JP2001076628A

JP2001076628A - プラズマ表示装置

Info

Publication number: JP2001076628A
Application number: JP25132899A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Mori; 啓森; Hidehiro Kawaguchi; 英広川口
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-09-06
Filing date: 1999-09-06
Publication date: 2001-03-23

Abstract

(57)【要約】【課題】ＡＣ型プラズマ表示装置の発光効率と輝度を向
上させる。【解決手段】本発明のプラズマ表示装置は、（イ）第１
基板１０と、複数の第１電極１１から構成された第１電
極群と、第１保護層１２とから成る第１パネルＰ１と、
（ロ）第２基板２０と、複数の第２電極２１から構成さ
れた第２電極群と、蛍光体層２２と、第２保護層２３と
から成る第２パネルＰ２とを有し、第１パネルＰ１と第
２パネルＰ２とは、第１保護層１２と第２保護層２３と
が対面するごとく対向して配置され、第１パネルＰ１と
第２パネルＰ２とによって形成された空間内には２．０
×１０⁴Ｐａ以上３．０×１０⁵Ｐａ以下の圧力の希ガス
が封入され、第１電極１１と第２電極２１とが重複する
領域において、第１電極１１の頂面から最短距離に位置
する第１保護層１２の表面の部分と、第２電極２１の頂
面から最短距離に位置する第２保護層２３の表面の部分
との間の距離で定義される電極間距離は５×１０^-5ｍ未
満である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発光効率及び輝度
が改善された、比較的容易に製造が可能なプラズマ表示
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】現在主流の陰極線管（ＣＲＴ）に代わる
画像表示装置として、平面型（フラットパネル形式）の
表示装置が種々検討されている。このような平面型の表
示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）、エレクトロル
ミネッセンス表示装置（ＥＬＤ）、プラズマ表示装置
（ＰＤＰ：プラズマ・ディスプレイ）を例示することが
できる。中でも、プラズマ表示装置は、大画面化や広視
野角化が比較的容易であること、温度、磁気、振動等の
環境要因に対する耐性に優れること、長寿命であること
等の長所を有し、家庭用の壁掛けテレビの他、公共用の
大型情報端末機器への適用が期待されている。

【０００３】プラズマ表示装置は、希ガスを封入した放
電セルに電圧を印加して、希ガス中でのグロー放電に基
づき発生した紫外線で放電セル内の蛍光体層を励起する
ことによって発光を得る表示装置である。つまり、個々
の放電セルは蛍光灯に類似した原理で駆動され、放電セ
ルが、通常、数十万個のオーダーで集合して１つの表示
画面が構成されている。プラズマ表示装置は、放電セル
への電圧の印加方式によってＤＣ型とＡＣ型とに大別さ
れ、それぞれ一長一短を有する。ＡＣ型プラズマ表示装
置は、表示画面内で個々の放電セルを仕切る役割を果た
す隔壁を例えばストライプ状に形成すればよいので、高
精細化に適している。しかも、電極の表面が誘電体材料
で覆われているので、電極が磨耗し難く、長寿命である
といった長所を有する。

【０００４】従来のＡＣ型プラズマ表示装置の典型的な
構成例を、図１１に示す。このＡＣ型プラズマ表示装置
は所謂３電極型に属し、一対の放電維持電極１０１とア
ドレス電極２０１とによって放電が生じる。図１１に示
すＡＣ型プラズマ表示装置は、フロントパネルＰ₁₀とリ
アパネルＰ₂₀とが貼り合わされて成る。リアパネルＰ ₂₀
上の蛍光体層２０４の発光は、フロントパネルＰ₁₀を通
して観察される。

【０００５】フロントパネルＰ₁₀は、透明基板１００
と、透明基板１００上にストライプ状に設けられ、透明
導電材料から成る放電維持電極１０１と、放電維持電極
１０１のインピーダンスを低下させるために設けられ、
放電維持電極１０１よりも電気抵抗率の低い材料から成
るバス電極１０２と、バス電極１０２及び放電維持電極
１０１上を含む透明基板１００上に形成された誘電体膜
１０３とから構成されている。

【０００６】一方、リアパネルＰ₂₀は、基板２００と、
基板２００上にストライプ状に設けられたアドレス電極
（データ電極とも呼ばれる）２０１と、アドレス電極２
０１上を含む基板２００上に形成された誘電体膜２０２
と、誘電体膜２０２上であって隣り合うアドレス電極２
０１の間の領域にアドレス電極２０１と平行に延びる絶
縁性の隔壁２０３と、誘電体膜２０２上から隔壁２０３
の側壁面上に亙って設けられた蛍光体層２０４とから構
成されている。蛍光体層２０４は、赤色蛍光体層２０４
Ｒ、緑色蛍光体層２０４Ｇ、及び青色蛍光体層２０４Ｂ
から構成されており、これらの各色の蛍光体層２０４
Ｒ，２０４Ｇ，２０４Ｂが所定の順序に従って設けられ
ている。図１１は分解斜視図であり、実際にはリアパネ
ルＰ₂₀側の隔壁２０３の頂部がフロントパネルＰ₁₀側の
誘電体膜１０３に当接している。一対の放電維持電極１
０１と、２つの隔壁２０３の間に位置するアドレス電極
２０１とが重複する領域が、放電セルに相当する。そし
て、隣り合う隔壁２０３と蛍光体層２０４と誘電体膜１
０３とによって囲まれた空間内には、希ガスが封入され
ている。

【０００７】放電維持電極１０１が延びる方向とアドレ
ス電極２０１が延びる方向とは直交しており、隣り合う
一対の放電維持電極１０１と、３原色を発光する蛍光体
層２０４Ｒ，２０４Ｇ，２０４Ｂの１組とが重複する領
域が１画素に相当する。グロー放電が隣り合う一対の放
電維持電極１０１間で生じることから、このタイプのプ
ラズマ表示装置は「面放電型」と称される。一対の放電
維持電極１０１間に電圧を印加する直前に、放電セルの
放電開始電圧よりも低いパルス電圧をアドレス電極２０
１に印加することで、放電セル内に壁電荷が蓄積され
（表示を行う放電セルの選択）、見掛け上の放電開始電
圧が低下する。次いで、一対の放電維持電極１０１の間
で開始された放電は、放電開始電圧よりも低い電圧にて
維持され得る。放電セルにおいては、希ガス中でのグロ
ー放電に基づき発生した真空紫外線の照射によって励起
された蛍光体層が、蛍光体材料の種類に応じた特有の発
光色を呈する。尚、封入された希ガスの種類に応じた波
長を有する真空紫外線が発生する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ここで、放電セル内に
おけるグロー放電の発光状態を、図１２を参照して説明
する。図１２の（Ａ）に、希ガスを封入した放電管内で
直流グロー放電を行った場合の発光状態を模式的に示
す。陰極から陽極に向かって、アストン暗部Ａ、陰極グ
ローＢ、陰極暗部（クルックス暗部）Ｃ、負グローＤ、
ファラデー暗部Ｅ、陽光柱Ｆ及び陽極グローＧが順に現
れる。交流グロー放電では、陰極と陽極が所定の周波数
にて反転を繰り返すため、電極間の中央部に陽光柱Ｆが
位置し、陽光柱Ｆの両側にファラデー暗部Ｅ、負グロー
Ｄ、陰極暗部Ｃ、陰極グローＢ及びアストン暗部Ａがこ
の順に対称に現れる。図１２の（Ｂ）に示す状態は、蛍
光灯のように電極間の距離が十分に長い場合にみられ
る。電極間の距離を縮めてゆくと陽光柱Ｆの長さが減少
する。更に電極間の距離を縮めると、図１２の（Ｃ）に
示すように陽光柱Ｆが消失し、電極間の中央部に負グロ
ーＤが位置し、負グローＤの両側に陰極暗部Ｃ、陰極グ
ローＢ及びアストン暗部Ａがこの順に対称に現れる。

【０００９】図１２の（Ｃ）に示した状態が、従来の一
般的なＡＣ型プラズマ表示装置において達成される状態
である。即ち、従来のＡＣ型プラズマ表示装置において
は、フロントパネルＰ₁₀側の誘電体膜１０３の表面とリ
アパネルＰ₂₀側の蛍光体層２０４の最上面との間が負グ
ローで丁度満たされるように、フロントパネルＰ₁₀側の
誘電体膜１０３の表面とリアパネルＰ₂₀側の蛍光体層２
０４の最低面との間の距離（以下、電極間距離と呼ぶ場
合がある）を設定している。従来のＡＣ型プラズマ表示
装置における放電セル内の希ガスの圧力は、概ね６．７
×１０⁴Ｐａ（約０．６６気圧）以下、高くとも８．０
×１０⁴Ｐａ（約０．７９気圧）以下である。また、電
極間距離は、７×１０^-5〜１×１０^-4ｍ程度である。但
し、面放電型のＡＣ型プラズマ表示装置では、放電を維
持するための一対の放電維持電極１０１が図１２の
（Ｃ）に示したような対向した配置ではなく、並列配置
を採るので、負グローは陰極（一対の放電維持電極１０
１のいずれか一方）の表面と蛍光体層２０４の表面との
間の領域に形成される。

