JPH11329256A - Ａｃ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板 - Google Patents
Ａｃ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板Info
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- JPH11329256A JPH11329256A JP10134736A JP13473698A JPH11329256A JP H11329256 A JPH11329256 A JP H11329256A JP 10134736 A JP10134736 A JP 10134736A JP 13473698 A JP13473698 A JP 13473698A JP H11329256 A JPH11329256 A JP H11329256A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 プラズマ放電の開始電圧のバラつきを少なく
して安定したプラズマ放電を行うことができるようにし
た、ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基
板を提供が望まれている。 【解決手段】 多数のストライプ状リブ２２と、情報を
書き込むための多数のデータ電極２５と、リブ２２、２
２間に設けられた蛍光体２７とを有してなる透明ガラス
製のＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基
板２８である。データ電極２５は、隣り合う二つのリブ
２２、２２のうちの一方のリブ２２の内側面から他方の
リブ２２の内側面にかけて形成されている。蛍光体２７
は、データ電極２５上に設けられた誘電体膜２６を介し
て隣り合うリブ２２、２２間に形成されている。
して安定したプラズマ放電を行うことができるようにし
た、ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基
板を提供が望まれている。 【解決手段】 多数のストライプ状リブ２２と、情報を
書き込むための多数のデータ電極２５と、リブ２２、２
２間に設けられた蛍光体２７とを有してなる透明ガラス
製のＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基
板２８である。データ電極２５は、隣り合う二つのリブ
２２、２２のうちの一方のリブ２２の内側面から他方の
リブ２２の内側面にかけて形成されている。蛍光体２７
は、データ電極２５上に設けられた誘電体膜２６を介し
て隣り合うリブ２２、２２間に形成されている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＡＣ型カラープラ
ズマディスプレイパネル用の背面基板に関する。
ズマディスプレイパネル用の背面基板に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネ
ル（ＰＤＰ）としては、図４に示すように対をなす放電
用の透明電極（放電用電極）１ａ、１ｂを有した前面基
板２と、情報を書き込むためのデータ電極３を有した背
面基板４とを対向させ、貼合封着して構成する３電極構
造の面放電型のものが現在のところ一般的である。
ル（ＰＤＰ）としては、図４に示すように対をなす放電
用の透明電極（放電用電極）１ａ、１ｂを有した前面基
板２と、情報を書き込むためのデータ電極３を有した背
面基板４とを対向させ、貼合封着して構成する３電極構
造の面放電型のものが現在のところ一般的である。
【０００３】このＡＣ型カラープラズマディスプレイパ
ネルにおいて前面基板２には、透明ガラス基板５の内面
に前述した対をなす放電用の透明電極１ａ、１ｂ…が並
列した状態で多数対ストライプ状に形成され、さらにこ
れら対のそれぞれの間にブラックマスク６…がやはり並
列した状態でストライプ状に形成されている。透明電極
１ａ、１ｂの上（内面側）には、その長さ方向に沿って
該透明電極１ａ、１ｂの側端部にそれぞれバス電極７が
形成されている。バス電極７は、これが形成された透明
電極１ａ（１ｂ）の配線抵抗を下げるために形成された
ものである。
ネルにおいて前面基板２には、透明ガラス基板５の内面
に前述した対をなす放電用の透明電極１ａ、１ｂ…が並
列した状態で多数対ストライプ状に形成され、さらにこ
れら対のそれぞれの間にブラックマスク６…がやはり並
列した状態でストライプ状に形成されている。透明電極
１ａ、１ｂの上（内面側）には、その長さ方向に沿って
該透明電極１ａ、１ｂの側端部にそれぞれバス電極７が
形成されている。バス電極７は、これが形成された透明
電極１ａ（１ｂ）の配線抵抗を下げるために形成された
ものである。
【０００４】そして、これら透明電極１ａ、１ｂ…、ブ
ラックマスク６…、バス電極７…を覆って透明の誘電体
層８が形成されており、さらに該誘電体層８を覆ってＭ
ｇＯからなる保護層９が形成されている。ここで、誘電
体層８は放電電流を制限するもので、コンデンサのた
め、放電をすると自動的に放電を停止する機能をもった
ものである。また、このような機能を発揮するべく、誘
電体層８は高い透過率と高い絶縁耐圧とを有したものと
なっている。保護層９は、放電の電圧を下げ、寿命を延
ばす役割を果たすように機能するものである。
ラックマスク６…、バス電極７…を覆って透明の誘電体
層８が形成されており、さらに該誘電体層８を覆ってＭ
ｇＯからなる保護層９が形成されている。ここで、誘電
体層８は放電電流を制限するもので、コンデンサのた
め、放電をすると自動的に放電を停止する機能をもった
ものである。また、このような機能を発揮するべく、誘
電体層８は高い透過率と高い絶縁耐圧とを有したものと
なっている。保護層９は、放電の電圧を下げ、寿命を延
ばす役割を果たすように機能するものである。
【０００５】一方、背面基板４には、透明ガラス基板１
０の内面に前述したデータ電極３…が並列した状態でス
