JPH1183549A - 光学式リニアエンコーダ装置、リニア駆動装置及び画像読み取り装置 - Google Patents

光学式リニアエンコーダ装置、リニア駆動装置及び画像読み取り装置

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JPH1183549A
JPH1183549A JP9241535A JP24153597A JPH1183549A JP H1183549 A JPH1183549 A JP H1183549A JP 9241535 A JP9241535 A JP 9241535A JP 24153597 A JP24153597 A JP 24153597A JP H1183549 A JPH1183549 A JP H1183549A
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JP
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optical
encoder
slider
box
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JP9241535A
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English (en)
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Katsuhiro Nanba
克宏 難波
Mitsutoshi Iko
光俊 位高
Masazo Ishiyama
雅三 石山
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Minolta Co Ltd
Original Assignee
Minolta Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 直線的に移動する移動体の位置検出などに利
用することができる光学式リニアエンコーダ装置であっ
て、外乱光の影響を抑制して、精度のよい移動体の位置
検出などに利用できる光学式リニアエンコーダ装置を提
供する。 【解決手段】 エンコーダスケール11及び光センサ1
2を有するエンコーダ装置。スケール11は、外乱光遮
断用の中空ボックス15の内部に配置する。センサ12
は、ボックス15に設けたスリット151を通じてボッ
クス内部へ貫通しているセンサ取付け部材14にボック
ス内部において取り付ける。センサ取付け部材14はマ
ウント部材13を介して、直線的に移動するリニアモー
タの可動子22に取り付ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、直線的に移動する移動
体の位置検出、速度検出、位置制御、速度制御などに利
用できる光学式リニアエンコーダ装置、光学式リニアエ
ンコーダを備えるリニア駆動装置、光学式リニアエンコ
ーダを備える画像読み取り装置に関する。
【0002】
【従来の技術】光学式リニアエンコーダは、直線的に移
動する移動体の位置検出、速度検出、位置制御、速度制
御等のために利用されている。光学式リニアエンコーダ
には、いわゆる反射式のものと、透過式のものが知られ
ている。いずれの光学式リニアエンコーダも、通常、光
学式エンコーダスケールと、発光素子及び光検出素子
(受光素子)を含み、エンコーダスケール情報を検出す
るための光センサとを備えている。
【0003】反射式のリニアエンコーダの場合には、光
学式エンコーダスケールは移動体の移動方向に光高反射
率面と光低反射率面とが交互に所定のピッチで並んだも
のであり、通常固定配置され、前記の光センサはこのエ
ンコーダスケールに臨みつつ、移動体と共に移動できる
ように該移動体上に配置される。そして該光センサの光
検出素子には、発光素子からエンコーダスケールに照射
され、移動体の移動とともに順次反射率の異なるスケー
ル面によって反射されてくる光があたる。すなわち光セ
ンサは移動体の移動とともに光高反射率面、光低反射率
面に交互に臨む。
【0004】また、透過式のリニアエンコーダの場合に
は、光学式エンコーダスケールは移動体の移動方向に光
透過率が高い部分と低い部分とが交互に所定のピッチで
並んだものであり、通常固定配置され、光センサの発光
素子と光検出素子とは移動体に取り付けられ、該エンコ
ーダスケールを間に挟んで、それぞれスケールに臨む位
置に配置される。
【0005】このような光学式リニアエンコーダは、例
えば、リニアモータの可動子の位置検出などに利用でき
る。リニアモータとしては、例えば、界磁マグネットが
形成された棒状部材を固定子とし、該固定子に外嵌する
電機子コイルを含む可動子とするシャフト型のリニアモ
ータを挙げることができる。また、光学式リニアエンコ
ーダは、例えば複写機、イメージスキャナ等に搭載され
る画像読み取り装置において、所定位置に載置される原
稿の画像を光学的に走査して読み取るために、光学部品
を搭載して直線的に駆動されるスライダの位置検出、速
度検出、位置制御、速度制御などにも利用できる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】ところが、光学式リニ
アエンコーダにおいては、光センサの発光素子から照射
されてエンコーダスケールによって反射(又はエンコー
ダスケールを透過)した光の光強度を光検出素子により
検出することにより移動体の位置検出などを行うため、
発光素子が照射する光以外の他の光(外乱光)が光検出
素子に入力されると、光検出素子の検出する光強度に基
づき移動体の位置検出などを正確に行うことができな
い。
【0007】したがって、前述のように光学式リニアエ
ンコーダを例えばシャフト型リニアモータの可動子の位
置制御、速度制御などに利用すると、外乱光の影響によ
って、可動子を精度よく駆動制御できないことがある。
光学式リニアエンコーダを備えるシャフト型リニアモー
タにおいては、従来このような外乱光の影響を考慮した
例が見当たらない。
【0008】また、画像読み取り装置において、原稿画
像を光学的に走査するために光学部品を搭載して直線的
に駆動されるスライダの位置、速度制御などに光学式リ
ニアエンコーダを利用すると、同様に外乱光の影響によ
ってスライダを精度よく駆動制御することができないこ
とがある。画像形成装置においては、スライダ上に搭載
される光学部品の一つには、蛍光灯などの照明装置があ
るため、かかる照明装置から照射される光が外乱光とな
ることがある。また、画像読み取り装置には、通常、読
み取る原稿を配置するための原稿台ガラスが設けられて
おり、かかる原稿台ガラスを通じて装置内に入ってくる
光(太陽光、室内灯光など)も外乱光となることがあ
る。外乱光の影響により、光学部品を搭載するスライダ
の駆動制御が、精度よく行えなくなると、読み取り画像
に歪みなどが生じ、良好な画像読み取りが行えないこと
がある。
【0009】そこで本発明は、直線的に移動する移動体
の位置検出、速度検出、位置制御、速度制御などに利用
