JPH1154547A - 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造 - Google Patents

非接触タグにおけるicチップ電極接続構造

Info

Publication number
JPH1154547A
JPH1154547A JP20796797A JP20796797A JPH1154547A JP H1154547 A JPH1154547 A JP H1154547A JP 20796797 A JP20796797 A JP 20796797A JP 20796797 A JP20796797 A JP 20796797A JP H1154547 A JPH1154547 A JP H1154547A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
electrode portion
conductive particles
tag
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP20796797A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroshi Kuromaru
廣志 黒丸
Satoshi Kiriyama
聰 桐山
Makio Atsumi
真喜男 厚見
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority to JP20796797A priority Critical patent/JPH1154547A/ja
Publication of JPH1154547A publication Critical patent/JPH1154547A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Radar Systems Or Details Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ICチップのチップ電極部や基板上の電極部
に予めバンプを形成しておかなくとも良好な電気的接続
を得ることができ、更に、電極の材質として、アルミニ
ウム等の活性化して表面に絶縁性が高い酸化膜を生成し
やすい金属を使用する際にも、その電極表面上に形成さ
れる酸化膜を破膜して良好な電気的接続を得ることがで
きるようにする。 【解決手段】 チップ電極部3とチップ対向電極部4a
とが、自身が含有する第1導電粒子よりも大きなサイズ
の第2導電粒子6が入った導電性接合剤5Aを介して、
接続されたように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非接触ID(Iden
tification)タグ製造時におけるICチップのチップ電
極と基板上に形成された電極との電気的接続に用いて好
適な非接触タグにおけるICチップ電極接続構造に関す
る。
【0002】
【従来の技術】非接触IDタグは、バーコードに代わる
物流の仕分け装置として重要な要素技術の一つであり、
この非接触IDタグを用いることにより、バーコードで
は識別が困難な、荷物などの陰に隠れたタグの識別が可
能となる。この非接触IDタグは、PET(ポリエチレ
ン・テレフタレート)等の熱可塑性プラスチック製の基
板上に、外部から与えられた交流磁場により励磁される
タグアンテナをそなえるとともに、タグ用IC(Integr
ated Circuit)等を備えて構成されている。
【0003】図9は非接触IDタグシステムのハード構
成を示すブロック図であり、この図を使用して非接触I
Dタグについての説明を行なう。ここで、タグ用IC1
01はチップ化された超小型のマイコンであり、ID情
報を記憶するメモリ101a、情報を通信用に変調・復
調する送・受信回路101b、及び情報の暗号化,計算
等の処理を行なうマイクロプロセッサ(図示せず)等か
ら構成される。
【0004】また、タグアンテナ102は、基板の表裏
面に形成されたシート状コイルであり、「受信アンテ
ナ」として受信した電波により誘導起電力を発生させる
ことにより、受信した電波を電気エネルギに変換して、
非接触IDタグ100内蔵のタグ用IC101を駆動す
るようになっている。即ち、このタグアンテナ102に
おいて、外部から与えられた交流磁場によりコイルが励
磁され、この励磁エネルギ(誘起電圧)を用いることに
よりタグ用IC101を駆動できるようになっており、
更に、受信した電波の情報をタグ用IC101に渡すよ
うになっている。
【0005】さらに、このタグアンテナ102は、「送
信アンテナ」としてタグ用IC101に記憶されている
