JPH1145823A - 積層セラミック複合部品 - Google Patents

積層セラミック複合部品

Info

Publication number
JPH1145823A
JPH1145823A JP9198716A JP19871697A JPH1145823A JP H1145823 A JPH1145823 A JP H1145823A JP 9198716 A JP9198716 A JP 9198716A JP 19871697 A JP19871697 A JP 19871697A JP H1145823 A JPH1145823 A JP H1145823A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramics
ceramic composite
ceramic
dielectric constant
laminated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9198716A
Other languages
English (en)
Inventor
Harufumi Bandai
治文 萬代
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP9198716A priority Critical patent/JPH1145823A/ja
Publication of JPH1145823A publication Critical patent/JPH1145823A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 反りや割れがない積層セラミック複合部品を
提供する。 【解決手段】 積層セラミック複合部品10は、コンデ
ンサ(図示せず)を内蔵した低誘電率誘電体セラミック
スからなる積層体11と、コイル(図示せず)を内蔵し
た磁性体セラミックスからなる積層体12とを4つの柱
状部13a〜13dを介して接合される成形体14を備
える。そして、その成形体14の一方主面から側面に架
けて、外部端子15,15とグランド端子16とが設け
られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、積層セラミック複
合部品に関し、特に、異なるセラミックスからなる積層
体を積み重ねて一体化してなる積層セラミック複合部品
に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、電子機器の小型化の要請などによ
り、電子部品の複合化が進みつつある。これら複合部品
として、例えば、インダクタとコンデンサを組み合わせ
た積層型のLCフィルタがある。このLCフィルタは、
一般に以下のようにして作製されている。すなわち、コ
イル電極パターンを形成した磁性体グリーンシートを積
層して得た成形体と、容量電極パターンを形成した低誘
電率誘電体グリーンシートを積層して得た成形体とを重
ね合わせた後、焼成して、磁性体と低誘電率誘電体とが
一体化した焼結体を得る。その後、この焼結体のコイル
電極及び容量電極が露出した部分に、外部電極を焼き付
けしてLCフィルタを得る。そして、磁性体グリーンシ
ート、低誘電率誘電体グリーンシートを得るためのセラ
ミックス材料としては、950℃以下で焼結可能なもの
が使用される。これは、磁性体中に形成されるコイルの
直流抵抗を下げる目的で、低比抵抗の銀系の電極を使用
するためであり、具体的には、磁性体材料としては湿式
合成法による共沈原料が、また低誘電率誘電体材料とし
ては出発原料粉末を仮焼して粉砕した原料にガラス成分
を添加したものが用いられる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た積層セラミック複合部品においては、湿式合成法によ
る共沈原料は粒子が細かく活性に富むため、出発原料粉
末を仮焼して粉砕した原料にガラス成分を添加したもの
と比較して焼成収縮率が著しく大きい。このため、イン
ダクタンスとなる成形体とコンデンサとなる成形体を互
いに重ね合わせて焼成した場合、この焼成収縮率の違い
により、積層セラミック複合部品に反りや剥がれが生じ
るという問題があった。
【0004】本発明は、このような問題点を解決するた
めになされたものであり、反りや割れがない積層セラミ
