JPH11337589A - 電気光学サンプリングオシロスコープ用プローブ - Google Patents

電気光学サンプリングオシロスコープ用プローブ

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JPH11337589A
JPH11337589A JP10148033A JP14803398A JPH11337589A JP H11337589 A JPH11337589 A JP H11337589A JP 10148033 A JP10148033 A JP 10148033A JP 14803398 A JP14803398 A JP 14803398A JP H11337589 A JPH11337589 A JP H11337589A
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electro
light
reflection film
laser
probe
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JP10148033A
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Akinari Ito
昭成 伊藤
Katsushi Ota
克志 太田
Toshiyuki Yagi
敏之 八木
Mitsuru Shinagawa
満 品川
Tadao Nagatsuma
忠夫 永妻
Junzo Yamada
順三 山田
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Ando Electric Co Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
Original Assignee
Ando Electric Co Ltd
Nippon Telegraph and Telephone Corp
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    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/07Non contact-making probes
    • G01R1/071Non contact-making probes containing electro-optic elements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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    • G01R13/20Cathode-ray oscilloscopes
    • G01R13/22Circuits therefor
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 レーザダイオードが発したレーザ光を効率よ
くフォトダイオードへ入射できる電気光学サンプリング
オシロスコープ用プローブを提供する。 【解決手段】 レーザダイオード11より出射したレー
ザ光をコリメートレンズ10によって平行光にし、偏光
ビームスプリッタ9、ファラディ素子8、1/2波長板
7、及び偏光ビームスプリッタ6を通過した光を、偏光
ビームスプリッタ6と電気光学素子2との間に設けた集
光レンズ3により集光する。そして、入射平行光を反射
膜2a上の1点に集光することによって、反射膜2aが
入射平行光に対して、垂直でない場合でも、反射膜2a
で反射した光は集光レンズ3によって再び平行光に変換
されるため、反射平行光と入射平行光の光軸は平行とす
ることができ、効率よくフォトダイオード13、15へ
入射することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、被測定信号によっ
て発生する電界を電気光学結晶に結合させ、タイミング
発生回路からのタイミング信号に基づき生成された光パ
ルスをこの電気光学結晶に入射し、入射した光パルスの
偏光状態により、被測定信号の波形を観測する電気光学
サンプリングオシロスコープのプローブであって、特
に、プローブの光学系を改良した電気光学サンプリング
オシロスコープ用プローブに関する。
【0002】
【従来の技術】被測定信号によって発生する電界を電気
光学結晶に結合させ、この電気光学結晶にレーザ光を入
射し、レーザ光の偏光状態により被測定信号の波形を観
測することができる。ここでレーザ光をパルス状にし、
被測定信号をサンプリングすると非常に高い時間分解能
で測定することができる。この現象を利用した電気光学
プローブを用いたのが電気光学サンプリングオシロスコ
ープである。この電気光学サンプリング(Electro Opt
ic Sampling)オシロスコープ(以下「EOSオシロス
コープ」と略記する)は、電気式プローブを用いた従来
のサンプリングオシロスコープと比較して、 1)信号を測定する際に、グランド線を必要としないた
め、測定が容易 2)電気光学プローブの先端にある金属ピンが回路系か
ら絶縁されているので高入力インピーダンスを実現で
き、その結果被測定点の状態をほとんど乱すことがない 3)光パルスを利用することからGHzオーダーまでの
広帯域測定が可能 といった特徴があり注目を集めている。
【0003】従来技術におけるEOSオシロスコープ用
プローブの構成を図4により説明する。図4において、
符号1は、絶縁体でできたプローブヘッドであり、この
中心に金属ピン1aが嵌め込まれている。符号2は、電
気光学素子であり、金属ピン1a側の端面に反射膜2a
