JPH1192227A - 焼結SiC繊維結合体及びその製造方法 - Google Patents
焼結SiC繊維結合体及びその製造方法Info
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- JPH1192227A JPH1192227A JP10145233A JP14523398A JPH1192227A JP H1192227 A JPH1192227 A JP H1192227A JP 10145233 A JP10145233 A JP 10145233A JP 14523398 A JP14523398 A JP 14523398A JP H1192227 A JPH1192227 A JP H1192227A
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Abstract
も耐える優れた高温強度を有する割れにくいセラミック
ス複合材料及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 主としてSiCの焼結構造からなる無機
繊維であって、2A族、3A族及び3B族の金属原子か
らなる群から選ばれる少なくとも1種の金属原子を含有
する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊
維間には1〜50nmの炭素を主成分とする境界層が形
成されてなり、密度が2.7g/cm 3以上、弾性率が
200GPa以上であることを特徴とする。
Description
た高温強度を有する割れにくいセラミックス複合材料、
及びその製造方法に関する。
報には、Si、C、Ti又はZr、及びOを構成元素と
する無機質繊維と、この無機質繊維の間隙を充填するよ
うに存在する、Si、Ti又はZr、及びOを構成元素
とする無機物質とから構成され、無機質繊維と無機物質
との境界層として1〜200nmの非晶質及び/又は結
晶質の炭素からなる層が存在する無機繊維焼結体が開示
されている。同公報に記載の無機繊維焼結体は、高い破
壊エネルギー及び優れた力学的特性を示す一方で、13
00℃を超える高温下では塑性変形的な挙動を示すこと
があった。その後、特開平9−52776号公報では、
無機質繊維の間隙を充填するように存在する、Si、T
i又はZr、及びOを構成元素とする無機物質中に、1
00nm以下の粒径からなるTiC又はZrCの結晶質
微粒子が分散した構造を創出させることにより塑性変形
的な挙動を更に抑制し、即時破断強度測定試験において
は1400℃でも塑性変形を示さない良好な複合材が提
案されている。
性流動の抑制にも限界があり、1400℃の大気中にお
ける耐クリープでは必ずしも十分の結果が得られておら
ず、また1500℃では塑性変形による若干の強度低下
も認められた。ところで、最近の航空機ジェットエンジ
ンの進歩は目覚ましく、それに伴って燃焼ガスの高温化
並びに使用材料の軽量化が強く望まれている。そこで、
1400℃を超える超高温下でも耐える、割れにくいセ
ラミックス材料がより重要になってきている。
望を満足する高耐熱性の焼結SiC繊維結合体及びその
製造方法を提供することにある。本発明によれば、主と
してSiCの焼結構造からなる無機繊維であって、2A
族、3A族及び3B族の金属原子からなる群から選ばれ
る少なくとも1種の金属原子を含有する無機繊維が最密
充填に極めて近い構造に結合し、繊維間には1〜50n
mの炭素を主成分とする境界層が形成されてなり、密度
が2.7g/cm 3以上、弾性率が200GPa以上で
あることを特徴とする割れにくい高耐熱性の焼結SiC
繊維結合体が提供される。
る炭素原子の割合がモル比で1.5以上であるポリシラ
ン或いはその加熱反応物に、2A族、3A族及び3B族
の金属元素からなる群から選ばれる少なくとも1種の金
属元素を含有する化合物を添加し、不活性ガス中、加熱
反応して金属元素含有有機ケイ素重合体を調整する第1
工程、金属元素含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡
糸繊維を得る第2工程、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中5
