JPH07214779A - 圧電／電歪膜型アクチュエータ - Google Patents
圧電／電歪膜型アクチュエータInfo
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- JPH07214779A JPH07214779A JP6012830A JP1283094A JPH07214779A JP H07214779 A JPH07214779 A JP H07214779A JP 6012830 A JP6012830 A JP 6012830A JP 1283094 A JP1283094 A JP 1283094A JP H07214779 A JPH07214779 A JP H07214779A
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- electrostrictive
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14233—Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
-
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/204—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using bending displacement, e.g. unimorph, bimorph or multimorph cantilever or membrane benders
- H10N30/2047—Membrane type
- H10N30/2048—Membrane type having non-planar shape
-
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14387—Front shooter
Abstract
(57)【要約】
【目的】 複数の加圧室が列状に並べて設けられ、各加
圧室に対応して圧電／電歪作動部が設けられた圧電／電
歪膜型アクチュエータにおいて、全ての素子で優れた作
動特性が安定して発揮され得るようにする共に、設計を
容易と為し、作製時間の短縮を図り、更には製造コスト
の有効な低減を図る。 【構成】 複数の窓部６８が列状に並べて設けられたス
ペーサプレート６２と、閉塞プレート５６と、接続プレ
ート５８を積層し、一体焼成して、窓部６８にて加圧室
を形成してなるセラミックス基体６４と、閉塞プレート
５６の外面上の各加圧室に対応する位置に形成された圧
電／電歪素子７０とからなるアクチュエータ３４におい
て、スペーサプレート６２の複数の窓部６８の並び方向
の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、圧
電／電歪素子７０が対応して設けられることのない補助
窓部７８を形成すると共に、これに対応する閉塞プレー
ト５６部位の外面上に、所定パターンの変位規制層６０
を設けた。
圧室に対応して圧電／電歪作動部が設けられた圧電／電
歪膜型アクチュエータにおいて、全ての素子で優れた作
動特性が安定して発揮され得るようにする共に、設計を
容易と為し、作製時間の短縮を図り、更には製造コスト
の有効な低減を図る。 【構成】 複数の窓部６８が列状に並べて設けられたス
ペーサプレート６２と、閉塞プレート５６と、接続プレ
ート５８を積層し、一体焼成して、窓部６８にて加圧室
を形成してなるセラミックス基体６４と、閉塞プレート
５６の外面上の各加圧室に対応する位置に形成された圧
電／電歪素子７０とからなるアクチュエータ３４におい
て、スペーサプレート６２の複数の窓部６８の並び方向
の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、圧
電／電歪素子７０が対応して設けられることのない補助
窓部７８を形成すると共に、これに対応する閉塞プレー
ト５６部位の外面上に、所定パターンの変位規制層６０
を設けた。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、圧電／電歪膜型アクチュエータ
に係り、特に複数の圧電／電歪作動部を設けてなる構造
の、ユニモルフ型やバイモルフ型等の、屈曲変位を発生
させるタイプの圧電／電歪膜型アクチュエータに関する
ものであり、またそれをインクポンプ部材として用いた
構造に関するものでもある。
に係り、特に複数の圧電／電歪作動部を設けてなる構造
の、ユニモルフ型やバイモルフ型等の、屈曲変位を発生
させるタイプの圧電／電歪膜型アクチュエータに関する
ものであり、またそれをインクポンプ部材として用いた
構造に関するものでもある。
【０００２】
【背景技術】近年、アクチュエータの基体内部に形成し
た加圧室内の圧力を上昇させる機構の一つとして、加圧
室壁に設けた圧電／電歪作動部の変位によって、該加圧
室の体積を変化させるようにしたものが知られている。
そして、そのようなアクチュエータは、例えばインクジ
ェットプリンタに使用されるプリントヘッドのインクポ
ンプ等として利用されており、インクが供給され、充填
された加圧室内の圧力を圧電／電歪作動部の変位によっ
て上昇させることにより、加圧室に連通するノズル孔か
らインク粒子（液滴）を打ち出して、印字するようにな
っている。
た加圧室内の圧力を上昇させる機構の一つとして、加圧
室壁に設けた圧電／電歪作動部の変位によって、該加圧
室の体積を変化させるようにしたものが知られている。
そして、そのようなアクチュエータは、例えばインクジ
ェットプリンタに使用されるプリントヘッドのインクポ
ンプ等として利用されており、インクが供給され、充填
された加圧室内の圧力を圧電／電歪作動部の変位によっ
て上昇させることにより、加圧室に連通するノズル孔か
らインク粒子（液滴）を打ち出して、印字するようにな
っている。
【０００３】本発明者らにおいても、そのような構造の
アクチュエータを利用したインクジェットプリントヘッ
ドの一つとして、先に、特願平４−１６０２０４号にお
いて、アクチュエータの基体を、複数のセラミックスグ
リーンシートの積層物を一体焼成して得られる、内部に
所定の加圧室が形成されてなる一体焼成品にて構成する
一方、そのようなセラミックス基体の加圧室壁の外面上
に圧電／電歪作動部を膜形成してなるアクチュエータ構
造を採用し、それを所定のインクノズル部材に接着一体
化せしめたものを提案した。
アクチュエータを利用したインクジェットプリントヘッ
ドの一つとして、先に、特願平４−１６０２０４号にお
いて、アクチュエータの基体を、複数のセラミックスグ
リーンシートの積層物を一体焼成して得られる、内部に
所定の加圧室が形成されてなる一体焼成品にて構成する
一方、そのようなセラミックス基体の加圧室壁の外面上
に圧電／電歪作動部を膜形成してなるアクチュエータ構
造を採用し、それを所定のインクノズル部材に接着一体
化せしめたものを提案した。
【０００４】具体的には、図５および図６に示されるよ
うに、アクチュエータとしてのインクポンプ部材１２
は、セラミックスグリーンシートを積層して一体焼成し
てなるセラミックス基体１４と、その外面上に膜形成法
により形成された複数の膜型の圧電／電歪作動部１６と
から構成され、その内部に該圧電／電歪作動部１６に対
応して、加圧室１８がそれぞれ形成されている。そし
て、このようなインクポンプ部材１２が接着せしめられ
るインクノズル部材２０は、複数のノズル孔２２、イン
ク噴出用流路２４およびインク供給用流路２６を有して
おり、このインク供給用流路２６内に外部から導き入れ
られたインクを、インクポンプ部材１２の各加圧室１８
内に連通孔２８を通じて供給せしめ、そして圧電／電歪
作動部１６の作動による加圧室１８の壁部の変形によっ
て、加圧室１８の内部に圧力を生ぜしめ、以て連通孔２
９、インク噴出用流路２４を通じて、ノズル孔２２か
ら、インクが噴出せしめられるようになっているのであ
る。
うに、アクチュエータとしてのインクポンプ部材１２
は、セラミックスグリーンシートを積層して一体焼成し
てなるセラミックス基体１４と、その外面上に膜形成法
により形成された複数の膜型の圧電／電歪作動部１６と
から構成され、その内部に該圧電／電歪作動部１６に対
応して、加圧室１８がそれぞれ形成されている。そし
て、このようなインクポンプ部材１２が接着せしめられ
るインクノズル部材２０は、複数のノズル孔２２、イン
ク噴出用流路２４およびインク供給用流路２６を有して
おり、このインク供給用流路２６内に外部から導き入れ
られたインクを、インクポンプ部材１２の各加圧室１８
内に連通孔２８を通じて供給せしめ、そして圧電／電歪
作動部１６の作動による加圧室１８の壁部の変形によっ
て、加圧室１８の内部に圧力を生ぜしめ、以て連通孔２
９、インク噴出用流路２４を通じて、ノズル孔２２か
ら、インクが噴出せしめられるようになっているのであ
る。
【０００５】そして、最近では、ノズル間のピッチをよ
り細かくして、精細で、高品質なインクジェットプリン
トヘッドを実現するべく、アクチュエータとしてのイン
クポンプ部材１２の基体１４内に、非常に狭いピッチ
で、多くの加圧室１８を並べて形成するようになって来
ている。
り細かくして、精細で、高品質なインクジェットプリン
トヘッドを実現するべく、アクチュエータとしてのイン
クポンプ部材１２の基体１４内に、非常に狭いピッチ
で、多くの加圧室１８を並べて形成するようになって来
ている。
【０００６】しかしながら、上述の如き構造のアクチュ