が設けられ、金属ピン1aに接している。符号4は、1
/2波長板であり、符号5は、1/4波長板である。符
号6及び9は、偏光ビームスプリッタである。符号7
は、1/2波長板であり、符号8は、ファラデー素子で
ある。符号10は、コリメートレンズであり、符号11
は、レーザダイオードである。符号12及び14は、集
光レンズであり、符号13及び15は、フォトダイオー
ドである。また、2つの偏光ビームスプリッタ6、9、
1/2波長板7、及びファラディ素子8は、レーザダイ
オード11が出射した光を通過させ、反射膜2aによっ
て反射された光を分離するためのアイソレータ16であ
る。
【0004】次に、図4を参照して、レーザダイオード
11から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図4において、レーザ光の光路を符号Aで表す。先ず、
レーザダイオード11から出射したレーザ光はコリメー
トレンズ10により平行光に変換され、偏光ビームスプ
リッタ9、ファラデー素子8、1/2波長板7及び偏光
ビームスプリッタ6を直進し、さらに、1/4波長板5
と1/2波長板4を通って電気光学素子2に入射する。
入射した光は、金属ピン1a側の電気光学素子2の端面
に形成された反射膜2aにより反射する。
【0005】反射したレーザ光は、再び1/2波長板4
と1/4波長板5を通り、レーザ光の一部は、偏光ビー
ムスプリッタ6により反射され、集光レンズ12によっ
て集光されて、フォトダイオード13へ入射する。偏光
ビームスプリッタ6を透過したレーザ光は、偏光ビーム
スプリッタ9で反射され、集光レンズ14によって集光
されて、フォトダイオード15へ入射する。なお、1/
2波長板4と1/4波長板5はフォトダイオード13と
フォトダイオード15へ入射するレーザ光の強度が同一
になるように調整される。
【0006】次に、図4に示したEOSオシロスコープ
用プローブを用いて、被測定信号を測定する動作につい
て説明する。金属ピン1aを、測定点に接触させると、
金属ピン1aに加わる電圧によって、電気光学素子2で
は、その電界が電気光学素子2へ伝搬し、ポッケルス効
果により屈折率が変化する現象が起きる。これにより、
レーザダイオード11から発せられたレーザ光が電気光
学素子2へ入射して、そのレーザ光が電気光学素子2を
伝搬するときに光の偏光状態が変化する。そして、この
偏光状態が変化したレーザ光は、反射膜2aによって反
射され、フォトダイオード13、15へ集光されて入射
し、電気信号に変換される。測定点の電圧の変化にとも
なって、電気光学素子2によって偏光状態の変化がフォ
トダイオード13とフォトダイオード15の出力差にな
り、この出力差を検出することによって、金属ピン1a
に加わる電気信号を測定することができる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】ところで、EOSオシ
ロスコープ用プローブでは、金属ピン1aを伝搬する電
界が、電気光学素子2中を伝搬する光の偏光状態に変化
を与える効果を利用しているため、測定信号による電界
の変化を効率よく偏光の変化に変換しようとすると、電
気光学素子2中を伝搬する光は金属ピン1aの径よりも
細いビームであることが望ましい。
【0008】また、電気光学素子2では反射膜2aによ
って、入射したレーザ光を反射させる構成であるが、反
射光を2個のフォトダイオード13、15に効率よく入
射させるためには平行光の、入射するときの光軸と反射
するときの光軸とを一致させる必要がある。入射光と反
射光の光軸が一致していない場合は、図4において、破
線で示した光路(図4の符号B)をレーザ光が通ること
になり、フォトダイオード13、15へレーザ光が入射
されなくなってしまう。従って、反射膜2aは平行光の
光軸に対して垂直に配置しなければならない。
【0009】しかしながら、平行光の入射光軸と反射膜
2aを垂直に配置するためには高度の調整技術と多くの
調整時間が必要であるという問題がある。また、電気光
学素子2を固定したプローブヘッド1を交換する場合、
新たなプローブヘッド1の電気光学素子2の端面の反射
膜2a配置を、交換する前と同じ位置に固定することは
困難なため、再度光軸合わせの調整作業が必要になると
いう問題がある。
【0010】また、反射光を分離する偏光ビームスプリ
ッタ6と偏光ビームスプリッタ9は、フォトダイオード
13とフォトダイオード15を同一平面内に配置できる
ように2つの偏光ビームスプリッタ6、9の偏光面を一
致させている。このために、ファラディ素子8で45度
回転した偏光面を元に戻すために、1/2波長板7が配
置されており、従って、構成部品が多くなり、調整箇所
が多くなると共に、内部の不要な反射光が増えてしまう
という問題がある。
【0011】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、レーザダイオード11が発したレーザ光を効
率よくフォトダイオード13、15へ入射することがで
き、さらに構成部品を減らして組立を容易にし、調整作
業を減らすことができる電気光学サンプリングオシロス
コープ用プローブを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、電気光学サンプリングオシロスコープ本体の制御信
号に基づいてレーザ光を発するレーザダイオードと、前
記レーザ光を平行光にするコリメートレンズと、端面に
反射膜を有する電気光学素子と、前記コリメートレンズ
と前記電気光学素子との間に設けられ、前記レーザダイ
オードが発したレーザ光を通過させ、前記レーザ光が前
記反射膜によって反射された反射光の分離をするアイソ
レータと、前記アイソレータによって分離された反射光
