JPH11307703A - 素子冷却装置 - Google Patents

素子冷却装置

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JPH11307703A
JPH11307703A JP10108033A JP10803398A JPH11307703A JP H11307703 A JPH11307703 A JP H11307703A JP 10108033 A JP10108033 A JP 10108033A JP 10803398 A JP10803398 A JP 10803398A JP H11307703 A JPH11307703 A JP H11307703A
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cooling
fin
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cooling air
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Isao Yoshinaga
功夫 好永
Shinji Miyazaki
真二 宮崎
Hisaaki Yamakage
久明 山蔭
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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    • F28D15/00Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F28D15/0266Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes with separate evaporating and condensing chambers connected by at least one conduit; Loop-type heat pipes; with multiple or common evaporating or condensing chambers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F28FDETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
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    • F28F1/10Tubular elements and assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with projections, with recesses
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    • F28F1/24Tubular elements and assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with projections, with recesses the means being only outside the tubular element and extending transversely
    • F28F1/32Tubular elements and assemblies thereof with means for increasing heat-transfer area, e.g. with fins, with projections, with recesses the means being only outside the tubular element and extending transversely the means having portions engaging further tubular elements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F28FDETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F13/00Arrangements for modifying heat-transfer, e.g. increasing, decreasing
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  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各フィン部材全体に冷却風が流れず、各フィ
ン部材を冷却のために有効に利用することができない。 【解決手段】 所定の間隔を介して整列され良伝熱性の
薄板状部材で形成された多数のフィン部材1と、各フィ
ン部材1の一端側1aが一方の面に当接され他方の表面
に被冷却素子が装着される受熱板3と、各フィン部材1
に挿着されその内部を真空排気した後に作動液が所定量
封入されて成る複数のパイプ部材2とを有するものにお
いて、フィン部材1の上方位置に配置された冷却ファン
7と、各フィン部材1の他端側1bに装着され、冷却フ
ァン7からの冷却風の導入口5aを有し、各フィン部材
1間に冷却風通路を形成する通風ダクト5と、冷却ファ
ン7と通風ダクト5の導入口5a部と連結され、冷却フ
ァン7からの冷却風を通風ダクト5の導入口5a部に案
内する案内ダクト6とを設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えばIC、L
SI等の半導体素子を冷却するための素子冷却装置に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】図7は例えば同一出願人による特願平9
−255153号に示される従来の素子冷却装置を示す
斜視図である。図7において、1は例えば1〜2mmの
間隔を介して整列され、肉厚0.1mm程度のアルミニ
ウム薄板で形成された多数のフィン部材、2は例えばU
字型パイプ2aがこれら各フィン部材1を整列方向に貫
通し、拡管することにより各フィン部材1と固着一体化
され、U字型パイプ2aの一方側2b端部と他方側2c
端部とをベント管2dで接合してループを構成し、その
ループの内部を真空排気した後に、作動液(図示せず)
が所定量封入された複数のループ状ヒートパイプであ
り、例えば外径8mm程度の銅管が用いられている。そ
して、これらフィン部材1及びループ状ヒートパイプ2
によりフィン積層体が構成される。3は一方の面3aに
例えばIC、LSI等の半導体素子などのように発熱し
て冷却を必要とする被冷却素子(図示せず)が装着され
た受熱板であり、他方の表面3bにはフィン積層体であ
る各フィン部材1の一端側1aがそれぞれ当接されてい
る。
【0003】次に動作について説明する。例えばIC、
LSI等の半導体素子などの被冷却素子で発生した熱
は、受熱板3から各フィン部材1の一方側1aに伝達さ
れ、各フィン部材1から冷却風中に放熱されるととも
に、ループ状ヒートパイプ2のU字型パイプ2aの他方
側2cを加熱する。ループ状ヒートパイプ2のU字型パ
イプ2aの他方側2cが加熱されると、その内部に封入
された作動液が加熱されて蒸気が発生し、ループ状ヒー
トパイプ2のU字型パイプ2aの一方側2bに移動し、
U字型パイプ2aの一方側2bを加熱する。これによ
り、U字型パイプ2aの一方側2b周囲の各フィン部材
1、すなわち各フィン部材1の他端側1bから冷却風中
に放熱され、作動液は凝縮液化する。ループ状ヒートパ
イプ2のU字型パイプ2aの一方側2bで凝縮液化した
作動液は、U字型パイプ2aの他方側2cに還流し、こ
れら動作が自然的に繰り返されることにより被冷却素子
は冷却される。各フィン部材1から周囲に放熱した熱
は、図8に示すように、各フィン部材1の上部に設置さ
れた冷却ファン4からの冷却風により、強制的に周囲に
放熱される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上述した
従来装置では、冷却ファン4からの冷却風はフィン部材
1を構成している多数のアルミニウム薄板間の圧損の小
さい部分のみを流れ、各フィン部材1全体に冷却風が流
れず、各フィン部材1を冷却のために有効に利用するこ
とができず、フィン効率が低くなるという課題があっ
た。
【0005】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたものであり、フィン効率を向上することが
できる素子冷却装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項1に係
る素子冷却装置は、所定の間隔を介して整列され良伝熱
性の薄板状部材で形成された多数のフィン部材と、各フ
ィン部材の一端側が一方の面に当接され、他方の表面に
