JPH11326047A

JPH11326047A - 光スペクトラムアナライザ

Info

Publication number: JPH11326047A
Application number: JP15224898A
Authority: JP
Inventors: Takao Tanimoto; 隆生谷本; Hiroaki Odachime; 寛明大立目; Muneo Ishiwata; 宗男石綿
Original assignee: Anritsu Corp
Current assignee: Anritsu Corp
Priority date: 1998-05-15
Filing date: 1998-05-15
Publication date: 1999-11-26

Abstract

(57)【要約】【課題】波長の近いスペクトラムを分離して測定でき
るようにする。【解決手段】回折格子３４への光の入射光軸と回折光
軸とが異なるようにするとともに、被測定光を入射させ
るための第１のハーフミラー３３から回折格子３４まで
の光路と、回折格子３４から第２のハーフミラー３８ま
での光路とで共振器を形成し、第２のハーフミラー３８
を透過した光を集光器３９を介して受光器４０に入射す
る。共振器長によって決まる波長と、回折格子３４の光
の入射角と回折角とで決まる波長とが一致する状態を維
持しながら、共振器長と回折格子３４の角度を連動可変
して、受光器に４０に集光される光の波長を可変する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被測定光に含まれ
る光のスペクトラムを測定するための光スペクトラムア
ナライザに関する。

【０００２】

【従来の技術】被測定光に含まれる波長成分を測定する
ために、光スペクトラムアナライザが用いられている。

【０００３】光スペクトラムアナライザは、波長選択性
が高く且つその選択波長を可変できる光学的なフィルタ
を用いて、被測定光に含まれる波長成分を選択的に受光
している。

【０００４】図１０は、このような原理を用いた従来の
光スペクトラムアナライザの概略構成を示している。

【０００５】この光スペクトラムアナライザでは、光入
射部１１から入射された被測定光をコリメータ１２で平
行光に変換し、第１のビームスプリッタ１３および第２
のビームスプリッタ１４を介して回折格子１５の回折面
に入射する。

【０００６】回折格子１５の回折光の一部は、第２のビ
ームスプリッタ１４を透過して全反射ミラー１６で反射
されて回折格子１５に戻る。また、回折光の一部は、第
２のビームスプリッタ１４で第１のビームスプリッタ１
３側へ反射され、第１のビームスプリッタ１３を透過し
て集光器１７に入射し、集光器１７から受光器１８に入
射される。

【０００７】この光スペクトラムアナライザでは、回折
格子１５から全反射ミラー１６までの光路長で決まる共
振器長と、回折格子１５の光の入射角で決まる選択波長
とを連動させて、測定波長を連続的に可変している。

【０００８】即ち、回折格子１５は、回折格子１５に対
する光の入射角を可変させるための回転ステージ１９上
に固定されており、回転ステージ１９は、回折格子１５
を全反射ミラー１６方向に接近または離反させるための
直進ステージ２０上に回転自在に支持されている。この
直進ステージ２０は、駆動装置２１によって駆動され
る。そして、回転ステージ２０には、所定長さのスライ
ドバー２２の一端側が取り付けられており、その他端側
は、直進ステージ２０の移動方向と直交する方向に延び
たスライドガイド２３のガイド面２３ａに当接してい
る。

【０００９】したがって、直進ステージ２０が駆動装置
２１によって移動して共振器長が変化すると、スライド
バー２２の他端側とガイド２３との当接位置が変化し、
回転ステージ１９が回転して、回折格子１５への光の入
射角も変化する。

【００１０】そして、共振器長によって決まる波長と、
回折格子１５への光の入射角と回折角とで決まる波長と
が一致するように、各部の寸法、角度を予め設定してお
くことによって、この光スペクトラムアナライザの測定
波長を連続的に可変することができ、被測定光に含まれ
る光のうち、この測定波長の光のみを受光器１８で受光
することができる。

【００１１】したがって、被測定光を入射した状態で、
駆動装置２１によって直進ステージ２０を一定方向に移
動させることで、被測定光に含まれる光の波長毎の強度
を受光器１８の出力によって測定することができる。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
た従来の光スペクトラムアナライザでは、回折格子１５
と全反射ミラー１６とで形成される共振器内にビームス
プリッタ１４を配置しているため、共振器内の損失が大
きく、また回折格子による波長分解能が十分でないた
め、波長選択特性が悪く、波長が近いスペクトラムを分
離して測定できないという問題があった。