エータ（１２）を用いたインクジェットプリントヘッド
においては、複数の加圧室１８に対応して一列に並べて
設けられた複数の圧電／電歪作動部１６の両端のものの
作動特性が、それらの間に位置する圧電／電歪作動部に
比較して、劣る問題を内在していたのである。
エータ（１２）を用いたインクジェットプリントヘッド
においては、複数の加圧室１８に対応して一列に並べて
設けられた複数の圧電／電歪作動部１６の両端のものの
作動特性が、それらの間に位置する圧電／電歪作動部に
比較して、劣る問題を内在していたのである。
【０００７】より具体的には、上述した如き構造のアク
チュエータ（１２）において、各々の圧電／電歪作動部
１６に所定の駆動電圧を印加して、各々の作動部（加圧
室１８を画成する隔壁）の撓み変位量を測定すると、両
端の作動部の変位量は、それらの間に位置する作動部の
変位量よりも３割程度も小さくなり、大幅に小さな変位
量を示すのである。そして、このようにアクチュエータ
（１２）における複数の圧電／電歪作動部１６の作動特
性（撓み変位量）がばらつくことによって、例えばかか
るアクチュエータをインクポンプ部材１２として用いた
インクジェットプリントヘッドでは、複数のノズル孔２
２におけるインク吐出性能がばらつき、製品品質の低下
を招く問題を惹起することとなる。
チュエータ（１２）において、各々の圧電／電歪作動部
１６に所定の駆動電圧を印加して、各々の作動部（加圧
室１８を画成する隔壁）の撓み変位量を測定すると、両
端の作動部の変位量は、それらの間に位置する作動部の
変位量よりも３割程度も小さくなり、大幅に小さな変位
量を示すのである。そして、このようにアクチュエータ
（１２）における複数の圧電／電歪作動部１６の作動特
性（撓み変位量）がばらつくことによって、例えばかか
るアクチュエータをインクポンプ部材１２として用いた
インクジェットプリントヘッドでは、複数のノズル孔２
２におけるインク吐出性能がばらつき、製品品質の低下
を招く問題を惹起することとなる。
【０００８】そこで、本発明者らは、更に検討を重ね、
特願平５−５９６７０号として、並列して設けられた加
圧室列の両端のものの外側にダミーキャビティをそれぞ
れ設け、そのダミーキャビティの存在によって、両端の
加圧室の剛性を低下せしめ、以て両端の圧電／電歪作動
部の変位特性が、それらの間に位置する内側の圧電／電
歪作動部と比較して同じようになる構造のアクチュエー
タを提案した。
特願平５−５９６７０号として、並列して設けられた加
圧室列の両端のものの外側にダミーキャビティをそれぞ
れ設け、そのダミーキャビティの存在によって、両端の
加圧室の剛性を低下せしめ、以て両端の圧電／電歪作動
部の変位特性が、それらの間に位置する内側の圧電／電
歪作動部と比較して同じようになる構造のアクチュエー
タを提案した。
【０００９】しかしながら、このダミーキャビティを両
端に設ける構造のアクチュエータにあっては、その並設
された圧電／電歪作動部の列の両端のものとその内側に
位置するものとの間の特性を同程度とするために、ダミ
ーキャビティの形状乃至は大きさを適宜に選定しなけれ
ばならず、それは、また、試行錯誤で調整しなければな
らないために、初期設計や設計変更時に時間や費用が掛
かる問題を内在している。特に、加圧室を与える窓部を
グリーンシートの打抜き法で形成する場合において、そ
の打抜き用の金型を各種準備しなければならず、そのた
めに、そのような打抜き用金型の製作に多大な費用を要
すると共に、多くの時間をも要するものであった。
端に設ける構造のアクチュエータにあっては、その並設
された圧電／電歪作動部の列の両端のものとその内側に
位置するものとの間の特性を同程度とするために、ダミ
ーキャビティの形状乃至は大きさを適宜に選定しなけれ
ばならず、それは、また、試行錯誤で調整しなければな
らないために、初期設計や設計変更時に時間や費用が掛
かる問題を内在している。特に、加圧室を与える窓部を
グリーンシートの打抜き法で形成する場合において、そ
の打抜き用の金型を各種準備しなければならず、そのた
めに、そのような打抜き用金型の製作に多大な費用を要
すると共に、多くの時間をも要するものであった。
【００１０】
【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景として為されたものであって、その解決課題とすると
ころは、基体内に列状に並べて設けられた複数の加圧室
の位置に対応して、基体外面に複数の膜型の圧電／電歪
作動部が設けられてなる構造の圧電／電歪膜型アクチュ
エータにおいて、両端に位置する圧電／電歪作動部の作
動特性を改善して、全ての圧電／電歪作動部において優
れた作動特性が発揮され得るようにすると共に、そのよ
うな作動特性の改善されたアクチュエータの設計を容易
と為し、また作製時間の短縮を図り、更には製造コスト
の有効な低減を図ることにある。
景として為されたものであって、その解決課題とすると
ころは、基体内に列状に並べて設けられた複数の加圧室
の位置に対応して、基体外面に複数の膜型の圧電／電歪
作動部が設けられてなる構造の圧電／電歪膜型アクチュ
エータにおいて、両端に位置する圧電／電歪作動部の作
動特性を改善して、全ての圧電／電歪作動部において優
れた作動特性が発揮され得るようにすると共に、そのよ
うな作動特性の改善されたアクチュエータの設計を容易
と為し、また作製時間の短縮を図り、更には製造コスト
の有効な低減を図ることにある。
【００１１】
【解決手段】そして、上記の課題を解決するために、本
発明の特徴とするところは、（ａ）複数の窓部が列状に
並べて設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレ
ートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉
塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合
わされて前記窓部を覆蓋する接続プレートとを、それぞ
れのグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめ
て、前記窓部にて加圧室を形成してなるセラミックス基
体と、（ｂ）前記閉塞プレートの外面上の各加圧室に対
応する位置に、膜形成法によって順次形成された、下部
電極、圧電／電歪層および上部電極からなる膜型の圧電
／電歪作動部とからなり、該圧電／電歪作動部によって
前記加圧室の壁部の一部を変形させることにより、前記
加圧室に圧力を生ぜしめるようにした圧電／電歪膜型ア
クチュエータにおいて、前記スペーサプレートの複数の
窓部の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側
に、それぞれ所定大きさの補助窓部を設け、該補助窓部
にてダミーキャビティを前記セラミックス基体内に形成
すると共に、それら補助窓部に対応する前記閉塞プレー
ト部位の外面上に、所定パターンの変位規制層を、それ
ぞれ一体的に設けたことにある。
発明の特徴とするところは、（ａ）複数の窓部が列状に
並べて設けられたスペーサプレートと、該スペーサプレ
ートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉
塞プレートと、該スペーサプレートの他方の側に重ね合
わされて前記窓部を覆蓋する接続プレートとを、それぞ
れのグリーンシートにて積層形成し、一体焼成せしめ
て、前記窓部にて加圧室を形成してなるセラミックス基
体と、（ｂ）前記閉塞プレートの外面上の各加圧室に対
応する位置に、膜形成法によって順次形成された、下部
電極、圧電／電歪層および上部電極からなる膜型の圧電
／電歪作動部とからなり、該圧電／電歪作動部によって
前記加圧室の壁部の一部を変形させることにより、前記
加圧室に圧力を生ぜしめるようにした圧電／電歪膜型ア
クチュエータにおいて、前記スペーサプレートの複数の
窓部の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側
に、それぞれ所定大きさの補助窓部を設け、該補助窓部
にてダミーキャビティを前記セラミックス基体内に形成
すると共に、それら補助窓部に対応する前記閉塞プレー
ト部位の外面上に、所定パターンの変位規制層を、それ
ぞれ一体的に設けたことにある。
【００１２】なお、かかる本発明に従う圧電／電歪膜型
アクチュエータにおいて、有利には、前記変位規制層
は、膜形成法によって、前記閉塞プレートの外面上に一
体的に形成されることとなる。
アクチュエータにおいて、有利には、前記変位規制層
は、膜形成法によって、前記閉塞プレートの外面上に一
体的に形成されることとなる。
【００１３】また、本発明に従う圧電／電歪膜型アクチ
ュエータの好ましい実施態様によれば、前記変位規制層
は、前記圧電／電歪作動部を構成する下部電極膜および
／または圧電／電歪層と同様な層にて少なくとも構成さ
れ、且つ該圧電／電歪作動部と同時に形成されていた
り、また絶縁樹脂材料からなる層を含んで構成されてい
るものである。
ュエータの好ましい実施態様によれば、前記変位規制層
は、前記圧電／電歪作動部を構成する下部電極膜および
／または圧電／電歪層と同様な層にて少なくとも構成さ
れ、且つ該圧電／電歪作動部と同時に形成されていた
り、また絶縁樹脂材料からなる層を含んで構成されてい
るものである。
【００１４】
【作用・効果】要するに、かかる本発明に従う構造とさ
れた圧電／電歪膜型アクチュエータにあっては、セラミ
ックス基体内に列状に並べて設けられた複数個の加圧室