を電気信号に変換するフォトダイオードとを備える電気
光学サンプリングオシロスコープ用プローブにおいて、
前記アイソレータと前記電気光学素子との間に設けら
れ、前記平行光を前記反射膜上の1点に集光して、前記
反射膜によって反射された前記反射光を再び平行光にし
て、前記反射膜に対して入射する光の光軸と前記反射膜
によって反射された光の光軸とを一致させる集光レンズ
を備えたことを特徴とする。
【0013】請求項2に記載の発明は、前記アイソレー
タ部は、前記レーザダイオードの出射したレーザ光を通
過させ、反射膜によって反射された前記レーザ光を分離
する第1及び第2の偏光ビームスプリッタと、偏光面を
45度回転するファラディ素子とからなり、前記第2の
偏光ビームスプリッタは、前記レーザ光の光軸を中心と
して45度回転して配置したことを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
電気光学サンプリングオシロスコープ用プローブを図面
を参照して説明する。図1は同実施形態の構成を示した
図である。図1において、図4に示す従来のプローブと
同一の部分には同一の符号を付し、その説明を省略す
る。この図に示すプローブが従来技術と異なる点は、電
気光学素子2と1/2波長板との間に集光レンズ3を設
けた点である。この集光レンズ3は、電気光学素子2の
端面に設けられた反射膜2aから集光レンズ3の焦点距
離だけ離れた位置に配置される。
【0015】次に、図1を参照して、レーザダイオード
11から発せられたレーザ光の光路について説明する。
図1において、レーザ光の光路を符号Cで表す。先ず、
レーザダイオード11から出射したレーザ光はコリメー
トレンズ10により平行光に変換され、偏光ビームスプ
リッタ9、ファラデー素子8、1/2波長板7及び偏光
ビームスプリッタ6を直進し、さらに、1/4波長板5
と1/2波長板4を通る。
【0016】次に、1/2波長板4を透過した平行光
は、集光レンズ3によって集光されて電気光学素子2に
入射し、金属ピン1a側の電気光学素子2の端面に形成
された反射膜2aにより反射する。集光レンズ3は、反
射膜2aから集光レンズ3に焦点距離だけはなれた位置
に配置されているために、コリメートレンズ10によっ
て平行光に変換されたレーザ光は、反射膜2a上の1点
に集光される。
【0017】反射膜2aにおいて、反射されたレーザ光
は、集光レンズ3によって再び平行光に変換され、さら
に、1/2波長板4、1/4波長板5を通り、偏光ビー
ムスプリッタ6、9によって分離されて、フォトダイオ
ード13、15に入射し、電気信号に変換される。
【0018】このように、集光レンズ3を用いて、入射
平行光を反射膜2a上の1点に集光することによって、
反射膜2aが入射平行光に対して、垂直でない場合で
も、反射膜2aで反射した光は集光レンズ3によって再
び平行光に変換される(図1の符号D)ため、反射平行
光と入射平行光の光軸は平行とすることができる。この
平行光の光軸のずれ量は反射膜2aの角度ずれ量に対
し、わずかな平行移動量で済むために、集光レンズ12
と集光レンズ14によって、効率良く、容易に軸合わせ
することができる。また、プローブヘッドを交換した場
合に、反射膜2aが光軸に対して垂直でない場合も、反
射光が集光レンズ12と集光レンズ14をはずれること
なく、フォトダイオード13とフォトダイオード15へ
レーザダイオード11の出射光を全て集光することがで
きる。
【0019】なお、光学系の集光レンズ3の口径を、反
射膜2aの取付角度の公差に基づいて決めることによっ
て、反射膜2aの取付角度の最大許容値分だけ取付角度
がずれてもフォトダイオード13、15に集光すること
ができる。また、光学系を構成する集光レンズ3以外の
構成部品も集光レンズ3の口径に合わせて、有効面の大
きさを決めればよい。また、図1、2に示したコリメー
トレンズ10及び集光レンズ3、12、14は、1枚の
凸レンズを図示したが、複数の凹凸レンズを組み合わせ
て、収差の補正等を行ってもよい。また、反射鏡を用い
た光学系としてもよい。
【0020】次に、他の実施形態を図2、3を参照して
説明する。図2は他の実施形態の構成を示した図であ
る。図2において、図1に示すプローブと同一の部分に
は同一の符号を付し、その説明を省略する。この図に示
すプローブが図1に示すプローブと異なる点は、アイソ
レータ16の構成から、1/2波長板7を省き、偏光ビ
ームスプリッタ6、9とファラディ素子8によって構成
した点である。ただし、偏光ビームスプリッタ6は、コ
リメートレンズ10によって変換された平行光の光軸を
中心として45度回転してある。
【0021】図3は、偏光ビームスプリッタ6、9と集
光レンズ12、14とフォトダイオード13、15とを
プローブヘッド1側から見た側面図である。この図に示
したように、偏光ビームスプリッタ6の偏光面を45度
回転することによって、コリメートレンズ10から出射
した平行光は、偏光ビームスプリッタ9を通り、ファラ
ディ素子8によって偏光面が45度回転するが、偏光ビ
ームスプリッタ6の偏光面を45度回転して配置したの
で、1/2波長板7を省いても光は通過する。以下、前
述したように反射膜2aによって反射され、偏光ビーム
スプリッタ6、9によって分離され、集光レンズ12、
14によって集光されてフォトダイオード13、15へ
入射する。
【0022】このように、1/2波長板7を省いても偏
光ビームスプリッタ6、集光レンズ12、及びフォトダ
イオード13を、光軸を中心として45度回転すること
によって、1/2波長板7を設けた時と同等の動作が得
られ、さらに、構成部品を削減でき、組立作業時の調整
箇所を減らすことができる。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1に記載の