トライプ状に形成されており、さらにこれらデータ電極
３…を覆って誘電体材料からなる白色グレーズ１１が形
成されている。この白色グレーズ１１上には、リブ１２
…が並列した状態でストライプ状に形成され、さらにこ
れらリブ１２、１２間には、該リブ１２の側面および前
記白色グレーズ１１上を覆った状態に蛍光体１３が設け
られている。また、リブ１２の上面には黒リブトップ１
４が設けられている。
０の内面に前述したデータ電極３…が並列した状態でス
トライプ状に形成されており、さらにこれらデータ電極
３…を覆って誘電体材料からなる白色グレーズ１１が形
成されている。この白色グレーズ１１上には、リブ１２
…が並列した状態でストライプ状に形成され、さらにこ
れらリブ１２、１２間には、該リブ１２の側面および前
記白色グレーズ１１上を覆った状態に蛍光体１３が設け
られている。また、リブ１２の上面には黒リブトップ１
４が設けられている。
【０００６】なお、リブ１２は前記データ電極３…の、
隣り合うデータ電極３、３間の直上位置となるように配
置されている。また、蛍光体１３については、赤、緑、
青の３色のものが繰り返し配列した状態に形成配置され
ている。そして、このような構成からなる前面基板２と
背面基板４とが、前記透明電極１ａ、１ｂとデータ電極
３とが直交するように対向させられ、前述したように貼
合され封着されることにより、ＡＣ型カラープラズマデ
ィスプレイパネルが形成されているのである。
隣り合うデータ電極３、３間の直上位置となるように配
置されている。また、蛍光体１３については、赤、緑、
青の３色のものが繰り返し配列した状態に形成配置され
ている。そして、このような構成からなる前面基板２と
背面基板４とが、前記透明電極１ａ、１ｂとデータ電極
３とが直交するように対向させられ、前述したように貼
合され封着されることにより、ＡＣ型カラープラズマデ
ィスプレイパネルが形成されているのである。
【０００７】このような構成のＡＣ型カラープラズマデ
ィスプレイパネルにおいて、特にその背面基板４を形成
するには、通常、透明ガラス基板１０上にＡｇペースト
を用いた厚膜印刷法で狭いデータ電極形成し、次いで、
低融点鉛ガラスペーストを用いた厚膜印刷法で白色グレ
ーズ１１を形成する。続いて、低融点鉛ガラスペースト
を用いた厚膜印刷法でリブ１２…を形成する。その後、
リブ１２…内に蛍光体１３を形成し、また外周にフリッ
トシール層（図示略）を厚膜印刷法で形成する。
ィスプレイパネルにおいて、特にその背面基板４を形成
するには、通常、透明ガラス基板１０上にＡｇペースト
を用いた厚膜印刷法で狭いデータ電極形成し、次いで、
低融点鉛ガラスペーストを用いた厚膜印刷法で白色グレ
ーズ１１を形成する。続いて、低融点鉛ガラスペースト
を用いた厚膜印刷法でリブ１２…を形成する。その後、
リブ１２…内に蛍光体１３を形成し、また外周にフリッ
トシール層（図示略）を厚膜印刷法で形成する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構成のＡＣ型カラープラズマディスプレイパネルにおい
てその背面基板４にあっては、データ電極３の幅が狭
く、その上に形成する蛍光体１３の層厚がバラついてい
るため、プラズマ放電の開始電圧がバラついてしまい、
ＰＤＰ動作が不安定になりやすくなっている。
構成のＡＣ型カラープラズマディスプレイパネルにおい
てその背面基板４にあっては、データ電極３の幅が狭
く、その上に形成する蛍光体１３の層厚がバラついてい
るため、プラズマ放電の開始電圧がバラついてしまい、
ＰＤＰ動作が不安定になりやすくなっている。
【０００９】また、白色グレーズ１１は蛍光体１３の光
を反射するため、白の顔料が混入された低融点鉛ガラス
ペーストで形成するが、その反射率は７０〜８０％程度
でしかなく、したがって十分な発光効率が得られていな
い。さらに、ＰＤＰはプラズマ放電を利用しているため
多量の電磁波を発生するが、これを遮蔽する遮蔽物がプ
ラズマ放電空間の回りに設けられていないので、電磁波
による障害が起こるおそれがある。
を反射するため、白の顔料が混入された低融点鉛ガラス
ペーストで形成するが、その反射率は７０〜８０％程度
でしかなく、したがって十分な発光効率が得られていな
い。さらに、ＰＤＰはプラズマ放電を利用しているため
多量の電磁波を発生するが、これを遮蔽する遮蔽物がプ
ラズマ放電空間の回りに設けられていないので、電磁波
による障害が起こるおそれがある。
【００１０】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、プラズマ放電の開始電圧
のバラつきを少なくして安定したプラズマ放電を行うこ
とができるようにし、さらには十分な発光効率を得るこ
とができ、また電磁波の発生による障害を防止し得る、
ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板を
提供することにある。
で、その目的とするところは、プラズマ放電の開始電圧
のバラつきを少なくして安定したプラズマ放電を行うこ
とができるようにし、さらには十分な発光効率を得るこ
とができ、また電磁波の発生による障害を防止し得る、
ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板を
提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のＡＣ型カラープ
ラズマディスプレイパネル用背面基板では、多数のスト
ライプ状リブと、情報を書き込むための多数のデータ電
極と、前記リブ間に設けられた蛍光体とを有してなる透
明ガラス製のものであって、前記データ電極が、隣り合
う二つの前記リブのうちの一方のリブの内側面から他方
のリブの内側面にかけて形成され、前記蛍光体が、デー
タ電極上に設けられた誘電体膜を介して隣り合うリブ間
に形成されていることを前記課題の解決手段とした。
ラズマディスプレイパネル用背面基板では、多数のスト
ライプ状リブと、情報を書き込むための多数のデータ電
極と、前記リブ間に設けられた蛍光体とを有してなる透
