JPH1161443A - エッチング部品の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】フォトエッチング法にてエッチング部品を製造
する方法において、エッチング部品が鋭角の部位を有し
ていても、所望する鋭角形状とすることの出来るエッチ
ング部品の製造方法を提供する。 【解決手段】金属薄板を素材とし、フォトエッチング法
にて、鋭角とした部位を少なくとも有するエッチング部
品を製造する方法であって、前記鋭角とした部位となる
金属素材上に形成するフォトレジスト膜パターンの補正
量を、他の部位の補正量より大きくし、また、前記フォ
トレジスト膜パターンの鋭角部の角度を、前記鋭角とし
た部位の角度より鋭角としたことを特徴とするエッチン
グ部品の製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フォトエッチング
法を用い、薄板状の金属素材からエッチング部品を製造
する方法に関し、例えば、放電用電極板等の、鋭角とな
った部位を有するエッチング部品を製造する方法に係わ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来、カラー受像管等に用いるシャドウ
マスク、半導体集積回路装置等に用いるリードフレー
ム、または、複写機、プリンター等に内蔵される放電用
電極板等の金属薄板を素材とする電子部品は、フォトエ
ッチング法にて製造されることが多い（以下、フォトエ
ッチング法にて製造される部品をエッチング部品と記
す）。

【０００３】すなわち、金属素材１表面にフォトレジス
ト液を塗布後、フォトレジスト液の乾燥、また必要によ
りプレベーク等を行い、図５（ａ）に示すように、フォ
トレジスト膜５を形成した後、図５（ｂ）に示すよう
に、所定のパターンを有する露光用パターンマスク３を
介し、前記フォトレジスト膜５にパターン露光を行う。
次いで、現像、硬膜処理等を行い、図５（ｃ）に示すよ
うに、所定のパターンに従って金属素材を露出する開孔
パターンを有するレジスト膜２を得る。これにより、レ
ジスト膜２（レジスト膜パターン）が耐食性被膜とな
り、後述するエッチング工程の際、レジスト膜２より露
出した金属素材１部位に選択的にエッチングがなされ
る。

【０００４】次いで、塩化第二鉄液等のエッチング液を
金属素材に接触させる。これにより、レジスト膜２の開
孔パターンより露出した金属素材部位より等方的に金属
素材の溶解が行われる。エッチングを進めるにつれ、金
属素材の所定部位が溶解除去することで金属素材が貫通
し、図５（ｄ）が得られる。次いで、レジスト膜２にア
ルカリ液等の剥膜液を接触させ、レジスト膜２を剥膜
後、乾燥を行い、しかる後、不要な金属素材部の断裁除
去等の所定の後工程を行い、図５（ｅ）に示すエッチン
グ部品４を得る。

【０００５】なお、図５の例では、開孔パターンを有す
るレジスト膜２を金属素材１の両面に形成しており、エ
ッチングも金属素材１の両面側から行っている。

【０００６】前述したように、金属素材にエッチングを
行うと、金属素材１には等方的にエッチングが進行し、
金属素材１はいわゆるサイドエッチングを受けるもので
ある。このため、レジスト膜２の開孔パターン部下の金
属素材１が抉れた形でエッチングが進む。エッチング終
了時レジスト膜２は、図４に示すように金属素材１の被
エッチング部に対し庇状に突出した形となるものであ
る。

【０００７】通常、レジスト膜パターンを形成するにあ
たり、金属素材１へのサイドエッチングの量を考慮し、
エッチング終了時に所望される金属素材の形状より大き
めにレジスト膜パターンを形成するものである。一般的
に、エッチング終了時に所望される金属素材の形状より
大きめにレジスト膜パターンを形成することを、「レジ
スト膜パターンに補正を掛ける」という。通常、レジス
ト膜パターンの補正とは、エッチング終了時に形成され
た金属素材と、レジスト膜パターンとの差をいうもので
あり、図４に示す庇の突出部の長さを補正量という。

【０００８】金属素材の材質、板厚、エッチング条件等
を考慮して補正量を算出し、補正量分大きくしたレジス
ト膜パターンを形成するものであり、通常は、補正量は
各部位で均一とし、エッチング終了時に所望される金属
素材の形状と、補正を掛けたレジスト膜パターンとは相
似形としているものである。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前述したように、エッ
チング法を用いたエッチング部品の製造方法において
は、エッチングの際、金属素材１はレジスト膜２の開孔
パターン部より等方的にエッチングを受けるものであ
り、レジスト膜２の開孔パターン部近傍の金属素材はい
わゆるサイドエッチングを受けるものである。