0〜170℃で不融化して不融化繊維を調整する第3工
程、不融化繊維を不活性ガス中で無機化する第4工程、
無機化繊維から予備形状物を作製し、これを型内に仕込
み真空、不活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群
から選ばれる少なくとも1種からなる雰囲気中で、17
00〜2200℃の温度範囲で加圧する第5工程からな
ることを特徴とする焼結SiC繊維結合体の製造方法が
提供される。
合がモル比で1.5以上であるポリシラン或いはその加
熱反応物に、2A族、3A族及び3B族の金属元素から
なる群から選ばれる少なくとも1種の金属元素を含有す
る化合物を添加し、不活性ガス中、加熱反応して金属元
素含有有機ケイ素重合体を調整する第1工程、金属元素
含有有機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第
2工程、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中50〜170℃で
不融化して不融化繊維を調整する第3工程、不融化繊維
から予備形状物を作製し、これを型内に仕込み真空、不
活性ガス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれ
る少なくとも1種からなる雰囲気中で無機化し、更にそ
のまま1700〜2200℃まで昇温して加圧する第4
工程からなることを特徴とする焼結SiC繊維結合体の
製造方法が提供される。
いて説明する。本発明の焼結SiC繊維結合体を構成す
る繊維材は、主としてSiC結晶の焼結構造からなり、
良好に焼結した領域ではSiC結晶間で強固な界面強度
を発現しており、破壊はSiCの結晶粒内で進行する。
本発明の焼結SiC繊維結合体を構成する繊維材の破面
観察では、このようなSiCの粒内破壊が繊維材断面の
少なくとも30%以上の領域で認められる。尚、上記繊
維材の破断面では、SiC結晶間の粒内破壊により確認
される良好な焼結領域と、粒界破壊領域が混在している
場合もあり、また10%以下の空隙を含んでいる場合も
ある。
の金属原子からなる群から選ばれる少なくとも1種の金
属原子を含有する。繊維材を構成する元素の割合は、通
常、Si:55〜70重量%、C:30〜45重量%、
M(2A族、3A族及び3B族の金属元素):0.05
〜4.0重量%、好ましくは、0.1〜2.0重量%で
ある。2A族、3A族及び3B族の金属元素の中では、
特にBe、Mg、Y、Ce、B、Alが好ましく、これ
らはいずれもSiCの焼結助剤として知られているもの
で、また有機ケイ素ポリマーのSi−H結合と反応し得
るキレート化合物やアルコキシド化合物が存在するもの
である。この金属の割合が過度に少ないと繊維材の十分
な焼結性が得られず、その割合が過度に高くなると、粒
界破壊が多くなり力学的特性の低下を招くことになる。
繊維材の全て或いは大部分は多角形状に変形し、最密充
填構造に極めて近い状態に充填されている。また、それ
ぞれの繊維と繊維の境界領域には、1〜50nmの炭素
を主成分とする境界層が形成されており、これが破壊時
に滑り層として働き大きな破壊エネルギー、即ち割れに
くさを発現させる。本発明の焼結SiC繊維結合体は、
上述の構造を反映して、1600℃における強度が室温
強度の80%以上と言う、極めて優れた高温力学的特性
を発現する。
成する繊維材は、1方向に引き揃えられたシート状物の
積層状態と同様の配向状態、2次元織物の積層状態と同
様の配向状態、3次元織物の状態と同様の配向状態、或
いはランダム配向状態のいずれか又はそれらの複合組織
からなることができる。これらは、目的とする形状物に
要求される力学的特性により暫時選択されるものであ
る。
造方法について説明する。本発明では、無機化の方法を
変えた2種類の製造方法を提案している。まず最初の方
法では、ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で
1.5以上であるポリシラン或いはその加熱反応物に、
2A族、3A族及び3B族の金属元素からなる群から選
ばれる少なくとも1種の金属元素を含有する化合物を添