ID情報をタグの外に向け発信するようになっている。
即ち、タグ用ID101は、ID情報を記憶するメモリ
101a及びID情報を外部に無線信号として送信する
送受信回路101bを備えているので、非接触IDタグ
100が荷物の陰に隠れていても、外部から励磁するの
みでタグ用IC101が駆動されて、ID情報を送信で
きるようになっている。
【0006】また、非接触IDタグ100からのID読
み取り、又は、非接触IDタグ100への書き込みに
は、専用のリーダ(READER: 読取器) /ライタ(WRITER:
書込器) 200を使用する。このリーダ/ライタ200
は、非接触IDタグ100への非接触給電および非接触
IDタグ100へのID情報送信を行なう送信アンテナ
201と、非接触ID100タグから送信されたIDを
受信する受信アンテナ202とを有しており、更に、情
報を通信用に変調するための変調器207や、発振器2
05、増幅器206、フィルタ203、及び受信したデ
ータを復調する復調器204等を有している。又、この
リーダ/ライタ200は、非接触IDタグから得た情報
を処理する上位計算機(図示せず)とも接続されてい
る。
【0007】ここで、リーダ/ライタ200の送信アン
テナ201から出力する電波によって、タグアンテナ1
02に誘導起電力を発生させて、非接触IDタグ100
に設けられているタグ用IC101を起動し、このタグ
用IC101のデータを、タグアンテナ102からリー
ダ/ライタ200へ返送するようになっている。また、
リーダ/ライタ200の受信アンテナ202で受信され
た信号は、フィルタ203や復調器204を介して、シ
ステム使用可能な受信データに変更され、上位計算機
(図示せず)へ送られる。なお、タグ用IC101への
書き込みは、リーダ/ライタ200から発生された電波
を、非接触IDタグ100側の変調器(図示せず)にお
いて変調することによって可能とする。
【0008】このような構成により、例えば空港での荷
物の運搬/仕分けシステムにおいて、荷物が積載される
便名,行き先等の情報をID情報として記憶された非接
触IDタグを、各荷物に付しておき、荷物の仕分けを行
なう際に、外部から交流磁場を与えるだけで、上述のI
D情報を受信することができ、バーコードのように、荷
物の陰に隠れたタグを識別するような手間を省くことが
できる。
【0009】さて、このような非接触タグを製造するに
あたって、ICチップのチップ電極部と基板上に形成さ
れている電極部との間において確実な電気的接続を得る
ことが重要となるのである。ところで、一般的な半導体
製品製造技術では、ICチップのチップ電極部と、基板
上に形成されている電極部とを電気的に接続する方法と
して、ICチップのチップ電極部もしくは、プリント基
板上に形成された電極部に、バンプと呼ばれる突起を形
成して、ICチップと基板とを圧着または、導電性接着
剤を介在させて接合することにより、電極間の食いつき
を良くして、良好な伝導性を得る方法が知られている。
【0010】ここで、既知のバンプの形成方法として
は、プリント基板の表面に形成された電極部やICチッ
プのチップ電極部に、ボールボンディング法を用いてボ
ールを固着させた後、ボールのネック部で金属ワイヤを
引きちぎることによりバンプを形成する方法が知られて
いる(特公平4−41519号公報参照)。また、プリ
ント基板の表面に形成された電極部やICチップのチッ
プ電極部に、ボールボンディング法を用いてボールを固
着することによりバンプの底部を形成した後、そのボー
ルの上部に金属ワイヤをルーピングし、その金属ワイヤ
の端部を前記入出力電極パッド上に固着して切断するこ
とにより、金属ワイヤからなる高さの揃った逆U字型の
バンプの頂部を底部と一体に形成し、それにより固着し
たボールの先端部を均一な高さに揃え、且つ、2段状に
突出したバンプを形成する方法も知られている(特許第
2506861号参照)。
【0011】さらに、上記の様なワイヤーボンディング
法を利用した作成方法の他に、バンプの作成方法とし
て、ステンシルマスク等を通して導電性の良い金属を電
極上に蒸着して体積させることにより、ピラミッド状の
金属の突起(すなわちバンプ)を形成する方法が知られ
ている。さらに、ICチップのシリコン表面に異方性エ
ッチングにより凹凸を形成し、その凹凸の表面上に導電
性の良い金属を蒸着させることによりバンプを形成する
方法も知られている。
【0012】上記のような種々の方法によってプリント
基板の表面に形成された電極部もしくはICチップの電
極部にバンプを形成した後に、そのバンプと電極が着接
するように位置を合わせて配設してから、ICチップと
基板とを導電性接着剤等を利用して接着するのである。
なお、電極に使用する材質としては、メッキ等で成膜し