の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、所
定大きさの補助窓部が設けられていることにより、両端
の加圧室の剛性が効果的に低下せしめられ、以てその変
形性が有利に高められているのである。しかも、それら
補助窓部（ダミーキャビティ）に対応する閉塞プレート
部位の外面上には、所定パターンの変位規制層が、それ
ぞれ一体的に設けられていることにより、かかるダミー
キャビティ、ひいては両端の加圧室の剛性の微調整が効
果的に行なわれ得ることとなるのである。
れた圧電／電歪膜型アクチュエータにあっては、セラミ
ックス基体内に列状に並べて設けられた複数個の加圧室
の両端のものに並べて、更にその外側に、それぞれ、所
定大きさの補助窓部が設けられていることにより、両端
の加圧室の剛性が効果的に低下せしめられ、以てその変
形性が有利に高められているのである。しかも、それら
補助窓部（ダミーキャビティ）に対応する閉塞プレート
部位の外面上には、所定パターンの変位規制層が、それ
ぞれ一体的に設けられていることにより、かかるダミー
キャビティ、ひいては両端の加圧室の剛性の微調整が効
果的に行なわれ得ることとなるのである。
【００１５】すなわち、補助窓部（ダミーキャビティ）
のサイズ（大きさ）による剛性の低下調節に加えて、変
位規制層の一体的な形成によって、そのような剛性が上
昇するようになるところから、かかる変位規制層のパタ
ーン等を選定することによって、剛性の上昇の程度が調
整され得ることとなるのであり、これによって全体とし
ての剛性の微調整が実現され、以て両端の加圧室を含む
すべての加圧室において、圧電／電歪作動部による同等
の撓み変位量が得られることとなり、優れた作動特性が
安定して発揮され得るのである。
のサイズ（大きさ）による剛性の低下調節に加えて、変
位規制層の一体的な形成によって、そのような剛性が上
昇するようになるところから、かかる変位規制層のパタ
ーン等を選定することによって、剛性の上昇の程度が調
整され得ることとなるのであり、これによって全体とし
ての剛性の微調整が実現され、以て両端の加圧室を含む
すべての加圧室において、圧電／電歪作動部による同等
の撓み変位量が得られることとなり、優れた作動特性が
安定して発揮され得るのである。
【００１６】従って、例えば、かかるアクチュエータを
用いたインクジェットプリントヘッドにおいては、アク
チュエータの優れた作動特性に基づく優れたインク吐出
性能が得られ、製品品質の向上とその安定化が有利に達
成され得るのである。
用いたインクジェットプリントヘッドにおいては、アク
チュエータの優れた作動特性に基づく優れたインク吐出
性能が得られ、製品品質の向上とその安定化が有利に達
成され得るのである。
【００１７】このように、本発明にあっては、両端の加
圧室の剛性調整を、補助窓部（ダミーキャビティ）の形
成と共に、変位規制層の一体的な形成によって、行なう
ものであるところから、かかる補助窓部（ダミーキャビ
ティ）を所定大きさで設けて加圧室の剛性を低下せしめ
た状態下において、変位規制層のパターンによって、か
かる剛性の上昇の程度を制御せしめることが出来るので
あり、これにより加圧室の剛性の効果的な微調整が可能
となり、そしてそのような変位規制層のパターン調整に
よって、剛性調整が出来ることにより、打抜き金型を用
いた補助窓部の形状変更よりも、製造コストの上昇を著
しく抑制せしめ得たのであり、しかもそのようなパター
ン変更は安価且つ短期間で行ない得るところから、その
設計や設計変更を迅速に且つ経済的に行ない得たのであ
る。
圧室の剛性調整を、補助窓部（ダミーキャビティ）の形
成と共に、変位規制層の一体的な形成によって、行なう
ものであるところから、かかる補助窓部（ダミーキャビ
ティ）を所定大きさで設けて加圧室の剛性を低下せしめ
た状態下において、変位規制層のパターンによって、か
かる剛性の上昇の程度を制御せしめることが出来るので
あり、これにより加圧室の剛性の効果的な微調整が可能
となり、そしてそのような変位規制層のパターン調整に
よって、剛性調整が出来ることにより、打抜き金型を用
いた補助窓部の形状変更よりも、製造コストの上昇を著
しく抑制せしめ得たのであり、しかもそのようなパター
ン変更は安価且つ短期間で行ない得るところから、その
設計や設計変更を迅速に且つ経済的に行ない得たのであ
る。
【００１８】
【実施例】以下、本発明を更に具体的に明らかにするた
めに、本発明の代表的な実施例について、図面を参照し
つつ、詳細に説明することとする。
めに、本発明の代表的な実施例について、図面を参照し
つつ、詳細に説明することとする。
【００１９】先ず、図１には、本発明が適用された圧電
／電歪膜型アクチュエータの一例が概略的に示されてお
り、また、図２には、その分解斜視図が示されている。
そこに示されるアクチュエータ３４は、それぞれ薄肉の
平板形状を呈するセラミックス製の閉塞プレート５６と
スペーサプレート６２と接続プレート５８とが一体的に
重ね合わされてなるセラミックス基体６４と、該閉塞プ
レート５６の外面上に膜形成された膜型の圧電／電歪作
動部７０とから構成されている。そして、該圧電／電歪
作動部７０が印加電圧に従って収縮し、その結果圧電／
電歪作動部７０と閉塞プレート５６が全体として屈曲変
形することにより、該セラミックス基体６４内部に形成
された加圧室３６が変形せしめられて、圧力を生じるよ
うになっている。
／電歪膜型アクチュエータの一例が概略的に示されてお
り、また、図２には、その分解斜視図が示されている。
そこに示されるアクチュエータ３４は、それぞれ薄肉の
平板形状を呈するセラミックス製の閉塞プレート５６と
スペーサプレート６２と接続プレート５８とが一体的に
重ね合わされてなるセラミックス基体６４と、該閉塞プ
レート５６の外面上に膜形成された膜型の圧電／電歪作
動部７０とから構成されている。そして、該圧電／電歪
作動部７０が印加電圧に従って収縮し、その結果圧電／
電歪作動部７０と閉塞プレート５６が全体として屈曲変
形することにより、該セラミックス基体６４内部に形成
された加圧室３６が変形せしめられて、圧力を生じるよ
うになっている。
【００２０】より具体的には、前記セラミックス基体６
４を構成するスペーサプレート６２には、図２に示され
ているように、その長手方向に一列に並べて、４個の矩
形状の窓部６８が形成されており、更にそれら窓部６８
の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側には、
所定の寸法形状において、ここではそれら窓部６８と略
同じ寸法形状の補助窓部７８，７８がそれぞれ形成され
ている。また、接続プレート５８には、前記スペーサプ
レート６２の各窓部６８に対応する位置に、第一の連通
孔６６および第二の連通孔６７が、それぞれ形成されて
いる。
４を構成するスペーサプレート６２には、図２に示され
ているように、その長手方向に一列に並べて、４個の矩
形状の窓部６８が形成されており、更にそれら窓部６８
の並び方向の両端のものに並べて、更にその外側には、
所定の寸法形状において、ここではそれら窓部６８と略
同じ寸法形状の補助窓部７８，７８がそれぞれ形成され
ている。また、接続プレート５８には、前記スペーサプ
レート６２の各窓部６８に対応する位置に、第一の連通
孔６６および第二の連通孔６７が、それぞれ形成されて
いる。
【００２１】そして、前記スペーサプレート６２の一方
の側（図２において下側）の面に前記接続プレート５８
が重ね合わされると共に、その反対側（図２において上
側）の面に閉塞プレート５６が重ね合わされ、一体焼成
により接合せしめられることによって、一体的なセラミ
ックス基体６４が構成されているのである。また、かか
るセラミックス基体６４の内部には、前記スペーサプレ
ート６２の窓部６８と補助窓部７８の開口が両側から覆
蓋されることによって、該窓部６８にて、第一及び第二
の連通孔６６，６７を通じて外部に連通された加圧室３
６が一列に並べられて４つ形成されると共に、それら４
つの加圧室３６の両端のものに並べて、更にその外側
に、該補助窓部７８にて、所定大きさのダミーキャビテ
ィ３７、ここでは加圧室３６と略同じ容積の密閉空間が
形成されるようになっている。
の側（図２において下側）の面に前記接続プレート５８
が重ね合わされると共に、その反対側（図２において上
側）の面に閉塞プレート５６が重ね合わされ、一体焼成
により接合せしめられることによって、一体的なセラミ
ックス基体６４が構成されているのである。また、かか
るセラミックス基体６４の内部には、前記スペーサプレ
ート６２の窓部６８と補助窓部７８の開口が両側から覆
蓋されることによって、該窓部６８にて、第一及び第二
の連通孔６６，６７を通じて外部に連通された加圧室３
６が一列に並べられて４つ形成されると共に、それら４
つの加圧室３６の両端のものに並べて、更にその外側
に、該補助窓部７８にて、所定大きさのダミーキャビテ
ィ３７、ここでは加圧室３６と略同じ容積の密閉空間が
形成されるようになっている。
【００２２】ところで、このようなセラミックス基体６
４は、上述せるように、セラミックスの一体焼成品とし
て形成されるものである。即ち、具体的な製造工程とし
ては、先ず、セラミックス原料とバインダー並びに溶媒
等から調製されるセラミックスのスラリーから、ドクタ
ーブレード装置やリバースロールコーター装置等の一般
的な装置を用いて、グリーンシートを成形する。次い
で、必要に応じて、かかるグリーンシートに切断・切削
・打ち抜き等の機械加工乃至はレーザー加工を施して、