加し、不活性ガス中、加熱反応して金属元素含有有機ケ
イ素重合体を調整する第1工程、金属元素含有有機ケイ
素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第2工程、紡糸
繊維を酸素含有雰囲気中50〜170℃で加熱して不融
化繊維を調整する第3工程、不融化繊維を不活性ガス中
で無機化する第4工程、無機化繊維から予備形状物を作
製し、これを型内に仕込み真空、不活性ガス、還元ガス
及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも1種か
らなる雰囲気中で、1700〜2200℃の温度範囲で
加圧する第5工程からなる。
合体を調製する。ポリシランは、例えば「有機ケイ素化
合物の化学」化学同人(1972年)に記載の方法に従
い、1種類以上のジクロロシランをナトリウムを用いて
脱塩素反応させることにより得られる、鎖状又は環状の
重合体であり、その数平均分子量は通常300〜100
0である。本発明におけるポリシランは、ケイ素の側鎖
として、水素原子、低級アルキル基、アリール基、フェ
ニル基又はシリル基を有することができるが、いずれの
場合も、ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモル比で
1.5以上であることが必要である。この条件を満足し
ないと、繊維中の炭素の全てが不融化の際に導入された
酸素と共に、焼結に至るまでの昇温過程でCOガスとし
て脱離し、繊維間の境界炭素層が形成されないので好ま
しくない。
又は環状のポリシランを加熱して得られる、ポリシラン
結合単位に加えて一部にカルボシラン結合を含む有機ケ
イ素重合体を包含する。このような有機ケイ素重合体は
それ自体公知の方法で調製することができる。調製法の
例としては、鎖状又は環状のポリシランを400〜70
0℃の比較的高い温度で加熱反応する方法、このポリシ
ランにフェニル基含有ポリボロシロキサンを加えて25
0〜500℃の比較的低い温度で加熱反応する方法を挙
げることができる。こうして得られる有機ケイ素重合体
の数平均分子量は通常1000〜5000である。
昭53−42300号公報及び同53−50299号公
報に記載の方法に従って調製することができる。例え
ば、フェニル含有ポリボロシロキサンは、ホウ酸と1種
類以上のジオルガノクロロシランとの脱塩酸縮合反応に
よって調製することができ、その数平均分子量は通常5
00〜10000である。フェニル基含有ポリボロシロ
キサンの添加量は、ポリシラン100重量部に対して通
常15重量部以下である。
3B族の金属元素を含有する化合物の所定量を添加し、
不活性ガス中、通常250〜350℃の範囲の温度で1
〜10時間反応することにより、原料である金属元素含
有有機ケイ素重合体を調製することができる。上記金属
元素は、最終的に得られる焼結SiC繊維結合体中の金
属元素の含有割合が0.05〜4.0重量%になる割合
で使用され、具体的割合は本発明の教示に従って当業者
が適宜に決定することができる。また、上記の金属元素
含有有機ケイ素重合体は、ポリシランのケイ素原子の少
なくとも一部が、金属原子と酸素原子を介してあるいは
介さずに結合された構造を有する、橋かけ重合体であ
る。
3B族の金属元素を含有する化合物としては、前記金属
元素のアルコキシド、アセチルアセトキシド化合物、カ
ルボニル化合物、シクロペンタジエニル化合物等を用い
ることができ、例えば、ベリリウムアセチルアセトナー
ト、マグネシウムアセチルアセトナート、イットリウム
アセチルアセトナート、セリウムアセチルアセトナー
ト、ほう酸ブトキシド、アルミニウムアセチルアセトナ
ート等を挙げることができる。これらはいずれも、ポリ
シラン或いはその加熱反応物との反応時に生成する有機
ケイ素ポリマー中のSi−H結合と反応して、それぞれ
の金属元素がSiと直接あるいは他の元素を介して結合
した構造を生成し得るものである。
紡糸繊維を得る。前駆重合体である金属元素含有有機ケ
イ素重合体を溶融紡糸及び乾式紡糸のようなそれ自体公
知の方法によって紡糸し、紡糸繊維を得ることができ
る。
〜170℃で加熱して不融化繊維を調製する。不融化の
目的は、紡糸繊維を構成するポリマー間に酸素原子によ