易い事、並びに表面に酸化膜が比較的生成しづらく、銅
配線成膜後、特別の処置をしなくとも電子部品との電気
的接合が容易に行なうことができることから、銅が使用
されることが多い。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の非接触タグ製造時のICチップ電極接続方法で
は、基板上の電極部とICチップのチップ電極部との間
に良好な導通を得るために、基板上の電極部やICチッ
プのチップ電極部にバンプを形成するのであるが、この
バンプを形成するために、バンプ作成専用の工程を設け
なければならず、又、その工程は煩雑であり、これによ
り、コストがかかるという課題がある。
【0014】また、従来、基板上に形成する電極の材質
として使用される銅は高価であるため、コスト削減のた
めには、安価なアルミニウムの利用が必要とされる。し
かしながら、アルミニウムは活性化して表面に酸化物を
生成しやすい上、その酸化物である酸化アルミニウム
(Al2 3 )は絶縁性が高いという性質を有する。こ
のため、アルミニウムを電極の材質として使用しようと
する際には、電極間において良好な電気的接続を得るた
めに、その電極の表面に形成される酸化アルミニウム
(Al2 3 )膜をいかに破膜するかという課題があ
る。
【0015】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、ICチップのチップ電極部と、基板上に形成
された電極部とを電気的に接続するために、ICチップ
のチップ電極部や基板上の電極部に予めバンプを形成し
ておかなくとも良好な電気的接続を得ることができ、更
に、電極の材質として、アルミニウム等の活性化して表
面に絶縁性が高い酸化膜を生成しやすい金属を使用する
際にも、その電極表面上に形成される酸化膜を破膜して
良好な電気的接続を得ることができるようにした、非接
触タグにおけるICチップ電極接続構造を提供すること
を目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】このため、請求項1記載
の本発明の非接触タグにおけるICチップ電極接続構造
は、チップ電極部を有するICチップと、該ICチップ
と対向して該チップ電極部と接続されるべきチップ対向
電極部を含む金属箔パターン部を形成されたフィルム状
絶縁基板とをそなえてなる非接触タグにおいて、該チッ
プ電極部と該チップ対向電極部とが、自身が含有する第
1導電粒子よりも大きなサイズの第2導電粒子が入った
導電性接合剤を介して、接続されたことを特徴としてい
る(請求項1)。
【0017】なお、請求項1記載の非接触タグにおける
ICチップ電極接続構造において、該第2導電粒子が、
上記のチップ電極部及びチップ対向電極部の厚さと近似
する粒径を有してもよい(請求項2)。さらに、請求項
1記載の非接触タグにおけるICチップ電極接続構造に
おいて、該第2導電粒子が、上記のチップ電極部及びチ
ップ対向電極部とを接合した際に生じる隙間と近似する
粒径を有してもよい(請求項3)。
【0018】さらに、請求項1記載の非接触タグにおけ
るICチップ電極接続構造において、該導電性接合剤
が、導電性接着剤またはホットメルトであってもよい
(請求項4)。さらに、請求項1記載の非接触タグにお
けるICチップ電極接続構造において、該チップ対向電
極部が、活性化して表面に酸化物を生成しやすい金属か
らなる電極部として構成してもよい(請求項5)。
【0019】さらに、請求項5記載の非接触タグにおけ
るICチップ電極接続構造において、該チップ対向電極
部がアルミニウム箔電極部として構成してもよい(請求
項6)。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、図面により、本発明の一実
施形態としての非接触タグにおけるICチップ電極接続
構造について説明すると、図1は本ICチップ電極接続
構造を説明するための模式図であるが、この図1を用い
て、ICチップ電極接続要領を概略的に説明する。
【0021】さて、フィルム状絶縁基板としてのPET
(ポリエチレン・テレフタレート)基板2の表面には、
コイル状のアルミ箔を貼着することにより、シート状コ
イル部4b(図3(b)参照)とチップ対向電極部4a
とからなるアルミ箔コイル(金属箔パターン部)4が形
成されているが、電極どうしを接続するにあたっては、
まず、このPET基板2が、その表面(PET基板2に
おけるチップ対向電極部4aが形成されている面)を上
に向けて載置される。
【0022】そして、このチップ対向電極部4aに、I
Cチップ1のチップ電極部3が貼着されるのであるが、
この際、チップ対向電極部4aとICチップ1のチップ
電極部3との間隙に導電性接合剤としての導電性接着剤
