JP2003132799A

JP2003132799A - 交流駆動型プラズマ表示装置

Info

Publication number: JP2003132799A
Application number: JP2002213978A
Authority: JP
Inventors: Kazunao Oniki; 一直鬼木; Arata Kobayashi; 新小林
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-08-10
Filing date: 2002-07-23
Publication date: 2003-05-09
Anticipated expiration: 2022-07-23
Also published as: JP4052050B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高い比誘電率を有し、均一・均質であり、しか
も、緻密で、薄い誘電体層を有する交流駆動型プラズマ
表示装置を提供する。【解決手段】交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成り、該誘電体層は、窒素化合物、例えばＳｉＮ_X、
ＳｉＯ_XＮ_Y、Ｍｇ₃Ｎ₂、ＡｌＮ、あるいは、ＢＣＮから
成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、誘電体層に特徴を
有する交流駆動型プラズマ表示装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる
画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロル
ミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置
（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することが
できる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視
野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の
環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること
等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の
大型情報端末機器への適用が期待されている。

【０００３】プラズマ表示装置は、希ガスから成る放電
ガスを放電空間内に封入した放電セルに電圧を印加し
て、放電ガス中でのグロー放電に基づき発生した真空紫
外線で放電セル内の蛍光体層を励起することによって発
光を得る表示装置である。つまり、個々の放電セルは蛍
光灯に類似した原理で駆動され、放電セルが、通常、数
十万個のオーダーで集合して１つの表示画面が構成され
ている。プラズマ表示装置は、放電セルへの電圧の印加
方式によって直流駆動型（ＤＣ型）と交流駆動型（ＡＣ
型）とに大別され、それぞれ一長一短を有する。ＡＣ型
プラズマ表示装置は、表示画面内で個々の放電セルを仕
切る役割を果たす隔壁を例えばストライプ状に形成すれ
ばよいので、高精細化に適している。しかも、放電のた
めの電極の表面が誘電体材料から成る誘電体層で覆われ
ているので、かかる電極が磨耗し難く、長寿命であると
いった長所を有する。

【０００４】ＡＣ型プラズマ表示装置の典型的な構成例
の一部分の模式的な分解斜視図を、図１に示す。このＡ
Ｃ型プラズマ表示装置は所謂３電極型に属し、一対の放
電維持電極１２の間で放電が生じる。図１に示すＡＣ型
プラズマ表示装置は、フロントパネルに相当する第１パ
ネル１０とリアパネルに相当する第２パネル２０とがそ
れらの外周部で接合されて成る。第２パネル２０上の蛍
光体層２５の発光は、例えば、第１パネル１０を通して
観察される。

【０００５】第１パネル１０は、透明な第１の基板１１
と、第１の基板１１上にストライプ状に設けられ、透明
導電材料から成る複数の一対の放電維持電極１２と、放
電維持電極１２のインピーダンスを低下させるために放
電維持電極１２上に設けられ、放電維持電極１２よりも
電気抵抗率の低い材料から成るバス電極１３と、バス電
極１３及び放電維持電極１２上を含む第１の基板１１上
に形成された誘電体層１４と、誘電体層１４上に形成さ
れたＭｇＯから成る保護膜１５から構成されている。

【０００６】一方、第２パネル２０は、第２の基板２１
と、第２の基板２１上にストライプ状に設けられた複数
のアドレス電極（データ電極とも呼ばれる）２２と、ア
ドレス電極２２上を含む第２の基板２１上に形成された
誘電体材料層２３と、誘電体材料層２３上であって隣り
合うアドレス電極２２の間の領域にアドレス電極２２と
平行に延びる絶縁性の隔壁２４と、誘電体材料層２３上
から隔壁２４の側壁面上に亙って設けられた蛍光体層２
５とから構成されている。蛍光体層２５は、ＡＣ型プラ
ズマ表示装置においてカラー表示を行う場合、赤色蛍光
体層２５Ｒ、緑色蛍光体層２５Ｇ、及び青色蛍光体層２
５Ｂから構成されており、これらの各色の蛍光体層２５
Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂが所定の順序に従って設けられてい
る。図１は一部分解斜視図であり、実際には第２パネル
２０側の隔壁２４の頂部が第１パネル１０側の保護膜１
５に当接している。一対の放電維持電極１２と、２つの
隔壁２４の間に位置するアドレス電極２２とが重複する
領域が、放電セルに相当する。そして、隣り合う隔壁２
４と蛍光体層２５と保護膜１５とによって囲まれた放電
空間内には、放電ガスが封入されている。第１パネル１
０と第２パネル２０とは、それらの外周部において、フ
リットガラスを用いて接合されている。

【０００７】放電維持電極１２の射影像が延びる方向と
アドレス電極２２の射影像が延びる方向とは直交してお
り、一対の放電維持電極１２と、３原色を発光する蛍光
体層２５Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂの１組とが重複する領域が
１画素（１ピクセル）に相当する。グロー放電が一対の
放電維持電極１２間で生じることから、このタイプのＡ
Ｃ型プラズマ表示装置は「面放電型」と称される。一対
の放電維持電極１２間に電圧を印加する直前に、例え
ば、放電セルの放電開始電圧よりも低いパルス電圧をア
ドレス電極２２に印加することで、放電セル内に壁電荷
が蓄積され（表示を行う放電セルの選択）、見掛け上の
放電開始電圧が低下する。次いで、一対の放電維持電極
１２の間で開始された放電は、放電開始電圧よりも低い
電圧にて維持され得る。放電セルにおいては、放電ガス
中でのグロー放電に基づき発生した真空紫外線の照射に
よって励起された蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じ
た特有の発光色を呈する。尚、封入された放電ガスの種
類に応じた波長を有する真空紫外線が発生する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】現在商品化されている
ＡＣ型プラズマ表示装置においては、その輝度の低さが
問題となっている。例えば、４２インチ型のＡＣ型プラ
ズマ表示装置の輝度は、高々９００ｃｄ／ｍ²程度であ
る。しかも、実際にＡＣ型プラズマ表示装置を商品化す
るにあたっては、例えば、第１パネル１０の外面に電磁
波遮蔽や外光反射防止のためのシートやフィルムを張り
合わせる必要があり、ＡＣ型プラズマ表示装置における
実際の表示光はかなり暗くなってしまう。

