JPH11351626A - クリーンルーム室圧調整方法及びその装置 - Google Patents
クリーンルーム室圧調整方法及びその装置Info
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- JPH11351626A JPH11351626A JP17210898A JP17210898A JPH11351626A JP H11351626 A JPH11351626 A JP H11351626A JP 17210898 A JP17210898 A JP 17210898A JP 17210898 A JP17210898 A JP 17210898A JP H11351626 A JPH11351626 A JP H11351626A
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- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 室圧差のバランス維持の確保及び室圧制御の
簡易化を図ることができるクリーンルーム室圧調整装置
を提供する。 【解決手段】 高グレードの第１クリーンルームＡと低
グレードの第２クリーンルームＢの室圧維持及び室圧変
動防止を行うためのクリーンルーム室圧調整装置であっ
て、第１クリーンルームと第２クリーンルーム間に配置
されたクリーンユニット１と、それら第１及び第２クリ
ーンルームの室圧及び室圧差の変動を検出するマノメー
タ３と、そのマノメータの検出値に基づいてクリーンユ
ニットの運転制御を行う室圧制御器４とを備え、クリー
ンユニットは、室圧制御器による制御信号に基づいて第
２クリーンルーム内の空気を第１クリーンルームへ送る
送風ファン１ａと、その送風ファンで送られる空気の塵
埃を除去するフィルタ１ｂとを有する。
簡易化を図ることができるクリーンルーム室圧調整装置
を提供する。 【解決手段】 高グレードの第１クリーンルームＡと低
グレードの第２クリーンルームＢの室圧維持及び室圧変
動防止を行うためのクリーンルーム室圧調整装置であっ
て、第１クリーンルームと第２クリーンルーム間に配置
されたクリーンユニット１と、それら第１及び第２クリ
ーンルームの室圧及び室圧差の変動を検出するマノメー
タ３と、そのマノメータの検出値に基づいてクリーンユ
ニットの運転制御を行う室圧制御器４とを備え、クリー
ンユニットは、室圧制御器による制御信号に基づいて第
２クリーンルーム内の空気を第１クリーンルームへ送る
送風ファン１ａと、その送風ファンで送られる空気の塵
埃を除去するフィルタ１ｂとを有する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クリーンルームの
室圧が変動した場合や各グレードのクリーンルーム間の
室圧バランスが崩れた場合に、クリーンルームの室圧と
各グレードの室圧バランスを調整するクリーンルーム室
圧調整方法及びその装置に関する。
室圧が変動した場合や各グレードのクリーンルーム間の
室圧バランスが崩れた場合に、クリーンルームの室圧と
各グレードの室圧バランスを調整するクリーンルーム室
圧調整方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、クリーンルームの室圧やクリーン
ルーム間の室圧バランスが崩れた場合に、そのバランス
を修復する技術として、クリーンルームへ送風する空気
の量と排気の量を調整する技術がある。
ルーム間の室圧バランスが崩れた場合に、そのバランス
を修復する技術として、クリーンルームへ送風する空気
の量と排気の量を調整する技術がある。
【０００３】例えば、特開平４−１３９３３７号公報に
は、クリーンルームの換気量と室圧を制御できるクリー
ンルーム制御システムの技術が記載されている。これ
は、図２に示すように、設定室圧と実際の室圧との差及
び設定給気風速と実際の給気風速の差を、風速計２５、
室圧計２６及びコントローラ２７により求め、そのコン
トローラ２７の出力に基づいて、給気ダンパ２３と環気
ダンパ２４の開度調整を行うと共に、送風機２１による
給気風速及び室圧を設定給気風速と設定室圧に合わせる
ように送風機２１と排風機２２を制御するように構成し
たものである。
は、クリーンルームの換気量と室圧を制御できるクリー
ンルーム制御システムの技術が記載されている。これ
は、図２に示すように、設定室圧と実際の室圧との差及
び設定給気風速と実際の給気風速の差を、風速計２５、
室圧計２６及びコントローラ２７により求め、そのコン
トローラ２７の出力に基づいて、給気ダンパ２３と環気
ダンパ２４の開度調整を行うと共に、送風機２１による
給気風速及び室圧を設定給気風速と設定室圧に合わせる
ように送風機２１と排風機２２を制御するように構成し
たものである。
【０００４】一方、特開昭６３−２１３７３７号公報に
は、図３に示すように、クリーンルームの壁３５内に機