5Aが配設され、この導電性接着剤5Aを介して、チッ
プ対向電極部4aとICチップ1のチップ電極部3と
が、接続されるようになっている。
【0023】また、この導電性接着剤5Aは、微細な
(数μm程度)銀粒子等の第1導電粒子(図示せず)
と、この第1導電粒子よりも大きなサイズの第2導電粒
子6とを有している導電性の接着剤であり、又、第2導
電粒子6は、銅や鉄等からなる金属粒子であり、複数の
多角形面からなる多面体等の形状を有している。また、
この第2導電粒子6は、ICチップ1をチップ対向電極
部4aへ押圧する際に、チップ電極部3やチップ対向電
極部4aを貫通して、ICチップ1やPET基板2にま
で到達してしまわないように、チップ電極部3及びチッ
プ対向電極部4aの厚さと近似する粒径を有するのが望
ましい。
【0024】さらに、この第2導電粒子bの粒径は、小
さ過ぎると第2導電粒子6がチップ対向電極部4aに到
達できず、チップ対向電極部4aとの間に良好な電気的
接続を得ることができないおそれがあり、一方、大き過
ぎると、導電性接合剤5Aの接着強度に影響を与えたり
するおそれがあるので、チップ電極部3及びチップ対向
電極部4aとを接合した際に生じる隙間と近似する粒径
を有するのが望ましい。
【0025】なお、第2導電粒子6の混入密度は、あま
り粒子数を増やすと接着力が落ちるので、接着強度も重
視して、バンプ形成の密度と同程度が適当である(例え
ば、800μm×2mmあたり10〜20個程度)。こ
のようにICチップ1のチップ電極部3を、導電性接着
剤5Aを介してチップ対向電極部4aに接続させた状態
で、ICチップ1をチップ対向電極部4aに圧着するこ
とによって、導電性接着剤5A中の第2導電粒子6とチ
ップ対向電極部4aとが擦れ合ったり、又、第2導電粒
子6がチップ対向電極部4aに突き刺さったりして、こ
の第2導電粒子6とチップ対向電極部4aの間におい
て、チップ対向電極部4aの表面に形成された酸化アル
ミニウム(Al2 3 )膜が破膜され、チップ電極部3
とチップ対向電極部4aとの間に良好な電気的接続を得
ることができる。
【0026】ここで、本発明の一実施形態としての非接
触タグにおけるICチップ電極接続構造を有する非接触
タグの製造方法について、図2〜図6を用いて説明す
る。ここで、図2は、本発明の一実施形態としてのIC
チップ電極接続構造を有する非接触タグの製造工程を説
明するフローチャートであり、又、図3,図4は図2に
示すフローチャートの各工程における非接触タグを説明
するための図であり、更に、図5,図6は図2に示すフ
ローチャートの各工程(ステップS1〜S7)における
非接触タグの構造を上面(ICチップ1が接着される
側)から見た図である。
【0027】まず、非接触タグを製造するにあたって、
長尺PET基板2′の表裏面の全面にわたってアルミ箔
4′を貼着する(ステップS1)。この状態における非
接触タグの側断面図を図3(a)に、上面図を図5
(a)に示す。次に、所定数の非接触タグが得られるよ
うに、長尺PET基板2′の表裏面に形成されたアルミ
箔4′にエッチングを施すことにより、アルミ箔4′を
コイル状に成形して、チップ対向電極部4a及びシート
状コイル部4bからなるアルミ箔コイル4を形成する
(ステップS2)。この状態における非接触タグの側断
面図を図3(b)、上面図を図5(b)に示す。
【0028】さらに、長尺PET基板2′の表面に形成
された複数のアルミ箔コイル4の電極部(チップ対向電
極部)4aに、接着剤塗布ノズル7Aにより第2導電粒
子6を混入した導電性接着剤5Aを塗布する(ステップ
S3)。この状態における非接触タグの側断面図を図3
(c)、上面図を図6(a)に示す。次に、チップ対向
電極部4aに塗布された導電性接着剤5Aに、ICチッ
プ1のチップ電極部3を圧着する(ステップS4)。こ
の状態における非接触タグの側断面図を図3(d)、上
面図を図6(b)に示す。
【0029】これによって、導電性接着剤5Aに混入さ
れた第2導電粒子6とチップ対向電極部4aとの間にお
いて、チップ対向電極部4aの表面に形成された酸化ア
ルミニウム(Al2 3 )膜が破膜して、チップ電極部
3とチップ対向電極部4aとの間に良好な電気的接続を
得ることができる。次に、ラミネート加工を施して(ス
テップS5)、ICチップ1やアルミ箔コイル4が形成
された長尺PET基板2′全体をラミネート8によって
覆う。この状態における非接触タグの側断面図を図4
(a)に示す。
【0030】さらに、このようにして長尺PET基板
2′上に形成された複数の非接触タグを裁断することに
よって、個々の非接触タグ150に分割する(ステップ
S6)。この状態における非接触タグを模式的に示す側
面図を図4(b)に示す。最後に、出来上がった非接触