【０００９】ＡＣ型プラズマ表示装置では、第１の基板
１１における放電維持電極１２上に誘電体層１４が形成
されており、誘電体層１４は、通常、例えば、ガラスペ
ーストをスクリーン印刷することによって形成される。
ＡＣ型プラズマ表示装置の駆動においては、この誘電体
層１４に電荷を蓄積し、放電維持電極１２に逆向きの電
圧を印加することで誘電体層１４に蓄積された電荷を放
出させ、プラズマを発生させている。輝度はこのプラズ
マから発生する真空紫外線の量に依存しており、輝度を
向上させるためには誘電体層１４に多くの電荷を蓄積さ
せる必要がある。そのための手段として、誘電体層１４
を高い比誘電率を有する材料から構成する方法、誘電体
層１４の厚さを薄くする方法が考えられる。また、電荷
分布を出来るだけ均一にするために、誘電体層１４は均
一・均質な層であることが要求される。更には、誘電体
層１４は、緻密な層であることが、耐圧向上の観点、そ
の下に存在する放電維持電極１２の損傷発生の防止とい
った観点から望ましい。更には、輝度向上の観点から
も、誘電体層１４の厚さは出来る限り薄いことが望まし
い。

【００１０】通常、スクリーン印刷法にて誘電体層１４
を形成しているが、スクリーン印刷法では、薄く均一な
膜厚を有する誘電体層１４を形成することが困難であ
り、誘電体層１４の薄い部分や亀裂部などから異常放電
が発生し易くなるという問題がある。

【００１１】誘電体層１４をＳｉＯ₂等をスパッタリン
グ法や蒸着法等で形成するという方法もあるが、ＳｉＯ
₂は比誘電率が３〜４程度とあまり高くないため、容量
をあまり高くできず、電荷の蓄積を十分に行えないとい
う問題がある。

【００１２】更には、一対の放電維持電極１２の間隔が
１×１０^-4ｍ程度よりも狭い場合、誘電体層１４の厚さ
が厚いと誘電体層１４内での放電破壊が生じ、誘電体層
１４への電荷の蓄積が困難となる。よって、一対の放電
維持電極１２の間隔が狭い場合、誘電体層１４の厚さを
薄くする必要がある。然るに、従来のガラスペーストを
用いたスクリーン印刷法によっては、薄い誘電体層１４
を形成することは困難である。

【００１３】従って、本発明の目的は、誘電体層の厚さ
を薄くでき、且つ、比較的高い比誘電率を有する材料を
使用することによって誘電体層においる電荷の蓄積を増
加することにより、高輝度を達成し得る交流駆動型プラ
ズマ表示装置を提供することにある。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの本発明の交流駆動型プラズマ表示装置は、第１の基
板上に形成された放電維持電極、及び、第１の基板と放
電維持電極の上に形成された誘電体層を備えた第１パネ
ル、並びに、第２パネルが、それらの外周部で接合され
て成る交流駆動型プラズマ表示装置であって、該誘電体
層は、窒素化合物から成ることを特徴とする。

【００１５】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いては、窒素化合物として、ＳｉＮ _X、ＳｉＯ_XＮ_Y、Ｍ
ｇ₃Ｎ₂、ＡｌＮ、あるいは、ＢＣＮを挙げることができ
る。尚、誘電体層は、これらの材料から選択された１種
類の材料から成る単層構造（単層膜構造）とすることも
できるし、これらの材料から選択された複数種類の材料
から成る多層構造（積層膜構造）とすることもできる。
更には、誘電体層として、その他、例えば、Ｍｇ₃Ｎ₂と
ＢＮの多層構造、ＡｌＮとＢＮの多層構造、ＢＣＮとＢ
Ｎの多層構造を挙げることもできる。

【００１６】また、上述の態様を含む本発明の交流駆動
型プラズマ表示装置においては、誘電体層の厚さを、
１．０×１０^-6ｍ乃至３．０×１０^-5ｍ、好ましくは
１．０×１０^-6ｍ乃至１．５×１０^-5ｍ、一層好ましく
は、１．０×１０^-6ｍ乃至１．０×１０^-5ｍ、更に一層
好ましくは２．０×１０^-6ｍ乃至１．０×１０^-5ｍとす
ることが望ましい。ここで、誘電体層の厚さとは、放電
維持電極上の平均厚さを意味する。このように、従来の
交流駆動型プラズマ表示装置における誘電体層の膜厚
（通常、３．０×１０^-5ｍを超える膜厚）と比較して薄
い誘電体層を形成するので、誘電体層の容量を大きくす
ることができる。その結果、駆動電圧の低減を図ること
ができると共に、電荷蓄積量を増加させることができる
ので、交流駆動型プラズマ表示装置の輝度の向上、駆動
電力の低減を図ることができる。

【００１７】上述の各種態様を含む本発明の交流駆動型
プラズマ表示装置にあっては、第１パネルに形成された
放電維持電極は一対で作動する構成とすることができ
る。一対の放電維持電極の間の距離は、所定の放電電圧
において必要なグロー放電が生じる限りにおいて本質的
には任意であるが、一対の放電維持電極の間の間隔は１
×１０^-4ｍ以下、好ましくは５×１０^-5ｍ未満、一層好
ましくは５．０×１０^-5ｍ未満、更に一層好ましくは２
×１０^-5ｍ以下であることが望ましい。尚、一対の放電
維持電極の間の距離が１×１０^-4ｍ以下の場合、誘電体
層の膜厚が厚すぎると、誘電体層内での放電破壊が生
じ、誘電体層における電荷の蓄積が困難となる場合があ
る。本発明の交流駆動型プラズマ表示装置においては、
誘電体層の厚さを従来よりも薄くすることによって、即
ち、誘電体層の厚さを３．０×１０^-5ｍ以下、望ましく
は１．５×１０^-5ｍ以下、一層望ましくは１．０×１０
^-5ｍ以下とすることによって、このような現象の発生を
確実に抑制することができる。

【００１８】誘電体層を、スパッタリング法、真空蒸着
法、イオンプレーティング法といった各種の物理的気相
成長法（Physical Vapor Deposition法、ＰＶＤ法）、
若しくは、化学的気相成長法（ＣＶＤ法）やゾル−ゲル
法に基づき第１の基板及び放電維持電極上に形成するこ
とが好ましい。このように、ＰＶＤ法やＣＶＤ法、ゾル
−ゲル法を採用することによって、薄く、緻密で、しか
も、均一・均質な誘電体層を形成することができる。

