JPH1178007A - インクジェットヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH1178007A JPH1178007A JP24566797A JP24566797A JPH1178007A JP H1178007 A JPH1178007 A JP H1178007A JP 24566797 A JP24566797 A JP 24566797A JP 24566797 A JP24566797 A JP 24566797A JP H1178007 A JPH1178007 A JP H1178007A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- jet head
- ink jet
- nozzle
- glass
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 性能のばらつきのないインクジェットヘッド
およびそれを簡便に製造する方法を提供する。 【解決手段】 ベース部３２０と、その上に形成された
圧電素子部３３０と、その上に形成されたノズルおよび
インク流路を有するチャンネル保有部３４０とを備える
インクジェットヘッドの製造方法であって、ベース部３
２０上に圧電体層３１５を積層するステップと、積層さ
れた圧電体層３１５上に、空間となるノズルおよびイン
ク流路に相当する部分には空乏層形成用レジスト３５０
を充填しながら、セラミクスまたはガラス類からなる層
３６０を積層するステップと、圧電体層３１５およびセ
ラミクスまたはガラス類からなる層３６０が積層されて
なる積層体を熱処理して一体的に焼結し、空乏層形成用
レジスト３５０を気化させてノズルおよびインク流路を
形成するステップとを備える。
およびそれを簡便に製造する方法を提供する。 【解決手段】 ベース部３２０と、その上に形成された
圧電素子部３３０と、その上に形成されたノズルおよび
インク流路を有するチャンネル保有部３４０とを備える
インクジェットヘッドの製造方法であって、ベース部３
２０上に圧電体層３１５を積層するステップと、積層さ
れた圧電体層３１５上に、空間となるノズルおよびイン
ク流路に相当する部分には空乏層形成用レジスト３５０
を充填しながら、セラミクスまたはガラス類からなる層
３６０を積層するステップと、圧電体層３１５およびセ
ラミクスまたはガラス類からなる層３６０が積層されて
なる積層体を熱処理して一体的に焼結し、空乏層形成用
レジスト３５０を気化させてノズルおよびインク流路を
形成するステップとを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドおよびその製造方法に関するものであり、特に、イ
ンクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘッ
ドおよびその製造方法に関するものである。
ッドおよびその製造方法に関するものであり、特に、イ
ンクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘッ
ドおよびその製造方法に関するものである。
【０００２】
【関連の技術】現在、発明者らが検討しているインクジ
ェットヘッドの製造においては、圧電素子部、ノズル、
インク流路等を別個に作製した後、各部分を接着剤等を
用いて貼り合わせて、インクジェットの組立を行なって
いる。
ェットヘッドの製造においては、圧電素子部、ノズル、
インク流路等を別個に作製した後、各部分を接着剤等を
用いて貼り合わせて、インクジェットの組立を行なって
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような各部分を接着剤で接着する方法では、接着剤の
むらやはみ出し、接着の際の位置ずれ等により、インク
ジェットヘッドの性能にばらつきが生じるおそれがある
という問題があった。
たような各部分を接着剤で接着する方法では、接着剤の
むらやはみ出し、接着の際の位置ずれ等により、インク
ジェットヘッドの性能にばらつきが生じるおそれがある
という問題があった。
【０００４】また、このような方法では、部品点数が多
くなるため、製造上のコストアップにつながるととも
に、歩留りも悪いという問題もあった。
くなるため、製造上のコストアップにつながるととも
に、歩留りも悪いという問題もあった。
【０００５】この発明の目的は、上述の問題点を解決
し、性能のばらつきのないインクジェットヘッドおよび
それを簡便に製造する方法を提供することにある。
し、性能のばらつきのないインクジェットヘッドおよび
それを簡便に製造する方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明によるインクジ
ェットヘッドの製造方法は、ベース部と、該ベース部上
に形成された圧電素子部と、該圧電素子部上に形成され
たノズルおよびインク流路を有するチャンネル保有部と
を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、ベ
ース部上に圧電体層を積層するステップと、積層された
圧電体層上に、空間となるノズルおよびインク流路に相
当する部分には空乏層形成用レジストを充填しながら、
セラミクスまたはガラス類からなる層を積層するステッ
プと、圧電体層およびセラミクスまたはガラス類からな
る層が積層されてなる積層体を熱処理して一体的に焼結
し、空乏層形成用レジストを気化させてノズルおよびイ
ンク流路を形成するステップとを備えている。
ェットヘッドの製造方法は、ベース部と、該ベース部上
に形成された圧電素子部と、該圧電素子部上に形成され
たノズルおよびインク流路を有するチャンネル保有部と
を備えるインクジェットヘッドの製造方法であって、ベ
ース部上に圧電体層を積層するステップと、積層された
圧電体層上に、空間となるノズルおよびインク流路に相
当する部分には空乏層形成用レジストを充填しながら、
セラミクスまたはガラス類からなる層を積層するステッ
プと、圧電体層およびセラミクスまたはガラス類からな
る層が積層されてなる積層体を熱処理して一体的に焼結
し、空乏層形成用レジストを気化させてノズルおよびイ