窓部６８，７８や第一、第二の連通孔６６，６７等を形
成し、各プレート５６，５８，６２の前駆体を形成す
る。そして、それら各前駆体を積層し、焼成することに
よって、一体的なセラミックス基体６４が得られるので
ある。それ故に、かかるセラミックス基体６４にあって
は、特別な接着処理等を加えることなく、各プレート５
６，５８，６２の重ね合わせ面において、完全なシール
性を安定して得ることができるのである。
４は、上述せるように、セラミックスの一体焼成品とし
て形成されるものである。即ち、具体的な製造工程とし
ては、先ず、セラミックス原料とバインダー並びに溶媒
等から調製されるセラミックスのスラリーから、ドクタ
ーブレード装置やリバースロールコーター装置等の一般
的な装置を用いて、グリーンシートを成形する。次い
で、必要に応じて、かかるグリーンシートに切断・切削
・打ち抜き等の機械加工乃至はレーザー加工を施して、
窓部６８，７８や第一、第二の連通孔６６，６７等を形
成し、各プレート５６，５８，６２の前駆体を形成す
る。そして、それら各前駆体を積層し、焼成することに
よって、一体的なセラミックス基体６４が得られるので
ある。それ故に、かかるセラミックス基体６４にあって
は、特別な接着処理等を加えることなく、各プレート５
６，５８，６２の重ね合わせ面において、完全なシール
性を安定して得ることができるのである。
【００２３】なお、かかるセラミックス基体６４の製造
に際して、そのシール性をより安定させるために、上記
の焼成前のグリーンシート上に、予め同じ材質のスラリ
ー又はペーストを印刷若しくは塗工することが、好まし
い。それにより、グリーンシート上に、該グリーンシー
トよりも柔らかく、圧力により押し潰され易い表面層が
形成されるため、積層、加圧、焼成後に、各プレート間
の密着性が増して、各プレート５６，５８，６２の重ね
合わせ面において、シール性をより安定して得ることが
できるのである。
に際して、そのシール性をより安定させるために、上記
の焼成前のグリーンシート上に、予め同じ材質のスラリ
ー又はペーストを印刷若しくは塗工することが、好まし
い。それにより、グリーンシート上に、該グリーンシー
トよりも柔らかく、圧力により押し潰され易い表面層が
形成されるため、積層、加圧、焼成後に、各プレート間
の密着性が増して、各プレート５６，５８，６２の重ね
合わせ面において、シール性をより安定して得ることが
できるのである。
【００２４】また、このようなセラミックス基体６４に
あっては、接続プレート５８が設けられて、加圧室３６
が第一、第二の連通孔６６，６７にて外部に連通される
ようになっていることから、後述するインクノズル部材
等に対するシール領域が小さくなり、接着作業性が高く
なる利点を有している。更に、かかる接続プレート５８
の存在にて、セラミックス基体６４の構造強度が高めら
れて、焼成時の反りが良好に防止されると共に、製造時
及び使用時の取扱い性が高められるようになっている。
なお、補助窓部７８が閉塞プレート５６及び接続プレー
ト５８にて両側から密閉されると、セラミックス基体６
４の焼成時に、該補助窓部７８にて与えられる密閉空間
たるダミーキャビティ３７内部の空気と外部空間の空気
との間に温度変化による内外圧力差が生じて、強度的に
望ましくないところから、接続プレート５８に適当な連
通孔を形成して、各ダミーキャビティ３７が外部に連通
せしめられるようにすることが望ましい。
あっては、接続プレート５８が設けられて、加圧室３６
が第一、第二の連通孔６６，６７にて外部に連通される
ようになっていることから、後述するインクノズル部材
等に対するシール領域が小さくなり、接着作業性が高く
なる利点を有している。更に、かかる接続プレート５８
の存在にて、セラミックス基体６４の構造強度が高めら
れて、焼成時の反りが良好に防止されると共に、製造時
及び使用時の取扱い性が高められるようになっている。
なお、補助窓部７８が閉塞プレート５６及び接続プレー
ト５８にて両側から密閉されると、セラミックス基体６
４の焼成時に、該補助窓部７８にて与えられる密閉空間
たるダミーキャビティ３７内部の空気と外部空間の空気
との間に温度変化による内外圧力差が生じて、強度的に
望ましくないところから、接続プレート５８に適当な連
通孔を形成して、各ダミーキャビティ３７が外部に連通
せしめられるようにすることが望ましい。
【００２５】さらに、セラミックス基体６４を与えるセ
ラミックスの材質としては、公知の各種の材料が適宜に
採用され、特に限定されるものではないが、成形性等の
点から、アルミナ、ジルコニア等が、好適に採用され
る。また、閉塞プレート５６，接続プレート５８および
スペーサプレート６２には、その焼結性や熱膨張マッチ
ングの観点より、略同じセラミックス組成及び粒度分布
のグリーンシートを用いて形成することが望ましい。
ラミックスの材質としては、公知の各種の材料が適宜に
採用され、特に限定されるものではないが、成形性等の
点から、アルミナ、ジルコニア等が、好適に採用され
る。また、閉塞プレート５６，接続プレート５８および
スペーサプレート６２には、その焼結性や熱膨張マッチ
ングの観点より、略同じセラミックス組成及び粒度分布
のグリーンシートを用いて形成することが望ましい。
【００２６】更にまた、かかるセラミックス基体６４に
おいて、その閉塞プレート５６の板厚は、好ましくは５
０μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下、更に好まし
くは３〜１２μｍ程度とされる。また、スペーサプレー
ト６２の板厚は、一般に１０μｍ以上、好ましくは５０
μｍ以上とされ、更に接続プレート５８の板厚は、一般
に３０μｍ以上、好ましくは５０μｍ以上、更に好まし
くは１００μｍ以上とされる。
おいて、その閉塞プレート５６の板厚は、好ましくは５
０μｍ以下、より好ましくは２０μｍ以下、更に好まし
くは３〜１２μｍ程度とされる。また、スペーサプレー
ト６２の板厚は、一般に１０μｍ以上、好ましくは５０
μｍ以上とされ、更に接続プレート５８の板厚は、一般
に３０μｍ以上、好ましくは５０μｍ以上、更に好まし
くは１００μｍ以上とされる。
【００２７】そして、該閉塞プレート５６の外面上の各
加圧室３６に対応する部位には、それぞれ、下部電極７
２，圧電／電歪層７４および上部電極７６からなる膜状
の圧電／電歪作動部７０が、膜形成法によって、設けら
れているのである。なお、かかる電極膜（上下電極７
６，７２）および圧電／電歪層７４は、公知の各種の膜
形成法、例えば、スクリーン印刷、スプレー、ディッピ
ング、塗布等の厚膜形成手法や、イオンビーム、スパッ
タリング、真空蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ、
メッキ等の薄膜形成手法によって形成されることとな
る。そして、それらの膜形成は、閉塞プレート５６（セ
ラミックス基体６４）の焼結前に行なうことも、或いは
焼結後に行なうことも、可能である。また、この閉塞プ
レート５６上に膜形成された下部電極７２，圧電／電歪
層７４および上部電極７６は、必要に応じて熱処理乃至
は焼成されることとなるが、そのような熱処理乃至は焼
成は、それぞれの膜の形成の都度、行なってもよく、或
いは全部の膜を形成した後、同時に行なってもよい。
加圧室３６に対応する部位には、それぞれ、下部電極７
２，圧電／電歪層７４および上部電極７６からなる膜状
の圧電／電歪作動部７０が、膜形成法によって、設けら
れているのである。なお、かかる電極膜（上下電極７
６，７２）および圧電／電歪層７４は、公知の各種の膜
形成法、例えば、スクリーン印刷、スプレー、ディッピ
ング、塗布等の厚膜形成手法や、イオンビーム、スパッ
タリング、真空蒸着、イオンプレーティング、ＣＶＤ、
メッキ等の薄膜形成手法によって形成されることとな
る。そして、それらの膜形成は、閉塞プレート５６（セ
ラミックス基体６４）の焼結前に行なうことも、或いは
焼結後に行なうことも、可能である。また、この閉塞プ
レート５６上に膜形成された下部電極７２，圧電／電歪
層７４および上部電極７６は、必要に応じて熱処理乃至
は焼成されることとなるが、そのような熱処理乃至は焼
成は、それぞれの膜の形成の都度、行なってもよく、或
いは全部の膜を形成した後、同時に行なってもよい。
【００２８】なお、かかる圧電／電歪作動部７０を構成
する電極膜（上下電極７６，７２）の材料としては、熱
処理温度並びに焼成温度程度の高温酸化雰囲気に耐えら
れる導体であれば、特に限定されるものではなく、例え
ば金属単体であっても、合金であっても良い。また、絶
縁性セラミックスやガラス等と、金属や合金との混合物
であっても、更には導電性セラミックスであっても、何
等差し支えない。一方、圧電／電歪層７４の材料として
は、圧電或いは電歪効果等の電界誘起歪を示す材料であ
れば、何れの材料であっても採用され得るものであり、
結晶質の材料でも、非晶質の材料でも良い。また、半導
体材料であっても、誘電体セラミックス材料や強誘電体
セラミックス材料であっても、何等差し支えなく、更に
は分極処理が必要な材料であっても、またそれが不必要
な材料であっても良いのである。これら電極膜（７２，
７６）の材料や圧電／電歪層７４の材料は、何れも、公
知のものが適宜に採用されることとなるが、特に特開平
５−２９６７５号公報や特開平５−２７０９１２号公報
等に明らかにされているものが有利に用いられることと
なる。
する電極膜（上下電極７６，７２）の材料としては、熱
処理温度並びに焼成温度程度の高温酸化雰囲気に耐えら
れる導体であれば、特に限定されるものではなく、例え