することができる光学式リニアエンコーダ装置であっ
て、外乱光の影響を抑制して、精度のよい移動体の位置
検出、速度検出、位置制御、速度制御などに利用できる
光学式リニアエンコーダ装置を提供することを第1の課
題とする。
【0010】また、本発明は、シャフト型リニアモータ
と、該リニアモータの可動子の位置検出などのための光
学式リニアエンコーダとを備え、物品を直線的に駆動す
ることに利用できるリニア駆動装置であって、外乱光の
光学式リニアエンコーダへの影響を抑制して、物品を精
度よく駆動することができるリニア駆動装置を提供する
ことを第2の課題とする。
【0011】また、本発明は、原稿画像を光学的に走査
するために光学部品を搭載して駆動されるスライダと、
該スライダの位置検出などのための光学式リニアエンコ
ーダとを備える画像読み取り装置であって、外乱光の光
学式リニアエンコーダへの影響を抑制して、良好な画像
読み取りを行うことができる画像読み取り装置を提供す
ることを第3の課題とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】前記第1の課題を解決す
るために本発明は、直線的に移動する移動体の位置検出
を行うことができる光学式リニアエンコーダ装置であっ
て、該移動体の移動方向に延在するように配置される光
学式エンコーダスケールと、該エンコーダスケールに臨
む位置に配置されて該エンコーダスケール情報を検出す
るための光センサとを備え、前記エンコーダスケール
は、前記移動体の移動方向に延在するように配置される
外乱光遮断用中空ボックスの該中空内部に設けられてお
り、前記光センサは、前記エンコーダスケールの長手方
向と同方向に前記中空ボックスに延ばし設けられたスリ
ットを該ボックスの外側から内側へ該スリットに沿って
移動可能に貫通して該ボックスの外側において前記移動
体に取り付けられるセンサ取付け部材に、該ボックス内
側において取り付けられていることを特徴とする光学式
リニアエンコーダ装置を提供する。
【0013】この装置においてエンコーダスケールは、
反射式のものでも、透過式のものでもよく、反射式のス
ケールは、移動体の移動方向に光高反射率面と光低反射
率面とが交互に所定のピッチで並ぶものであり、透過式
のスケールは、移動体の移動方向に光透過率が高い部分
と低い部分とが交互に所定のピッチで並ぶものである。
光センサとしては、LED等の発光素子と、フォトダイ
オード、フォトトランジスタ等の光検出素子とを含むも
のを例示できる。
【0014】なおエンコーダスケール及び光センサに関
するこれらの点は後述するリニア駆動装置及び各画像読
み取り装置においても同様である。外乱光遮断用中空ボ
ックスに設けたスリットを貫通しているセンサ取付け部
材は、該中空ボックスの外側において移動体に取り付け
られている。センサ取付け部材は、移動体に直接取り付
けても、或いは別の部材を介して間接的に取り付けても
よい。
【0015】移動体に取り付けられるセンサ取付け部材
は、移動体の移動方向に延在するように配置される光学
式エンコーダスケールの長手方向と同方向に前記中空ボ
ックスに設けられたスリットに嵌まっているので、移動
体と共にその移動方向に移動することができ、これによ
り、センサ取付け部材に取り付けられた光センサは、エ
ンコーダスケールに臨みつつ、移動体と共に移動でき
る。
【0016】光センサは、エンコーダスケールに向けて
光を照射して、エンコーダスケールが反射式の場合には
その反射光の強度(光度、光量等)を検出し、エンコー
ダスケールが透過式の場合にはその透過光の強度を検出
する。いずれにしても、光センサの検出情報は、移動体
の位置検出、速度検出に利用できるとともに、移動体の
位置制御や速度制御などにも利用できる。
【0017】光センサ及びエンコーダスケールが外乱光
遮断用中空ボックス内部に配置されているため、光セン
サがエンコーダスケールに向けて照射する光以外の光
(外乱光)がエンコーダスケールや光センサにあたるこ
とが抑制され、それだけ精度のよい移動体の位置検出な
どが可能である。前記外乱光遮断用中空ボックスは前記
スリット以外の部分がすべて光を遮断するように閉じら
れていてもよいが、精度よく移動体の位置検出等を行え
るのであれば、必ずしもスリット以外の部分が全部光遮
断されていなくてもよい。また前記外乱光遮断用中空ボ
ックスは、定位置に配置される部材に対して、該移動体
の移動方向に垂直な方向に位置調整可能に取り付けられ
るようにしてもよい。例えば、該ボックスの移動体移動
方向における両端部にそれぞれボルト貫通孔を形成した
ボルト通し部を設け、該ボルト貫通孔に貫通させたボル
トを移動体の移動方向に垂直な姿勢で前記定位置部材に
螺合させ得るようにし、該定位置部材とボルト通し部と
の間にボックスを移動体移動方向に垂直な方向へ向け押
すバネ(例えばボルトに嵌めた圧縮コイルバネ)を設
け、各ボルトの該定位置部材への螺合量を調整すること
で、該ボックスの移動体移動方向に垂直な方向の位置調
整を行えるようにすることができる。さらに、前記セン
サ取付け部材にボックスの移動体移動方向に垂直な方向
における位置を示す(換言すればボックス内のエンコー
ダスケールと光センサとの距離等の位置関係を示す)目
盛りを設けてもよい。このようにボックスを移動体の移
動方向に垂直な方向に位置調整可能にすると、移動体と
共に移動する光センサと、外乱光遮断用中空ボックス内
部に設けられるエンコーダスケールとの間の位置関係
(例えば距離)を、移動体の移動領域全体にわたって適
正なものに容易に調整することができる。
【0018】なおこのような外乱光遮断用中空ボックス
に関する光遮断構造の程度、外乱光遮断用ボックスの移
動体移動方向に垂直な方向における位置調整に関する点
等は、同様の外乱光遮断用ボックス及び光センサを採用
する後述するリニア駆動装置や第1タイプの画像読み取
り装置においても同様である。前記移動体としては、例
えばリニアモータの可動子や、原稿画像を光学的に走査
して読み取るための画像読み取り装置において、原稿画
像を光学的に走査するための光学部品を搭載して所定方
向に直線的に移動させるスライダなどを挙げることがで
きる。
【0019】また前記第2の課題を解決するために本発
明は、N極の磁極とS極の磁極とが交互に所定方向に直
線状に並んだ界磁マグネットを有し該所定方向に延びる
棒状の固定子、及び前記固定子に外嵌する電機子コイル
を有し前記固定子に沿って往復移動できる可動子を備え
るシャフト型リニアモータと、前記可動子の移動方向に
延びる光学式エンコーダスケールと、前記エンコーダス
ケールに臨む位置に配置されて該エンコーダスケール情
報を検出するための光センサとを備え、前記エンコーダ
スケールは、前記可動子の移動方向に延びる外乱光遮断
用中空ボックスの該中空内部に設けられており、前記光
センサは、前記エンコーダスケールの長手方向と同方向
に前記中空ボックスに延ばし設けられたスリットを該ボ
ックスの外側から内側へ該スリットに沿って移動可能に
貫通して該ボックスの外側において前記可動子に取り付
けられたセンサ取付け部材に、該ボックス内側において