【００１３】本発明は、この問題を解決した光スペクト
ラムアナライザを提供することを目的としている。

【００１４】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の請求項１の光スペクトラムアナライザは、
被測定光を入射させるための光入射部（３１）と、前記
光入射部から入射された光を平行光に変換するコリメー
タ（３２）と、前記コリメータから出射される光の一部
を反射し、残りの少なくとも一部を透過させる第１のハ
ーフミラー（３３）と、前記第１のハーフミラーを透過
した光を回折面で受けて回折させる回転自在な回折格子
（３４）と、前記回折格子の回折面に対向し且つ前記第
１のハーフミラーの透過光の前記回折面への入射方向と
異なる方向に配置され、前記回折格子で回折された光の
一部を前記回折格子の回折面へ反射し、残りの少なくと
も一部を透過させる第２のハーフミラー（３８）と、前
記第２のハーフミラーを透過した光を集光する集光器
（３９）と、前記集光器で集光した光を受光する受光器
（４０）と、前記第１のハーフミラーから前記回折格子
を経由して前記第２のハーフミラーに至る共振器長によ
って決まる波長と、前記回折格子の光の入射角と回折角
とで決まる波長とが一致する状態を維持しながら、前記
共振器長と前記回折格子の角度を連動可変して、前記受
光器に集光される光の波長を可変する測定波長可変手段
（３５、３６、３７、４１、４２）とを備えている。

【００１５】また、本発明の請求項２の光スペクトラム
アナライザは、請求項１の光スペクトラムアナライザに
おいて、前記光入射部と前記コリメータとの間に光アイ
ソレータ（８１）を配置している。

【００１６】また、本発明の請求項３の光スペクトラム
アナライザは、請求項１または請求項２記載の光スペク
トラムアナライザにおいて、前記第１のハーフミラーと
前記回折格子の間または前記第２のハーフミラーと前記
回折格子との間にλ／４板（８２）を配置している。

【００１７】また、本発明の請求項４の光スペクトラム
アナライザは、請求項１または請求項２または請求項３
の光スペクトラムアナライザにおいて、前記コリメータ
から出射される光を２方向に分岐し、その一方を前記第
１のハーフミラーへ出射する光分岐手段（９１）と、前
記光分岐手段で分岐された他方の光を集光する第２の集
光器（９２）と、前記第２の集光器で集光された光を受
光する第２の受光器（９３）とを備えている。

【００１８】また、本発明の請求項５の光スペクトラム
アナライザは、請求項１または請求項２または請求項３
の光スペクトラムアナライザにおいて、前記入射部に入
射された光を２方向に分岐し、その一方を前記コリメー
タへ出射する光分岐手段（９１）と、前記光分岐手段で
分岐された他方の光を集光する第２の集光器（９２）
と、前記第２の集光器で集光された光を受光する第２の
受光器（９３）とを備えている。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。図１は、本発明の実施形態の光スペ
クトラムアナライザ３０の構成を示している。

【００２０】図１において、光入射部３１は、被測定光
を入射させるためのものであり、例えば光ファイバの接
続端子によって構成されている。

【００２１】光入射部３１に入射された被測定光はコリ
メータ３２によって平行光に変換されて、第１のハーフ
ミラー３３に入射される。

【００２２】第１のハーフミラー３３は、コリメータ３
２から入射される光の一部を透過し、損失分を除く残り
を反射する。

【００２３】第１のハーフミラー３３を透過した光は、
回折格子３４の回折面３４ａに入射される。

【００２４】回折格子３４は、コリメータ３２の光軸と
平行な回転ステージ３５上のほぼ中央に立てられてお
り、回転ステージ３５は直進ステージ３６上に回転自在
に支持されている。回折格子３４は、その回折面３４ａ
上に回転ステージ３５の回転中心線Ｊが通る位置で、且
つ、回折面３４ａに設けられた刻線（図示せず）が回転
中心線Ｊと平行となるように回転ステージ３５上に固定
されている。

【００２５】直進ステージ３６は、モータ等からなる駆
動装置３７によってコリメータ３２の光軸に沿って移動
し、第１のハーフミラー３３から回転ステージ３５上の
回折格子３４までの光路長を変化させる。

【００２６】また、直進ステージ３６上には、第２のハ
ーフミラー３８が回折格子３４の回折面と対向するよう
に配置されている。第２のハーフミラー３８は、回折格
子３４の回折光の一部を透過し、損失分を除く残りを回
折格子３４の回折面に反射する。