器収納ボックス３６を埋設し、そのボックス内に室内空
気流路機器３４を収納してボックスの室外側及び室内側
の各プレートには夫々室内空気導入流路３７、３８を設
け、清浄度の高い室から低い室に、空気清浄度のグレー
ドに応じて空気の流れを設定し、各室に要求される空気
清浄度を維持し、更に室内空気導入流路にチャッキダン
パ３９を配設してクリーンルームの室内加圧を維持し、
空気の汚染を防止する。３１は送風機、３２は排風機、
３３はボリュームダンパを示している。
は、図３に示すように、クリーンルームの壁３５内に機
器収納ボックス３６を埋設し、そのボックス内に室内空
気流路機器３４を収納してボックスの室外側及び室内側
の各プレートには夫々室内空気導入流路３７、３８を設
け、清浄度の高い室から低い室に、空気清浄度のグレー
ドに応じて空気の流れを設定し、各室に要求される空気
清浄度を維持し、更に室内空気導入流路にチャッキダン
パ３９を配設してクリーンルームの室内加圧を維持し、
空気の汚染を防止する。３１は送風機、３２は排風機、
３３はボリュームダンパを示している。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来の室圧制御方式では、以下に述べるような課題が
ある。まず、前者の特開平４−１３９３３７号公報記載
の技術では、クリーンルームの空調機全体をコントロー
ルしなければならなく、またシステムが大規模なものに
なっていた。即ち、簡易的にコントロールする機器が無
いという問題がある。
た従来の室圧制御方式では、以下に述べるような課題が
ある。まず、前者の特開平４−１３９３３７号公報記載
の技術では、クリーンルームの空調機全体をコントロー
ルしなければならなく、またシステムが大規模なものに
なっていた。即ち、簡易的にコントロールする機器が無
いという問題がある。
【０００６】これに対し、後者の特開昭６３−２１３７
３７号公報記載の技術では、室内空気流路３７、３８に
ダンパを配設して清浄度の高い室から低い室に空気の流
れを設定して、クリーンルームの室圧を維持するという
通常時の室圧制御を簡易に行える利点が得られる。
３７号公報記載の技術では、室内空気流路３７、３８に
ダンパを配設して清浄度の高い室から低い室に空気の流
れを設定して、クリーンルームの室圧を維持するという
通常時の室圧制御を簡易に行える利点が得られる。
【０００７】しかし、清浄度の高い室と低い室との室圧
差が崩れ逆転した場合、清浄度の低い室からの逆流（空
気の汚染）を防止する目的で、チャッキダンパを設けて
いるだけであるため、室圧差のバランス維持はできない
という問題がある。
差が崩れ逆転した場合、清浄度の低い室からの逆流（空
気の汚染）を防止する目的で、チャッキダンパを設けて
いるだけであるため、室圧差のバランス維持はできない
という問題がある。
【０００８】本発明は、清浄度の高い室と低い室との室
圧差が崩れ逆転した場合でも、清浄度の低い室から高い
室へ空気を取り入れ可能にすることで、室圧差のバラン
ス維持の確保及び室圧制御の簡易化を図ることができる
クリーンルーム室圧調整装置を提供することを課題とす
る。
圧差が崩れ逆転した場合でも、清浄度の低い室から高い
室へ空気を取り入れ可能にすることで、室圧差のバラン
ス維持の確保及び室圧制御の簡易化を図ることができる
クリーンルーム室圧調整装置を提供することを課題とす
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明では、高グレードの第１クリーンルームと低
グレードの第２クリーンルームの室圧維持及び室圧変動
防止を行うためのクリーンルーム室圧調整方法であっ
て、室圧調整を必要とするときに、第２クリーンルーム
の空気を第１クリーンルーム内へ供給する工程と、第１
クリーンルームのクリーン度に必要な空気を供給するた
めの塵埃除去フィルタ通す工程を行う方法とした。この
際、第１クリーンルームと第２のクリーンルームとの間
にバランスダンパを配置し、そのバランスダンパを用い
て第１クリーンルームを第２クリーンルームに対して陽
圧に保持するのが大変好適である。また、本発明では、
高グレードの第１クリーンルームと低グレードの第２ク
リーンルームの室圧維持及び室圧変動防止を行うための
クリーンルーム室圧調整装置であって、第１クリーンル
ームと第２クリーンルーム間に配置されたクリーンユニ
ットと、それら第１及び第２クリーンルームの室圧及び
室圧差の変動を検出するマノメータと、そのマノメータ
の検出値に基づいてクリーンユニットの運転制御を行う
室圧制御器とを備え、クリーンユニットは、室圧制御器
による制御信号に基づいて第２クリーンルーム内の空気
を第１クリーンルームへ送る送風ファンと、その送風フ
ァンで送られる空気の塵埃を除去するフィルタとを有す
る構成とした。その場合、第１クリーンルームと第２ク
リーンルームとの間を仕切る壁があり、その壁に対して