取り付けられていることを特徴とするリニア駆動装置を
提供する。
【0020】このリニア駆動装置は、前記本発明の光学
式リニアエンコーダ装置をシャフト型リニアモータに適
用したものである。したがって、このリニア駆動装置に
おいても、外乱光が光学式リニアエンコーダに与える影
響を抑制でき、それだけ光センサの検出情報に基づき可
動子の位置検出、速度検出、位置制御、速度制御等を精
度よく行うことができる。このリニア駆動装置は、可動
子に物品を取り付けることにより、かかる物品を直線的
に駆動することができる。
【0021】また、前記第3の課題を解決するために本
発明は、次の四つのタイプの画像読み取り装置を提供す
る。 第1のタイプの画像読み取り装置は、原稿画像を光
学的に走査して読み取るための画像読み取り装置であっ
て、原稿を載置するための原稿台ガラスと、前記原稿台
ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走査するため
の光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平行に往復移
動できる少なくとも一つのスライダと、前記スライダの
移動方向に延びる光学式エンコーダスケールと、前記エ
ンコーダスケールに臨む位置に配置されて該エンコーダ
スケール情報を検出するための光センサとを備え、前記
エンコーダスケールは、前記スライダの移動方向に延び
る外乱光遮断用中空ボックスの該中空内部に設けられて
おり、前記光センサは、前記エンコーダスケールの長手
方向と同方向に前記中空ボックスに延ばし設けられたス
リットを該ボックスの外側から内側へ該スリットに沿っ
て移動可能に貫通して該ボックスの外側において前記ス
ライダのいずれかに取り付けられたセンサ取付け部材
に、該ボックス内側において取り付けられていることを
特徴とする画像読み取り装置である。
【0022】この画像読み取り装置は、前記本発明の光
学式リニアエンコーダ装置を画像読み取り装置に適用し
たものである。したがって、この画像読み取り装置にお
いても、外乱光が光学式リニアエンコーダに与える影響
を抑制でき、それだけ光センサの検出情報に基づきスラ
イダの位置検出、速度検出、位置制御、速度制御等を精
度よく行うことができる。
【0023】画像読み取り装置における光学式リニアエ
ンコーダに対する外乱光は、原稿台ガラスを通して外部
から入ってくる光(太陽光、室内光等)と、画像読み取
り装置内において前記スライダに搭載されている照明装
置からの光等である。この点は後述する画像読み取り装
置においても同様である。光学部品を搭載するスライダ
の数は、画像読み取り装置の構成に応じて一つでも二つ
以上でもよい。
【0024】画像読み取り装置がスライダを一つだけ備
える場合には、かかるスライダとしては、原稿台ガラス
に載置される原稿の画像を照明する照明装置と、該原稿
からの反射光を一定方向に導くロッドレンズアレイと、
該ロッドレンズアレイからの光を電気信号に変換する密
着型のCCDイメージセンサとを搭載したスライダを例
示できる。
【0025】また、画像読み取り装置がスライダを二つ
備える場合には、これらスライダとしては、原稿台ガラ
スに載置される原稿を照明するための照明装置及び前記
原稿からの反射画像光を所定方向に導くためのミラーを
搭載して前記原稿台ガラスに平行に往復移動できる第1
のスライダと、前記第1スライダ上のミラーからの画像
光を所定方向に導くためのミラーを搭載して前記第1ス
ライダと同方向に往復移動できる第2のスライダとを例
示できる。
【0026】このようなスライダの数、その構造は後述
する第2〜第4タイプの各画像読み取り装置においても
同様である。スライダが二つ以上ある場合には、光セン
サは少なくとも一つのスライダにセンサ取付け部材を介
して取り付けられる。スライダが二つ以上ある場合に
は、各スライダそれぞれに、センサ取付け部材を介して
光センサを取り付けてもよい。この場合には、センサ取
付け部材や光センサは2以上となる。
【0027】スライダは、例えば前記のようなシャフト
型リニアモータのようなリニアモータにより駆動するこ
とができるが、回転モータ及び駆動力伝達機構により駆
動してもよい。 第2のタイプの画像読み取り装置は、原稿の画像を
光学的に走査して読み取るための画像読み取り装置であ
って、原稿を載置するための原稿台ガラスと、前記原稿
台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走査するた
めの光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平行に往復
移動できる少なくとも一つのスライダと、前記スライダ
の移動方向に延び、定位置に配置された光学式エンコー
ダスケールと、前記スライダのうち少なくとも一つに取
り付けられて前記エンコーダスケールに臨み、該エンコ
ーダスケール情報を検出する光センサとを備え、前記エ
ンコーダスケール及び前記光センサは、前記原稿台ガラ
スを通して外部から入ってくる外乱光及び画像読み取り
装置内部からの外乱光の該エンコーダスケールに該光セ
ンサが臨んでいる部位への照射が抑制される位置に配置
されていることを特徴とする画像読み取り装置である。
【0028】第2のタイプの画像読み取り装置における
光センサは、少なくともいずれか一つのスライダに取り
付けられている。かかる光センサは、エンコーダスケー
ルに臨みつつ、該センサが取り付けられたスライダと共
に移動する。なお、これらのことは、以下に述べる第
3、第4のタイプの画像読み取り装置における光センサ
についも同様である。
【0029】スライダは、例えばシャフト型リニアモー
タのようなリニアモータにより駆動することができる。
スライダが例えば二つある場合には、一方のスライダの
みをリニアモータにより駆動し、他方のスライダについ
ては、両スライダをワイヤ、プーリー等を用いた伝動機
構により連結しておいて、該一方のスライダから伝達さ
れる駆動力によって他方のスラインダを駆動するように
してもよい。また、各スライダは回転モータ及び駆動力
伝達機構により駆動するようにしてもよい。なお、これ
らのことは、以下に述べる第3、第4のタイプの画像読
み取り装置においても同様である。
【0030】この画像読み取り装置においては、エンコ
ーダスケール及び光センサは、エンコーダスケールに光
センサが臨んでいる部位への外乱光の照射が抑制される
位置、例えばエンコーダスケールに光センサが臨んでい
る部位に外乱光が直接あたらない位置に配置されている
ため、外乱光が光センサの検出情報に与える影響を抑制
でき、それだけ光センサの検出情報に基づきスライダの
位置検出などを精度よく行うことができる。 第3のタイプの画像読み取り装置は、原稿の画像を
光学的に走査して読み取るための画像読み取り装置であ
って、原稿を載置するための原稿台ガラスと、前記原稿
台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走査するた