【００１０】ところで、電極間距離を概ね決定する部材
は、図１１からも明らかなように隔壁２０３である。従
って、電極間距離を７×１０^-5〜１×１０^-4ｍ程度とす
るためには、蛍光体層２０４の厚さを見込んで、隔壁２
０３を概ね８×１０^-5〜１．１×１０^-4ｍの高さに形成
する必要がある。ところで、プラズマ表示装置の製造に
おいて最も困難な工程の１つが、隔壁２０３の形成工程
である。隔壁２０３の形成方法としてはスクリーン印刷
法あるいはサンドブラスト法が代表的であるが、いずれ
の方法を用いるにしても、かかる高さの隔壁２０３を形
成するには多大な手間を要する。即ち、スクリーン印刷
法では、印刷を１０回程度繰り返さなければならず、隔
壁２０３のパターン精度を高めるために、印刷の各回毎
に使用するペーストの物性を変更したり、十分な重ね合
わせ精度を確保する等の工夫が必要とされる。また、サ
ンドブラスト法では、所望の厚さに形成された隔壁形成
用の材料層の不要部を砂粒子の吹き付けによって除去す
るので、材料層の厚さが厚ければ、除去に要する時間が
長くなり、また、材料層の利用率も低くなる。

【００１１】また、放電セルにおける発光効率や輝度を
向上させるためには、放電電流を増やす必要があり、そ
のためには電極面積を広くすることが有効である。しか
しながら、上述のような面放電型のＡＣ型プラズマ表示
装置では、隣り合う一対の放電維持電極１０１の側面
（即ち、放電維持電極１０１の膜厚分）が対向している
に過ぎず、大幅な輝度の改善を望むことは難しい。

【００１２】従って、本発明は、発光効率及び輝度が改
善された、比較的容易に製造が可能なプラズマ表示装置
を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めの本発明のカラー表示用のプラズマ表示装置は、
（イ）第１基板と、第１基板上に設けられた複数の第１
電極から構成された第１電極群と、第１電極群上を含む
第１基板上に形成された第１保護層とから成る第１パネ
ル、及び、（ロ）第２基板と、第２基板上に設けられた
複数の第２電極から構成された第２電極群と、第２電極
上に設けられ、赤色を発光する蛍光体材料、緑色を発光
する蛍光体材料及び青色を発光する蛍光体材料から成る
群から選択された蛍光体材料から構成された蛍光体層
と、蛍光体層を被覆する第２保護層とから成る第２パネ
ル、を有し、第１パネルと第２パネルとは、第１保護層
と第２保護層とが対面するごとく対向して配置され、第
１パネルと第２パネルとによって形成された空間内に
は、２．０×１０⁴Ｐａ以上３．０×１０⁵Ｐａ以下の圧
力の希ガスが封入されており、各第１電極が延びる方向
と各第２電極が延びる方向とは所定の角度を成し、第１
電極と第２電極とが重複する領域において、第１電極の
頂面から最短距離に位置する第１保護層の表面の部分
と、第２電極の頂面から最短距離に位置する第２保護層
の表面の部分との間の距離で定義される電極間距離は、
５×１０^-5ｍ未満であり、蛍光体層は、希ガス中での交
流グロー放電に基づき発生した紫外線に照射されて発光
することを特徴とする。

【００１４】第１保護層を、第１電極群上を含む第１基
板上に形成することにより、イオンや電子と第１電極群
との直接接触を防止することができる結果、第１電極群
の磨耗を防ぐことができる。第１保護層は、この他に
も、アドレス期間に発生する壁電荷を蓄積する機能、放
電に必要な２次電子を放出する機能、過剰な放電電流を
制限する抵抗体としての機能、放電状態を維持するメモ
リ機能を有する。

【００１５】第２保護層は、蛍光体層を有する従来のカ
ラー表示用のＡＣ型プラズマ表示装置には設けられてい
ない層である。本発明のプラズマ表示装置における第２
保護層は、蛍光体層を被覆して設けられ、イオンや電子
と蛍光体層との直接接触を防止することができる結果、
イオンや電子の衝突による蛍光体層の損傷が防止され、
プラズマ表示装置の長寿命化を図ることができる。第２
保護層は、この他にも、アドレス期間に発生する壁電荷
を蓄積する機能、放電に必要な２次電子を放出する機
能、過剰な放電電流を制限する抵抗体としての機能、放
電状態を維持するメモリ機能を有する。尚、蛍光体層が
第２基板の表面を隙間無く埋め尽くすように設けられて
いる場合、第２保護層は専ら蛍光体層上に設けられる
が、隣り合う蛍光体層の間に第２基板の表面が露出して
いる場合、第２保護層を蛍光体層上を含む第２基板上に
形成してもよい。

【００１６】本発明のプラズマ表示装置は、所謂対向放
電型の装置であり、第１電極群及び第２電極群は、厳密
には電極リードとしての役割を果たし、真の電極は第１
保護層及び第２保護層である。そして、第１電極と第２
電極とが重複する領域のほぼ全体を放電領域として使用
できる。それ故、２つの電極が対面する面積を増加させ
ることができ、表示画面の輝度を高めることが可能とな
る。

【００１７】各第１電極が延びる方向と各第２電極が延
びる方向とが成す所定の角度は、典型的には９０°であ
る。１つの第１電極と１つの第２電極とが重複する領域
が、１つの放電セルに相当する。

【００１８】蛍光体層は、赤色を発光する蛍光体材料、
緑色を発光する蛍光体材料及び青色を発光する蛍光体材
料から成る群から選択された蛍光体材料から構成され、
第２電極上に設けられている。具体的には、例えば、赤
色を発光する蛍光体材料から構成された蛍光体層（赤色
蛍光体層）が第２電極上に設けられ、緑色を発光する蛍
光体材料から構成された蛍光体層（緑色蛍光体層）が別
の第２電極上に設けられ、青色を発光する蛍光体材料か
ら構成された蛍光体層（青色蛍光体層）が更に別の第２
電極上に設けられており、これらの３原色を発光する蛍
光体層が１組となり、所定の順序に従って設けられてい
る。そして、１つの第１電極とこれらの３原色を発光す
る１組の蛍光体層が重複する領域が、１画素に相当す
る。赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層は、
ストライプ状に形成されていてもよいし、格子状に形成
されていてもよい。赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青
色蛍光体層がストライプ状に形成されている場合には、
１つの赤色蛍光体層が１つの第２電極上に形成され、１
つの緑色蛍光体層が１つの第２電極上に形成され、１つ
の青色蛍光体層が１つの第２電極上に形成されている。
一方、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層が
格子状に形成されている場合には、１つの第２電極上
に、赤色蛍光体層、緑色蛍光体層及び青色蛍光体層が所
定の順に形成されている。

【００１９】電極間距離は、従来のＡＣ型プラズマ表示
装置におけるよりも短い５×１０^-5ｍ未満であり、好ま
しくは４×１０^-5ｍ以下、更に好ましくは２．５×１０
^-5ｍ以下である。電極間距離の下限は、第１保護層と第
２保護層との間で交流グロー放電、より具体的には主に
陰極グローが生じ、しかも、第１保護層及び／又は第２
保護層に絶縁破壊が生じない距離とすればよい。

【００２０】このように電極間距離を５×１０^-5ｍ未満
とすることによって、しかも、前記空間内における希ガ
スの圧力を２．０×１０⁴Ｐａ（０．２気圧）以上３．
０×１０⁵Ｐａ（３気圧）以下とすることによって、蛍
光体層は、希ガス中での陰極グローに主に基づき発生し
た紫外線に照射されて発光する。また、このような圧力
範囲内では、圧力が高いほどプラズマ表示装置を構成す
る各種部材のスパッタリング率が低減する結果、プラズ
マ表示装置を長寿命化することができる。空間内におけ
る希ガスのより好ましい圧力範囲は４．０×１０⁴Ｐａ
（０．４気圧）以上２．０×１０⁵Ｐａ（２気圧）以下
であり、更に好ましくは８．０×１０⁴Ｐａ（０．８気
圧）以上１．０×１０⁵Ｐａ（１気圧）以下である。

