JPH1131710A - 非接触タグ製造時のicチップ電極接続方法及び装置 - Google Patents

非接触タグ製造時のicチップ電極接続方法及び装置

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JPH1131710A
JPH1131710A JP18677697A JP18677697A JPH1131710A JP H1131710 A JPH1131710 A JP H1131710A JP 18677697 A JP18677697 A JP 18677697A JP 18677697 A JP18677697 A JP 18677697A JP H1131710 A JPH1131710 A JP H1131710A
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JP
Japan
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chip
electrode portion
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film
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JP18677697A
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Hiroshi Kuromaru
廣志 黒丸
Satoshi Kiriyama
聰 桐山
Makio Atsumi
真喜男 厚見
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • HELECTRICITY
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ICチップのチップ電極部と、基板上に形成
された電極部とを電気的に接続するために、ICチップ
のチップ電極部や基板上の電極部に予めバンプを形成し
ておかなくとも良好な電気的接続を得ることができ、更
に、電極の材料として、アルミニウム等の活性化して表
面に絶縁性が高い酸化膜を生成しやすい金属を使用する
際にも、その電極表面上に形成される酸化膜を破膜して
良好な電気的接続を得ることができるようにする。 【解決手段】 チップ電極部3とチップ対向電極部4a
とを接続する電極接続工程と同時に、チップ対向電極部
4aに、チップ電極部3へ突出する突出接点部6を形成
するように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非接触ID(Iden
tification)タグ製造時におけるICチップのチップ電
極と基板上に形成された電極との電気的接続に用いて好
適な非接触タグ製造時のICチップ電極接続方法及び装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】非接触IDタグは、バーコードに代わる
物流の仕分け装置として重要な要素技術の一つであり、
この非接触IDタグを用いることにより、バーコードで
は識別が困難な、荷物などの陰に隠れたタグの識別が可
能となる。この非接触IDタグは、PET(ポリエチレ
ン・テレフタレート)等の熱可塑性プラスチック製の基
板上に、外部から与えられた交流磁場により励磁される
タグアンテナをそなえるとともに、タグ用IC(Integr
ated Circuit)等を備えて構成されている。
【0003】図16は非接触IDタグシステムのハード
構成を示すブロック図であり、この図を使用して非接触
IDタグについての説明を行なう。ここで、タグ用IC
101はチップ化された超小型のマイコンであり、ID
情報を記憶するメモリ101a、情報を通信用に変調・
復調する送・受信回路101b、及び情報の暗号化,計
算等の処理を行なうマイクロプロセッサ(図示せず)等
から構成される。
【0004】また、タグアンテナ102は、基板の表裏
面に形成されたシート状コイルであり、「受信アンテ
ナ」として受信した電波により誘導起電力を発生させる
ことにより、受信した電波を電気エネルギに変換して、
非接触IDタグ100内蔵のタグ用IC101を駆動す
るようになっている。即ち、このタグアンテナ102に
おいて、外部から与えられた交流磁場によりコイルが励
磁され、この励磁エネルギ(誘起電圧)を用いることに
よりタグ用IC101を駆動できるようになっており、
更に、受信した電波の情報をタグ用IC101に渡すよ
うになっている。
【0005】さらに、このタグアンテナ102は、「送
信アンテナ」としてタグ用IC101に記憶されている
ID情報をタグの外に向け発信するようになっている。
即ち、タグ用ID101は、ID情報を記憶するメモリ
101a及びID情報を外部に無線信号として送信する
送受信回路101bを備えているので、非接触IDタグ
100が荷物の陰に隠れていても、外部から励磁するの
みでタグ用IC101が駆動されて、ID情報を送信で
きるようになっている。
【0006】また、非接触IDタグ100からのID読
み取り、又は、非接触IDタグ100への書き込みに
は、専用のリーダ(READER: 読取器) /ライタ(WRITER:
書込器) 200を使用する。このリーダ/ライタ200
は、非接触IDタグ100への非接触給電および非接触
IDタグ100へのID情報送信を行なう送信アンテナ
201と、非接触ID100タグから送信されたIDを
受信する受信アンテナ202とを有しており、更に、情
報を通信用に変調するための変調器207や、発振器2
05、増幅器206、フィルタ203、及び受信したデ
ータを復調する復調器204等を有している。又、この
リーダ/ライタ200は、非接触IDタグから得た情報
を処理する上位計算機(図示せず)とも接続されてい
る。
【0007】ここで、リーダ/ライタ200の送信アン
テナ201から出力する電波によって、タグアンテナ1
02に誘導起電力を発生させて、非接触IDタグ100
に設けられているタグ用IC101を起動し、このタグ
用IC101のデータを、タグアンテナ102からリー
ダ/ライタ200へ返送するようになっている。また、
リーダ/ライタ200の受信アンテナ202で受信され
た信号は、フィルタ203や復調器204を介して、シ
ステム使用可能な受信データに変更され、上位計算機
(図示せず)へ送られる。なお、タグ用IC101への
書き込みは、リーダ/ライタ200から発生された電波
を、非接触IDタグ100側の変調器(図示せず)にお
いて変調することによって可能とする。
【0008】このような構成により、例えば空港での荷
物の運搬/仕分けシステムにおいて、荷物が積載される
便名,行き先等の情報をID情報として記憶された非接
触IDタグを、各荷物に付しておき、荷物の仕分けを行
なう際に、外部から交流磁場を与えるだけで、上述のI