明ガラス製のものであって、前記データ電極が、隣り合
う二つの前記リブのうちの一方のリブの内側面から他方
のリブの内側面にかけて形成され、前記蛍光体が、デー
タ電極上に設けられた誘電体膜を介して隣り合うリブ間
に形成されていることを前記課題の解決手段とした。
【００１２】この背面基板によれば、データ電極が、隣
り合う二つのリブのうちの一方のリブの内側面から他方
のリブの内側面にかけて形成されているので、該データ
電極が低抵抗で良好なスターターとなり、プラズマ放電
開始電圧のバラツキが少なくなって安定したプラズマ放
電とこのプラズマ放電による安定した発光が得られる。
り合う二つのリブのうちの一方のリブの内側面から他方
のリブの内側面にかけて形成されているので、該データ
電極が低抵抗で良好なスターターとなり、プラズマ放電
開始電圧のバラツキが少なくなって安定したプラズマ放
電とこのプラズマ放電による安定した発光が得られる。
【００１３】また、データ電極を高反射率のスパッタリ
ング膜によって形成すれば、プラズマ放電により蛍光体
が発光して得られた光がこの蛍光体の下に形成されたデ
ータ電極によって高効率で反射され、これにより発光効
率が高まる。このとき、誘電体膜を高透過率のスパッタ
リング膜によって形成すれば、より一層発光効率が高ま
る。また、リブを形成した側と反対の側の面の全面、ま
たはリブを形成した側の面の全面に低反射金属膜を設
け、あるいはリブを形成した側と反対の側の面の全面に
電磁波遮蔽膜を設ければ、プラズマ放電時に発生する多
量の電磁波が、背面基板の裏面側から外に漏れて電磁波
障害が起こるのを防止することが可能になる。そして、
コントラスト向上を図ることが可能になる。
ング膜によって形成すれば、プラズマ放電により蛍光体
が発光して得られた光がこの蛍光体の下に形成されたデ
ータ電極によって高効率で反射され、これにより発光効
率が高まる。このとき、誘電体膜を高透過率のスパッタ
リング膜によって形成すれば、より一層発光効率が高ま
る。また、リブを形成した側と反対の側の面の全面、ま
たはリブを形成した側の面の全面に低反射金属膜を設
け、あるいはリブを形成した側と反対の側の面の全面に
電磁波遮蔽膜を設ければ、プラズマ放電時に発生する多
量の電磁波が、背面基板の裏面側から外に漏れて電磁波
障害が起こるのを防止することが可能になる。そして、
コントラスト向上を図ることが可能になる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明のＡＣ型カラープラ
ズマディスプレイパネル用背面基板の第１実施形態例
を、図１（ａ）〜（ｆ）に示す製造方法に基づいて説明
する。まず、図１（ａ）に示すように透明ガラス基板２
０を用意し、これの一方の面に感光性ドライフィルムレ
ジスト（図示略）を貼合し、これを所定寸法のストライ
プ状マスクを用いて露光処理し、さらに現像処理、ポス
トベーク処理をすることによって所定幅のストライプパ
ターン２１…をリブ形成位置に形成する。
ズマディスプレイパネル用背面基板の第１実施形態例
を、図１（ａ）〜（ｆ）に示す製造方法に基づいて説明
する。まず、図１（ａ）に示すように透明ガラス基板２
０を用意し、これの一方の面に感光性ドライフィルムレ
ジスト（図示略）を貼合し、これを所定寸法のストライ
プ状マスクを用いて露光処理し、さらに現像処理、ポス
トベーク処理をすることによって所定幅のストライプパ
ターン２１…をリブ形成位置に形成する。
【００１５】次に、ストライプパターン２１…をマスク
にして前記透明ガラス基板２０の表層部をサンドブラス
ト法で研削し、図１（ｂ）に示すように横断面が略矩形
状あるいは台形状である透明ガラス基板２０の表層部に
高さ２００μｍ程度のストライプ状の透明ガラス製リブ
２２…を形成する。続いて、ＨＦ系エッチング液で透明
ガラス基板２０の表面を５〜１０μｍ程度ライトエッチ
ングし、前記研削処理によって透明ガラス基板２０に生
じたガラスマイクロクラックを除去する。そして、スト
ライプパターン２１…を剥離除去しさらに透明ガラス基
板２０を洗浄する。なお、このようなエッチング処理に
よって透明ガラス基板２０の表面は粗面となるが、この
ように粗面となることによって該表面は、後述する金属
膜などの密着性が向上したものとなる。
にして前記透明ガラス基板２０の表層部をサンドブラス
ト法で研削し、図１（ｂ）に示すように横断面が略矩形
状あるいは台形状である透明ガラス基板２０の表層部に
高さ２００μｍ程度のストライプ状の透明ガラス製リブ
２２…を形成する。続いて、ＨＦ系エッチング液で透明
ガラス基板２０の表面を５〜１０μｍ程度ライトエッチ
ングし、前記研削処理によって透明ガラス基板２０に生
じたガラスマイクロクラックを除去する。そして、スト
ライプパターン２１…を剥離除去しさらに透明ガラス基
板２０を洗浄する。なお、このようなエッチング処理に
よって透明ガラス基板２０の表面は粗面となるが、この
ように粗面となることによって該表面は、後述する金属
膜などの密着性が向上したものとなる。
【００１６】次いで、透明ガラス基板２０の、リブ２２
を形成した側と反対の側の面の全面に、スパッタ法によ
ってＣｒ（クロム）を厚さ０．１μｍ程度に成膜して遮
光性を有する低反射金属膜を形成し、さらにこの上にス
パッタ法によってＳｉＯ2 を厚さ０．２μｍ程度に成膜
して絶縁膜を形成し、これにより図１（ｃ）に示すよう
に、低反射金属膜と絶縁膜とからなる積層膜２３を得
る。続いて、透明ガラス基板２０の、リブ２２を形成し
た側の面の全面に、スパッタ法によってＡｌ（アルミニ
ウム）を厚さ１．０μｍ程度に成膜して図１（ｃ）に示
すように金属膜２４を形成する。なお、若干コストアッ
プとなるが、Ａｌよりも高い反射率のＡｇを採用しても
よい。
を形成した側と反対の側の面の全面に、スパッタ法によ
ってＣｒ（クロム）を厚さ０．１μｍ程度に成膜して遮
光性を有する低反射金属膜を形成し、さらにこの上にス
パッタ法によってＳｉＯ2 を厚さ０．２μｍ程度に成膜
して絶縁膜を形成し、これにより図１（ｃ）に示すよう
に、低反射金属膜と絶縁膜とからなる積層膜２３を得