【００１０】このため、鋭角となった部位を有するエッ
チング部品（例えば図３に示す、複写機、プリンター等
に内蔵される、鋭角となった放電部を有する放電用電極
板等）を得ようとしても、所望する鋭角形状が得られな
いという問題が生じるものである。

【００１１】例えば、エッチングにより金属素材に鋭角
形状を形成するため、金属素材１上に、図２に示すパタ
ーンを有するレジスト膜２を形成したとする。なお、図
２は、鋭角形状とすべき金属素材１部位に形成したレジ
スト膜２を示す拡大平面図である。

【００１２】図２に示すレジスト膜パターンを形成した
金属素材にエッチングを行うと、レジスト膜の鋭角とな
った部位下の金属素材もサイドエッチングを受けること
になる。

【００１３】すなわち、鋭角とすべき部位の金属素材は
両側よりサイドエッチングを受けることで、金属素材の
エッチング形状は所望する鋭角とならず、図２中に一点
鎖線で示したように、エッチング後の金属素材の板端部
は丸みを帯びた形状となってしまうものである。

【００１４】このため、例えばエッチング部品が放電用
電極板であった場合、本来鋭角となるべき放電部が所望
する鋭角形状とならず丸みを帯びるため、所望する放電
効率が得られず、複写機、プリンター等に放電用電極板
を組み込んでも所定の性能が得られない等の問題が生じ
るものである。

【００１５】本発明は、上述した問題に鑑みなされたも
のであり、フォトエッチング法にてエッチング部品を製
造する方法において、エッチング部品が鋭角の部位を有
していても、所望する鋭角形状とすることの出来るエッ
チング部品の製造方法を提供するものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】すなわち、本発明は、金
属薄板を素材とし、フォトエッチング法にて、鋭角とし
た部位を少なくとも有するエッチング部品を製造する方
法であって、前記鋭角とした部位となる金属素材上に形
成するフォトレジスト膜パターンの補正量を、他の部位
の補正量より大きくし、また、前記フォトレジスト膜パ
ターンの鋭角部の角度を、前記鋭角とした部位の角度よ
り鋭角としたことを特徴とするエッチング部品の製造方
法を提供することで、上記の課題を解決したものであ
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下に、発明のエッチング部品の
製造方法の一実施例の要部を模式的に示す図面に基づ
き、説明を行う。

【００１８】本発明のエッチング部品の製造方法におい
ては、前述した（従来の技術）の項に記したように、ま
ず、金属素材１表面にフォトレジスト液を塗布後、フォ
トレジスト液の乾燥、また必要によりプレベーク等を行
い、図５（ａ）に示すように、フォトレジスト膜５を形
成する。次いで、図５（ｂ）に示すように、所定のパタ
ーンを有する露光用パターンマスク３を介し、前記フォ
トレジスト膜５にパターン露光を行う。次いで、現像、
硬膜処理等を行い、所定のパターンに従って金属素材を
露出する開孔パターンを有するレジスト膜２を得る。

【００１９】ここで、本発明者らは、金属素材表面に形
成するレジスト膜２のパターン、その中でも特に、鋭角
形状とすべき金属素材１部位に形成するレジスト膜２パ
ターンを、以下の図１のように形成することにより上記
の課題が解決できることを、経験的に見いだしたもので
ある。

【００２０】図１は、鋭角形状とすべき金属素材１部位
に形成したレジスト膜２を示す拡大平面図であり、図１
中の一点鎖線が、エッチング終了時に金属素材の板端部
となる領域を示している。図１に示すように、鋭角形状
とすべき金属素材１部位以外の他の部位（例えば図１中
のＹ部）は、通常通りの補正量Ｉをつけてレジスト膜２
パターンを形成している。また、鋭角形状とすべき金属
素材部位（図１中のＸ部）では、従来の補正量Ｉに加
え、鋭角部に向かうにつれ漸増するように補正量を増や
してレジスト膜２を形成している。

【００２１】すなわち、図１中の点線が、従来の製造方
法で形成するレジスト膜の端部となる部位であり、本発
明では、図１に示すように、鋭角形状とすべき金属素材
部位（図１中のＸ部）の補正量を、鋭角部に向かうにつ
れ漸増するように従来の補正量より増やしている。従来
の製造方法では、レジスト膜２に付ける補正は各部位で
同一としていたものであり、鋭角形状とすべき部位の補
正量も従来は、図１の点線に示すように、鋭角形状とす
べき金属素材部位以外の他の部位（例えば図１中のＹ
部）の補正量Ｉと同一としていたものである。このた
め、図１中の点線（従来のレジスト膜パターン）と一点
鎖線（エッチング後に所望される金属素材の形状）とは
平行かつ相似形となり、また、角度Ｋと角度Ｌも同一と
していたものである。従来、図１の点線に示すレジスト
膜パターンにてエッチングを行っていた。その結果、前
述した図２に示すようにエッチング終了時、金属素材１
の角部は丸みを帯びてしまうものであった。