D情報を受信することができ、バーコードのように、荷
物の陰に隠れたタグを識別するような手間を省くことが
できる。
【0009】さて、このような非接触タグを製造するに
あたって、ICチップのチップ電極部と基板上に形成さ
れている電極部との間において確実な電気的接続を得る
ことが重要となるのである。ところで、一般的な半導体
製品製造技術では、ICチップのチップ電極部と、基板
上に形成されている電極部とを電気的に接続する方法と
して、ICチップのチップ電極部もしくは、プリント基
板上に形成された電極部に、バンプと呼ばれる突起を形
成して、ICチップと基板とを圧着または、導電性接着
剤を介在させて接合することにより、電極間の食いつき
を良くして、良好な伝導性を得る方法が知られている。
【0010】ここで、既知のバンプの形成方法として
は、プリント基板の表面に形成された電極部やICチッ
プのチップ電極部に、ボールボンディング法を用いてボ
ールを固着させた後、ボールのネック部で金属ワイヤを
引きちぎることによりバンプを形成する方法が知られて
いる(特公平4−41519号公報参照)。また、プリ
ント基板の表面に形成された電極部やICチップのチッ
プ電極部に、ボールボンディング法を用いてボールを固
着することによりバンプの底部を形成した後、そのボー
ルの上部に金属ワイヤをルーピングし、その金属ワイヤ
の端部を前記入出力電極パッド上に固着して切断するこ
とにより、金属ワイヤからなる高さの揃った逆U字型の
バンプの頂部を底部と一体に形成し、それにより固着し
たボールの先端部を均一な高さに揃え、且つ、2段状に
突出したバンプを形成する方法も知られている(特許第
2506861号参照)。
【0011】さらに、上記の様なワイヤーボンディング
法を利用した作成方法の他に、バンプの作成方法とし
て、ステンシルマスク等を通して導電性の良い金属を電
極上に蒸着して体積させることにより、ピラミッド状の
金属の突起(すなわちバンプ)を形成する方法が知られ
ている。さらに、ICチップのシリコン表面に異方性エ
ッチングにより凹凸を形成し、その凹凸の表面上に導電
性の良い金属を蒸着させることによりバンプを形成する
方法も知られている。
【0012】上記のような種々の方法によってプリント
基板の表面に形成された電極部もしくはICチップの電
極部にバンプを形成した後に、そのバンプと電極が着接
するように位置を合わせて配設してから、ICチップと
基板とを導電性接着剤等を利用して接着するのである。
なお、電極に使用する材質としては、メッキ等で成膜し
易い事、並びに表面に酸化膜が比較的生成しづらく、銅
配線成膜後、特別の処置をしなくとも電子部品との電気
的接合が容易に行なうことができることから、銅が使用
されることが多い。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の非接触タグ製造時のICチップ電極接続方法で
は、基板上の電極部とICチップのチップ電極部との間
に良好な導通を得るために、基板上の電極部やICチッ
プのチップ電極部にバンプを形成するのであるが、この
バンプを形成するために、バンプ作成専用の工程を設け
なければならず、又、その工程は煩雑であり、これによ
り、コストがかかるという課題がある。
【0014】また、従来、基板上に形成する電極の材質
として使用される銅は高価であるため、コスト削減のた
めには、安価なアルミニウムの利用が必要とされる。し
かしながら、アルミニウムは活性化して表面に酸化物を
生成しやすい上、その酸化物である酸化アルミニウム
(Al2 3 )は絶縁性が高いという性質を有する。こ
のため、アルミニウムを電極の材質として使用しようと
する際には、電極間において良好な電気的接続を得るた
めに、その電極の表面に形成される酸化アルミニウム
(Al2 3 )膜をいかに破膜するかという課題があ
る。
【0015】本発明は、このような課題に鑑み創案され
たもので、ICチップのチップ電極部と、基板上に形成
された電極部とを電気的に接続するために、ICチップ
のチップ電極部や基板上の電極部に予めバンプを形成し
ておかなくとも良好な電気的接続を得ることができ、更
に、電極の材質として、アルミニウム等の活性化して表
面に絶縁性が高い酸化膜を生成しやすい金属を使用する
際にも、その電極表面上に形成される酸化膜を破膜して
良好な電気的接続を得ることができるようにした、非接
触タグ製造時のICチップ電極接続方法及び装置を提供
することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】このため、請求項1記載
の本発明の非接触タグ製造時のICチップ電極接続方法
は、チップ電極部を有するICチップと、該ICチップ
と対向して該チップ電極部と接続されるべきチップ対向
電極部を含む金属箔パターン部を形成されたフィルム状
絶縁基板とをそなえてなる非接触タグを製造する際に、
該チップ電極部と該チップ対向電極部とを接続する電極
接続工程と同時に、該チップ対向電極部に、該チップ電
極部へ突出する突出接点部を形成することを特徴として
いる(請求項1)。
【0017】なお、請求項1記載の非接触タグ製造時の
ICチップ電極接続方法において、該チップ対向電極部
に、該チップ電極部へ突出する該突出接点部を形成する
に際しては、該チップ対向電極部と該チップ電極部とを
密着したあと、該フィルム状絶縁基板における該チップ
対向電極部の形成面とは反対側の面から、局所的な圧力
をかけて、該突出接点部を形成してもよい(請求項
2)。
【0018】さらに、請求項2記載の非接触タグ製造時
のICチップ電極接続方法において、該チップ対向電極
部に、該チップ電極部へ突出する該突出接点部を形成す
るに際しては、該チップ対向電極部と該チップ電極部と
を密着したあと、該フィルム状絶縁基板における該チッ
プ対向電極部の形成面とは反対側の面から、先鋭部材に
より、該局所的な圧力をかけて、該突出接点部を形成し
てもよい(請求項3)。
【0019】さらに、請求項1記載の非接触タグ製造時
のICチップ電極接続方法において、該チップ対向電極
部が、活性化して表面に酸化物を生成しやすい金属から
なる電極部として構成してもよい(請求項4)。さら
に、請求項4記載の非接触タグ製造時のICチップ電極
接続方法において、該活性化して表面に酸化物を生成し
やすい金属が、アルミニウムとしてもよい(請求項
5)。
【0020】また、本発明の非接触タグ製造時のICチ
ップ電極接続装置は、チップ電極部を有するICチップ
と、該ICチップと対向して該チップ電極部と接続され
るべきチップ対向電極部を含む金属箔パターン部を形成
されたフィルム状絶縁基板とをそなえてなる非接触タグ
における、該チップ電極部と該チップ対向電極部とを接
続する装置において、一部に開口を有する搬送面上に、
該金属箔パターン部が上を向くように該フィルム状絶縁
基板を載置して該フィルム状絶縁基板を搬送する絶縁基