る。続いて、透明ガラス基板２０の、リブ２２を形成し
た側の面の全面に、スパッタ法によってＡｌ（アルミニ
ウム）を厚さ１．０μｍ程度に成膜して図１（ｃ）に示
すように金属膜２４を形成する。なお、若干コストアッ
プとなるが、Ａｌよりも高い反射率のＡｇを採用しても
よい。
【００１７】次いで、公知のリソグラフィー技術、エッ
チング技術によってリブ２２の上面上の金属膜２４をエ
ッチング除去し、図１（ｄ）に示すようにリブ２２の側
面上およびリブ２２、２２間に金属膜２４からなるデー
タ電極２５を形成する。このように形成されることによ
ってデータ電極２５は、隣り合う二つのリブ２２、２２
のうちの一方のリブ２２の内側面から他方のリブ２２の
内側面にかけて形成されたものとなる。なお、Ａｌから
なる金属膜２４のエッチングについては、リン酸系エッ
チング液等を用いたウェットエッチング、またはＣＣｌ
4 等を用いたドライエッチングのいずれを採用してもよ
い。
チング技術によってリブ２２の上面上の金属膜２４をエ
ッチング除去し、図１（ｄ）に示すようにリブ２２の側
面上およびリブ２２、２２間に金属膜２４からなるデー
タ電極２５を形成する。このように形成されることによ
ってデータ電極２５は、隣り合う二つのリブ２２、２２
のうちの一方のリブ２２の内側面から他方のリブ２２の
内側面にかけて形成されたものとなる。なお、Ａｌから
なる金属膜２４のエッチングについては、リン酸系エッ
チング液等を用いたウェットエッチング、またはＣＣｌ
4 等を用いたドライエッチングのいずれを採用してもよ
い。
【００１８】次いで、透明ガラス基板２０のリブ２２を
形成した側の面の全面に、前記データ電極２５を覆っ
て、スパッタ法によりＴａ2 Ｏ5 を０．２μｍ程度の厚
さに成膜し、図１（ｅ）に示すように透明な高誘電体膜
２６を形成する。ここで、高誘電体膜２６については、
Ｔａ2 Ｏ5 （比誘電率；約２０〜２５）以外にも、Ｂａ
ＴｉＯ3 （比誘電率；約２２００）や、ＳｒＴｉＯ
3 〔ＳＴＯ〕（比誘電率；約１５０〜２００）、ＢａＳ
ｒＴｉＯ3 〔ＢＳＴ〕（比誘電率；約５００〜８６０）
などの材料によっても形成可能である。これら材料は、
いずれもスパッタ法や蒸着法、ＣＶＤ法等の成膜法が適
用でき、また、従来用いられているＰｂＯ（比誘電率；
約１０）に比べ比誘電率が高いものとなっている。
形成した側の面の全面に、前記データ電極２５を覆っ
て、スパッタ法によりＴａ2 Ｏ5 を０．２μｍ程度の厚
さに成膜し、図１（ｅ）に示すように透明な高誘電体膜
２６を形成する。ここで、高誘電体膜２６については、
Ｔａ2 Ｏ5 （比誘電率；約２０〜２５）以外にも、Ｂａ
ＴｉＯ3 （比誘電率；約２２００）や、ＳｒＴｉＯ
3 〔ＳＴＯ〕（比誘電率；約１５０〜２００）、ＢａＳ
ｒＴｉＯ3 〔ＢＳＴ〕（比誘電率；約５００〜８６０）
などの材料によっても形成可能である。これら材料は、
いずれもスパッタ法や蒸着法、ＣＶＤ法等の成膜法が適
用でき、また、従来用いられているＰｂＯ（比誘電率；
約１０）に比べ比誘電率が高いものとなっている。
【００１９】その後、リブ２２の側面上の高誘電体膜２
６上およびリブ２２、２２間の高誘電体２６上に、スク
リーン印刷法によって蛍光体ペーストを塗布し、さらに
これを乾燥し焼成して図１（ｆ）に示すように蛍光体２
７を形成し、これによってＡＣ型カラープラズマディス
プレイパネル用の背面基板２８を得る。ここで、この蛍
光体２７については、赤、緑、青の３色のものが各リブ
２２、２２毎に繰り返し配列した状態に形成配置された
ものとなっている。また、蛍光体２７を形成するための
蛍光体材料については、例えば赤用のものとしては
（Ｙ，Ｇａ）ＢＯ3：Ｅｕが用いられ、青用としてはＢ
ａＭｇＡｌ2 Ｏ3 ：Ｅｕが用いられ、緑用としてはＺｎ
2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎが用いられる。なお、蛍光体２７の形
成については感光性の蛍光体材料からなる蛍光体ペース
トを用いてもよく、また、光粘着法によって蛍光体２７
を形成してもよい。
６上およびリブ２２、２２間の高誘電体２６上に、スク
リーン印刷法によって蛍光体ペーストを塗布し、さらに
これを乾燥し焼成して図１（ｆ）に示すように蛍光体２
７を形成し、これによってＡＣ型カラープラズマディス
プレイパネル用の背面基板２８を得る。ここで、この蛍
光体２７については、赤、緑、青の３色のものが各リブ
２２、２２毎に繰り返し配列した状態に形成配置された
ものとなっている。また、蛍光体２７を形成するための
蛍光体材料については、例えば赤用のものとしては
（Ｙ，Ｇａ）ＢＯ3：Ｅｕが用いられ、青用としてはＢ
ａＭｇＡｌ2 Ｏ3 ：Ｅｕが用いられ、緑用としてはＺｎ
2 ＳｉＯ4 ：Ｍｎが用いられる。なお、蛍光体２７の形
成については感光性の蛍光体材料からなる蛍光体ペース
トを用いてもよく、また、光粘着法によって蛍光体２７
を形成してもよい。
【００２０】このようにして得られた背面基板２８にあ
っては、データ電極２５を、隣り合う二つのリブ２２、
２２のうちの一方のリブ２２の内側面から他方のリブ２
２の内側面にかけて形成し、これにより蛍光体２７の形
成面全体にデータ電極２５を配設しているので、該デー
タ電極２５が低抵抗のものとなって良好なスターターと
なり、これによりプラズマ放電開始電圧のバラツキが少
なくなって安定したプラズマ放電とこのプラズマ放電に
よる安定した発光を得ることができる。
っては、データ電極２５を、隣り合う二つのリブ２２、
２２のうちの一方のリブ２２の内側面から他方のリブ２
２の内側面にかけて形成し、これにより蛍光体２７の形
成面全体にデータ電極２５を配設しているので、該デー
タ電極２５が低抵抗のものとなって良好なスターターと
なり、これによりプラズマ放電開始電圧のバラツキが少
なくなって安定したプラズマ放電とこのプラズマ放電に
よる安定した発光を得ることができる。
【００２１】また、データ電極２５を高反射率のＡｌス
パッタ膜によって形成しているので、プラズマ放電によ
り蛍光体２７が発光して得られた光をこの蛍光体２７の