ンク流路を形成するステップとを備えている。
【０００７】この発明によれば、ベース部上に圧電体層
を積層し、さらにその上に、空間となるノズルおよびイ
ンク流路に相当する部分には空乏層形成用レジストを充
填しながら、セラミクスまたはガラス類からなる層を積
層する。そして、このようにして得られた積層体を熱処
理して一体的に焼結し、空乏層形成用レジストを気化さ
せてノズルおよびインク流路を形成する。
を積層し、さらにその上に、空間となるノズルおよびイ
ンク流路に相当する部分には空乏層形成用レジストを充
填しながら、セラミクスまたはガラス類からなる層を積
層する。そして、このようにして得られた積層体を熱処
理して一体的に焼結し、空乏層形成用レジストを気化さ
せてノズルおよびインク流路を形成する。
【０００８】そのため、従来のように、接着、組立工程
が不要となり、接着の際の位置ずれ等に起因する性能の
ばらつきの発生が防止される。
が不要となり、接着の際の位置ずれ等に起因する性能の
ばらつきの発生が防止される。
【０００９】また、部品点数が少なくなるため、製造コ
ストが低減し、歩留りも向上する。好ましくは、インク
ジェットヘッドは、圧電素子部により駆動され、圧電素
子部は、圧電体層と電極層とが交互に積層されてなる積
層型圧電素子であるとよい。積層型圧電素子を用いるこ
とにより、変位量の調整が容易となる。
ストが低減し、歩留りも向上する。好ましくは、インク
ジェットヘッドは、圧電素子部により駆動され、圧電素
子部は、圧電体層と電極層とが交互に積層されてなる積
層型圧電素子であるとよい。積層型圧電素子を用いるこ
とにより、変位量の調整が容易となる。
【００１０】また、好ましくは、インク流路の内壁に親
水化処理を施すステップをさらに備えるとよい。インク
流路内壁に親水化処理を施すことにより、インク供給時
の気泡の混入によるインクの飛翔圧吸収が防止される。
水化処理を施すステップをさらに備えるとよい。インク
流路内壁に親水化処理を施すことにより、インク供給時
の気泡の混入によるインクの飛翔圧吸収が防止される。
【００１１】また、好ましくは、インクジェットヘッド
のノズルの表面に撥水性処理を施すステップをさらに備
えるとよい。ノズルの表面に撥水性処理を施すことによ
り、インクメニスカスが安定するため、インクの飛翔安
定性が向上する。なお、撥水性処理は、再度の熱硬化の
工程を必要とする場合が多いため、インクジェットヘッ
ド全体が耐熱性を有する材質からなることが、製造上有
利である。
のノズルの表面に撥水性処理を施すステップをさらに備
えるとよい。ノズルの表面に撥水性処理を施すことによ
り、インクメニスカスが安定するため、インクの飛翔安
定性が向上する。なお、撥水性処理は、再度の熱硬化の
工程を必要とする場合が多いため、インクジェットヘッ
ド全体が耐熱性を有する材質からなることが、製造上有
利である。
【００１２】本発明において、空乏層形成用レジストと
しては、フォトレジストまたはＵＶ硬化樹脂を用いるこ
とができる。
しては、フォトレジストまたはＵＶ硬化樹脂を用いるこ
とができる。
【００１３】具体的には、２−エチルヘキシルアクリレ
ート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアク
リロイルホスフェート、テトラヒドロフルフリールアク
リレート、テトラヒドロフルフリール誘導体のアクリレ
ート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペン
テニルオキシエチルアクリレート、１，３−ブタンジオ
ールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリ
レート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ジ
エチレングリコールジアクリレート、ネオベンチルグリ
コールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアク
リレート、ヒドロキシビバリン酸エステルネオベンチル
グリコールジアクリレート、トリプロピレングリコール
ジアクリレート、１，３−ビス−５，５−ジメチルヒダ
ントイン、ヒドロキシビバリン酸エステルネオベンチル
グリコール誘導体のジアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、等の光重合性モノマーの他、アクリル酸、アクリル
酸メチル、アクリル酸エチル、ｎ−アクリル酸ブチル、
アクリル酸２−エチルヘキシル、フェノキシエチルアク
リレート、イソデシルアクリレート、ｎ−ヘキシルアク
リレート、ステアリルアクリレート、ラウリルアクリレ
ート、エトキシエチルアクリレート、メトキシエチルア
クリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルアクリレー
ト、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリート、グリシ
ジルアクリレート、アリルアクリレート、２−ヒドロキ
シエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリ
レート、２−メトキシエトキシエチルアクリレート、２
−エトキシエトキシエチルアクリレート、ベンジルアク
リレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペン
テニールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリロ
イルホスフェート、テトラヒドロフルフリールアクリレ
ート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロ
ペンタジエンエトキシアクリレート、テトラヒドロフル
フリール誘導体のアクリレート、１，３−ブタンジオー
ルジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレ
ート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリ
エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリ
レート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリ
プロピレングリコールジアクリレート、ヒドロキシビバ
リン酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジアクリレート、ビスフェ
ノール、ビステトラブロモビスフェノール、１，３−ビ
ス５，５−ジメチルヒダントイン、３−メチルペンタン
ジオールジアクリレート、ヒドロキシビバリン酸エステ
ルネオベンチルグリコール誘導体のジアクリレート、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレート、トリスイソシアネート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルモノヒドロキシペンタアクリレート、等の光重合性プ
レポリマー等が挙げられる。
ート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロ
キシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアク
リロイルホスフェート、テトラヒドロフルフリールアク
リレート、テトラヒドロフルフリール誘導体のアクリレ
ート、ジシクロペンテニルアクリレート、ジシクロペン
テニルオキシエチルアクリレート、１，３−ブタンジオ
ールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリ
レート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ジ
エチレングリコールジアクリレート、ネオベンチルグリ
コールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアク
リレート、ヒドロキシビバリン酸エステルネオベンチル
グリコールジアクリレート、トリプロピレングリコール
ジアクリレート、１，３−ビス−５，５−ジメチルヒダ
ントイン、ヒドロキシビバリン酸エステルネオベンチル
グリコール誘導体のジアクリレート、トリメチロールプ
ロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリア
クリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
ト、等の光重合性モノマーの他、アクリル酸、アクリル
酸メチル、アクリル酸エチル、ｎ−アクリル酸ブチル、
アクリル酸２−エチルヘキシル、フェノキシエチルアク
リレート、イソデシルアクリレート、ｎ−ヘキシルアク
リレート、ステアリルアクリレート、ラウリルアクリレ
ート、エトキシエチルアクリレート、メトキシエチルア
クリレート、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルアクリレー
ト、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリート、グリシ
ジルアクリレート、アリルアクリレート、２−ヒドロキ
シエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリ
レート、２−メトキシエトキシエチルアクリレート、２
−エトキシエトキシエチルアクリレート、ベンジルアク
リレート、シクロヘキシルアクリレート、ジシクロペン
テニールアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリロ
イルホスフェート、テトラヒドロフルフリールアクリレ
ート、ジシクロペンタジエニルアクリレート、ジシクロ
ペンタジエンエトキシアクリレート、テトラヒドロフル
フリール誘導体のアクリレート、１，３−ブタンジオー
ルジアクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレ
ート、１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリ
エチレングリコールジアクリレート、ジエチレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリ
レート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリ
プロピレングリコールジアクリレート、ヒドロキシビバ
リン酸エステルネオペンチルグリコールジアクリレー
ト、トリメチロールプロパンジアクリレート、ビスフェ
ノール、ビステトラブロモビスフェノール、１，３−ビ
ス５，５−ジメチルヒダントイン、３−メチルペンタン
ジオールジアクリレート、ヒドロキシビバリン酸エステ
ルネオベンチルグリコール誘導体のジアクリレート、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレート、トリスイソシアネート、ペ
ンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルモノヒドロキシペンタアクリレート、等の光重合性プ
レポリマー等が挙げられる。
【００１４】また、本発明において、インク流路を形成
する部材としては、セラミクスまたはガラス類等の材料
を用いることができる。
する部材としては、セラミクスまたはガラス類等の材料
を用いることができる。
【００１５】具体的には、セラミクスとしてはＡｌ2 Ｏ
3 、ＳｉＣ、Ｃ、ＢａＴｉＯ3 、ＢｉＯ3 ・３Ｓｎ
Ｏ2 、Ｐｂ（ＺｒX ，Ｔｉ1-X ）Ｏ3 、ＺｎＯ、ＳｉＯ
2 、（１−Ｘ）Ｐｂ（ＺｒX ，Ｔｉ1-X ）Ｏ3 ＋（Ｘ）
Ｌａ2 Ｏ3 、Ｚｎ1-X 、ＭｎX Ｆｅ2 Ｏ3 、γ−Ｆｅ2
Ｏ3 、ＳｒＯ・６Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｌａ1-X ＣａX Ｃｒ
Ｏ3 、ＳｎＯ2 、遷移金属酸化物、ＺｎＯ−Ｂｉ
2 Ｏ3 、ＢａＴｉＯ3 、β−Ａｌ2 Ｏ 3 、ジルコニア
（酸化ジルコニウム）、ＬａＢ6 、Ｂ4 、Ｃ、ダイヤモ
ンド、ＴｉＮ、ＴｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅ
ｕ、ＰＬＺＴ、ＴｈＯ2 、ＣａＯ・ｎＳｉＯ2 、Ｃａ5
（Ｆ，Ｃｌ）Ｐ3 Ｏ12、ＴｉＯ2 、Ｋ2 Ｏ・ｎＡｌ2 Ｏ
3 等が挙げられる。
3 、ＳｉＣ、Ｃ、ＢａＴｉＯ3 、ＢｉＯ3 ・３Ｓｎ
Ｏ2 、Ｐｂ（ＺｒX ，Ｔｉ1-X ）Ｏ3 、ＺｎＯ、ＳｉＯ
2 、（１−Ｘ）Ｐｂ（ＺｒX ，Ｔｉ1-X ）Ｏ3 ＋（Ｘ）
Ｌａ2 Ｏ3 、Ｚｎ1-X 、ＭｎX Ｆｅ2 Ｏ3 、γ−Ｆｅ2
Ｏ3 、ＳｒＯ・６Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｌａ1-X ＣａX Ｃｒ
Ｏ3 、ＳｎＯ2 、遷移金属酸化物、ＺｎＯ−Ｂｉ
2 Ｏ3 、ＢａＴｉＯ3 、β−Ａｌ2 Ｏ 3 、ジルコニア
（酸化ジルコニウム）、ＬａＢ6 、Ｂ4 、Ｃ、ダイヤモ
ンド、ＴｉＮ、ＴｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ｙ2 Ｏ2 Ｓ：Ｅ
ｕ、ＰＬＺＴ、ＴｈＯ2 、ＣａＯ・ｎＳｉＯ2 、Ｃａ5
（Ｆ，Ｃｌ）Ｐ3 Ｏ12、ＴｉＯ2 、Ｋ2 Ｏ・ｎＡｌ2 Ｏ
3 等が挙げられる。
【００１６】また、ガラス類としては、Ｓｉ、Ｓｅ、Ｔ
ｅ、Ａｓ等の元素ガラス、ＨＰＯ3、Ｈ3 ＰＯ4 、Ｓｉ
Ｏ2 、Ｂ2 Ｏ2 、Ｐ2 Ｏ5 、ＧｅＯ2 、Ａｓ2 Ｏ3 等の
水素結合ガラス、ＳｂＯ3 、Ｂｉ2 Ｏ3 、Ｐ2 Ｏ3 、Ｖ
2 Ｏ5 、Ｓｂ2 Ｏ5 、Ａｓ2Ｏ3 、ＳＯ3 、ＺｒＯ2 等
の酸化物ガラス、ＢｅＦ2 等のフッ化物ガラス、ＺｎＣ
ｌ2 等の塩化物ガラス、Ａｓ2 Ｓ3 等の硫化物ガラス、
Ｋ2 ＣＯ3 、ＭｇＣＯ 3 等の炭酸塩ガラス、ＮａＮ
Ｏ3 、ＫＮＯ3 、ＡｇＮＯ3 等の硝酸塩ガラス、Ｎａ2
Ｓ2 Ｏ3 ・Ｈ2 Ｏ、Ｔｌ2 ＳＯ4 、ミョウバン等の硫酸
塩ガラス、ＳｉＯ2等のケイ酸ガラス、Ｎａ2 Ｏ−Ｃａ
Ｏ−ＳｉＯ2 等のケイ酸アルカリガラス、Ｋ 2 Ｏ−Ｃａ
Ｏ−ＳｉＯ2 等のカリ石灰ガラス、Ｎａ2 Ｉ−ＣａＯ−
ＳｉＯ2 、鉛ガラス、バリウムガラス、ホウケイ酸ガラ
ス等のソーダ石灰ガラス等が挙げられる。
ｅ、Ａｓ等の元素ガラス、ＨＰＯ3、Ｈ3 ＰＯ4 、Ｓｉ
Ｏ2 、Ｂ2 Ｏ2 、Ｐ2 Ｏ5 、ＧｅＯ2 、Ａｓ2 Ｏ3 等の
水素結合ガラス、ＳｂＯ3 、Ｂｉ2 Ｏ3 、Ｐ2 Ｏ3 、Ｖ
2 Ｏ5 、Ｓｂ2 Ｏ5 、Ａｓ2Ｏ3 、ＳＯ3 、ＺｒＯ2 等
の酸化物ガラス、ＢｅＦ2 等のフッ化物ガラス、ＺｎＣ
ｌ2 等の塩化物ガラス、Ａｓ2 Ｓ3 等の硫化物ガラス、
Ｋ2 ＣＯ3 、ＭｇＣＯ 3 等の炭酸塩ガラス、ＮａＮ
Ｏ3 、ＫＮＯ3 、ＡｇＮＯ3 等の硝酸塩ガラス、Ｎａ2
Ｓ2 Ｏ3 ・Ｈ2 Ｏ、Ｔｌ2 ＳＯ4 、ミョウバン等の硫酸
塩ガラス、ＳｉＯ2等のケイ酸ガラス、Ｎａ2 Ｏ−Ｃａ
Ｏ−ＳｉＯ2 等のケイ酸アルカリガラス、Ｋ 2 Ｏ−Ｃａ
Ｏ−ＳｉＯ2 等のカリ石灰ガラス、Ｎａ2 Ｉ−ＣａＯ−
ＳｉＯ2 、鉛ガラス、バリウムガラス、ホウケイ酸ガラ
ス等のソーダ石灰ガラス等が挙げられる。
【００１７】この発明によるインクジェットヘッドは、
上述したいずれかの方法により製造されたものである。
上述したいずれかの方法により製造されたものである。
【００１８】また、この発明によるインクジェットヘッ
ドの製造方法は、ベース部と、該ベース部上に形成され
た発熱体保有部と、該発熱体保有部上に形成されたノズ
ルおよびインク流路を有するチャンネル保有部とを備え
るバブルジェット型インクジェットヘッドの製造方法で
あって、ベース部上に形成された発熱体保有部上に、空
間となるノズルおよびインク流路に相当する部分には空
乏層形成用レジストを充填しながら、セラミクスまたは
ガラス類からなる層を積層するステップと、セラミクス
またはガラス類からなる層が積層されてなる積層体を熱
処理して一体的に焼結し、空乏層形成用レジストを気化
させてノズルおよびインク流路を形成するステップとを
備えている。
ドの製造方法は、ベース部と、該ベース部上に形成され
た発熱体保有部と、該発熱体保有部上に形成されたノズ
ルおよびインク流路を有するチャンネル保有部とを備え
るバブルジェット型インクジェットヘッドの製造方法で
あって、ベース部上に形成された発熱体保有部上に、空
間となるノズルおよびインク流路に相当する部分には空
乏層形成用レジストを充填しながら、セラミクスまたは
ガラス類からなる層を積層するステップと、セラミクス
またはガラス類からなる層が積層されてなる積層体を熱
処理して一体的に焼結し、空乏層形成用レジストを気化
させてノズルおよびインク流路を形成するステップとを
備えている。
【００１９】従来、バブルジェット型インクジェットヘ
ッドにおいては、樹脂製天板が用いられていた。しかし
ながら、本願発明によれば、樹脂製天板の代わりに、セ
ラミクスまたはガラス類からなる天板が用いられる。そ
のため、バブル圧、熱、キャップ吸引、加圧、化学的変
質、インクによる膨潤等により天板が劣化してしまうと
いう、従来の樹脂を用いた場合の問題が解決される。
ッドにおいては、樹脂製天板が用いられていた。しかし
ながら、本願発明によれば、樹脂製天板の代わりに、セ
ラミクスまたはガラス類からなる天板が用いられる。そ
のため、バブル圧、熱、キャップ吸引、加圧、化学的変
質、インクによる膨潤等により天板が劣化してしまうと
いう、従来の樹脂を用いた場合の問題が解決される。
【００２０】また、この発明によれば、従来のように接
着、組立工程が不要となり、接着の際の位置ずれ等に起
因する性能のばらつきの発生が防止される。また、部品
点数が少なくなるため、製造コストが低減し、歩留りも
向上する。
着、組立工程が不要となり、接着の際の位置ずれ等に起
因する性能のばらつきの発生が防止される。また、部品
点数が少なくなるため、製造コストが低減し、歩留りも
向上する。
【００２１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明による一例のイン
クジェットヘッド３を用いたインクジェット記録装置１
の概略構成を示す斜視図である。
クジェットヘッド３を用いたインクジェット記録装置１
の概略構成を示す斜視図である。
【００２２】図１を参照して、インクジェット記録装置