板搬送手段と、該ICチップを搬送して、該絶縁基板搬
送手段にて搬送されてきた該フィルム状絶縁基板の該チ
ップ対向電極部に該ICチップの該チップ電極部を密着
させるICチップ搬送手段と、該チップ対向電極部と該
チップ電極部とを密着したあとに、該絶縁基板搬送手段
の該搬送面に形成された開口を通じて、該フィルム状絶
縁基板における該チップ対向電極部の形成面とは反対側
の面から、局所的な圧力をかけて、該突出接点部を形成
する突出接点部形成手段とをそなえて構成されたことを
特徴としている(請求項6)。
【0021】なお、請求項6記載の非接触タグ製造時の
ICチップ電極接続装置において、該絶縁基板搬送手段
を、メッシュ状のベルトコンベアとして構成してもよい
(請求項7)。さらに、請求項6記載の非接触タグ製造
時のICチップ電極接続装置において、該ICチップ搬
送手段と該突出接点部形成手段とが同期して動作するよ
うに構成してもよい(請求項8)。
【0022】さらに、請求項6記載の非接触タグ製造時
のICチップ電極接続装置において、該突出接点部形成
手段が、該絶縁基板搬送手段の該搬送面に形成された開
口を通じて、該フィルム状絶縁基板における該チップ対
向電極部の形成面とは反対側の面から、局所的な圧力を
かける先鋭部材をそなえて構成してもよい(請求項
9)。
【0023】また、本発明の非接触タグ製造時のICチ
ップ電極接続装置は、チップ電極部を有するICチップ
と、該ICチップと対向して該チップ電極部と接続され
るとともに活性化して表面に酸化物を生成しやすい金属
からなるチップ対向電極部を含む金属箔パターン部を形
成されたフィルム状熱可塑性プラスチック基板とをそな
えてなる非接触タグにおける、該チップ電極部と該チッ
プ対向電極部とを接続する装置において、メッシュ状搬
送面上に、該金属箔パターン部が上を向くように該フィ
ルム状熱可塑性プラスチック基板を載置して該フィルム
状熱可塑性プラスチック基板を搬送するメッシュ状のベ
ルトコンベアと、該ICチップを搬送して、該メッシュ
状のベルトコンベアにて搬送されてきた該フィルム状熱
可塑性プラスチック基板の該チップ対向電極部に該IC
チップのチップ電極部を密着させるICチップ搬送機構
と、該ICチップ搬送機構と同期して動作し、該チップ
対向電極部と該チップ電極部とを密着したあとに、該ベ
ルトコンベアの該メッシュ状搬送面の裏側から、先鋭部
材を駆動して、該フィルム状熱可塑性プラスチック基板
における該チップ対向電極部の形成面とは反対側の面か
ら、該先鋭部材により、局所的な圧力をかけて、該突出
接点部を形成する突出接点部形成機構とをそなえて構成
されたことを特徴としている(請求項10)。
【0024】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を説明する。 (A)非接触IDタグ製造時のICチップ電極接続方法
の説明 図1は本発明の一実施形態としての非接触IDタグ製造
時のICチップ電極接続方法を説明するための模式図で
あるが、この図1を用いて、本方法を概略的に説明す
る。
【0025】さて、フィルム状絶縁基板としてのPET
(ポリエチレン・テレフタレート)基板2の表面には、
コイル状のアルミ箔を貼着することにより、シート状コ
イル部4bとチップ対向電極部4aとからなるアルミ箔
コイル(金属箔パターン部)4が形成されているが、本
方法を実施するにあたっては、まず、このPET基板2
が、その表面(PET基板2におけるチップ対向電極部
4aが形成されている面)を上に向けて載置される。
【0026】そして、このチップ対向電極部4aに導電
性接着剤5を塗布し、その後、ICチップ1のチップ電
極部3が貼着される。このとき、ICチップ1のチップ
電極部3はチップ対向電極部4aに密着した状態となっ
ている(図1の左半部参照)。さらに、このようにIC
チップ1のチップ電極部3をチップ対向電極部4aに密
着させた状態で、PET基板2の裏面(PET基板2に
おけるチップ対向電極部4aの形成面とは反対側の面)
からPET基板凸面形状形成用加圧針(先鋭部材)7を
押圧して局所的な圧力をかけることにより、突出接点部
6が形成される。
【0027】このとき、この突出接点部6の先端部では
Al2 3 膜が破膜され、このAl 2 3 膜が破膜され
た突出接点部6の先端部において、チップ対向電極部4
aは、チップ電極部3の下端面に当接する(図1の右半
部参照)。すなわち、本方法は非接触IDタグを製造す
る際に、チップ電極部3とチップ対向電極部4aとを接
続する電極接続工程と同時に、チップ対向電極部4a部
に、チップ電極部3へ突出する突出接点部6を形成する
のである。
【0028】次に、本発明の一実施形態としての非接触
IDタグの製造方法について、図2〜図7を用いて更に
詳細に説明する。ここで、図2は本発明の一実施形態と
しての非接触IDタグを製造する工程を説明するフロー
チャートであり、又、図3〜図5は図2に示すフローチ
ャートの各工程における非接触IDタグを説明するため
の図であり、更に、図6,図7は図2に示すフローチャ
ートの各工程における非接触IDタグの構造を上面(I
Cチップ1が接着される側)から見た図である。
【0029】まず、非接触IDタグを製造するにあたっ
て、長尺PET基板2′の表裏面の全面にわたってアル
ミ箔4′を貼着する(ステップS1)。この状態におけ
る非接触IDタグの側断面図を図3(a)に、上面図を
図6(a)に示す。次に、所定数の非接触IDタグが得
られるように、長尺PET基板2′の表裏面に形成され
たアルミ箔4′にエッチングを施すことにより、アルミ
箔4′をコイル状に成形して、チップ対向電極部4a及
びシート状コイル部4bからなるアルミ箔コイル4を形
成する(ステップS2)。この状態における非接触ID
タグの側断面図を図3(b)、上面図を図6(b)に示
す。
【0030】さらに、長尺PET基板2′の表面に形成
された複数のアルミ箔コイル4の電極部(チップ対向電
極部)4aに、導電性接着剤5によってICチップ1の
チップ電極部3を貼着する(ステップS3)。この状態
における非接触IDタグの側断面図を図3(c)、上面
図を図7(a)に示す。この状態で、長尺PET基板
2′の裏面(長尺PET基板2′におけるチップ対向電
極3の形成面とは反対側の面)から先鋭部材であるPE
T基板凸面形状形成用針7を押圧して局所的な圧力をか
けることによって、突出接点部6を形成する(ステップ
S4)。なお、この形成過程における非接触IDタグの
側断面図を図4(a)〜(d)に示し、更に、上面から
見た、チップ電極部3とチップ対向電極部4aとの接続
部分の断面図を、図7(b)に示す。なお、この図7
(b)では、シート状コイル部4bが省略されている。
【0031】さらに、突出接点部6を形成する過程を図
4(a)〜(d)を使用して詳細に説明すると、先ず、
図4(a)に示すように、突出接点部6を形成するチッ
プ対向電極部4aの下側にPET基板凸面形状形成用加
