JPH1174437A - リードフレームの製造方法 - Google Patents

リードフレームの製造方法

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JPH1174437A
JPH1174437A JP23396297A JP23396297A JPH1174437A JP H1174437 A JPH1174437 A JP H1174437A JP 23396297 A JP23396297 A JP 23396297A JP 23396297 A JP23396297 A JP 23396297A JP H1174437 A JPH1174437 A JP H1174437A
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lead frame
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Takeshi Kuroda
猛 黒田
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    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体装置のファインピッチ化が急速に進
み、リードフレームの本数が増加し、リードフレームの
幅を細くせざるを得ない状況においても十分なワイヤボ
ンド領域を確保できるリードフレームの形成方法を提供
すること。 【解決手段】 2枚以上のリードフレーム材11,13
が貼り合わされたリードフレーム部材15を打ち抜き加
工し、貼り合わされた面Aを上面、すなわちワイヤボン
ド面とすれば、広いワイヤボンド領域を確保したリード
フレームを形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体装置に使用さ
れるリードフレームの製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、リードフレームは、一枚のリード
フレーム材にエッチング加工もしくはプレスによる打ち
抜き加工を施すことにより形成されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】現在、半導体装置のフ
ァインピッチ化が急速に進むにつれ、リードフレームの
本数が増加する傾向にある。この場合、リードフレーム
の幅を細くせざるを得ず、後で詳細に説明するように、
従来のような打ち抜き加工ではワイヤボンド領域が確保
できないという問題点が生ずる。
【0004】本発明は、半導体装置のファインピッチ化
が急速に進み、リードフレームの本数が増加し、リード
フレームの幅を細くせざるを得ない状況においても十分
なワイヤボンド領域を確保できるリードフレームの形成
方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】第1の発明は、リードフ
レームの製造方法において、2つのリードフレーム材で
構成され、それぞれの被ワイヤボンド面が接着されたリ
ードフレーム部材を準備する工程と、このリードフレー
ム部材を打ち抜き加工することにより所望形状のリード
フレーム部材を形成する工程と、この所望形状のリード
フレーム部材の接着された被ワイヤボンド面を剥離する
ことにより2つのリードフレームを形成する工程とを有
するようにしたものである。
【0006】第2の発明は、リードフレームの製造方法
において、複数のリードフレーム材がその厚さ方向にそ
れぞれ接着されたリードフレーム部材を準備する工程
と、このリードフレーム部材を打ち抜き加工することに
より所望形状のリードフレーム部材を形成する工程と、
この所望形状のリードフレーム部材の接着された面を剥
離することによりその剥離面を被ワイヤボンド面とする
複数のリードフレームを形成する工程とを有するように
したものである。
【0007】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)図1は、本発明の第1のリードフ
レームの製造方法を示す図である。
【0008】まず、図1(a)に示すように、リードフ
レーム材11とリードフレーム材13で構成されるリー
ドフレーム部材15をプレス台(図示せず)に設置す
る。このリードフレーム材11の裏面とリードフレーム
材13の表面は接着されている。この接着面をAとす
る。ここで接着剤は後にリードフレームをはがすことを
考慮し、接着力の弱いものを選択する。
【0009】次に、図1(b)に示すように、リードフ
レーム部材15を所望の形状にパンチ17により打ち抜
く。
【0010】次に、接着面Aを剥離し、接着剤をアルコ
ール洗浄等で除去することにより、2つのリードフレー
ムが1度のパンチで形成できる。
【0011】この時、それぞれのリードフレームのワイ
ヤボンド面は、接着面A側となる。
【0012】ここで、本発明の効果を明確にするため
に、比較のためのリードフレームの製造方法を示す図で
ある図2を参照しながら1枚のリードフレーム材を打ち
抜く場合について説明する。
【0013】図2(a)に示すように、1枚のリードフ
レーム材21を図2(b)に示すようにパンチ27によ
り打ち抜く。
【0014】この場合、図2(c)に示すように、リー
ドフレームの断面の両端がアール状になり実際のパンチ
間隔W1よりもR1およびR2分だけワイヤボンド領域
W2が狭くなる。
【0015】これに対し、本発明のリードフレームの製
造方法によれば、図1(b)に示すように、接着面Aに
ついては、両端がアール状となることがなく、図1
(c)に示すように、加工後のリードフレーム材11の
