JPH1186576A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents

不揮発性半導体記憶装置

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JPH1186576A
JPH1186576A JP3161698A JP3161698A JPH1186576A JP H1186576 A JPH1186576 A JP H1186576A JP 3161698 A JP3161698 A JP 3161698A JP 3161698 A JP3161698 A JP 3161698A JP H1186576 A JPH1186576 A JP H1186576A
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semiconductor memory
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 不揮発性半導体記憶装置(フラッシュメモ
リ)は消去動作に長時間を要するため、デュアルオペレ
ーション機能を有する不揮発性半導体記憶装置が提案さ
れているが、分割されるメモリセルアレイのビット構成
を可変にすることができなかった。 【解決手段】 電気的に書き込みおよび消去が可能な不
揮発性半導体記憶装置であって、複数のメモリセルMC
がマトリクス状に配置されたメモリセルアレイ1を、各
ビット線の任意の位置で切り離して所望の大きさを有す
る複数のメモリセルブロック11,12で構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は不揮発性半導体記憶
装置に関し、特に、デュアルオペレーション機能を有す
るフラッシュメモリに関する。近年、大容量で低価格の
不揮発性半導体記憶装置としてフラッシュメモリ(Flas
h Memory、FE2PROM: Flash type Electrically Erasabl
e Programmable ReadOnly Memory)が注目されている。
このフラッシュメモリは消去動作に長時間を要するた
め、例えば、メモリセルアレイを2分割し、分割された
一方のメモリセルアレイ(メモリセルブロック)に対し
て消去動作(消去或いは書き込み動作)を行なっている
場合でも、他方のメモリセルアレイ(メモリセルブロッ
ク)に対して読み出し或いは書き込み動作(読み出し動
作)を行なうことができるデュアルオペレーション(同
時動作:Simultaneous Operation)機能を有するフラッ
シュメモリが提案されている。そして、このようなデュ
アルオペレーション機能を有するフラッシュメモリにお
いて、極端な回路の複雑化やチップ面積の増大を伴うこ
となく、分割されるメモリセルブロックのビット構成を
可変にすることのできるフラッシュメモリ(不揮発性半
導体記憶装置)の提供が要望されている。
【0002】
【従来の技術】従来、フラッシュメモリにおいては、メ
モリセルに対する読み出しモード、書き込みモード、お
よび、消去モードが存在している。これら各モードで
は、動作そのもの(読み出し時)および動作確認(書き
込み並びに消去時)において、メモリセルのデータを読
み出す動作が必要とされている。すなわち、読み出し時
は当然であるが、書き込み時および消去時においても、
メモリセルのデータが所定の値(レベル)になったかど
うかを確認するために、メモリセルのデータを読み出す
作業が必要となっている。
【0003】図1は従来の不揮発性半導体記憶装置(フ
ラッシュメモリ)の一例におけるメモリセルアレイと読
み出し回路との関連を示すブロック図である。図1にお
いて、参照符号101はメモリセルアレイ、また、10
2は読み出し回路を示している。図1に示されるよう
に、従来の一般的なフラッシュメモリは、チップ面積の
効率化を図るため、1つのメモリセルアレイ101に対
して1つの読み出し回路102を設け、この読み出し回
路102により、読み出しモードにおける読み出し動作
と、書き込み並びに消去モードにおける読み出し動作
(確認動作)とを行うようになっている。
【0004】ところで、読み出し,書き込み並びに消去
の各モードの内、消去モードは、その消去動作が完了す
るまでの時間に秒単位を要し、他の読み出しモードおよ
び書き込みモードに比べると数十倍から数百万倍の時間
が必要となっている。ここで、例えば、メモリセルの消
去動作(消去モード)をメモリセルアレイ101全体に
対して行わずに、メモリセルアレイ101を何分割かし
た特定の消去セクタに対してのみ消去動作を実行するこ
とも可能である。しかしながら、従来の一般的なフラッ
シュメモリでは、メモリセルアレイ101に対して1つ
の読み出し回路102を設け、各動作モードで共有化し
ているため、例えば、特定の消去セクタを消去している
間、メモリセルアレイの消去の対象となっていないビッ
トに対する読み出し或いは書き込み動作を行うことはで