圧針7を配設する。次に、PET基板凸面形状形成用加
圧針7を上昇させて、図4(b)に示すようにPET基
板凸面形状形成用加圧針7を長尺PET基板2′に押圧
することにより、長尺PET基板基板2′、チップ対向
電極部4a、及び導電性接着剤5を変形させて、突出接
点部6を形成する。又、この際、突出接点部6の先端部
において、チップ対向電極部4aがチップ電極部3の下
端面に当接するようにする。
【0032】これによって、突出接点部6の先端部にお
いて、チップ対向電極部4aの表面に形成された酸化ア
ルミニウム(Al2 3 )膜が破膜して、チップ電極部
3とチップ対向電極部4aとの間に良好な電気的接続を
得ることができる。なお、ICチップ1のチップ電極部
3は金製であるため、その表面に絶縁性が高い酸化膜が
形成されるおそれがなく、敢えて表面の酸化膜を破膜す
る手段を設ける必要はない。
【0033】最後に、図4(c)に示すように、PET
基板凸面形状形成用加圧針7を下降させて長尺PET基
板2′から離すことによって、図4(d)に示すように
チップ対向電極部4aに突出接点部6が形成される。次
に、ラミネート加工を施して(ステップS5)、ICチ
ップ1やアルミ箔コイル4が形成された長尺PET基板
2′全体をラミネート8によって覆う。この状態におけ
る非接触IDタグの側断面図を図5(a)に示す。
【0034】さらに、このようにして長尺PET基板
2′上に形成された複数の非接触IDタグを裁断するこ
とによって、個々の非接触IDタグ150に分割する
(ステップS6)。この状態における非接触IDタグを
模式的に示す側面図を図5(b)に示す。最後に、出来
上がった非接触IDタグ150を印字紙160に接着す
る(ステップS7)。なお、この状態における非接触I
Dタグを模式的に示す側面図を図5(c)、上面図を図
7(c)に示す。なお、図7(c)において符号150
は非接触IDタグ、160は印字紙、160aは印字紙
160の印刷面、170はバーコード、180は印刷面
160a上に印刷される文字を示す。
【0035】このように、本発明の一実施形態としての
非接触IDタグ製造時のICチップ電極接続方法によれ
ば、PET基板2(長尺PET基板2′)にICチップ
1を接続する過程において、PET基板2(長尺PET
基板2′)やチップ対向電極部4aに局所的に圧力をか
けて変形させ、突出接点部6を形成することによって、
チップ電極部3の下端面にチップ対向電極部4aが押圧
され、アルミニウムからなるチップ対向電極部4aの表
面に形成されたAl2 3 膜を破膜するために、ICチ
ップ1のチップ電極部3とチップ対向電極部4aとの間
において良好な電気的接続を得ることができることか
ら、絶縁性が高い酸化物が表面に生成し易いアルミニウ
ムを電極の材質として使用することができ、コストを削
減することができる。
【0036】また、事前に電極部にバンプを形成する必
要がないことから、バンプを作成するための煩雑な工程
を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を節約
できるとともに経済的である。 (B)非接触IDタグ製造時のICチップ電極接続装置
の説明 図8は本発明の一実施形態としての非接触IDタグ製造
時のICチップ電極接続装置を模式的に示す斜視図であ
る。
【0037】この図8に示すように、本発明の一実施形
態としてのICチップ電極接続装置は、絶縁基板搬送装
置としてベルトコンベア11を有しており、このベルト
コンベア11には、搬送面としてメッシュ状の開口を有
するベルト(以下メッシュ状ベルトという)10が装架
されていて、このメッシュ状ベルト10の上面に、その
表面上に形成されたアルミ箔コイル4が上を向くように
長尺PET基板2′が載置されるようになっている。な
お、図8中において、符号20は長尺PET基板2′上
の非接触IDタグ加工領域であり、この領域内にアルミ
箔コイル4が形成されている。
【0038】さらに、このICチップ電極接続装置は、
ICチップ1を搬送して、そのICチップ1の下面に形
成されているチップ電極部3を長尺PET基板2′の表
面に形成されたチップ対向電極部4aに密着させるIC
チップ搬送機構9を有しており、更に、突出接点部形成
機構を構成する先鋭部材としてのPET基板凸面形状形
成用加圧針7を有している。
【0039】ここで、ICチップ搬送機構9は、アーム
部9a(図11参照)の先端部(下端部)に、ICチッ
プ1を保持したり、保持したICチップ1を解放したり
することのできるハンド部9bを有するとともに、アー
ム部駆動機構(図示せず)及びハンド部駆動機構(図示
せず)を有している。このICチップ搬送機構9は、ハ
ンド部駆動機構を作動させてハンド部9bによりICチ
ップ1を保持したまま、アーム部駆動機構を作動させて
アーム部9aによってICチップ1をベルトコンベア1
1の上方へ移動させ、更に、ハンド部駆動機構を作動さ
せてハンド部9bによってICチップ1を解放すること
により、ICチップ1をメッシュ状ベルト10上に配設
された長尺PET基板2′上に配設することができるよ
うになっている。
【0040】また、このICチップ搬送機構9における
アーム部9a及びハンド部9bは、それぞれ図示しない
位置決め装置を有しており、それらの位置決め装置によ
ってアーム部駆動機構やハンド部駆動機構を制御するこ
とにより、ICチップ1を長尺PET基板2′上に形成
されているチップ対向電極部4a上に、確実に配設する
ことができるようになっている。
【0041】すなわち、このような構成によって、IC
チップ搬送機構9はICチップ1を保持しながら、メッ
シュ状ベルト10上に配設された長尺PET基板2′の
表面に形成されているチップ対向電極部4aの真上の位
置まで搬送し、次に下方(長尺PET基板2′のある方
向)に下降して、チップ対向電極部4aとICチップ1
のチップ電極部3とを接合させ、更にチップ対向電極部
4aとICチップ1とを密着させた状態で保持すること
ができるようになっているのである。
【0042】一方、PET基板凸面形状形成用加圧針7
は、加圧針アーム部17の先端部に、先鋭部が上方を向
くように備え付けられており、更に、この加圧針アーム
部17は、図示しない駆動装置を有していて、ICチッ
プ搬送機構9の動きに同期しながら移動できるようにな
っている。即ち、図11に示すように、加圧針アーム部
17及びPET基板凸面形状形成用加圧針7は、ICチ
ップ搬送機構9に備え付けられており、ICチップ搬送
機構9の移動に伴なって同期して移動するようになって
いるのである。
【0043】これを更に詳述すると、ベルトコンベア1
1に装架されているメッシュ状ベルト10の進行方向を
X方向、又、このメッシュ状ベルト10の進行方向と直
交する水平方向をY方向、更に、ベルトコンベア11と
直交する鉛直方向をZ方向とした場合、本ICチップ接
続装置におけるICチップ搬送機構9とPET基板凸面