ック複合部品を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の問題点を解決する
ため本発明の積層セラミック複合部品は、磁性体セラミ
ックス、高誘電率誘電体セラミックス及び低誘電率誘電
体セラミックスからなる少なくとも2つの積層体が柱状
部を介して接合されることを特徴とする。
【0006】また、前記柱状部に電気接続手段が設けら
れ、該電気接続手段によって前記少なくとも2つの積層
体が電気的に接続されることを特徴とする。
【0007】また、前記柱状部が、前記積層体を構成す
るセラミックスとは異なる収縮率を有する絶縁体セラミ
ックスで形成されることを特徴とする。
【0008】本発明の積層セラミック複合部品によれ
ば、異なるセラミックスからなる少なくとも2つの積層
体が柱状部を介して接合されるため、異なるセラミック
スの収縮率の差を柱状部で吸収することができる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施例を説明する。図1に、本発明に係る積層セラミック
複合部品の第1の実施例の分解斜視図を示す。積層セラ
ミック複合部品10は、コンデンサ(図示せず)を内蔵
した低誘電率誘電体セラミックスからなる積層体11
と、コイル(図示せず)を内蔵した磁性体セラミックス
からなる積層体12とを4つの柱状部13a〜13dを
介して接合される成形体14を備える。そして、その成
形体14の一方主面から側面に架けて、外部端子15,
15とグランド端子16とが設けられる。
【0010】図2及び図3を用いて、図1に示す積層セ
ラミック複合部品10の製造方法を説明する。
【0011】まず、酸化バリウム、酸化アルミニウム、
シリカの粉末を主材料とし、ほう酸を添加して焼結温度
を900℃前後にした低誘電率誘電体セラミックス材
料、及び酸化鉄、酸化ニオジウム、酸化亜鉛の粉末を主
材料とし、ガラスを添加して焼結温度を850〜900
℃にした磁性体セラミックス材料に、バインダ、可塑剤
及び溶剤等を所定の割合で混練して、ドクターブレード
法などにより低誘電率誘電体セラミックスシート11a
〜11d及び磁性体セラミックスシート12a〜12d
を形成する。
【0012】次いで、低誘電率誘電体セラミックスシー
ト11b〜11d及び磁性体セラミックスシート12
a,12bに、パンチング加工によりビアホールを形成
した後、そのビアホール内に銅、銀、銀/パラジウム、
タングステン、白金などからなるペースト状の導電材を
充填し、ビアホール電極17を形成する。
【0013】次いで、低誘電率誘電体セラミックスシー
ト11b,11c及び磁性体セラミックスシート12
b,12cに、スクリーン印刷により銅、銀、銀/パラ
ジウム、タングステン、白金などからなるペースト状の
導電体を印刷して、コンデンサ電極18、グランド電極
19、コイル電極20,20及び引出電極21,21を
形成する。
【0014】次いで、低誘電率誘電体セラミックスシー
ト11a〜11dを積層して低誘電率誘電体セラミック
スからなる積層体11、及び磁性体セラミックスシート
12a〜12dを積層して磁性体セラミックスからなる
積層体12を形成した後、図3に示すように、積層体1
1,12は、それぞれの積層体11,12のビアホール
電極17がつながるように積み重ねられ、セラミックス
焼結体などからなるブロック22,23で挟み込む。こ
の際、一方のブロック23は、一方の面の4角に凸部2
3a〜23dを備える。
【0015】次いで、ブロック22,23により、積層
体11,12の上下から加圧し、900℃程度の温度で
一体焼結することにより、ビアホール電極17にて積層
体11に内蔵されたコンデンサと積層体12に内蔵され
たコイルとが電気的に接続された成形体14を得る。こ
の際、積層体11,12の接合面で一方のブロック23
の凸部23a〜23dが位置していない箇所は、凸部2
3a〜23dの対応部分に比べて十分に加圧されないた
め、積層体11,12の界面は一体化しない。
【0016】したがって、一体焼結後、図4に示すよう
に、積層体11,12の界面において、一方のブロック
23の凸部23a〜23dが位置していない箇所には空
隙24が形成され、その結果、成形体14は、積層体1
1,12が、4つの柱状部13a〜13dを介して接合
された形状となる。なお、電気接続手段であるビアホー
ル電極17は、積層体11に内蔵されたコンデンサと積
層体12に内蔵されたコイルとを電気的に接続する必要
があるため、4つの柱状部13a〜13dの内部に位置