下のデータ電極２５によって高効率で反射させることが
でき、したがって発光効率を高めることができる。ま
た、高誘電体膜２６を高透過率のＴａ2 Ｏ5 スパッタ膜
によって形成しているので、この発光効率をより一層高
めることができる。
パッタ膜によって形成しているので、プラズマ放電によ
り蛍光体２７が発光して得られた光をこの蛍光体２７の
下のデータ電極２５によって高効率で反射させることが
でき、したがって発光効率を高めることができる。ま
た、高誘電体膜２６を高透過率のＴａ2 Ｏ5 スパッタ膜
によって形成しているので、この発光効率をより一層高
めることができる。
【００２２】また、リブ２２を形成した側と反対の側の
面の全面に積層膜２３を形成しているので、この積層膜
２３中の低反射金属膜により、プラズマ放電時に発生す
る電磁波が背面基板２８の裏面側から外に漏れることに
起因して電磁波障害が起こるのを防止することができ
る。また、この低反射金属膜により、リブ２２上面から
透明ガラス基板２０の裏面側に光が漏れるのを防止する
ことができる。そして、コントラスト向上を図ることが
できる。また、データ電極２５や高誘電体膜２６をスパ
ッタ法で形成することなどによって焼成プロセスを無く
すことができるので、透明ガラス基板２０として安価な
ソーダライムガラスを使用することができ、これにより
コストダウンを図ることができる。
面の全面に積層膜２３を形成しているので、この積層膜
２３中の低反射金属膜により、プラズマ放電時に発生す
る電磁波が背面基板２８の裏面側から外に漏れることに
起因して電磁波障害が起こるのを防止することができ
る。また、この低反射金属膜により、リブ２２上面から
透明ガラス基板２０の裏面側に光が漏れるのを防止する
ことができる。そして、コントラスト向上を図ることが
できる。また、データ電極２５や高誘電体膜２６をスパ
ッタ法で形成することなどによって焼成プロセスを無く
すことができるので、透明ガラス基板２０として安価な
ソーダライムガラスを使用することができ、これにより
コストダウンを図ることができる。
【００２３】なお、前記実施形態例では、積層膜２３を
スパッタ法で形成した低反射金属膜（Ｃｒ膜）と絶縁膜
（ＳｉＯ2 膜）とによって形成したが、特に低反射金属
膜については、これに代えて黒色テープ上にＩＴＯ等の
透明導電膜を形成してなるものを用いてもよく、これを
用いても電磁波遮蔽効果が得られる。
スパッタ法で形成した低反射金属膜（Ｃｒ膜）と絶縁膜
（ＳｉＯ2 膜）とによって形成したが、特に低反射金属
膜については、これに代えて黒色テープ上にＩＴＯ等の
透明導電膜を形成してなるものを用いてもよく、これを
用いても電磁波遮蔽効果が得られる。
【００２４】図２（ａ）は本発明のＡＣ型カラープラズ
マディスプレイパネル用背面基板の第２実施形態例を示
す図であり、図２（ａ）において符号３０は背面基板で
ある。この背面基板３０が図１（ｆ）に示した背面基板
２８と異なるところは、透明ガラス基板２０の裏面に積
層膜２３が無く、これに代わってリブ２２形成面上に積
層膜３１を形成している点である。
マディスプレイパネル用背面基板の第２実施形態例を示
す図であり、図２（ａ）において符号３０は背面基板で
ある。この背面基板３０が図１（ｆ）に示した背面基板
２８と異なるところは、透明ガラス基板２０の裏面に積
層膜２３が無く、これに代わってリブ２２形成面上に積
層膜３１を形成している点である。
【００２５】すなわち、図２（ａ）に示した背面基板３
０では、リブ２２形成後、データ電極２５形成用の金属
膜２４の形成に先立って透明ガラス基板２０表面上に、
まずＣｒ（クロム）をスパッタ法で厚さ０．１μｍ程度
に成膜して低反射金属膜を形成し、続いてこの上にＳｉ
Ｏ2 をスパッタ法で厚さ０．２μｍ程度に成膜して絶縁
膜を形成することにより、図２（ａ）に示すように低反
射金属膜と絶縁膜とからなる積層膜３１を形成してい
る。
０では、リブ２２形成後、データ電極２５形成用の金属
膜２４の形成に先立って透明ガラス基板２０表面上に、
まずＣｒ（クロム）をスパッタ法で厚さ０．１μｍ程度
に成膜して低反射金属膜を形成し、続いてこの上にＳｉ
Ｏ2 をスパッタ法で厚さ０．２μｍ程度に成膜して絶縁
膜を形成することにより、図２（ａ）に示すように低反
射金属膜と絶縁膜とからなる積層膜３１を形成してい
る。
【００２６】このような構成の背面基板３０にあって
は、図１（ｆ）に示した背面基板２８と同様に安定した
プラズマ放電とこのプラズマ放電による発光を得ること
ができ、また発光効率を高めることができ、さらに積層
膜３１を形成しているので、この積層膜３１中の低反射
金属膜により、プラズマ放電時に発生する電磁波が背面
基板３０の裏面側から外に漏れることに起因して電磁波
障害が起こるのを防止することができる。また、この積
層膜３１中の低反射金属膜により、リブ２２上面から透
明ガラス基板２０の裏面側に光が漏れるのを防止するこ
ともできる。
は、図１（ｆ）に示した背面基板２８と同様に安定した
プラズマ放電とこのプラズマ放電による発光を得ること
ができ、また発光効率を高めることができ、さらに積層
膜３１を形成しているので、この積層膜３１中の低反射
金属膜により、プラズマ放電時に発生する電磁波が背面
基板３０の裏面側から外に漏れることに起因して電磁波
障害が起こるのを防止することができる。また、この積
層膜３１中の低反射金属膜により、リブ２２上面から透
明ガラス基板２０の裏面側に光が漏れるのを防止するこ
ともできる。
【００２７】また、金属膜２４をエッチングしてデータ
電極２５を形成する際、このすぐ下に積層膜３１中の絶
縁膜が配置されているので、該絶縁膜がエッチングスト
ッパとして機能して積層膜３１中の低反射金属膜がエッ
チングされるのを防止することができ、また該絶縁膜に
よってデータ電極２５と低反射金属膜とが導通してしま
うのを防止することができる。
電極２５を形成する際、このすぐ下に積層膜３１中の絶
縁膜が配置されているので、該絶縁膜がエッチングスト
ッパとして機能して積層膜３１中の低反射金属膜がエッ
チングされるのを防止することができ、また該絶縁膜に