形状形成用加圧針7とは、X方向,Y方向,Z方向のそ
れぞれの方向に移動することができるようになってお
り、特に、Y方向における移動に関して、ICチップ搬
送機構9のY方向への移動に伴なって、PET基板凸面
形状形成用加圧針7も同様に移動する(同期移動する)
ようになっているので、PET基板凸面形状形成用加圧
針7の位置と、ICチップ1のチップ電極部3の位置と
の間には、Y方向において、ずれが発生することはな
い。
【0044】これにより、加圧針アーム17、ひいては
PET基板凸面形状形成用加圧針7は、ICチップ搬送
機構9の動きに同期しながら、ベルトコンベア11のメ
ッシュ状ベルト10が不在の側面(すなわち図5に示す
左方側)からベルトコンベア11の内部に進入すること
ができる。そして、その後、加圧針アーム17、ひいて
はPET基板凸面形状形成用加圧針7は、メッシュ状ベ
ルト10上に配設された長尺PET基板2′の表面に形
成されているチップ対向電極部4aの真下の位置におい
て、鉛直上向きに移動できるようになっている。
【0045】このように、このチップ対向電極部4aの
真下の位置において、PET基板凸面形状形成用加圧針
7が、下方からメッシュ状ベルトの開口部を通じて、長
尺PET基板2′を押圧することによって長尺PET基
板2′に局所的な圧力をかけることができる。また、加
圧針アーム部17は、図示しない位置決め装置を有して
おり、この位置決め装置によってPET基板凸面形状形
成用加圧針7が、ICチップ1を長尺PET基板2′上
に形成されているチップ対向電極部4aに対して、確実
に局所的な圧力をかけることができるようになってい
る。
【0046】すなわち、このような構成によって、PE
T基板凸面形状形成用加圧針7は、ICチップ搬送機構
9のY方向への移動に伴って、上記のようにベルトコン
ベア11のメッシュ状ベルト10が不在の側面(すなわ
ち図8に示す左方側)からベルトコンベア11の内部に
進入し、メッシュ状ベルト10上に配設された長尺PE
T基板の表面に形成されているチップ対向電極部4aの
真下の位置に待機するのであるが、この際、PET基板
凸面形状形成用加圧針7の位置は、常に、ICチップ1
に形成されているチップ電極部3の真下の位置に位置
し、この位置がずれることはないようになっているので
ある。
【0047】また、PET基板凸面形状形成用加圧針7
の先端部は、図8に示すように、チップ対向電極部4a
に形成する突出接点部6の形状および位置に対応した先
鋭の形状となっており、更に、このPET基板凸面形状
形成用加圧針7には図14に示すような圧力センサ12
が設けられている。図14はPET基板凸面形状形成用
加圧針7の先端部の構造を模式的に示す断面図である
が、ここで、この図14を用いてPET基板凸面形状形
成用加圧針7の構成について説明する。
【0048】このPET基板凸面形状形成用加圧針7
は、加圧針部7aとこの加圧針部7aの付け根部分にS
US鋼等からなるダイヤフラム部7bとを有しており、
更に、これらが接合部7dにおいて圧力センサ12と貼
着されている。また、ダイヤフラム部7bと圧力センサ
12との間には隙間部7cが形成されており、その隙間
部7cには油が封入されるようになっていて、圧力セン
サ12の圧力受感部12aはこの油と隣接している。
【0049】ここで、PET基板凸面形状形成用加圧針
7を長尺PET基板2′に押圧することによって、加圧
針部7aが押圧され、SUS鋼等からなるダイヤフラム
7bが隙間部7c側にたわむ。その際、隙間部7cに封
入されている油が圧力センサ12の圧力受感部12aを
押圧することによって、PET基板凸面形状形成用加圧
針7の押圧力が測定できるようになっているのである。
【0050】さて、絶縁基板搬送手段として、長尺PE
T基板2′を搬送するベルトコンベア11は、前述のご
とく搬送面としてメッシュ状ベルト10を装架してお
り、このメッシュ状ベルト10上面に、その表面上に形
成されたアルミ箔コイル4が上を向くように長尺PET
基板2′が載置されるようになっているが、このベルト
コンベア11は図示しない駆動装置を有しているので、
メッシュ状ベルト10の上面に載置された長尺PET基
板2′を搬送できるようになっている。更に、このベル
トコンベア11は図示しない位置決め装置を有している
ので、長尺PET基板2′上に形成されたチップ対向電
極部4aに、ICチップ搬送装置9によってICチップ
1のチップ電極部3を密着させるために、メッシュ状ベ
ルト10上に載置された長尺PET基板2′を搬送し
て、所定の位置にチップ対向電極部4aが位置するよう
に、位置出しを行なうことができるようになっている。
【0051】これらの搬送装置及び位置決め装置によ
り、ICチップ電極接続装置は、チップ対向電極部4a
に突出接点部6を形成した後に、長尺PET基板2′を
搬送して次のチップ対向電極部4aの位置出しを行なう
ことができるようになっている。また、ベルトコンベア
11に装架されるメッシュ状ベルト10は、長尺PET
基板2′の幅(図11に示すY方向長さ)よりも広い幅
を有しており、ベルトコンベア11に無端状に装架され
るようになっている。なお、このメッシュ状ベルト10
は、メッシュ(網目)状の形状を有しており、このメッ
シュの隙間(開口部)を通して、PET基板凸面形状形
成用加圧針7が、長尺PET基板2′を下方より押圧す
るようになっている。
【0052】また、本実施形態におけるICチップ電極
接続装置は、図示しない接着剤塗布手段を有しており、
ICチップ1のチップ電極部3を長尺PET基板2′に
形成されているチップ対向電極部4aに接続する前に、
チップ電極部3又は、チップ対向電極部4a、或いはそ
れら両方の電極に導電性接着剤5を塗布することができ
るようになっている。
【0053】上述の構成により、ICチップ1のチップ
電極部3を、メッシュ状ベルト10上に載置されている
長尺PET基板2′に形成されているチップ対向電極部
4aに接続する前に、図示しない接着剤塗布手段によ
り、チップ電極部3かチップ対向電極部4a、もしくは
それら両方の電極に導電性接着剤5が塗布された後に行
なわれるICチップ接続の工程を、図9〜図15を使用
して説明する。
【0054】図9は本発明の一実施形態としての非接触
IDタグ製造時のICチップ接続装置の動作を示すフロ
ーチャートであり、図10〜図12は本発明の一実施形
態としての非接触IDタグ製造時のICチップ接続装置
の各工程における要部の状態を模式的に示す斜視図、図
13は図12の部分側面図である。まず、長尺PET基
板2′をメッシュ状ベルト10を装架したベルトコンベ
ア11によって搬送して、長尺PET基板2′上に形成
されているチップ対向電極部4aと、ICチップ1のチ
ップ電極部3とを接続するための所定の位置に停止させ
る(ステップA1)。なお、チップ対向電極部4aもし
くはチップ電極部3には、すでに接着剤塗布手段により
導電性接着剤5が塗布されているものとする。又、この