【００２１】２つの電極に交流電圧を印加しているとき
の本発明のプラズマ表示装置における発光状態を、模式
的に図１０の（Ａ）に示す。電極（第１保護層及び第２
保護層の表層部が相当する）間の中央部に陰極グローＢ
が位置し、陰極グローＢの両側にアストン暗部Ａが現れ
る。尚、場合によっては、負グローが一部存在し得る。
このように、本発明のプラズマ表示装置においては、従
来のプラズマ表示装置よりも電極間距離を短くし、且
つ、空間内の圧力を高くしているので、従来とは全く異
なる放電モード（陰極グロー）を利用することが可能と
なる。それ故、高い交流グロー放電効率を達成できる結
果、プラズマ表示装置において高い発光効率と輝度を得
ることができる。

【００２２】本発明のプラズマ表示装置では、電極間距
離を規定する部材として、間隔維持部材あるいは隔壁の
いずれかを用いることが好ましい。間隔維持部材を用い
る構成を便宜上「第１の構成」と称し、隔壁を用いる構
成を便宜上「第２の構成」と称する。これらの部材は、
フルカラー表示を想定して複数の種類の蛍光体層を用い
る本発明のプラズマ表示装置において、プラズマの生成
範囲を物理的に制限し、画素間の光学的クロストークを
低減若しくは防止する効果も有する。

【００２３】第１の構成に係るプラズマ表示装置におい
ては、前記空間内に間隔維持部材が配され、前記電極間
距離が間隔維持部材によって規定されていることが好ま
しい。間隔維持部材は、例えば塊状部材から成り、第２
電極の間の領域に離散的に配置されている構成とするこ
とができる。塊状部材は、全ての隣り合う第２電極の間
の領域に離散的に配置されていてもよいし、第２電極の
間の領域であって各画素の区切りに対応する領域に配置
されていてもよいし、あるいは、幾つかの画素毎に配置
されていてもよい。間隔維持部材は、典型的には、絶縁
性を有するガラスやセラミックス等の剛性材料から構成
することができ、液晶表示装置の製造分野で通常用いら
れている所謂「スペーサー」を転用することもできる。
間隔維持部材の構成材料や形状、寸法は特に限定されな
いが、所望の電極間距離に応じて選択された直径あるい
は大きさを有する球体、円筒体や角柱体であることが好
ましい。離散的な配置の様式はランダムであってもよい
が、放電の安定性を考慮すると、マトリックス状に配列
された画素と画素との間の位置に規則的に配置すること
が好ましい。球体の間隔維持部材を配置する方法として
は、予め粘着シートや適当な治具上に配列された球体を
第１保護層若しくは第２保護層上に転写する方法を挙げ
ることができる。円筒体や角柱体の間隔維持部材の配置
については、球体の間隔維持部材の配置と同様に行って
もよいし、あるいは、間隔維持部材を構成する材料層を
第１保護層上若しくは第２保護層上の全面に形成し、リ
ソグラフィー法とエッチング法の組合せ、あるいはサン
ドブラスト法により、材料層をパターニングすることに
よって配置してもよい。

【００２４】あるいは、間隔維持部材は線状部材から成
り、第２電極の間の領域において第２電極と平行に配置
されている構成とすることもできる。線状部材は、全て
の隣り合う第２電極の間の領域に配置されていてもよい
し、第２電極の間の領域であって各画素の区切りに対応
する領域に配置されていてもよいし、あるいは、幾つか
の画素毎に配置されていてもよい。

【００２５】更には、間隔維持部材は格子状部材から成
り、格子状部材は、第１電極の間の領域において第１電
極と平行に延びる第１線状部と、第２電極の間の領域に
おいて第２電極と平行に延びる第２線状部とから成る構
成とすることもできる。第１線状部又は第２線状部は、
全ての隣り合う第１電極又は第２電極の間の領域に配置
されていてもよいし、第１電極又は第２電極の間の領域
であって各画素の区切りに対応する領域に配置されてい
てもよいし、あるいは、幾つかの画素毎に配置されてい
てもよい。かかる格子状部材を用いることにより、画素
間の光学的クロストークをほぼ完全に抑えることが可能
となる。

【００２６】本発明のプラズマ表示装置においては、電
極間距離が５×１０^-5ｍ未満であるが故に、放電が水平
方向に広がり難く、従って、上述のような構成の間隔維
持部材を用いることができる。

【００２７】第２の構成に係るプラズマ表示装置におい
ては、第２パネルは隣り合う蛍光体層を隔てる隔壁を更
に備え、蛍光体層は第２電極上から隔壁の側壁面上に亙
って設けられ、第２保護層は蛍光体層上を含む隔壁上に
設けられ、第１保護層は隔壁の頂部上の第２保護層の部
分に当接している構成とすることができる。

【００２８】この場合、隔壁は、隣り合う第２電極の間
の領域において第２電極と平行に延びている構成とする
ことができる。あるいは又、隔壁は、隣り合う第１電極
の間の領域において第１電極と平行に延びる第１隔壁
と、隣り合う第２電極の間の領域において第２電極と平
行に延びる第２隔壁とから構成されている（即ち、格子
状とされている）構成とすることもできる。かかる格子
状の隔壁は、従来よりＤＣ型プラズマ表示装置に採用さ
れているが、ＡＣ型の本発明のプラズマ表示装置にも適
用することができる。いずれにしても、本発明のプラズ
マ表示装置においては、蛍光体層の厚さを見込んでも、
隔壁の高さを、例えば、概ね６×１０^-5ｍ未満、より好
ましくは概ね５×１０^-5ｍ以下、更に好ましくは概ね
３．５×１０ ^-5ｍ以下とすることができるので、隔壁の
形成に要する工数、材料使用量、コストは従来よりも大
幅に低減される。

【００２９】尚、第２の構成に係るプラズマ表示装置に
おいて、第１パネルは隣り合う第１電極を隔てる隔壁を
更に備え、第１保護層は第１電極上を含む隔壁上に設け
られ、第２保護層は隔壁の頂部上の第１保護層の部分に
当接している構成とすることもできる。この場合、隔壁
は、隣り合う第１電極の間の領域において第１電極と平
行に延びている構成とすることができる。あるいは又、
隔壁は、隣り合う第１電極の間の領域において第１電極
と平行に延びる第１隔壁と、隣り合う第２電極の間の領
域において第２電極と平行に延びる第２隔壁とから構成
されている（即ち、格子状とされている）構成とするこ
ともできる。

【００３０】第２の構成に係るプラズマ表示装置におい
て、隔壁は、隣り合う電極の間の領域に配置されている
ことが好ましいが、場合によっては、電極の間の領域で
あって各画素の区切りに対応する領域に配置されていて
もよいし、あるいは、幾つかの画素毎に配置されていて
もよく、これらの場合には、３原色を発光する蛍光体層
を、第２電極上、及び、第２電極上から隔壁の側壁面上
に亙って設ければよい。

【００３１】隔壁の構成材料としては、従来公知の絶縁
材料を使用することができ、例えば広く用いられている
低融点ガラスにアルミナ等の金属酸化物を混合した材料
を用いることができる。隔壁の形成方法として、スクリ
ーン印刷法、サンドブラスト法、ドライフィルム法、感
光法を例示することができる。ドライフィルム法とは、
第２電極が形成された第２基板上（後述の補助誘電体層
を用いる場合には、補助誘電体層上）に感光性フィルム
をラミネートし、露光及び現像によって隔壁形成予定部
位の感光性フィルムを除去し、除去によって生じた開口
部に隔壁形成用の材料を埋め込み、焼成する方法であ
る。感光性フィルムは焼成によって燃焼、除去され、開
口部に埋め込まれた隔壁形成用の材料が残り、隔壁とな
る。感光法とは、第２電極が形成された第２基板上（後
述の補助誘電体層を用いる場合には、補助誘電体層上）
に感光性を有する隔壁形成用の材料層を形成し、露光及
び現像によってこの材料層をパターニングした後、焼成
を行う方法である。尚、隔壁を黒くすることにより、所
謂ブラック・マトリックスを形成し、表示画面の高コン
トラスト化を図ることができる。隔壁を黒くする方法と
して、隔壁の頂部に感光性銀ペースト層や低反射クロム
層等の光吸収層を設ける方法や、黒色に着色されたカラ
ーレジスト材料を用いて隔壁を形成する方法を例示する
ことができる。