よってデータ電極２５と低反射金属膜とが導通してしま
うのを防止することができる。
【００２８】なお、このような背面基板３０を用いてＡ
Ｃ型カラープラズマディスプレイパネルを形成するに
は、図２（ｂ）に示すように従来と同様の前面基板３２
を用意し、背面基板３０をこの前面基板３２と位置合わ
せして接合する。そして、この状態で４３０〜４５０℃
程度に加熱してフリットシールし、前面基板３２と背面
基板３０とを固着する。なお、図２（ｂ）においては、
説明のため前面基板３２を９０°回転させた状態にして
示しているが、実際には図４に示したように、前面基板
３２の透明電極１ａ、１ｂの長さ方向と、背面基板３０
のリブ２２の長さ方向とが直交するように配置されてい
る。
Ｃ型カラープラズマディスプレイパネルを形成するに
は、図２（ｂ）に示すように従来と同様の前面基板３２
を用意し、背面基板３０をこの前面基板３２と位置合わ
せして接合する。そして、この状態で４３０〜４５０℃
程度に加熱してフリットシールし、前面基板３２と背面
基板３０とを固着する。なお、図２（ｂ）においては、
説明のため前面基板３２を９０°回転させた状態にして
示しているが、実際には図４に示したように、前面基板
３２の透明電極１ａ、１ｂの長さ方向と、背面基板３０
のリブ２２の長さ方向とが直交するように配置されてい
る。
【００２９】次いで、２５０〜３００℃程度でベーク処
理して前面基板３２と背面基板３０との間を排気し、続
いてＨｅ−Ｎｅ−ＸｅやＮｅ−Ｘｅなどの不活性混合ガ
スを排気処理した前面基板３２と背面基板３０との間に
封入しさらにこれを封止して、ＡＣ型カラープラズマデ
ィスプレイパネル３３を得る。
理して前面基板３２と背面基板３０との間を排気し、続
いてＨｅ−Ｎｅ−ＸｅやＮｅ−Ｘｅなどの不活性混合ガ
スを排気処理した前面基板３２と背面基板３０との間に
封入しさらにこれを封止して、ＡＣ型カラープラズマデ
ィスプレイパネル３３を得る。
【００３０】また、前面基板としては、図２（ｃ）に示
すようなタイプの前面基板３４を用いてＡＣ型カラープ
ラズマディスプレイパネル４２を得ることもできる。こ
こで前面基板３４は、透明ガラス基板３５に形成したリ
ブ３６の上面および側面に黒色絶縁材料からなるブラッ
クマスク３７を形成し、該リブ３６の側面のブラックマ
スク３７上に金属材料からなる膜状のバス電極３８を形
成し、このバス電極３８を覆った状態に放電用電極とな
る透明電極３９を形成したものであり、これらブラック
マスク３７、バス電極３８、透明電極３９を覆って透明
な高誘電体層４０を形成し、この高誘電体層４０上に耐
放電用の保護膜４１を形成したものである。なお、図２
（ｃ）においても、説明のため前面基板３４を９０°回
転させた状態にして示している。
すようなタイプの前面基板３４を用いてＡＣ型カラープ
ラズマディスプレイパネル４２を得ることもできる。こ
こで前面基板３４は、透明ガラス基板３５に形成したリ
ブ３６の上面および側面に黒色絶縁材料からなるブラッ
クマスク３７を形成し、該リブ３６の側面のブラックマ
スク３７上に金属材料からなる膜状のバス電極３８を形
成し、このバス電極３８を覆った状態に放電用電極とな
る透明電極３９を形成したものであり、これらブラック
マスク３７、バス電極３８、透明電極３９を覆って透明
な高誘電体層４０を形成し、この高誘電体層４０上に耐
放電用の保護膜４１を形成したものである。なお、図２
（ｃ）においても、説明のため前面基板３４を９０°回
転させた状態にして示している。
【００３１】図３は本発明のＡＣ型カラープラズマディ
スプレイパネル用背面基板の第３実施形態例を示す図で
あり、図３において符号５０は背面基板である。この背
面基板５０が図２（ａ）に示した背面基板３０と異なる
ところは、透明ガラス基板２０のリブ２２形成面上に形
成した積層膜３１に代えて、黒色絶縁膜からなる低反射
絶縁膜（図３中では低反射膜と略記する）５１を形成し
た点と、透明ガラス基板２０のリブ２２形成面と反対の
側の面全面に、電磁波遮蔽膜５２を設けた点である。
スプレイパネル用背面基板の第３実施形態例を示す図で
あり、図３において符号５０は背面基板である。この背
面基板５０が図２（ａ）に示した背面基板３０と異なる
ところは、透明ガラス基板２０のリブ２２形成面上に形
成した積層膜３１に代えて、黒色絶縁膜からなる低反射
絶縁膜（図３中では低反射膜と略記する）５１を形成し
た点と、透明ガラス基板２０のリブ２２形成面と反対の
側の面全面に、電磁波遮蔽膜５２を設けた点である。
【００３２】すなわち、図３に示した背面基板５０で
は、リブ２２形成後、データ電極２５形成用の金属膜２
４の形成に先立って透明ガラス基板２０表面上に、黒色
絶縁材料であるＣｒＯ2 をスパッタ法で成膜して低反射
絶縁膜５１を形成しており、また、これとは別に、透明
ガラス基板２０の裏面上に、ＩＴＯフィルムやＣｕフィ
ルム等の導電性フィルムからなる電磁波遮蔽膜５２を設
けている。
は、リブ２２形成後、データ電極２５形成用の金属膜２
４の形成に先立って透明ガラス基板２０表面上に、黒色
絶縁材料であるＣｒＯ2 をスパッタ法で成膜して低反射
絶縁膜５１を形成しており、また、これとは別に、透明
ガラス基板２０の裏面上に、ＩＴＯフィルムやＣｕフィ
ルム等の導電性フィルムからなる電磁波遮蔽膜５２を設
けている。
【００３３】このような構成の背面基板５０にあって
は、図１（ｆ）に示した背面基板２８、図２（ａ）に示
した背面基板３０と同様に安定したプラズマ放電とこの
プラズマ放電による発光を得ることができ、また発光効
率を高めることができ、さらに低反射絶縁膜５１を形成
しているので、リブ２２上面から透明ガラス基板２０の
裏面側に光が漏れるのを防止し、コントラスト向上を図
ることができる。また、電磁波遮蔽膜５２を設けている
ので、プラズマ放電時に発生する電磁波が背面基板５０
の裏面側から外に漏れることに起因して電磁波障害が起
こるのを防止することができる。
は、図１（ｆ）に示した背面基板２８、図２（ａ）に示
した背面基板３０と同様に安定したプラズマ放電とこの
プラズマ放電による発光を得ることができ、また発光効
