JPH1144844A - 拡大投影光学系 - Google Patents
拡大投影光学系Info
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- JPH1144844A JPH1144844A JP21555397A JP21555397A JPH1144844A JP H1144844 A JPH1144844 A JP H1144844A JP 21555397 A JP21555397 A JP 21555397A JP 21555397 A JP21555397 A JP 21555397A JP H1144844 A JPH1144844 A JP H1144844A
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- Japan
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- lens
- optical system
- image
- surface facing
- projection optical
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 画角が大きく、かつ高解像度を有する拡大投
影光学系を提供する。 【解決手段】 拡大投影光学系は、物体側に凸面を向け
た正のパワーを有するレンズＬ１と、物体側に凸面を向
けた正のパワーを有するレンズＬ２と、物体側に凸面を
向けた正のパワーを有するレンズＬ３と、像側に凹面を
向けた負のパワーを有するレンズＬ４と、物体側に凸面
を向けた正のパワーを有するレンズＬ５と、物体側に凹
面を向けた負のパワーを有するレンズＬ６と、物体側に
凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ７と、物体側
に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ８と、物体
側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ９と、像
側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ１０と、
前記レンズＬ４とレンズＬ５の間に配置された絞りＳＰ
とを備え、各レンズの曲率半径、面間距離及び拡大投影
光学系の焦点距離の相互関係を所定の条件を満足するよ
うにする。
影光学系を提供する。 【解決手段】 拡大投影光学系は、物体側に凸面を向け
た正のパワーを有するレンズＬ１と、物体側に凸面を向
けた正のパワーを有するレンズＬ２と、物体側に凸面を
向けた正のパワーを有するレンズＬ３と、像側に凹面を
向けた負のパワーを有するレンズＬ４と、物体側に凸面
を向けた正のパワーを有するレンズＬ５と、物体側に凹
面を向けた負のパワーを有するレンズＬ６と、物体側に
凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ７と、物体側
に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ８と、物体
側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ９と、像
側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ１０と、
前記レンズＬ４とレンズＬ５の間に配置された絞りＳＰ
とを備え、各レンズの曲率半径、面間距離及び拡大投影
光学系の焦点距離の相互関係を所定の条件を満足するよ
うにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は拡大投影光学系に係
り、特にプリンター等の画像形成装置に用いられる高解
像度の拡大投影光学系に関する。
り、特にプリンター等の画像形成装置に用いられる高解
像度の拡大投影光学系に関する。
【０００２】
【従来の技術】レーザビームを用いた画像形成装置は、
従来から、ポリゴンミラーを高速で回転させ、１つのレ
ーザビームを感光体上で走査させることで画像を形成し
ている。