【００３２】最も単純な第１保護層若しくは第２保護層
の構成は、単層構成である。単層構成の第１保護層若し
くは第２保護層を構成する材料として、酸化マグネシウ
ム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ₂）、酸化
アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）を例示することができる。中
でも酸化マグネシウムは、化学的に安定であり、スパッ
タリング率が低く、蛍光体層の発光波長における光透過
率が高く、放電開始電圧が低い等の特色を有する好適な
材料である。尚、第１保護層若しくは第２保護層を、酸
化マグネシウム、フッ化マグネシウム及び酸化アルミニ
ウムから成る群から選択された少なくとも２種類の材料
から構成された積層膜構造としてもよい。

【００３３】あるいは又、第１保護層を２層構成とする
こともできる。２層構成を有する第１保護層は、第１電
極群に接する第１誘電体層と、第１誘電体層上に設けら
れ、第１誘電体層よりも２次電子放出効率の高い第１被
覆層とから成る。一方、第２保護層も２層構成とするこ
とができる。２層構成を有する第２保護層は、蛍光体層
に接する第２誘電体層と、第２誘電体層上に設けられ、
第２誘電体層よりも２次電子放出効率の高い第２被覆層
とから成る。第１誘電体層又は第２誘電体層は、典型的
には、低融点ガラスあるいはＳｉＯ₂から構成される。
また、第１被覆層若しくは第２被覆層は、典型的には、
酸化マグネシウム（ＭｇＯ）、フッ化マグネシウム（Ｍ
ｇＦ₂）、酸化アルミニウム（Ａｌ₂Ｏ₃）から構成する
ことができる。かかる２層構成は、真空紫外線の波長領
域における第１被覆層若しくは第２被覆層の透明性（光
透過率）がそれ程高くない場合に、第１保護層若しくは
第２保護層全体としての透明性を第１誘電体層又は第２
誘電体層で確保し、２次電子放出効率の高さを第１被覆
層若しくは第２被覆層で確保する目的で採用することが
できる。これによって、安定した放電維持動作が可能と
なり、しかも、真空紫外線が保護層によって吸収され難
くなり、更には、蛍光体層から射出した可視光が保護層
に吸収され難い構造を得ることができる。

【００３４】第１基板及び第２基板の構成材料として、
ソーダガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＣａＯ・ＳｉＯ₂）、硼珪酸ガ
ラス（Ｎａ₂Ｏ・Ｂ₂Ｏ₃・ＳｉＯ₂）、フォルステライト
（２ＭｇＯ・ＳｉＯ₂）、鉛ガラス（Ｎａ₂Ｏ・ＰｂＯ・
ＳｉＯ₂）を例示することができる。第１基板と第２基
板の構成材料は、同じであっても異なっていてもよい。

【００３５】第１電極及び第２電極を構成する電極材料
は、プラズマ表示装置が透過型であるか、反射型である
かによって異なる。透過型のプラズマ表示装置では、蛍
光体層の発光は第２基板を通して観察されるので、第１
電極を構成する電極材料に関して透明／不透明の別は問
わないが、第２電極が透明であることが望まれる。反射
型のプラズマ表示装置では、蛍光体層の発光は第１基板
を通して観察されるので、第２電極を構成する電極材料
に関して透明／不透明の別は問わないが、第１電極が透
明であることが望まれる。尚、ここで述べる透明／不透
明とは、蛍光体材料に固有の発光波長（可視光域）にお
ける電極材料の光透過性に基づく。不透明な電極材料と
して、Ｎｉ、Ａｌ、Ａｕ、Ａｇ、Ａｌ、Ｐｄ／Ａｇ、Ｃ
ｒ、Ｔａ、Ｃｕ、Ｂａ、ＬａＢ₆、Ｃａ_0.2Ｌａ_0.8Ｃｒ
Ｏ₃等の材料を単独又は適宜組み合わせて用いることが
できる。透明な電極材料として、ＩＴＯ（インジウム・
錫酸化物）やＳｎＯ₂を挙げることができる。第１電極
及び第２電極の形成方法として、使用する電極材料に応
じて蒸着法、スパッタリング法、印刷法を適宜選択する
ことができる。即ち、適当なマスクやスクリーンを使用
して最初から所定のパターンを有する電極を形成しても
よいし、電極材料層を全面に形成した後に、電極材料層
をパターニングして電極を形成してもよい。

【００３６】第１電極は、蛍光体層の発光波長に対して
透明な透明電極層と、透明電極層上に設けられ、透明電
極層よりも電気抵抗率の低い材料から成る補助電極層
（バス電極）とから構成されていてもよい。補助電極層
は、典型的には、金属材料、例えば、Ａｇ、Ａｌ、Ｎ
ｉ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒ積層膜から構成する
ことができる。かかる金属材料から成る補助電極層は、
反射型のプラズマ表示装置においては、蛍光体層から放
射されて第１基板を通過する可視光の透過光量を低減さ
せ、表示画面の輝度を低下させる要因となり得るので、
第１電極に必要な電気抵抗値が得られる範囲内で出来る
限り細く形成することが好ましい。

【００３７】蛍光体層を構成する蛍光体材料としては、
従来公知の蛍光体材料の中から、量子効率が高く、真空
紫外線に対する飽和が少ない蛍光体材料を適宜選択して
用いることができる。カラー表示を想定しているので、
色純度がＮＴＳＣで規定される３原色に近く、３原色を
混合した際の白バランスがとれ、残光時間が短く、３原
色の残光時間がほぼ等しくなる蛍光体材料を組み合わせ
ることが好ましい。真空紫外線の照射により赤色に発光
する蛍光体材料として、（Ｙ₂Ｏ₃：Ｅｕ）、（ＹＢＯ₃
Ｅｕ）、（ＹＶＯ₄：Ｅｕ）、（Ｙ_0.96Ｐ_0.60Ｖ
_0.40Ｏ₄：Ｅｕ_0.04）、［（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ₃：Ｅｕ］、
（ＧｄＢＯ₃：Ｅｕ）、（ＳｃＢＯ₃：Ｅｕ）、（３．５
ＭｇＯ・０．５ＭｇＦ₂・ＧｅＯ₂：Ｍｎ）を例示するこ
とができる。真空紫外線の照射により緑色に発光する蛍
光体材料として、（ＺｎＳｉＯ₂：Ｍｎ）、（ＢａＡｌ
₁₂Ｏ₁₉：Ｍｎ）、（ＢａＭｇ₂Ａｌ₁₆Ｏ₂₇：Ｍｎ）、
（ＭｇＧａ₂Ｏ₄：Ｍｎ）、（ＹＢＯ₃：Ｔｂ）、（Ｌｕ
ＢＯ₃：Ｔｂ）、（Ｓｒ₄Ｓｉ₃Ｏ₈Ｃｌ ₄：Ｅｕ）を例示
することができる。真空紫外線の照射により青色に発光
する蛍光体材料として、（Ｙ₂ＳｉＯ₅：Ｃｅ）、（Ｃａ
ＷＯ₄：Ｐｂ）、ＣａＷＯ₄、ＹＰ_0.85Ｖ_0.15Ｏ₄、（Ｂ
ａＭｇＡｌ₁₄Ｏ₂₃：Ｅｕ）、（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｅｕ）、
（Ｓｒ₂Ｐ₂Ｏ₇：Ｓｎ）を例示することができる。蛍光
体層の形成方法として、厚膜印刷法、蛍光体粒子をスプ
レーする方法、蛍光体層の形成予定部位に予め粘着性物
質を付けておき、蛍光体粒子を付着させる方法、感光性
の蛍光体ペーストを使用し、露光及び現像によって蛍光
体層をパターニングする方法、全面に蛍光体層を形成し
た後に不要部をサンドブラスト法により除去する方法を
挙げることができる。

【００３８】上述の蛍光体材料は誘電体材料であること
から、本発明のプラズマ表示装置の第２基板上に設けら
れる蛍光体層は、図１１に示した従来のＡＣ型プラズマ
表示装置のリアパネルＰ₂₀側において、アドレス電極２
０１を被覆する誘電体膜２０２と同等の効果を奏する。
但し、本発明のプラズマ表示装置において、蛍光体層の
誘電体層としての機能が不十分である場合には、第２電
極群と蛍光体層との間に補助誘電体層を設けてもよい。
補助誘電体層の構成材料として、低融点ガラスやＳｉＯ
₂を挙げることができる。