率を高めることができ、さらに低反射絶縁膜５１を形成
しているので、リブ２２上面から透明ガラス基板２０の
裏面側に光が漏れるのを防止し、コントラスト向上を図
ることができる。また、電磁波遮蔽膜５２を設けている
ので、プラズマ放電時に発生する電磁波が背面基板５０
の裏面側から外に漏れることに起因して電磁波障害が起
こるのを防止することができる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように本発明のＡＣ型カラ
ープラズマディスプレイパネル用背面基板は、データ電
極を、隣り合う二つのリブのうちの一方のリブの内側面
から他方のリブの内側面にかけて形成し、これにより蛍
光体の形成面全体にデータ電極を配設したものであるか
ら、該データ電極を低抵抗にして良好なスターターとす
ることがき、これによりプラズマ放電開始電圧のバラツ
キを少なくして安定したプラズマ放電とこのプラズマ放
電による安定した発光を得ることができる。
ープラズマディスプレイパネル用背面基板は、データ電
極を、隣り合う二つのリブのうちの一方のリブの内側面
から他方のリブの内側面にかけて形成し、これにより蛍
光体の形成面全体にデータ電極を配設したものであるか
ら、該データ電極を低抵抗にして良好なスターターとす
ることがき、これによりプラズマ放電開始電圧のバラツ
キを少なくして安定したプラズマ放電とこのプラズマ放
電による安定した発光を得ることができる。
【００３５】また、データ電極を高反射率のスパッタリ
ング膜によって形成すれば、プラズマ放電により蛍光体
が発光して得られた光をこの蛍光体の下に形成されたデ
ータ電極によって高効率で反射することができ、これに
より発光効率を高めることができる。このとき、誘電体
膜を高透過率のスパッタリング膜によって形成すれば、
より一層発光効率を高めることができる。
ング膜によって形成すれば、プラズマ放電により蛍光体
が発光して得られた光をこの蛍光体の下に形成されたデ
ータ電極によって高効率で反射することができ、これに
より発光効率を高めることができる。このとき、誘電体
膜を高透過率のスパッタリング膜によって形成すれば、
より一層発光効率を高めることができる。
【００３６】また、リブを形成した側と反対の側の面の
全面、またはリブを形成した側の面の全面に低反射金属
膜を設け、あるいはリブを形成した側と反対の側の面の
全面に電磁波遮蔽膜を設ければ、プラズマ放電時に発生
する多量の電磁波が、背面基板の裏面側から外に漏れて
電磁波障害が起こるのを防止することができる。また、
コントラスト向上を図ることができる。したがって、背
面基板の裏面への特別な電磁波遮蔽対策が不要となり、
コストダウンを図ることができる。
全面、またはリブを形成した側の面の全面に低反射金属
膜を設け、あるいはリブを形成した側と反対の側の面の
全面に電磁波遮蔽膜を設ければ、プラズマ放電時に発生
する多量の電磁波が、背面基板の裏面側から外に漏れて
電磁波障害が起こるのを防止することができる。また、
コントラスト向上を図ることができる。したがって、背
面基板の裏面への特別な電磁波遮蔽対策が不要となり、
コストダウンを図ることができる。
【図１】（ａ）〜（ｆ）は、ＡＣ型カラープラズマディ
スプレイパネル用背面基板の第１の実施形態例の製造方
法を工程順に説明するための要部側断面図である。
スプレイパネル用背面基板の第１の実施形態例の製造方
法を工程順に説明するための要部側断面図である。
【図２】（ａ）はＡＣ型カラープラズマディスプレイパ
ネル用背面基板の第１の実施形態例の概略構成を示す要
部側断面図、（ｂ）は（ａ）に示した背面基板を用いた
ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネルの一例を示す
要部側断面図であり、前面基板９０°回転させた状態に
して示した図、（ｃ）は（ａ）に示した背面基板を用い
たＡＣ型カラープラズマディスプレイパネルの他の例を
示す要部側断面図であり、前面基板９０°回転させた状
態にして示した図である。
ネル用背面基板の第１の実施形態例の概略構成を示す要
部側断面図、（ｂ）は（ａ）に示した背面基板を用いた
ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネルの一例を示す
要部側断面図であり、前面基板９０°回転させた状態に
して示した図、（ｃ）は（ａ）に示した背面基板を用い
たＡＣ型カラープラズマディスプレイパネルの他の例を
示す要部側断面図であり、前面基板９０°回転させた状
態にして示した図である。
【図３】ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背
面基板の第３の実施形態例の概略構成を示す要部側断面
図である。
面基板の第３の実施形態例の概略構成を示す要部側断面
図である。
【図４】従来のＡＣ型カラープラズマディスプレイパネ
ルの一例の概略構成を示す、分解斜視図である。
ルの一例の概略構成を示す、分解斜視図である。
２０…透明ガラス基板、２１…ストライプパターン、２
２…リブ、２３，３１…積層膜、２４…金属膜、２５…
データ電極、２６…高誘電体膜、２７…蛍光体、２８，
３０，５０…背面基板、５１…低反射絶縁膜（低反射
膜）、５２…電磁波遮蔽膜
２…リブ、２３，３１…積層膜、２４…金属膜、２５…
データ電極、２６…高誘電体膜、２７…蛍光体、２８，
３０，５０…背面基板、５１…低反射絶縁膜（低反射
膜）、５２…電磁波遮蔽膜
Claims (6)
- 【請求項１】 多数のストライプ状リブと、情報を書き
込むための多数のデータ電極と、前記リブ間に設けられ
た蛍光体とを有してなる透明ガラス製のＡＣ型カラープ
ラズマディスプレイパネル用背面基板において、 前記データ電極が、隣り合う二つの前記リブのうちの一
方のリブの内側面から他方のリブの内側面にかけて形成
され、 前記蛍光体が、データ電極上に設けられた誘電体膜を介
して隣り合うリブ間に形成されていることを特徴とする
ＡＣ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板。 - 【請求項２】 前記データ電極が高反射率のスパッタリ