工程におけるICチップ接続装置の要部を模式的に示す
斜視図を図10に示す。次に、ICチップ搬送機構9
と、PET基板凸面形状形成用加圧針7との、チップ対
向電極部4aにおける位置出しを行なう(ステップA
2)。なお、この工程におけるICチップ接続装置の要
部を模式的に示す斜視図を図11に示す。
【0055】すなわち、ICチップ1のチップ電極部3
は長尺PET基板2′の上方から、一方、PET基板凸
面形状形成用加圧針7は長尺PET基板2′の下方か
ら、それぞれ位置合わせを行なうのである。次に、長尺
PET基板2′上に形成されているチップ対向電極部4
aにICチップ1のチップ電極部3を密着させると同時
に、PET基板凸面形状形成用加圧針7を上昇させて突
出接点部6を形成する(ステップA3)。なお、この工
程におけるICチップ接続装置の要部を模式的に示す斜
視図を図12に、又、側面図を図13に示す。
【0056】すなわち、長尺PET基板2′の上方から
ICチップ搬送装置9のICチップ保持部によって、I
Cチップ1のチップ電極部3がチップ対向電極部4aに
押しつけられて密着させられると同時に、長尺PET基
板2′の下方(長尺PET基板2′におけるチップ対向
電極部の形成面とは反対側)から、メッシュ状ベルト1
0の隙間(開口)を通して、チップ対向電極部4aの位
置にPET基板凸面形状形成用加圧針7(突出接点部形
成手段)が上昇し、長尺PET基板2′を下方より押圧
する。
【0057】これによって、一部に開口を有する搬送面
であるメッシュ状ベルト10の上に、金属箔パターン部
であるアルミ箔コイル4が上を向くように載置されたフ
ィルム状絶縁基板である長尺PET基板2′のチップ対
向電極部4aに、ICチップ搬送手段であるICチップ
搬送機構9によって搬送されたICチップ1のチップ電
極部3を密着させたあとに、メッシュ状ベルト10に形
成された開口である網目を通じて、長尺PET基板2′
におけるチップ対向電極部4aの形成面とは反対側の面
から、局所的な圧力をかけることによって突出接点部6
が形成されるのである。
【0058】次に、PET基板凸面形状形成用加圧針7
を長尺PET基板2′に押し上げて突出接点部6を形成
する際の、PET基板凸面形状形成用加圧針7の動作を
制御する様子を図15(a)〜図15(c)に示すタイ
ムチャートによって詳細に説明する。図15(a)は時
間経過に対して、PET基板凸面形状形成用加圧針7の
「位置合わせ」のタイミングを示す図である。なお、こ
こでの「位置合わせ」とは、「加圧前の位置合わせ」,
「加圧中における位置固定」,「加圧後の一時的な位置
の保持」の全ての動作を合わせたものである。
【0059】また、図15(b)は時間経過に対して、
PET基板凸面形状形成用加圧針7によって長尺PET
基板2′に加えられるべき圧力の制御値と、圧力センサ
12によって検出される圧力とを示すものである。さら
に、図15(c)は、PET基板凸面形状形成用加圧針
7の加圧のタイミングを制御するための信号と、圧力セ
ンサ12によって検出された圧力(アナログ信号)に対
してデジタル処理を加えて、圧力変動がある間だけパル
スを発している様子を示すものである。
【0060】まず、図15(a)中のB1点に示すよう
に、PET基板凸面形状形成用加圧針7の加圧前の位置
合わせを行なう。即ち、メッシュ状ベルト10の下側の
位置において、PET基板凸面形状形成用加圧針7を突
出接点部6を形成するチップ対向電極部4aの真下の位
置に固定するのである。次に、PET基板凸面形状形成
用加圧針7の位置合わせ後、微少時間経過後に、図15
(c)中のB2点に示すように、PET基板凸面形状形
成用加圧針7の加圧を開始する。その際、圧力センサ1
2によって検出される圧力が、図15(b)に示すよう
に、制御値以下になるようにPET基板凸面形状形成用
加圧針7によって、長尺PET基板2′を加圧するので
あるが、この制御値は、ICチップ1が加圧により損傷
しないように、予め設定する規定圧を超えないように定
められている。また、図15(b)中のB3は、長尺P
ET基板2′が変形するに従って、加圧針部7aに発生
する圧力変動を示しており、この値は規定圧付近に達す
るまで徐々に増加する。
【0061】また、PET基板凸面形状形成用加圧針7
により長尺PET基板2′を加圧すると同時に、図15
(b)のB3で示すように、PET基板凸面形状形成用
加圧針7に作用する圧力が変化している場合に、圧力セ
ンサ12は、図15(c)のB4に示すような圧力変動
検出パルスを発信する。そして、図15(b)中B5で
示すように、加圧針部7aに発生する圧力が規定圧に達
して一定となり、圧力が変動しなくなった場合には、圧
力センサ12から圧力変動パルスは発振されない(図1
5(c)のB6)。このように、圧力変動0の状態が一
定時間検出された場合には、突出接点部6の先端がIC
チップ1のチップ電極部3に到達したとみなして、図1
5(c)のB7点に示すように、PET基板凸面形状形
成用加圧針7を長尺PET基板2′へ加圧するための制
御信号の発信を停止するのである。
【0062】また、上述の工程の間は、図15(a)に
示すようにPET基板凸面形状形成用加圧針7の位置合
わせ(この場合は「加圧中における位置合わせ」及び
「加圧後の一時的な位置の保持」の意味)は行なったま
まであり、PET基板凸面形状形成用加圧針7の長尺P
ET基板2′への加圧が終了した後に、図15(a)中
のB8点に示すように、PET基板凸面形状形成用加圧
針7の位置の保持を終了する。
【0063】このようにして、チップ対向電極部4aに
突出接点部6を形成した後、最後に、PET基板凸面形
状形成用加圧針7をメッシュ状ベルト10より離して
(ステップA4)、ステップA1に戻る。このように、
本発明の一実施形態としての非接触IDタグ製造時のI
Cチップ電極接続装置によれば、PET基板2にICチ
ップ1を接続する過程において、PET基板2やチップ
対向電極部4aに局所的に圧力をかけて変形させること
により突出接点部6を形成することによって、ICチッ
プ1のチップ電極部3とチップ対向電極部4aとの間に
おいて良好な電気的接続を得ることができるので、バン
プを利用する場合と同様な効果を得ることができる。
【0064】すなわち、事前に電極部にバンプを形成す
る必要がないことから、バンプを作成するための煩雑な
工程を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を
節約できるとともに経済的である。さらに、PET基板
2にICチップ1を接続する過程において、PET基板
2やチップ対向電極部4aに局所的に圧力をかけて変形
させることにより突出接点部6を形成し、チップ電極部
3の下端面にチップ対向電極部4aが押圧されて当接す
ることによって、アルミニウムからなるチップ対向電極
部4aの表面に形成された酸化膜を破膜するために、I
Cチップ1のチップ電極部3とチップ対向電極部4aと