クリーンユニットを埋め込み、送風ファンの吸気側が第
２クリーンルームに開口し、送気側が第１クリーンルー
ムに開口している構成とすることもできる。また、第１
クリーンルームと第２のクリーンルームとの間に、第１
クリーンルームを第２クリーンルームに対して陽圧に保
持するバランスダンパを設けた構成とすることもでき
る。また、バランスダンパを壁に対して埋め込んである
構成とすることもできる。その場合、壁がパーテーショ
ンパネルであり、そのパーテーションパネルとクリーン
ユニットとを組とする一体化構造とするのが好適であ
る。
め、本発明では、高グレードの第１クリーンルームと低
グレードの第２クリーンルームの室圧維持及び室圧変動
防止を行うためのクリーンルーム室圧調整方法であっ
て、室圧調整を必要とするときに、第２クリーンルーム
の空気を第１クリーンルーム内へ供給する工程と、第１
クリーンルームのクリーン度に必要な空気を供給するた
めの塵埃除去フィルタ通す工程を行う方法とした。この
際、第１クリーンルームと第２のクリーンルームとの間
にバランスダンパを配置し、そのバランスダンパを用い
て第１クリーンルームを第２クリーンルームに対して陽
圧に保持するのが大変好適である。また、本発明では、
高グレードの第１クリーンルームと低グレードの第２ク
リーンルームの室圧維持及び室圧変動防止を行うための
クリーンルーム室圧調整装置であって、第１クリーンル
ームと第２クリーンルーム間に配置されたクリーンユニ
ットと、それら第１及び第２クリーンルームの室圧及び
室圧差の変動を検出するマノメータと、そのマノメータ
の検出値に基づいてクリーンユニットの運転制御を行う
室圧制御器とを備え、クリーンユニットは、室圧制御器
による制御信号に基づいて第２クリーンルーム内の空気
を第１クリーンルームへ送る送風ファンと、その送風フ
ァンで送られる空気の塵埃を除去するフィルタとを有す
る構成とした。その場合、第１クリーンルームと第２ク
リーンルームとの間を仕切る壁があり、その壁に対して
クリーンユニットを埋め込み、送風ファンの吸気側が第
２クリーンルームに開口し、送気側が第１クリーンルー
ムに開口している構成とすることもできる。また、第１
クリーンルームと第２のクリーンルームとの間に、第１
クリーンルームを第２クリーンルームに対して陽圧に保
持するバランスダンパを設けた構成とすることもでき
る。また、バランスダンパを壁に対して埋め込んである
構成とすることもできる。その場合、壁がパーテーショ
ンパネルであり、そのパーテーションパネルとクリーン
ユニットとを組とする一体化構造とするのが好適であ
る。
【００１０】本発明は、従来の高グレード（清浄度の高
い室）の室圧（陽圧）維持及び室圧変動防止をするため
に、バランスダンパにて低グレード（清浄度の低い室）
の室へ空気を逃がして室圧をコントロールしている空気
の流れと逆の発想であり、低グレードの室から温湿度が
コントロールされている空気をもらい、クリーンユニッ
トにて塵埃を除去して高グレードの室へ送り込み、高グ
レードの室圧（陽圧）維持及び室圧変動を防止する。更
に、高グレード（陽圧）の室と低グレード（陰圧）の室
の室圧バランスが逆転した場合にも、上記の動作により
室間室圧バランス維持の対応ができる。
い室）の室圧（陽圧）維持及び室圧変動防止をするため
に、バランスダンパにて低グレード（清浄度の低い室）
の室へ空気を逃がして室圧をコントロールしている空気
の流れと逆の発想であり、低グレードの室から温湿度が
コントロールされている空気をもらい、クリーンユニッ
トにて塵埃を除去して高グレードの室へ送り込み、高グ
レードの室圧（陽圧）維持及び室圧変動を防止する。更
に、高グレード（陽圧）の室と低グレード（陰圧）の室
の室圧バランスが逆転した場合にも、上記の動作により
室間室圧バランス維持の対応ができる。
【００１１】また、本発明は、室圧変動した時やクリー
ンルーム間の室圧バランスが崩れた時等の異常を検出し
た時にクリーンユニットを運転させるので、室圧が安定
している時には停止しているため、省エネタイプの装置
となる。
ンルーム間の室圧バランスが崩れた時等の異常を検出し
た時にクリーンユニットを運転させるので、室圧が安定
している時には停止しているため、省エネタイプの装置
となる。
【００１２】構造面では、温湿度コントロールする付加
システム等も不要でコンパクトに設計でき、省スペース
での設置も可能で、更に装置をクリーンルームの壁（パ
ーテーションパネル）と一体化することにより、既存の
クリーンルームへもパネルの入れ替えで、装置の新設、
移設、交換等が容易にできる。
システム等も不要でコンパクトに設計でき、省スペース
での設置も可能で、更に装置をクリーンルームの壁（パ
ーテーションパネル）と一体化することにより、既存の
クリーンルームへもパネルの入れ替えで、装置の新設、
移設、交換等が容易にできる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な実施の形態