【００２７】第２のハーフミラー３８を透過した光は、
集光器３９によって受光器４０に集光され、受光器４０
によって電気信号に変換される。

【００２８】一方、回転ステージ３５には、直進ステー
ジ３６の移動に連動させて回折格子３４の角度を可変さ
せるためのスライドバー４１が取り付けられており、ス
ライドバー４１の先端はスライドガイド４２のガイド面
４２ａに当接している。

【００２９】スライドバー４１は、回転ステージ３５の
回転中心線Ｊと直交し且つ回折格子３４の回折面３４ａ
に対して所定の角度、即ち、回折格子３４への入射光軸
と回折光軸とがなす角２γの１／２の角度γをなすよう
に固定されている。

【００３０】前記した回転ステージ３５、直進ステージ
３６、駆動装置３７、スライドバー４１およびスライド
ガイド４２は、この実施形態の測定波長可変手段を形成
するものであり、第１のハーフミラー３３から回折格子
３４を経由して第２のハーフミラー３８に至る共振器長
によって決まる波長と、回折格子３４の光の入射角と回
折角とで決まる波長とが一致する状態を維持しながら、
共振器長と回折格子３４の角度を連動可変して、受光器
４０に集光される光の波長を可変する。

【００３１】なお、スライドバー４１には、スライドバ
ー４１の先端がスライドガイド４２のガイド面４２ａに
常に当接する方向に回転付勢するためのバネ４３が取り
付けられている。

【００３２】前記したように、上記光学系における共振
器長は、第１のハーフミラー３３から回折格子３４まで
の光路長と回折格子３４から第２のハーフミラー３８ま
での光路長との和となり、回折格子３４から第２のハー
フミラー３８までの光路長は一定である。

【００３３】また、回転ステージ３５の回転中心からス
ライドガイド４２のガイド面４２ａまでのコリメータ光
軸方向への距離は、前記共振器長と等しくなるように設
定されている。

【００３４】以上のような光学系を有する光スペクトラ
ムアナライザでは、駆動装置３７によって例えば図２の
（ａ）に示すように、直進ステージ３６が第１のハーフ
ミラー３３に近づく方向に移動すると、スライドバー４
１の先端とスライドガイド４２のガイド面４２ａとの当
接位置が第１のハーフミラー３３から遠ざかる方向に移
動して、回転ステージ３５がバネ４３の力に抗して反時
計回りに回転し、回折格子３４も回転ステージ３５と同
一方向に同一角度回転する。

【００３５】また、図２の（ｂ）のように、直進ステー
ジ３６が第１のハーフミラー３３から離間する方向に移
動すると、バネ４３の力によってスライドバー４１の先
端とスライドガイド４２のガイド面４２ａとの当接位置
が第１のハーフミラー３３に近づく方向に移動して、回
転ステージ３５が時計回りに回転し、回折格子３４も回
転ステージ３５と同一方向に同一角度回転する。

【００３６】したがって、回転ステージ３５上の回折格
子３４は、直進ステージ３６の移動に追従して回転する
ことになり、直進ステージ３６を移動することは、共振
器長を可変していることになるので、共振器長に追従し
て回折格子３４の角度を可変することができる。

【００３７】なお、図１に示しているように、駆動装置
３７は測定処理部４５によって制御される。測定処理部
４５は、駆動装置３７を制御して、直進ステージ３６を
任意の範囲で移動させながら受光器４０の出力を記憶
し、直進ステージ３６の位置に対する受光出力を被測定
光に含まれる光のスペクトラム波形として表示器４６に
表示する。

【００３８】次に、この光スペクトラムアナライザの測
定波長を連続的に可変させるための条件について説明す
る。

【００３９】図３の（ａ）に示しているように、回折格
子３４と第２のハーフミラー３８との間の光路長Ｌａ
は、直進ステージ３６の移動や回転ステージ３５の回転
にかかわらず一定であり、この光路長Ｌａと、第１のハ
ーフミラー３３と回折格子３４との間の光路長Ｌｂとの
合計が共振器長Ｌとなる。

【００４０】そして、前記したように、回折格子３４へ
の光の入射光軸と回折光軸のなす角は、回折格子３４の
回折面３４ａとスライドバー４１とのなす角γの２倍の
２γに設定されており、スライドガイド４２のガイド面
４２ａは回転ステージ３５の回転中心からの距離が前記
共振器長Ｌと一致する位置に予め設けられている。