【００１９】ここで、ＰＶＤ法として、より具体的に
は、（ａ）電子ビーム加熱法、抵抗加熱法、フラッシュ蒸着
等の各種真空蒸着法（ｂ）プラズマ蒸着法（ｃ）２極スパッタリング法、直流スパッタリング法、
直流マグネトロンスパッタリング法、高周波スパッタリ
ング法、マグネトロンスパッタリング法、イオンビーム
スパッタリング法、バイアススパッタリング法等の各種
スパッタリング法（ｄ）ＤＣ(direct current)法、ＲＦ法、多陰極法、活
性化反応法、電界蒸着法、高周波イオンプレーティング
法、反応性イオンプレーティング法等の各種イオンプレ
ーティング法を挙げることができる。

【００２０】また、ＣＶＤ法として、常圧ＣＶＤ法（Ａ
ＰＣＶＤ法）、減圧ＣＶＤ法（ＬＰＣＶＤ法）、低温Ｃ
ＶＤ法、高温ＣＶＤ法、プラズマＣＶＤ法（ＰＣＶＤ
法，ＰＥＣＶＤ法）、ＥＣＲプラズマＣＶＤ法、光ＣＶ
Ｄ法を例示することができる。

【００２１】誘電体層の表面には保護膜が形成されてい
ることが好ましい。保護膜を形成することで、イオンや
電子と放電維持電極との直接接触を防止することができ
る結果、放電維持電極の磨耗を防ぐことができる。保護
膜は、この他にも、放電に必要な２次電子を放出する機
能を有する。保護膜を構成する材料として、酸化マグネ
シウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ₂）、
フッ化カルシウム（ＣａＦ₂）を例示することができる
が、中でも酸化マグネシウムは、２次電子放出比が高い
上に、化学的に安定であり、スパッタリング率が低く、
蛍光体層の発光波長における光透過率が高く、放電開始
電圧が低い等の特色を有する好適な材料である。尚、保
護膜を、これらの材料から成る群から選択された少なく
とも２種類の材料から構成された積層膜構造としてもよ
い。

【００２２】誘電体層の表面には、誘電体層よりも薄い
（例えば、２μｍ以下、好ましくは１μｍ以下）酸化ケ
イ素層が形成されていてもよい。このように、窒素化合
物から成る誘電体層と酸化ケイ素層との積層構造とする
ことによって、誘電体層内の応力を緩和し、誘電体層に
クラックが生じることを防止することができるし、誘電
体層におけるピンホールの発生を防止することができ
る。尚、保護膜を形成する場合、この酸化ケイ素層の表
面に保護膜を形成する。

【００２３】上述の各種態様を含む本発明の交流駆動型
プラズマ表示装置においては、一対の放電維持電極の一
方を第１パネルに形成し、他方を第２パネルに形成する
構成とすることができる。尚、このような構成の交流駆
動型プラズマ表示装置を、便宜上、２電極型と呼ぶ。こ
の場合、一方の放電維持電極の射影像は第１の方向に延
び、他方の放電維持電極の射影像は、第１の方向とは異
なる第２の方向に延び、一対の放電維持電極が対面する
ごとく対向して配置されている。あるいは又、一対の放
電維持電極を第１パネルに形成し、所謂アドレス電極を
第２パネルに形成する構成とすることもできる。尚、こ
のような構成の交流駆動型プラズマ表示装置を、便宜
上、３電極型と呼ぶ。この場合、一対の放電維持電極の
射影像は互いに平行に第１の方向に延び、アドレス電極
の射影像は第２の方向に延び、一対の放電維持電極とア
ドレス電極とが対面するごとく対向して配置されている
構成とすることができるが、かかる構成に限定するもの
ではない。これらの場合、第１の方向と第２の方向と
は、交流駆動型プラズマ表示装置の構造の簡素化の観点
から、直交していることが好ましい。

【００２４】また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装
置において、第１パネルに一対の放電維持電極を設ける
場合、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャッ
プ形状を直線状としてもよいし、一対の放電維持電極の
対向する縁部の間のギャップ形状を、放電維持電極の幅
方向に屈曲したパターン若しくは湾曲したパターンとす
ることもでき、これによって、放電に寄与する放電維持
電極の部分の面積の増加を図ることができる。

【００２５】例えば、３電極型の交流駆動型プラズマ表
示装置を例にとり、以下、本発明の交流駆動型プラズマ
表示装置の説明を行うが、２電極型の交流駆動型プラズ
マ表示装置にあっては、必要に応じて、以下の説明にお
ける「アドレス電極」を「他方の放電維持電極」と読み
替えればよい。

【００２６】放電維持電極を構成する導電性材料は、交
流駆動型プラズマ表示装置が透過型であるか、反射型で
あるかによって異なる。透過型の交流駆動型プラズマ表
示装置では、蛍光体層の発光は第２の基板を通して観察
されるので、放電維持電極を構成する導電性材料に関し
て透明／不透明の別は問わないが、アドレス電極を第２
の基板上に設けるので、アドレス電極は透明である必要
がある。一方、反射型の交流駆動型プラズマ表示装置で
は、蛍光体層の発光は第１の基板を通して観察されるの
で、アドレス電極を構成する導電性材料に関して透明／
不透明の別は問わないが、放電維持電極を構成する導電
性材料は透明である必要がある。尚、ここで述べる透明
／不透明とは、蛍光体材料に固有の発光波長（可視光
域）における導電性材料の光透過性に基づく。即ち、蛍
光体層から射出される光に対して透明であれば、放電維
持電極やアドレス電極を構成する導電性材料は透明であ
ると云える。不透明な導電性材料として、Ｎｉ、Ａｌ、
Ａｕ、Ａｇ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂａ、Ｌ
ａＢ₆、Ｃａ_0.2Ｌａ_0.8ＣｒＯ₃等の材料を単独又は適宜
組み合わせて用いることができる。透明な導電性材料と
して、ＩＴＯ（インジウム・錫酸化物）やＳｎＯ₂を挙
げることができる。放電維持電極やアドレス電極は、ス
パッタリング法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンド
ブラスト法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成す
ることができる。

【００２７】放電維持電極に加えて、放電維持電極全体
のインピーダンスを低下させるために、放電維持電極に
接して、放電維持電極よりも電気抵抗率の低い材料から
成るバス電極が設けられている構成とすることもでき
る。バス電極は、典型的には、金属材料、例えば、Ａ
ｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｍｏ、Ｃｒ、Ｃｒ／Ｃｕ
／Ｃｒ積層膜から構成することができる。かかる金属材
料から成るバス電極は、反射型の交流駆動型プラズマ表
示装置においては、蛍光体層から放射されて第１の基板
を通過する可視光の透過光量を低減させ、表示画面の輝
度を低下させる要因となり得るので、放電維持電極全体
に要求される電気抵抗値が得られる範囲内で出来る限り
細く形成することが好ましい。バス電極は、スパッタリ
ング法や、蒸着法、スクリーン印刷法、サンドブラスト
法、メッキ法、リフトオフ法等によって形成することが
できる。