被冷却素子が装着される受熱板と、各フィン部材に挿着
され、その内部を真空排気した後に作動液が所定量封入
されて成る複数のパイプ部材とを有する素子冷却装置に
おいて、フィン部材の上方位置に配置された冷却ファン
と、各フィン部材の他端側に装着され、冷却ファンから
の冷却風の導入口を有し、各フィン部材間に冷却風通路
を形成する通風ダクトと、冷却ファンと通風ダクトの導
入口部と連結され、冷却ファンからの冷却風を通風ダク
トの導入口部に案内する案内ダクトとを設けたものであ
る。
【0007】この発明の請求項2に係る素子冷却装置
は、所定の間隔を介して整列され良伝熱性の薄板状部材
で形成された多数のフィン部材と、各フィン部材の一端
側が一方の面に当接され、他方の表面に被冷却素子が装
着される受熱板と、各フィン部材に挿着され、その内部
を真空排気した後に作動液が所定量封入されて成る複数
のパイプ部材とを有する素子冷却装置において、フィン
部材の上方位置に複数配置された冷却ファンと、各冷却
ファン毎に冷却風通路を分担させるようフィン部材内部
に配置された仕切板と、各冷却ファン端部とフィン部材
の端部とに連結され、冷却ファンからの冷却風をフィン
部材間に通風させる通路を形成するダクトとを設けたも
のである。
【0008】この発明の請求項3に係る素子冷却装置
は、所定の間隔を介して整列され良伝熱性の薄板状部材
で形成された多数のフィン部材と、各フィン部材の一端
側が一方の面に当接され、他方の表面に被冷却素子が装
着される受熱板と、各フィン部材に挿着され、その内部
を真空排気した後に作動液が所定量封入されて成る複数
のパイプ部材とを有する素子冷却装置において、フィン
部材の上方位置に複数配置された冷却ファンと、各冷却
ファン毎に冷却風通路を分担させるようフィン部材内部
に配置された仕切板と、各冷却ファン端部とフィン部材
の端部とに連結され、冷却ファンからの冷却風をフィン
部材間に通風させる通路を形成する通風ダクトと、通風
ダクトの外側に配置され、フィン部材間を流れた冷却風
を同一方向に排出する排出ダクトとを設けたものであ
る。
【0009】この発明の請求項4に係る素子冷却装置
は、請求項2又は請求項3において、複数の冷却ファン
を送風容量の異なる冷却ファンで構成したものである。
【0010】この発明の請求項5に係る素子冷却装置
は、請求項2又は請求項3において、複数の冷却ファン
毎に冷却風が通過するフィン部材の距離が異なる配置構
成としたものである。
【0011】
【発明の実施の形態】実施の形態1.以下、この発明の
実施の形態1を図1に基づいて説明する。図1におい
て、1は各フィン部材、1aはフィン部材1の一方側、
1bはフィン部材1の他方側、2は各フィン部材に挿着
され、その内部を真空排気した後に作動液が所定量封入
されて成る複数のパイプ部材であり、図は一例として、
ループ状ヒートパイプから構成された場合を示し、例え
ばU字型パイプ2aがこれら各フィン部材1を整列方向
に貫通し、拡管することにより各フィン部材1と固着一
体化され、U字型パイプ2aの一方側2b端部と他方側
2c端部とをベント管2dで接合してループを構成し、
そのループの内部を真空排気した後に、作動液(図示せ
ず)が所定量封入された複数のループ状ヒートパイプが
構成される。3は受熱板、3aは受熱板3の一方の面、
3bは受熱板3の他方の表面である。4はフィン部材1
の上方位置で例えば中央部に配置された冷却ファン、5
は各フィン部材1の他端側1bに装着され、冷却ファン
4からの冷却風の導入口5aを有し、各フィン部材1間
に冷却風通路を形成する通風ダクト、6は冷却ファンと
通風ダクト5の導入口5a部と連結され、冷却ファン4
からの冷却風を通風ダクト5の導入口5a部に案内する
案内ダクトである。
【0012】次に動作について説明する。例えばIC、
LSI等の半導体素子などの被冷却素子で発生した熱
は、受熱板3から各フィン部材1の一方側1aに伝達さ
れる。各フィン部材1の一方側1aに伝達された熱は、
冷却ファン4から送風された冷却風を案内ダクト6で案
内されて通風ダクト5の導入口5aから各フィン部材1
の中央部から両側に分岐して矢印に示すように流れる冷
却風中に放熱されるとともに、ループ状ヒートパイプ2
のU字型パイプ2aの他方側2cを加熱する。ループ状
ヒートパイプ2のU字型パイプ2aの他方側2cが加熱
されると、その内部に封入された作動液が加熱されて蒸
気が発生し、ループ状ヒートパイプ2のU字型パイプ2
aの一方側2bに移動し、U字型パイプ2aの一方側2
bを加熱する。これにより、U字型パイプ2aの一方側