について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の
実施の形態に係るクリーンルーム室圧調整装置の全体構
成図である。
について、図面を参照して説明する。図１は、本発明の
実施の形態に係るクリーンルーム室圧調整装置の全体構
成図である。
【００１４】この図１を参照すると、クリーンルームＡ
（高グレード：陽圧）と、クリーンルームＢ（低グレー
ド：陰圧）の室圧は、両クリーンルームＡ、Ｂへ送る空
気量と環気の空気量を送風機８と排風機９とボリューム
ダンパ１０にてコントロールする。バランスダンパ２で
クリーンルームＡより逃がす空気５の量をコントロール
して、室圧の変動及び室圧をコントロールしている。
（高グレード：陽圧）と、クリーンルームＢ（低グレー
ド：陰圧）の室圧は、両クリーンルームＡ、Ｂへ送る空
気量と環気の空気量を送風機８と排風機９とボリューム
ダンパ１０にてコントロールする。バランスダンパ２で
クリーンルームＡより逃がす空気５の量をコントロール
して、室圧の変動及び室圧をコントロールしている。
【００１５】マノメータ３（室圧計）は、クリーンルー
ムＡとＢの室圧及び室圧差の変動の異常を検出し、室圧
制御器４へ信号を送る。室圧制御器４でクリーンルーム
Ａへ送る送風量を計算し、クリーンユニット１の運転信
号並びに送風ファン１ａの回転数の信号を送る。クリー
ンユニット１は、信号を受けて運転を開始し、クリーン
ルームＢより空気６をもらい、クリーンルームＡへ空気
７を送り込む。
ムＡとＢの室圧及び室圧差の変動の異常を検出し、室圧
制御器４へ信号を送る。室圧制御器４でクリーンルーム
Ａへ送る送風量を計算し、クリーンユニット１の運転信
号並びに送風ファン１ａの回転数の信号を送る。クリー
ンユニット１は、信号を受けて運転を開始し、クリーン
ルームＢより空気６をもらい、クリーンルームＡへ空気
７を送り込む。
【００１６】次に、制御動作等について図１を参照して
説明する。通常、クリーンルームＡ（高グレード）は清
浄度を保つため、クリーンルームＢ（低グレード）より
室圧を高く（陽圧）している。また、各クリーンルーム
ＡとＢの室圧を一定に保つのに、送風機８と排風機９と
ボリュームダンパ１０にて各クリールームＡ、Ｂへの空
気の送気量と環気量をコントロールしている。
説明する。通常、クリーンルームＡ（高グレード）は清
浄度を保つため、クリーンルームＢ（低グレード）より
室圧を高く（陽圧）している。また、各クリーンルーム
ＡとＢの室圧を一定に保つのに、送風機８と排風機９と
ボリュームダンパ１０にて各クリールームＡ、Ｂへの空
気の送気量と環気量をコントロールしている。
【００１７】更にバランスダンパ２により、クリーンル
ームＡからクリーンルームＢへ逃げる空気５の量をコン
トロールして、クリーンルームＡの室圧の変動防止と室
圧を一定に保っている。
ームＡからクリーンルームＢへ逃げる空気５の量をコン
トロールして、クリーンルームＡの室圧の変動防止と室
圧を一定に保っている。
【００１８】何らかの要因により、クリーンルームＡ
（高グレード）の室圧が変動した時やクリーンルーム
Ａ、Ｂ間の室圧バランス（陽圧と陰圧が逆転）が崩れた
時、マノメータ３（室圧計）で室圧変動の異常を検出
し、室圧制御器４へ信号を送り、クリーンユニット１を
運転させ、クリーンルームＢ（低グレード）より温湿度
がコントロールされた空気６をもらい、クリーンユニッ
ト１内のフィルター１ｂにて塵埃を除去し、クリーンル
ームＡへきれいな空気７を送り込む。
（高グレード）の室圧が変動した時やクリーンルーム
Ａ、Ｂ間の室圧バランス（陽圧と陰圧が逆転）が崩れた
時、マノメータ３（室圧計）で室圧変動の異常を検出
し、室圧制御器４へ信号を送り、クリーンユニット１を
運転させ、クリーンルームＢ（低グレード）より温湿度
がコントロールされた空気６をもらい、クリーンユニッ
ト１内のフィルター１ｂにて塵埃を除去し、クリーンル
ームＡへきれいな空気７を送り込む。
【００１９】クリーンルームＡへ送り込む空気７の量
は、室圧制御器４でマノメータ３より常時クリーンルー
ムＡ、Ｂの室圧及び室間の室圧差の信号を受けて計算
し、クリーンユニット１の送風ファン１ａの回転数を制
御してコントロールする。
は、室圧制御器４でマノメータ３より常時クリーンルー
ムＡ、Ｂの室圧及び室間の室圧差の信号を受けて計算
し、クリーンユニット１の送風ファン１ａの回転数を制
御してコントロールする。
【００２０】１１は、クリーンルームＡ、Ｂを仕切る壁
であり、クリーンユニット１はこの壁１１に埋め込まれ
ている。この壁１１にはバランスダンパ２も埋め込まれ
ている。壁１は、通常の壁でも問題ないが、好ましくは
パーテンションパネルなどが好適である。パーテンショ
ンパネルの場合にはクリーンユニット１、バランスダン
パ２等を一体化構造とすることができるからである。