めの光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平行に往復
移動できる少なくとも一つのスライダと、前記スライダ
の移動方向に延び、定位置に配置された光学式エンコー
ダスケールと、前記スライダのうち少なくとも一つに取
り付けられて前記エンコーダスケールに臨み、該エンコ
ーダスケール情報を検出する光センサと、前記原稿台ガ
ラスを通して外部から入ってくる外乱光及び画像読み取
り装置内部からの外乱光の該エンコーダスケールに該光
センサが臨んでいる部位への照射を抑制するように該エ
ンコーダスケールの長手方向に沿って設けられた外乱光
遮断用部材とを備えていることを特徴とする画像読み取
り装置である。
【0031】この画像読み取り装置においては、エンコ
ーダスケールに光センサが臨んでいる部位への外乱光の
照射を抑制するように、例えばエンコーダスケールに光
センサが臨んでいる部位に外乱光が直接あたらないよう
に、該エンコーダスケールの長手方向に沿って外乱光遮
断用部材が設けられているので、外乱光が光センサの検
出情報に与える影響を抑制でき、それだけ光センサの検
出情報に基づきスライダの位置検出などを精度よく行う
ことができる。 第4のタイプの画像読み取り装置は、原稿の画像を
光学的に走査して読み取るための画像読み取り装置であ
って、原稿を載置するための原稿台ガラスと、前記原稿
台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走査するた
めの光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平行に往復
移動できる少なくとも一つのスライダと、前記スライダ
の移動方向に延び、定位置に配置された光学式エンコー
ダスケールと、前記スライダのうち少なくとも一つに取
り付けられて前記エンコーダスケールに臨み、該エンコ
ーダスケール情報を検出する光センサと、前記原稿台ガ
ラスを通して外部から入ってくる外乱光及び画像読み取
り装置内部からの外乱光の該エンコーダスケールに該光
センサが臨んでいる部位への照射を抑制するように前記
光センサとともに前記スライダに取り付けられた外乱光
遮断部材とを備えていることを特徴とする画像読み取り
装置である。
【0032】この画像読み取り装置において、スライダ
が例えば二つあってそれらスライダに光センサが設けら
るときには、外乱光遮断用部材は前記のように外乱光の
照射を抑制するように各スライダに設けられる。それら
スライダのうち一方のスライダに光センサが設けられる
ときには、その光センサが設けられているスライダに外
乱光遮断用部材が配置される。
【0033】いずれにしても外乱光遮断用部材はスライ
ダとともに移動するので、スライダの移動に支障がない
ように、そしてエンコーダスケールに光センサが現に臨
んでいる部位への外乱光の照射が抑制されるように、例
えばエンコーダスケールに光センサが臨んでいる部位に
外乱光が直接あたらないように設けられる。かかる外乱
光遮断部材には、光センサによる光検出に支障がない位
置においてエンコーダスケールに摺動接触可能に、ハ
ケ、ブラシ、布等の清掃部材を設けてもよい。このよう
な清掃部材を設けると、清掃部材はエンコーダスケール
に接触しつつ、該スライダと共に移動するため、エンコ
ーダスケール上の埃、ゴミ等を除去することができるの
で、精度のよい位置検出などを行うことができる。
【0034】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。本発明に係るリニア駆動装置の一
例を図1に示す。図1のリニア駆動装置は、本発明に係
る光学式リニアエンコーダ装置の一例をシャフト型リニ
アモータに適用したものでもある。図1(A)は該装置
の概略構成を示す断面図、図1(B)は図1(A)のY
−Y線に沿う断面図、図1(C)は図1(A)のX−X
線に沿う断面図である。なお、図1(C)ではリニアモ
ータ可動子はコイルを省略して示してある。
【0035】図示のリニア駆動装置は、シャフト型リニ
アモータLMと、本発明に係る光学式リニアエンコーダ
装置EAとを備えている。リニアモータLMは、N極の
磁極とS極の磁極とが長手方向に交互に並ぶ界磁マグネ
ット211が形成されている固定子21と、固定子21
に外嵌する電機子コイル221を有する可動子22とを
備えている。電機子コイル221は、中空円筒状のヨー
ク222の内周面に支持されている。ヨーク222の両
端部には、固定子21に外嵌する軸受け223が設けら
れており、これらにより可動子22は固定子21に沿っ
て移動することができる。
【0036】リニアエンコーダ装置EAは、光学式のエ
ンコーダスケール11と、スケール11に臨む位置に配
置された光センサ12とを有している。これらにより、
いわゆる反射式のエンコーダが構成されている。図2に
エンコーダスケール11の概略斜視図を示す。エンコー
ダスケール11は、板状部材110の表面に、白色帯状
の光高反射率面111と、黒色帯状の光低反射率面11
2とが交互に所定の等ピッチにて並ぶように形成したも
のである。
【0037】スケール11は、中空直方体形箱状の外乱
光遮断用中空ボックス15の内部底面153に支持され
ている。外乱光遮断用中空ボックス15は、スケール1
1の長手方向が可動子22の移動方向、換言すれば固定
子21の長手方向に平行になるように配置されている。
外乱光遮断用中空ボックス15のスケール11に対向す
る上壁154には、スケール11の長手方向に延びるス
リット151が形成されている。
【0038】外乱光遮断用中空ボックス15の長手方向
両端部には、該長手方向に突出しているボルト通し部1
52が設けられている。各ボルト通し部152にはボル
ト貫通孔1521が設けられている。外乱光遮断用中空
ボックス15は、孔1521に通されて可動子22の移
動方向に垂直な姿勢で固定側部材であるフレームFrに
螺合するボルトB、及びボルト通し部152とフレーム
Frとの間で該ボルトBに外嵌された圧縮コイルバネS
によって、定位置のフレームFrに支持されている。バ
ネSは外乱光遮断用中空ボックス15を図中上方向に付
勢している。ボルトBのフレームFrに対する螺合量を
調整することによって、スケール11の長手方向に垂直
な方向、換言すれば可動子の移動方向に垂直な方向(図
中、上下方向)における外乱光遮断用中空ボックス15
の位置を調整することができる。
【0039】光センサ12は、本例では発光素子121
と受光素子(光検出素子)122とからなる。発光素子
121及び受光素子122は、外乱光遮断用中空ボック
ス15のスリット151を通してボックス内部に入り込
んでいるセンサ取付け部材14によって、スケール11
に対向するように、ボックス内部において支持されてい
る。発光素子121から照射された光は、スケール11
の光高反射率面111又は光低反射率面112によって
反射され、受光素子122はその反射された光の強度を
検出することができる。センサ取付け部材14はスリッ
ト151を通して一部がボックス15の外側に突出して
おり、ボックス外部においてマウント部材13に支持さ
れている。マウント部材13は、リニアモータLMの可