従来から、ポリゴンミラーを高速で回転させ、１つのレ
ーザビームを感光体上で走査させることで画像を形成し
ている。
【０００３】これに対して、ある規則に従って２次元上
に配列されたレーザアレイを、拡大投影光学系により感
光体上に投影し結像させることで、感光体上に画像を形
成するプリンター等の画像形成装置に係る新規な方式が
提案されている。この方式においては、２次元上に配列
されたレーザアレイを画像形成に必要なビーム径に集光
させて感光体上に投影する必要がある。このため、画像
形成装置に用いる拡大投影光学系は、画角が大きく、か
つ高解像度のものが要求される。
に配列されたレーザアレイを、拡大投影光学系により感
光体上に投影し結像させることで、感光体上に画像を形
成するプリンター等の画像形成装置に係る新規な方式が
提案されている。この方式においては、２次元上に配列
されたレーザアレイを画像形成に必要なビーム径に集光
させて感光体上に投影する必要がある。このため、画像
形成装置に用いる拡大投影光学系は、画角が大きく、か
つ高解像度のものが要求される。
【０００４】高解像度を有する投影光学系の代表的なも
のとしては、半導体ウエハ上にパターンを投影する露光
装置、通称ステッパーといわれる装置の光学系がある。
この種の装置の光学系は、テレセントリックな光学系を
採用し、口径比を大きくして、解像力を向上させている
が、半導体ウエハ上にパターンを縮小投影するものであ
り、画角は小さく設計されているものである。この種の
装置の光学系を上述のような画像形成装置に適用しよう
とすると、光学系は巨大なものとなり、画像形成装置が
大型化するという問題がある。この点を勘案して、例え
ば特開平３−７２３１０号公報にはプリント基板の製造
用に好適な結像レンズ系が提案されている。
のとしては、半導体ウエハ上にパターンを投影する露光
装置、通称ステッパーといわれる装置の光学系がある。
この種の装置の光学系は、テレセントリックな光学系を
採用し、口径比を大きくして、解像力を向上させている
が、半導体ウエハ上にパターンを縮小投影するものであ
り、画角は小さく設計されているものである。この種の
装置の光学系を上述のような画像形成装置に適用しよう
とすると、光学系は巨大なものとなり、画像形成装置が
大型化するという問題がある。この点を勘案して、例え
ば特開平３−７２３１０号公報にはプリント基板の製造
用に好適な結像レンズ系が提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】プリンター等の画像形
成装置に用いる拡大投影光学系は、画角が大きく、かつ
高解像度のものが要求される。従来から画角が大きい光
学系は種々あるが、これを画像形成装置にそのまま用い
ることはできない。画像形成装置の感光体上の全領域に
投影できる画角を有し、かつレーザビームを画像の形成
に必要なビーム径に集光させる高い解像力をもつ拡大投
影光学系は、今のところ見当たらないというのが実情で
ある。
成装置に用いる拡大投影光学系は、画角が大きく、かつ
高解像度のものが要求される。従来から画角が大きい光
学系は種々あるが、これを画像形成装置にそのまま用い
ることはできない。画像形成装置の感光体上の全領域に
投影できる画角を有し、かつレーザビームを画像の形成
に必要なビーム径に集光させる高い解像力をもつ拡大投
影光学系は、今のところ見当たらないというのが実情で
ある。
【０００６】従って本発明の目的は、画角が大きく、か
つ高解像度を有する拡大投影光学系を提供することにあ
る。
つ高解像度を有する拡大投影光学系を提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的は、物体側に凸
面を向けた正のパワーを有する第１レンズと、前記第１
レンズの像側に配置され、物体側に凸面を向けた正のパ
ワーを有する第２レンズと、前記第２レンズの像側に配
置され、物体側に凸面を向けた正のパワーを有する第３
レンズと、前記第３レンズの像側に配置され、像側に凹
面を向けた負のパワーを有する第４レンズと、前記第４
レンズの像側に配置され、物体側に凸面を向けた正のパ
ワーを有する第５レンズと、前記第５レンズの像側に配