タグ150を印字紙160に接着する(ステップS
7)。なお、この状態における非接触タグを模式的に示
す側面図を図4(c)、上面図を図6(c)に示す。な
お、図6(c)において符号150は非接触タグ、16
0は印字紙、160aは印字紙160の印刷面、170
はバーコード、180は印刷面160a上に印刷される
文字を示す。
【0031】このように、本発明の一実施形態としての
非接触タグにおけるICチップ電極接続構造によれば、
第2導電粒子6が入った導電性接着剤5Aを介して、I
Cチップ1のチップ対向電極部3をチップ対向電極部4
aに圧着することによって、第2導電粒子6とチップ対
向電極部4aとが擦れ合い、もしくは第2導電粒子6が
チップ対向電極部4aにつきささり、チップ電極部3
と、チップ対向電極部4aとの間で、良好な電気的接続
を得ることができ、バンプを利用する場合と同様な効果
を得ることができる。
【0032】すなわち、事前に電極部にバンプを形成す
る必要がないことから、バンプを作成するための煩雑な
工程を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を
節約できるとともに経済的である。また、第2導電粒子
6が入った導電性接着剤5Aを介して、ICチップ1の
チップ対向電極部3をチップ対向電極部4aに圧着する
ことによって、第2導電粒子6とチップ対向電極部4a
とが擦れ合い、もしくは第2導電粒子6がちチップ対向
電極部4aにつきささり、アルミニウム等の活性化して
表面に酸化物を生成し易い金属からなるチップ対向電極
部4aの表面に形成された酸化アルミニウム膜を破膜す
ることにより、チップ電極部3と、チップ対向電極部4
aとの間で、良好な電気的接続を得ることができること
から、絶縁性が高い酸化物が表面に生成し易いが安価で
あるアルミニウムを電極の材質として使用することがで
き、コストを削減することができる。
【0033】また、チップ対向電極部4aがチタン等の
アルミニウム以外の活性化し易い金属を材質として構成
された場合において、上述の実施形態にかかる構造を同
様の要領で適用した場合にも、同様な効果を得ることが
できる。さらに、上述した実施形態では、フィルム状絶
縁基板の材質としてPET(ポリエチレン・テレフタレ
ート)を使用しているが、それに限定されるものではな
く、PE(ポリエチレン)等の熱可塑性プラスチックを
使用してもよい。
【0034】また、上記実施形態では、導電性接合剤と
して導電性接着剤5Aを用いているが、それに限定され
るものではなく、導電性接合剤としてホットメルトを用
いてもよい。ここで、このように導電性接合剤としてホ
ットメルトを用いた場合における、本ICチップ電極接
続構造を有する非接触タグの製造方法について、図7,
図8を用いて説明する。ここで、図7は、導電性接合剤
としてホットメルトを使用した場合における、本ICチ
ップ電極接続構造を有する非接触タグの製造工程を説明
するフローチャートであり、又、図8は図7に示すフロ
ーチャートにおける非接触タグの製造工程を説明するた
めの側断面図である。
【0035】なお、この際、長尺PET基板2′の表裏
面にアルミ箔4′を貼着して、これらのアルミ箔4′に
エッチングを施し、アルミ箔コイル4,4Aを形成する
工程(図7のステップS1′,S2′)は、前述した実
施形態(図2のステップS1,S2に示す工程)とほぼ
同様であり、又、ICチップ1のチップ電極部3をチッ
プ対向電極部4aに圧着させる工程以降(図7のステッ
プS4′〜ステップS7′)も、前述した実施形態(図
2のステップS4〜ステップS7に示す工程)とほぼ同
様であるため、その説明は省略する。
【0036】まず、図8(a)に示すように、長尺PE
T基板2′の表面に形成されたチップ対向電極部4a
に、ホットメルト塗布ノズル7Bによりホットメルト5
Bを塗布する(図7のステップS31)。次に、図8
(b)に示すように、第2導電粒子6を、チップ対向電
極部4a上に塗布されたホットメルト5B上に、散布す
る(図7のステップS32)。なお、ここで、図示しな
い空気吐出手段によって、余分な第2導電粒子6を除去
してもよい。
【0037】さらに、この後、ICチップ1をチップ対
向電極部4aに圧着することによって、ホットメルト5
B上に散布された第2導電粒子6とチップ対向電極部4
aとの間において、チップ対向電極部4aの表面に形成
された酸化アルミニウム(Al2 3 )膜が破膜して、
チップ電極部3とチップ対向電極部4aとの間に良好な
電気的接続を得ることができる。
【0038】このように、導電性接合剤としてホットメ
ルト6Bを用いた場合においても、同様に、本ICチッ
プ電極接続構造によれば、表面に第2導電粒子6を散布
したホットメルト5Bを介して、ICチップ1のチップ