【００２８】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いて、第１パネルを構成する第１の基板及び第２パネル
を構成する第２の基板の構成材料として、高歪点ガラ
ス、ソーダガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ₂）、硼珪
酸ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂）、フォルステラ
イト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）、鉛ガラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｐｂ
Ｏ・ＳｉＯ₂）を例示することができる。第１の基板と
第２の基板の構成材料は、同じであっても異なっていて
もよい。

【００２９】蛍光体層は、例えば、赤色を発光する蛍光
体材料、緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する
蛍光体材料から成る群から選択された蛍光体材料から構
成され、アドレス電極の上方に設けられている。交流駆
動型プラズマ表示装置がカラー表示の場合、具体的に
は、例えば、赤色を発光する蛍光体材料から構成された
蛍光体層（赤色蛍光体層）がアドレス電極の上方に設け
られ、緑色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体
層（緑色蛍光体層）が別のアドレス電極の上方に設けら
れ、青色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層
（青色蛍光体層）が更に別のアドレス電極の上方に設け
られており、これらの３原色を発光する蛍光体層が１組
となり、所定の順序に従って設けられている。そして、
一対の放電維持電極とこれらの３原色を発光する１組の
蛍光体層が重複する領域が、１画素に相当する。赤色蛍
光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層は、ストライプ
状に形成されていてもよいし、格子状に形成されていて
もよい。更には、放電維持電極とアドレス電極とが重複
する領域にのみ、蛍光体層を形成してもよい。

【００３０】蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、
従来公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、真空
紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択して
用いることができる。カラー表示を想定した場合、色純
度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を混合
した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原色の
残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせるこ
とが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に発光する
蛍光体材料として、（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＹＢＯ₃Ｅ
ｕ）、（ＹＶＯ₄：Ｅｕ）、（Ｙ_0.96Ｐ_0.60Ｖ_0.40Ｏ₄：
Ｅｕ_0.04）、［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、（ＧｄＢ
Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＳｃＢＯ₃：Ｅｕ）、（３．５ＭｇＯ・
０．５ＭｇＦ₂・ＧｅＯ₂：Ｍｎ）を例示することができ
る。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍光体材料
として、（ＺｎＳｉＯ₂：Ｍｎ）、（ＢａＡｌ₁₂Ｏ₁₉：
Ｍｎ）、（ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｍｎ）、（ＭｇＧａ₂
Ｏ₄：Ｍｎ）、（ＹＢＯ₃：Ｔｂ）、（ＬｕＢＯ₃：Ｔ
ｂ）、（Ｓｒ₄Ｓｉ₃Ｏ₈Ｃｌ₄：Ｅｕ）を例示することが
できる。真空紫外線の照射により青色に発光する蛍光体
材料として、（Ｙ₂ＳｉＯ₅：Ｃｅ）、（ＣａＷＯ₄：Ｐ
ｂ）、ＣａＷＯ₄、ＹＰ_0. ₈₅Ｖ_0.15Ｏ₄、（ＢａＭｇＡｌ
₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｅｕ）、（Ｓｒ ₂Ｐ₂
Ｏ₇：Ｓｎ）を例示することができる。蛍光体層の形成
方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプレーする方
法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物質を付けて
おき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性の蛍光体ペ
ーストを使用し、露光及び現像によって蛍光体層をパタ
ーニングする方法、全面に蛍光体層を形成した後に不要
部をサンドブラスト法により除去する方法を挙げること
ができる。

【００３１】尚、蛍光体層はアドレス電極の上に直接形
成されていてもよいし、アドレス電極上から隔壁の側壁
面上に亙って形成されていてもよい。あるいは又、蛍光
体層は、アドレス電極上に設けられた誘電体材料層上に
形成されていてもよいし、アドレス電極上に設けられた
誘電体材料層上から隔壁の側壁面上に亙って形成されて
いてもよい。更には、蛍光体層は、隔壁の側壁面上にの
み形成されていてもよい。誘電体材料層の構成材料とし
て、低融点ガラスや酸化ケイ素を挙げることができ、ス
クリーン印刷法やスパッタリング法、真空蒸着法等に基
づき形成することができる。場合によっては、蛍光体層
や隔壁の表面に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化
マグネシウム（ＭｇＦ₂）、フッ化カルシウム（Ｃａ
Ｆ₂）等から成る第２の保護膜を形成してもよい。

【００３２】第２の基板には、アドレス電極と平行に延
びる隔壁（リブ）が形成されていることが好ましい。
尚、隔壁（リブ）はミアンダ構造を有していてもよい。
誘電体材料層が第２の基板及びアドレス電極上に形成さ
れている場合には、隔壁は誘電体材料層上に形成されて
いる場合もある。隔壁の構成材料として、従来公知の絶
縁材料を使用することができ、例えば広く用いられてい
る低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合した材
料を用いることができる。隔壁の形成方法として、スク
リーン印刷法、サンドブラスト形成法、ドライフィルム
法、感光法を例示することができる。ここで、スクリー
ン印刷法とは、隔壁を形成すべき部分に対応するスクリ
ーンの部分に開口部が形成されており、スクリーン上の
隔壁形成用材料をスキージを用いて開口部を通過させ、
第２の基板上若しくは誘電体材料層上（以下、これらを
総称して、第２の基板等上と呼ぶ）に隔壁形成用材料層
を形成した後、かかる隔壁形成用材料層を焼成する方法
である。ドライフィルム法とは、第２の基板等上に感光
性フィルムをラミネートし、露光及び現像によって隔壁
形成予定部位の感光性フィルムを除去し、除去によって
生じた開口部に隔壁形成用の材料を埋め込み、焼成する
方法である。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去
され、開口部に埋め込まれた隔壁形成用の材料が残り、
隔壁となる。感光法とは、第２の基板等上に感光性を有
する隔壁形成用の材料層を形成し、露光及び現像によっ
てこの材料層をパターニングした後、焼成を行う方法で
ある。サンドブラスト形成法とは、例えば、スクリーン
印刷やロールコーター、ドクターブレード、ノズル吐出
式コーター等を用いて隔壁形成用材料層を第２の基板等
上に形成し、乾燥させた後、隔壁を形成すべき隔壁形成
用材料層の部分をマスク層で被覆し、次いで、露出した
隔壁形成用材料層の部分をサンドブラスト法によって除
去する方法である。尚、隔壁を黒くすることにより、所
謂ブラック・マトリックスを形成し、表示画面の高コン
トラスト化を図ることができる。隔壁を黒くする方法と
して、黒色に着色されたカラーレジスト材料を用いて隔
壁を形成する方法を例示することができる。