の間において良好な電気的接続を得ることができること
から、絶縁性が高い酸化物が表面に生成し易いアルミニ
ウムを電極の材質として使用することができ、コストを
削減することができる。
【0065】(C)その他 なお、上述した実施形態では、チップ対向電極部4aは
アルミニウムを材質として構成されているが、それに限
定されるものではなく、チタン等のアルミニウム以外の
活性化し易い金属を材質として使用してもよい。このよ
うに、チップ対向電極部4aがチタン等のアルミニウム
以外の活性化し易い金属を材質として構成された場合に
おいて、上述の実施形態にかかる方法や装置を同様の要
領で適用した場合にも、同様にして、PET基板2にI
Cチップ1を接続する過程で、PET基板2やチップ対
向電極部4aに局所的に圧力をかけて変形させて突出接
点部6を形成することによって、ICチップ1のチップ
電極部3とチップ対向電極部4aとの間において良好な
電気的接続を得ることができるので、バンプを利用する
場合と同様な効果を得ることができる。
【0066】すなわち、事前に電極部にバンプを形成す
る必要がないことから、バンプを作成するための煩雑な
工程を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を
節約できるとともに経済的である。さらに、PET基板
2にICチップ1を接続する過程において、PET基板
2やチップ対向電極部4aに局所的に圧力をかけて変形
させることにより突出接点部6を形成し、チップ電極部
3の下端面にチップ対向電極部4aが押圧されて当接す
ることによって、チタン等のアルミニウム以外の活性化
し易い金属からなるチップ対向電極部4aの表面に形成
された酸化膜を破膜するために、ICチップ1のチップ
電極部3とチップ対向電極部4aとの間において良好な
電気的接続を得ることができることから、絶縁性が高い
酸化物が表面に生成し易いチタン等のアルミニウム以外
の活性化し易い金属をも電極の材質として使用すること
ができるのである。
【0067】また、チップ対向電極部4aをアルミニウ
ム等の活性化し易い金属を材質として構成するほか、銅
等の導電性を有する金属を材質として構成してもよい。
このように、チップ対向電極部4aが銅を材質として構
成された場合において、上述の実施形態にかかる方法や
装置を同様の要領で適用した場合にも、同様にして、P
ET基板2にICチップ1を接続する過程において、P
ET基板2やチップ対向電極部4aに局所的に圧力をか
けて変形させることにより突出接点部6を形成すること
によって、ICチップ1のチップ電極部3とチップ対向
電極部4aとの間において良好な電気的接続を得ること
ができるので、バンプを利用する場合と同様な効果を得
ることができる。
【0068】すなわち、事前に電極部にバンプを形成す
る必要がないことから、バンプを作成するための煩雑な
工程を省くことができ、バンプ作成工程のための時間を
節約できるとともに経済的である。さらに、上述した実
施形態では、フィルム状絶縁基板の材質としてPET
(ポリエチレン・テレフタレート)を使用しているが、
それに限定されるものではなく、PE(ポリエチレン)
等の熱可塑性プラスチックを使用してもよい。
【0069】さらに、上述した実施形態では、一部に開
口を有する搬送面として、メッシュ状ベルト10を用い
ているが、それに限定されるものではなく、規則的に開
口を設けたベルトコンベアを用いる等、本発明の趣旨を
逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
さらに、上述した実施形態では、突出接点部6を形成す
るために、チップ対向電極部4aに局所的な圧力をかけ
る手段として針状の先鋭部材であるPET基板凸面形状
形成用加圧針7を使用しているが、このような加圧手段
はそれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱
しない範囲で種々変形して実施することができる。
【0070】
【発明の効果】以上詳述したように、請求項1〜請求項
10記載の本発明の非接触タグ製造時のICチップ電極
接続方法及び装置によれば、ICチップのチップ電極部
とチップ対向電極部とを電気的に接続する過程におい
て、フィルム状絶縁基板やチップ対向電極部に局所的な
圧力をかけて突出接点部を形成することにより、ICチ
ップのチップ電極部とチップ対向電極部との間において
良好な電気的接続を得ることができ、バンプを利用した
場合と同様の効果を得ることができる。すなわち、事前
に電極部にバンプを形成する必要がないことから、バン
プを作成するための煩雑な工程を省くことができ、バン
プ作成工程のための時間を節約できるとともに経済的で
あるという利点がある。
【0071】さらに、請求項4,請求項5及び請求項1
0記載の本発明の非接触タグ製造時のICチップ電極接
続方法及び装置によれば、ICチップのチップ電極部
と、基板上に形成された電極部とを電気的に接続する際
に、突出接点部を形成することにより、ICチップのチ
ップ電極部や基板上の電極部にバンプを形成しなくとも
良好な電気的接続を得ることができ、更に、電極の材料
として、活性化して表面に酸化物を生成しやすい金属
(アルミニウム等)を使用する際にも、突出接点部によ
って、この活性化しやすい金属(アルミニウム等)製の
電極表面上に形成される酸化物(酸化アルミニウム等)
膜を破膜して良好な電気的接続を得ることができること
から、活性化して表面に絶縁性の高い酸化物を生成しや
すい金属(アルミニウム等)を電極の材質として使用す
ることができ、コストを削減することができるという利
点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態としての非接触IDタグ製
造時のICチップ電極接続方法を説明するための模式図
である。
【図2】非接触IDタグの製造工程を説明するフローチ
ャートである。
【図3】(a)〜(c)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触IDタグの側断面図である。
【図4】(a)〜(d)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触IDタグの側断面図である。
【図5】(a)〜(c)は図2に示すフローチャートの
各工程を説明するための図である。
【図6】(a),(b)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触IDタグの構造を上面から見た図
である。
【図7】(a)〜(c)は図2に示すフローチャートの
各工程における非接触IDタグの構造を上面から見た図
である。
【図8】本発明の第一実施形態としての非接触IDタグ
製造時のICチップ電極接続装置を模式的に示す斜視図
である。
【図9】非接触IDタグ製造時のICチップ接続装置の
動作を説明するためのフローチャートである。