動子22に取り付けられている。
【0040】これらによって、光センサ12は、可動子
22の移動に伴いその移動方向に沿って、換言すれば、
スケール11の長手方向に沿って、外乱光遮断用中空ボ
ックス15の内部に配置されたスケール11に対向しつ
つ、ボックス15内部において移動することができる。
リニアモータLMの電機子コイル221に通電すると、
界磁マグネット211との相互作用により、可動子22
を固定子21に沿って移動させることができる。
【0041】可動子22の移動に伴い光センサ12がス
ケール11の長手方向に移動すると、センサ12はスケ
ール11の光高反射率面111と光低反射率面112と
に交互に対向することとなり、受光素子122はスケー
ル11から反射される光の強度に応じた信号を出力す
る。かかる受光素子122の出力信号に基づき、可動子
22の位置や速度を検出することができる。また、かか
る受光素子122の出力信号は、可動子22の位置制御
や、速度制御等に利用することもできる。
【0042】発光素子121や受光素子122を有する
光センサ12、及びスケール11は、外乱光遮断用中空
ボックス15の内部に配置されているため、発光素子1
21から照射されスケール11によって反射された光以
外の光(外乱光)が受光素子122、特に受光素子12
2の光検出面(スケール11に対向する面)に当たるこ
とが抑制されている。これにより、このリニアエンコー
ダ装置EAによると、精度よく可動子22の位置検出、
速度検出などを行うことができる。また、ボックス15
の内部に光センサ12やスケール11が配置されている
ため、埃、ゴミ等がこれらに付着することも抑制でき、
それだけ長期にわたり安定して位置検出など精度よく行
うことができる。
【0043】可動子22に連動し移動するセンサ取付け
部材14の移動に伴い伸縮するカバー、例えば蛇腹式カ
バーを外乱光遮断用中空ボックス15のスリット151
部分を覆うように設けると、外乱光のボックス15内部
への進入をより抑制することができ、それだけより正確
に位置検出などを行うことができる。また、このような
カバーを設けると、スリット151を通じてボックス1
5の内部に埃、ゴミ等が進入することも抑制できるの
で、ボックス15内部の光センサ12やスケール11へ
の埃等の付着をより抑制でき、さらに長期にわたり安定
した位置検出などを行うことができる。
【0044】また、前記リニアエンコーダ装置EA、そ
れを備えるリニア駆動装置においては、光センサ12と
スケール11との間の距離を、スケール11の長手方向
の全域にわたって、換言すれば可動子22の移動領域全
体にわたって適正な距離に次のようにして容易に調整す
ることができる。かかる調整のためにリニアエンコーダ
装置EAにおいては、図3に示すように、光センサ12
とスケール11とが適正な位置関係(ここでは適正な距
離関係)にあるときのセンサ取付け部材14のスリット
151からの突出量(換言すればスリット151への入
り込み量)を示す基準目盛り141がセンサ取付け部材
14に設けられている。本例では、かかる基準目盛り線
141は、ボックス15の上壁154の上面に一致する
線である。そこで、センサ取付け部材14を移動可能な
端部にまで移動させ、そこでのボルトBの螺合量を調整
して目盛り141とボックス上壁154の上面とを合わ
せる簡易な作業を両端部において行えば、スケール11
の長手方向の全域にわたって、光センサ12とスケール
11との間の距離を適正な距離に調整することができ
る。なお、図3においては、センサ取付け部材14がス
リット151の図中左端に位置する様子を示している。
【0045】図1に示すリニア駆動装置は、例えば、原
稿画像を光学的に走査して読み取るための画像読み取り
装置において、光学部品を搭載して直線的に移動させる
スライダの駆動に利用することができる。この場合に
は、リニアモータの可動子をスライダに取り付ければよ
い。また、このような画像読み取り装置に対しては、光
学式リニアエンコーダ装置EAだけを適用してもよい。
この場合には、スライダの駆動は、例えば、回転モータ
及びワイヤ、プーリーなどを用いた駆動力伝達機構によ
り行ってもよい。そしてセンサ取付け部材14は直接又
は他の部材を介してスライダに連結すればよい。
【0046】光学部品を搭載して直線的に駆動されるス
ライダの位置検出などのために、光学式のエンコーダを
備えるタイプの画像読み取り装置においては、次に述べ
るようにしてもかかるエンコーダによる位置検出などを
外乱光の影響を抑制して、精度よく行うことができる。
図4に本発明に係る画像読み取り装置の一例を示す。図
4(A)は該装置の概略断面図、図4(B)は該装置の
図4(A)に示すA−A線に沿う概略断面図である。な
お、図4に示す画像読み取り装置は、イメージスキャナ
として利用でき、またデジタル複写機に搭載して利用す
ることができる。
【0047】この画像読み取り装置は、原稿を載置する
ための透明原稿台ガラスGLを装置上部に備えており、
原稿台ガラスGLは、装置フレームFRに支持されてい
る。原稿台ガラスGLの上部には開閉可能にカバーCV
が設けられている。原稿台ガラスGLの下部には、原稿
台ガラスGL上に載置される原稿を光学的に走査するた
めに、原稿台ガラスGLに平行に移動することができ、
光学部品を搭載する2つのスライダSL1、SL2が配
置されている。
【0048】二つのスライダSL1及びSL2は、本例
ではいずれも図1に示すリニアモータと実質的に同構成
のシャフト型リニアモータにより駆動される。スライダ
SL1にはリニアモータの可動子22aが取り付けられ
ており、同様にスライダSL2にはリニアモータの可動
子22bが取り付けられている。可動子22a及び可動
子22bはいずれも共通のリニアモータ固定子21に外
嵌している。可動子22a及び可動子22bは、いずれ
も固定子21に外嵌する図示を省略した電機子コイルを
有している。また、固定子21には図示を省略した界磁
マグネットが形成されている。固定子21は原稿台ガラ
スGLに平行に配置されている。これらにより、可動子
22aや可動子22bにそれぞれ取り付けられたスライ
ダSL1やスライダSL2を原稿台ガラスGLに平行に
駆動することができる。
【0049】スライダSL1には、原稿台ガラスGL上
に載置される原稿に光を照明するための照明ランプL
P、照明ランプLPの照射光を原稿に向けるための反射
ミラーm1、m2、原稿からの反射光をスライダSL2
の方に導くための反射ミラーm3が搭載されている。ス
ライダSL1の可動子22aが取り付けられている端部
との反対側の端部には、ガイドローラrが設けられてい
る。ローラrは、原稿台ガラスGL及び固定子21に平
行に配置された板状のガイド部材G上を転動できる。こ
れらによって、スライダSL1は、その姿勢を保ちつつ
移動することができる。
【0050】スライダSL2には、スライダSL1上の
反射ミラーm3から導かれた画像光を読み取りユニット
5に導くための反射ミラーm4、m5が搭載されてい
る。スライダSL2も前記スライダSL1と同様の端部