【００４１】この状態で、回折格子３４で波長λ₀の光
が回折される条件は、次式（１）のように表される。 λ₀＝Ｘ・ｓｉｎθ₀ ……（１）ただし、Ｘ＝（２・ｄ・ｃｏｓγ）／ｍであり、ｍは回
折次数、ｄは回折格子３４の格子定数、θ₀は図３の
（ｂ）に示すように回折格子３４の入射光軸と回折光軸
のなす角の２等分線Ｉと回折格子３４の法線Ｈとのなす
角であり、γは、回折格子３４の回折角をβ、回折格子
３４への入射角をｉとしたときに（ｉ−β）／２で表さ
れる定数である。

【００４２】また、共振器長に対応する波長がλ₀とな
る条件は、次式（２）となる。 λ₀＝２Ｌ／ｑ₀ ……（２）ただし、ｑ₀は共振モード次数である。

【００４３】ここで、共振器長Ｌは、回転ステージ３５
からスライドバー４１の先端までの長さＬｓと、スライ
ドバー４１とスライドガイド４２のガイド面４２ａとの
なす角ζ₀を用いると次式（３）で表される。Ｌ＝Ｌｓ・ｓｉｎ（ζ₀） ……（３）

【００４４】これを式（２）に代入すると、次式（４）
となる。 λ₀＝（２Ｌｓ／ｑ₀）・ｓｉｎζ₀ ……（４）

【００４５】そして、スライドバー４１と入射光軸との
なす角をαとすると、 θ₀＋α＝９０°、ζ₀＋α＝９０° となるから、 θ₀＝ζ₀ ……（５）となる。

【００４６】上式（５）は、回折格子３４の回折面に対
するスライドバー４１の角度γが回折格子３４への入射
光軸と回折光軸とがなす角２γの１／２に設定され、且
つ回転ステージ３５の回転中心からスライドガイド４２
のガイド面４２ａまでのコリメータ光軸方向の距離が共
振器長Ｌと等しいという条件の基で、光路長Ｌｂが変化
しても成立する。

【００４７】したがって、式（１）は、 λ₀＝Ｘ・ｓｉｎζ₀ ……（６）となり、回折格子３４の角度で決まる波長と共振器長で
決まる波長とが一致するためには、式（４）と式（６）
とが等しくなること、即ち、Ｘ＝２Ｌｓ／ｑ₀ ……（７）を満足することが必要である。

【００４８】式（７）から共振モード次数ｑ₀は、ｑ₀＝２Ｌｓ／Ｘ ……（８）となり、前記したように係数Ｘは定数であり、回転ステ
ージ３５からスライドバー４１の先端までの長さＬｓは
任意に設定できる値であるから、共振モード次数ｑ₀を
整数の一定値とすることは容易である。よって、１つの
共振モード次数を維持した状態で測定波長を連続的に可
変することができる。

【００４９】実際の数値例を上げると、回折格子３４の
刻線数を１０００本／ｍｍ、回折格子３４の回折面とス
ライドバー４１のなす角γを２２．５°、回折格子３４
の入射光軸と回折光軸のなす角２γを４５°とした場
合、θ＝ζ＝５７°、回折格子への入射角ｉ＝７９．５
°のときに、測定波長が１．５５μｍとなる。

【００５０】以上のような関係を満足させることによっ
て、直進ステージ３６の移動によって測定波長を連続的
に可変することができる。

【００５１】したがって、直進ステージ３６の位置に対
する測定波長との関係を予め求めて測定処理部４５に設
定しておき、被測定光を入射した状態で直線ステージ３
６を駆動しながら測定波長毎の受光器４０の出力を記憶
すれば、被測定光に含まれる光のスペクトラムのデータ
を取得することができ、これを表示器４６の画面に表示
すればそのスペクトラム波形を観測することができる。

【００５２】以上のように、この光スペクトラムアナラ
イザ３０では、回折格子３４への光の入射光軸と回折光
軸とが異なるようにするとともに、被測定光を入射させ
るための第１のハーフミラー３３から回折格子３４まで
の光路と、回折格子３４から第２のハーフミラー３８ま
での光路とで共振器を形成しているため、共振器内の損
失が小さく、また回折格子による波長分解能が高いの
で、波長選択特性が良くなり、波長が近いスペクトラム
でも分離して測定することができる。

