JP4052050B2 - 交流駆動型プラズマ表示装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、誘電体層に特徴を有する交流駆動型プラズマ表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の表示装置が種々検討されている。このような平面型の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロルミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することができる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の大型情報端末機器への適用が期待されている。
【０００３】
プラズマ表示装置は、希ガスから成る放電ガスを放電空間内に封入した放電セルに電圧を印加して、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線で放電セル内の蛍光体層を励起することによって発光を得る表示装置である。つまり、個々の放電セルは蛍光灯に類似した原理で駆動され、放電セルが、通常、数十万個のオーダーで集合して１つの表示画面が構成されている。プラズマ表示装置は、放電セルへの電圧の印加方式によって直流駆動型（ＤＣ型）と交流駆動型（ＡＣ型）とに大別され、それぞれ一長一短を有する。ＡＣ型プラズマ表示装置は、表示画面内で個々の放電セルを仕切る役割を果たす隔壁を例えばストライプ状に形成すればよいので、高精細化に適している。しかも、放電のための電極の表面が誘電体材料から成る誘電体層で覆われているので、かかる電極が磨耗し難く、長寿命であるといった長所を有する。
【０００４】
ＡＣ型プラズマ表示装置の典型的な構成例の一部分の模式的な分解斜視図を、図１に示す。このＡＣ型プラズマ表示装置は所謂３電極型に属し、一対の放電維持電極１２の間で放電が生じる。図１に示すＡＣ型プラズマ表示装置は、フロントパネルに相当する第１パネル１０とリアパネルに相当する第２パネル２０とがそれらの外周部で接合されて成る。第２パネル２０上の蛍光体層２５の発光は、例えば、第１パネル１０を通して観察される。
【０００５】
第１パネル１０は、透明な第１の基板１１と、第１の基板１１上にストライプ状に設けられ、透明導電材料から成る複数の一対の放電維持電極１２と、放電維持電極１２のインピーダンスを低下させるために放電維持電極１２上に設けられ、放電維持電極１２よりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電極１３と、バス電極１３及び放電維持電極１２上を含む第１の基板１１上に形成された誘電体層１４と、誘電体層１４上に形成されたＭｇＯから成る保護膜１５から構成されている。
【０００６】
一方、第２パネル２０は、第２の基板２１と、第２の基板２１上にストライプ状に設けられた複数のアドレス電極（データ電極とも呼ばれる）２２と、アドレス電極２２上を含む第２の基板２１上に形成された誘電体材料層２３と、誘電体材料層２３上であって隣り合うアドレス電極２２の間の領域にアドレス電極２２と平行に延びる絶縁性の隔壁２４と、誘電体材料層２３上から隔壁２４の側壁面上に亙って設けられた蛍光体層２５とから構成されている。蛍光体層２５は、ＡＣ型プラズマ表示装置においてカラー表示を行う場合、赤色蛍光体層２５Ｒ、緑色蛍光体層２５Ｇ、及び青色蛍光体層２５Ｂから構成されており、これらの各色の蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂが所定の順序に従って設けられている。図１は一部分解斜視図であり、実際には第２パネル２０側の隔壁２４の頂部が第１パネル１０側の保護膜１５に当接している。一対の放電維持電極１２と、２つの隔壁２４の間に位置するアドレス電極２２とが重複する領域が、放電セルに相当する。そして、隣り合う隔壁２４と蛍光体層２５と保護膜１５とによって囲まれた放電空間内には、放電ガスが封入されている。第１パネル１０と第２パネル２０とは、それらの外周部において、フリットガラスを用いて接合されている。
【０００７】
放電維持電極１２の射影像が延びる方向とアドレス電極２２の射影像が延びる方向とは直交しており、一対の放電維持電極１２と、３原色を発光する蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの１組とが重複する領域が１画素（１ピクセル）に相当する。グロー放電が一対の放電維持電極１２間で生じることから、このタイプのＡＣ型プラズマ表示装置は「面放電型」と称される。一対の放電維持電極１２間に電圧を印加する直前に、例えば、放電セルの放電開始電圧よりも低いパルス電圧をアドレス電極２２に印加することで、放電セル内に壁電荷が蓄積され（表示を行う放電セルの選択）、見掛け上の放電開始電圧が低下する。次いで、一対の放電維持電極１２の間で開始された放電は、放電開始電圧よりも低い電圧にて維持され得る。放電セルにおいては、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起された蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色を呈する。尚、封入された放電ガスの種類に応じた波長を有する真空紫外線が発生する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
現在商品化されているＡＣ型プラズマ表示装置においては、その輝度の低さが問題となっている。例えば、４２インチ型のＡＣ型プラズマ表示装置の輝度は、高々９００ｃｄ／ｍ²程度である。しかも、実際にＡＣ型プラズマ表示装置を商品化するにあたっては、例えば、第１パネル１０の外面に電磁波遮蔽や外光反射防止のためのシートやフィルムを張り合わせる必要があり、ＡＣ型プラズマ表示装置における実際の表示光はかなり暗くなってしまう。
【０００９】
ＡＣ型プラズマ表示装置では、第１の基板１１における放電維持電極１２上に誘電体層１４が形成されており、誘電体層１４は、通常、例えば、ガラスペーストをスクリーン印刷することによって形成される。ＡＣ型プラズマ表示装置の駆動においては、この誘電体層１４に電荷を蓄積し、放電維持電極１２に逆向きの電圧を印加することで誘電体層１４に蓄積された電荷を放出させ、プラズマを発生させている。輝度はこのプラズマから発生する真空紫外線の量に依存しており、輝度を向上させるためには誘電体層１４に多くの電荷を蓄積させる必要がある。そのための手段として、誘電体層１４を高い比誘電率を有する材料から構成する方法、誘電体層１４の厚さを薄くする方法が考えられる。また、電荷分布を出来るだけ均一にするために、誘電体層１４は均一・均質な層であることが要求される。更には、誘電体層１４は、緻密な層であることが、耐圧向上の観点、その下に存在する放電維持電極１２の損傷発生の防止といった観点から望ましい。更には、輝度向上の観点からも、誘電体層１４の厚さは出来る限り薄いことが望ましい。