置され、物体側に凹面を向けた負のパワーを有する第６
レンズと、前記第６レンズの像側に配置され、物体側に
凸面を向けた正のパワーを有する第７レンズと、前記第
７レンズの像側に配置され、物体側に凹面を向けた負の
パワーを有する第８レンズと、前記第８レンズの像側に
配置され、物体側に凹面を向けた負のパワーを有する第
９レンズと、前記第９レンズの像側に配置され、像側に
凸面を向けた正のパワーを有する第１０レンズと、前記
第４レンズと前記第５レンズの間に配置された絞りとを
備えた拡大投影光学系であって、物体側から順次数え
て、曲率半径をＲ１からＲ２０、レンズの厚み又は面間
距離をＤ１からＤ１９とし、拡大投影光学系の焦点距離
をｆとするとき、 ０．１３＜｜Ｒ９／Ｒ１０｜＜０．１７、 Ｒ９＞０、
Ｒ１０＜０、 ０．５＜Ｒ１１／Ｒ１２＜０．６、
Ｒ１１＜０、 Ｒ１２＜０、 ０．４５＜Ｒ１５／Ｒ１
６＜０．５５、 Ｒ１５＜０、 Ｒ１６＜０、 ０．３
＜Ｒ１７／Ｒ１８＜０．４、 Ｒ１７＜０、 Ｒ１８＜
０、 ３．５＜Ｒ１９／Ｒ２０＜４．５、Ｒ１９＜０、
Ｒ２０＜０、 ０．２ｆ＜Ｄ１４＜０．３ｆ の各条件を満足する拡大投影光学系により、達成され
る。
面を向けた正のパワーを有する第１レンズと、前記第１
レンズの像側に配置され、物体側に凸面を向けた正のパ
ワーを有する第２レンズと、前記第２レンズの像側に配
置され、物体側に凸面を向けた正のパワーを有する第３
レンズと、前記第３レンズの像側に配置され、像側に凹
面を向けた負のパワーを有する第４レンズと、前記第４
レンズの像側に配置され、物体側に凸面を向けた正のパ
ワーを有する第５レンズと、前記第５レンズの像側に配
置され、物体側に凹面を向けた負のパワーを有する第６
レンズと、前記第６レンズの像側に配置され、物体側に
凸面を向けた正のパワーを有する第７レンズと、前記第
７レンズの像側に配置され、物体側に凹面を向けた負の
パワーを有する第８レンズと、前記第８レンズの像側に
配置され、物体側に凹面を向けた負のパワーを有する第
９レンズと、前記第９レンズの像側に配置され、像側に
凸面を向けた正のパワーを有する第１０レンズと、前記
第４レンズと前記第５レンズの間に配置された絞りとを
備えた拡大投影光学系であって、物体側から順次数え
て、曲率半径をＲ１からＲ２０、レンズの厚み又は面間
距離をＤ１からＤ１９とし、拡大投影光学系の焦点距離
をｆとするとき、 ０．１３＜｜Ｒ９／Ｒ１０｜＜０．１７、 Ｒ９＞０、
Ｒ１０＜０、 ０．５＜Ｒ１１／Ｒ１２＜０．６、
Ｒ１１＜０、 Ｒ１２＜０、 ０．４５＜Ｒ１５／Ｒ１
６＜０．５５、 Ｒ１５＜０、 Ｒ１６＜０、 ０．３
＜Ｒ１７／Ｒ１８＜０．４、 Ｒ１７＜０、 Ｒ１８＜
０、 ３．５＜Ｒ１９／Ｒ２０＜４．５、Ｒ１９＜０、
Ｒ２０＜０、 ０．２ｆ＜Ｄ１４＜０．３ｆ の各条件を満足する拡大投影光学系により、達成され
る。
【０００８】上述のレンズ系および条件は、プリンター
等の画像形成装置に用いる拡大投影光学系について、本
発明者が種々の分析を行い、その結果に基づいて導き出
したものである。本発明に係る画像形成装置において
は、このような拡大投影光学系を用いて、レーザアレイ
から発生するレーザビームを拡大し感光体に投影し結像
させる。ここで、拡大投影光学系の物体側はテレセント
リックな光学系としている。
等の画像形成装置に用いる拡大投影光学系について、本
発明者が種々の分析を行い、その結果に基づいて導き出
したものである。本発明に係る画像形成装置において
は、このような拡大投影光学系を用いて、レーザアレイ
から発生するレーザビームを拡大し感光体に投影し結像
させる。ここで、拡大投影光学系の物体側はテレセント
リックな光学系としている。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る拡大投影光学
系の実施例について説明する。図１は、本発明に係る拡
大投影光学系をプリンター等の画像形成装置に適用した
一実施例である。
系の実施例について説明する。図１は、本発明に係る拡
大投影光学系をプリンター等の画像形成装置に適用した
一実施例である。
【００１０】同図において、左手側が物体側であり、レ
ーザアレイ１が発光源として配置されている。また、右