【００３９】空間に封入される希ガスには、以下の点が
要求される。プラズマ表示装置の長寿命化の観点から、化学的に
安定であり、且つ、ガス圧力を高く設定し得ること表示画面の高輝度化の観点から、真空紫外線の放射
強度が大きいこと真空紫外線から可視光線へのエネルギー変換効率を
高める観点から、放射される真空紫外線の波長が長いこ
と消費電力低減の観点から、放電開始電圧の低いこと

【００４０】希ガスとして、Ｈｅ（共鳴線の波長＝５
８．４ｎｍ）、Ｎｅ（同７４．４ｎｍ）、Ａｒ（同１０
７ｎｍ）、Ｋｒ（同１２４ｎｍ）、Ｘｅ（同１４７ｎ
ｍ）を単独で用いるか、又は混合して用いることが可能
であるが、ペニング効果による放電開始電圧の低下が期
待できる混合ガスが特に有用である。かかる混合ガスと
しては、Ｎｅ−Ａｒ混合ガス、Ｈｅ−Ｘｅ混合ガス、Ｎ
ｅ−Ｘｅ混合ガスを挙げることができる。尚、これらの
希ガスの中でも最も長い共鳴線波長を有するＸｅは、波
長１７２ｎｍの強い真空紫外線も放射するので、好適な
希ガスである。

【００４１】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、発明の実
施の形態（以下、実施の形態と略称する）に基づき本発
明を説明する。

【００４２】（実施の形態１）実施の形態１は、第１の
構成を有するプラズマ表示装置に関する。実施の形態１
のプラズマ表示装置の概念的な分解斜視図を、図１に示
す。このプラズマ表示装置は、第１パネルＰ₁と第２パ
ネルＰ₂を有する。第１パネルＰ₁は、例えばガラスから
成る第１基板１０と、第１基板１０上に設けられた複数
の第１電極１１から構成された第１電極群と、第１電極
群上を含む第１基板１０上に形成され、誘電体材料から
成り、厚さ１０μｍ程度の第１保護層１２とから構成さ
れている。第１電極群は、ストライプ状に形成された第
１電極１１の集合体である。各第１電極１１は、第１基
板１０上に形成され、例えばＩＴＯから成る透明電極層
１１１と、透明電極層１１１上の長手方向の１辺に沿っ
て形成され、ＩＴＯよりも電気抵抗率の低い材料、例え
ばクロム／銅／クロム積層膜から成る補助電極層１１２
とから構成されている。補助電極層１１２は、透明電極
層１１１のインピーダンスを下げるための層であり、バ
ス電極とも呼ばれる。補助電極層１１２の線幅は、表示
画面（ここでは、第１基板１０の図中上側の面）の輝度
を損なわないように、透明電極層１１１の線幅に比べて
十分に狭くされている。

【００４３】第２パネルＰ₂は、例えばガラスから成る
第２基板２０と、第２基板２０上に設けられた複数の第
２電極２１から構成された第２電極群と、第２電極２１
上に設けられた蛍光体層２２と、蛍光体層２２を被覆
し、誘電体材料から成り、厚さ１×１０^-5ｍ（１０μ
ｍ）程度の第２保護層２３とから構成されている。第２
電極群は、第２基板２０上にストライプ状に形成された
第２電極２１の集合体である。第２電極２１が延びる方
向は、第１電極１１が延びる方向と直交している。各第
２電極２１は、例えば銀やアルミニウムから構成されて
おり、第１電極１１と共に放電の維持に寄与する他、蛍
光体層２２から生ずる発光を表示画面側へ反射させ、表
示画面の輝度を向上させることにも寄与する。蛍光体層
２２は、赤色蛍光体層２２Ｒ、緑色蛍光体層２２Ｇ及び
青色蛍光体層２２Ｂから構成されており、これらの３原
色を発光する蛍光体層２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂが１組と
なり、且つ、所定の順序に従って第２電極２１上に設け
られている。

【００４４】第１パネルＰ₁と第２パネルＰ₂とは、第１
保護層１２と第２保護層２３とが対面するごとく対向し
て配置され、周縁部において図示しないシール層を介し
て接着されている。１本の第１電極１１と、３原色の蛍
光体層２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂの１組とが重複する領域
が１画素に相当する。第１パネルＰ₁と第２パネルＰ₂と
によって形成された空間内には、例えばＮｅ−Ｘｅ混合
ガス（例えば、Ｎｅ５０％−Ｘｅ５０％混合ガス）が圧
力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）にて封入されている。

【００４５】第１電極１１と第２電極２１とが重複する
領域において、第１電極１１の頂面（第２パネル側の表
面）から最短距離に位置する第１保護層１２の表面の部
分と、第２電極２１の頂面（第１パネル側の表面）から
最短距離に位置する第２保護層２３の表面の部分との間
の（最短）距離で定義される電極間距離（Ｌ：図２の
（Ａ）参照）を、例えば、１×１０^-5ｍ（１０μｍ）あ
るいは２×１０^-5ｍ（２０μｍ）とする。この電極間距
離Ｌをパネル全面に亙って一定に維持する部材が、空間
内に配された間隔維持部材２４Ａである。図１では、間
隔維持部材２４Ａが第２保護層２３上に配置されている
ように図示されているが、実際には間隔維持部材２４Ａ
は第１保護層１２と第２保護層２３の双方に当接してい
る。図１には、ガラスから成る高さ１×１０^-5ｍあるい
は２×１０^-5ｍの角柱状の塊状部材から構成された間隔
維持部材２４Ａを例示した。間隔維持部材２４Ａは、第
２電極２１の間の領域であって、且つ、第１電極１１の
間の領域に、各画素の区切りに対応して離散的に配置さ
れている。従って、実施の形態１のプラズマ表示装置に
おいては、画素毎に独立した閉鎖された空間とはなって
いない。しかしながら、実施の形態１のプラズマ表示装
置においては、電極間距離Ｌが５×１０^-5ｍ未満である
が故に、放電が水平方向に広がり難く、従って、画素毎
に独立した閉鎖された空間になっていなくとも何ら問題
は生じない。実施の形態１のプラズマ表示装置におい
て、実質的に放電を維持するための電極として機能する
部材は、第１保護層１２及び第２保護層２３である。第
１電極１１及び第２電極２１は、実際には、電極リード
としての役割を果たす。

【００４６】次に、かかる構成を有するプラズマ表示装
置の交流グロー放電動作を説明する。放電動作は、初期
放電によって第１保護層１２及び第２保護層２３の表面
に壁電荷を発生させるアドレス期間と、放電を維持する
放電維持期間とに分けて行われる。アドレス期間では、
選択された第１電極１１と選択された第２電極２１に、
放電開始電圧Ｖ_bdよりも低いパルス電圧を短時間印加す
る。パルス電圧が印加された第１電極１１と第２電極２
１との重複領域が表示画素として選択され、この重複領
域において第１保護層１２と第２保護層２３の表面に誘
電分極に起因して壁電荷が発生する。続く放電維持期間
では、第１電極１１又は第２電極２１のいずれか一方に
Ｖ_bdよりも低い放電維持電圧Ｖ_susを印加する。壁電荷
が誘起する壁電圧Ｖ_wと放電維持電圧Ｖ_susとの和が放電
開始電圧Ｖ_bdよりも大きくなれば（即ち、Ｖ_w＋Ｖ_sus＞
Ｖ_bd）、放電が開始される。第１電極１１と第２電極２
１に印加される放電維持電圧Ｖ_susの位相は半周期ずれ
ており、電極の極性は交流の周波数に応じて反転する。

【００４７】交流グロー放電が維持された画素では、空
間内に生じた希ガスの励起に基づき放射された真空紫外
線に照射されて蛍光体層２２が励起され（尚、真空紫外
線の一部は第２保護層２３に吸収される）、蛍光体材料
の種類に応じた特有の色の発光が得られる。かかる可視
光は第２保護層２３では左程吸収されない。実施の形態
１のプラズマ表示装置では、電極間距離Ｌが１×１０^-5
ｍあるいは２×１０^-5ｍと短く、且つ、空間内における
希ガスの圧力が８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）と高いの
で、第１保護層１２と第２保護層２３との間に位置する
空間領域の相当の部分を主に陰極グローが占める状態を
得ることができ、プラズマ表示装置の発光効率及び輝度
が向上する。しかも、実施の形態１のプラズマ表示装置
は、所謂対向放電型であり、第１保護層１２と第２保護
層２３とが重複する部分のほぼ全体が放電領域となる。
従って、放電領域の面積を、図１１に示した従来の３電
極型のＡＣ型プラズマ表示装置よりも大幅に増加させる
ことができるので、表示画面の輝度を高めることが可能
となる。