ば金属単体であっても、合金であっても良い。また、絶
縁性セラミックスやガラス等と、金属や合金との混合物
であっても、更には導電性セラミックスであっても、何
等差し支えない。一方、圧電／電歪層７４の材料として
は、圧電或いは電歪効果等の電界誘起歪を示す材料であ
れば、何れの材料であっても採用され得るものであり、
結晶質の材料でも、非晶質の材料でも良い。また、半導
体材料であっても、誘電体セラミックス材料や強誘電体
セラミックス材料であっても、何等差し支えなく、更に
は分極処理が必要な材料であっても、またそれが不必要
な材料であっても良いのである。これら電極膜（７２，
７６）の材料や圧電／電歪層７４の材料は、何れも、公
知のものが適宜に採用されることとなるが、特に特開平
５−２９６７５号公報や特開平５−２７０９１２号公報
等に明らかにされているものが有利に用いられることと
なる。
【００２９】また、上記の如くして形成される圧電／電
歪作動部７０の厚さは、一般に１００μm 以下、好まし
くは６０μｍ以下とされる。また、電極膜（上下電極７
６，７２）の厚さは、一般に２０μｍ以下、好ましくは
５μｍ以下とされる。更に、圧電／電歪層７４の厚さ
は、低作動電圧で大きな変位等を得るために、一般に５
０μm 以下、好ましくは３μm 〜４０μm 程度とされ
る。
歪作動部７０の厚さは、一般に１００μm 以下、好まし
くは６０μｍ以下とされる。また、電極膜（上下電極７
６，７２）の厚さは、一般に２０μｍ以下、好ましくは
５μｍ以下とされる。更に、圧電／電歪層７４の厚さ
は、低作動電圧で大きな変位等を得るために、一般に５
０μm 以下、好ましくは３μm 〜４０μm 程度とされ
る。
【００３０】そして、このようにして形成された圧電／
電歪作動部７０にあっては、閉塞プレート５６を基板と
していることから、薄い板厚においても機械的強度およ
び靭性を有利に確保することができるのである。加え
て、膜形成法によって形成されることから、閉塞プレー
ト５６上に多数個、微細な間隔を隔てて、接着剤等を用
いずに同時に且つ容易に形成することができるのであ
る。
電歪作動部７０にあっては、閉塞プレート５６を基板と
していることから、薄い板厚においても機械的強度およ
び靭性を有利に確保することができるのである。加え
て、膜形成法によって形成されることから、閉塞プレー
ト５６上に多数個、微細な間隔を隔てて、接着剤等を用
いずに同時に且つ容易に形成することができるのであ
る。
【００３１】ところで、本発明にあっては、図２に示さ
れているように、閉塞プレート５６の外面に設けられた
圧電／電歪作動部７０の配列方向における両端のものの
更に外側に、補助窓部７８（ダミーキャビティ３７）に
対応して、変位規制層６０，６０が、それぞれ、所定パ
ターンにて一体的に設けられている。このような変位規
制層６０を閉塞プレート５６の外面上に一体的に形成し
たことによって、当該部分の剛性が高まり、延いては両
端加圧室３６，３６の圧電／電歪作動部７０，７０によ
る変形が調節されることとなるのである。
れているように、閉塞プレート５６の外面に設けられた
圧電／電歪作動部７０の配列方向における両端のものの
更に外側に、補助窓部７８（ダミーキャビティ３７）に
対応して、変位規制層６０，６０が、それぞれ、所定パ
ターンにて一体的に設けられている。このような変位規
制層６０を閉塞プレート５６の外面上に一体的に形成し
たことによって、当該部分の剛性が高まり、延いては両
端加圧室３６，３６の圧電／電歪作動部７０，７０によ
る変形が調節されることとなるのである。
【００３２】なお、かかる変位規制層６０は、公知の各
種の手法によって形成され得るものであるが、有利に
は、圧電／電歪作動部７０、具体的には下部電極７２、
圧電／電歪層７４、上部電極７６の形成に際して採用さ
れる手法と同様な膜形成法によって、閉塞プレート５６
の外面上に一体的に形成せしめられる。けだし、膜形成
法を採用すれば、変位規制層６０を圧電／電歪作動部７
０と同時的に形成することが出来、作業工数の低減、更
には製造コストの上昇を抑制することが出来ると共に、
パターンの設計も容易となるからである。特に、圧電／
電歪作動部７０との同時形成の利益を充分に享受するに
は、変位規制層６０が、前記圧電／電歪作動部７０と同
様な下部電極７２の層および／または圧電／電歪層７４
からなる層にて少なくとも構成されていることが望まし
く、中でも下部電極７２および圧電／電歪層７４、或い
はそれらに加えて上部電極７６を設けた積層構造が、特
に有利に採用されることとなる。
種の手法によって形成され得るものであるが、有利に
は、圧電／電歪作動部７０、具体的には下部電極７２、
圧電／電歪層７４、上部電極７６の形成に際して採用さ
れる手法と同様な膜形成法によって、閉塞プレート５６
の外面上に一体的に形成せしめられる。けだし、膜形成
法を採用すれば、変位規制層６０を圧電／電歪作動部７
０と同時的に形成することが出来、作業工数の低減、更
には製造コストの上昇を抑制することが出来ると共に、
パターンの設計も容易となるからである。特に、圧電／
電歪作動部７０との同時形成の利益を充分に享受するに
は、変位規制層６０が、前記圧電／電歪作動部７０と同
様な下部電極７２の層および／または圧電／電歪層７４
からなる層にて少なくとも構成されていることが望まし
く、中でも下部電極７２および圧電／電歪層７４、或い
はそれらに加えて上部電極７６を設けた積層構造が、特
に有利に採用されることとなる。
【００３３】また、このような変位規制層６０は、配列
された圧電／電歪作動部７０，７０間を電気的に絶縁す
るために用いられる絶縁樹脂材料を使用して、そのよう
な絶縁樹脂材料からなる層を含んで構成することも可能
であり、例えば、該絶縁樹脂材料層のみにて変位規制層
６０を構成する他、圧電／電歪作動部７０を与える下部
電極７２、圧電／電歪層７４および上部電極７６の内の
少なくとも一つと共に形成してなる積層構造において構
成することも可能である。なお、この絶縁樹脂材料とし
ては、所定の硬度を有し、スクリーン印刷等の膜形成法
の適用が可能で、絶縁性を有する樹脂ならば特に限定さ
れないが、好ましくはヤング率が１ｋｇ／ｍｍ2 以上、
１０００ｋｇ／ｍｍ2 以下の材料が有利に選択され、そ
の中でもアクリル樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化型樹脂
が好適に採用されることとなる。また、絶縁性と成膜性
の点から、例えば各種のソルダーレジストも好適に用い
られ得るものである。
された圧電／電歪作動部７０，７０間を電気的に絶縁す
るために用いられる絶縁樹脂材料を使用して、そのよう
な絶縁樹脂材料からなる層を含んで構成することも可能
であり、例えば、該絶縁樹脂材料層のみにて変位規制層
６０を構成する他、圧電／電歪作動部７０を与える下部
電極７２、圧電／電歪層７４および上部電極７６の内の
少なくとも一つと共に形成してなる積層構造において構
成することも可能である。なお、この絶縁樹脂材料とし
ては、所定の硬度を有し、スクリーン印刷等の膜形成法
の適用が可能で、絶縁性を有する樹脂ならば特に限定さ
れないが、好ましくはヤング率が１ｋｇ／ｍｍ2 以上、
１０００ｋｇ／ｍｍ2 以下の材料が有利に選択され、そ
の中でもアクリル樹脂やエポキシ樹脂等の熱硬化型樹脂
が好適に採用されることとなる。また、絶縁性と成膜性
の点から、例えば各種のソルダーレジストも好適に用い
られ得るものである。
【００３４】さらに、かかる変位規制層６０は、補助窓
部７８、換言すればダミーキャビティ３７の存在によっ
て低下せしめられる剛性を制御するものであるところか
ら、そのパターンは、かかるダミーキャビティ３７によ
る剛性低下の度合いによって適宜に選定されることとな
る。そして、この変位規制層６０のパターンの大きさに
よって、剛性の上昇の度合いが制御され、以てダミーキ
ャビティ３７と共働して、両端の加圧室３６，３６の変
位特性が調整されるのである。なお、変位規制層６０の
厚さも加圧室３６の剛性にある程度影響し、その厚さが
厚くなれば、剛性もより高くなるようになるが、その厚
さとしては、一般に７０μｍ以下、好ましくは５０μｍ
以下とされることとなる。けだし、変位規制層６０の厚
さが余りにも厚くなり過ぎると、その形成工程中におい
て、クラックや剥離等の問題が惹起され易くなるからで
ある。
部７８、換言すればダミーキャビティ３７の存在によっ
て低下せしめられる剛性を制御するものであるところか
ら、そのパターンは、かかるダミーキャビティ３７によ
る剛性低下の度合いによって適宜に選定されることとな
る。そして、この変位規制層６０のパターンの大きさに
よって、剛性の上昇の度合いが制御され、以てダミーキ
ャビティ３７と共働して、両端の加圧室３６，３６の変
位特性が調整されるのである。なお、変位規制層６０の
厚さも加圧室３６の剛性にある程度影響し、その厚さが
厚くなれば、剛性もより高くなるようになるが、その厚
さとしては、一般に７０μｍ以下、好ましくは５０μｍ
以下とされることとなる。けだし、変位規制層６０の厚
さが余りにも厚くなり過ぎると、その形成工程中におい
て、クラックや剥離等の問題が惹起され易くなるからで
ある。
【００３５】かくして得られるアクチュエータ３４にあ
っては、列状に並べて設けられた４つの加圧室３６（窓
部６８に対応）の両端のものに並べて、更にその外側
に、所定の寸法形状に設計されたダミーキャビティ３７
（補助窓部７８に対応）が、それぞれ設けられていると
ころから、その両端の加圧室３６の剛性が効果的に低下
せしめられている一方、かかるダミーキャビティ３７に