手側が像側であり、感光体２上にレーザビームが投影さ
れ結像される。本実施例は、ある規則に従って２次元上
に配列されたレーザアレイ１を、ある規則に従って発光
させ、本発明に係る拡大投影光学系３により感光体２上
に投影し、ある規則に従って結像させるものである。
ーザアレイ１が発光源として配置されている。また、右
手側が像側であり、感光体２上にレーザビームが投影さ
れ結像される。本実施例は、ある規則に従って２次元上
に配列されたレーザアレイ１を、ある規則に従って発光
させ、本発明に係る拡大投影光学系３により感光体２上
に投影し、ある規則に従って結像させるものである。
【００１１】物体側はテレセントリックな光学系になっ
ており、レーザアレイ１上に配列されたレーザ発光部か
ら出射されるレーザビーム４は、光軸に沿って平行に拡
大投影光学系３に入射し、拡大投影光学系３の横倍率だ
け拡大され、図示のようにレーザビーム５となり、感光
体２上に投影され結像される。
ており、レーザアレイ１上に配列されたレーザ発光部か
ら出射されるレーザビーム４は、光軸に沿って平行に拡
大投影光学系３に入射し、拡大投影光学系３の横倍率だ
け拡大され、図示のようにレーザビーム５となり、感光
体２上に投影され結像される。
【００１２】図２は、拡大投影光学系３の構成図であ
る。同図に示すように、拡大投影光学系３は、物体側に
凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ１と、物体側
に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ２と、物体
側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ３と、像
側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ４と、物
体側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ５と、
物体側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ６
と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ
７と、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズ
Ｌ８と、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するレン
ズＬ９と、像側に凸面を向けた正のパワーを有するレン
ズＬ１０と、前記レンズＬ４とレンズＬ５の間に配置さ
れた絞りＳＰとを備える。
る。同図に示すように、拡大投影光学系３は、物体側に
凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ１と、物体側
に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ２と、物体
側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ３と、像
側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ４と、物
体側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ５と、
物体側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズＬ６
と、物体側に凸面を向けた正のパワーを有するレンズＬ
７と、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するレンズ
Ｌ８と、物体側に凹面を向けた負のパワーを有するレン
ズＬ９と、像側に凸面を向けた正のパワーを有するレン
ズＬ１０と、前記レンズＬ４とレンズＬ５の間に配置さ
れた絞りＳＰとを備える。
【００１３】これらレンズは、物体側から順次数えて、
曲率半径をＲ１からＲ２０、レンズの厚み又は面間距離
をＤ１からＤ１９とし、拡大投影光学系の焦点距離をｆ
とするとき、 ０．１３＜｜Ｒ９／Ｒ１０｜＜０．１７、 Ｒ９＞０、
