【請求項16】 前記複数のメモリアレイブロックは、
    ロウデコーダ、カラムデコーダ及び前記センスアンプを
    動作させるドライバを含むメモリアレイブロック制御部
    と、少なくとも前記メモリアレイブロック制御部の ロ
    ウ方向の一端に配置される少なくとも1つのメモリセル
    アレイとを備えていることを特徴とする請求項1又は2
    記載のロジック混載メモリ。
  17. 【請求項17】 メモリマクロとロジック部がワンチッ
    プに集積されたロジック混載メモリにおいて、前記メモ
    リマクロは制御ブロックと少なくとも1つのメモリアレ
    イブロックと複数の入出力データバッファブロックとか
    ら成り、前記制御ブロックは前記ロジック部から入力さ
    れた外部アドレス信号をバッファリングして内部アドレ
    ス信号を生成する手段を具備し、前記少なくとも1つの
    メモリアレイブロックは行列状に配置されたMビットの
    メモリセルアレイよりなるサブメモリセルアレイブロッ
    クがロウ方向にP個配置され、前記制御ブロックの内部
    アドレス信号生成手段によって生成された内部アドレス
    信号を受け内部アドレス信号によって指定される行列上
    の位置のメモリセルを選択するデコーダを具備し、前記
    サブメモリアレイブロックはさらに前記メモリセルに接
    続されメモリセルのデータを増幅するセンスアンプと前
    記メモリセルアレイの選択された列のデータを読み出す
    ためのQビット幅のデータ線を具備し、前記複数の入出
    力データバッファブロックの各々は前記少なくとも1つ
    のメモリアレイブロックの前記デコーダにより選択され
    たメモリセルのデータを前記データ線を介して受けて増
    幅し前記ロジック部に出力する手段を具備し、それによ
    り前記メモリマクロがMxPビットの整数倍の記憶容量
    とQxPビットの入出力数を有することを特徴とするロ
    ジック混載メモリ。
  18. 【請求項18】 前記複数のメモリアレイブロックの各
    々は外部電源電圧を受けて前記センスアンプの内部電源
    電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備することを
    特徴とする請求項17記載のロジック混載メモリ。
  19. 【請求項19】 前記少なくとも1つのメモリアレイブ
    ロックはカラム方向に複数隣接して配置されており、前
    記データ線は前記複数のメモリアレイブロックの前記メ
    モリセルアレイ上をカラム方向に設けられており、前記
    複数のメモリアレイブロックは前記データ線を共有する
    ことを特徴とする請求項17又は18記載のロジック混
    載メモリ。
  20. 【請求項20】 前記少なくとも1つのメモリアレイブ
    ロックはカラム方向に複数隣接して配置されており、前
    記複数のメモリアレイブロックの互いに隣接する少なく
    とも1対のメモリアレイブロックは前記センスアンプを
    共有することを特徴とする請求項17又18記載のロジ
    ック混載メモリ。
  21. 【請求項21】 前記制御ブロックの前記内部アドレス
    信号生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記
    制御ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部
    アドレス信号との対応関係を前記メモリアレイブロック
    のアドレス割付けに合致させるため前記外部アドレス信
    号と前記複数のアドレスバッファとの間に対応して設け
    られた複数のスイッチを具備することを特徴とする請求
    項17乃至19のいずれかに記載のロジック混載メモ
    リ。
  22. 【請求項22】 前記複数のスイッチは前記対応関係に
    応じて選択的に接続されることを特徴とする請求項21
    に記載のロジック混載メモリ。
  23. 【請求項23】 前記スイッチは、メタル配線層からな
    り、前記対応関係に応じて選択的に切断されることを特
    徴とする請求項22記載のロジック混載メモリ。
  24. 【請求項24】 前記スイッチは、コンタクト配線層か
    らなり、前記対応関係に応じて選択的に形成されること
    を特徴とする請求項22記載のロジック混載メモリ。
  25. 【請求項25】 前記メモリマクロは前記メモリアレイ
    ブロックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライ
    バブロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバ
    ブロックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作さ
    せる内部電源電圧を生成する手段を具備することを特徴
    とする請求項17乃至21のいずれかに記載のロジック
    混載メモリ。
  26. 【請求項26】 前記メモリアレイブロックは外部電源
    電圧を受けて前記メモリセルアレイを動作させる内部電
    源電圧を生成する手段を具備することを特徴とする請求
    項17乃至25のいずれかに記載のロジック混載メモ
    リ。
  27. 【請求項27】 前記メモリアレイ電源ドライバブロッ
    クは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作させる内
    部電源電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備する
    ことを特徴とする請求項26記載のロジック混載メモ
    リ。
  28. 【請求項28】 前記メモリアレイブロックは外部電源
    電圧を受けてメモリアレイを動作させる内部電源電圧を
    生成する電源降圧トランジスタを具備することを特徴と
    する請求項27記載のロジック混載メモリ。
  29. 【請求項29】 前記メモリセルアレイは行列状に配置
    されたDRAMから構成されることを特徴とする請求項
    17乃至28のいずれかに記載のロジック混載メモリ。
  30. 【請求項30】 メモリマクロとロジック部がワンチッ
    プに集積されたロジック混載メモリの設計手法におい
    て、前記メモリマクロは、前記ロジック部から入力され
    た外部アドレス信号をバッファリングして内部アドレス
    信号を生成する手段を有する制御ブロックと、行列状に
    配置された各々Nビットの記憶容量の複数のメモリセル
    アレイ、前記メモリセルアレイに接続されメモリセルの