対向電極部3をチップ対向電極部4aに圧着することに
よって、第2導電粒子6とチップ対向電極部4aとが擦
れ合い、もしくは第2導電粒子6がチップ対向電極部4
aにつきささり、チップ電極部3と、チップ対向電極部
4aとの間で、良好な電気的接続を得ることができ、バ
ンプを利用する場合と同様な効果を得ることができる。
【0039】すなわち、事前に電極部にバンプを形成す
る必要がないことから、バンプを作成するための煩雑な
工程を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を
節約できるとともに経済的である。また、表面に第2導
電粒子6を散布したホットメルト5Bを介して、ICチ
ップ1のチップ対向電極部3をチップ対向電極部4aに
圧着することによって、第2導電粒子6とチップ対向電
極部4aとが擦れ合い、もしくは第2導電粒子6がちチ
ップ対向電極部4aにつきささり、アルミニウム等の活
性化して表面に酸化物を生成し易い金属からなるチップ
対向電極部4aの表面に形成された酸化アルミニウム膜
を破膜することにより、チップ電極部3と、チップ対向
電極部4aとの間で、良好な電気的接続を得ることがで
きることから、絶縁性が高い酸化物が表面に生成し易い
が安価であるアルミニウムを電極の材質として使用する
ことができ、コストを削減することができる。
【0040】また、チップ対向電極部4aがチタン等の
アルミニウム以外の活性化し易い金属を材質として構成
された場合において、上述の実施形態にかかる構造を同
様の要領で適用した場合にも、同様な効果を得ることが
できるのである。
【0041】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1記載の本
発明の非接触タグにおけるICチップ電極接続構造によ
れば、ICチップのチップ電極部とチップ対向電極部と
を電気的に接続する過程において、チップ電極部とチッ
プ対向電極部とが、自信が含有する第1導電粒子よりも
大きな第2導電粒子が入った導電性接合剤を介して接続
されることにより、第2導電粒子とチップ対向電極部と
が擦れ合い、もしくは第2導電粒子がチップ対向電極部
につきささり、ICチップのチップ電極部とチップ対向
電極部との間において良好な電気的接続を得ることがで
き、バンプを利用した場合と同様の効果を得ることがで
きる。すなわち、事前に電極部にバンプを形成する必要
がないことから、バンプを作成するための煩雑な工程を
省くことができ、バンプ作成工程のための時間を節約で
きるとともに経済的であるという利点がある。
【0042】また、この際、第2導電粒子が、チップ電
極及びチップ対向電極部の厚さと近似する粒径を有する
ことにより、第2導電粒子がチップ電極部を貫通してI
Cチップを損傷させたり、チップ対向電極部を貫通して
フィルム状絶縁基板を損傷させたりすることがない(請
求項2)。また、第2導電粒子が、チップ電極部及びチ
ップ対向電虚部とを接合した際に生じる隙間と近似する
粒径を有することにより、第2導電粒子の粒径が小さ過
ぎるために第2導電粒子がチップ対向電極部に到達でき
ず、チップ対向電極部との間に良好な電気的接続を得る
ことができなかったり、逆に、第2導電粒子が大き過ぎ
るために、導電性接合剤の接着強度に影響を与えたりす
るおそれがない(請求項3)。
【0043】また、導電性接合剤が導電性接着剤やホッ
トメルトであっても、第2導電粒子とチップ対向電極部
とが擦れ合い、もしくは第2導電粒子がチップ対向電極
部につきささり、ICチップのチップ電極部とチップ対
向電極部との間において良好な電気的接続を得ることが
でき、バンプを利用した場合と同様の効果を得ることが
できる。すなわち、事前に電極部にバンプを形成する必
要がないことから、バンプを作成するための煩雑な工程
を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を節約
できるとともに経済的であるという利点がある(請求項
4)。
【0044】さらに、請求項5,請求項6記載の本発明
の非接触タグにおけるICチップ電極接続構造によれ
ば、ICチップのチップ電極部とチップ対向電極部とを
電気的に接続する過程において、チップ電極部とチップ
対向電極部とが、自信が含有する第1導電粒子よりも大
きな第2導電粒子が入った導電性接合剤を介して接続さ
れることにより、第2導電粒子とチップ対向電極部とが
擦れ合い、もしくは第2導電粒子がチップ対向電極部に
つきささり、ICチップのチップ電極部とチップ対向電
極部との間において良好な電気的接続を得ることがで
き、更に、チップ対向電極の材料として、活性化して表
面に酸化物を生成しやすい金属(アルミニウム等)を使
用する際にも、第2導電粒子によって、この活性化しや