【００３３】第２の基板上に形成された一対の隔壁と、
一対の隔壁によって囲まれた領域内を占める放電維持電
極とアドレス電極、蛍光体層（例えば、赤色蛍光体層、
緑色蛍光体層及び青色蛍光体層のいずれか１つの蛍光体
層）によって１つの放電セルが構成される。そして、か
かる放電セル内、より具体的には、隔壁によって囲まれ
た放電空間内に混合ガスから成る放電ガスが封入されて
おり、蛍光体層は、放電空間内の放電ガス中で生じた交
流グロー放電に基づき発生した真空紫外線に照射されて
発光する。

【００３４】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いては、放電空間に封入された希ガスの圧力は、１×１
０²Ｐａ乃至５×１０⁵Ｐａ、好ましくは１×１０³Ｐａ
乃至４×１０⁵Ｐａとすることもできる。尚、一対の放
電維持電極の間隔を５×１０^- ⁵ｍ未満とする場合には、
放電空間内における希ガスの圧力を１×１０²Ｐａ以上
３×１０⁵Ｐａ以下、好ましくは１×１０³Ｐａ以上２×
１０⁵Ｐａ以下、更に好ましくは１×１０⁴Ｐａ以上１×
１０⁵Ｐａ以下とすることが望ましく、このような圧力
範囲とすることによって、希ガス中で発生した真空紫外
線に照射されて蛍光体層が発光するし、このような圧力
範囲内では、圧力が高いほど交流駆動型プラズマ表示装
置を構成する各種部材のスパッタリング率が低減する結
果、交流駆動型プラズマ表示装置を長寿命化することが
できる。ここで、放電空間に封入される希ガスには、以
下の〜が要求される。尚、希ガスとして、Ｈｅ（共
鳴線の波長＝５８．４ｎｍ）、Ｎｅ（同７４．４ｎ
ｍ）、Ａｒ（同１０７ｎｍ）、Ｋｒ（同１２４ｎｍ）、
Ｘｅ（同１４７ｎｍ）を単独で用いるか、又は混合して
用いることが可能であるが、ペニング効果による放電開
始電圧の低下が期待できる混合ガスが特に有用である。
かかる混合ガスとしては、Ｎｅ−Ａｒ混合ガス、Ｈｅ−
Ｘｅ混合ガス、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｈｅ−Ｋｒ混合ガ
ス、Ｎｅ−Ｋｒ混合ガス、Ｘｅ−Ｋｒ混合ガスを挙げる
ことができる。特に、希ガスの中でも最も長い共鳴線波
長を有するＸｅは、分子線の波長１７２ｎｍにも強い真
空紫外線を放射するので、好適な希ガスである。

【００３５】交流駆動型プラズマ表示装置の長寿命
化の観点から、化学的に安定であり、且つ、ガス圧力を
高く設定し得ること表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射
強度が大きいこと真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を
高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこ
と消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いこと

【００３６】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置にお
いては、誘電体層を比較的大きな比誘電率を有する材
料、即ち、窒素化合物から構成することによって（例え
ば、スパッタリング法やＣＶＤ法にて形成されたＳｉＮ
_X、ＳｉＯ_XＮ_Y、Ｍｇ₃Ｎ₂、ＡｌＮ、ＢＣＮの比誘電率
は、それぞれ、６〜９、４〜９、３〜９、４〜９、３〜
８である）、スパッタリング法や蒸着法等で形成される
ＳｉＯ₂から成る誘電体層の容量と比較して、誘電体層
の容量を大きくすることができる。しかも、ガラスペー
ストをスクリーン印刷することによって形成される従来
の誘電体層と比較して、誘電体層の膜厚を格段に薄くす
ることができる。従って、誘電体層の電荷蓄積量を増加
させることができるので、交流駆動型プラズマ表示装置
の輝度の向上、駆動電力の低減を図ることが可能とな
る。しかも、誘電体層を窒素化合物から構成することに
より、誘電体層として緻密な膜を形成することができ、
高耐圧化が可能となるし、異常放電が発生し難くなる。

【００３７】また、本発明の交流駆動型プラズマ表示装
置においては、緻密で均一・均質な誘電体層を設けるこ
とによって、イオンや電子と放電維持電極との直接接触
を防止することができる結果、放電維持電極の磨耗を防
ぐことができる。誘電体層は、壁電荷を蓄積する機能だ
けでなく、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての機
能、放電状態を維持するメモリ機能を有する。

【００３８】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、発明の実
施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発
明を説明する。

【００３９】（実施の形態１）実施の形態１の交流駆動
型プラズマ表示装置（以下、プラズマ表示装置と略称す
る）は、窒素化合物から成る誘電体層を備え、図１に示
した構造を有する３電極型のプラズマ表示装置である。
誘電体層１４は、より具体的にはＳｉＮ_X（Ｘの値は約
２）から成り、放電維持電極１２上における平均厚さは
１μｍ乃至３０μｍ（より具体的には、例えば６μｍ）
であり、比誘電率は約６．９である。

【００４０】以下、実施の形態１のプラズマ表示装置の
製造方法を説明する。

【００４１】第１パネル１０は、以下の方法で作製する
ことができる。即ち、先ず、高歪点ガラスやソーダガラ
スから成る第１の基板１１の全面に例えばスパッタリン
グ法によりＩＴＯ層を形成し、フォトリソグラフィ技術
及びエッチング技術によりＩＴＯ層をストライプ状にパ
ターニングすることによって、一対の放電維持電極１２
を、複数、形成する。放電維持電極１２は第１の方向に
延びている。次に、全面に例えば蒸着法によりクロム膜
やアルミニウム膜、銅膜等を形成し、フォトリソグラフ
ィ技術及びエッチング技術によりクロム膜やアルミニウ
ム膜、銅膜等をパターニングすることによって、各放電
維持電極１２の縁部に沿ってバス電極１３を形成する。
尚、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２×１０^-5ｍ
（２０μｍ）とした。