2b周囲の各フィン部材1、すなわち各フィン部材1の
他端側1bに熱が伝達される。各フィン部材1の他端側
1bに伝達された熱は、通風ダクト5を流れる冷却風中
に放熱され、作動液は凝縮液化する。ループ状ヒートパ
イプ2のU字型パイプ2aの一方側2bで凝縮液化した
作動液は、U字型パイプ2aの他方側2cに還流し、こ
れら動作が自然的に繰り返されることにより被冷却素子
は冷却される。
【0013】この実施の形態1においては、フィン部材
1の上方位置に配置された冷却ファン4と、各フィン部
材1の他端側1bに装着され、冷却ファン4からの冷却
風の導入口5aを有し、各フィン部材1間に冷却風通路
を形成する通風ダクト5と、冷却ファン4と通風ダクト
5の導入口5a部と連結され、冷却ファン4からの冷却
風を通風ダクト5の導入口5a部に案内する案内ダクト
6とを設けたことにより、冷却ファン4からの冷却風を
案内ダクト6から通風ダクト5に均一に流すことができ
るので、すなわち各フィン部材1全体に冷却風を均一に
流すことができるので、フィン効率が向上する。フィン
効率が向上することにより、各フィン部材1からの放熱
特性が向上するので、高性能化、小型化を図ることがで
きる。
【0014】実施の形態2.この発明の実施の形態2を
図2に基づいて説明する。図2において、1〜3は上述
した実施の形態1の構成と同様である。7はフィン部材
1の上方位置に複数例えば2台配置された冷却ファン、
8は各冷却ファン7毎に冷却風通路を分担させるよう各
フィン部材1内部に配置され例えば両側の二つに仕切る
仕切板、9は各冷却ファン7端部と各フィン部材1の端
部とに連結され、冷却ファン7からの冷却風を仕切板8
により仕切られたそれぞれの各フィン部材1間に通風さ
せる通路を形成するダクトである。
【0015】次に動作について説明する。2台の冷却フ
ァン7からの冷却風はそれぞれ仕切板8とダクト9とに
より形成された両側二つの各フィン部材1間の通路に流
れ込み、仕切板8により、冷却風は各フィン部材1の中
央部で相互に干渉することが無く、それぞれ分担されて
スムーズに流れ、各フィン部材1の両端側から排気され
る。なお、ダクト9は冷却ファン7の端部から垂直状に
配置された場合を示したが、冷却ファン7の端部と各フ
ィン部材1の両端上側とを連結する傾斜状に配置しても
よい。
【0016】この実施の形態2においては、フィン部材
1の上方位置に複数配置された冷却ファン7と、各冷却
ファン7毎に冷却風通路を分担させるよう各フィン部材
1内部に配置された仕切板8と、各冷却ファン7端部と
各フィン部材1の端部1cとに連結され、冷却ファン7
からの冷却風を各フィン部材1間に通風させる通路を形
成するダクト9とを設けたことにより、複数の冷却ファ
ン7からの冷却風が各フィン部材1の中央部で干渉せ
ず、冷却風の流れが停滞するのを防止することができ
る。このように、フィン中央部での冷却風の流れを改善
することによって、フィン中央部での放熱特性が向上す
るので、高性能化、小型化を図ることができる。
【0017】実施の形態3.この発明の実施の形態3を
図3及び図4に基づいて説明する。これら各図におい
て、1〜3,7〜9は上述した実施の形態2の構成と同
様である。10は上述した実施の形態2で構成された通
風構造体であるダクトの外側に配置され、一方側がダク
ト9と連結され、他方側が受熱板3に連結され、各フィ
ン部材1間を流れた冷却風を同一方向に排出する排出ダ
クトである。
【0018】次に動作について説明する。2台の冷却フ
ァン7からの冷却風はそれぞれ仕切板8とダクト9とに
より形成された両側二つの各フィン部材1間の通路に流
れ込み、仕切板8により、冷却風は各フィン部材1の中
央部で相互に干渉することが無く、それぞれ分担されて
各フィン部材1の中央部から両側の相反する方向にスム
ーズに流れる。一方の冷却ファン7からの冷却風は仕切
板8の右側を流れ各フィン部材1の右端側から排気され
る。他方の冷却ファン7からの冷却風は仕切板8の左側
を流れ各フィン部材1の左端側から排出ダクト10内に
導出され、Uターンして通路11を流れ、各フィン部材
1の右端側から排気される冷却風と同一方向で同排出位
置から排気される。
【0019】この実施の形態3においては、複数の冷却
ファン7からの冷却風を一方向のみから排気するように
したことにより、全ての冷却風を当該素子冷却装置が設
置される制御盤等の排気口のみから冷却風を排気するこ
とができ、温度の上昇した冷却風が制御盤等の内部部品
に当たるのを防止でき、制御盤等の内部で制約を受ける