きない。これは、フラッシュメモリを搭載したシステム
の効率を下げる大きな原因となっている。
【0005】そこで、デュアルオペレーション機能を持
たせたフラッシュメモリ(不揮発性半導体記憶装置)が
考えられている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】図2は関連技術として
の不揮発性半導体記憶装置(デュアルオペレーション機
能を有するフラッシュメモリ)の一例におけるメモリセ
ルアレイと読み出し回路との関連を示すブロック図であ
る。図2において、参照符号111は第1のメモリセル
ブロック、112は第2のメモリセルブロック、121
は第1の読み出し回路、そして、122は第2の読み出
し回路を示している。
【0007】最も単純な構成のデュアルオペレーション
機能を有するフラッシュメモリとしては、2つのチップ
のフラッシュメモリからなるモジュールであるが、より
小さなチップ面積が必要な場合には、各チップの部品の
共用を行なって1チップで構成する。その場合の基本的
なデュアルオペレーションの考え方は、図2に示される
ように、メモリセルアレイ101を2分割して第1のメ
モリセルブロック111および第2のメモリセルブロッ
ク112により構成し、それぞれ専用の読み出し回路
(第1の読み出し回路121および第2の読み出し回路
122)を設けるようになっている。
【0008】そして、一方のメモリセルブロック(例え
ば、第1のメモリセルブロック111)に対して消去動
作(消去或いは書き込み動作)を行なっている場合で
も、分割された他方のメモリセルブロック(例えば、第
2のメモリセルブロック112)に対して読み出し或い
は書き込み動作(読み出し動作)を同時に行なうデュア
ルオペレーション機能を実現するようになっている。な
お、ここで述べている書き込みおよび消去動作はいわゆ
る自動書き込みおよび自動消去の動作であり、チップ外
部からコマンドシーケンスを与えることにより、チップ
内部で全ての動作が完結するものを想定している。
【0009】図3は図2に対して不揮発性半導体記憶装
置(フラッシュメモリ)の外部から与える入力および基
本的な信号を書き加えて示すブロック図であり、図4は
図3の不揮発性半導体記憶装置をより詳細に示すブロッ
ク回路図である。図3および図4において、参照符号1
03はYデコード回路(コラムデコーダ)、104はX
デコード回路(ロウデコーダ)、105はセルソースデ
コード回路、171および172は第1および第2のマ
ルチプレクサ、173はアドレス判定回路、174は書
き込み/消去判定回路、175はチップ状態判定回路、
そして、176は出力バッファ回路を示している。ま
た、図4において、参照符号YGはY選択ゲート(ビッ
ト線選択ゲート)、BLはビット線、WLはワード線、
そして、MCはメモリセルを示している。なお、実際の
フラッシュメモリでは、書き込み/消去判定回路174
の出力により制御され、メモリセルMCへの電源電圧を
制御する回路ブロック等が存在するが、図面が複雑化す
るので図3および図4では省略している。
【0010】図4から明らかなように、複数のメモリセ
ルMCは、複数のビット線BLと複数のワード線WLの
交差個所にマトリクス状に設けられ、Yデコード回路1
03により選択線Yn およびY選択ゲートYGを介して
選択されるビット線BLとXデコード回路104により
選択されるワード線WLとの交差個所のメモリセルMC
がアクセスされるようになっている。また、セルソース
デコード回路105は各メモリセルMCのソース電極に
接続され、全てのメモリセルMCを一括して(或いは、
消去セクタ毎に)消去するようになっている。
【0011】図3および図4に示すフラッシュメモリ
は、メモリセルアレイ101を各ワード線WLの所定位
置を境界として2つのメモリセルブロック(第1および
第2のメモリセルブロック)111および112に分割
し、それぞれ専用の読み出し回路121,122を設け
るようになっている。すなわち、所定数のビット線BL
で構成される第1のメモリセルブロック111には第1
の読み出し回路121が設けられ、また、残りのビット
線BLで構成された第2のメモリセルブロック112に
は第2の読み出し回路122が設けられている。この構
成により、分割された一方のメモリセルブロック(例え
ば、第1のメモリセルブロック111)に対して消去動
作(消去或いは書き込み動作)を行なっている場合で
も、分割された他方のメモリセルブロック(例えば、第
2のメモリセルブロック112)に対して読み出し或い
は書き込み動作(読み出し動作)を同時に行なうデュア
ルオペレーション機能を実現するようになっている。
【0012】このように、図3および図4に示すフラッ
シュメモリは、メモリセルアレイ101の各ビット線B
Lを、第1および第2のメモリセルブロック111およ
び112に対応した第1および第2の読み出し回路12
1および122に接続するようになっている。なお、複
数のビット線BLを、少数の本数に分割し、それぞれに