【００４２】その後、全面にＳｉＮ_Xから成る誘電体層
１４を、高周波マグネトロンスパッタ装置を使用した、
以下の表１に例示する条件に基づくスパッタリング法に
て形成した。

【００４３】［表１］ターゲット：Ｓｉ₃Ｎ₄ プロセスガス：Ａｒ＝３００sccm ガス圧力：０．３ＰａＲＦパワー：１．５ｋＷ基板温度：室温

【００４４】尚、以下の表２に例示する条件に基づくプ
ラズマＣＶＤ法にて、ＳｉＮ_Xから成る誘電体層１４を
形成することもできる。

【００４５】［表２］プロセスガス：ＳｉＨ₄／ＮＨ₃／Ｎ₂＝１６０／８００
／２０００sccm ガス圧力：２００ＰａＲＦパワー：２ｋＷ基板温度：３８０゜Ｃ

【００４６】次いで、誘電体層１４の上に、電子ビーム
蒸着法により厚さ０．６μｍの酸化マグネシウム（Ｍｇ
Ｏ）から成る保護膜１５を形成する。以上の工程により
第１パネル１０を完成することができる。

【００４７】第２パネル２０は以下の方法で作製するこ
とができる。即ち、先ず、高歪点ガラスやソーダガラス
から成る第２の基板２１上に例えばスクリーン印刷法に
より銀ペーストをストライプ状に印刷し、焼成を行うこ
とによって、アドレス電極２２を形成する。アドレス電
極２２は、第１の方向と直交する第２の方向に延びてい
る。次に、スクリーン印刷法により全面に低融点ガラス
ペースト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を焼
成することによって誘電体材料層２３を形成する。その
後、隣り合うアドレス電極２２の間の領域の上方の誘電
体材料層２３上に、例えばスクリーン印刷法により低融
点ガラスペーストを印刷し、焼成を行うことによって、
隔壁２４を形成する。尚、隔壁の平均高さを１３０μｍ
とした。次に、３原色の蛍光体スラリーを順次印刷し、
焼成を行うことによって、隔壁２４の間の誘電体材料層
２３上から隔壁２４の側壁面上に亙って、蛍光体層２５
Ｒ，２５Ｇ，２５Ｂを形成する。以上の工程により第２
パネル２０を完成することができる。

【００４８】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行
う。即ち、先ず、例えばスクリーン印刷により、第２パ
ネル２０の外周部にフリットガラス層を形成する。次
に、第１パネル１０と第２パネル２０とを貼り合わせ、
焼成してフリットガラス層を硬化させる。その後、第１
パネル１０と第２パネル２０との間に形成された空間を
排気した後、例えばＮｅ−Ｘｅ混合ガスを封入し、かか
る空間を封止し、プラズマ表示装置を完成させる。

【００４９】（実施の形態２）実施の形態２において
は、誘電体層１４を、平均厚さ６μｍ、比誘電率約５の
ＳｉＯ_XＮ_Y（Ｘ及びＹの値は約１）から構成した。

【００５０】このような誘電体層１４は、以下の表３に
例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成するこ
とができ、あるいは又、以下の表４に例示する条件に基
づくプラズマＣＶＤ法にて形成することもできる。

【００５１】［表３］ターゲット：ＳｉＯ₂ プロセスガス：Ｎ₂＝３００sccm ガス圧力：０．３ＰａＲＦパワー：１．５ｋＷ基板温度：室温

【００５２】［表４］プロセスガス：ＳｉＨ₄／Ｎ₂Ｏ／Ｎ₂＝２００／６００
／１２００sccm ガス圧力：１５０ＰａＲＦパワー：２ｋＷ基板温度：３８０゜Ｃ

【００５３】こうして得られたプラズマ表示装置の輝度
測定を行った。併せて、全面に、厚さ２０μｍのガラス
ペースト（比誘電率：約１３）から成る誘電体層１４を
スクリーン印刷法にて形成することによって得られたプ
ラズマ表示装置（比較例のプラズマ表示装置と呼ぶ）の
輝度測定を行った。その結果、実施の形態１及び実施の
形態２にて得られたプラズマ表示装置は、比較例のプラ
ズマ表示装置と比べて、輝度の向上、放電電圧の低下が
認められた。

【００５４】また、実施の形態１及び実施の形態２にお
いて、誘電体層１４の平均厚さを２５μｍ，１０μｍ，
７μｍとし、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２０
μｍとしたプラズマ表示装置を作製し、輝度測定を行っ
たところ、誘電体層の厚さが薄くなるに従い、輝度の向
上が認められた。しかも、異常放電は観察されなかっ
た。一方、全面に、平均厚さ２５μｍ，１０μｍ，７μ
ｍのガラスペースト（比誘電率：約１３）から成る誘電
体層１４をスクリーン印刷法にて形成することによって
得られたプラズマ表示装置（一対の放電維持電極１２の
間の間隔を２０μｍとした）にあっては、プラズマ表示
装置において異常放電が観察されたものがあり、特に、
７μｍの膜厚の誘電体層を有するプラズマ表示装置にあ
っては異常放電が多数観察された。

【００５５】更には、実施の形態１及び実施の形態２に
おいて、一対の放電維持電極１２の間の間隔を１００μ
ｍ，４０μｍ，２０μｍとし、誘電体層１４の平均厚さ
を１０μｍとしたプラズマ表示装置を作製し、放電電圧
測定を行ったところ、一対の放電維持電極１２の間の間
隔が狭くなる程、プラズマ表示装置の放電電圧が低下す
ることが判った。しかも、全てのプラズマ表示装置にお
いて異常放電は観察されなかった。一方、全面にガラス
ペースト（比誘電率：約１３）から成る誘電体層１４を
スクリーン印刷法にて形成することによって得られたプ
ラズマ表示装置（一対の放電維持電極１２の間の間隔を
１００μｍ，４０μｍ，２０μｍとし、誘電体層１４の
平均厚さを１０μｍとした）にあっては、プラズマ表示
装置において異常放電が観察されたものがあった。

【００５６】（実施の形態３）実施の形態３は実施の形
態１の変形である。実施の形態３においては、ＳｉＮ _X
の代わりに、全面にＭｇ₃Ｎ₂から成る誘電体層１４を、
高周波マグネトロンスパッタ装置を使用し、以下の表５
に例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成し
た。尚、放電維持電極１２上における誘電体層１４の平
均厚さを６μｍとした。また、得られたＭｇ₃Ｎ₂の比誘
電率は約７である。