ガイドローラを有し、姿勢を保ちつつ移動することがで
きる。読み取りユニット5は、スライダSL2上の反射
ミラーm5から導かれた画像光を結像するためのレンズ
51や、該結像された画像光を読み取るためのCCD5
2を有している。なお、このようなユニット5に代え
て、ミラーm5からの光を画像形成用の感光体等に導く
反射手段を設ける等により、アナログ複写機に適用可能
の画像読み取り装置とすることもできる。
【0051】二つの可動子22a、22bそれぞれの位
置検出などのために、換言すれば、二つのスライダSL
1及びSL2の位置検出などのために、この画像読み取
り装置は光学式エンコーダスケールと光センサとを含む
光学式リニアエンコーダを備えている。エンコーダスケ
ール11は、図2に示すものと実質的に同じものであ
る。エンコーダスケール11の光高反射率面や光低反射
率面が形成されていて、光センサが臨むこととなる面に
は、原稿台ガラスGLを通して入ってくる光や、スライ
ダSL1上の照明装置(照明ランプLP及びランプ用反
射ミラーm1)からの光が直接当たらないように、可動
子22a、22bの図中上部に配置されており、光セン
サを臨ませる面が図中下側を向くように本体フレームF
Rに支持されている。エンコーダスケール11の光高反
射率面と光低反射率面とは固定子21の長手方向に交互
に並ぶように形成されている。
【0052】スライダSL1に取り付けられている可動
子22aには、スケール11に臨む位置であって、照明
装置(ランプLP及びランプ用反射ミラーm1)からの
光が直接あたらない、該照明装置からの光照射方向とは
反対側の位置に光センサ12aが取り付けられている。
光センサ12aが配置された位置の図中上方には、原稿
台ガラスGLのガラス面がない。同様に、スライダSL
2に取り付けられている可動子22bには、スケール1
1に臨む位置であって、前記照明装置からの光照射方向
とは反対側の位置で光センサ12bが取り付けられてい
る。光センサ12bが配置された位置の図中上方には、
原稿台ガラスGLのガラス面がない。これらにより、光
センサ12aや12bのスケール11に臨む面(光検出
面)には、スケール11と同様に、原稿台ガラスGLを
通して入ってくる光や、スライダSL1上の照明装置か
らの光が直接当たらない。
【0053】原稿台ガラスGL上に載置される原稿の画
像を読み取るときには、照明ランプLPを点灯させて、
二つのスライダSL1、SL2を原稿台ガラスGLに平
行に駆動し、原稿全体を走査する。そして、この間、原
稿により反射された照明ランプLPからの照射光は、反
射ミラーm3、m4、m5により読み取りユニット5に
導かれ、CCD52により順次原稿画像は読み取られ
る。
【0054】画像読み取りのときには、二つのスライダ
は、スライダSL1の速度とスライダSL2の速度との
速度比が2:1となるように駆動し、かかる二つのスラ
イダそれぞれの駆動制御に光センサ12a、12bの検
出情報を利用できる。この他、これら光センサの検出情
報は、それぞれ二つのスライダの位置検出や、速度検出
などにも利用できる。
【0055】前述のように、エンコーダスケール11
や、光センサ12a、12bは、原稿台ガラスGLを通
して入ってくる光や、スライダSL1上の照明ランプL
P等からの光、換言すればエンコーダにとっては外乱光
となる光が、直接当たらないため、外乱光のエンコーダ
への影響を抑制でき、それだけ光センサの検出する情報
に基づき、正確な位置検出、速度制御などを行うことが
できる。したがって、画像読み取り時における各スライ
ダの速度をそれだけ正確に所定の速度にすることができ
るため、良好な画像読み取りを行うことができる。
【0056】図5に、本発明に係る画像読み取り装置の
他の例を示す。図5(A)は該装置の一部を断面で示す
概略正面図、図5(B)は図5(A)に示すB−B線に
沿う該装置の概略断面図である。図4に示す装置におけ
る部品と実質的に同じ構成作用の部品には、図4と同じ
参照符号を付してある。この装置は、次に述べる外乱光
遮断用部材を設けた以外は、図4に示す画像読み取り装
置と実質的に同じものである。
【0057】図5に示す画像読み取り装置においては、
原稿台ガラスGLを通して入る光や照明ランプLP等か
ら照射される光のエンコーダへの影響をさらに抑制する
ために、外乱光遮断用部材31が設けられている。光遮
断用部材31は、二つのスライダの幅方向(スライダ移
動方向を横切る方向)において、エンコーダスケール1
1及び光センサ12a、12bが配置された領域と、照
明ランプLP及び原稿台ガラスGLが配置された領域と
を仕切るように、原稿台ガラスGLを支持するフレーム
FRの下面において鉛直方向に延ばして設けられてい
る。光遮断用部材31は、エンコーダスケール11の長
手方向における全域にわたり延びている。この画像読み
取り装置においては、原稿台ガラスGLを通して装置内
に入ってくる光や、照明ランプLP等から照射される光
の大部分が、光遮断用部材31によって遮られるため、
図4に示す装置よりもさらに外乱光のエンコーダへの影
響を抑制でき、さらに良好な画像読み取りを行うことが
できる。
【0058】図6に、本発明に係る画像読み取り装置の
他の例を示す。図6(A)は該装置の一部を断面で示す
概略正面図、図6(B)は図6(A)に示すC−C線に
沿う概略断面図である。図6の画像読み取り装置は、図
5の装置における外乱光遮断用部材31に代えて、次に
述べる外乱光遮断用部材32a、32bを設けた以外
は、図5の装置と実質的に同じである。図5の装置と実
質的に同じ構成作用の部品には、同じ参照符号を付して
ある。
【0059】光遮断用部材32aは可動子22a上にお
いて、エンコーダスケール11及び光センサ12aが配
置された領域と、照明ランプLP及び原稿台ガラスGL
が配置された領域とを仕切るように設けられている。同
様に、光遮断用部材32bは可動子22b上において、
エンコーダスケール11及び光センサ12bが配置され
た領域と、照明ランプLP及び原稿台ガラスGLが配置
された領域とを仕切るように設けられている。
【0060】図5の画像読み取り装置における光遮断用
部材31は固定配置されていたが、光遮断用部材32
a、32bは、それぞれ各スライダと共に移動する。こ
れら光遮断用部材32a、32bは、光センサ12a、
12bがスケール11に臨む部位及びその周辺のエンコ
ーダスケール11部分や、これら光センサに、原稿台ガ
ラスGLや照明ランプLP等からの外乱光が当たること
を抑制できる。したがって、この装置においても、外乱
光の影響を抑制してエンコーダにより位置検出などを正
確に行うことができるため、良好な画像読み取りを行う
ことができる。
【0061】図7に、本発明に係る画像読み取り装置の
さらに他の例を示す。図7(A)は該装置の一部を断面
で示す概略正面図、図7(B)は図7(A)に示すD−
D線に沿う概略断面図である。図7の画像読み取り装置
は、図6の装置における外乱光遮断用部材32a、32
bに代えてそれぞれ外乱光遮断用部材33a、33bを
設け、エンコーダスケール11の配置位置を代えた以外
は、実質的に図6の装置と同じである。図6の装置と実