１は、用紙やプラスチック薄板などの記録媒体である記
録シート２と、インクジェット方式のプリンタヘッドで
あるインクジェットヘッド３と、インクジェットヘッド
３を保持するキャリッジ４と、キャリッジ４を記録シー
ト２の記録面に平行に往復移動させるための揺動軸５、
６と、キャリッジ４を揺動軸５、６に沿って往復駆動さ
せる駆動モータ７と、駆動モータ７の回転をキャリッジ
の往復運動に変えるためのタイミングベルト９、アイド
ルプーリ８とを含んでいる。
１は、用紙やプラスチック薄板などの記録媒体である記
録シート２と、インクジェット方式のプリンタヘッドで
あるインクジェットヘッド３と、インクジェットヘッド
３を保持するキャリッジ４と、キャリッジ４を記録シー
ト２の記録面に平行に往復移動させるための揺動軸５、
６と、キャリッジ４を揺動軸５、６に沿って往復駆動さ
せる駆動モータ７と、駆動モータ７の回転をキャリッジ
の往復運動に変えるためのタイミングベルト９、アイド
ルプーリ８とを含んでいる。
【００２３】また、インクジェット記録装置１は、記録
シート２を搬送経路に沿って案内するガイド板を兼ねる
プラテン１０と、プラテン１０との間の記録シート２の
押さえ浮きを防止する紙押さえ板１１と、記録シート２
を排出するための排出ローラ１２、拍車ローラ１３と、
インクジェットヘッド３のインク吐出不良を良好な状態
に回復させる回復系１４と、記録シート２を手動で搬送
するための紙送りノブ１５とを含んでいる。
シート２を搬送経路に沿って案内するガイド板を兼ねる
プラテン１０と、プラテン１０との間の記録シート２の
押さえ浮きを防止する紙押さえ板１１と、記録シート２
を排出するための排出ローラ１２、拍車ローラ１３と、
インクジェットヘッド３のインク吐出不良を良好な状態
に回復させる回復系１４と、記録シート２を手動で搬送
するための紙送りノブ１５とを含んでいる。
【００２４】記録シート２は、手差しあるいはカットシ
ートフィーダ等の給紙装置によって、インクジェットヘ
ッド３とプラテン１０とが対向する記録部へ送り込まれ
る。この際、図示しない紙送りローラの回転量が制御さ
れ、記録部への搬送が制御される。
ートフィーダ等の給紙装置によって、インクジェットヘ
ッド３とプラテン１０とが対向する記録部へ送り込まれ
る。この際、図示しない紙送りローラの回転量が制御さ
れ、記録部への搬送が制御される。
【００２５】インクジェットヘッド３には、インク飛翔
用エネルギー発生源として、たとえばＰＺＴが用いられ
ている。ＰＺＴには電圧が印加され、歪が生じる。この
歪は、インクで満たされたチャンネルの容積を変化させ
る。この容積の変化により、チャンネルに設けられたノ
ズルからインクが吐出され、記録シート２への記録が行
なわれる。
用エネルギー発生源として、たとえばＰＺＴが用いられ
ている。ＰＺＴには電圧が印加され、歪が生じる。この
歪は、インクで満たされたチャンネルの容積を変化させ
る。この容積の変化により、チャンネルに設けられたノ
ズルからインクが吐出され、記録シート２への記録が行
なわれる。
【００２６】キャリッジ４は、駆動モータ７、アイドル
プーリ８、タイミングベルト９により、記録シート２を
横切る方向である記録シート２の縦方向に主走査し、キ
ャリッジ用に取付られたプリンタヘッド３は１ライン分
の画像を記録する。１ラインの記録が終わるごとに、記
録シート２は縦方向に送られ副走査され、次のラインが
記録される。
プーリ８、タイミングベルト９により、記録シート２を
横切る方向である記録シート２の縦方向に主走査し、キ
ャリッジ用に取付られたプリンタヘッド３は１ライン分
の画像を記録する。１ラインの記録が終わるごとに、記
録シート２は縦方向に送られ副走査され、次のラインが
記録される。
【００２７】図２〜図４は、インクジェットヘッド３の
構成を説明するための図である。図２は図１に示すイン
クジェットヘッド３の一部を示す平面図であり、図３は
図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図であり、図４は図３のＩ
Ｖ−ＩＶ線断面図である。
構成を説明するための図である。図２は図１に示すイン
クジェットヘッド３の一部を示す平面図であり、図３は
図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図であり、図４は図３のＩ
Ｖ−ＩＶ線断面図である。
【００２８】インクジェットヘッド３は、大径ヘッド部
３０１と小径ヘッド部３０２とからなる。これらの大径
ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２とは、ベース部３
２０と、圧電素子部３３０と、チャンネル保有部３４０
とを一体に重ねた構成となっている。
３０１と小径ヘッド部３０２とからなる。これらの大径
ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２とは、ベース部３
２０と、圧電素子部３３０と、チャンネル保有部３４０
とを一体に重ねた構成となっている。
【００２９】大径ヘッド部３０１と小径ヘッド部３０２
とにはそれぞれ、インクを収容する複数のインクキャビ
ティ３０８と、各インクキャビティ３０８をインク供給
室３１０に連結するインクインレット３１１が形成され
ている。ここで、大径ヘッド部３０１のノズル３０９の
径と小径ヘッド部３０２のノズル３０９の径とは同じ大
きさである。なお、大径ノズルの径を小径ノズルの径よ
りも大きくすることにより、ドット径制御による階調再
現の幅をより広げることもできる。
とにはそれぞれ、インクを収容する複数のインクキャビ
ティ３０８と、各インクキャビティ３０８をインク供給
室３１０に連結するインクインレット３１１が形成され
ている。ここで、大径ヘッド部３０１のノズル３０９の
径と小径ヘッド部３０２のノズル３０９の径とは同じ大
きさである。なお、大径ノズルの径を小径ノズルの径よ
りも大きくすることにより、ドット径制御による階調再
現の幅をより広げることもできる。
【００３０】図３に示すように、大径ヘッド部３０１の
インクキャビティ３０８は、大径ヘッド部３０１と小径
ヘッド部３０２とが対向する方向に向かって延びる長溝
状にかつ平行に形成されている。また、インク供給室３
１０とインクキャビティ３０８とは中央線３１２を挟ん