読み出し回路を接続する方法も考えられる。
【0013】ところで、図3および図4に示すデュアル
オペレーション機能を有するフラッシュメモリとデュア
ルオペレーション非対応のフラッシュメモリとの差は、
アドレス判定回路173と、第1および第2の読み出し
回路121,122に対するマルチプレクサ(第1およ
び第2のマルチプレクサ171,172)が存在するか
どうかである。すなわち、前述したように、デュアルオ
ペレーションは、外部からのコマンドシーケンスによ
り、チップ内部で自動的に行なわれる書き込みまたは消
去動作を一方のメモリセルブロック(第1のメモリセル
ブロック111)で行っている際に、他方のメモリセル
ブロック(第2のメモリセルブロック112)に対して
読み出し動作を行なうものであり、これ以外の動作は禁
止となっている。
【0014】具体的に、例えば、第1のメモリセルブロ
ック111が消去または書き込み動作中であった場合、
第2のメモリセルブロック112に対する読み出し動作
だけが許されるのである。これらのメモリセルアレイ
(101)に対する制御は次の様にして行なわれる。ま
ず、第1のメモリセルブロック111に対しての消去動
作(または、書き込み動作)は、通常のフラッシュメモ
リと同様の制御に加え、チップ状態判定回路175およ
び第2のマルチプレクサ172によっても制御される。
すなわち、第2のマルチプレクサ172は、チップ状態
判定回路175により第1および第2の読み出し回路1
21,122のどちらの出力信号(この場合は、第1の
読み出し回路121の出力信号)を書き込み/消去判定
回路174に送るかを決定する。また、第2のメモリセ
ルブロック112からの読み出し動作は、通常の読み出
し動作に加え、チップ状態判定回路175およびアドレ
ス判定回路173による制御が行なわれる。すなわち、
アドレス判定回路173は、チップ状態判定回路175
の出力信号および入力されたアドレス(Xアドレスおよ
びYアドレス)から、そのアドレスが読み出し可能なメ
モリセルブロック(この場合は、第2の読み出し回路1
22)のものかどうかを判定し、その結果を第1のマル
チプレクサ171に送る。
【0015】第1のマルチプレクサ171は、チップ状
態判定回路175からどちらの読み出し回路の出力を有
効にするかを判断し(この場合は、第2の読み出し回路
122)、アドレス判定回路173の出力と比べて有効
なアドレスであれば読み出し回路の出力信号(この場合
は、第2の読み出し回路122の出力信号)を出力バッ
ファ回路176に送る。一方、第2のメモリセルブロッ
ク112に対して消去または書き込み動作を行なう場合
には、第1および第2のマルチプレクサ171,172
が上述とは逆の読み出し回路(第1および第2の読み出
し回路121,122)の出力信号を有効にするだけで
後の動作は同じである。
【0016】以上がデュアルオペレーション機能を有す
るフラッシュメモリ(不揮発性半導体記憶装置)の動作
の概要であり、このような制御を行なうために、アドレ
ス判定回路173および読み出し回路121,122に
対するマルチプレクサ171,172がデュアルオペレ
ーションを可能とするために必要とされている。なお、
厳密には、アドレス判定回路173の出力結果により入
力されたアドレス(XアドレスおよびYアドレス)に対
する各デコーダ(Xデコーダ回路104およびYデコー
ダ回路103)の出力およびセルソースデコード回路の
出力を変える必要がある場合が存在し、アドレス判定回
路173の出力結果がこれらの回路にも送られている
が、以上の説明では、簡略化のためにその説明は省略し
た。
【0017】上述のように図3および図4に示す関連技
術としての不揮発性半導体記憶装置(フラッシュメモ
リ)は、予め(初期の設計段階から)各読み出し回路1
21および122に接続するビット線BLを規定して製
造するため、例えば、この不揮発性半導体記憶装置を使
用してコンピュータシステムを構成する場合等におい
て、ビット構成を変更することが困難であったり、或い
は、ビット構成を可変とするにはビット数に応じたコー
ディングを行う回路が別個に必要となって回路構成が複
雑になるという問題があった。
【0018】図5は図3不揮発性半導体記憶装置の変形
例を示すブロック図であり、図6は図5の不揮発性半導
体記憶装置をより詳細に示すブロック回路図である。図
5および図6において、参照符号106は時分割回路、
120は読み出し回路、そして、160はマルチプレク
サを示している。すなわち、図5および図6に示す不揮
発性半導体記憶装置(フラッシュメモリ)は、図3およ
び図4に示す関連技術としてのフラッシュメモリの変形
例であり、マルチプレクサをメモリセルアレイに対して
適用したものであり、図3および図4のフラッシュメモ
リにおける2つの読み出し回路121および122を1
つの読み出し回路120として構成したものである。
【0019】図5および図6に示されるように、本変形
例において、第1および第2のメモリセルブロック11
1,112は、マルチプレクサ160を介して共通の読