質的に同じ構成作用の部品には、同じ参照符号を付して
ある。
【0062】エンコーダスケール11は、可動子22
a、22bの下方に配置されている。光センサ12a
は、スケール11に臨むように可動子22aに取り付け
られている。同様に、光センサ12bは、スケール11
に臨むように可動子22bに取り付けられている。可動
子22aには、光センサ12aがスケール11に臨む部
位及びその周辺のスケール11部分並びに該光センサ1
2aを囲み覆うように、図8に示す光遮断用部材33a
が取り付けられている。光遮断用部材33aは、一つの
面が開口する中空直方体状、換言すれば、一つの面が開
口する箱状であり、かかる中空部分に光センサ12を内
蔵するように、且つ、かかる該開口面をスケール11に
臨ませて可動子22aに取り付けられている。光遮断用
部材33aは、スケール11の長手方向に平行な二つの
面331a、332aが、該方向に垂直な二つの面33
3a、334aより突出しており、光遮蔽効果がより高
められている。同様に、可動子22bには、光センサ1
2bがスケール11に臨む部位及びその周辺のスケール
11部分並びに該光センサ12bを囲み覆うように、光
遮断用部材33aと同形状の光遮断用部材33bが取り
付けられている。
【0063】これら光遮断用部材33a、33bによっ
て、原稿台ガラスGLから装置内に入る光や、照明ラン
プLP等から照射される光は遮られるため、これら外乱
光の影響は抑制され、光センサ12a、12bの検出情
報に基づき正確な位置検出などを行うことができる。ま
た、これら光遮断用部材33a、33bは、それぞれ光
センサ12a、12bのスケール11に臨む面を除き四
方を取り囲んでいるため、上記光遮断用部材31、32
a、33bに比べて遮光効果が高い。したがって、エン
コーダによってそれだけ正確な位置検出などを行うこと
ができる。
【0064】上記説明した可動子22a、22bと一体
的に移動する光遮断用部材、換言すれば、スライダSL
1、SL2と一体的に移動する光遮断用部材32a、3
2b、33a、33bには、光遮断用部材の移動に伴い
スケール11の光センサに臨む面を清掃するための清掃
部材を設けてもよい。例えば、図9に示すように、光遮
断用部材33aに、該光遮断用部材の移動方向において
前後の位置となる面333a、334aから突出させて
ハケ4を設けると、スライダSL1と共に光遮断用部材
33aがスケール11の長手方向に移動するときに、ハ
ケ4がスケール11に当たって、スケール11上の埃、
ゴミ等を掃き取ることができる。ハケに代えて、布など
を採用してもよい。このような清掃部材を設けると、ス
ケール11の光センサに臨む面を長期にわたり埃、ゴミ
等のないクリーンな状態に維持することができ、それだ
けエンコーダによって長期にわたり正確な位置検出など
を行うことができる。
【0065】
【発明の効果】本発明によると、直線的に移動する移動
体の位置検出、速度検出、位置制御、速度制御などに利
用することができる光学式リニアエンコーダ装置であっ
て、外乱光の影響を抑制して精度のよい移動体の位置検
出、速度検出、位置制御、速度制御などに利用できる光
学式リニアエンコーダ装置を提供することができる。
【0066】また、本発明によると、シャフト型リニア
モータと、該リニアモータの可動子の位置検出などのた
めの光学式リニアエンコーダとを備え、物品を直線的に
駆動することに利用できるリニア駆動装置であって、外
乱光の光学式リニアエンコーダへの影響を抑制して、物
品を精度よく駆動することができるリニア駆動装置を提
供することができる。
【0067】また、本発明によると、原稿画像を光学的
に走査するために光学部品を搭載して駆動されるスライ
ダと、該スライダの位置検出などのための光学式リニア
エンコーダとを備える画像読み取り装置であって、外乱
光の光学式リニアエンコーダへの影響を抑制して、良好
な画像読み取りを行うことができる画像読み取り装置を
提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(A)は本発明に係るリニア駆動装置の1
例の概略構成を示す断面図、図1(B)は図1(A)の
Y−Y線に沿う断面図、図1(C)は図1(A)のX−
X線に沿う断面図である。
【図2】光学式リニアエンコーダスケールの概略斜視図
である。
【図3】図1に示すリニア駆動装置において、外乱光遮
断用中空ボックスの位置調整を行う様子を示す図であ
る。
【図4】図4(A)は本発明に係る画像読み取り装置の
一例の概略断面図、図4(B)は該装置の図4(A)に
示すA−A線に沿う概略断面図である。
【図5】図5(A)は本発明にかかる画像読み取り装置
の他の例の一部を断面で示す概略正面図、図5(B)は
図5(A)に示すB−B線に沿う該装置の概略断面図で
ある。
【図6】図6(A)は本発明にかかる画像読み取り装置
のさらに他の例の一部を断面で示す概略正面図、図6
(B)は図6(A)に示すC−C線に沿う該装置の概略
断面図である。
【図7】図7(A)は本発明にかかる画像読み取り装置
のさらに他の例の一部を断面で示す概略正面図、図7
(B)は図7(A)に示すD−D線に沿う該装置の概略
断面図である。
【図8】図7の画像読み取り装置が備える外乱光遮断用
部材の概略斜視図である。
【図9】清掃部材を備える光遮断用部材の概略斜視図で
ある。
【符号の説明】
LM リニアモータ 21 固定子 211 界磁マグネット 22、22a、22b 可動子 221 電機子コイル EA 光学式リニアエンコーダ装置 11 エンコーダスケール 12、12a、12b 光センサ 121 発光素子 122 光検出素子(受光素子) 13 マウント部材 14 センサ取付け部材 141 基準目盛り 15 外乱光遮断用中空ボックス 151 スリット 152 ボルト通し部 1521 ボルト貫通孔 154 ボックス15の上壁 B ボルト Fr フレーム(固定側部材) 31、32a、32b、33a、33b 外乱光遮断用
部材 SL1、SL2 スライダ LP 照明ランプ m1、m2、m3、m4、m5 ミラー GL 原稿台ガラス 5 読み取りユニット

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】直線的に移動する移動体の位置検出を行う
    ことができる光学式リニアエンコーダ装置であって、該
    移動体の移動方向に延在するように配置される光学式エ
    ンコーダスケールと、該エンコーダスケールに臨む位置
    に配置されて該エンコーダスケール情報を検出するため
    の光センサとを備え、 前記エンコーダスケールは、前記移動体の移動方向に延
    在するように配置される外乱光遮断用中空ボックスの該
    中空内部に設けられており、 前記光センサは、前記エンコーダスケールの長手方向と
    同方向に前記中空ボックスに延ばし設けられたスリット
    を該ボックスの外側から内側へ該スリットに沿って移動
    可能に貫通して該ボックスの外側において前記移動体に
    取り付けられるセンサ取付け部材に、該ボックス内側に