    データを増幅するセンスアンプ、前記制御ブロックの内
    部アドレス信号生成手段によって生成された内部アドレ
    ス信号を受け内部アドレス信号によって指定される行列
    上の位置のメモリセルを選択するデコーダ、およびデー
    タ線を有する少なくとも1つのメモリアレイブロック
    と、前記少なくとも1つのメモリアレイブロックの前記
    デコーダにより選択されたメモリセルのデータを前記デ
    ータ線を介して受けて前記ロジック部に出力する入出力
    データバッファブロックとを具備し、前記メモリマクロ
    の仕様を満たす前記メモリアレイブロックの数L(Lは
    自然数)を決定する工程と、決定されたL個の前記メモ
    リアレイブロックを前記入出力データバッファブロック
    及び前記制御ブロックに隣接して配置するレイアウトデ
    ータをプログラムにしたがって自動処理により作成する
    工程とを含み、それにより前記メモリマクロがNxLビ
    ットの記憶容量を有することを特徴とするロジック混載
    メモリの設計手法。
  31. 【請求項31】 前記少なくとも1つのメモリアレイブ
    ロックはカラム方向に複数隣接して配置され、前記デー
    タ線は前記複数のメモリアレイブロックの前記メモリセ
    ルアレイ上をカラム方向に設けられ、前記複数のメモリ
    アレイブロックは前記データ線を共有することを特徴と
    する請求項30記載のロジック混載メモリの設計手法。
  32. 【請求項32】 前記制御ブロックの前記内部アドレス
    信号生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記
    制御ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記複数
    のアドレスバッファとの間に対応して複数のスイッチを
    具備し、前記外部アドレス信号と前記内部アドレス信号
    との対応関係を前記メモリアレイブロックのアドレス割
    付けに合致させるため前記複数のスイッチを選択的に接
    続することを特徴とする請求項30又は31に記載のロ
    ジック混載メモリの設計手法。
  33. 【請求項33】 前記制御ブロックの前記内部アドレス
    信号生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記
    制御ブロックはさらに前記制御ブロックはさらに前記外
    部アドレス信号と前記複数のアドレスバッファとの間に
    対応して複数のスイッチを具備し、前記外部アドレス信
    号と前記内部アドレス信号との対応関係を前記メモリア
    レイブロックのアドレス割付けに合致させるため前記複
    数のスイッチを選択的に接続して所望の個数のアドレス
    バッファを活性化することを特徴とする請求項30又は
    31に記載のロジック混載メモリの設計手法。
  34. 【請求項34】 前記メモリマクロは前記メモリアレイ
    ブロックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライ
    バブロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバ
    ブロックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作さ
    せる内部電源電圧を生成する手段を具備することを特徴
    とする請求項30乃至33のいずれかに記載のロジック
    混載メモリの設計手法。
  35. 【請求項35】 前記メモリマクロは外部電源電圧を受
    けて、前記メモリアレイブロック、前記入出力データバ
    ッファブロック、および前記制御ブロックに供給する直
    流電源電位を生成する電源電位生成ブロックを備えるこ
    とを特徴とする請求項30乃至34のいずれかに記載の
    ロジック混載メモリの設計手法。
  36. 【請求項36】 前記複数のメモリアレイブロックのロ
    ウ方向の端部に隣接して配置され、電源線を含む電源線
    ブロックをさらに具備することを特徴とする請求項3
    0、31、34及び35のいずれかに記載のロジック混
    載メモリの設計手法。
  37. 【請求項37】 前記メモリセルアレイは行列状に配置
    されたDRAMから構成されることを特徴とする請求項
    30乃至36のいずれかに記載のロジック混載メモリの
    設計手法。
  38. 【請求項38】 前記メモリアレイブロックの数Lは前
    記メモリマクロのロウ数、コラム数、入出力データ数、
    総容量の仕様のうち少なくともlつの仕様を基づいて決
    定されることを特徴とする請求項30又は31記載のロ
    ジック混載メモリの設計手法。
  39. 【請求項39】 メモリマクロとロジック部がワンチッ
    プに集積されたロジック混載メモリにおいて、前記メモ
    リマクロは制御ブロックと少なくとも1つのメモリアレ
    イブロックと複数の入出力データバッファブロックとか
    ら成り、前記制御ブロックは前記ロジック部から入力さ
    れた外部アドレス信号をバッファリングして内部アドレ
    ス信号を生成する手段を具備し、前記少なくとも1つの
    メモリアレイブロックは行列状に配置されたMビットの
    メモリセルアレイよりなるサブメモリセルアレイがロウ
    方向にP個配置され、前記制御ブロックの内部アドレス
    信号生成手段によって生成された内部アドレス信号を受
    け内部アドレス信号によって指定される行列上の位置の
    メモリセルを選択するデコーダとを具備し、前記サブメ
    モリアレイブロックはさらに前記メモリセルに接続され
    メモリセルのデータを増幅するセンスアンプと前記メモ
    リセルアレイの選択された列のデータを読み出すための
    Qビット幅のデータ線を具備し、前記複数の入出力デー
    タバッファブロックの各々は前記少なくとも1つのメモ
    リアレイブロックの前記デコーダにより選択されたメモ
    リセルのデータを前記データ線を介して受けて増幅し前
    記ロジック部に出力する手段を具備し、前記メモリマク
    ロの仕様を満たす前記サブメモリアレイブロックの数P
    と前記メモリアレイブロックの数Lと前記入出力データ
    バッファブロックの数とを決定する工程と、決定された
    数の前記メモリアレイブロックPと前記入出力データバ
    ッファブロックとを前記制御ブロックに隣接して配置す
    るレイアウトデータをプログラムにしたがって自動処理
    により作成する工程とを含み、それにより前記メモリマ