【００１０】
通常、スクリーン印刷法にて誘電体層１４を形成しているが、スクリーン印刷法では、薄く均一な膜厚を有する誘電体層１４を形成することが困難であり、誘電体層１４の薄い部分や亀裂部などから異常放電が発生し易くなるという問題がある。
【００１１】
誘電体層１４をＳｉＯ₂等をスパッタリング法や蒸着法等で形成するという方法もあるが、ＳｉＯ₂は比誘電率が３〜４程度とあまり高くないため、容量をあまり高くできず、電荷の蓄積を十分に行えないという問題がある。
【００１２】
更には、一対の放電維持電極１２の間隔が１×１０^-4ｍ程度よりも狭い場合、誘電体層１４の厚さが厚いと誘電体層１４内での放電破壊が生じ、誘電体層１４への電荷の蓄積が困難となる。よって、一対の放電維持電極１２の間隔が狭い場合、誘電体層１４の厚さを薄くする必要がある。然るに、従来のガラスペーストを用いたスクリーン印刷法によっては、薄い誘電体層１４を形成することは困難である。
【００１３】
従って、本発明の目的は、誘電体層の厚さを薄くでき、且つ、比較的高い比誘電率を有する材料を使用することによって誘電体層においる電荷の蓄積を増加することにより、高輝度を達成し得る交流駆動型プラズマ表示装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するための本発明の交流駆動型プラズマ表示装置は、
第１の基板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、
該誘電体層は、窒素化合物から成ることを特徴とする。
【００１５】
本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、窒素化合物として、ＳｉＮ_X、ＳｉＯ_XＮ_Y、Ｍｇ₃Ｎ₂、ＡｌＮ、あるいは、ＢＣＮを挙げることができる。尚、誘電体層は、これらの材料から選択された１種類の材料から成る単層構造（単層膜構造）とすることもできるし、これらの材料から選択された複数種類の材料から成る多層構造（積層膜構造）とすることもできる。更には、誘電体層として、その他、例えば、Ｍｇ₃Ｎ₂とＢＮの多層構造、ＡｌＮとＢＮの多層構造、ＢＣＮとＢＮの多層構造を挙げることもできる。
【００１６】
また、上述の態様を含む本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、誘電体層の厚さを、１．０×１０^-6ｍ乃至３．０×１０^-5ｍ、好ましくは１．０×１０^-6ｍ乃至１．５×１０^-5ｍ、一層好ましくは、１．０×１０^-6ｍ乃至１．０×１０^-5ｍ、更に一層好ましくは２．０×１０^-6ｍ乃至１．０×１０^-5ｍとすることが望ましい。ここで、誘電体層の厚さとは、放電維持電極上の平均厚さを意味する。このように、従来の交流駆動型プラズマ表示装置における誘電体層の膜厚（通常、３．０×１０^-5ｍを超える膜厚）と比較して薄い誘電体層を形成するので、誘電体層の容量を大きくすることができる。その結果、駆動電圧の低減を図ることができると共に、電荷蓄積量を増加させることができるので、交流駆動型プラズマ表示装置の輝度の向上、駆動電力の低減を図ることができる。
【００１７】
上述の各種態様を含む本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にあっては、第１パネルに形成された放電維持電極は一対で作動する構成とすることができる。一対の放電維持電極の間の距離は、所定の放電電圧において必要なグロー放電が生じる限りにおいて本質的には任意であるが、一対の放電維持電極の間の間隔は１×１０^-4ｍ以下、好ましくは５×１０^-5ｍ未満、一層好ましくは５．０×１０^-5ｍ未満、更に一層好ましくは２×１０^-5ｍ以下であることが望ましい。尚、一対の放電維持電極の間の距離が１×１０^-4ｍ以下の場合、誘電体層の膜厚が厚すぎると、誘電体層内での放電破壊が生じ、誘電体層における電荷の蓄積が困難となる場合がある。本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、誘電体層の厚さを従来よりも薄くすることによって、即ち、誘電体層の厚さを３．０×１０^-5ｍ以下、望ましくは１．５×１０^-5ｍ以下、一層望ましくは１．０×１０^-5ｍ以下とすることによって、このような現象の発生を確実に抑制することができる。
【００１８】
誘電体層を、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法といった各種の物理的気相成長法（Physical Vapor Deposition法、ＰＶＤ法）、若しくは、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）やゾル−ゲル法に基づき第１の基板及び放電維持電極上に形成することが好ましい。このように、ＰＶＤ法やＣＶＤ法、ゾル−ゲル法を採用することによって、薄く、緻密で、しかも、均一・均質な誘電体層を形成することができる。
【００１９】
ここで、ＰＶＤ法として、より具体的には、
（ａ）電子ビーム加熱法、抵抗加熱法、フラッシュ蒸着等の各種真空蒸着法
（ｂ）プラズマ蒸着法
（ｃ）２極スパッタリング法、直流スパッタリング法、直流マグネトロンスパッタリング法、高周波スパッタリング法、マグネトロンスパッタリング法、イオンビームスパッタリング法、バイアススパッタリング法等の各種スパッタリング法
（ｄ）ＤＣ(direct current)法、ＲＦ法、多陰極法、活性化反応法、電界蒸着法、高周波イオンプレーティング法、反応性イオンプレーティング法等の各種イオンプレーティング法
を挙げることができる。
【００２０】
また、ＣＶＤ法として、常圧ＣＶＤ法（ＡＰＣＶＤ法）、減圧ＣＶＤ法（ＬＰＣＶＤ法）、低温ＣＶＤ法、高温ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法（ＰＣＶＤ法，ＰＥＣＶＤ法）、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法、光ＣＶＤ法を例示することができる。
【００２１】