【００４８】実施の形態１のプラズマ表示装置の製造方
法の概要を、以下、説明する。尚、以下の説明中、製造
方法の任意の段階における第１基板１０やその上に形成
された全ての構造物、あるいは第２基板２０やその上に
形成された全ての構造物を、「基体」と称する場合があ
る。

【００４９】第１パネルＰ₁は、以下のようにして製造
する。先ず、第１基板１０の全面に例えばスパッタリン
グ法によりＩＴＯ層を形成し、フォトリソグラフィ技術
及びエッチング技術によりＩＴＯ層をストライプ状にパ
ターニングすることによって、透明電極層１１１を形成
することができる。次に、基体の全面に例えばスパッタ
リング法によりクロム／銅／クロム積層膜を形成し、フ
ォトリソグラフィ技術及びエッチング技術によりクロム
／銅／クロム積層膜をパターニングすることによって、
透明電極層１１１の長手方向の一辺に沿った補助電極層
（バス電極）１１２を透明電極層１１１上に形成するこ
とができる。透明電極層１１１と補助電極層１１２と
で、第１電極１１が構成される。更に、基体の全面に第
１保護層１２を形成する。図１及び図２の（Ａ）では、
第１保護層１２を厚さ約１×１０^-5ｍ（約１０μｍ）の
酸化マグネシウム（ＭｇＯ）から成る単一の層として図
示しているが、第１誘電体層１２１と第１被覆層１２２
の２層構造としてもよい（図２の（Ｂ）を参照）。第１
誘電体層１２１は、例えば、スクリーン印刷法により基
体の全面に低融点ガラスペースト層を形成し、この低融
点ガラスペースト層を焼成することによって形成するこ
とができる。また、第１被覆層１２２は、例えば、第１
誘電体層１２１の全面に電子ビーム蒸着法により酸化マ
グネシウム層を形成することにより得ることができる。
以上の工程により第１パネルＰ₁を完成することができ
る。

【００５０】第２パネルＰ₂は、以下のようにして製造
する。先ず、第２基板２０上に例えばスクリーン印刷法
により銀ペーストをストライプ状に印刷し、焼成を経て
第２電極２１を形成することができる。次に、第２電極
２１上を含む第２基板上に、例えばスクリーン印刷法に
より、３原色の蛍光体スラリーを順次印刷し、焼成を経
て蛍光体層２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂを形成することがで
きる。尚、図１では、蛍光体層２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂ
を互いに接して形成しているが、後述の図３の（Ａ）に
示すように各蛍光体層２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂが離間し
ていてもよい。次に、基体の全面に第２保護層２３を形
成する。図１及び図２の（Ａ）では、第２保護層２３を
厚さ約１×１０^-5ｍ（約１０μｍ）の酸化マグネシウム
（ＭｇＯ）から成る単一の層として図示しているが、第
２誘電体層２３１と第２被覆層２３２の２層構造として
もよい（図２の（Ｂ）を参照）。第２誘電体層２３１
は、例えば、スクリーン印刷法により基体の全面に低融
点ガラスペースト層を形成し、この低融点ガラスペース
ト層を焼成することによって形成することができる。ま
た、第２被覆層２３２は、例えば、第２誘電体層２３１
の全面に電子ビーム蒸着法により酸化マグネシウム層を
形成することにより得ることができる。以上の工程によ
り第２パネルＰ₂を完成することができる。

【００５１】次に、プラズマ表示装置の組み立てを行
う。先ず、第２保護層２３上に塊状部材から成る間隔維
持部材２４Ａを配置又は形成する。ここで、「配置」と
は、所定の最終形状を有する間隔維持部材２４Ａを密
着、接着あるいは吸着させる操作を指し、「形成」とは
印刷やパターニングを含む操作を指す。ここでは、一例
として第２保護層２３上に低融点ガラスペーストをスク
リーン印刷することにより、塊状部材から成る間隔維持
部材２４Ａを形成する。尚、このスクリーン印刷によ
り、第２パネルＰ₂の周縁部にシール層（図示せず）を
同時に形成することができる。あるいは、間隔維持部材
２４Ａ及びシール層を、第１パネルＰ₁側の第１保護層
１２上に形成してもよい。次に、第１パネルＰ₁と第２
パネルＰ₂とを貼り合わせ、焼成して間隔維持部材２４
Ａ及びシール層を硬化させる。次に、第１パネルＰ₁と
第２パネルＰ₂との間に形成された空間を排気した後、
Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス（例えば、Ｎｅ５０％−Ｘｅ５０％
混合ガス）を圧力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）にて封
入し、空間を封止し、プラズマ表示装置を完成させる。
尚、第１パネルＰ₁と第２パネルＰ₂との貼り合わせを圧
力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）のＮｅ−Ｘｅ混合ガス
を満たしたチャンバ内で行えば、排気工程とＮｅ−Ｘｅ
混合ガスの封入工程を省略することも可能である。

【００５２】第１の構成を有するプラズマ表示装置とし
ては、図１に示した最も基本的な構成例に加え、様々な
変形例があり得る。図２の（Ａ）は、図１に示したとほ
ぼ同じ構成例である。図２に示した塊状部材から成る間
隔維持部材２４は球体状であるが、図１に示したような
角柱状の間隔維持部材２４Ａであってもよく、更には、
後述する線状部材から成る間隔維持部材２４Ｂ（図４参
照）や格子状部材から成る間隔維持部材２４Ｃ（図５参
照）であってもよい。

【００５３】図２の（Ｂ）は、第１保護層１２を第１誘
電体層１２１（厚さ：約１０μｍ）と第１被覆層１２２
（厚さ：約０．６μｍ）の２層構成とし、且つ、第２保
護層２３を第２誘電体層２３１（厚さ：約１０μｍ）と
第２被覆層２３２（厚さ：約０．６μｍ）の２層構成と
した例である。図２の（Ｃ）は、図２の（Ａ）に示した
第２パネルＰ₂の第２電極２１と蛍光体層２２との間
に、補助誘電体層２５を設けた例である。補助誘電体層
２５を形成する場合には、第２基板２０上に第２電極２
１を形成した後、蛍光体層２２の形成に先立って、基体
の全面に例えば低融点ガラスペーストを印刷し、焼成を
行えばよい。図２の（Ｄ）は、第１保護層１２と第２保
護層２３をそれぞれ２層構成とし、更には補助誘電体層
２５を設けた例である。図２の（Ｂ）及び図２の（Ｄ）
に示した例においては、第１保護層１２及び第２の保護
層２３のいずれか一方のみを２層構成としてもよい。

【００５４】図３には、第２パネルＰ₂の更に他の変形
例を示す。図３の（Ａ）に示す第２パネルＰ₂において
は、隣り合う蛍光体層２２が離間し、蛍光体層２２上を
含む第２基板２０上に第２保護層２３が形成されてい
る。図３の（Ｂ）に示す第２パネルＰ₂においては、図
３の（Ａ）に示した構成に補助誘電体層２５が追加され
ている。図３の（Ｃ）に示す第２パネルＰ₂において
は、第２基板２０に形成された溝部に埋め込まれるよう
に第２電極２１が形成され、蛍光体層２２が第２基板２
０上に隙間無く形成されている。図３の（Ｄ）に示す第
２パネルＰ₂においては、図３の（Ｃ）に示した構成に
補助誘電体層２５が追加されている。図３の（Ｅ）に示
す第２パネルＰ₂においては、第２電極２１が第２基板
２０に形成された溝部に埋め込まれるように第２電極２
１が形成され、隣り合う蛍光体層２２は離間している。
図３の（Ｆ）に示す第２パネルＰ₂においては、図３の
（Ｅ）に示した構成に補助誘電体層２５が追加されてい
る。図３の（Ａ）〜（Ｆ）に示したこれらの第２パネル
Ｐ₂のいずれにおいても、第２保護層２３は図２の
（Ｂ）に示したような２層構成を採ることができる。ま
た、これらのいずれの第２パネルＰ₂も、図１に示した
と同様に、第１パネルＰ₁及び間隔維持部材と組み合わ
せることによってプラズマ表示装置を構成することがで
きる。

【００５５】図４は、間隔維持部材の変形例である。図
４に示す間隔維持部材２４Ｂは、線状部材から成り、第
２電極２１の間の領域において第２電極２１と平行に配
置されている。かかる構成により、第１電極１１に沿っ
て並ぶ画素間の光学的クロストークを抑制することがで
きる。尚、線状部材から成る間隔維持部材２４Ｂを、隣
り合う第１電極１１の間の領域において第１電極１１と
平行に配置してもよい。