ング膜からなることを特徴とする請求項１記載のＡＣ型
カラープラズマディスプレイパネル用背面基板。 - 【請求項３】 前記誘電体膜が、高透過率のスパッタリ
ング膜からなることを特徴とする請求項２記載のＡＣ型
カラープラズマディスプレイパネル用背面基板。 - 【請求項４】 前記リブを形成した側と反対の側の面の
全面に、低反射金属膜と絶縁膜との積層膜を設けたこと
を特徴とする請求項１記載のＡＣ型カラープラズマディ
スプレイパネル用背面基板。 - 【請求項５】 前記リブを形成した側の面の全面に、前
記誘電体膜の下でかつデータ電極がある箇所においては
これの下に位置させて低反射金属膜と絶縁膜との積層膜
を、低反射金属膜が下層となり絶縁膜が上層となるよう
にして設けたことを特徴とする請求項１記載のＡＣ型カ
ラープラズマディスプレイパネル用背面基板。 - 【請求項６】 前記リブを形成した側の面の全面に、前
記誘電体膜の下でかつデータ電極がある箇所においては
これの下に位置させて低反射膜を設け、 前記リブを形成した側と反対の側の面の全面に、電磁波
遮蔽膜を設けたことを特徴とする請求項１記載のＡＣ型
カラープラズマディスプレイパネル用背面基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10134736A JPH11329256A (ja) | 1998-05-18 | 1998-05-18 | Ａｃ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10134736A JPH11329256A (ja) | 1998-05-18 | 1998-05-18 | Ａｃ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11329256A true JPH11329256A (ja) | 1999-11-30 |
Family
ID=15135397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10134736A Pending JPH11329256A (ja) | 1998-05-18 | 1998-05-18 | Ａｃ型カラープラズマディスプレイパネル用背面基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11329256A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001011644A2 (en) * | 1999-08-04 | 2001-02-15 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Plasma display panel |
| WO2006100775A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Shinoda Plasma Co., Ltd. | カラー表示装置 |
| KR100644752B1 (ko) | 2004-08-07 | 2006-11-15 | 손상호 | 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조방법 |
| KR100747322B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2007-08-07 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 및 그 형성방법 |
| KR100885581B1 (ko) * | 2007-10-12 | 2009-02-24 | 시노다 프라즈마 가부시끼가이샤 | 컬러 표시 장치 |
-
1998
- 1998-05-18 JP JP10134736A patent/JPH11329256A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001011644A2 (en) * | 1999-08-04 | 2001-02-15 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Plasma display panel |
| WO2001011644A3 (en) * | 1999-08-04 | 2001-06-14 | Koninkl Philips Electronics Nv | Plasma display panel |
| US6522081B1 (en) | 1999-08-04 | 2003-02-18 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Plasma display panel |
| KR100747322B1 (ko) * | 2000-04-18 | 2007-08-07 | 엘지전자 주식회사 | 플라즈마 디스플레이 패널의 전극 및 그 형성방법 |
| KR100644752B1 (ko) | 2004-08-07 | 2006-11-15 | 손상호 | 평면 램프용 교류 구동형 플라즈마 소자 및 그 제조방법 |
| WO2006100775A1 (ja) * | 2005-03-24 | 2006-09-28 | Shinoda Plasma Co., Ltd. | カラー表示装置 |
| US7656082B2 (en) | 2005-03-24 | 2010-02-02 | Shinoda Plasma Co., Ltd. | Color display device |
| KR100885581B1 (ko) * | 2007-10-12 | 2009-02-24 | 시노다 프라즈마 가부시끼가이샤 | 컬러 표시 장치 |
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