誘電体層の表面には保護膜が形成されていることが好ましい。保護膜を形成することで、イオンや電子と放電維持電極との直接接触を防止することができる結果、放電維持電極の磨耗を防ぐことができる。保護膜は、この他にも、放電に必要な２次電子を放出する機能を有する。保護膜を構成する材料として、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ₂）、フッ化カルシウム（ＣａＦ₂）を例示することができるが、中でも酸化マグネシウムは、２次電子放出比が高い上に、化学的に安定であり、スパッタリング率が低く、蛍光体層の発光波長における光透過率が高く、放電開始電圧が低い等の特色を有する好適な材料である。尚、保護膜を、これらの材料から成る群から選択された少なくとも２種類の材料から構成された積層膜構造としてもよい。
【００２２】
誘電体層の表面には、誘電体層よりも薄い（例えば、２μｍ以下、好ましくは１μｍ以下）酸化ケイ素層が形成されていてもよい。このように、窒素化合物から成る誘電体層と酸化ケイ素層との積層構造とすることによって、誘電体層内の応力を緩和し、誘電体層にクラックが生じることを防止することができるし、誘電体層におけるピンホールの発生を防止することができる。尚、保護膜を形成する場合、この酸化ケイ素層の表面に保護膜を形成する。
【００２３】
上述の各種態様を含む本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、一対の放電維持電極の一方を第１パネルに形成し、他方を第２パネルに形成する構成とすることができる。尚、このような構成の交流駆動型プラズマ表示装置を、便宜上、２電極型と呼ぶ。この場合、一方の放電維持電極の射影像は第１の方向に延び、他方の放電維持電極の射影像は、第１の方向とは異なる第２の方向に延び、一対の放電維持電極が対面するごとく対向して配置されている。あるいは又、一対の放電維持電極を第１パネルに形成し、所謂アドレス電極を第２パネルに形成する構成とすることもできる。尚、このような構成の交流駆動型プラズマ表示装置を、便宜上、３電極型と呼ぶ。この場合、一対の放電維持電極の射影像は互いに平行に第１の方向に延び、アドレス電極の射影像は第２の方向に延び、一対の放電維持電極とアドレス電極とが対面するごとく対向して配置されている構成とすることができるが、かかる構成に限定するものではない。これらの場合、第１の方向と第２の方向とは、交流駆動型プラズマ表示装置の構造の簡素化の観点から、直交していることが好ましい。
【００２４】
また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置において、第１パネルに一対の放電維持電極を設ける場合、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を直線状としてもよいし、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲したパターンとすることもでき、これによって、放電に寄与する放電維持電極の部分の面積の増加を図ることができる。
【００２５】
例えば、３電極型の交流駆動型プラズマ表示装置を例にとり、以下、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置の説明を行うが、２電極型の交流駆動型プラズマ表示装置にあっては、必要に応じて、以下の説明における「アドレス電極」を「他方の放電維持電極」と読み替えればよい。
【００２６】
放電維持電極を構成する導電性材料は、交流駆動型プラズマ表示装置が透過型であるか、反射型であるかによって異なる。透過型の交流駆動型プラズマ表示装置では、蛍光体層の発光は第２の基板を通して観察されるので、放電維持電極を構成する導電性材料に関して透明／不透明の別は問わないが、アドレス電極を第２の基板上に設けるので、アドレス電極は透明である必要がある。一方、反射型の交流駆動型プラズマ表示装置では、蛍光体層の発光は第１の基板を通して観察されるので、アドレス電極を構成する導電性材料に関して透明／不透明の別は問わないが、放電維持電極を構成する導電性材料は透明である必要がある。尚、ここで述べる透明／不透明とは、蛍光体材料に固有の発光波長（可視光域）における導電性材料の光透過性に基づく。即ち、蛍光体層から射出される光に対して透明であれば、放電維持電極やアドレス電極を構成する導電性材料は透明であると云える。不透明な導電性材料として、Ｎｉ、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂａ、ＬａＢ₆、Ｃａ_0.2Ｌａ_0.8ＣｒＯ₃等の材料を単独又は適宜組み合わせて用いることができる。透明な導電性材料として、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）やＳｎＯ₂を挙げることができる。放電維持電極やアドレス電極は、スパッタリング法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成することができる。
【００２７】
放電維持電極に加えて、放電維持電極全体のインピーダンスを低下させるために、放電維持電極に接して、放電維持電極よりも電気抵抗率の低い材料から成るバス電極が設けられている構成とすることもできる。バス電極は、典型的には、金属材料、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜から構成することができる。かかる金属材料から成るバス電極は、反射型の交流駆動型プラズマ表示装置においては、蛍光体層から放射されて第１の基板を通過する可視光の透過光量を低減させ、表示画面の輝度を低下させる要因となり得るので、放電維持電極全体に要求される電気抵抗値が得られる範囲内で出来る限り細く形成することが好ましい。バス電極は、スパッタリング法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成することができる。
【００２８】
本発明の交流駆動型プラズマ表示装置において、第１パネルを構成する第１の基板及び第２パネルを構成する第２の基板の構成材料として、高歪点ガラス、ソーダガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ₂）、硼珪酸ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂）、フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）、鉛ガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＰｂＯ・ＳｉＯ₂）を例示することができる。第１の基板と第２の基板の構成材料は、同じであっても異なっていてもよい。