するように設けられる。
【0017】次いで、図1に示したように、成形体14
の一方主面及び側面に架けて、引出電極21に接続され
る外部端子15,15、グランド電極19に接続される
グランド端子16を形成することにより、積層セラミッ
ク複合部品10が完成する。
【0018】上述の構成を備えた1cm角の積層セラミ
ック複合部品10において、反りを測定した結果、25
μm程度であった。また、−55℃,+85℃,100
0サイクルの熱衝撃試験では、100個中すべてに割れ
は見られなかった。
【0019】一方、従来の構成の1cm角の積層セラミ
ック複合部品50では、反りは約100μmであった。
また、−55℃,+85℃,1000サイクルの熱衝撃
試験では、100個中37個に、低誘電率誘電体セラミ
ックスからなる積層体と磁性体セラミックスからなる積
層体との界面で割れが生じた。
【0020】上述の第1の実施例によれば、低誘電率誘
電体セラミックスからなる積層体と、磁性体セラミック
スからなる積層体とを柱状部を介して接合するため、低
誘電率誘電体セラミックスと磁性体セラミックスとの面
方向の収縮率の差を、柱状部に吸収させることができ
る。例えば、柱状部の接触面積を全体の1/3〜1/1
0程度にすると、収縮率の差も約1/3〜1/10にな
り、柱状部に十分吸収させることができる。
【0021】したがって、低誘電率誘電体セラミックス
からなる積層体と、磁性体セラミックスからなる積層体
との収縮率の違いによる反りを抑えることができ、その
結果、低誘電率誘電体セラミックスからなる積層体と、
磁性体セラミックスからなる積層体との界面での割れを
防止することができる。
【0022】また、低誘電率誘電体セラミックスからな
る積層体に内蔵されたコンデンサと、磁性体セラミック
スからなる積層体に内蔵されたコイルとを、柱状部の内
部に設けられた電気接続手段であるビアホール電極で電
気的に接続するため、成形体の少なくとも側面に電気接
続手段を設ける必要がない。したがって、製造工程が簡
略化し、低コスト化を実現することができる。
【0023】図5に、本発明に係る積層セラミック複合
部品の第2の実施例の分解斜視図を示す。積層セラミッ
ク複合部品30は、コンデンサ(図示せず)を内蔵した
低誘電率誘電体セラミックスからなる積層体11と、コ
イル(図示せず)を内蔵した磁性体セラミックスからな
る積層体12とを、4つの柱状部31a〜31dを介し
て接合される成形体32を備える。この際、柱状部31
a〜31dは、積層体11を構成する低誘電率誘電体セ
ラミックス及び積層体12を構成する磁性体セラミック
スよりも小さい収縮率を有する絶縁体セラミックスから
なる。
【0024】そして、その成形体32の一方主面から側
面に架けて、外部端子15,15とグランド端子16と
が設けられる。
【0025】図6を用いて、図5に示す積層セラミック
複合部品30の製造方法を説明する。ここで、低誘電率
誘電体セラミックスからなる積層体11及び磁性体セラ
ミックスからなる積層体12については、図2に示す構
成を用いる。このように、構成された積層体11と、積
層体12と、絶縁体セラミックスからなる柱状部33a
〜33dとを、柱状部33a〜33dが積層体11及び
積層体12の4角に位置するとともに、積層体11,1
2のビアホール電極17と柱状部33a〜33dのビア
ホール電極34とがつながるように積み重ねられ、セラ
ミックス焼結体などからなるブロック35,36で挟み
込む。この際、ブロック35,36の表面は平坦であ
る。
【0026】次いで、ブロック35,36により、積層
体11,12の上下から加圧し、900℃程度の温度で
一体焼結することにより、積層体11と積層体12とが
柱状部33a〜33dを介して結合されるとともに、ビ
アホール電極17,34にて積層体11に内蔵されたコ
ンデンサと積層体12に内蔵されたコイルとが電気的に
接続された成形体32を得る。
【0027】次いで、図5に示したように、成形体32
の一方主面及び側面に架けて、引出電極21に接続され
る外部端子15,15、グランド電極19に接続される
グランド端子16を形成することにより、積層セラミッ
ク複合部品30が完成する。
【0028】上述の第2の実施例によれば、低誘電率誘
電体セラミックスからなる積層体と、磁性体セラミック
スからなる積層体とを接合する柱状部が、低誘電率誘電
体セラミックス及び磁性体セラミックスよりも小さい収
縮率を有する絶縁体セラミックスからなるため、低誘電