発明によれば、端面に反射膜を形成した電気光学素子の
取付角度の公差を緩和することができるため、組立作業
を容易にすることができるという効果が得られる。ま
た、電気光学素子を含むプローブヘッドを交換する場合
でも、プローブヘッドの組立における取付角度のばらつ
きがあっても、安定した性能を得ることができ、さらに
プローブヘッド交換後の光軸合わせ等の調整が不要にな
るという効果が得られる。また、請求項2に記載の発明
によれば、プローブを構成する光学部品を削減すること
ができるため、コストの低減、調整箇所の削減、不要な
反射光の削減をすることができるという効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の構成を示した構成図であ
る。
【図2】本発明の他の実施形態の構成を示した構成図で
ある。
【図3】図2に示した実施形態の光学系の配置を示した
側面図である。
【図4】従来技術によるEOSオシロスコープ用プロー
ブの構成を示した構成図である。
【符号の説明】
1・・・プローブヘッド、1a・・・金属ピン、2・・
・電気光学素子、2a・・・反射膜、3・・・電気光学
素子用集光レンズ、4、7・・・1/2波長板、5・・
・1/4波長板、6、9・・・偏光ビームスプリッタ、
8・・・ファラデー素子、10・・・レーザダイオード
用コリメートレンズ、11・・・レーザダイオード、1
2、14・・・フォトダイオード用集光レンズ、13、
15・・・フォトダイオード。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 八木 敏之 東京都大田区蒲田4丁目19番7号 安藤電 気株式会社内 (72)発明者 品川 満 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 永妻 忠夫 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 山田 順三 東京都新宿区西新宿三丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気光学サンプリングオシロスコープ本
    体の制御信号に基づいてレーザ光を発するレーザダイオ
    ードと、 前記レーザ光を平行光にするコリメートレンズと、 端面に反射膜を有する電気光学素子と、 前記コリメートレンズと前記電気光学素子との間に設け
    られ、前記レーザダイオードが発したレーザ光を通過さ
    せ前記レーザ光が前記反射膜によって反射された反射光
    の分離をするアイソレータと、 前記アイソレータによって分離された反射光を電気信号
    に変換するフォトダイオードと、 を備える電気光学サンプリングオシロスコープ用プロー
    ブにおいて、 前記アイソレータと前記電気光学素子との間に設けら
    れ、前記平行光を前記反射膜上の1点に集光して、前記
    反射膜によって反射された前記反射光を再び平行光にし
    て、前記反射膜に対して入射する光の光軸と前記反射膜
    によって反射された光の光軸とを一致させる集光レンズ
    を備えたことを特徴とする電気光学サンプリングオシロ
    スコープ用プローブ。
  2. 【請求項2】 前記アイソレータ部は、前記レーザダイ
    オードの出射したレーザ光を通過させ、反射膜によって
    反射された前記レーザ光を分離する第1及び第2の偏光
    ビームスプリッタと、 偏光面を45度回転するファラディ素子と、 からなり、 前記第2の偏光ビームスプリッタは、前記レーザ光の光
    軸を中心として45度回転して配置したことを特徴とす
    る請求項1に記載の電気光学サンプリングオシロスコー
    プ用プローブ。
JP10148033A 1998-05-28 1998-05-28 電気光学サンプリングオシロスコープ用プローブ Pending JPH11337589A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11752577B2 (en) 2018-11-15 2023-09-12 Samsung Display Co., Ltd. Laser apparatus and substrate etching method using the same

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2342161B (en) * 1998-09-30 2000-12-20 Ando Electric Electro-optic probe
US6337565B1 (en) 1999-03-25 2002-01-08 Ando Electric Co., Ltd. Electro-optic probe
JP4531323B2 (ja) * 2002-09-13 2010-08-25 株式会社半導体エネルギー研究所 レーザ装置、レーザ照射方法、および半導体装置の作製方法
US7223306B2 (en) * 2002-09-17 2007-05-29 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Laser apparatus, laser irradiation method, and manufacturing method of semiconductor device
US7265837B1 (en) * 2003-01-13 2007-09-04 General Photonics Corporation Sensitive polarization monitoring and controlling