【００５７】［表５］ターゲット：Ｍｇ₃Ｎ₂ プロセスガス：Ａｒ＝２４０sccm ガス圧力：０．３ＰａＲＦパワー：９００Ｗ基板温度：室温

【００５８】（実施の形態４）実施の形態４も実施の形
態１の変形である。実施の形態４においては、ＳｉＮ _X
の代わりに、全面にＡｌＮから成る誘電体層１４を、高
周波マグネトロンスパッタ装置を使用し、以下の表６に
例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成した。
尚、放電維持電極１２上における誘電体層１４の平均厚
さを６μｍとした。また、得られたＡｌＮの比誘電率は
約７である。

【００５９】［表６］ターゲット：ＡｌＮプロセスガス：Ａｒ＝２４０sccm ガス圧力：０．３ＰａＲＦパワー：９００Ｗ基板温度：室温

【００６０】（実施の形態５）実施の形態５も実施の形
態１の変形である。実施の形態５においては、ＳｉＮ _X
の代わりに、全面にＢＣＮから成る誘電体層１４を、高
周波マグネトロンスパッタ装置を使用し、以下の表７に
例示する条件に基づくスパッタリング法にて形成した。
尚、放電維持電極１２上における誘電体層１４の平均厚
さを６μｍとした。また、得られたＢＣＮの比誘電率は
約６である。

【００６１】［表７］ターゲット：ＢＣＮプロセスガス：Ａｒ＝２４０sccm ガス圧力：０．３ＰａＲＦパワー：９００Ｗ基板温度：室温

【００６２】実施の形態３〜実施の形態５にて得られた
プラズマ表示装置にあっても、比較例のプラズマ表示装
置と比べて、輝度の向上、放電電圧の低下が認められ
た。また、実施の形態３〜実施の形態５において、誘電
体層１４の平均厚さを２５μｍ，１０μｍ，７μｍと
し、一対の放電維持電極１２の間の間隔を２０μｍとし
たプラズマ表示装置を作製し、輝度測定を行ったとこ
ろ、誘電体層の厚さが薄くなるに従い、輝度の向上が認
められた。しかも、異常放電は観察されなかった。更に
は、実施の形態３〜実施の形態５において、一対の放電
維持電極１２の間の間隔を１００μｍ，４０μｍ，２０
μｍとし、誘電体層１４の平均厚さを１０μｍとしたプ
ラズマ表示装置を作製し、放電電圧測定を行ったとこ
ろ、一対の放電維持電極１２の間の間隔が狭くなる程、
放電電圧が低下することが判った。しかも、全てのプラ
ズマ表示装置において異常放電は観察されなかった。

【００６３】以上、本発明を、実施の形態に基づき説明
したが、本発明はこれらに限定されるものではない。実
施の形態にて説明したプラズマ表示装置の構造や構成、
使用した材料、寸法、製造方法等は例示であり、適宜変
更することができるし、実施の形態における誘電体層の
形成方法は例示であり、適宜変更することができる。

【００６４】蛍光体層の発光が第２の基板を通して観察
される透過型のプラズマ表示装置の本発明を適用するこ
とができる。実施の形態においては、平行に延びる一対
の放電維持電極からプラズマ表示装置を構成したが、そ
の代わりに、一対のバス電極が第１の方向に延び、一対
のバス電極の間で、一方のバス電極から一方の放電維持
電極が他方のバス電極の手前まで、第２の方向に延び、
他方のバス電極から他方の放電維持電極が一方のバス電
極の手前まで、第２の方向に延びる構造とすることもで
きる。一対の放電維持電極の内、第１の方向に延びる一
方の放電維持電極を第１の基板に設け、他方の放電維持
電極をアドレス電極と平行に、隔壁の側壁上部に形成す
る構造としてもよい。また、本発明の交流駆動型プラズ
マ表示装置を２電極型のプラズマ表示装置としてもよ
い。更には、アドレス電極を第１の基板に形成してもよ
い。このような構造の交流駆動型プラズマ表示装置は、
例えば、第１の方向に延びる一対の放電維持電極、及
び、一対の放電維持電極の一方の近傍に、一対の放電維
持電極の一方に沿って設けられたアドレス電極（但し、
一対の放電維持電極の一方に沿ったアドレス電極の長さ
を放電セルの第１の方向に沿った長さ以内とする）から
構成することができる。尚、放電維持電極と短絡しない
ように、絶縁層を介して第２の方向に延びるアドレス電
極用配線を設け、かかるアドレス電極用配線とアドレス
電極とを電気的に接続し、あるいは又、アドレス電極用
配線からアドレス電極が延在する構造とする。

【００６５】また、実施の形態においては、一対の放電
維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を直線状と
したが、一対の放電維持電極の対向する縁部の間のギャ
ップ形状を、放電維持電極の幅方向に屈曲したパターン
若しくは湾曲したパターン（例えば、「く」の字の組合
せ、「Ｓ」字の組合せや弧の組合せ等、任意の曲線の組
合せ）とすることもできる。このような構成にすること
によって、一対の放電維持電極の対向する縁部の長さを
長くすることができ、放電効率の向上を期することがで
きる。このような構造を有する一対の放電維持電極の模
式的な部分的平面図を、図２の（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）
に示す。

【００６６】本発明のプラズマ表示装置の交流グロー放
電動作の一例を説明する。先ず、例えば、全ての一方の
放電維持電極１２に、放電開始電圧Ｖ_bdよりも高いパル
ス電圧を短時間印加する。これによってグロー放電が生
じ、一方の放電維持電極の近傍の誘電体層１４の表面に
誘電分極に起因して壁電荷が発生し、壁電荷が蓄積し、
見掛けの放電開始電圧が低下する。その後、アドレス電
極２２に電圧を印加しながら、表示をさせない放電セル
に含まれる一方の放電維持電極１２に電圧を印加するこ
とによって、アドレス電極２２と一方の放電維持電極１
２との間にグロー放電を生じさせ、蓄積された壁電荷を
消去する。この消去放電を各アドレス電極２２において
順次実行する。一方、表示をさせる放電セルに含まれる
一方の放電維持電極には電圧を印加しない。これによっ
て、壁電荷の蓄積を維持する。その後、全ての一対の放
電維持電極１２間に所定のパルス電圧を印加することに
よって、壁電荷が蓄積されていたセルにおいては一対の
放電維持電極１２の間でグロー放電が開始し、放電セル
においては、放電空間内における放電ガス中でのグロー
放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起さ
れた蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発光
色を呈する。尚、一方の放電維持電極と他方の放電維持
電極に印加される放電維持電圧の位相は半周期ずれてお
り、放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転す
る。