【００２９】
蛍光体層は、例えば、赤色を発光する蛍光体材料、緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する蛍光体材料から成る群から選択された蛍光体材料から構成され、アドレス電極の上方に設けられている。交流駆動型プラズマ表示装置がカラー表示の場合、具体的には、例えば、赤色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層（赤色蛍光体層）がアドレス電極の上方に設けられ、緑色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層（緑色蛍光体層）が別のアドレス電極の上方に設けられ、青色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層（青色蛍光体層）が更に別のアドレス電極の上方に設けられており、これらの３原色を発光する蛍光体層が１組となり、所定の順序に従って設けられている。そして、一対の放電維持電極とこれらの３原色を発光する１組の蛍光体層が重複する領域が、１画素に相当する。赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層は、ストライプ状に形成されていてもよいし、格子状に形成されていてもよい。更には、放電維持電極とアドレス電極とが重複する領域にのみ、蛍光体層を形成してもよい。
【００３０】
蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、従来公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、真空紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択して用いることができる。カラー表示を想定した場合、色純度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせることが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に発光する蛍光体材料として、（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＹＢＯ₃Ｅｕ）、（ＹＶＯ₄：Ｅｕ）、（Ｙ_0.96Ｐ_0.60Ｖ_0.40Ｏ₄：Ｅｕ_0.04）、［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、（ＧｄＢＯ₃：Ｅｕ）、（ＳｃＢＯ₃：Ｅｕ）、（３．５ＭｇＯ・０．５ＭｇＦ₂・ＧｅＯ₂：Ｍｎ）を例示することができる。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍光体材料として、（ＺｎＳｉＯ₂：Ｍｎ）、（ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ）、（ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｍｎ）、（ＭｇＧａ₂Ｏ₄：Ｍｎ）、（ＹＢＯ₃：Ｔｂ）、（ＬｕＢＯ₃：Ｔｂ）、（Ｓｒ₄Ｓｉ₃Ｏ₈Ｃｌ₄：Ｅｕ）を例示することができる。真空紫外線の照射により青色に発光する蛍光体材料として、（Ｙ₂ＳｉＯ₅：Ｃｅ）、（ＣａＷＯ₄：Ｐｂ）、ＣａＷＯ₄、ＹＰ_{0. 85}Ｖ_0.15Ｏ₄、（ＢａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｓｎ）を例示することができる。蛍光体層の形成方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプレーする方法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けておき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体ペーストを使用し、露光及び現像によって蛍光体層をパターニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後に不要部をサンドブラスト法により除去する方法を挙げることができる。
【００３１】
尚、蛍光体層はアドレス電極の上に直接形成されていてもよいし、アドレス電極上から隔壁の側壁面上に亙って形成されていてもよい。あるいは又、蛍光体層は、アドレス電極上に設けられた誘電体材料層上に形成されていてもよいし、アドレス電極上に設けられた誘電体材料層上から隔壁の側壁面上に亙って形成されていてもよい。更には、蛍光体層は、隔壁の側壁面上にのみ形成されていてもよい。誘電体材料層の構成材料として、低融点ガラスや酸化ケイ素を挙げることができ、スクリーン印刷法やスパッタリング法、真空蒸着法等に基づき形成することができる。場合によっては、蛍光体層や隔壁の表面に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ₂）、フッ化カルシウム（ＣａＦ₂）等から成る第２の保護膜を形成してもよい。
【００３２】
第２の基板には、アドレス電極と平行に延びる隔壁（リブ）が形成されていることが好ましい。尚、隔壁（リブ）はミアンダ構造を有していてもよい。誘電体材料層が第２の基板及びアドレス電極上に形成されている場合には、隔壁は誘電体材料層上に形成されている場合もある。隔壁の構成材料として、従来公知の絶縁材料を使用することができ、例えば広く用いられている低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合した材料を用いることができる。隔壁の形成方法として、スクリーン印刷法、サンドブラスト形成法、ドライフィルム法、感光法を例示することができる。ここで、スクリーン印刷法とは、隔壁を形成すべき部分に対応するスクリーンの部分に開口部が形成されており、スクリーン上の隔壁形成用材料をスキージを用いて開口部を通過させ、第２の基板上若しくは誘電体材料層上（以下、これらを総称して、第２の基板等上と呼ぶ）に隔壁形成用材料層を形成した後、かかる隔壁形成用材料層を焼成する方法である。ドライフィルム法とは、第２の基板等上に感光性フィルムをラミネートし、露光及び現像によって隔壁形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除去によって生じた開口部に隔壁形成用の材料を埋め込み、焼成する方法である。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去され、開口部に埋め込まれた隔壁形成用の材料が残り、隔壁となる。感光法とは、第２の基板等上に感光性を有する隔壁形成用の材料層を形成し、露光及び現像によってこの材料層をパターニングした後、焼成を行う方法である。サンドブラスト形成法とは、例えば、スクリーン印刷やロールコーター、ドクターブレード、ノズル吐出式コーター等を用いて隔壁形成用材料層を第２の基板等上に形成し、乾燥させた後、隔壁を形成すべき隔壁形成用材料層の部分をマスク層で被覆し、次いで、露出した隔壁形成用材料層の部分をサンドブラスト法によって除去する方法である。尚、隔壁を黒くすることにより、所謂ブラック・マトリックスを形成し、表示画面の高コントラスト化を図ることができる。隔壁を黒くする方法として、黒色に着色されたカラーレジスト材料を用いて隔壁を形成する方法を例示することができる。