対応する閉塞プレート５６の外面上の部位に、変位規制
層６０が所定パターンにて一体的に形成されていること
によって、剛性が適度に高められ、以てそれらダミーキ
ャビティ３７及び変位規制層６０が共働して、両端の加
圧室３６の変形性を調整して、４つの圧電／電歪作動部
７０による変位量、換言すれば各加圧室３６の変形量が
均一化せしめられ、これにより優れた作動特性が安定し
て得られることとなったのである。加えて、圧電／電歪
作動部７０の焼成時に、加圧室３６を画成する閉塞プレ
ート５６との間において、圧電／電歪材料が焼結・緻密
化する際の焼成収縮に伴なう応力、並びに熱膨張率差に
基づく熱応力が生じ、これにより両端の圧電／電歪作動
部７０が特に性能低下するようになるが、前記した補助
窓部７８（ダミーキャビティ３７）の形成によって、そ
のような両端の圧電／電歪作動部７０の性能低下の問題
も有利に解消乃至は緩和されることとなったのである。
っては、列状に並べて設けられた４つの加圧室３６（窓
部６８に対応）の両端のものに並べて、更にその外側
に、所定の寸法形状に設計されたダミーキャビティ３７
（補助窓部７８に対応）が、それぞれ設けられていると
ころから、その両端の加圧室３６の剛性が効果的に低下
せしめられている一方、かかるダミーキャビティ３７に
対応する閉塞プレート５６の外面上の部位に、変位規制
層６０が所定パターンにて一体的に形成されていること
によって、剛性が適度に高められ、以てそれらダミーキ
ャビティ３７及び変位規制層６０が共働して、両端の加
圧室３６の変形性を調整して、４つの圧電／電歪作動部
７０による変位量、換言すれば各加圧室３６の変形量が
均一化せしめられ、これにより優れた作動特性が安定し
て得られることとなったのである。加えて、圧電／電歪
作動部７０の焼成時に、加圧室３６を画成する閉塞プレ
ート５６との間において、圧電／電歪材料が焼結・緻密
化する際の焼成収縮に伴なう応力、並びに熱膨張率差に
基づく熱応力が生じ、これにより両端の圧電／電歪作動
部７０が特に性能低下するようになるが、前記した補助
窓部７８（ダミーキャビティ３７）の形成によって、そ
のような両端の圧電／電歪作動部７０の性能低下の問題
も有利に解消乃至は緩和されることとなったのである。
【００３６】しかも、両端の加圧室３６の剛性が、変位
規制層６０のパターンの変更にて、微調整され得ること
となったところから、補助窓部７８（ダミーキャビティ
３７）の形状変更のみによる場合の如き、多くの時間や
費用が掛かる問題を有利に解消し得ることとなったので
ある。即ち、閉塞プレート５６の外面上に変位規制層６
０を形成するのみであり、しかもそのような変位規制層
６０のパターン変更のみで剛性の調整が行なわれ得るこ
とにより、製造コストの上昇は効果的に抑制され、ま
た、パターン変更は補助窓部７８の形状変更よりも安価
且つ短期間で実施され、その初期設計や設計変更を迅速
且つ安価に行ない得るのである。
規制層６０のパターンの変更にて、微調整され得ること
となったところから、補助窓部７８（ダミーキャビティ
３７）の形状変更のみによる場合の如き、多くの時間や
費用が掛かる問題を有利に解消し得ることとなったので
ある。即ち、閉塞プレート５６の外面上に変位規制層６
０を形成するのみであり、しかもそのような変位規制層
６０のパターン変更のみで剛性の調整が行なわれ得るこ
とにより、製造コストの上昇は効果的に抑制され、ま
た、パターン変更は補助窓部７８の形状変更よりも安価
且つ短期間で実施され、その初期設計や設計変更を迅速
且つ安価に行ない得るのである。
【００３７】ところで、かかるアクチュエータ３４は、
例えばインクジェットプリントヘッドのインクポンプと
して利用することができ、図３には、上述の如きアクチ
ュエータ３４とインクノズル部材とが一体的に接合され
て、構成されたインクジェットプリントヘッドの一例が
示されている。そこにおいて、３２は、アクチュエータ
３４と共にインクジェットプリントヘッド３０を構成す
るインクノズル部材であり、図４に示されているよう
に、それぞれ薄肉の平板形状を呈するノズルプレート３
８とオリフィスプレート４０が、それらの間に流路プレ
ート４２を挟んで重ね合わされ、接着剤によって一体的
に接合された構造を有している。
例えばインクジェットプリントヘッドのインクポンプと
して利用することができ、図３には、上述の如きアクチ
ュエータ３４とインクノズル部材とが一体的に接合され
て、構成されたインクジェットプリントヘッドの一例が
示されている。そこにおいて、３２は、アクチュエータ
３４と共にインクジェットプリントヘッド３０を構成す
るインクノズル部材であり、図４に示されているよう
に、それぞれ薄肉の平板形状を呈するノズルプレート３
８とオリフィスプレート４０が、それらの間に流路プレ
ート４２を挟んで重ね合わされ、接着剤によって一体的
に接合された構造を有している。
【００３８】より詳細には、オリフィスプレート４０に
は、前記アクチュエータ３４の第一の連通孔６６，第二
の連通孔６７に対応する位置に、それぞれ、通孔４６，
オリフィス孔４８が形成されると共に、後述するインク
供給流路５２にインクを供給する供給孔５４が形成され
ている。また、流路プレート４２には、オリフィスプレ
ート４０の通孔４６に対応する位置に、通孔４７が形成
されると共に、オリフィスプレート４０の４つのオリフ
ィス孔４８及び供給孔５４に連通する窓部５０が形成さ
れている。更に、ノズルプレート３８には、流路プレー
ト４２の通孔４７に対応する位置に、インク噴出用のノ
ズル孔４４が形成されている。
は、前記アクチュエータ３４の第一の連通孔６６，第二
の連通孔６７に対応する位置に、それぞれ、通孔４６，
オリフィス孔４８が形成されると共に、後述するインク
供給流路５２にインクを供給する供給孔５４が形成され
ている。また、流路プレート４２には、オリフィスプレ
ート４０の通孔４６に対応する位置に、通孔４７が形成
されると共に、オリフィスプレート４０の４つのオリフ
ィス孔４８及び供給孔５４に連通する窓部５０が形成さ
れている。更に、ノズルプレート３８には、流路プレー
ト４２の通孔４７に対応する位置に、インク噴出用のノ
ズル孔４４が形成されている。
【００３９】そして、それら各プレート３８，４０，４
２が重ね合わされて、適当な接着剤にて一体的に接合せ
しめられることにより、インクノズル部材３２が形成さ
れているのであり、また前記流路プレート４２に設けら
れた窓部５０が、ノズルプレート３８およびオリフィス
プレート４０にて両側から覆蓋されることにより、イン
ク供給流路５２が形成されているのである。
２が重ね合わされて、適当な接着剤にて一体的に接合せ
しめられることにより、インクノズル部材３２が形成さ
れているのであり、また前記流路プレート４２に設けら
れた窓部５０が、ノズルプレート３８およびオリフィス
プレート４０にて両側から覆蓋されることにより、イン
ク供給流路５２が形成されているのである。
【００４０】なお、かかるインクノズル部材３２を構成
する各プレート３８，４０，４２の材質は、特に限定さ
れるものではないが、ノズル孔４４およびオリフィス孔
４８を高い寸法精度で形成するうえで、一般にプラスチ
ックや、ニッケル乃至ステンレスといった金属が好適に
採用される。また、オリフィス孔４８は、供給されるイ
ンクに対して逆止弁の如き作用を為さしめるため、例え
ば、図３に示されているように、インク流通方向に向っ
て小径化するテーパ形状をもって、形成することが望ま
しい。
する各プレート３８，４０，４２の材質は、特に限定さ
れるものではないが、ノズル孔４４およびオリフィス孔
４８を高い寸法精度で形成するうえで、一般にプラスチ
ックや、ニッケル乃至ステンレスといった金属が好適に
採用される。また、オリフィス孔４８は、供給されるイ
ンクに対して逆止弁の如き作用を為さしめるため、例え
ば、図３に示されているように、インク流通方向に向っ
て小径化するテーパ形状をもって、形成することが望ま
しい。
【００４１】そして、かかるインクノズル部材３２が、
前記アクチュエータ３４に対して適当な接着剤を用いて
一体的に接合されることによって、目的とするインクジ
ェットプリントヘッド３０が形成されるのであり、前記
供給孔５４よりインク供給流路５２に供給されたインク
は、アクチュエータ３４の圧電／電歪作動部７０の作動
に基づいて、インクノズル部材３２のオリフィス孔４８
を通じて、アクチュエータ３４の加圧室３６に供給され
ると共に、該加圧室３６より通孔４６，４７を通じて導
かれ、ノズル孔４４より外部に噴出せしめられるように
なっているのである。
前記アクチュエータ３４に対して適当な接着剤を用いて
一体的に接合されることによって、目的とするインクジ
ェットプリントヘッド３０が形成されるのであり、前記
供給孔５４よりインク供給流路５２に供給されたインク
は、アクチュエータ３４の圧電／電歪作動部７０の作動
に基づいて、インクノズル部材３２のオリフィス孔４８
を通じて、アクチュエータ３４の加圧室３６に供給され
ると共に、該加圧室３６より通孔４６，４７を通じて導
かれ、ノズル孔４４より外部に噴出せしめられるように
なっているのである。
【００４２】なお、インクノズル部材３２とアクチュエ
ータ３４の接着に用いられる接着剤としては、特に限定
はなく、ビニル系、アクリル系、ポリアミド系、フェノ
ール系、レゾルシノール系、ユリア系、メラミン系、ポ
リエステル系、エポキシ系、フラン系、ポリウレタン
系、シリコーン系、ゴム系、ポリイミド系、ポリオレフ
ィン系等の何れでも良い。但し、本実施例の如くプリン
トヘッドを構成する場合には、インクに対する耐久性の
ある接着剤を選択する。