【００５６】図５は、間隔維持部材の更に他の変形例で
ある。図５に示す間隔維持部材２４Ｃは格子状部材から
成り、この格子状部材は、第１電極１１間の領域におい
て第１電極１１と平行に延びる第１線状部２４１と、第
２電極２１の間の領域において第２電極２１と平行に延
びる第２線状部２４２とから成る。かかる構成により、
隣り合う全ての画素間の光学的クロストークを抑制する
ことができる。

【００５７】（実施の形態２）実施の形態２は、第２の
構成を有するプラズマ表示装置に関する。実施の形態２
のプラズマ表示装置の概念的な分解斜視図を、図６に示
す。実施の形態２のプラズマ表示装置における第１パネ
ルＰ₁は、図１に示したと同様の構造を有するので、詳
細な説明は省略する。

【００５８】第２パネルＰ₂は、例えばガラスから成る
第２基板２０と、第２基板２０上に設けられた複数の第
２電極２１０から構成された第２電極群と、第２電極２
１０上に設けられた蛍光体層２２０と、隣り合う蛍光体
層２２０を隔てる隔壁２６Ａと、蛍光体層２２０上を含
む隔壁２６Ａ上に設けられた第２保護層２３０とから構
成されている。第２電極群は、第２基板２０上にストラ
イプ状に形成された第２電極２１０の集合体である。第
２電極２１０が延びる方向は、第１電極１１が延びる方
向と直交している。各第２電極２１０は、例えば銀から
構成されており、第１電極１１と共に放電の維持に寄与
する他、蛍光体層２２０から生ずる発光を表示画面側へ
反射させ、表示画面の輝度を向上させることにも寄与す
る。隔壁２６Ａは、隣り合う第２電極２１０の間の領域
において第２電極２１０と平行に延びる。蛍光体層２２
０は、赤色蛍光体層２２０Ｒ、緑色蛍光体層２２０Ｇ及
び青色蛍光体層２２０Ｂから構成されており、それぞれ
第２電極２１０上から隔壁２６Ａの側壁面上に亙って設
けられている。これらの３原色の蛍光体層２２０Ｒ，２
２０Ｇ，２２０Ｂが１組となり、且つ、所定の順序に従
って第２電極２１０上に設けられている。

【００５９】第１パネルＰ₁と第２パネルＰ₂とは、第１
保護層１２と第２保護層２３０とが対面するごとく対向
して配置され、周縁部において図示しないシール層を介
して接着されている。この接着により、第１保護層１２
が隔壁２６Ａの頂部上の第２保護層２３０の部分に当接
し、隣り合う隔壁２６Ａと第１保護層１２と第２保護層
２３０によって囲まれた空間が形成される。この空間内
には、Ｎｅ−Ｘｅ混合ガス（例えば、Ｎｅ５０％−Ｘｅ
５０％混合ガス）が圧力８×１０⁴Ｐａ（０．８気圧）
にて封入されている。電極間距離Ｌ（図７の（Ａ）参
照）を、例えば１×１０^-5ｍ（１０μｍ）あるいは２×
１０^-5ｍ（２０μｍ）とする。電極間距離Ｌは、概ね隔
壁２６Ａの高さによって決定される。

【００６０】実施の形態２のプラズマ表示装置における
交流グロー放電動作や、第１保護層１２と第２保護層２
３０との間に位置する空間領域の相当の部分を主に陰極
グローが占める形態によって得られる利点は、実施の形
態１で述べたと同様であるが故に、詳細な説明は省略す
る。

【００６１】実施の形態２のプラズマ表示装置の製造方
法の概要を、以下、説明するが、第１パネルＰ₁の製造
方法については、実施の形態１で述べたと同様とすれば
よいので、説明を省略する。

【００６２】第２パネルＰ₂は、以下のようにして製造
する。先ず、第２基板２０上に例えばスクリーン印刷法
により銀ペーストをストライプ状に印刷し、焼成を経て
第２電極２１０を形成することができる。次に、隣り合
う第２電極２１０の間の領域に、例えばスクリーン印刷
法により低融点ガラスペーストを印刷し、焼成を経て隔
壁２６Ａを形成する。実施の形態２のプラズマ表示装置
における隔壁２６Ａの高さは、従来のプラズマ表示装置
に比べて大幅に低くてよいので、隔壁２６Ａの形成工程
に要する工数、材料、コストを大幅に削減することが可
能である。隔壁２６Ａの高さは、第２電極２１０の厚
さ、更には、次に形成される蛍光体層２２０や第２保護
層２３０の厚さを考慮し、例えば２×１０^-5ｍ（２０μ
ｍ）あるいは３×１０^-5ｍ（３０μｍ）とすればよい。
次に、３原色の蛍光体スラリーを順次印刷し、焼成を経
て蛍光体層２２０Ｒ，２２０Ｇ，２２０Ｂを形成する。
次に、基体の全面に厚さ１０μｍ程度の第２保護層２３
０を形成する。図６及び図７の（Ａ）では第２保護層２
３０を単一の層として図示しているが、第２誘電体層２
３０１と第２被覆層２３０２の２層構造としてもよい
（図７の（Ｂ）を参照）。第２誘電体層２３０１は、例
えば、スクリーン印刷法により基体の全面に低融点ガラ
スペースト層を形成し、この低融点ガラスペースト層を
焼成することによって形成される。また、第２被覆層２
３０２は、例えば、第２誘電体層２３０１の全面に電子
ビーム蒸着法により酸化マグネシウム層を形成すること
により得ることができる。以上の工程により第２パネル
Ｐ₂を完成することができる。プラズマ表示装置の組み
立ては、実施の形態１で述べたと同様に行うことができ
るので、詳細な説明は省略する。

【００６３】第２の構成を有するプラズマ表示装置とし
ては、図６に示した最も基本的な構成例に加え、様々な
変形例があり得る。図７の（Ａ）は、図６に示したと同
じ構成例である。隔壁２６は、図６に示したような平行
な隔壁２６Ａであってもよいし、あるいは、後述する格
子状の隔壁２６Ｂ（図９参照）であってもよい。図７の
（Ｂ）は、第１保護層１２を第１誘電体層１２１（厚
さ：約１０μｍ）と第１被覆層１２２（厚さ：約０．６
μｍ）の２層構成とし、且つ、第２保護層２３０を第２
誘電体層２３０１（厚さ：約１０μｍ）と第２被覆層２
３０２（厚さ：約０．６μｍ）の２層構成とした例であ
る。図７の（Ｃ）は、図７の（Ａ）に示した第２パネル
Ｐ₂の第２電極２１０と蛍光体層２２０との間に、補助
誘電体層２５０を設けた例である。補助誘電体層２５０
を形成する場合には、第２基板２０上に第２電極２１０
を形成した後、蛍光体層２２０の形成に先立って、基体
の全面に例えば低融点ガラスペーストを印刷し、焼成を
行えばよい。図７の（Ｄ）は、第１保護層１２と第２保
護層２３０をそれぞれ２層構成とし、更に、補助誘電体
層２５０も設けた例である。図７の（Ｂ）及び図７の
（Ｄ）に示した例においては、第１保護層１２及び第２
の保護層２３０のいずれか一方のみを２層構成としても
よい。

【００６４】図８には、第２パネルＰ₂の更に他の変形
例を示す。図８の（Ａ）に示す第２パネルＰ₂において
は、第２基板２０に形成された溝に埋め込まれるように
第２電極２１０が形成されている。図８の（Ｂ）に示す
第２パネルＰ₂においては、図８の（Ａ）に示した構成
に補助誘電体層２５０が追加されている。図８の（Ａ）
及び（Ｂ）に示したこれらの第２パネルＰ₂のいずれに
おいても、第２保護層２３０は図７の（Ｂ）に示したよ
うな２層構成を採ることができる。また、これらのいず
れの第２パネルＰ₂も、図６に示したと同様に、第１パ
ネルＰ₁及び隔壁と組み合わせることによってプラズマ
表示装置を構成することができる。

【００６５】図９は、隔壁の変形例である。図９に示す
隔壁２６Ｂは、隣り合う第１電極１１間の領域において
第１電極１１と平行に延びる第１隔壁２６１と、隣り合
う第２電極２１０の間の領域において第２電極２１０と
平行に延びる第２隔壁２６２とから成る。即ち、隔壁２
６Ｂの平面形状は格子状である。かかる構成により、隣
り合う全ての画素間の光学的クロストークを抑制するこ
とができる。