【００３３】
第２の基板上に形成された一対の隔壁と、一対の隔壁によって囲まれた領域内を占める放電維持電極とアドレス電極、蛍光体層（例えば、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層のいずれか１つの蛍光体層）によって１つの放電セルが構成される。そして、かかる放電セル内、より具体的には、隔壁によって囲まれた放電空間内に混合ガスから成る放電ガスが封入されており、蛍光体層は、放電空間内の放電ガス中で生じた交流グロー放電に基づき発生した真空紫外線に照射されて発光する。
【００３４】
本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、放電空間に封入された希ガスの圧力は、１×１０²Ｐａ乃至５×１０⁵Ｐａ、好ましくは１×１０³Ｐａ乃至４×１０⁵Ｐａとすることもできる。尚、一対の放電維持電極の間隔を５×１０^-5ｍ未満とする場合には、放電空間内における希ガスの圧力を１×１０²Ｐａ以上３×１０⁵Ｐａ以下、好ましくは１×１０³Ｐａ以上２×１０⁵Ｐａ以下、更に好ましくは１×１０⁴Ｐａ以上１×１０⁵Ｐａ以下とすることが望ましく、このような圧力範囲とすることによって、希ガス中で発生した真空紫外線に照射されて蛍光体層が発光するし、このような圧力範囲内では、圧力が高いほど交流駆動型プラズマ表示装置を構成する各種部材のスパッタリング率が低減する結果、交流駆動型プラズマ表示装置を長寿命化することができる。ここで、放電空間に封入される希ガスには、以下の▲１▼〜▲４▼が要求される。尚、希ガスとして、Ｈｅ（共鳴線の波長＝５８．４ｎｍ）、Ｎｅ（同７４．４ｎｍ）、Ａｒ（同１０７ｎｍ）、Ｋｒ（同１２４ｎｍ）、Ｘｅ（同１４７ｎｍ）を単独で用いるか、又は混合して用いることが可能であるが、ペニング効果による放電開始電圧の低下が期待できる混合ガスが特に有用である。かかる混合ガスとしては、Ｎｅ−Ａｒ混合ガス、Ｈｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｈｅ−Ｋｒ混合ガス、Ｎｅ−Ｋｒ混合ガス、Ｘｅ−Ｋｒ混合ガスを挙げることができる。特に、希ガスの中でも最も長い共鳴線波長を有するＸｅは、分子線の波長１７２ｎｍにも強い真空紫外線を放射するので、好適な希ガスである。
【００３５】
▲１▼ 交流駆動型プラズマ表示装置の長寿命化の観点から、化学的に安定であり、且つ、ガス圧力を高く設定し得ること
▲２▼ 表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射強度が大きいこと
▲３▼ 真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこと
▲４▼ 消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いこと
【００３６】
本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、誘電体層を比較的大きな比誘電率を有する材料、即ち、窒素化合物から構成することによって（例えば、スパッタリング法やＣＶＤ法にて形成されたＳｉＮ_X、ＳｉＯ_XＮ_Y、Ｍｇ₃Ｎ₂、ＡｌＮ、ＢＣＮの比誘電率は、それぞれ、６〜９、４〜９、３〜９、４〜９、３〜８である）、スパッタリング法や蒸着法等で形成されるＳｉＯ₂から成る誘電体層の容量と比較して、誘電体層の容量を大きくすることができる。しかも、ガラスペーストをスクリーン印刷することによって形成される従来の誘電体層と比較して、誘電体層の膜厚を格段に薄くすることができる。従って、誘電体層の電荷蓄積量を増加させることができるので、交流駆動型プラズマ表示装置の輝度の向上、駆動電力の低減を図ることが可能となる。しかも、誘電体層を窒素化合物から構成することにより、誘電体層として緻密な膜を形成することができ、高耐圧化が可能となるし、異常放電が発生し難くなる。
【００３７】
また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、緻密で均一・均質な誘電体層を設けることによって、イオンや電子と放電維持電極との直接接触を防止することができる結果、放電維持電極の磨耗を防ぐことができる。誘電体層は、壁電荷を蓄積する機能だけでなく、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての機能、放電状態を維持するメモリ機能を有する。
【００３８】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、発明の実施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発明を説明する。
【００３９】
（実施の形態１）
実施の形態１の交流駆動型プラズマ表示装置（以下、プラズマ表示装置と略称する）は、窒素化合物から成る誘電体層を備え、図１に示した構造を有する３電極型のプラズマ表示装置である。誘電体層１４は、より具体的にはＳｉＮ_X（Ｘの値は約２）から成り、放電維持電極１２上における平均厚さは１μｍ乃至３０μｍ（より具体的には、例えば６μｍ）であり、比誘電率は約６．９である。
【００４０】
以下、実施の形態１のプラズマ表示装置の製造方法を説明する。
【００４１】