【００５３】また、この実施形態の光スペクトラムアナ
ライザでは、回転ステージ３５上のほぼ中央に回折格子
３４のみが配置されている構造であるので、回転ステー
ジ３５が小さくて済み、また、回転ステージ３５を軸ぶ
れのない状態で回転させることができる。

【００５４】

【他の実施形態】前記実施形態では、回転ステージ３５
上に回折格子３４のみを配置していたが、図４に示す光
スペクトラムアナライザ５０のように、回転ステージ３
５′上に回折格子３４とともに、第２のハーフミラー３
８、集光器３９および受光器４０を配置してもよい。

【００５５】この場合には、スライドバー４１は回折格
子３４の回折面に対して角度の無い状態とし、第２のハ
ーフミラー３８の反射面がスライドバー４１の先端に交
わる直線を含む向きに設定する。さらに、回転ステージ
３５′の回転中心からガイド面４２ａまでのコリメータ
光軸方向への距離を、第１のハーフミラー３３から回折
格子３４までの光路長と等しくなるようにするととも
に、回折光軸を回折格子３４の回折面３４ａの法線方向
に一致させる。このように設定することによって、前記
実施形態と同様に、共振器長と回折格子による選択波長
とが追従して変化することになり、直進ステージ３６を
移動することによって測定波長を連続的に可変できる。

【００５６】また、前記実施形態では、直進ステージ３
６上に第２のハーフミラー３８、集光器３９および受光
器４０を配置していたが、図５に示す光スペクトラムア
ナライザ６０のように、直進ステージ３６上に光入射部
３１、コリメータ３２および第１のハーフミラー３３を
配置して入出力光路を逆にしてもよい。同様に、図６に
示す光スペクトラムアナライザ７０のように、回転ステ
ージ３６上に光入射部３１、コリメータ３２および第１
のハーフミラー３３を配置してもよい。

【００５７】また、図７に示す光スペクトラムアナライ
ザ８０のように、光入射部３１とコリメータ３２との間
に光アイソレータ８１を挿入してもよい。この光アイソ
レータ８１の挿入によって、第１のハーフミラー３３側
からの戻り光が光入射部３１を介して被測定光の光源側
へ出射されるのを防止することができる。

【００５８】また、図７の光スペクトラムアナライザ８
０のように、第１のハーフミラー３３と回折格子３４の
間（あるいは第２のハーフミラー３８と回折格子３４と
の間）に、任意波長のλ／４板８２を挿入してもよい。
このλ／４板８２の挿入によって、回折格子３４の偏波
依存性による測定への影響を低減できる。

【００５９】なお、上記光アイソレータ８１やλ／４板
８２は、前記した図４〜図６の光スペクトラムアナライ
ザについても挿入できる。

【００６０】また、図８に示す光スペクトラムアナライ
ザ９０のように、コリメータ３２から出射された光を光
分岐手段９１によって２方向に分岐し、その一方を第１
のハーフミラー３３へ入射し、他方を集光器９２によっ
て受光器９３に集光させ、被測定光のパワーを受光器９
３の出力によって測定できるようにしてもよい。

【００６１】また、図９に示す光スペクトラムアナライ
ザ１００のように、光入射部３１に入射された光を光分
岐手段９１によって２方向に分岐し、その一方をコリメ
ータ３２へ入射し、他方を集光器９２によって受光器９
３に集光させ、被測定光のパワーを受光器９３の出力に
よって測定できるようにしてもよい。

【００６２】このパワー測定機能は、前記した図４〜図
７の光スペクトラムアナライザにも設けることができ
る。

【００６３】また、前記実施形態では、直進ステージ３
６を駆動装置３７によって駆動することで、回転ステー
ジ３５を間接的に回転させていたが、逆に回転ステージ
３５を駆動装置で回転駆動することによって、直進ステ
ージ３６を間接的に移動させてもよい。

【００６４】また、前記したようなスライドバーとスラ
イドガイドとを用いずに、回転ステージ３５と直線ステ
ージ３６とにそれぞれ独立した駆動装置を設け、前記実
施形態と同様の関係を維持した状態で回転ステージ３５
と直線ステージ３６とを駆動するようにしてもよい。