Ｒ１０＜０、 ０．５＜Ｒ１１／Ｒ１２＜０．６、
Ｒ１１＜０、 Ｒ１２＜０、 ０．４５＜Ｒ１５／Ｒ１
６＜０．５５、 Ｒ１５＜０、 Ｒ１６＜０、 ０．３
＜Ｒ１７／Ｒ１８＜０．４、 Ｒ１７＜０、 Ｒ１８＜
０、 ３．５＜Ｒ１９／Ｒ２０＜４．５、Ｒ１９＜０、
Ｒ２０＜０、 ０．２ｆ＜Ｄ１４＜０．３ｆ の各条件を満足するようにする。
曲率半径をＲ１からＲ２０、レンズの厚み又は面間距離
をＤ１からＤ１９とし、拡大投影光学系の焦点距離をｆ
とするとき、 ０．１３＜｜Ｒ９／Ｒ１０｜＜０．１７、 Ｒ９＞０、
Ｒ１０＜０、 ０．５＜Ｒ１１／Ｒ１２＜０．６、
Ｒ１１＜０、 Ｒ１２＜０、 ０．４５＜Ｒ１５／Ｒ１
６＜０．５５、 Ｒ１５＜０、 Ｒ１６＜０、 ０．３
＜Ｒ１７／Ｒ１８＜０．４、 Ｒ１７＜０、 Ｒ１８＜
０、 ３．５＜Ｒ１９／Ｒ２０＜４．５、Ｒ１９＜０、
Ｒ２０＜０、 ０．２ｆ＜Ｄ１４＜０．３ｆ の各条件を満足するようにする。
【００１４】表１は、上記のように構成された拡大投影
光学系の具体的なレンズデータを示すものである。
光学系の具体的なレンズデータを示すものである。
【００１５】表１において、Ｒｉ（ｉ＝１〜２０）は、
レンズの曲率半径を示すものであり、例えばＲ１は、レ
ンズＬ１の凸面Ｒ１の曲率半径であり、Ｒ２は、レンズ
Ｌ１の像側にある面Ｒ２の曲率半径である。Ｄ１，Ｄ
３，Ｄ５，Ｄ７，Ｄ９，Ｄ１１，Ｄ１３，Ｄ１５，Ｄ１
７，Ｄ１９は、レンズＬ１〜Ｌ１０の厚みをそれぞれ示
し、Ｄ２，Ｄ４，Ｄ６は、レンズＬ１〜Ｌ４の隣り合う
レンズ間の面間隔をそれぞれ示し、Ｄ１０，Ｄ１２，Ｄ
１４，Ｄ１６，Ｄ１８は、レンズＬ５〜Ｌ１０の隣り合
うレンズ間の面間隔をそれぞれ示す。さらに、Ｄ８はレ
ンズＬ４と絞りＳＰとの面間隔、Ｄ９は絞りＳＰとレン
ズＬ５との面間隔をそれぞれ示す。また、ｎ１からｎ１
０は、波長７８０ｎｍに対するレンズＬ１〜Ｌ１０の屈
折率をそれぞれ示している。なお、表１中の曲率半径Ｒ
ｉ、レンズの厚みまたは面間隔Ｄｉの数値の単位はｍｍ
である。
レンズの曲率半径を示すものであり、例えばＲ１は、レ
ンズＬ１の凸面Ｒ１の曲率半径であり、Ｒ２は、レンズ
Ｌ１の像側にある面Ｒ２の曲率半径である。Ｄ１，Ｄ
３，Ｄ５，Ｄ７，Ｄ９，Ｄ１１，Ｄ１３，Ｄ１５，Ｄ１
７，Ｄ１９は、レンズＬ１〜Ｌ１０の厚みをそれぞれ示
し、Ｄ２，Ｄ４，Ｄ６は、レンズＬ１〜Ｌ４の隣り合う
レンズ間の面間隔をそれぞれ示し、Ｄ１０，Ｄ１２，Ｄ
１４，Ｄ１６，Ｄ１８は、レンズＬ５〜Ｌ１０の隣り合
うレンズ間の面間隔をそれぞれ示す。さらに、Ｄ８はレ
ンズＬ４と絞りＳＰとの面間隔、Ｄ９は絞りＳＰとレン
ズＬ５との面間隔をそれぞれ示す。また、ｎ１からｎ１
０は、波長７８０ｎｍに対するレンズＬ１〜Ｌ１０の屈
折率をそれぞれ示している。なお、表１中の曲率半径Ｒ
ｉ、レンズの厚みまたは面間隔Ｄｉの数値の単位はｍｍ
である。
【表１】
【００１６】上記レンズデータを有する拡大投影光学系
の焦点距離ｆ、全画角２θ、実効ＦＮｏ、倍率Ｍは、そ
れぞれｆ＝４８．５、２θ＝５２°、ＦＮｏ＝１７、Ｍ
＝６に設定されている。
の焦点距離ｆ、全画角２θ、実効ＦＮｏ、倍率Ｍは、そ
れぞれｆ＝４８．５、２θ＝５２°、ＦＮｏ＝１７、Ｍ
＝６に設定されている。
【００１７】図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、上記のよ
うに構成された拡大投影光学系３の球面収差、非点収差
および歪曲収差をそれぞれ示す図である。図のように収
差の状況は良好であり、本発明に係る拡大投影光学系に
よれば高解像度の画像を得ることができる。なお、同図
（ｂ）において、符号Ｓ（実線）はサジタル方向の非点
収差を示し、符号Ｔ（破線）はタンジェンシャル方向の
非点収差を示している。
うに構成された拡大投影光学系３の球面収差、非点収差
および歪曲収差をそれぞれ示す図である。図のように収
差の状況は良好であり、本発明に係る拡大投影光学系に
よれば高解像度の画像を得ることができる。なお、同図
（ｂ）において、符号Ｓ（実線）はサジタル方向の非点
収差を示し、符号Ｔ（破線）はタンジェンシャル方向の
非点収差を示している。
【００１８】図４は、ＭＴＦ（Ｍｏｄｕｌａｔｉｏｎ
Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）曲線を示す図で
ある。Ｙは物体高を示し、符号Ｓ（一点鎖線）はサジタ
ル方向、符号Ｔ（破線）はタンジェンシャル方向のＭＴ
Ｆ曲線を示している。図示のように、ＭＴＦ曲線は高い
空間周波数まで延びており高解像力を有している。かつ
上述のとおり、全画角２θは５２度であり画角の大きい
拡大投影光学系が得られる。
Ｔｒａｎｓｆｅｒ Ｆｕｎｃｔｉｏｎ）曲線を示す図で
ある。Ｙは物体高を示し、符号Ｓ（一点鎖線）はサジタ
ル方向、符号Ｔ（破線）はタンジェンシャル方向のＭＴ
Ｆ曲線を示している。図示のように、ＭＴＦ曲線は高い
空間周波数まで延びており高解像力を有している。かつ
上述のとおり、全画角２θは５２度であり画角の大きい
拡大投影光学系が得られる。
【００１９】また、本発明に係る拡大投影光学系は、物
体側でテレセントリックとなっており、２次元上に配列
されたレーザアレイの発光点を感光体上に正確に拡大投
影できる。
体側でテレセントリックとなっており、２次元上に配列
されたレーザアレイの発光点を感光体上に正確に拡大投
影できる。
【００２０】
【発明の効果】本発明によれば、画角が大きく、かつ高
解像度を有する拡大投影光学系を得ることができる。
解像度を有する拡大投影光学系を得ることができる。
【図１】本発明に係る拡大投影光学系を画像形成装置に
適用した一実施例である。
適用した一実施例である。
【図２】本発明に係る拡大投影光学系の構成図である。
【図３】（ａ）は本発明に係る拡大投影光学系の球面収
差図、（ｂ）は本発明に係る拡大投影光学系の非点収差
図、（ｃ）は本発明に係る拡大投影光学系の歪曲収差図
である。
差図、（ｂ）は本発明に係る拡大投影光学系の非点収差
図、（ｃ）は本発明に係る拡大投影光学系の歪曲収差図
である。
【図４】本発明に係る拡大投影光学系のＭＴＦ曲線図で
ある。
ある。
Ｌ１ 第１レンズ Ｌ２ 第２レンズ Ｌ３ 第３レンズ Ｌ４ 第４レンズ Ｌ５ 第５レンズ Ｌ６ 第６レンズ Ｌ７ 第７レンズ Ｌ８ 第８レンズ Ｌ９ 第９レンズ Ｌ１０ 第１０レンズ Ｒ１ 第１レンズの物体側曲率半径 Ｒ２ 第１レンズの像側曲率半径 Ｒ３ 第２レンズの物体側曲率半径 Ｒ４ 第２レンズの像側曲率半径 Ｒ５ 第３レンズの物体側曲率半径 Ｒ６ 第３レンズの像側曲率半径 Ｒ７ 第４レンズの物体側曲率半径 Ｒ８ 第４レンズの像側曲率半径 Ｒ９ 第５レンズの物体側曲率半径 Ｒ１０ 第５レンズの像側曲率半径 Ｒ１１ 第６レンズの物体側曲率半径 Ｒ１２ 第６レンズの像側曲率半径 Ｒ１３ 第７レンズの物体側曲率半径 Ｒ１４ 第７レンズの像側曲率半径 Ｒ１５ 第８レンズの物体側曲率半径 Ｒ１６ 第８レンズの像側曲率半径 Ｒ１７ 第９レンズの物体側曲率半径 Ｒ１８ 第９レンズの像側曲率半径 Ｒ１９ 第１０レンズの物体側曲率半径 Ｒ２０ 第１０レンズの像側曲率半径 ＳＰ 絞り
Claims (3)
- 【請求項１】 物体側に凸面を向けた正のパワーを有す
る第１レンズと、前記第１レンズの像側に配置され、物
体側に凸面を向けた正のパワーを有する第２レンズと、
前記第２レンズの像側に配置され、物体側に凸面を向け
た正のパワーを有する第３レンズと、前記第３レンズの
像側に配置され、像側に凹面を向けた負のパワーを有す
る第４レンズと、前記第４レンズの像側に配置され、物
体側に凸面を向けた正のパワーを有する第５レンズと、
前記第５レンズの像側に配置され、物体側に凹面を向け
た負のパワーを有する第６レンズと、前記第６レンズの
像側に配置され、物体側に凸面を向けた正のパワーを有
する第７レンズと、前記第７レンズの像側に配置され、
物体側に凹面を向けた負のパワーを有する第８レンズ
と、前記第８レンズの像側に配置され、物体側に凹面を
向けた負のパワーを有する第９レンズと、前記第９レン
ズの像側に配置され、像側に凸面を向けた正のパワーを
有する第１０レンズと、前記第４レンズと前記第５レン
ズの間に配置された絞りとを備えた拡大投影光学系であ
って、物体側から順次数えて、曲率半径をＲ１からＲ２
０、レンズの厚み又は面間距離をＤ１からＤ１９とし、