る橋かけ点を形成させて、後続の無機化工程において不
融化繊維が溶融せず、かつ隣接する繊維同士が融着しな
いようにすることである。酸素含有雰囲気を構成するガ
スとしては、空気、酸素、オゾンが例示される。不融化
温度は50〜170℃であり、不融化時間は不融化温度
に依存するが、通常、数分から30時間である。不融化
繊維中の酸素の含有量は8〜16重量%になるようにコ
ントロールすることが望ましい。この酸素の大部分は、
次工程の無機化後も繊維中に残存し、最終の焼結に至る
までの昇温過程において、無機繊維中の余剰炭素をCO
ガスとして脱離させる重要な働きをする。尚、酸素含有
量が8重量%より少ない場合は、無機繊維中の余剰炭素
が必要以上に残存し、昇温過程においてSiC結晶の回
りに偏析して安定化するためSiCの焼結を阻害し、ま
た、16重量%よりも多い時は、無機繊維中の余剰炭素
が完全に脱離して繊維間の境界炭素層が生成しない。こ
れらは、いずれも得られる材料の力学的特性に悪影響を
およぼす。
で予備加熱することが好ましい。不活性雰囲気を構成す
るガスとしては、窒素、アルゴンなどを例示することが
できる。加熱温度は通常150〜800℃であり、加熱
時間は数分ないし20時間である。不融化繊維を不活性
雰囲気中で予備加熱することによって、繊維への酸素の
取り込みを防止しつつ、繊維を構成するポリマ−の橋か
け反応をより進行させ、前駆体金属重合体からの不融化
繊維の優れた伸びを維持しつつ、強度をより向上させる
ことができる、これにより、次工程の無機化を作業性よ
く安定に行うことができる。
で、アルゴンのような不活性ガス雰囲気中、1000〜
1700℃の範囲内の温度で加熱処理して、無機化す
る。
物、織物形状物又はチョップ形状物に成形後、それらの
少なくとも1種からなる予備形状物を作製する。次い
で、予備形状物を型内に仕込み真空、不活性ガス、還元
ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくとも1
種からなる雰囲気中で、1700〜2200℃の温度範
囲で加圧する。尚、第5工程で加圧するまでの昇温過程
において、上記COの脱離を効果的に起こす目的で、あ
る一定範囲内の温度で昇温速度を調整したり、あるいは
ある温度で一定時間保持してもよい。また、その際、C
Oの脱離速度に合わせた加圧プログラムを組み込んでも
良い。
態で、加圧用の型内に仕込み、同型内で無機化も行う以
外は、基本的には第1の方法と同じである。
実施例及び比較例を示す。 参考例1 ナトリウム400gを含有する無水キシレンに、窒素ガ
ス気流下にキシレンを加熱還流させながら、ジメチルジ
クロロシラン1Lを滴下し、引き続き10時間加熱還流
し沈殿物を生成させた。この沈殿をろ過し、メタノー
ル、次いで水で洗浄して、白色のポリジメチルシラン4
20gを得た。
を窒素ガス雰囲気下にn−ブチルエーテル中、100〜
120℃で加熱し、生成した白色樹脂状物をさらに真空
中400℃で1時間加熱することによって、フェニル基
含有ポリボロシロキサン530gを得た。
例2で得られたフェニル基含有ポリボロシロキサン4部
を添加し、窒素ガス雰囲気中、350℃で5時間熱縮合
して、高分子量の有機ケイ素重合体を得た。この有機ケ
イ素重合体100部を溶解したキシレン溶液にアルミニ
ウム−トリ−(sec−ブトキシド)を7部を加え、窒
素ガス気流下に310℃で架橋反応させることによっ
て、ポリアルミノカルボシランを合成した。このポリア
ルミノカルボシランを245℃で溶融紡糸し、空気中1
40℃で5時間加熱処理した後、これを更に窒素中30
0℃で10時間加熱して不融化繊維を得た。この不融化
繊維を窒素中1500℃で連続焼成し、炭化ケイ素系連
続無機繊維を合成した。得られた連続無機繊維を1方向
に引き揃えたシート状物に成形し、繊維の方向を揃えて
積層し、炭素製の型内に仕込んだ後、50MPaの圧力
をかけながら2000℃まで昇温して焼結SiC繊維結
合体を製造した。
は、Si:67wt%、C:31wt%、O:0.3wt%、
Al:0.8wt%、B:0.06wt%で、原子比でS
i:C:O:Al=1:1.08:0.008:0.0
12で、繊維材は図1に示すように多角形状に変形して
最密充填されており、繊維間には、平均で約10nmの