で対称に形成されており、図示しないインクタンクに接
続されている。
インクキャビティ３０８は、大径ヘッド部３０１と小径
ヘッド部３０２とが対向する方向に向かって延びる長溝
状にかつ平行に形成されている。また、インク供給室３
１０とインクキャビティ３０８とは中央線３１２を挟ん
で対称に形成されており、図示しないインクタンクに接
続されている。
【００３１】圧電素子部３３０は、圧電体層３１５と内
部電極３１４とが交互に積層されて構成されている。
部電極３１４とが交互に積層されて構成されている。
【００３２】以上のような構成のインクジェットヘッド
３では、図示しないインクタンクからインク供給室３１
０にインク３０７が供給される。インク供給室３１０の
インク３０７は、インクインレット３１１を介して各イ
ンクキャビティ３０８に分配される。
３では、図示しないインクタンクからインク供給室３１
０にインク３０７が供給される。インク供給室３１０の
インク３０７は、インクインレット３１１を介して各イ
ンクキャビティ３０８に分配される。
【００３３】ヘッドドライバから内部電極３１４に所定
の電圧が印加されると、圧電体層３１５は変形する。こ
れにより、インクキャビティ３０８内のインク３０７が
加圧され、ノズル３０９を介してインク滴が記録シート
２に向かって飛翔する。
の電圧が印加されると、圧電体層３１５は変形する。こ
れにより、インクキャビティ３０８内のインク３０７が
加圧され、ノズル３０９を介してインク滴が記録シート
２に向かって飛翔する。
【００３４】次に、このように構成されるインクジェッ
トヘッドの製造方法について、図面を用いて説明する。
トヘッドの製造方法について、図面を用いて説明する。
【００３５】図５は、本発明の実施の形態の一例のイン
クジェットヘッドの製造方法を示す断面図である。
クジェットヘッドの製造方法を示す断面図である。
【００３６】図５を参照して、まず、ＰＺＴ（ジルコン
酸鉛、ジルコン酸チタニウム）グリーンシートからなる
厚いベース部３２０を、積み上げ用ホルダにセットす
る。なお、ベース部３２０は、ＰＺＴグリーンシートを
必要枚数積み重ねたものを用いることもできる。
酸鉛、ジルコン酸チタニウム）グリーンシートからなる
厚いベース部３２０を、積み上げ用ホルダにセットす
る。なお、ベース部３２０は、ＰＺＴグリーンシートを
必要枚数積み重ねたものを用いることもできる。
【００３７】次に、厚さ約３３μｍのＰＺＴグリーンシ
ート３１５をホルダに入れてベース部３２０上に積み上
げた後、少し加圧する。
ート３１５をホルダに入れてベース部３２０上に積み上
げた後、少し加圧する。
【００３８】続いて、ＰＺＴ内部電極３１４を、スクリ
ーン印刷によりパターン印刷し、パターニングする。
ーン印刷によりパターン印刷し、パターニングする。
【００３９】このようにして、ＰＺＴグリーンシート３
１５の積み上げおよび内部電極３１４のパターニングと
いう工程を、必要回数繰返し、最終的にインクからＰＺ
Ｔ駆動部を保護する役割も兼ねる最上層のグリーンシー
ト３１５を積み上げる。
１５の積み上げおよび内部電極３１４のパターニングと
いう工程を、必要回数繰返し、最終的にインクからＰＺ
Ｔ駆動部を保護する役割も兼ねる最上層のグリーンシー
ト３１５を積み上げる。
【００４０】次に、図５（Ａ）に示すように、空乏層形
成用レジスト３５０（たとえば東亜合成（株）社製Ｍ−
５５００）をレベルＰまで塗布した後、パターン現像す
る。ここで、レベルＰは、チャンネルのインクインレッ
トの高さに相当する。
成用レジスト３５０（たとえば東亜合成（株）社製Ｍ−
５５００）をレベルＰまで塗布した後、パターン現像す
る。ここで、レベルＰは、チャンネルのインクインレッ
トの高さに相当する。
【００４１】続いて、図５（Ｂ）に示すように、レジス
ト３５０が除去された部分に、酸化ジルコニウムスラリ
ー３６０を流して塗布した後、１００℃で３０分間乾燥
させる。
ト３５０が除去された部分に、酸化ジルコニウムスラリ
ー３６０を流して塗布した後、１００℃で３０分間乾燥
させる。
【００４２】次に、図５（Ｃ）に示すように、再度空乏
層形成用レジスト３５０をレベルＱまで塗布した後、パ
ターン現像する。ここで、レベルＱは、チャンネルのイ
ンクキャビティの高さに相当し、たとえば、１００μｍ
とすることができる。
層形成用レジスト３５０をレベルＱまで塗布した後、パ
ターン現像する。ここで、レベルＱは、チャンネルのイ
ンクキャビティの高さに相当し、たとえば、１００μｍ
とすることができる。
【００４３】続いて、図５（Ｄ）に示すように、レジス
ト３５０が除去された部分に、同様に酸化ジルコニウム
スラリー３６０を塗布し、１００℃で３０分間焼結させ
る。
ト３５０が除去された部分に、同様に酸化ジルコニウム
スラリー３６０を塗布し、１００℃で３０分間焼結させ
る。
【００４４】次に、図５（Ｅ）に示すように、再度空乏
層形成用レジスト３５０をレベルＲまで塗布した後、パ
ターン現像し、ノズルに相当する部分にレジスト３５０
を形成する。
層形成用レジスト３５０をレベルＲまで塗布した後、パ
ターン現像し、ノズルに相当する部分にレジスト３５０
を形成する。
【００４５】続いて、図５（Ｆ）に示すように、レジス
ト３５０が除去された部分に、同様に酸化ジルコニウム
スラリー３６０を塗布し、１００℃で３０分間乾燥させ
る。
ト３５０が除去された部分に、同様に酸化ジルコニウム
スラリー３６０を塗布し、１００℃で３０分間乾燥させ
る。
【００４６】以上の工程により得られた積層体を、加圧
した後、最表面にフッ素を含有した撥水性コート材を塗
布する。撥水性コート材としては、たとえば、旭硝子製
サイトップを用いることができ、１μｍ以下に塗布する
ことができる。
した後、最表面にフッ素を含有した撥水性コート材を塗
布する。撥水性コート材としては、たとえば、旭硝子製
サイトップを用いることができ、１μｍ以下に塗布する
ことができる。
【００４７】次に、積層体全体を少し加圧した後、約１
２００℃で２時間焼成し、空乏層形成用レジスト３５０
を気化させて、ノズルおよびインク流路（インクキャビ
ティ、インクインレットおよびインク供給室）を形成す
る。
２００℃で２時間焼成し、空乏層形成用レジスト３５０