    クロがMxPxLビットの記憶容量とQxPビットの入
    出力数を有することを特徴とするロジック混載メモリの
    設計手法。
  40. 【請求項40】 前記複数の入出力データバッファブロ
    ックの各々は外部電源電圧を受けて前記センスアンプの
    内部電源電圧を生成する電源降圧トランジスタを具備す
    ることを特徴とする請求項39記載のロジック混載メモ
    リの設計手法。
  41. 【請求項41】 前記少なくとも1つのメモリアレイブ
    ロックはカラム方向に複数隣接して配置されており、前
    記データ線は前記複数のメモリアレイブロックの前記メ
    モリセルアレイ上をカラム方向に設けられており、前記
    複数のメモリアレイブロックは前記データ線を共有する
    ことを特徴とする請求項39又は40記載のロジック混
    載メモリの設計手法。
  42. 【請求項42】 前記制御ブロックの前記内部アドレス
    信号生成手段は複数のアドレスバッファを具備し、前記
    制御ブロックはさらに前記外部アドレス信号と前記内部
    アドレス信号との対応関係を前記メモリアレイブロック
    のアドレス割付けに合致させるためのスイッチを具備す
    ることを特徴とする請求項39乃至41のいずれかに記
    載のロジック混載メモリの設計手法。
  43. 【請求項43】 前記メモリマクロは前記メモリアレイ
    ブロックの個数に応じた個数のメモリアレイ電源ドライ
    バブロックをさらに具備し、メモリアレイ電源ドライバ
    ブロックは外部電源電圧を受けてメモリアレイを動作さ
    せる内部電源電圧を生成する手段を具備することを特徴
    とする請求項39乃至42のいずれかに記載のロジック
    混載メモリの設計手法。
  44. 【請求項44】 前記メモリセルアレイは行列状に配置
    されたDRAMから構成されることを特徴とする請求項
    39乃至43のいずれかに記載のロジック混載メモリの
    設計手法。
  45. 【請求項45】 前記サブメモリアレイブロックの数P
    と前記入出力データバッファブロックの数は前記メモリ
    マクロのロウ数、コラム数、入出力データ数、総容量の
    仕様のうち少なくともlつの仕様を基づいて決定される
    ことを特徴とする請求項39又は44記載のロジック混
    載メモリの設計手法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001195876A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Fujitsu Ltd 半導体装置
EP1278204A2 (en) * 2001-06-26 2003-01-22 Sharp Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit
US6519191B1 (en) 1999-10-28 2003-02-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit device having an internal voltage generation circuit layout easily adaptable to change in specification
US6950367B2 (en) 2002-03-26 2005-09-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Memory embedded logic integrated circuit mounting memory circuits having different performances on the same chip
JP2006054034A (ja) * 2004-07-13 2006-02-23 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6014038A (en) * 1997-03-21 2000-01-11 Lightspeed Semiconductor Corporation Function block architecture for gate array
JP3982089B2 (ja) * 1998-12-22 2007-09-26 富士通株式会社 電子回路システム及び信号伝送方法
JP3980827B2 (ja) * 2000-03-10 2007-09-26 株式会社ルネサステクノロジ 半導体集積回路装置および製造方法
US6742169B2 (en) * 2001-02-28 2004-05-25 Sanyo Electric Co., Ltd. Semiconductor device
JP2004047516A (ja) * 2002-07-08 2004-02-12 Nec Electronics Corp 半導体集積回路装置及び半導体集積回路装置のレイアウト方法
US6870398B2 (en) * 2003-04-24 2005-03-22 Ami Semiconductor, Inc. Distributed memory and logic circuits
JP2008091722A (ja) * 2006-10-03 2008-04-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体集積回路
JP5944358B2 (ja) * 2013-09-10 2016-07-05 株式会社東芝 半導体集積回路の検証装置、半導体集積回路の検証方法、及び、プログラム
US11222691B2 (en) * 2020-03-09 2022-01-11 Mediatek Inc. Double-pitch-layout techniques and apparatus thereof
JP2021150370A (ja) * 2020-03-17 2021-09-27 キオクシア株式会社 半導体記憶装置
US11694015B2 (en) * 2021-06-23 2023-07-04 Nxp B.V. Signal routing between memory and memory controller

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4701860A (en) * 1985-03-07 1987-10-20 Harris Corporation Integrated circuit architecture formed of parametric macro-cells