ータ３４の接着に用いられる接着剤としては、特に限定
はなく、ビニル系、アクリル系、ポリアミド系、フェノ
ール系、レゾルシノール系、ユリア系、メラミン系、ポ
リエステル系、エポキシ系、フラン系、ポリウレタン
系、シリコーン系、ゴム系、ポリイミド系、ポリオレフ
ィン系等の何れでも良い。但し、本実施例の如くプリン
トヘッドを構成する場合には、インクに対する耐久性の
ある接着剤を選択する。
【００４３】また、接着剤の形態は、量産性の点から、
高粘性のペーストタイプかシートタイプが優れており、
また加熱時間の短いホットメルト接着型か、或いは室温
硬化接着型がより望ましい。そして、特に好適には、ス
クリーン印刷が可能な弾性エポキシ接着剤やシリコーン
系接着剤、或いはシリコーン樹脂を配合したエポキシ系
接着剤、又は打抜き加工が可能なシート形状ホットメル
トタイプのポリオレフィン系接着剤やポリエステル系接
着剤等が用いられることとなる。
高粘性のペーストタイプかシートタイプが優れており、
また加熱時間の短いホットメルト接着型か、或いは室温
硬化接着型がより望ましい。そして、特に好適には、ス
クリーン印刷が可能な弾性エポキシ接着剤やシリコーン
系接着剤、或いはシリコーン樹脂を配合したエポキシ系
接着剤、又は打抜き加工が可能なシート形状ホットメル
トタイプのポリオレフィン系接着剤やポリエステル系接
着剤等が用いられることとなる。
【００４４】このような構造を有するインクジェットプ
リントヘッド３０では、アクチュエータ３４が上述の如
き優れた作動特性を安定して発揮するものであるところ
から、良好なインクポンプ機能が発揮され得て、優れた
インク吐出特性が安定して得られることとなったのであ
る。
リントヘッド３０では、アクチュエータ３４が上述の如
き優れた作動特性を安定して発揮するものであるところ
から、良好なインクポンプ機能が発揮され得て、優れた
インク吐出特性が安定して得られることとなったのであ
る。
【００４５】因みに、図１〜２に示される如き構造を有
し、Ｎｏ．１からＮｏ．７までの７つの加圧室３６が一
列に並べて設けられると共に、両端（Ｎｏ．１，Ｎｏ．
７）の加圧室３６に並べて、更にその外側に、補助窓部
７８にて閉塞空間たるダミーキャビティ３７が形成さ
れ、更にこのダミーキャビティ３７に対応する閉塞プレ
ート５６の外面上の部位に、圧電／電歪作動部７０を構
成する下部電極７２と圧電／電歪層７４と同様な二つの
層からなる変位規制層６０が膜形成法にて該圧電／電歪
作動部７０と同時に設けられてなるアクチュエータ３４
を製造して、各加圧室３６（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．７）に対
応して設けられた各圧電／電歪作動部７０に電圧を印加
した際の撓み変位量を、レーザドップラー計測機で測定
した。また、比較例として、７つの加圧室３６が上記と
同様に一列に並べて設けられる一方、補助窓部７８が設
けられることのないアクチュエータ、並びにそのような
補助窓部７８（従って、ダミーキャビティ３７）は設け
られているが、変位規制層６０が設けられていないアク
チュエータをそれぞれ製造して、各加圧室３６に対応し
て設けられた各圧電／電歪作動部７０について電圧を印
加し、同様にして、各加圧室壁の撓み変位量を測定し
た。そして、それらの結果を、併せて、下記表１に示し
た。なお、何れのアクチュエータにおいても、補助窓部
７８の形状は、窓部６８と同一とした。
し、Ｎｏ．１からＮｏ．７までの７つの加圧室３６が一
列に並べて設けられると共に、両端（Ｎｏ．１，Ｎｏ．
７）の加圧室３６に並べて、更にその外側に、補助窓部
７８にて閉塞空間たるダミーキャビティ３７が形成さ
れ、更にこのダミーキャビティ３７に対応する閉塞プレ
ート５６の外面上の部位に、圧電／電歪作動部７０を構
成する下部電極７２と圧電／電歪層７４と同様な二つの
層からなる変位規制層６０が膜形成法にて該圧電／電歪
作動部７０と同時に設けられてなるアクチュエータ３４
を製造して、各加圧室３６（Ｎｏ．１〜Ｎｏ．７）に対
応して設けられた各圧電／電歪作動部７０に電圧を印加
した際の撓み変位量を、レーザドップラー計測機で測定
した。また、比較例として、７つの加圧室３６が上記と
同様に一列に並べて設けられる一方、補助窓部７８が設
けられることのないアクチュエータ、並びにそのような
補助窓部７８（従って、ダミーキャビティ３７）は設け
られているが、変位規制層６０が設けられていないアク
チュエータをそれぞれ製造して、各加圧室３６に対応し
て設けられた各圧電／電歪作動部７０について電圧を印
加し、同様にして、各加圧室壁の撓み変位量を測定し
た。そして、それらの結果を、併せて、下記表１に示し
た。なお、何れのアクチュエータにおいても、補助窓部
７８の形状は、窓部６８と同一とした。
【００４６】
【表１】
【００４７】かかる表１の結果より明らかなように、複
数の加圧室３６の両端のものに並べて、その外側に、更
に、補助窓部７８によるダミーキャビティ３７を設け、
且つ閉塞プレート５６の外面上に変位規制層６０を設け
た場合には、両端の圧電／電歪作動部７０の作動による
撓み変位量が、内側の圧電／電歪作動部７０のものにほ
ぼ等しくなり、作動特性のばらつきの少ないアクチュエ
ータが得られているのに対して、ダミーキャビティ３７
及び変位規制層６０を設けなかった場合にあっては、両
端の圧電／電歪作動部７０による撓み変位量が大幅に小
さくなり、作動特性が著しく低下していることが認めら
れる。また、ダミーキャビティ３７のみを設けた場合に
あっては、そのダミーキャビティ３７の大きさが不適切
なものであったために、両端の加圧室３６の剛性が低く
なり過ぎて、圧電／電歪作動部７０による撓み変位量が
大きくなり過ぎ、その場合においても、作動特性がばら
つくこととなるのである。
数の加圧室３６の両端のものに並べて、その外側に、更
に、補助窓部７８によるダミーキャビティ３７を設け、
且つ閉塞プレート５６の外面上に変位規制層６０を設け
た場合には、両端の圧電／電歪作動部７０の作動による
撓み変位量が、内側の圧電／電歪作動部７０のものにほ
ぼ等しくなり、作動特性のばらつきの少ないアクチュエ
ータが得られているのに対して、ダミーキャビティ３７
及び変位規制層６０を設けなかった場合にあっては、両
端の圧電／電歪作動部７０による撓み変位量が大幅に小
さくなり、作動特性が著しく低下していることが認めら
れる。また、ダミーキャビティ３７のみを設けた場合に
あっては、そのダミーキャビティ３７の大きさが不適切
なものであったために、両端の加圧室３６の剛性が低く
なり過ぎて、圧電／電歪作動部７０による撓み変位量が
大きくなり過ぎ、その場合においても、作動特性がばら
つくこととなるのである。
【００４８】以上、本発明の代表的な実施例について詳
述してきたが、本発明が、かかる実施例の記載によっ
て、何等の制約をも受けるものでないことは、言うまで
もないところである。また、本発明には、上記の実施例
の他にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当
業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加
え得るものであることが、理解されるべきである。
述してきたが、本発明が、かかる実施例の記載によっ
て、何等の制約をも受けるものでないことは、言うまで
もないところである。また、本発明には、上記の実施例
の他にも、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当
業者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加
え得るものであることが、理解されるべきである。
【００４９】例えば、アクチュエータ３４の構成は、前
記実施例のものに何等限定されるものではなく、公知の
各種の構造が採用され得るものであり、また、アクチュ
エータ３４における加圧室３６及び圧電／電歪作動部７
０の形状、形成位置、形成数等にあっても、何等限定さ
れるものではなく、両端が形成される列状に配置されて
いる限りにおいて、目的に応じて適宜に選定され得るも
のである。また、前記実施例では、補助窓部７８（ダミ
ーキャビティ３７）は、複数の窓部６８の並び方向の両
端のものに並べて、その外側に各一つずつ形成したが、
必ずしも一つに限らず、それ以上の個数において設ける
ことも可能であり、更にそのような複数の窓部７８に対
して、本発明に従う変位規制層６０は、少なくとも一つ
若しくはそれ以上の対応部位において、設けられること
となる。
記実施例のものに何等限定されるものではなく、公知の
各種の構造が採用され得るものであり、また、アクチュ
エータ３４における加圧室３６及び圧電／電歪作動部７
０の形状、形成位置、形成数等にあっても、何等限定さ
れるものではなく、両端が形成される列状に配置されて
いる限りにおいて、目的に応じて適宜に選定され得るも
のである。また、前記実施例では、補助窓部７８（ダミ
ーキャビティ３７）は、複数の窓部６８の並び方向の両
端のものに並べて、その外側に各一つずつ形成したが、
必ずしも一つに限らず、それ以上の個数において設ける
ことも可能であり、更にそのような複数の窓部７８に対
して、本発明に従う変位規制層６０は、少なくとも一つ
若しくはそれ以上の対応部位において、設けられること
となる。
【００５０】そして、本発明のアクチュエータは、上述
の構造のもの以外にも、各種構造のインクジェットプリ
ントヘッドのインクポンプとして利用される他、マイク
ロポンプ、圧電スピーカー、センサー、振動子、発振