み出し回路120に接続されるようになっている。ここ
で、時分割回路106は、一定周期でマルチプレクサ1
60の出力を切り替え、また、同時に、第1および第2
のメモリセルブロック111,112のどちらからの出
力が選択されているかを読み出し回路120に与える。
そして、例えば、第1のメモリセルブロック111の消
去動作(消去或いは書き込み動作)を行っている場合で
も、読み出し回路120を時分割的に第1および第2の
メモリセルブロック111および112に接続すること
によって、第2のメモリセルブロック112に対する読
み出し或いは書き込み動作(読み出し動作)を同時に行
えるように構成されている。
【0020】ここで、読み出し回路120は、時分割回
路106の出力信号,チップ状態判定回路175の出力
信号,および,アドレス判定回路173の出力信号によ
り自分自身の出力を出力バッファ回路176に送るのか
(すなわち、出力バッファ回路176に送ることが可能
か),或いは,書き込み消去判定回路174に送るのか
を判断する。アドレス判定回路173の動作は、制御の
対象が読み出し回路120に変わる以外は、前述した図
3および図4に示すフラッシュメモリの場合と同様であ
る。
【0021】上述のように図5および図6に示す関連技
術としての不揮発性半導体記憶装置(フラッシュメモ
リ)においても、マルチプレクサ160を介して読み出
し回路120に接続するビット線BLは、初期の設計段
階から規定して製造されているため、ビット構成を変更
することは困難であった。具体的に、図3および図4、
または、図5および図6に示す不揮発性半導体記憶装置
(デュアルオペレーション機能を有するフラッシュメモ
リ)において、第1のメモリセルブロック111の容量
が2Mビットで第2のメモリセルブロック112の容量
が6Mビットとして製造され、メモリセルアレイ101
全体の記憶容量が8Mビットの場合、例えば、ユーザ側
(例えば、コンピュータシステムを組み立てる業者)が
頻繁に消去を行いたいデータの容量(例えば、コンピュ
ータのBIOS等として使用する記憶容量)が1Mビッ
トであり、その1Mビットのデータを容量の小さい第1
のメモリセルブロック111に割り当てたとしても、こ
の第1のメモリセルブロック111における残りの1M
ビットは、該第1のメモリセルブロック111を消去し
ている際には第2のメモリセルブロック112に格納さ
れたデータと同様に自由な読み出し或いは書き込み動作
が行えないことになる。すなわち、第1のメモリセルブ
ロック111における1Mビット分の容量は、使用され
ずに無駄になってしまうことになる。さらに、ビット構
成を可変とするために別個にコーディング回路を設ける
には、このコーディング回路が複雑になり製品(フラッ
シュメモリ)の価格を上昇させることにもなる。
【0022】本発明は、上述した従来の不揮発性半導体
記憶装置が有する課題に鑑み、デュアルオペレーション
機能を有する不揮発性半導体記憶装置において、極端な
回路の複雑化やチップ面積の増大を伴うことなく、分割
するメモリセルブロックのビット構成を可変にすること
を目的とする。
【0023】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、電気的
に書き込みおよび消去が可能な不揮発性半導体記憶装置
であって、複数のメモリセルがマトリクス状に配置され
たメモリセルアレイを、各ビット線の任意の位置で切り
離して所望の大きさを有する複数のメモリセルブロック
で構成するようにしたことを特徴とする不揮発性半導体
記憶装置が提供される。
【0024】本発明の不揮発性半導体記憶装置によれ
ば、メモリセルアレイは、各ビット線の任意の位置で切
り離して所望の大きさを有する複数のメモリセルブロッ
クで構成される。これらのメモリセルブロックには、専
用の読み出し回路が設けられるか、或いは、時分割回路
により制御される選択ゲートを介して共通の読み出し回
路に接続され、これにより、一方のメモリセルブロック
に対する消去動作(消去或いは書き込み動作)を行うと
同時に、他方のメモリセルブロックに対する読み出し或
いは書き込み動作(読み出し動作)を行うことができ
る。
【0025】すなわち、デュアルオペレーション機能を
有する不揮発性半導体記憶装置(フラッシュメモリ)に
おいて、極端な回路の複雑化やチップ面積の増大を伴う
ことなく、それぞれのメモリセルブロックのビット構成
を可変にすることができる。
【0026】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明に係
る不揮発性半導体記憶装置の実施例を説明する。図7は
本発明に係る不揮発性半導体記憶装置(フラッシュメモ
リ)の第1実施例を示すブロック回路図であり、前述し
た図3および図4を参照して説明した関連技術としての
フラッシュメモリに対応するものである。図7におい
て、参照符号1はメモリセルアレイ、11および12は
分割された第1および第2のメモリセルブロック、21