すい金属(アルミニウム等)製の電極表面上に形成され
る酸化物(酸化アルミニウム等)膜を破膜して良好な電
気的接続を得ることができることから、活性化して表面
に絶縁性の高い酸化物を生成しやすい金属(アルミニウ
ム等)を電極の材質として使用することができ、コスト
の削減を行なうことができるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態としての非接触タグにおけ
るICチップ電極接続構造を説明するための模式図であ
る。
【図2】非接触タグの製造工程を説明するフローチャー
トである。
【図3】(a)〜(d)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触タグの側断面図である。
【図4】(a)〜(c)は図2に示すフローチャートの
各工程を説明するための図である。
【図5】(a),(b)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触タグの構造を上面から見た図であ
る。
【図6】(a)〜(c)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触タグの構造を上面から見た図であ
る。
【図7】非接触タグの製造工程を説明するフローチャー
トである。
【図8】(a),(b)は本発明の一実施形態としての
非接触タグの製造工程を説明するための側断面図であ
る。
【図9】非接触IDタグシステムのハード構成を示すブ
ロック図である。
【符号の説明】 1 ICチップ 2 PET基板(フィルム状絶縁基板) 2′ 長尺PET基板(フィルム状絶縁基板) 3 チップ電極部 4 アルミ箔コイル部(金属箔パターン部) 4′ アルミ箔 4a チップ対向電極部 4b シート状コイル部 5A 導電性接着剤(導電性接合剤) 5B ホットメルト(導電性接合剤) 6 第2導電粒子 7A 接着剤塗布用ノズル 7B ホットメルト塗布用ノズル

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チップ電極部を有するICチップと、該
    ICチップと対向して該チップ電極部と接続されるべき
    チップ対向電極部を含む金属箔パターン部を形成された
    フィルム状絶縁基板とをそなえてなる非接触タグにおい
    て、 該チップ電極部と該チップ対向電極部とが、自身が含有
    する第1導電粒子よりも大きなサイズの第2導電粒子が
    入った導電性接合剤を介して、接続されたことを特徴と
    する、非接触タグにおけるICチップ電極接続構造。
  2. 【請求項2】 該第2導電粒子が、上記のチップ電極部
    及びチップ対向電極部の厚さと近似する粒径を有するこ
    とを特徴とする、請求項1記載の非接触タグにおけるI
    Cチップ電極接続構造。
  3. 【請求項3】 該第2導電粒子が、上記のチップ電極部
    及びチップ対向電極部とを接合した際に生じる隙間と近
    似する粒径を有することを特徴とする、請求項1記載の
    非接触タグにおけるICチップ電極接続構造。
  4. 【請求項4】 該導電性接合剤が、導電性接着剤または
    ホットメルトであることを特徴とする、請求項1記載の
    非接触タグにおけるICチップ電極接続構造。
  5. 【請求項5】 該チップ対向電極部が、活性化して表面
    に酸化物を生成しやすい金属からなる電極部として構成
    されたことを特徴とする、請求項1記載の非接触タグに
    おけるICチップ電極接続構造。
  6. 【請求項6】 該チップ対向電極部がアルミニウム箔電
    極部として構成されたことを特徴とする、請求項5記載
    の非接触タグにおけるICチップ電極接続構造。
JP20796797A 1997-08-01 1997-08-01 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造 Withdrawn JPH1154547A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20796797A JPH1154547A (ja) 1997-08-01 1997-08-01 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20796797A JPH1154547A (ja) 1997-08-01 1997-08-01 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1154547A true JPH1154547A (ja) 1999-02-26

Family

ID=16548491