拡大投影光学系の焦点距離をｆとするとき、 ０．１３＜｜Ｒ９／Ｒ１０｜＜０．１７、 Ｒ９＞０、
Ｒ１０＜０、 ０．５＜Ｒ１１／Ｒ１２＜０．６、
Ｒ１１＜０、 Ｒ１２＜０、 ０．４５＜Ｒ１５／Ｒ１
６＜０．５５、 Ｒ１５＜０、 Ｒ１６＜０、 ０．３
＜Ｒ１７／Ｒ１８＜０．４、 Ｒ１７＜０、 Ｒ１８＜
０、 ３．５＜Ｒ１９／Ｒ２０＜４．５、Ｒ１９＜０、
Ｒ２０＜０、 ０．２ｆ＜Ｄ１４＜０．３ｆ の各条件を満足することを特徴とする拡大投影光学系。 - 【請求項２】 画像信号に基づいてレーザビームを発生
するレーザアレイと、前記レーザビームを拡大して投影
する請求項１記載の拡大投影光学系と、前記拡大投影光
学系により拡大されたレーザビームが投影され結像され
る感光体とを備えたことを特徴とする画像形成装置。 - 【請求項３】 前記拡大投影光学系の物体側はテレセン
トリックな光学系になっていることを特徴とする請求項
２記載の画像形成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21555397A JPH1144844A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 拡大投影光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21555397A JPH1144844A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 拡大投影光学系 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1144844A true JPH1144844A (ja) | 1999-02-16 |
Family
ID=16674342
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21555397A Pending JPH1144844A (ja) | 1997-07-25 | 1997-07-25 | 拡大投影光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1144844A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102279460A (zh) * | 2011-07-27 | 2011-12-14 | 上海市计量测试技术研究院 | 一种光学投影系统 |
| CN112859291A (zh) * | 2021-02-01 | 2021-05-28 | 浙江舜宇光学有限公司 | 摄像镜头 |
| WO2022088363A1 (zh) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 诚瑞光学(深圳)有限公司 | 摄像光学镜头 |
| US11531189B2 (en) | 2019-05-10 | 2022-12-20 | Zhejiang Sunny Optical Co., Ltd. | Optical imaging system |
-
1997
- 1997-07-25 JP JP21555397A patent/JPH1144844A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102279460A (zh) * | 2011-07-27 | 2011-12-14 | 上海市计量测试技术研究院 | 一种光学投影系统 |
| US11531189B2 (en) | 2019-05-10 | 2022-12-20 | Zhejiang Sunny Optical Co., Ltd. | Optical imaging system |
| WO2022088363A1 (zh) * | 2020-10-30 | 2022-05-05 | 诚瑞光学(深圳)有限公司 | 摄像光学镜头 |
| CN112859291A (zh) * | 2021-02-01 | 2021-05-28 | 浙江舜宇光学有限公司 | 摄像镜头 |
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