    おいて取り付けられていることを特徴とする光学式リニ
    アエンコーダ装置。
  2. 【請求項2】前記外乱光遮断用中空ボックスは、該移動
    体の移動方向に垂直な方向に位置調整可能である請求項
    1記載の光学式リニアエンコーダ装置。
  3. 【請求項3】N極の磁極とS極の磁極とが交互に所定方
    向に直線状に並んだ界磁マグネットを有し該所定方向に
    延びる棒状の固定子、及び前記固定子に外嵌する電機子
    コイルを有し前記固定子に沿って往復移動できる可動子
    を備えるシャフト型リニアモータと、 前記可動子の移動方向に延びる光学式エンコーダスケー
    ルと、 前記エンコーダスケールに臨む位置に配置されて該エン
    コーダスケール情報を検出するための光センサとを備
    え、 前記エンコーダスケールは、前記可動子の移動方向に延
    びる外乱光遮断用中空ボックスの該中空内部に設けられ
    ており、 前記光センサは、前記エンコーダスケールの長手方向と
    同方向に前記中空ボックスに延ばし設けられたスリット
    を該ボックスの外側から内側へ該スリットに沿って移動
    可能に貫通して該ボックスの外側において前記可動子に
    取り付けられたセンサ取付け部材に、該ボックス内側に
    おいて取り付けられていることを特徴とするリニア駆動
    装置。
  4. 【請求項4】前記外乱光遮断用中空ボックスは、前記可
    動子の移動方向に垂直な方向に位置調整可能である請求
    項3記載のリニア駆動装置。
  5. 【請求項5】原稿画像を光学的に走査して読み取るため
    の画像読み取り装置であって、 原稿を載置するための原稿台ガラスと、 前記原稿台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走
    査するための光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平
    行に往復移動できる少なくとも一つのスライダと、 前記スライダの移動方向に延びる光学式エンコーダスケ
    ールと、 前記エンコーダスケールに臨む位置に配置されて該エン
    コーダスケール情報を検出するための光センサとを備
    え、 前記エンコーダスケールは、前記スライダの移動方向に
    延びる外乱光遮断用中空ボックスの該中空内部に設けら
    れており、 前記光センサは、前記エンコーダスケールの長手方向と
    同方向に前記中空ボックスに延ばし設けられたスリット
    を該ボックスの外側から内側へ該スリットに沿って移動
    可能に貫通して該ボックスの外側において前記スライダ
    のいずれかに取り付けられたセンサ取付け部材に、該ボ
    ックス内側において取り付けられていることを特徴とす
    る画像読み取り装置。
  6. 【請求項6】前記外乱光遮断用中空ボックスは、前記ス
    ライダの移動方向に垂直な方向に位置調整可能である請
    求項5記載の画像読み取り装置。
  7. 【請求項7】原稿の画像を光学的に走査して読み取るた
    めの画像読み取り装置であって、 原稿を載置するための原稿台ガラスと、 前記原稿台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走
    査するための光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平
    行に往復移動できる少なくとも一つのスライダと、 前記スライダの移動方向に延び、定位置に配置された光
    学式エンコーダスケールと、 前記スライダのうち少なくとも一つに取り付けられて前
    記エンコーダスケールに臨み、該エンコーダスケール情
    報を検出する光センサとを備え、 前記エンコーダスケール及び前記光センサは、前記原稿
    台ガラスを通して外部から入ってくる外乱光及び画像読
    み取り装置内部からの外乱光の該エンコーダスケールに
    該光センサが臨んでいる部位への照射が抑制される位置
    に配置されていることを特徴とする画像読み取り装置。
  8. 【請求項8】原稿の画像を光学的に走査して読み取るた
    めの画像読み取り装置であって、 原稿を載置するための原稿台ガラスと、 前記原稿台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走
    査するための光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平
    行に往復移動できる少なくとも一つのスライダと、 前記スライダの移動方向に延び、定位置に配置された光
    学式エンコーダスケールと、 前記スライダのうち少なくとも一つに取り付けられて前
    記エンコーダスケールに臨み、該エンコーダスケール情
    報を検出する光センサと、 前記原稿台ガラスを通して外部から入ってくる外乱光及
    び画像読み取り装置内部からの外乱光の該エンコーダス
    ケールに該光センサが臨んでいる部位への照射を抑制す
    るように該エンコーダスケールの長手方向に沿って設け
    られた外乱光遮断用部材とを備えていることを特徴とす
    る画像読み取り装置。
  9. 【請求項9】原稿の画像を光学的に走査して読み取るた
    めの画像読み取り装置であって、 原稿を載置するための原稿台ガラスと、 前記原稿台ガラスに載置される原稿の画像を光学的に走
    査するための光学部品を搭載して前記原稿台ガラスに平
    行に往復移動できる少なくとも一つのスライダと、 前記スライダの移動方向に延び、定位置に配置された光
    学式エンコーダスケールと、 前記スライダのうち少なくとも一つに取り付けられて前
    記エンコーダスケールに臨み、該エンコーダスケール情
    報を検出する光センサと、 前記原稿台ガラスを通して外部から入ってくる外乱光及
    び画像読み取り装置内部からの外乱光の該エンコーダス
    ケールに該光センサが臨んでいる部位への照射を抑制す
    るように前記光センサとともに前記スライダに取り付け
    られた外乱光遮断部材とを備えていることを特徴とする
    画像読み取り装置。
  10. 【請求項10】前記外乱光遮断部材は前記エンコーダス
    ケールに摺動接触可能の清掃部材を備えている請求項9
    記載の画像読み取り装置。
JP9241535A 1997-09-05 1997-09-05 光学式リニアエンコーダ装置、リニア駆動装置及び画像読み取り装置 Withdrawn JPH1183549A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2018511950A (ja) * 2015-06-24 2018-04-26 エスケイ・シルトロン・カンパニー・リミテッド ウエハ研磨装置のスキャン装置及びスキャンシステム

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