接着面A側の面は、パンチ間隔W1のワイヤボンド領域
が確保され、また、加工後のリードフレーム材13の接
着面A側の面も、パンチ間隔W1のワイヤボンド領域が
確保される。
【0016】このように、2枚のリードフレーム材が貼
り合わされたリードフレーム部材を打ち抜き加工し、貼
り合わされた面を上面、すなわちワイヤボンド面とすれ
ば、広いワイヤボンド領域を確保したリードフレームを
形成することができる。
【0017】従って、更に幅の狭いリードフレームの作
成が可能となり、半導体装置のファインピッチ化に容易
に対応できる。 (第2の実施の形態)図3は、本発明の第2のリードフ
レームの製造方法を示す図である。
【0018】まず、図3(a)に示すように、3枚のリ
ードフレーム材31,32,33で構成されるリードフ
レーム部材35をプレス台(図示せず)に設置する。こ
のリードフレーム材32の表面とリードフレーム材31
の裏面は接着(接着面A)され、リードフレーム材32
の裏面とリードフレーム材33の表面は接着(接着面
B)されている。ここで接着剤は後にリードフレームを
はがすことを考慮し、接着力の弱いものを選択する。
【0019】次に、リードフレーム部材35を所望の形
状にパンチ37により打ち抜く。
【0020】次に、接着面Aおよび接着面Bを剥離し、
接着剤をアルコール洗浄等で除去することにより、3つ
のリードフレームが1度のパンチで形成できる。
【0021】この時、それぞれのリードフレームのワイ
ヤボンド面は、接着面Aもしくは接着面B側となる。
【0022】図3(a)に示すように、このリードフレ
ームの製造方法によれば、接着面Aおよび接着面Bにつ
いては、その断面の両端がアール状となることがなく、
図3(b)に示すように加工後のリードフレーム材31
の接着面A側の面は、パンチ間隔W1のワイヤボンド領
域が確保され、また、加工後のリードフレーム材33の
接着面B側の面も、パンチ間隔W1のワイヤボンド領域
が確保される。加工後のリードフレーム材32について
は、接着面A側、B側ともパンチ間隔W1が確保される
ため、どちらをワイヤボンド面としてもよい。
【0023】本実施の形態では、3枚のリードフレーム
材を貼り合わせた場合を説明したが、4枚以上の複数枚
のリードフレーム材を用いてもよい。
【0024】このように、複数枚のリードフレーム材が
貼り合わされたリードフレーム部材を打ち抜き加工し、
貼り合わされた面を上面、すなわちワイヤボンド面とす
れば、広いワイヤボンド領域を確保したリードフレーム
を形成することができる。
【0025】従って、更に幅の狭いリードフレームの作
成が可能となり、半導体装置のファインピッチ化に容易
に対応できる。
【0026】また、一度の打ち抜き加工で、効率的に複
数枚のリードフレームを形成することができる。
【0027】
【発明の効果】以上、詳細に説明した様に、第1の発明
によれば、2枚のリードフレーム材が貼り合わされたリ
ードフレーム部材を打ち抜き加工し、貼り合わされた面
を上面、すなわちワイヤボンド面とすれば、広いワイヤ
ボンド領域を確保したリードフレームを形成することが
できる。
【0028】また、第2の発明によれば複数枚のリード
フレーム材が貼り合わされたリードフレーム部材を打ち
抜き加工し、貼り合わされた面を上面、すなわちワイヤ
ボンド面とすれば、広いワイヤボンド領域を確保したリ
ードフレームを形成することができる。
【0029】このように、本発明によれば、更に幅の狭
いリードフレームの作成が可能となり、半導体装置のフ
ァインピッチ化に容易に対応できる。
【0030】また、一度の打ち抜き加工で、効率的に複
数枚のリードフレームを形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1のリードフレームの製造方法を示
す図である。
【図2】比較のためのリードフレームの製造方法を示す
図である。
【図3】本発明の第2のリードフレームの製造方法を示
す図である。
【符号の説明】
11,13,31,32,33 リードフレーム材 15,35 リードフレーム部材 17,37 パンチ W1 パンチ間隔

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 リードフレームの製造方法において、 2つのリードフレーム材で構成され、それぞれの被ワイ
    ヤボンド面が接着されたリードフレーム部材を準備する
    工程と、 前記リードフレーム部材を打ち抜き加工することにより
    所望形状のリードフレーム部材を形成する工程と、 前記所望形状のリードフレーム部材の接着された被ワイ
    ヤボンド面を剥離することにより2つのリードフレーム
    を形成する工程と、 を有することを特徴とするリードフレームの製造方法。
  2. 【請求項2】 リードフレームの製造方法において、 複数のリードフレーム材がその厚さ方向にそれぞれ接着
    されたリードフレーム部材を準備する工程と、 前記リードフレーム部材を打ち抜き加工することにより
    所望形状のリードフレーム部材を形成する工程と、 前記所望形状のリードフレーム部材の接着された面を剥
    離することによりその剥離面を被ワイヤボンド面とする
    複数のリードフレームを形成する工程と、 を有することを特徴とするリードフレームの製造方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113753846A (zh) * 2021-09-07 2021-12-07 上海晶采微纳米应用技术有限公司 高精度金属光码盘制备方法及高精度金属光码盘

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