および22は第1および第2の読み出し回路、3はYデ
コード回路(コラムデコーダ)、4はXデコード回路
(ロウデコーダ)、5はセルソースデコード回路、そし
て、9はビット線BLに設けられたレーザ溶断部を示し
ている。また、参照符号71および72は第1および第
2のマルチプレクサ、73はアドレス判定回路、74は
書き込み/消去判定回路、75はチップ状態判定回路、
そして、76は出力バッファ回路を示している。さら
に、参照符号YGn1およびYGn2は第1および第2
のメモリセルブロック11,12におけるY選択ゲート
(ビット線選択ゲート)、BLはビット線1およびBL
2は第1および第2のメモリセルブロック11,12に
おけるビット線(BL)、WLはワード線、そして、M
Cはメモリセルを示している。
【0027】ここで、実際のフラッシュメモリでは、書
き込み/消去判定回路74の出力により制御され、メモ
リセルMCへの電源電圧を制御する回路ブロック等が存
在するが、図面が複雑化するので図3および図4では省
略している。また、図7に示すフラッシュメモリでは、
1本のビット線BL(BL1,BL2)だけを描いてい
るが、他のビット線も同様である。
【0028】図7に示されるように、ビット線BLは、
レーザによりレーザ溶断部9で溶断され、第1のビット
線BL1と、第2のビット線BL2とに電気的に分割さ
れている。なお、他の全てのビット線(BL)も、同じ
ビット位置で溶断されることになる。そして、第1のビ
ット線BL1(第1のメモリセルブロック11における
ビット線)は、ビット線BLの一方の側(第1のメモリ
セルブロック11側)に設けられた第1の読み出し回路
21に接続され、また、第2のビット線BL2(第2の
メモリセルブロック12におけるビット線)は、ビット
線BLの他方の側(第2のメモリセルブロック12側)
に設けられた第2の読み出し回路22に接続されてい
る。ここで、レーザ溶断部9は、製造されたチップ上に
おいて、レーザ等によりユーザの要求に応じた位置でビ
ット線BLを溶断するものであり、例えば、1本のビッ
ト線BLの複数個所に設け、その内の所定のものを溶断
するように構成することができる。
【0029】本実施例においても、前述した関連技術の
フラッシュメモリと同様に、デュアルオペレーション
(同時動作:Simultaneous Operation)は、外部からの
コマンドシーケンスにより、チップ内部で自動的に行な
われる書き込みまたは消去動作を一方のメモリセルブロ
ック(例えば、第1のメモリセルブロック11)で行っ
ている際に、他方のメモリセルブロック(例えば、第2
のメモリセルブロック12)に対して読み出し動作を行
なうものであり、これ以外の動作は禁止となっている。
そして、例えば、第1および第2のメモリセルブロック
11,12によるデュアルオペレーションは、基本的に
は、第3図および第4図を参照して説明した関連技術の
フラッシュメモリの動作と同様である。
【0030】ここで、ビット線BLを所定のレーザ溶断
部9で溶断すると、その溶断位置に応じてアドレス判定
のロジックが異なることになる。そして、アドレス判定
回路73には、XアドレスおよびYアドレスが供給さ
れ、該アドレス判定回路73の出力信号は、Xデコード
回路4,Yデコード回路3,セルソースデコード回路
5,および,第1のマルチプレクサ71に供給されてい
る。さらに、チップ状態判定回路75の出力信号は、第
1および第のマルチプレクサ71,72、および、Yデ
コード回路3に供給されている。
【0031】Yデコード回路3は、同一のYアドレス
(Yn)に対して出力Yn1およびYn2を有し、それ
ぞれビット線BL1およびBL2に設けられたY選択ゲ
ート(ビット線選択ゲート)YGn1およびYGn2を
制御する。なお、Y選択ゲートYGn1およびYGn2
のスイッチング(オン/オフ状態)は、アドレス判定回
路73の出力およびチップ状態判定回路75の出力の組
み合わせにより様々に変化する。
【0032】図7に示す本第1実施例のフラッシュメモ
リを前述した図3および図4に示す関連技術のフラッシ
ュメモリと比較した場合には、ソースのデコード方式が
より簡略化することが可能となる。すなわち、図3およ
び図4に示す関連技術では、ビット線BLの方向におい
てメモリセルアレイ101が第1のメモリセルブロック
111と第2のメモリセルブロック112に分割される
ため、ワード線WLの方向に各メモリセルMCのソース
を束ねると、第1および第2のメモリセルブロック11
1,112の境目で切断する方式にしなければならな
い。これに対して、図7に示す本第1実施例では、メモ
リセルアレイ1がワード線WLの方向において第1のメ
モリセルブロック11と第2のメモリセルブロック12
に分割されるため、該第1および第2のメモリセルブロ
ック11,12の境目で切断する必要が無く、ソースの
デコード方式を図3および図4に示す関連技術よりも簡
略化することができる。
【0033】なお、製造されたチップ上において、レー
ザ溶断部9をレーザ等により溶断する代わりに、例え