第１パネル１０は、以下の方法で作製することができる。即ち、先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第１の基板１１の全面に例えばスパッタリング法によりＩＴＯ層を形成し、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によりＩＴＯ層をストライプ状にパターニングすることによって、一対の放電維持電極１２を、複数、形成する。放電維持電極１２は第１の方向に延びている。次に、全面に例えば蒸着法によりクロム膜やアルミニウム膜、銅膜等を形成し、フォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によりクロム膜やアルミニウム膜、銅膜等をパターニングすることによって、各放電維持電極１２の縁部に沿ってバス電極１３を形成する。尚、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２×１０^-5ｍ（２０μｍ）とした。
【００４２】
その後、全面にＳｉＮ_Xから成る誘電体層１４を、高周波マグネトロンスパッタ装置を使用した、以下の表１に例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成した。
【００４３】
［表１］
ターゲット ：Ｓｉ₃Ｎ₄
プロセスガス：Ａｒ＝３００sccm
ガス圧力 ：０．３Ｐａ
ＲＦパワー ：１．５ｋＷ
基板温度 ：室温
【００４４】
尚、以下の表２に例示する条件に基づくプラズマＣＶＤ法にて、ＳｉＮ_Xから成る誘電体層１４を形成することもできる。
【００４５】
［表２］
プロセスガス：ＳｉＨ₄／ＮＨ₃／Ｎ₂＝１６０／８００／２０００sccm
ガス圧力 ：２００Ｐａ
ＲＦパワー ：２ｋＷ
基板温度 ：３８０゜Ｃ
【００４６】
次いで、誘電体層１４の上に、電子ビーム蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る保護膜１５を形成する。以上の工程により第１パネル１０を完成することができる。
【００４７】
第２パネル２０は以下の方法で作製することができる。即ち、先ず、高歪点ガラスやソーダガラスから成る第２の基板２１上に例えばスクリーン印刷法により銀ペーストをストライプ状に印刷し、焼成を行うことによって、アドレス電極２２を形成する。アドレス電極２２は、第１の方向と直交する第２の方向に延びている。次に、スクリーン印刷法により全面に低融点ガラスペースト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を焼成することによって誘電体材料層２３を形成する。その後、隣り合うアドレス電極２２の間の領域の上方の誘電体材料層２３上に、例えばスクリーン印刷法により低融点ガラスペーストを印刷し、焼成を行うことによって、隔壁２４を形成する。尚、隔壁の平均高さを１３０μｍとした。次に、３原色の蛍光体スラリーを順次印刷し、焼成を行うことによって、隔壁２４の間の誘電体材料層２３上から隔壁２４の側壁面上に亙って、蛍光体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂを形成する。以上の工程により第２パネル２０を完成することができる。
【００４８】
次に、プラズマ表示装置の組み立てを行う。即ち、先ず、例えばスクリーン印刷により、第２パネル２０の外周部にフリットガラス層を形成する。次に、第１パネル１０と第２パネル２０とを貼り合わせ、焼成してフリットガラス層を硬化させる。その後、第１パネル１０と第２パネル２０との間に形成された空間を排気した後、例えばＮｅ−Ｘｅ混合ガスを封入し、かかる空間を封止し、プラズマ表示装置を完成させる。
【００４９】
（実施の形態２）
実施の形態２においては、誘電体層１４を、平均厚さ６μｍ、比誘電率約５のＳｉＯ_XＮ_Y（Ｘ及びＹの値は約１）から構成した。
【００５０】
このような誘電体層１４は、以下の表３に例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成することができ、あるいは又、以下の表４に例示する条件に基づくプラズマＣＶＤ法にて形成することもできる。
【００５１】
［表３］
ターゲット ：ＳｉＯ₂
プロセスガス：Ｎ₂＝３００sccm
ガス圧力 ：０．３Ｐａ
ＲＦパワー ：１．５ｋＷ
基板温度 ：室温
【００５２】
［表４］
プロセスガス：ＳｉＨ₄／Ｎ₂Ｏ／Ｎ₂＝２００／６００／１２００sccm
ガス圧力 ：１５０Ｐａ
ＲＦパワー ：２ｋＷ
基板温度 ：３８０゜Ｃ
【００５３】
こうして得られたプラズマ表示装置の輝度測定を行った。併せて、全面に、厚さ２０μｍのガラスペースト（比誘電率：約１３）から成る誘電体層１４をスクリーン印刷法にて形成することによって得られたプラズマ表示装置（比較例のプラズマ表示装置と呼ぶ）の輝度測定を行った。その結果、実施の形態１及び実施の形態２にて得られたプラズマ表示装置は、比較例のプラズマ表示装置と比べて、輝度の向上、放電電圧の低下が認められた。
【００５４】
また、実施の形態１及び実施の形態２において、誘電体層１４の平均厚さを２５μｍ，１０μｍ，７μｍとし、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２０μｍとしたプラズマ表示装置を作製し、輝度測定を行ったところ、誘電体層の厚さが薄くなるに従い、輝度の向上が認められた。しかも、異常放電は観察されなかった。一方、全面に、平均厚さ２５μｍ，１０μｍ，７μｍのガラスペースト（比誘電率：約１３）から成る誘電体層１４をスクリーン印刷法にて形成することによって得られたプラズマ表示装置（一対の放電維持電極１２の間の間隔を２０μｍとした）にあっては、プラズマ表示装置において異常放電が観察されたものがあり、特に、７μｍの膜厚の誘電体層を有するプラズマ表示装置にあっては異常放電が多数観察された。
【００５５】
更には、実施の形態１及び実施の形態２において、一対の放電維持電極１２の間の間隔を１００μｍ，４０μｍ，２０μｍとし、誘電体層１４の平均厚さを１０μｍとしたプラズマ表示装置を作製し、放電電圧測定を行ったところ、一対の放電維持電極１２の間の間隔が狭くなる程、プラズマ表示装置の放電電圧が低下することが判った。しかも、全てのプラズマ表示装置において異常放電は観察されなかった。一方、全面にガラスペースト（比誘電率：約１３）から成る誘電体層１４をスクリーン印刷法にて形成することによって得られたプラズマ表示装置（一対の放電維持電極１２の間の間隔を１００μｍ，４０μｍ，２０μｍとし、誘電体層１４の平均厚さを１０μｍとした）にあっては、プラズマ表示装置において異常放電が観察されたものがあった。
【００５６】
（実施の形態３）
実施の形態３は実施の形態１の変形である。実施の形態３においては、ＳｉＮ_Xの代わりに、全面にＭｇ₃Ｎ₂から成る誘電体層１４を、高周波マグネトロンスパッタ装置を使用し、以下の表５に例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成した。尚、放電維持電極１２上における誘電体層１４の平均厚さを６μｍとした。また、得られたＭｇ₃Ｎ₂の比誘電率は約７である。