【図10】本発明の一実施形態としての非接触IDタグ
製造時のICチップ接続装置の要部を模式的に示す斜視
図である。
【図11】本発明の一実施形態としての非接触IDタグ
製造時のICチップ接続装置の要部を模式的に示す斜視
図である。
【図12】本発明の一実施形態としての非接触IDタグ
製造時のICチップ接続装置の要部を模式的に示す斜視
図である。
【図13】図12の部分側面図である。
【図14】PET基板凸面形状形成用加圧針の先端部の
構造を模式的に示す断面図である。
【図15】(a)〜(c)は突出接点部を作成する際の
タイミングチャートである。
【図16】非接触IDタグシステムのハード構成を示す
ブロック図である。
【符号の説明】
1 ICチップ 2 PET基板(フィルム状絶縁基板) 2′ 長尺PET基板(フィルム状絶縁基板) 3 チップ電極部 4 アルミ箔コイル部(金属箔パターン部) 4′ アルミ箔 4a チップ対向電極部 4b シート状コイル部 5 導電性接着剤 6 突出接点部 7 PET基板凸面形状形成用加圧針(突出接点部形成
手段) 7a 加圧針部 7b ダイヤフラム部 7c 隙間部 7d 接合部 9 ICチップ搬送機構(ICチップ搬送手段) 9a アーム部 9b ハンド部 10 メッシュ状ベルト(搬送面) 11 ベルトコンベア(絶縁基板搬送手段) 12 圧力センサ 12a 圧力受感部 17 加圧針アーム部

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 チップ電極部を有するICチップと、該
    ICチップと対向して該チップ電極部と接続されるべき
    チップ対向電極部を含む金属箔パターン部を形成された
    フィルム状絶縁基板とをそなえてなる非接触タグを製造
    する際に、 該チップ電極部と該チップ対向電極部とを接続する電極
    接続工程と同時に、 該チップ対向電極部に、該チップ電極部へ突出する突出
    接点部を形成することを特徴とする、非接触タグ製造時
    のICチップ電極接続方法。
  2. 【請求項2】 該チップ対向電極部に、該チップ電極部
    へ突出する該突出接点部を形成するに際しては、該チッ
    プ対向電極部と該チップ電極部とを密着したあと、該フ
    ィルム状絶縁基板における該チップ対向電極部の形成面
    とは反対側の面から、局所的な圧力をかけて、該突出接
    点部を形成することを特徴とする、請求項1記載の非接
    触タグ製造時のICチップ電極接続方法。
  3. 【請求項3】 先鋭部材により、該局所的な圧力をかけ
    て、該突出接点部を形成することを特徴とする、請求項
    2記載の非接触タグ製造時のICチップ電極接続方法。
  4. 【請求項4】 該チップ対向電極部が、活性化して表面
    に酸化物を生成しやすい金属からなる電極部として構成
    されたことを特徴とする、請求項1記載の非接触タグ製
    造時のICチップ電極接続方法。
  5. 【請求項5】 該活性化して表面に酸化物を生成しやす
    い金属が、アルミニウムであることを特徴とする、請求
    項4記載の非接触タグ製造時のICチップ電極接続方
    法。
  6. 【請求項6】 チップ電極部を有するICチップと、該
    ICチップと対向して該チップ電極部と接続されるべき
    チップ対向電極部を含む金属箔パターン部を形成された
    フィルム状絶縁基板とをそなえてなる非接触タグにおけ
    る、該チップ電極部と該チップ対向電極部とを接続する
    装置において、 一部に開口を有する搬送面上に、該金属箔パターン部が
    上を向くように該フィルム状絶縁基板を載置して該フィ
    ルム状絶縁基板を搬送する絶縁基板搬送手段と、 該ICチップを搬送して、該絶縁基板搬送手段にて搬送
    されてきた該フィルム状絶縁基板の該チップ対向電極部
    に該ICチップの該チップ電極部を密着させるICチッ
    プ搬送手段と、 該チップ対向電極部と該チップ電極部とを密着したあと
    に、該絶縁基板搬送手段の該搬送面に形成された開口を
    通じて、該フィルム状絶縁基板における該チップ対向電
    極部の形成面とは反対側の面から、局所的な圧力をかけ
    て、該突出接点部を形成する突出接点部形成手段とをそ
    なえて構成されたことを特徴とする、非接触タグ製造時
    のICチップ電極接続装置。
  7. 【請求項7】 該絶縁基板搬送手段が、メッシュ状のベ
    ルトコンベアとして構成されたことを特徴とする、請求
    項6記載の非接触タグ製造時のICチップ電極接続装
    置。
  8. 【請求項8】 該ICチップ搬送手段と該突出接点部形
    成手段とが同期して動作するように構成されたことを特
    徴とする、請求項6記載の非接触タグ製造時のICチッ
    プ電極接続装置。
  9. 【請求項9】 該突出接点部形成手段が、該絶縁基板搬
    送手段の該搬送面に形成された開口を通じて、該フィル
    ム状絶縁基板における該チップ対向電極部の形成面とは
    反対側の面から、局所的な圧力をかける先鋭部材をそな
    えて構成されたことを特徴とする、請求項6記載の非接
    触タグ製造時のICチップ電極接続装置。
  10. 【請求項10】 チップ電極部を有するICチップと、
    該ICチップと対向して該チップ電極部と接続されると
    ともに活性化して表面に酸化物を生成しやすい金属から
    なるチップ対向電極部を含む金属箔パターン部を形成さ
    れたフィルム状熱可塑性プラスチック基板とをそなえて
    なる非接触タグにおける、該チップ電極部と該チップ対
    向電極部とを接続する装置において、 メッシュ状搬送面上に、該金属箔パターン部が上を向く
    ように該フィルム状熱可塑性プラスチック基板を載置し
    て該フィルム状熱可塑性プラスチック基板を搬送するメ
    ッシュ状のベルトコンベアと、 該ICチップを搬送して、該メッシュ状のベルトコンベ
    アにて搬送されてきた該フィルム状熱可塑性プラスチッ
    ク基板の該チップ対向電極部に該ICチップのチップ電
    極部を密着させるICチップ搬送機構と、 該ICチップ搬送機構と同期して動作し、該チップ対向
    電極部と該チップ電極部とを密着したあとに、該ベルト
    コンベアの該メッシュ状搬送面の裏側から、先鋭部材を
    駆動して、該フィルム状熱可塑性プラスチック基板にお
    ける該チップ対向電極部の形成面とは反対側の面から、
    該先鋭部材により、局所的な圧力をかけて、該突出接点
    部を形成する突出接点部形成機構とをそなえて構成され
    たことを特徴とする、非接触タグ製造時のICチップ電
    極接続装置。
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