であり、クリーンユニット１はこの壁１１に埋め込まれ
ている。この壁１１にはバランスダンパ２も埋め込まれ
ている。壁１は、通常の壁でも問題ないが、好ましくは
パーテンションパネルなどが好適である。パーテンショ
ンパネルの場合にはクリーンユニット１、バランスダン
パ２等を一体化構造とすることができるからである。
【００２１】このように、本実施の形態によれば、陽圧
側になったクリーンルームＢの空気を陰圧側のクリーン
ルームＡへ送り込むことで、クリーンルームＡの室圧を
常時陽圧に保つ。同時に、空気を奪われたクリーンルー
ムＢは陰圧になるので、クリーンルームＡとクリーンル
ームＢとの室圧バランスも保つことができる。
側になったクリーンルームＢの空気を陰圧側のクリーン
ルームＡへ送り込むことで、クリーンルームＡの室圧を
常時陽圧に保つ。同時に、空気を奪われたクリーンルー
ムＢは陰圧になるので、クリーンルームＡとクリーンル
ームＢとの室圧バランスも保つことができる。
【００２２】また、従来の室圧変動調整装置は、送風機
と排風機とボリュームダンパ等を制御するので装置が大
規模なものであったが、本実施の形態では送気運転もク
リーンユニット１だけで行うので、クリーンルームＡへ
送気する空気の温湿度をコントロールする付加システム
も不要であり、制御する装置が小規模である。また、送
気運転も基本的には室圧変動時にのみ行うので、必要時
のみの運転となり、消費エネルギーの点からも、運転効
率を良くすることができる。
と排風機とボリュームダンパ等を制御するので装置が大
規模なものであったが、本実施の形態では送気運転もク
リーンユニット１だけで行うので、クリーンルームＡへ
送気する空気の温湿度をコントロールする付加システム
も不要であり、制御する装置が小規模である。また、送
気運転も基本的には室圧変動時にのみ行うので、必要時
のみの運転となり、消費エネルギーの点からも、運転効
率を良くすることができる。
【００２３】また、マノメータ（室圧計）３、クリーン
ユニット１、バランスダンパ２と全体を制御する室圧制
御器４を基本構成とするだけで済むため、コンパクトに
設計できる。さらに、装置をクリーンルームの壁１１
（パーテーションパネル）と一体化させた構造とするこ
とにより、既存のクリーンルームにもパネルの入れ替え
だけで、装置の新設、移設、交換等が容易にできる。
ユニット１、バランスダンパ２と全体を制御する室圧制
御器４を基本構成とするだけで済むため、コンパクトに
設計できる。さらに、装置をクリーンルームの壁１１
（パーテーションパネル）と一体化させた構造とするこ
とにより、既存のクリーンルームにもパネルの入れ替え
だけで、装置の新設、移設、交換等が容易にできる。
【００２４】
【発明の効果】第１の効果は、第１クリーンルーム（高
グレード：陽圧）と第２クリーンルーム（低グレード：
陰圧）との室圧バランスが崩れた（陽圧と陰圧が逆転）
場合にも、対応が容易にできる。その理由は、陽圧側に
なった第２クリーンルームの空気を陰圧側の第１クリー
ンルームへ送り込むことで、第１クリーンルームの室圧
が陽圧に保たれ、空気を奪われた第２クリーンルームは
陰圧になり、第１クリーンルームと第２クリーンルーム
との室圧バランスも保たれるからである。
グレード：陽圧）と第２クリーンルーム（低グレード：
陰圧）との室圧バランスが崩れた（陽圧と陰圧が逆転）
場合にも、対応が容易にできる。その理由は、陽圧側に
なった第２クリーンルームの空気を陰圧側の第１クリー
ンルームへ送り込むことで、第１クリーンルームの室圧
が陽圧に保たれ、空気を奪われた第２クリーンルームは
陰圧になり、第１クリーンルームと第２クリーンルーム
との室圧バランスも保たれるからである。
【００２５】第２の効果は、従来の装置より低イニシャ
ルコスト及び省エネルギーである。その理由は、従来の
室圧変動の調整装置は、クリーンルームへの送風量と環
気量をコントロールするため、送風機と排風機とボリュ
ームダンパ等を制御するので装置が大規模なものであっ
た。本発明では、クリーンルームへ送気する空気の温湿
度をコントロールする付加システムも不要であり、送気
運転もクリーンユニットだけで行うので、制御する装置
が小規模である。また、送気運転も基本的には室圧変動
時にのみ行えばよいからである。
ルコスト及び省エネルギーである。その理由は、従来の
室圧変動の調整装置は、クリーンルームへの送風量と環
気量をコントロールするため、送風機と排風機とボリュ
ームダンパ等を制御するので装置が大規模なものであっ
た。本発明では、クリーンルームへ送気する空気の温湿
度をコントロールする付加システムも不要であり、送気
運転もクリーンユニットだけで行うので、制御する装置
が小規模である。また、送気運転も基本的には室圧変動
時にのみ行えばよいからである。
【００２６】第３の効果は、装置が省スペースで設置で
き、既存のクリーンルームにも設置が容易に出来る。そ
の理由は、構造がマノメータ（室圧計）、クリーンユニ