を気化させて、ノズルおよびインク流路（インクキャビ
ティ、インクインレットおよびインク供給室）を形成す
る。
【００４８】続いて、ＰＺＴを１１０℃に加熱しなが
ら、直流電圧を１０分印加することにより分極処理し
て、インクジェットヘッドが得られる。
ら、直流電圧を１０分印加することにより分極処理し
て、インクジェットヘッドが得られる。
【００４９】図６は、本発明によるインクジェットヘッ
ドの他の例の概略構成を示す断面図である。
ドの他の例の概略構成を示す断面図である。
【００５０】図６を参照して、このインクジェットヘッ
ドにおいては、図４に示すインクジェットヘッドと同様
の構造に対して、内部電極３１４を含む各駆動部を分離
するための分離溝３７０がさらに設けられている。この
分離溝３７０は、図４に示すインクジェットヘッドを作
製した後、さらにダイシングソーまたはワイヤソー等の
処理により、形成することができる。
ドにおいては、図４に示すインクジェットヘッドと同様
の構造に対して、内部電極３１４を含む各駆動部を分離
するための分離溝３７０がさらに設けられている。この
分離溝３７０は、図４に示すインクジェットヘッドを作
製した後、さらにダイシングソーまたはワイヤソー等の
処理により、形成することができる。
【００５１】このような分離溝を有するインクジェット
ヘッドによれば、クロストークを有効に防止することが
できる。
ヘッドによれば、クロストークを有効に防止することが
できる。
【００５２】図７は、本発明によるインクジェットヘッ
ドのさらに他の例の概略構造を示す断面図である。
ドのさらに他の例の概略構造を示す断面図である。
【００５３】図７を参照して、このインクジェットヘッ
ドにおいては、図４に示すインクジェットヘッドと同様
の構造に対して、内部電極３１４を含む各駆動部を分離
するための分離空間３８０が、さらに設けられている。
この分離空間３８０は、ＰＺＴグリーンシートを積層す
る際に、予めシート自体に公知のパンチング加工法によ
り穴をあけたものを積層することにより、形成すること
ができる。この方法によれば、積層後に特別な機械加工
工程が不要となり、簡便に製造することができる。
ドにおいては、図４に示すインクジェットヘッドと同様
の構造に対して、内部電極３１４を含む各駆動部を分離
するための分離空間３８０が、さらに設けられている。
この分離空間３８０は、ＰＺＴグリーンシートを積層す
る際に、予めシート自体に公知のパンチング加工法によ
り穴をあけたものを積層することにより、形成すること
ができる。この方法によれば、積層後に特別な機械加工
工程が不要となり、簡便に製造することができる。
【００５４】このような分離空間を有するインクジェッ
トヘッドによれば、クロストークを有効に防止すること
ができる。
トヘッドによれば、クロストークを有効に防止すること
ができる。
【００５５】以上、圧電体素子を用いたインクジェット
ヘッドについて説明したが、本願発明はこれらに限定さ
れるものではなく、たとえばバルブジェット型インクジ
ェットヘッドへの適用も可能である。
ヘッドについて説明したが、本願発明はこれらに限定さ
れるものではなく、たとえばバルブジェット型インクジ
ェットヘッドへの適用も可能である。
【００５６】図８は、バブルジェット型インクジェット
ヘッドの概略構成を示す図である。図８を参照して、バ
ブルジェット型インクジェットヘッドは、ベースプレー
トおよび基板を含むベース部と、ベース部上に形成され
た、発熱体および電極を含む発熱体保有部と、発熱体保
有部上に形成された、ノズル、インクチャンネル（イン
ク流路）および天板を含むチャンネル保有部とを備えて
いる。
ヘッドの概略構成を示す図である。図８を参照して、バ
ブルジェット型インクジェットヘッドは、ベースプレー
トおよび基板を含むベース部と、ベース部上に形成され
た、発熱体および電極を含む発熱体保有部と、発熱体保
有部上に形成された、ノズル、インクチャンネル（イン
ク流路）および天板を含むチャンネル保有部とを備えて
いる。
【００５７】ここで、従来、天板には樹脂製のものが用
いられていたが、本願発明によれば、酸化ジルコニウム
等のセラミクスまたはガラス類からなる天板が用いられ
る。本例では、酸化ジルコニウム製天板を用いることに
より、従来の樹脂製天板において問題となっていた、バ
ブル圧、熱、キャップ吸引、加圧等によるインクジェッ
トヘッドの劣化を有効に防止することができる。
いられていたが、本願発明によれば、酸化ジルコニウム
等のセラミクスまたはガラス類からなる天板が用いられ
る。本例では、酸化ジルコニウム製天板を用いることに
より、従来の樹脂製天板において問題となっていた、バ
ブル圧、熱、キャップ吸引、加圧等によるインクジェッ
トヘッドの劣化を有効に防止することができる。
【００５８】このように構成されるバブルジェット型イ
ンクジェットヘッドは、ベース部上に発熱体保有部を形
成した後、さらにその上に、前述した圧電体素子を用い
たインクジェットヘッドの製造と同様に、チャンネル保
有部を形成することにより得られる。
ンクジェットヘッドは、ベース部上に発熱体保有部を形
成した後、さらにその上に、前述した圧電体素子を用い
たインクジェットヘッドの製造と同様に、チャンネル保
有部を形成することにより得られる。
【００５９】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、性能のばらつきのないインクジェットヘッドを、簡
便に製造することができる。
ば、性能のばらつきのないインクジェットヘッドを、簡
便に製造することができる。
【図１】本発明による一例のインクジェットヘッドを用
いたインクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
いたインクジェット記録装置の概略構成を示す斜視図で
ある。
【図２】図１に示すインクジェットヘッドの一部を示す
平面図である。
平面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。
【図４】図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。
【図５】本発明の実施の形態の一例のインクジェットヘ
ッドの製造方法を示す断面図である。