ば、マスタースライスにより予め作っておいたビット線
BLのパターンを所定の位置で切断することにより、各
ビット線BLをそれぞれ2本のビット線BL1およびB
L2に分割して、メモリセルアレイ1を第1のメモリセ
ルブロック11および第2のメモリセルブロック12に
分割するように構成してもよい。
【0034】このように、メモリセルアレイ1を複数の
(2つの)メモリセルブロック11,12に分割するメ
モリセルアレイの切り離し処理を、マスタースライスを
用いて行うことにより、基本的に同じ設計データに基づ
くフラッシュメモリを使用してメモリセルアレイをユー
ザの所望するビット構成に分割することができる。ここ
で、Yデコード回路(コラムデコーダ)3は、切断され
た第1および第2のビット線BL1およびBL2のそれ
ぞれと、対応する第1および第2の読み出し回路21お
よび22との接続を各Y選択ゲートYGn1およびYG
n2により選択的に接続するようになっている。なお、
複数のメモリセルMCは、複数のビット線BLと複数の
ワード線WLの交差個所にマトリクス状に設けられ、Y
デコード回路により選択線Yn を介して選択されるY選
択ゲートYGn1およびYGn2とXデコード回路(ロ
ウデコーダ)4により選択されるワード線WLとの交差
個所のメモリセルMCがアクセスされるようになってい
る。また、セルソースデコード回路5は各メモリセルM
Cのソース電極に接続され、これらのメモリセルMCを
一括して(或いは、消去セクタ毎に)消去するようにな
っている。
【0035】以上により、極端な回路の複雑化やチップ
面積の増大を伴うことなく、それぞれのセルアレイのビ
ット構成を可変とし、分割された一方のメモリセルブロ
ック(例えば、第1のメモリセルブロック11)に対し
て消去動作(消去或いは書き込み動作)を行なっている
場合に、分割された他方のメモリセルブロック(例え
ば、第2のメモリセルブロック12)に対して読み出し
或いは書き込み動作(読み出し動作)を同時に行なうデ
ュアルオペレーション機能を実現できるようになってい
る。
【0036】図8は本発明に係る不揮発性半導体記憶装
置(フラッシュメモリ)の第2実施例を示すブロック回
路図であり、前述した図5および図6を参照して説明し
た関連技術としてのフラッシュメモリに対応するもので
ある。図8において、参照符号2は読み出し回路、6は
時分割回路、そして、81,82,…はスイッチ素子を
示している。なお、図8に示すフラッシュメモリでは、
1本のビット線BL(BL1,BL2)だけを描いてい
るが、他のビット線も同様である。また、本第2実施例
におけるフラッシュメモリのデュアルオペレーション
も、外部からのコマンドシーケンスにより、チップ内部
で自動的に行なわれる書き込みまたは消去動作を一方の
メモリセルブロック(例えば、第1のメモリセルブロッ
ク11)で行っている際に、他方のメモリセルブロック
(例えば、第2のメモリセルブロック12)に対して読
み出し動作を行なうものであり、これ以外の動作は禁止
となっている。
【0037】図8に示されるように、本第2実施例で
は、ビット線BLの所定のビット位置にスイッチ素子8
1,82,…が設けられている。これらのスイッチ素子
の内、任意の1つ(例えば、スイッチ素子81)が非導
通状態とされ、他の全てのスイッチ素子(例えば、スイ
ッチ素子82,…)は導通状態とされる。これにより、
1本のビット線はスイッチ素子81により2本のビット
線BL1およびBL2に分割されることになる。
【0038】さらに、分割された2本のビット線BL1
およびBL2は、それぞれ時分割回路6によりスイッチ
ングが制御されるマルチプレクサ60を介して共通の読
み出し回路2に接続されている。ここで、選択ゲートY
Gn1およびYGn2は、時分割回路6により制御され
るようになっており、例えば、第1のビット線BL1
(第1のメモリセルブロック11)の消去動作(消去或
いは書き込み動作)を行っている場合でも、読み出し回
路2を時分割的に第1および第2のビット線BL1およ
びBL2(第1および第2のメモリセルブロック11お
よび12)に接続することによって、第2のビット線B
L2(第2のメモリセルブロック12)に対する読み出
し或いは書き込み動作(読み出し動作)を同時に行える
ように構成されている。
【0039】ここで、スイッチ素子は、マスタースライ
スにより任意の1つを非導通状態とし、他の全てを導通
状態とするように構成することができる。図9は本発明
に係る不揮発性半導体記憶装置の第3実施例を示すブロ
ック回路図である。図9において、参照符号7はビット
線分割デコード回路、そして、91,92,…はトラン
スファゲートトランジスタを示している。なお、本第3
実施例では、例えば、図7に示す本第1実施例における
第1および第2のマルチプレクサ(71,72)、アド
レス判定回路(73)、書き込み/消去判定回路(7
4)、チップ状態判定回路(75)、および、出力バッ
ファ回路(76)は省略されている。
【0040】図9に示されるように、本第3実施例で