US7310455B2 (en) * 2004-03-10 2007-12-18 Tektronix, Inc. Variable attenuation signal acquisition probing and voltage measurement systems using an electro-optical cavity
US7221813B2 (en) 2004-03-10 2007-05-22 Tektronix, Inc. Signal acquisition probing and voltage measurement systems using an electro-optical cavity
US7187187B2 (en) * 2004-03-10 2007-03-06 Tektronix, Inc. Signal acquisition probing system using a micro-cavity laser
US7049843B2 (en) * 2004-03-10 2006-05-23 Tektronix, Inc. Signal acquisition probing system using a micro-cavity laser capable of sensing DC voltages
US7945130B2 (en) 2007-11-15 2011-05-17 General Photonics Corporation Mode scrambling apparatus for multimode fiber
US8780433B2 (en) 2011-09-28 2014-07-15 General Photonics Corporation Polarization scrambling based on cascaded optical polarization devices having modulated optical retardation

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2607798B2 (ja) * 1991-03-18 1997-05-07 日本電信電話株式会社 集積回路の電圧信号測定方法および測定装置
JP2542754B2 (ja) * 1991-08-05 1996-10-09 日本電信電話株式会社 集積回路の電界測定用プロ―ブ位置決め方法および位置決め装置
JPH0547883A (ja) * 1991-08-12 1993-02-26 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 集積回路の回路試験装置および回路試験方法
JPH0580083A (ja) * 1991-09-20 1993-03-30 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 集積回路の試験方法および装置
JP3187505B2 (ja) * 1992-03-02 2001-07-11 日本電信電話株式会社 集積回路の電界測定装置
JP3139644B2 (ja) * 1992-09-11 2001-03-05 日本電信電話株式会社 集積回路の電圧信号測定装置
JP3165873B2 (ja) * 1993-08-06 2001-05-14 日本電信電話株式会社 電気信号測定方法および装置
JPH0755891A (ja) * 1993-08-09 1995-03-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 集積回路の試験方法および試験装置
JPH0843499A (ja) * 1994-08-03 1996-02-16 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ティップ型回路試験用電界センサおよびその電界検出方法
JP3489701B2 (ja) * 1994-08-04 2004-01-26 日本電信電話株式会社 電気信号測定装置
JPH08152361A (ja) * 1994-11-29 1996-06-11 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 光信号波形の測定装置
JPH08160110A (ja) * 1994-12-06 1996-06-21 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 電気信号測定装置
JP3432957B2 (ja) * 1995-07-05 2003-08-04 三洋電機株式会社 光変調装置および光ファイバ通信システム
JP3326317B2 (ja) * 1995-12-05 2002-09-24 横河電機株式会社 電圧測定装置
JP3334743B2 (ja) * 1996-01-19 2002-10-15 日本電信電話株式会社 電気信号測定装置
JPH09211035A (ja) * 1996-01-30 1997-08-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 電界測定装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11752577B2 (en) 2018-11-15 2023-09-12 Samsung Display Co., Ltd. Laser apparatus and substrate etching method using the same

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