子、フィルター等としても、有利に用いられ得るもので
ある。
の構造のもの以外にも、各種構造のインクジェットプリ
ントヘッドのインクポンプとして利用される他、マイク
ロポンプ、圧電スピーカー、センサー、振動子、発振
子、フィルター等としても、有利に用いられ得るもので
ある。
【図１】本発明の一実施例としての圧電／電歪膜型アク
チュエータを示す縦断面説明図である。
チュエータを示す縦断面説明図である。
【図２】図１のアクチュエータの構造を説明するための
分解斜視図である。
分解斜視図である。
【図３】図１のアクチュエータを用いて構成されたイン
クジェットプリントヘッドの一例を示す縦断面説明図で
ある。
クジェットプリントヘッドの一例を示す縦断面説明図で
ある。
【図４】図３のインクジェットプリントヘッドのインク
ノズル部材の構造を説明するための分解斜視図である。
ノズル部材の構造を説明するための分解斜視図である。
【図５】従来のインクジェットプリントヘッドの一具体
例を示す縦断面説明図である。
例を示す縦断面説明図である。
【図６】図５におけるＶＩ−ＶＩ断面説明図である。
３０ インクジェットプリントヘッド ３２ インクノズル部材 ３４ アクチュエータ ３６ 加圧室 ３７ ダミーキャビティ ３８ ノズルプレート ４０ オリフィスプレート ４２ 流路プレート ４４ ノズル孔 ４８ オリフィス孔 ５２ インク供給流路 ５６ 閉塞プレート ５８ 接続プレート ６０ 変位規制層 ６２ スペーサプレート ６４ セラミックス基体 ６６ 第一の連通孔 ６７ 第二の連通孔 ６８ 窓部 ７０ 圧電／電歪作動部 ７８ 補助窓部
Claims (4)
- 【請求項１】 （ａ）複数の窓部が列状に並べて設けら
れたスペーサプレートと、該スペーサプレートの一方の
側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレート
と、該スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前
記窓部を覆蓋する接続プレートとを、それぞれのグリー
ンシートにて積層形成し、一体焼成せしめて、前記窓部
にて加圧室を形成してなるセラミックス基体と、（ｂ）
前記閉塞プレートの外面上の各加圧室に対応する位置
に、膜形成法によって順次形成された、下部電極、圧電
／電歪層および上部電極からなる膜型の圧電／電歪作動
部とからなり、該圧電／電歪作動部によって前記加圧室
の壁部の一部を変形させることにより、前記加圧室に圧
力を生ぜしめるようにした圧電／電歪膜型アクチュエー
タにおいて、 前記スペーサプレートの複数の窓部の並び方向の両端の
ものに並べて、更にその外側に、それぞれ所定大きさの
補助窓部を設け、該補助窓部にてダミーキャビティを前
記セラミックス基体内に形成すると共に、それら補助窓
部に対応する前記閉塞プレート部位の外面上に、所定パ
ターンの変位規制層を、それぞれ一体的に設けたことを
特徴とする圧電／電歪膜型アクチュエータ。 - 【請求項２】 前記変位規制層が、膜形成法によって、
前記閉塞プレートの外面上に一体的に形成されている請
求項１に記載の圧電／電歪膜型アクチュエータ。 - 【請求項３】 前記変位規制層が、前記圧電／電歪作動
部を構成する下部電極および／または圧電／電歪層と同
様な層にて少なくとも構成され、且つ該圧電／電歪作動
部と同時に形成されている請求項１または請求項２に記
載の圧電／電歪膜型アクチュエータ。 - 【請求項４】 前記変位規制層が、絶縁樹脂材料からな
る層を含んで構成されている請求項１または請求項２に
記載の圧電／電歪膜型アクチュエータ。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06012830A JP3088890B2 (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | 圧電／電歪膜型アクチュエータ |
| US08/382,580 US5512793A (en) | 1994-02-04 | 1995-02-02 | Piezoelectric and/or electrostrictive actuator having dummy cavities within ceramic substrate in addition to pressure chambers, and displacement adjusting layers formed aligned with the dummy cavities |
| DE69502210T DE69502210T2 (de) | 1994-02-04 | 1995-02-06 | Piezoelektrischer und/oder elektrostriktiver Antrieb |
| EP95300719A EP0666605B1 (en) | 1994-02-04 | 1995-02-06 | Piezoelectric and/or electrostrictive actuator |
| SG1996008437A SG49255A1 (en) | 1994-02-04 | 1995-02-06 | Piezoelectric and/or electrostrictive actuator |
| HK98106129A HK1007056A1 (en) | 1994-02-04 | 1998-06-23 | Piezoelectric and/or electrostrictive actuator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06012830A JP3088890B2 (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | 圧電／電歪膜型アクチュエータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07214779A true JPH07214779A (ja) | 1995-08-15 |
| JP3088890B2 JP3088890B2 (ja) | 2000-09-18 |
Family
ID=11816303
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06012830A Expired - Lifetime JP3088890B2 (ja) | 1994-02-04 | 1994-02-04 | 圧電／電歪膜型アクチュエータ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5512793A (ja) |
| EP (1) | EP0666605B1 (ja) |
| JP (1) | JP3088890B2 (ja) |
| DE (1) | DE69502210T2 (ja) |
| HK (1) | HK1007056A1 (ja) |
| SG (1) | SG49255A1 (ja) |
Cited By (10)
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| US6761028B2 (en) | 2001-10-15 | 2004-07-13 | Ngk Insulators, Ltd. | Drive device |
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| US7266868B2 (en) | 2003-06-30 | 2007-09-11 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing liquid delivery apparatus |
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| JP2010280221A (ja) * | 1998-04-17 | 2010-12-16 | Technology Partnership Plc | 液体噴射装置 |
| JP2012045956A (ja) * | 2011-12-08 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 液体噴射装置 |
Families Citing this family (40)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH08252920A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Brother Ind Ltd | 積層型圧電素子の製造方法 |
| JP3320947B2 (ja) * | 1995-05-26 | 2002-09-03 | 日本碍子株式会社 | 微細貫通孔を有するセラミック部材 |
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| US5793149A (en) * | 1995-07-26 | 1998-08-11 | Francotyp-Postalia Ag & Co. | Arrangement for plate-shaped piezoactuators and method for the manufacture thereof |
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