率誘電体セラミックスと磁性体セラミックスとの面方向
の収縮率の差を、柱状部により吸収させることができ
る。
【0029】したがって、低誘電率誘電体セラミックス
からなる積層体と、磁性体セラミックスからなる積層体
との収縮率の違いによる反りをさらに抑えることがで
き、その結果、低誘電率誘電体セラミックスからなる積
層体と、磁性体セラミックスからなる積層体との界面で
の割れをさらに防止することができる。
【0030】なお、上述の第1及び第2の実施例では、
積層セラミック複合部品が、磁性体セラミックスからな
る積層体と、低誘電率誘電体セラミックスからなる積層
体で構成される場合について説明したが、本発明はこれ
らのみに限定されるものではない。すなわち、磁性体セ
ラミックスからなる積層体と高誘電率誘電体セラミック
スからなる積層体、高誘電率誘電体セラミックスからな
る積層体と低誘電率誘電体セラミックスからなる積層
体、磁性体セラミックスからなる積層体と高誘電率誘電
体セラミックスからなる積層体と低誘電率誘電体セラミ
ックスからなる積層体とで構成される積層セラミック複
合部品についても同様の効果が得られる。
【0031】さらに、磁性体セラミックスからなる積層
体と低誘電率誘電体セラミックスからなる積層体とが4
つの柱状部を介して接合される場合について説明した
が、本発明は柱状部の数が4つに限定されるものではな
い。例えば、図7に示す成形体14aのように、積層体
12aが9つの柱状部13a〜13iを備える場合につ
いても同様の効果が得られる。
【0032】また、上述の第1の実施例では、柱状部1
3a〜13d及び空隙24が積層体12側に形成される
場合について説明したが、積層体11側に形成される場
合(図8)、あるいは積層体11,12の両方に形成さ
れる場合(図9)がある。
【0033】
【発明の効果】請求項1の積層セラミック複合部品によ
れば、異なるセラミックスからなる少なくとも2つの積
層体を柱状部を介して接合するため、異なるセラミック
スからなる少なくとも2つの積層体の面方向の収縮率の
差を、柱状部に吸収させることができる。
【0034】したがって、異なるセラミックスからなる
少なくとも2つの積層体の収縮率の違いによって、積層
セラミック複合部品が反るのを抑えることができ、その
結果、異なるセラミックスからなる少なくとも2つの積
層体の界面で、積層セラミック複合部品が割れるのを防
止することができる。
【0035】請求項2の積層セラミック複合部品によれ
ば、柱状部に電気接続手段を設けるため、別途、成形体
の側面などに電気接続手段を設ける必要がない。したが
って、製造工程が簡略化し、低コスト化を実現すること
ができる。
【0036】請求項3の積層セラミック複合部品によれ
ば、異なるセラミックスからなる少なくとも2つの積層
体を接合する柱状部が、積層体を構成する少なくとも2
つのセラミックスとは異なる収縮率を有する絶縁体セラ
ミックスからなるため、異なるセラミックスからなる少
なくとも2つの積層体の面方向の収縮率の差を、柱状部
により吸収させることができる。
【0037】したがって、異なるセラミックスからなる
少なくとも2つの積層体の収縮率の違いによる反りをさ
らに抑えることができ、その結果、異なるセラミックス
からなる少なくとも2つの積層体の界面での割れをさら
に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の積層セラミック複合部品に係る第1の
実施例の分解斜視図である。
【図2】図1の積層セラミック複合部品を構成する積層
体の分解斜視図である。
【図3】図1の積層セラミック複合部品を構成する成形
体の製造方法を示す斜視図である。
【図4】図1の積層セラミック複合部品を構成する成形
体の分解斜視図である。
【図5】本発明の積層セラミック複合部品に係る第2の
実施例の分解斜視図である。
【図6】図5の積層セラミック複合部品を構成する成形
体の製造方法を示す斜視図である。
【図7】図1の積層セラミック複合部品を構成する成形
体の変形例の分解斜視図である。
【図8】図1の積層セラミック複合部品を構成する成形
体の別の変形例の分解斜視図である。
【図9】図1の積層セラミック複合部品を構成する成形
体のさらに別の変形例の分解斜視図である。
【符号の説明】
10、30 積層セラミック複合部品 11、12 積層体 13a〜13d、33a〜33d 柱状部 17、34 電気接続手段(ビアホール電極)

