JPH1174202A5 - - Google Patents
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- JPH1174202A5 JPH1174202A5 JP1997233620A JP23362097A JPH1174202A5 JP H1174202 A5 JPH1174202 A5 JP H1174202A5 JP 1997233620 A JP1997233620 A JP 1997233620A JP 23362097 A JP23362097 A JP 23362097A JP H1174202 A5 JPH1174202 A5 JP H1174202A5
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23362097A JPH1174202A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 窒化ガリウム系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体の気相成長装置並びに窒化ガリウム系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23362097A JPH1174202A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 窒化ガリウム系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体の気相成長装置並びに窒化ガリウム系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体装置及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1174202A JPH1174202A (ja) | 1999-03-16 |
| JPH1174202A5 true JPH1174202A5 (enrdf_load_html_response) | 2005-08-11 |
Family
ID=16957909
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23362097A Pending JPH1174202A (ja) | 1997-08-29 | 1997-08-29 | 窒化ガリウム系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体の気相成長装置並びに窒化ガリウム系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1174202A (enrdf_load_html_response) |
Families Citing this family (8)
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|---|---|---|---|---|
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-
1997
- 1997-08-29 JP JP23362097A patent/JPH1174202A/ja active Pending
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