【００５７】
［表５］
ターゲット ：Ｍｇ₃Ｎ₂
プロセスガス：Ａｒ＝２４０sccm
ガス圧力 ：０．３Ｐａ
ＲＦパワー ：９００Ｗ
基板温度 ：室温
【００５８】
（実施の形態４）
実施の形態４も実施の形態１の変形である。実施の形態４においては、ＳｉＮ_Xの代わりに、全面にＡｌＮから成る誘電体層１４を、高周波マグネトロンスパッタ装置を使用し、以下の表６に例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成した。尚、放電維持電極１２上における誘電体層１４の平均厚さを６μｍとした。また、得られたＡｌＮの比誘電率は約７である。
【００５９】
［表６］
ターゲット ：ＡｌＮ
プロセスガス：Ａｒ＝２４０sccm
ガス圧力 ：０．３Ｐａ
ＲＦパワー ：９００Ｗ
基板温度 ：室温
【００６０】
（実施の形態５）
実施の形態５も実施の形態１の変形である。実施の形態５においては、ＳｉＮ_Xの代わりに、全面にＢＣＮから成る誘電体層１４を、高周波マグネトロンスパッタ装置を使用し、以下の表７に例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成した。尚、放電維持電極１２上における誘電体層１４の平均厚さを６μｍとした。また、得られたＢＣＮの比誘電率は約６である。
【００６１】
［表７］
ターゲット ：ＢＣＮ
プロセスガス：Ａｒ＝２４０sccm
ガス圧力 ：０．３Ｐａ
ＲＦパワー ：９００Ｗ
基板温度 ：室温
【００６２】
実施の形態３〜実施の形態５にて得られたプラズマ表示装置にあっても、比較例のプラズマ表示装置と比べて、輝度の向上、放電電圧の低下が認められた。また、実施の形態３〜実施の形態５において、誘電体層１４の平均厚さを２５μｍ，１０μｍ，７μｍとし、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２０μｍとしたプラズマ表示装置を作製し、輝度測定を行ったところ、誘電体層の厚さが薄くなるに従い、輝度の向上が認められた。しかも、異常放電は観察されなかった。更には、実施の形態３〜実施の形態５において、一対の放電維持電極１２の間の間隔を１００μｍ，４０μｍ，２０μｍとし、誘電体層１４の平均厚さを１０μｍとしたプラズマ表示装置を作製し、放電電圧測定を行ったところ、一対の放電維持電極１２の間の間隔が狭くなる程、放電電圧が低下することが判った。しかも、全てのプラズマ表示装置において異常放電は観察されなかった。
【００６３】
以上、本発明を、実施の形態に基づき説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。実施の形態にて説明したプラズマ表示装置の構造や構成、使用した材料、寸法、製造方法等は例示であり、適宜変更することができるし、実施の形態における誘電体層の形成方法は例示であり、適宜変更することができる。
【００６４】
蛍光体層の発光が第２の基板を通して観察される透過型のプラズマ表示装置の本発明を適用することができる。実施の形態においては、平行に延びる一対の放電維持電極からプラズマ表示装置を構成したが、その代わりに、一対のバス電極が第１の方向に延び、一対のバス電極の間で、一方のバス電極から一方の放電維持電極が他方のバス電極の手前まで、第２の方向に延び、他方のバス電極から他方の放電維持電極が一方のバス電極の手前まで、第２の方向に延びる構造とすることもできる。一対の放電維持電極の内、第１の方向に延びる一方の放電維持電極を第１の基板に設け、他方の放電維持電極をアドレス電極と平行に、隔壁の側壁上部に形成する構造としてもよい。また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置を２電極型のプラズマ表示装置としてもよい。更には、アドレス電極を第１の基板に形成してもよい。このような構造の交流駆動型プラズマ表示装置は、例えば、第１の方向に延びる一対の放電維持電極、及び、一対の放電維持電極の一方の近傍に、一対の放電維持電極の一方に沿って設けられたアドレス電極（但し、一対の放電維持電極の一方に沿ったアドレス電極の長さを放電セルの第１の方向に沿った長さ以内とする）から構成することができる。尚、放電維持電極と短絡しないように、絶縁層を介して第２の方向に延びるアドレス電極用配線を設け、かかるアドレス電極用配線とアドレス電極とを電気的に接続し、あるいは又、アドレス電極用配線からアドレス電極が延在する構造とする。
【００６５】
また、実施の形態においては、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を直線状としたが、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲したパターン（例えば、「く」の字の組合せ、「Ｓ」字の組合せや弧の組合せ等、任意の曲線の組合せ）とすることもできる。このような構成にすることによって、一対の放電維持電極の対向する縁部の長さを長くすることができ、放電効率の向上を期することができる。このような構造を有する一対の放電維持電極の模式的な部分的平面図を、図２の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）に示す。
【００６６】
本発明のプラズマ表示装置の交流グロー放電動作の一例を説明する。先ず、例えば、全ての一方の放電維持電極１２に、放電開始電圧Ｖ_bdよりも高いパルス電圧を短時間印加する。これによってグロー放電が生じ、一方の放電維持電極の近傍の誘電体層１４の表面に誘電分極に起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積し、見掛けの放電開始電圧が低下する。その後、アドレス電極２２に電圧を印加しながら、表示をさせない放電セルに含まれる一方の放電維持電極１２に電圧を印加することによって、アドレス電極２２と一方の放電維持電極１２との間にグロー放電を生じさせ、蓄積された壁電荷を消去する。この消去放電を各アドレス電極２２において順次実行する。一方、表示をさせる放電セルに含まれる一方の放電維持電極には電圧を印加しない。これによって、壁電荷の蓄積を維持する。その後、全ての一対の放電維持電極１２間に所定のパルス電圧を印加することによって、壁電荷が蓄積されていたセルにおいては一対の放電維持電極１２の間でグロー放電が開始し、放電セルにおいては、放電空間内における放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起された蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光色を呈する。尚、一方の放電維持電極と他方の放電維持電極に印加される放電維持電圧の位相は半周期ずれており、放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。