【００６６】以上、本発明を実施の形態に基づいて説明
したが、本発明のプラズマ表示装置はこれらの実施の形
態に限定されるものではない。プラズマ表示装置の構
成、構成材料、製造方法の細部については、適宜変更、
選択、組合せが可能である。

【００６７】

【発明の効果】本発明のプラズマ表示装置は、対向放電
型の装置であり、第１電極と第２電極とが重複する領域
のほぼ全体を放電領域として使用できるので、表示画面
の輝度を高めることが可能となる。また、蛍光体層の表
面は第２保護層で被覆されているので、電子やイオンの
衝突による蛍光体層の損傷が防止され、プラズマ表示装
置の長寿命化を達成し得る。更には、本発明のプラズマ
表示装置においては、電極間距離Ｌを５×１０^-5ｍ未満
と薄く規定し、且つ、空間内における希ガスの圧力を
２．０×１０⁴Ｐａ以上３．０×１０⁵Ｐａ以下としてい
るので、第１保護層と第２保護層との間に位置する空間
領域の相当の部分を主に陰極グローが占める状態の交流
グロー放電を発生させ得る。従って、従来とは全く異な
る放電モードを利用して、カラー表示用のプラズマ表示
装置の発光効率と輝度の改善を図ることができる。

【００６８】電極間距離Ｌを間隔維持部材を用いて規定
する構成にすれば、簡易な工程により高歩留、低コス
ト、高スループットにてプラズマ表示装置を提供するこ
とができるし、表示ピッチを極限まで精細化することが
可能となり、高品質のカラー表示用のプラズマ表示装置
を提供することができる。また、電極間距離Ｌを隔壁を
用いて規定する構成にすれば、従来のプラズマ表示装置
よりも隔壁の高さが遥かに低くてよいため、やはり高歩
留、低コスト、高スループットにてプラズマ表示装置を
提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】間隔維持部材を備えた本発明の第１の構成を有
するプラズマ表示装置の基本的な構成例を概念的に示す
分解斜視図である。

【図２】本発明の第１の構成を有するプラズマ表示装置
の変形例を概念的に示す断面図である。

【図３】本発明の第１の構成を有するプラズマ表示装置
の第２パネルの変形例を概念的に示す断面図である。

【図４】線状の間隔維持部材を備えた本発明の第１の構
成を有するプラズマ表示装置の変形例を概念的に示す分
解斜視図である。

【図５】格子状の間隔維持部材を備えた本発明の第１の
構成を有するプラズマ表示装置の変形例を概念的に示す
分解斜視図である。

【図６】隔壁を備えた本発明の第２の構成を有するプラ
ズマ表示装置の基本的な構成例を概念的に示す分解斜視
図である。

【図７】本発明の第２の構成を有するプラズマ表示装置
の変形例を概念的に示す断面図である。

【図８】本発明の第２の構成を有するプラズマ表示装置
の第２パネルの変形例を概念的に示す断面図である。

【図９】格子状の隔壁を備えた本発明の第２の構成を有
するプラズマ表示装置の変形例を概念的に示す分解斜視
図である。

【図１０】本発明のプラズマ表示装置におけるグロー放
電の状態を示す模式図である。

【図１１】従来の３電極型のＡＣ型プラズマ表示装置の
一般的な構成例を概念的に示す分解斜視図である。

【図１２】従来のグロー放電の状態を示す模式図であ
る。

【符号の説明】

１０・・・第１基板、１１・・・第１電極、１１１・・
・透明電極層、１１２・・・補助電極層、１２・・・第
１保護層、１２１・・・第１誘電体層、１２２・・・第
１被覆層、２０・・・第２基板、２１，２１０・・・第
２電極、２２，２２０・・・蛍光体層、２２Ｒ，２２０
Ｒ・・・赤色蛍光体層、２２Ｇ，２２０Ｇ・・・緑色蛍
光体層、２２Ｂ，２２０Ｂ・・・青色蛍光体層、２３，
２３０・・・第２保護層、２３１，２３０１・・・第２
誘電体層、２３２，２３０２・・・第２被覆層、２４，
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ・・・間隔維持部材、２４１・
・・第１線状部、２４２・・・第２線状部、２５，２５
０・・・補助誘電体層、２６，２６Ａ，２６Ｂ・・・隔
壁、２６１・・・第１隔壁、２６２・・・第２隔壁、Ｐ
₁・・・第１パネル、Ｐ₂・・・第２パネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5C040 FA01 FA04 GB06 GB14 GC05 GE01 GE02 GF01 GF02 GF03 GF12 GF16 GG01 GG03 GJ08 MA03 MA10 MA22 MA26

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（イ）第１基板と、第１基板上に設けられ
た複数の第１電極から構成された第１電極群と、第１電
極群上を含む第１基板上に形成された第１保護層とから
成る第１パネル、及び、（ロ）第２基板と、第２基板上に設けられた複数の第２
電極から構成された第２電極群と、第２電極上に設けら
れ、赤色を発光する蛍光体材料、緑色を発光する蛍光体
材料及び青色を発光する蛍光体材料から成る群から選択
された蛍光体材料から構成された蛍光体層と、蛍光体層
を被覆する第２保護層とから成る第２パネル、を有し、第１パネルと第２パネルとは、第１保護層と第２保護層
とが対面するごとく対向して配置され、第１パネルと第２パネルとによって形成された空間内に
は、２．０×１０⁴Ｐａ以上３．０×１０⁵Ｐａ以下の圧
力の希ガスが封入されており、各第１電極が延びる方向と各第２電極が延びる方向とは
所定の角度を成し、第１電極と第２電極とが重複する領域において、第１電
極の頂面から最短距離に位置する第１保護層の表面の部
分と、第２電極の頂面から最短距離に位置する第２保護
層の表面の部分との間の距離で定義される電極間距離
は、５×１０^-5ｍ未満であり、蛍光体層は、希ガス中での交流グロー放電に基づき発生
した紫外線に照射されて発光することを特徴とするカラ
ー表示用のプラズマ表示装置。
【請求項２】蛍光体層は、希ガス中での陰極グローに主
に基づき発生した紫外線に照射されて発光することを特
徴とする請求項１に記載のプラズマ表示装置。
【請求項３】前記空間内には間隔維持部材が配され、前記電極間距離は、間隔維持部材によって規定されるこ
とを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示装置。
【請求項４】間隔維持部材は塊状部材から成り、第２電
極の間の領域に離散的に配置されていることを特徴とす
る請求項３に記載のプラズマ表示装置。
【請求項５】間隔維持部材は線状部材から成り、第２電
極の間の領域において第２電極と平行に配置されている
ことを特徴とする請求項３に記載のプラズマ表示装置。
【請求項６】間隔維持部材は格子状部材から成り、該格
子状部材は、第１電極の間の領域において第１電極と平
行に延びる第１線状部と、第２電極の間の領域において
第２電極と平行に延びる第２線状部とから成ることを特
徴とする請求項３に記載のプラズマ表示装置。
【請求項７】第２パネルは、隣り合う蛍光体層を隔てる
隔壁を更に備え、蛍光体層は、第２電極上から隔壁の側壁面上に亙って設
けられ、第２保護層は、蛍光体層上を含む隔壁上に設けられ、第１保護層は、隔壁の頂部上の第２保護層の部分に当接
していることを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表
示装置。
【請求項８】隔壁は、隣り合う第２電極の間の領域にお
いて第２電極と平行に延びていることを特徴とする請求
項７に記載のプラズマ表示装置。
【請求項９】隔壁は、隣り合う第１電極の間の領域にお
いて第１電極と平行に延びる第１隔壁と、隣り合う第２
電極の間の領域において第２電極と平行に延びる第２隔
壁とから成ることを特徴とする請求項７に記載のプラズ
マ表示装置。
【請求項１０】第１保護層は、第１電極群に接する第１
誘電体層と、第１誘電体層上に設けられ、第１誘電体層
よりも２次電子放出効率の高い第１被覆層とから成るこ
とを特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示装置。
【請求項１１】第２保護層は、蛍光体層に接する第２誘
電体層と、第２誘電体層上に設けられ、第２誘電体層よ
りも２次電子放出効率の高い第２被覆層とから成ること
を特徴とする請求項１に記載のプラズマ表示装置。
【請求項１２】第２電極群と蛍光体層との間に補助誘電
体層を有することを特徴とする請求項１に記載のプラズ
マ表示装置。
【請求項１３】第１電極は、蛍光体層の発光波長に対し
て透明な透明電極層と、透明電極層上に設けられ、透明
電極層よりも電気抵抗率の低い材料から成る補助電極層
とから構成されていることを特徴とする請求項１に記載
のプラズマ表示装置。