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP20796797A Withdrawn JPH1154547A (ja) 1997-08-01 1997-08-01 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1154547A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10120928C1 (de) * 2001-04-30 2002-10-31 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Erstellen einer Kontaktverbindung zwischen einem Halbleiterchip und einem Substrat, insbesondere zwischen einem Speichermodulchip und einem Speichermodulboard

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10120928C1 (de) * 2001-04-30 2002-10-31 Infineon Technologies Ag Verfahren zum Erstellen einer Kontaktverbindung zwischen einem Halbleiterchip und einem Substrat, insbesondere zwischen einem Speichermodulchip und einem Speichermodulboard

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100691593B1 (ko) 반도체 장치
US8322624B2 (en) Smart card with switchable matching antenna
KR101105626B1 (ko) 반도체장치, 반도체장치의 제조방법, 전자상거래방법 및트랜스폰더 독취장치
US7646304B2 (en) Transfer tape strap process
US7404522B2 (en) Information carrier, information recording medium, sensor, commodity management method
JP2003085501A (ja) 非接触icタグ
JP2004078991A (ja) 半導体装置およびその製造方法
WO2002099764A1 (en) Capacitively powered data communication system with tag and circuit carrier apparatus for use therein
JPH1154547A (ja) 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造
EP1143378A1 (en) Method for manufacturing of RFID inlet
JP2002007992A (ja) 電子タグ
JP2001175829A (ja) 非接触式データキャリアおよびicチップ
JPH1154548A (ja) 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造
JPH1187888A (ja) フィルム状絶縁基板の表裏面金属箔パターン部接続方法
JP4848214B2 (ja) 非接触icタグ
JPH1153501A (ja) 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造
JPH1187411A (ja) 非接触タグにおけるicチップ電極接続構造
JP2006195796A (ja) Icタグ及びicタグインレット
JPH1154546A (ja) 非接触タグ製造時のicチップ電極接続方法
JPH1187412A (ja) 非接触タグ製造時のicチップ電極接続方法
JP2015108933A (ja) 非接触式icカード
JP2000298719A (ja) 非接触icカードおよびそのアンテナ共振回路の調整方法
JPH1131710A (ja) 非接触タグ製造時のicチップ電極接続方法及び装置
JPH11259615A (ja) Icカード
JP2002221902A (ja) 荷物用紙製タグおよびその製法

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20041005