【００６５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の光スペク
トラムアナライザでは、回折格子への光の入射光軸と回
折光軸とが異なるようにするとともに、被測定光を入射
させるための第１のハーフミラーから回折格子までの光
路と回折格子から第２のハーフミラーまでの光路とで共
振器を形成しているため、共振器内の損失が少なく、ま
た回折格子の波長分解能が高くなって、波長選択特性が
良くなり、波長が近いスペクトラムでも分離して測定す
ることができる。

【００６６】また、光入射部とコリメータとの間に光ア
イソレータを配置することで、被測定光の光源側への光
の戻りを防止することができる。

【００６７】また、第１のハーフミラーと回折格子との
間または第２のハーフミラーと回折格子との間に、任意
の波長のλ／４板を配置することで、回折格子の偏波依
存性による測定への影響を低減することができる。

【００６８】また、光入射部に入射された光あるいはコ
リメータから出射された光を光分岐手段によって分岐
し、その分岐光を集光器によって受光器に集光する光ス
ペクトラムアナライザでは、被測定光のパワーの測定が
スペクトラムとともに測定できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の構成を示す図

【図２】実施形態の動作を説明するための図

【図３】測定波長を連続可変させるための条件を検討す
るための図

【図４】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図５】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図６】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図７】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図８】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図９】本発明の他の実施形態の構成を示す図

【図１０】従来装置の構成を示す図

【符号の説明】

３０、５０、６０、７０、８０、９０、１００光スペ
クトラムアナライザ３１光入射部３２コリメータ３３第１のハーフミラー３４回折格子３５回転ステージ３６直進ステージ３７駆動装置３８第２のハーフミラー３９集光器４０受光器４１スライドバー４２スライドガイド４３バネ４５測定処理部４６表示器８１光アイソレータ８２ λ／４板９１光分岐手段９２集光器９３受光器

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【手続補正書】

【提出日】平成１０年６月１６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【図５】

【図２】

【図３】

【図４】

【図６】

【図７】

【図８】

【図９】

【図１０】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被測定光を入射させるための光入射部（３
１）と、前記光入射部から入射された光を平行光に変換するコリ
メータ（３２）と、前記コリメータから出射される光の一部を反射し、残り
の少なくとも一部を透過させる第１のハーフミラー（３
３）と、前記第１のハーフミラーを透過した光を回折面で受けて
回折させる回転自在な回折格子（３４）と、前記回折格子の回折面に対向し且つ前記第１のハーフミ
ラーの透過光の前記回折面への入射方向と異なる方向に
配置され、前記回折格子で回折された光の一部を前記回
折格子の回折面へ反射し、残りの少なくとも一部を透過
させる第２のハーフミラー（３８）と、前記第２のハーフミラーを透過した光を集光する集光器
（３９）と、前記集光器で集光した光を受光する受光器（４０）と、前記第１のハーフミラーから前記回折格子を経由して前
記第２のハーフミラーに至る共振器長によって決まる波
長と、前記回折格子の光の入射角と回折角とで決まる波
長とが一致する状態を維持しながら、前記共振器長と前
記回折格子の角度を連動可変して、前記受光器に集光さ
れる光の波長を可変する測定波長可変手段（３５、３
６、３７、４１、４２）とを備えた光スペクトラムアナ
ライザ。
【請求項２】前記光入射部と前記コリメータとの間に光
アイソレータ（８１）を配置したことを特徴とする請求
項１記載の光スペクトラムアナライザ。
【請求項３】前記第１のハーフミラーと前記回折格子の
間または前記第２のハーフミラーと前記回折格子との間
にλ／４板（８２）を配置したことを特徴とする請求項
１または請求項２記載の光スペクトラムアナライザ。
【請求項４】前記コリメータから出射される光を２方向
に分岐し、その一方を前記第１のハーフミラーへ出射す
る光分岐手段（９１）と、前記光分岐手段で分岐された他方の光を集光する第２の
集光器（９２）と、前記第２の集光器で集光された光を受光する第２の受光
器（９３）とを備えたことを特徴とする請求項１または
請求項２または請求項３記載の光スペクトラムアナライ
ザ。
【請求項５】前記入射部に入射された光を２方向に分岐
し、その一方を前記コリメータへ出射する光分岐手段
（９１）と、前記光分岐手段で分岐された他方の光を集光する第２の
集光器（９２）と、前記第２の集光器で集光された光を受光する第２の受光
器（９３）とを備えたことを特徴とする請求項１または
請求項２または請求項３記載の光スペクトラムアナライ
ザ。