境界炭素層が形成されていた。この焼結SiC繊維結合
体の密度は2.95g/cm3で、4点曲げ強度及び弾
性率は、それぞれ550MPa及び340GPaで、複
合材料特有の破壊形態を示していた。また、1600℃
における4点曲げ強度は、570MPaで全く強度の低
下は認められなかった。
囲気中、470℃で6時間熱縮合して、高分子量の有機
ケイ素重合体を得た。この有機ケイ素重合体100部を
溶解したキシレン溶液にアルミニウム−トリ−(sec
−ブトキシド)を7部を加え、窒素ガス気流下に320
℃で架橋反応させることによって、ポリアルミノカルボ
シランを合成した。このポリアルミノカルボシランを2
55℃で溶融紡糸した後、空気中170℃で10時間加
熱処理した後、これを更に窒素中320℃で9時間加熱
して不融化繊維を得た。この不融化繊維を1方向に引き
揃えたシート状物に加工した後、炭素製の型内に仕込
み、減圧下で1300℃まで昇温して、1時間保持し
た。その後アルゴンガスを導入し、1800℃に昇温後
50MPaに加圧して焼結SiC繊維結合体を製造し
た。この焼結SiC繊維結合体の密度は3.05g/c
m3で、4点曲げ強度及び弾性率は、それぞれ580M
Pa及び330GPaで、複合材料的な破壊形態を示し
ていた。また、1600℃における4点曲げ強度は、5
65MPaで、初期の97%の強度が保持されていた。
ド)を7部加える代わりに、アルミニウム−トリ−(s
ec−ブトキシド)を4部とマグネシウムアセチルアセ
トネート3部を加え、窒素ガス気流下に310℃で架橋
反応させることによって、アルミニウム並びにマグネシ
ウムが導入された変成ポリカルボシランを得た。この変
成カルボシランを255℃で溶融防止した後、空気中1
50℃で3時間加熱処理し、更に窒素中300℃で9時
間加熱して、不融化繊維を得た。不融化繊維をアルゴン
中1450℃で連続焼成し、非晶質炭化ケイ素繊維を合
成した。この非晶質炭化ケイ素繊維の化学組成は、S
i:53wt%、C:33.4wt%、O:13wt%、A
l:0.34wt%、B:0.01wt%、Mg:0.30
wt%であった。得られた非晶質の炭化ケイ素繊維を1方
向に引き揃えたシート状物に成形し、繊維の方向を揃え
て積層し、炭素製の型内に仕込んだ後、アルゴン置換さ
れたホットプレス装置の中で1600℃まで昇温後、4
0MPaの圧力をかけて1800℃まで昇温して焼結S
iC繊維結合体を製造した。
は、Si:67.5wt%、C:31wt%、O:0.3wt
%、Al:0.74wt%、B:0.06wt%、Mg:
0.4wt%で、原子比でSi:C:O:Al=1:1.
07:0.0078:0.0114で、それぞれの繊維
材は、多角形状に変形して最密充填されており、繊維間
には、平均で15nmの境界炭素層が形成されていた。
この焼結繊維結合体の密度は、3.05g/cm3で、
4点曲げ強度及び弾性率は、それぞれ530MPa及び
295GPaで、複合材料特有の破壊形態を示してい
た。また、1600℃においても上記室温強度を保持し
ていた。
ド)を7部加える代わりに、アルミニウム−トリ−(s
ec−ブトキシド)を4部とイットリウムアセチルアセ
トネート4部を加え、窒素ガス気流下に300℃で架橋
反応させることによって、アルミニウム並びにイットリ
ウムが導入された変成ポリカルボシランを得た。この変
成カルボシランを265℃で溶融防止した後、空気中1
50℃で3時間加熱処理し、更に窒素中300℃で10
時間加熱して、不融化繊維を得た。不融化繊維をアルゴ
ン中1450℃で連続焼成し、非晶質炭化ケイ素繊維を
合成した。この非晶質炭化ケイ素繊維の化学組成は、S
i:52.5wt%、C:34.5wt%、O:12wt%、
Al:0.35wt%、B:0.005wt%、Y:0.5
6wt%であった。得られた非晶質の炭化ケイ素繊維を1
方向に引き揃えたシート状物に成形し、繊維の方向を揃
えて積層し、炭素製の型内に仕込んだ後、アルゴン置換
されたホットプレス装置の中で1650℃まで昇温後、
50MPaの圧力をかけて1900℃まで昇温して焼結
SiC繊維結合体を製造した。
は、Si:67.87wt%、C:31wt%、O:0.3
wt%、Al:0.5wt%、B:0.03wt%、Y:0.