ット、バランスダンパと全体を制御する室圧制御器で構
成されているため、コンパクトに設計できる。また、装
置をクリーンルームの壁（パーテーションパネル）と一
体化させた構造にすることにより、既存のクリーンルー
ムにもパネルの入れ替えだけで、装置の新設、移設、交
換等が容易にできるからである。
き、既存のクリーンルームにも設置が容易に出来る。そ
の理由は、構造がマノメータ（室圧計）、クリーンユニ
ット、バランスダンパと全体を制御する室圧制御器で構
成されているため、コンパクトに設計できる。また、装
置をクリーンルームの壁（パーテーションパネル）と一
体化させた構造にすることにより、既存のクリーンルー
ムにもパネルの入れ替えだけで、装置の新設、移設、交
換等が容易にできるからである。
【図１】本発明の実施の形態に係るクリーンルーム室圧
調整装置の全体構成図である。
調整装置の全体構成図である。
【図２】従来例に係るクリーンルーム室圧調整装置の全
体構成図である。
体構成図である。
【図３】従来例に係るクリーンルーム室圧調整装置の全
体構成図である。
体構成図である。
１ クリーンユニット １ａ 送風ファン １ｂ フィルター ２ バランスダンパ ３ マノメータ（室圧計） ４ 室圧制御器 ５ 空気 ６ 空気 ７ 空気 ８ 送風機 ９ 排風機 １０ ボリュームダンパ ２１ 送風機 ２２ 排風機 ２３ 給気ダンパ ２４ 環気ダンパ ２５ 風速計 ２６ 室圧計 ２７ コントローラ ３１ 送風機 ３２ 排風機 ３３ ボリュームダンパ ３４ 室内空気流路機器 ３５ 壁 ３６ 機器収納ボックス ３７、３８ 室内空気導入流路 ３９ チャッキダンパ
【手続補正書】
【提出日】平成１１年４月１９日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明では、高グレードの第１クリーンルームと低
グレードの第２クリーンルームの室圧維持及び室圧変動
防止を行うためのクリーンルーム室圧調整方法であっ
て、前記第１クリーンルームと第２クリーンルームとへ
の吸気量と換気量とをそれぞれ調整することにより、両
クリーンルームの室圧と室圧差を設定する工程と、室圧
調整を必要とするときに、第２クリーンルームの空気を
第１クリーンルーム内へ供給する工程と、第１クリーン
ルームのクリーン度に必要な空気を供給するための塵埃
除去フィルタを通す工程と、前記第１クリーンルームと
第２クリーンルームとの間にバランスダンパを配置し、
このバランスダンパを介して、第１クリーンルーム内の
空気を第２クリーンルームに供給する工程を含むクリー
ンルーム室圧調整方法とした。また、本発明では、高グ
レードの第１クリーンルームと低グレードの第２クリー
ンルームの室圧維持及び室圧変動防止を行うためのクリ
ーンルーム室圧調整装置であって、前記両クリーンルー
ムのそれぞれに空気を供給する送風機と、両クリーンル
ームから空気を排出する排風機と、前記両クリーンルー
ムへの給気量を個々に調整するボリュームダンパと、前
記両クリーンルームからの排気量を個々に調整するボリ
ュームダンパと、両クリーンルーム間に設けられたバラ
ンスダンパと、前記第１クリーンルームと第２クリーン
ルーム間に配置されたクリーンユニットと、前記第１お
よび第２クリーンルームの室圧および室圧差の変動を検
出するマノメータと、そのマノメータの検出値に基づい
て前記クリーンユニットの運転制御を行う室圧制御器と
を備え、前記クリーンユニットは、室圧制御器による制
御信号に基づいて第２クリーンルーム内の空気を第１ク
リーンルームへ送る送風ファンと、その送風ファンで送
られる空気の塵埃を除去するフィルタとを有する構成と
した。
に、本発明では、高グレードの第１クリーンルームと低
グレードの第２クリーンルームの室圧維持及び室圧変動
防止を行うためのクリーンルーム室圧調整方法であっ
て、前記第１クリーンルームと第２クリーンルームとへ
の吸気量と換気量とをそれぞれ調整することにより、両
クリーンルームの室圧と室圧差を設定する工程と、室圧
調整を必要とするときに、第２クリーンルームの空気を
第１クリーンルーム内へ供給する工程と、第１クリーン
ルームのクリーン度に必要な空気を供給するための塵埃
除去フィルタを通す工程と、前記第１クリーンルームと
第２クリーンルームとの間にバランスダンパを配置し、
このバランスダンパを介して、第１クリーンルーム内の
空気を第２クリーンルームに供給する工程を含むクリー
ンルーム室圧調整方法とした。また、本発明では、高グ
レードの第１クリーンルームと低グレードの第２クリー
ンルームの室圧維持及び室圧変動防止を行うためのクリ
ーンルーム室圧調整装置であって、前記両クリーンルー
ムのそれぞれに空気を供給する送風機と、両クリーンル
ームから空気を排出する排風機と、前記両クリーンルー
ムへの給気量を個々に調整するボリュームダンパと、前
記両クリーンルームからの排気量を個々に調整するボリ