【００６７】あるいは又、本発明のプラズマ表示装置の
交流グロー放電動作を、以下のとおりとすることもでき
る。先ず、全画素を初期化するために全画素に対して消
去放電を行い、次いで、放電動作を行う。放電動作は、
初期放電によって誘電体層の表面に壁電荷を発生させる
アドレス期間と、グロー放電を維持する放電維持期間と
に分けて行われる。アドレス期間では、選択された一方
の放電維持電極と選択されたアドレス電極に、放電開始
電圧Ｖ_bdよりも低いパルス電圧を短時間印加する。パル
ス電圧が印加された一方の放電維持電極とアドレス電極
との重複領域が表示画素として選択され、この重複領域
において誘電体層の表面に誘電分極に起因して壁電荷が
発生し、壁電荷が蓄積される。続く放電維持期間では、
対になった放電維持電極にＶ_bdよりも低い放電維持電圧
Ｖ_susを印加する。壁電荷が誘起する壁電圧Ｖ_wと放電維
持電圧Ｖ_susとの和が放電開始電圧Ｖ_bdよりも大きくな
れば（即ち、Ｖ_w＋Ｖ_sus＞Ｖ_bd）、グロー放電が開始さ
れる。一方の放電維持電極と他方の放電維持電極に印加
される放電維持電圧Ｖ_susの位相は半周期ずれており、
放電維持電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。

【００６８】

【発明の効果】本発明の交流駆動型プラズマ表示装置に
おいては、スパッタリング法や蒸着法等でＳｉＯ₂から
成る誘電体層を形成する場合と比較して比誘電率の高い
材料から誘電体層が構成されているので、誘電体層の容
量を大きくすることができる。その結果、電荷蓄積量を
増加させることができ、駆動電力、即ち、消費電力の低
減が可能となるばかりか、交流駆動型プラズマ表示装置
の輝度の向上を図ることができる。また、誘電体層の密
度が高く、均一・均質であるが故に、異常放電や電荷の
異常分布が生じ難く、放電安定性が向上するので、交流
駆動型プラズマ表示装置の信頼性が高くなるし、輝度の
向上を図ることができる。また、緻密な（即ち、高密度
の）誘電体層を得ることができるので、耐圧の向上、そ
の下に存在する放電維持電極の損傷発生の防止が可能と
なる。更には、ガラスペーストをスクリーン印刷するこ
とによって形成される従来の誘電体層と比較して、充分
に薄い誘電体層を形成することができるが故に、一対の
放電維持電極の間の距離を短くすることができるし、輝
度の向上を図ることができる。

【００６９】即ち、一対の放電維持電極の間の距離を１
×１０^-4ｍ以下、好ましくは５×１０^-5ｍ未満、一層好
ましくは５．０×１０^-5ｍ未満、更に一層好ましくは２
×１０^-5ｍ以下とすることが可能となり、駆動電力を、
一対の放電維持電極の間の距離が１００μｍを超える従
来の交流駆動型プラズマ表示装置と比べて、低減するこ
とができる。それ故、交流駆動型プラズマ表示装置の駆
動回路の負担を少なくすることができるばかりか、放電
の安定性も向上する。更には、駆動電力を従来の交流駆
動型プラズマ表示装置と同等若しくは従来に近い大きさ
とするときには、本発明の交流駆動型プラズマ表示装置
の発光輝度を高めることができる。一方、従来と同等の
駆動電力とするときには、本発明の交流駆動型プラズマ
表示装置の明るさを高めることができる。しかも、高精
細度、高密度表示を達成でき、あるいは又、蛍光体層の
面積増加に伴う輝度の向上を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】３電極型の交流駆動型プラズマ表示装置の一般
的な構成例を概念的に示す一部分解斜視図である。

【図２】本発明のプラズマ表示装置において、一対の放
電維持電極の対向する縁部の間のギャップ形状を、放電
維持電極の幅方向に屈曲したパターン若しくは湾曲した
パターンとしたときの、一対の放電維持電極の模式的な
部分的平面図である。

【符号の説明】

１０・・・第１パネル、１１・・・第１の基板、１２・
・・放電維持電極、１３・・・バス電極、１４・・・誘
電体層、１５・・・保護膜、２０・・・第２パネル、２
１・・・第２の基板、２２・・・アドレス電極、２３・
・・誘電体材料層、２４・・・隔壁、２５，２５Ｒ，２
５Ｇ，２５Ｂ・・・蛍光体層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の基板上に形成された放電維持電極、
及び、第１の基板と放電維持電極の上に形成された誘電
体層を備えた第１パネル、並びに、第２パネルが、それ
らの外周部で接合されて成る交流駆動型プラズマ表示装
置であって、該誘電体層は、窒素化合物から成ることを特徴とする交
流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項２】窒素化合物は、ＳｉＮ_Xであることを特徴
とする請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項３】窒素化合物は、ＳｉＯ_XＮ_Yであることを特
徴とする請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装
置。
【請求項４】窒素化合物は、Ｍｇ₃Ｎ₂であることを特徴
とする請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項５】窒素化合物は、ＡｌＮであることを特徴と
する請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項６】窒素化合物は、ＢＣＮであることを特徴と
する請求項１に記載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項７】誘電体層の厚さは、１．０×１０^-6ｍ乃至
３．０×１０^-5ｍであることを特徴とする請求項１乃至
請求項６のいずれか１項に記載の交流駆動型プラズマ表
示装置。
【請求項８】誘電体層の厚さは、１．０×１０^-6ｍ乃至
１．５×１０^-5ｍであることを特徴とする請求項７に記
載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項９】誘電体層の厚さは、１．０×１０^-6ｍ乃至
１．０×１０^-5ｍであることを特徴とする請求項８に記
載の交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項１０】第１パネルに形成された放電維持電極は
一対で作動し、該一対の放電維持電極の間の間隔は１×
１０^-4ｍ以下であることを特徴とする請求項１乃至請求
項９のいずれか１項に記載の交流駆動型プラズマ表示装
置。
【請求項１１】一対の放電維持電極の間の間隔は５×１
０^-5ｍ未満であることを特徴とする請求項１０に記載の
交流駆動型プラズマ表示装置。
【請求項１２】一対の放電維持電極の間の間隔は２×１
０^-5ｍ以下であることを特徴とする請求項１１に記載の
交流駆動型プラズマ表示装置。