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁性体セラミックス、高誘電率誘電体セ
    ラミックス及び低誘電率誘電体セラミックスからなる少
    なくとも2つの積層体が柱状部を介して接合されること
    を特徴とする積層セラミック複合部品。
  2. 【請求項2】 前記柱状部に電気接続手段が設けられ、
    該電気接続手段によって前記少なくとも2つの積層体が
    電気的に接続されることを特徴とする請求項1に記載の
    積層セラミック複合部品。
  3. 【請求項3】 前記柱状部が、前記積層体を構成するセ
    ラミックスとは異なる収縮率を有する絶縁体セラミック
    スで形成されることを特徴とする請求項1あるいは請求
    項2に記載の積層セラミック複合部品。
JP9198716A 1997-07-24 1997-07-24 積層セラミック複合部品 Pending JPH1145823A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9198716A JPH1145823A (ja) 1997-07-24 1997-07-24 積層セラミック複合部品

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9198716A JPH1145823A (ja) 1997-07-24 1997-07-24 積層セラミック複合部品

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH1145823A true JPH1145823A (ja) 1999-02-16

Family

ID=16395828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9198716A Pending JPH1145823A (ja) 1997-07-24 1997-07-24 積層セラミック複合部品

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH1145823A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004165631A (ja) * 2002-10-08 2004-06-10 Ngk Spark Plug Co Ltd 積層コンデンサ及びその製造方法
JP2005285907A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Hitachi Metals Ltd セラミックス積層体

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004165631A (ja) * 2002-10-08 2004-06-10 Ngk Spark Plug Co Ltd 積層コンデンサ及びその製造方法
JP2005285907A (ja) * 2004-03-29 2005-10-13 Hitachi Metals Ltd セラミックス積層体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3322199B2 (ja) 多層セラミック基板およびその製造方法
JP2001076953A (ja) 積層型コイル部品及びその製造方法
JP3088021B2 (ja) 電圧制御発振器
JPH11340089A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法及び積層セラミック電子部品
JP3593964B2 (ja) 多層セラミック基板およびその製造方法
CN108428554A (zh) 电容器组件以及制造电容器组件的方法
JPH0897070A (ja) セラミックコンデンサ
JP2003332741A (ja) セラミック多層基板の製造方法
JP2002246503A (ja) 電子部品及びその製造方法
JPH07111405A (ja) 高周波用非可逆回路素子
JPS63300593A (ja) セラミック複合基板
JPS6235257B2 (ja)
JP3498200B2 (ja) 積層セラミック複合部品
JPH0737757A (ja) コンデンサアレイ
JP3669404B2 (ja) 多層セラミック基板の製造方法
JPH1145823A (ja) 積層セラミック複合部品
JP4501524B2 (ja) セラミック多層基板およびその製造方法
JPH06196586A (ja) 多層ハイブリッドの製法
JPH11354924A (ja) 多層セラミック基板の製造方法
JP3521699B2 (ja) 積層セラミック複合部品の製造方法
JPH0115159Y2 (ja)
JP2002057036A (ja) 積層複合電子部品及びその製造方法
JP2004095767A (ja) セラミック多層基板およびその製造方法
JP3540941B2 (ja) 積層体およびその製造方法
JPH0155594B2 (ja)