【００２２】しかるに、本発明では、図１に示すよう
に、鋭角とする部位の金属素材１上に形成するレジスト
膜２の補正量を、鋭角部に向かうにつれ漸増するように
他の部位の補正量（図１中の補正量Ｉ）より大きくし、
また、レジスト膜２の鋭角とする部位の角度（角度Ｍ）
を、エッチング終了後に所望される金属素材１の角度
（図１中の角度Ｋ）より鋭角としたものである。

【００２３】かかるパターン形状としたレジスト膜２と
することで、エッチング後の金属素材の鋭角部の形状
は、図１の一点鎖線に示す所望する鋭角形状とすること
が可能となるものである。

【００２４】ちなみに、図１の例では、板厚 0.1mmの金
属素材を用いており、鋭角形状とすべき金属素材部位以
外の他の部位（例えば図１中のＹ部）の補正量Ｉを板厚
の40％程度（0.04mm程度）とし、また、鋭角部の補正量
Ｈ（図１中のレジスト膜２の頂点とエッチング終了時の
金属素材の頂点との距離）を、Ｙ部の補正量Ｉの約４倍
としている。

【００２５】なお、図１は金属素材の一方の面に形成し
たレジスト膜２を記したが、金属素材の両面からエッチ
ングを行うエッチング部品の製造方法においては、金属
素材の他方の面にも上述したと同様のパターンを有する
レジスト膜２を形成するものである。また、前述したよ
うに、本発明においては、鋭角形状とすべき金属素材部
位以外の他の部位には、通常通りの補正量および形状を
有するレジスト膜パターンを形成しているものである。

【００２６】次いで、上述したパターンを有するレジス
ト膜２を金属素材１上に形成した後、従来通り、エッチ
ング処理、レジスト膜の剥膜処理、および不要な金属素
材部の断裁除去等の所定の後工程を行い、エッチング部
品４を得るものである。

【００２７】以上、本発明の実施形態の例に従い本発明
の説明を行ったが、本発明の実施形態は、上述した説明
および図面に限定されるものではなく、本発明の趣旨に
基づき種々の変形を行っても構わないことはいうまでも
ない。

【００２８】例えば、鋭角とすべき部位に行う、レジス
ト膜パターンの従来より大きい補正量、金属素材に形成
する鋭角よりさらに鋭角とするレジスト膜２の鋭角部の
角度は、金属素材の材質、板厚、エッチング条件、金属
素材に形成する鋭角の角度等に応じて適宜設定して構わ
ない。

【００２９】

【発明の効果】本発明のエッチング部品の製造方法にお
いては、エッチング部品が鋭角の部位を有していても、
所望する鋭角形状としたエッチング部品を得ることが可
能となる。このためエッチング部品が、例えば、複写
機、プリンター等に内蔵される放電用電極板であった場
合、放電部である鋭角部位が所望する角度となっている
ため、所望する放電効率が得られものであり、放電用電
極板を組み込む最終製品である複写機、プリンター等が
所定の性能を発揮することが可能となる等、本発明は実
用上優れているといえる。

【００３０】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のエッチング部品の製造方法の一実施例
の要部を示す拡大平面図。

【図２】従来のエッチング部品の製造方法の一例の要部
を示す拡大平面図。

【図３】鋭角部を有するエッチング部品の一例を示す平
面図。

【図４】サイドエッチングの一例を示す断面図。

【図５】（ａ）〜（ｅ）はエッチング部品の製造方法の
一例を工程順に示す説明図。

【符号の説明】

１ 金属素材 ２ レジスト膜 ３ パターンマスク ４ エッチング部品 ５ フォトレジスト膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】金属薄板を素材とし、フォトエッチング法
   にて、鋭角とした部位を少なくとも有するエッチング部
   品を製造する方法であって、前記鋭角とした部位となる
   金属素材上に形成するフォトレジスト膜パターンの補正
   量を、他の部位の補正量より大きくし、また、前記フォ
   トレジスト膜パターンの鋭角部の角度を、前記鋭角とし
   た部位の角度より鋭角としたことを特徴とするエッチン
   グ部品の製造方法。