は、ビット線BLの所定位置にトランスファゲートトラ
ンジスタ91,92,…を設けるようになっている。こ
こで、これらトランスファゲートトランジスタ91,9
2,…も、前述のスイッチ素子と同様に、任意の1つ
(例えば、トランジスタ91)が非導通状態とされ、他
の全てのスイッチ素子(例えば、トランジスタ92,
…)は導通状態とされている。これらトランジスタ9
1,92,…の制御は、ビット線分割デコード回路7に
より行われるようになっており、例えば、この各トラン
ジスタ(91,92,…)の導通および非導通の情報を
不揮発性の記憶素子に格納して使用することにより、ユ
ーザレベルにおいて、メモリセルアレイを分割するビッ
ト構成を選択することが可能となる。或いは、不揮発性
の記憶素子を使用することなく、ビット線分割デコード
回路7に供給する信号により、各トランジスタの導通お
よび非導通を制御することもできる。なお、各ビット線
BLに設けるトランスファゲートトランジスタ91,9
2,…の数は、該トランジスタを設けることによるビッ
ト線BLのレベル変化の鈍化等に鑑みて必要最小限の数
とするのが好ましく、また、これらトランスファゲート
トランジスタ91,92,…としては、内部抵抗および
容量分の小さいトランジスタを使用する必要がある。
【0041】以上において、各ビット線BLを切断する
レーザ溶断部9、スイッチ素子81,82,…、およ
び、トランスファゲートトランジスタ91,92,…
は、該各ビット線の所定位置に、例えば、8Mビットの
フラッシュメモリに対して、1Mビット,2Mビット,
3Mビット,…というように、1Mビット単位での分割
を可能とするような位置に設け、必要に応じてメモリセ
ルアレイを所定のビット構成のメモリセルブロックに分
割することができるようになっている。なお、以上の説
明では、不揮発性半導体記憶装置としてフラッシュメモ
リを例として説明したが、本発明はフラッシュメモリに
限定されるものではない。
【0042】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明の不揮発
性半導体記憶装置によれば、ビット線を任意の位置で電
気的に分割し、分割された各々のビット線に対して読み
出しを行なうことによって、デュアルオペレーション機
能を有する不揮発性半導体記憶装置においてチップ面積
を極端に増大させること無く、分割するメモリセルブロ
ックのビット構成を可変にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来の不揮発性半導体記憶装置の一例における
メモリセルアレイと読み出し回路との関連を示すブロッ
ク図である。
【図2】関連技術としての不揮発性半導体記憶装置の一
例におけるメモリセルアレイと読み出し回路との関連を
示すブロック図である。
【図3】図2に対して不揮発性半導体記憶装置の外部か
ら与える入力および基本的な信号を書き加えて示すブロ
ック図である。
【図4】図3の不揮発性半導体記憶装置をより詳細に示
すブロック回路図である。
【図5】図3不揮発性半導体記憶装置の変形例を示すブ
ロック図である。
【図6】図5の不揮発性半導体記憶装置をより詳細に示
すブロック回路図である。
【図7】本発明に係る不揮発性半導体記憶装置の第1実
施例を示すブロック回路図である。
【図8】本発明に係る不揮発性半導体記憶装置の第2実
施例を示すブロック回路図である。
【図9】本発明に係る不揮発性半導体記憶装置の第3実
施例を示すブロック回路図である。
【符号の説明】
1…メモリセルアレイ 11…第1のメモリセルブロック 12…第2のメモリセルブロック 2…読み出し回路 21…第1の読み出し回路 22…第2の読み出し回路 3…Yデコード回路 4…Xデコード回路 5…セルソースデコード回路 6…時分割回路 7…ビット線分割デコード回路 71…第1のマルチプレクサ 72…第2のマルチプレクサ 73…アドレス判定回路 74…書き込み/消去判定回路 75…チップ状態判定回路 76…出力バッファ回路 81,82…スイッチ素子 91,92…トランスファゲートトランジスタ BL…ビット線 MC…メモリセル WL…ワード線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01L 29/792

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気的に書き込みおよび消去が可能な不
    揮発性半導体記憶装置であって、複数のメモリセルがマ
    トリクス状に配置されたメモリセルアレイを、各ビット
    線の任意の位置で切り離して所望の大きさを有する複数
    のメモリセルブロックで構成するようにしたことを特徴
    とする不揮発性半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記メモリセルアレイの切り離しを、前記各
    ビット線における所定の位置で行い、該メモリセルアレ
    イを第1のメモリセルブロックおよび第2のメモリセル