ッドの製造方法を示す断面図である。
【図６】本発明によるインクジェットヘッドの他の例の
概略構造を示す断面図である。
概略構造を示す断面図である。
【図７】本発明によるインクジェットヘッドのさらに他
の例の概略構造を示す断面図である。
の例の概略構造を示す断面図である。
【図８】バブルジェット型インクジェットヘッドの概略
構成を示す図である。
構成を示す図である。
１ インクジェット記録装置 ３ インクジェットヘッド ３０８ インクキャビティ ３０９ ノズル ３１０ インク供給室 ３１１ インクインレット ３１４ 内部電極 ３１５ 圧電体層 ３２０ ベース部 ３３０ 圧電素子部 ３４０ チャンネル保有部 ３５０ 空乏層形成用レジスト ３６０ 酸化ジルコニウムスラリー ３７０ 分離溝 ３８０ 分離空間 なお、各図中、同一符号は同一または相当部分を示す。
Claims (7)
- 【請求項１】 ベース部と、該ベース部上に形成された
圧電素子部と、該圧電素子部上に形成されたノズルおよ
びインク流路を有するチャンネル保有部とを備えるイン
クジェットヘッドの製造方法であって、 前記ベース部上に圧電体層を積層するステップと、 前記積層された圧電体層上に、空間となる前記ノズルお
よびインク流路に相当する部分には空乏層形成用レジス
トを充填しながら、セラミクスまたはガラス類からなる
層を積層するステップと、 前記圧電体層および前記セラミクスまたはガラス類から
なる層が積層されてなる積層体を熱処理して一体的に焼
結し、前記空乏層形成用レジストを気化させてノズルお
よびインク流路を形成するステップとを備える、インク
ジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記インクジェットヘッドは、圧電素子
部により駆動され、 前記圧電素子部は、前記圧電体層と電極層とが交互に積
層されてなる積層型圧電素子である、請求項１記載のイ
ンクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記インク流路の内壁に親水化処理を施
すステップをさらに備える、請求項１または請求項２記
載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 【請求項４】 前記インクジェットヘッドの前記ノズル
の表面に撥水性処理を施すステップをさらに備える、請
求項１〜請求項３のいずれかに記載のインクジェットヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項５】 前記空乏層形成用レジストとして、フォ
トレジストまたはＵＶ硬化樹脂を用いることを特徴とす
る、請求項１〜請求項４のいずれかに記載のインクジェ
ットヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 ベース部と、該ベース部上に形成された
発熱体保有部と、該発熱体保有部上に形成されたノズル
およびインク流路を有するチャンネル保有部とを備える
バブルジェット型インクジェットヘッドの製造方法であ
って、 前記ベース部上に形成された前記発熱体保有部上に、空
間となる前記ノズルおよびインク流路に相当する部分に
は空乏層形成用レジストを充填しながら、セラミクスま
たはガラス類からなる層を積層するステップと、 前記セラミクスまたはガラス類からなる層が積層されて
なる積層体を熱処理して一体的に焼結し、前記空乏層形
成用レジストを気化させてノズルおよびインク流路を形
成するステップとを備える、インクジェットヘッドの製
造方法。 - 【請求項７】 前記請求項１〜請求項６のいずれかの方
法により製造された、インクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24566797A JPH1178007A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24566797A JPH1178007A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1178007A true JPH1178007A (ja) | 1999-03-23 |
Family
ID=17137033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24566797A Withdrawn JPH1178007A (ja) | 1997-09-10 | 1997-09-10 | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1178007A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007245631A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ngk Insulators Ltd | 吐出デバイス |
| US9586445B2 (en) | 2010-05-20 | 2017-03-07 | Bridgestone Corporation | Heavy duty tire |
-
1997
- 1997-09-10 JP JP24566797A patent/JPH1178007A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007245631A (ja) * | 2006-03-17 | 2007-09-27 | Ngk Insulators Ltd | 吐出デバイス |
| JP4594262B2 (ja) * | 2006-03-17 | 2010-12-08 | 日本碍子株式会社 | 吐出デバイス |
| US9586445B2 (en) | 2010-05-20 | 2017-03-07 | Bridgestone Corporation | Heavy duty tire |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20040303 |
|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041207 |