US4849904A (en) * 1987-06-19 1989-07-18 International Business Machines Corporation Macro structural arrangement and method for generating macros for VLSI semiconductor circuit devices
US4852015A (en) * 1987-06-24 1989-07-25 Eta Systems, Inc. Automatic circuit layout router
JPS6478023A (en) * 1987-09-18 1989-03-23 Fujitsu Ltd Programmable logic device
KR910006849A (ko) * 1989-09-29 1991-04-30 미다 가쓰시게 반도체 집적회로 장치
US5166900A (en) * 1989-10-27 1992-11-24 Nec Corporation Non-volatile semiconductor memory device with improved layout
US5541849A (en) * 1990-04-06 1996-07-30 Lsi Logic Corporation Method and system for creating and validating low level description of electronic design from higher level, behavior-oriented description, including estimation and comparison of timing parameters
US5598344A (en) * 1990-04-06 1997-01-28 Lsi Logic Corporation Method and system for creating, validating, and scaling structural description of electronic device
JPH04124855A (ja) * 1990-09-17 1992-04-24 Hitachi Ltd 半導体集積回路装置とそのレイアウト設計方法及びレイアウト設計装置
JP3247937B2 (ja) * 1992-09-24 2002-01-21 株式会社日立製作所 論理集積回路
US5898636A (en) * 1993-06-21 1999-04-27 Hitachi, Ltd. Semiconductor integrated circuit device with interleaved memory and logic blocks
US5493508A (en) * 1994-06-01 1996-02-20 Lsi Logic Corporation Specification and design of complex digital systems
JP3351643B2 (ja) 1995-01-31 2002-12-03 株式会社東芝 半導体メモリ装置及びその製造方法
US5784593A (en) * 1995-09-29 1998-07-21 Synopsys, Inc. Simulator including process levelization
US5809283A (en) * 1995-09-29 1998-09-15 Synopsys, Inc. Simulator for simulating systems including mixed triggers
SG74580A1 (en) * 1996-03-08 2000-08-22 Hitachi Ltd Semiconductor ic device having a memory and a logic circuit implemented with a single chip
US5854763A (en) * 1997-01-31 1998-12-29 Mosaid Technologies Inc. Integrated circuit with non-binary decoding and data access
US5883814A (en) * 1997-03-13 1999-03-16 International Business Machines Corporation System-on-chip layout compilation

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6519191B1 (en) 1999-10-28 2003-02-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit device having an internal voltage generation circuit layout easily adaptable to change in specification
JP2001195876A (ja) * 2000-01-13 2001-07-19 Fujitsu Ltd 半導体装置
JP4557342B2 (ja) * 2000-01-13 2010-10-06 富士通セミコンダクター株式会社 半導体装置
EP1278204A2 (en) * 2001-06-26 2003-01-22 Sharp Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit
EP1278204A3 (en) * 2001-06-26 2005-10-19 Sharp Kabushiki Kaisha Semiconductor integrated circuit
US6950367B2 (en) 2002-03-26 2005-09-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Memory embedded logic integrated circuit mounting memory circuits having different performances on the same chip
JP2006054034A (ja) * 2004-07-13 2006-02-23 Renesas Technology Corp 半導体記憶装置
JP4721776B2 (ja) * 2004-07-13 2011-07-13 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体記憶装置

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Publication number Publication date
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