    ブロックに分割し、デュアルオペレーションを行うよう
    にしたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記メモリセルアレイの切り離しを、マスタ
    ースライスを用いて行うようにしたことを特徴とする不
    揮発性半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記メモリセルアレイの切り離しを、チップ
    上で前記各ビット線における所定位置を切断することに
    より行うようにしたことを特徴とする不揮発性半導体記
    憶装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記チップ上で行う各ビット線の所定位置の
    切断を、レーザによる溶断により行うようにしたことを
    特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 請求項5記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記レーザによる溶断は、前記各ビット線の
    所定位置に設けられたレーザ溶断部において行われるこ
    とを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  7. 【請求項7】 請求項2記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記メモリセルアレイの切り離しを、スイッ
    チ素子を用いて行うようにしたことを特徴とする不揮発
    性半導体記憶装置。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記スイッチ素子は、前記各ビット線に対し
    てそれぞれ複数個設けられ、該複数のスイッチ素子の
    内、該各ビット線における所定の1つのスイッチ素子を
    非導通状態とし、他の全てのスイッチ素子を導通状態と
    するようにしたことを特徴とする不揮発性半導体記憶装
    置。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の不揮発性半導体記憶装置
    において、前記各スイッチ素子は、前記各ビット線の所
    定位置に設けられていることを特徴とする不揮発性半導
    体記憶装置。
  10. 【請求項10】 請求項8記載の不揮発性半導体記憶装
    置において、前記各スイッチ素子は、それぞれトランス
    ファゲートトランジスタであることを特徴とする不揮発
    性半導体記憶装置。
  11. 【請求項11】 請求項10記載の不揮発性半導体記憶
    装置において、前記各トランスファゲートトランジスタ
    は、ビット線分割デコード回路によりスイッチング制御
    されるようになっていることを特徴とする不揮発性半導
    体記憶装置。
  12. 【請求項12】 請求項2記載の不揮発性半導体記憶装
    置において、前記第1のメモリセルブロックに対して第
    1の読み出し回路を設け、前記第2のメモリセルブロッ
    クに対して第2の読み出し回路を設けるようにしたこと
    を特徴とする不揮発性半導体記憶装置。
  13. 【請求項13】 請求項12記載の不揮発性半導体記憶
    装置において、前記第1および第2の読み出し回路を前
    記ビット線の両側に配置するようにしたことを特徴とす
    る不揮発性半導体記憶装置。
  14. 【請求項14】 請求項2記載の不揮発性半導体記憶装
    置において、前記第1および第2のメモリセルブロック
    は、それぞれ時分割回路により制御される選択ゲートを
    介して共通の読み出し回路に接続されていることを特徴
    とする不揮発性半導体記憶装置。
  15. 【請求項15】 請求項2〜14のいずれか1項に記載
    の不揮発性半導体記憶装置において、前記第1のメモリ
    セルブロックに対する消去動作を行うと同時に、前記第
    2のメモリセルブロックに対する読み出し或いは書き込
    み動作を行うようにしたことを特徴とする不揮発性半導
    体記憶装置。
  16. 【請求項16】 請求項2〜14のいずれか1項に記載
    の不揮発性半導体記憶装置において、前記第1のメモリ
    セルブロックに対する消去或いは書き込み動作を行うと
    同時に、前記第2のメモリセルブロックに対する読み出
    し動作を行うようにしたことを特徴とする不揮発性半導
    体記憶装置。
  17. 【請求項17】 請求項1〜16のいずれか1項に記載
    の不揮発性半導体記憶装置において、該不揮発性半導体
    記憶装置は、フラッシュメモリであることを特徴とする
    不揮発性半導体記憶装置。
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