3wt%で、原子比でSi:C:O:Al=1:1.0
7:0.0077:0.0076で、それぞれの繊維材
は、多角形状に変形して最密充填されており、繊維間に
は、平均で13nmの境界炭素層が形成されていた。こ
の焼結繊維結合体の密度は、2.95g/cm3で、4
点曲げ強度及び弾性率は、それぞれ570MPa及び3
05GPaで、複合材料特有の破壊形態を示していた。
また、1600℃においても上記室温強度を保持してい
た。
例2で得られたフェニル基含有ポリボロシロキサン20
部を添加し、窒素ガス雰囲気中、350℃で10時間熱
縮合して、高分子量のポリカルボシランを得た。このポ
リカルボシランを232℃で溶融紡糸した後、空気中1
60℃で9時間加熱処理して不融化繊維を得た。この不
融化繊維を窒素中1500℃で連続焼成し、炭化ケイ素
系連続無機繊維を合成した。この連続無機繊維を用いて
実施例1と同様にして、繊維結合体を作製した。この繊
維結合体の密度は2.56g/cm3と小さく、SiC
の粒内破壊も全く見られず、強度と弾性率もそれぞれ2
00MPa及び180GPaと低いものであった。
合体の結晶構造を示す図面に代える電子顕微鏡写真であ
る。
Claims (6)
- 【請求項1】 主としてSiCの焼結構造からなる無機
繊維であって、2A族、3A族及び3B族の金属原子か
らなる群から選ばれる少なくとも1種の金属原子を含有
する無機繊維が最密充填に極めて近い構造に結合し、繊
維間には1〜50nmの炭素を主成分とする境界層が形
成されてなり、密度が2.7g/cm3以上、弾性率が
200GPa以上であることを特徴とする割れにくい高
耐熱性の焼結SiC繊維結合体。 - 【請求項2】 1600℃における強度が、室温強度の
80%以上であることを特徴とする請求項1記載の焼結
SiC繊維結合体。 - 【請求項3】 無機繊維の全て或いは大部分が多角形状
に変形し、最密充填構造に極めて近い状態に充填されて
いることを特徴とする請求項1記載の焼結SiC繊維結
合体。 - 【請求項4】 無機繊維が、1方向に引き揃えられたシ
ート形状物の積層状態と同様の配向状態、2次元織物の
積層状態と同様の配向状態、3次元織物の状態と同様の
配向状態、或いはランダム配向状態のいずれか又はそれ
らの複合組織からなることを特徴とする請求項1記載の
焼結SiC繊維結合体。 - 【請求項5】 ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモ
ル比で1.5以上であるポリシラン或いはその加熱反応
物に、2A族、3A族及び3B族の金属元素からなる群
から選ばれる少なくとも1種の金属元素を含有する化合
物を添加し、不活性ガス中、加熱反応して金属元素含有
有機ケイ素重合体を調整する第1工程、金属元素含有有
機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第2工
程、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中50〜170℃で加熱
して不融化繊維を調整する第3工程、不融化繊維を不活
性ガス中で無機化する第4工程、無機化繊維から予備形
状物を作製し、これを型内に仕込み真空、不活性ガス、
還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少なくと
も1種からなる雰囲気中で、1700〜2200℃の温
度範囲で加圧する第5工程からなることを特徴とする焼
結SiC繊維結合体の製造方法。 - 【請求項6】 ケイ素原子に対する炭素原子の割合がモ
ル比で1.5以上であるポリシラン或いはその加熱反応
物に、2A族、3A族及び3B族の金属元素からなる群
から選ばれる少なくとも1種の金属元素を含有する化合
物を添加し、不活性ガス中、加熱反応して金属元素含有
有機ケイ素重合体を調整する第1工程、金属元素含有有
機ケイ素重合体を溶融紡糸して紡糸繊維を得る第2工
程、紡糸繊維を酸素含有雰囲気中50〜170℃で加熱
して不融化繊維を調整する第3工程、不融化繊維から予
備形状物を作製し、これを型内に仕込み真空、不活性ガ
ス、還元ガス及び炭化水素からなる群から選ばれる少な
くとも1種からなる雰囲気中で無機化し、更にそのまま
1700〜2200℃まで昇温して加圧する第4工程か
らなることを特徴とする焼結SiC繊維結合体の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14523398A JP3767170B2 (ja) | 1997-07-22 | 1998-05-27 | 焼結SiC繊維結合体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9-210181 | 1997-07-22 | ||
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