【００６７】
あるいは又、本発明のプラズマ表示装置の交流グロー放電動作を、以下のとおりとすることもできる。先ず、全画素を初期化するために全画素に対して消去放電を行い、次いで、放電動作を行う。放電動作は、初期放電によって誘電体層の表面に壁電荷を発生させるアドレス期間と、グロー放電を維持する放電維持期間とに分けて行われる。アドレス期間では、選択された一方の放電維持電極と選択されたアドレス電極に、放電開始電圧Ｖ_bdよりも低いパルス電圧を短時間印加する。パルス電圧が印加された一方の放電維持電極とアドレス電極との重複領域が表示画素として選択され、この重複領域において誘電体層の表面に誘電分極に起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積される。続く放電維持期間では、対になった放電維持電極にＶ_bdよりも低い放電維持電圧Ｖ_susを印加する。壁電荷が誘起する壁電圧Ｖ_wと放電維持電圧Ｖ_susとの和が放電開始電圧Ｖ_bdよりも大きくなれば（即ち、Ｖ_w＋Ｖ_sus＞Ｖ_bd）、グロー放電が開始される。一方の放電維持電極と他方の放電維持電極に印加される放電維持電圧Ｖ_susの位相は半周期ずれており、放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。
【００６８】
【発明の効果】
本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、スパッタリング法や蒸着法等でＳｉＯ₂から成る誘電体層を形成する場合と比較して比誘電率の高い材料から誘電体層が構成されているので、誘電体層の容量を大きくすることができる。その結果、電荷蓄積量を増加させることができ、駆動電力、即ち、消費電力の低減が可能となるばかりか、交流駆動型プラズマ表示装置の輝度の向上を図ることができる。また、誘電体層の密度が高く、均一・均質であるが故に、異常放電や電荷の異常分布が生じ難く、放電安定性が向上するので、交流駆動型プラズマ表示装置の信頼性が高くなるし、輝度の向上を図ることができる。また、緻密な（即ち、高密度の）誘電体層を得ることができるので、耐圧の向上、その下に存在する放電維持電極の損傷発生の防止が可能となる。更には、ガラスペーストをスクリーン印刷することによって形成される従来の誘電体層と比較して、充分に薄い誘電体層を形成することができるが故に、一対の放電維持電極の間の距離を短くすることができるし、輝度の向上を図ることができる。
【００６９】
即ち、一対の放電維持電極の間の距離を１×１０^-4ｍ以下、好ましくは５×１０^-5ｍ未満、一層好ましくは５．０×１０^-5ｍ未満、更に一層好ましくは２×１０^-5ｍ以下とすることが可能となり、駆動電力を、一対の放電維持電極の間の距離が１００μｍを超える従来の交流駆動型プラズマ表示装置と比べて、低減することができる。それ故、交流駆動型プラズマ表示装置の駆動回路の負担を少なくすることができるばかりか、放電の安定性も向上する。更には、駆動電力を従来の交流駆動型プラズマ表示装置と同等若しくは従来に近い大きさとするときには、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置の発光輝度を高めることができる。一方、従来と同等の駆動電力とするときには、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置の明るさを高めることができる。しかも、高精細度、高密度表示を達成でき、あるいは又、蛍光体層の面積増加に伴う輝度の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】３電極型の交流駆動型プラズマ表示装置の一般的な構成例を概念的に示す一部分解斜視図である。
【図２】本発明のプラズマ表示装置において、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲したパターンとしたときの、一対の放電維持電極の模式的な部分的平面図である。
【符号の説明】
１０・・・第１パネル、１１・・・第１の基板、１２・・・放電維持電極、１３・・・バス電極、１４・・・誘電体層、１５・・・保護膜、２０・・・第２パネル、２１・・・第２の基板、２２・・・アドレス電極、２３・・・誘電体材料層、２４・・・隔壁、２５，２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂ・・・蛍光体層

Claims (8)

1. 第１の基板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、
   該誘電体層は、Ｍｇ ₃ Ｎ ₂ から成ることを特徴とする交流駆動型プラズマ表示装置。
2. 第１の基板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、
   該誘電体層は、ＢＣＮから成ることを特徴とする交流駆動型プラズマ表示装置。
3. 誘電体層の厚さは、１．０×１０^-6ｍ乃至３．０×１０^-5ｍであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
4. 誘電体層の厚さは、１．０×１０^-6ｍ乃至１．５×１０^-5ｍであることを特徴とする請求項３に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
5. 誘電体層の厚さは、１．０×１０^-6ｍ乃至１．０×１０^-5ｍであることを特徴とする請求項４に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
6. 第１パネルに形成された放電維持電極は一対で作動し、該一対の放電維持電極の間の間隔は１×１０^-4ｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
7. 一対の放電維持電極の間の間隔は５×１０^-5ｍ未満であることを特徴とする請求項６に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
8. 一対の放電維持電極の間の間隔は２×１０^-5ｍ以下であることを特徴とする請求項７に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。

Images