ュームダンパと、両クリーンルーム間に設けられたバラ
ンスダンパと、前記第１クリーンルームと第２クリーン
ルーム間に配置されたクリーンユニットと、前記第１お
よび第２クリーンルームの室圧および室圧差の変動を検
出するマノメータと、そのマノメータの検出値に基づい
て前記クリーンユニットの運転制御を行う室圧制御器と
を備え、前記クリーンユニットは、室圧制御器による制
御信号に基づいて第２クリーンルーム内の空気を第１ク
リーンルームへ送る送風ファンと、その送風ファンで送
られる空気の塵埃を除去するフィルタとを有する構成と
した。
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図１】
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正内容】
【図３】
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 高グレードの第１クリーンルームと低グ
レードの第２クリーンルームの室圧維持及び室圧変動防
止を行うためのクリーンルーム室圧調整方法であって、
室圧調整を必要とするときに、第２クリーンルームの空
気を第１クリーンルーム内へ供給する工程と、第１クリ
ーンルームのクリーン度に必要な空気を供給するための
塵埃除去フィルタ通す工程を行うことを特徴とする、ク
リーンルーム室圧調整方法。 【請求項７】 前記第１クリーンルームと第２のクリー
ンルームとの間にバランスダンパを配置し、そのバラン
スダンパを用いて第１クリーンルームを第２クリーンル
ームに対して陽圧に保持することを特徴とする、請求項
１記載のクリーンルーム室圧調整方法。 【請求項３】 高グレードの第１クリーンルームと低グ
レードの第２クリーンルームの室圧維持及び室圧変動防
止を行うためのクリーンルーム室圧調整装置であって、
前記第１クリーンルームと第２クリーンルーム間に配置
されたクリーンユニットと、それら第１及び第２クリー
ンルームの室圧及び室圧差の変動を検出するマノメータ
と、そのマノメータの検出値に基づいて前記クリーンユ
ニットの運転制御を行う室圧制御器とを備え、前記クリ
ーンユニットは、室圧制御器による制御信号に基づいて
第２クリーンルーム内の空気を第１クリーンルームへ送
る送風ファンと、その送風ファンで送られる空気の塵埃
を除去するフィルタとを有するクリーンルーム室圧調整
装置。 【請求項４】 前記第１クリーンルームと第２クリーン
ルームとの間を仕切る壁があり、その壁に対して前記ク
リーンユニットを埋め込み、前記送風ファンの吸気側が
第２クリーンルームに開口し、送気側が第１クリーンル
ームに開口していることを特徴とする、請求項３記載の
クリーンルーム室圧調整装置。 【請求項５】 前記第１クリーンルームと第２のクリー
ンルームとの間に、第１クリーンルームを第２クリーン
ルームに対して陽圧に保持するバランスダンパを設けた
ことを特徴とする、請求項３記載のクリーンルーム室圧
調整装置。 【請求項６】 前記バランスダンパを前記壁に対して埋
め込んであることを特徴とする、請求項５記載のクリー
ンルーム室圧調整装置。 【請求項７】 前記壁がパーテーションパネルであり、
そのパーテーションパネルと前記クリーンユニットとを
組とする一体化構造としたことを特徴とする、請求項４
〜６の何れかに記載のクリーンルーム室圧調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17210898A JP2947272B1 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | クリーンルーム室圧調整方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17210898A JP2947272B1 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | クリーンルーム室圧調整方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2947272B1 JP2947272B1 (ja) | 1999-09-13 |
| JPH11351626A true JPH11351626A (ja) | 1999-12-24 |
Family
ID=15935710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17210898A Expired - Fee Related JP2947272B1 (ja) | 1998-06-05 | 1998-06-05 | クリーンルーム室圧調整方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2947272B1 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009163802A (ja) * | 2007-12-28 | 2009-07-23 | Hoya Corp | 磁気ディスク製造支援方法および磁気ディスクの製造方法 |
| US7925390B2 (en) * | 2006-07-31 | 2011-04-12 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mini environment apparatus, inspection apparatus, manufacturing apparatus and cleaning method of space |
| WO2012112775A3 (en) * | 2011-02-16 | 2012-12-20 | Fiorita John L Jr | Clean room control system and method |
| JP2014190624A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Sanki Eng Co Ltd | 空調システム |
| CN110043982A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-07-23 | 北京联合大学 | 动态自适应压差波动控制系统及方法 |
| JP2021148302A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 日本エアーテック株式会社 | 陰陽圧エリアユニットおよび陰陽圧エリアユニットの配置構造 |
| CN114060919A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-02-18 | 广东迪奥技术有限公司 | 一种洁净室空气处理正压调节方法以及控制系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170084484A (ko) * | 2016-01-12 | 2017-07-20 | 이재백 | 예비 클린 구조를 갖는 클린룸 출입구 클린장치 |
| CN115823716B (zh) * | 2022-11-25 | 2024-11-08 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种室内静压调节方法、装置、电子设备和存储介质 |
| CN119336083B (zh) * | 2024-12-20 | 2025-04-04 | 北京东方逸腾数码医疗设备技术有限公司 | 一种双气舱平衡控制系统及其控制方法 |
-
1998
- 1998-06-05 JP JP17210898A patent/JP2947272B1/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2012112775A3 (en) * | 2011-02-16 | 2012-12-20 | Fiorita John L Jr | Clean room control system and method |
| US9581347B2 (en) | 2011-02-16 | 2017-02-28 | John L. Fiorita, JR. | Clean room control system and method |
| JP2014190624A (ja) * | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Sanki Eng Co Ltd | 空調システム |
| CN110043982A (zh) * | 2019-04-16 | 2019-07-23 | 北京联合大学 | 动态自适应压差波动控制系统及方法 |
| CN110043982B (zh) * | 2019-04-16 | 2020-08-28 | 北京联合大学 | 动态自适应压差波动控制系统及方法 |
| JP2021148302A (ja) * | 2020-03-16 | 2021-09-27 | 日本エアーテック株式会社 | 陰陽圧エリアユニットおよび陰陽圧エリアユニットの配置構造 |
| CN114060919A (zh) * | 2021-09-30 | 2022-02-18 | 广东迪奥技术有限公司 | 一种洁净室空气处理正压调节方法以及控制系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2947272B1 (ja) | 1999-09-13 |
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|---|---|---|---|
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