ことなく設置することができる。また、この実施の形態
3における排出ダクト10の構成はこの実施の形態に限
定されるものではなく、例えば上述した実施の形態1の
ものにも適用することができ、同様の効果を奏する。
【0020】実施の形態4.この発明の実施の形態4を
図5に基づいて説明する。図5において、1〜3,8〜
11は上述した実施の形態3の構成と同様である。1
2,13はフィン部材1の上方位置にそれぞれ送風容量
の異なる複数例えば2台配置された冷却ファンであり、
仕切板8の右側のフィン部材1に送風する冷却ファン1
2の送風容量よりも仕切板8の左側のフィン部材1に送
風する冷却ファン13の送風容量の方が大きく構成され
ている。
【0021】次に動作について説明する。冷却ファン1
2からの冷却風はフィン部材1の中央部から右側に排気
されるのみであるが、冷却ファン13からの冷却風はフ
ィン部材1の中央部から左側に排気された後、排出ダク
ト10内に導出され、Uターンして通路11を流れ、フ
ィン部材1の右端側から排気される冷却風と同一方向で
同排出位置から排気される。しかし、冷却ファン13か
らの冷却風は冷却ファン12からの冷却風と比べて風路
抵抗(圧損)が大きくなるが、冷却ファン13の送風容
量を冷却ファン12の送風容量よりも大きくしているの
で、冷却ファン13からの冷却風の風路抵抗が大きくて
も冷却ファン12からの冷却風と同じ風量を得ることが
できる。したがって、フィン部材1の左右を通過する冷
却風の風量を均等にすることができ、受熱板3の温度の
均一化を図ることができる。
【0022】実施の形態5.この発明の実施の形態5を
図6に基づいて説明する。図6において、1〜3,7〜
11は上述した実施の形態3の構成と同様である。この
実施の形態5においては、2台の冷却ファン7は同一の
送風容量としているが、各冷却ファン7,7毎に冷却風
が通過するフィン部材1の距離が異なる配置構成として
いる。例えば仕切板8の左側の冷却ファン7からの冷却
風は仕切板8の右側の冷却ファン7よりも風路抵抗(圧
損)が大きくなるので、フィン部材1の仕切板8で仕切
られた左右の風量を同じにするために、冷却風がフィン
部材1を通過する距離を変えている。すなわち、仕切板
8の右側の冷却ファン7から冷却風の通過するフィン部
材1の距離はL1であり、仕切板8の左側の冷却ファン
7から冷却風の通過するフィン部材1の距離はL1より
短いL2である。このようにすることにより、両方の冷
却ファン7からの風路抵抗を同じにし風量を同じにする
ことができる。したがって、フィン部材1の左右を通過
する冷却風の風量を均等にすることができ、受熱板3の
温度の均一化を図ることができる。
【0023】実施の形態6.上述した各実施の形態にお
いては、パイプ部材2がループ状ヒートパイプから構成
された場合について述べたが、これに限定されるもので
はないことは言うまでもない。
【0024】
【発明の効果】この発明の請求項1に係る素子冷却装置
は、所定の間隔を介して整列され良伝熱性の薄板状部材
で形成された多数のフィン部材と、各フィン部材の一端
側が一方の面に当接され、他方の表面に被冷却素子が装
着される受熱板と、各フィン部材に挿着され、その内部
を真空排気した後に作動液が所定量封入されて成る複数
のパイプ部材とを有する素子冷却装置において、フィン
部材の上方位置に配置された冷却ファンと、各フィン部
材の他端側に装着され、冷却ファンからの冷却風の導入
口を有し、各フィン部材間に冷却風通路を形成する通風
ダクトと、冷却ファンと通風ダクトの導入口部と連結さ
れ、冷却ファンからの冷却風を通風ダクトの導入口部に
案内する案内ダクトとを設けたことにより、冷却ファン
からの冷却風を案内ダクトから通風ダクトに均一に流す
ことができるので、フィン効率が向上することができ、
各フィン部材からの放熱特性が向上するので、高性能
化、小型化を図ることができる。
【0025】この発明の請求項2に係る素子冷却装置
は、所定の間隔を介して整列され良伝熱性の薄板状部材
で形成された多数のフィン部材と、各フィン部材の一端
側が一方の面に当接され、他方の表面に被冷却素子が装
着される受熱板と、各フィン部材に挿着され、その内部
を真空排気した後に作動液が所定量封入されて成る複数
のパイプ部材とを有する素子冷却装置において、フィン
部材の上方位置に複数配置された冷却ファンと、各冷却
ファン毎に冷却風通路を分担させるようフィン部材内部
に配置された仕切板と、各冷却ファン端部とフィン部材
の端部とに連結され、冷却ファンからの冷却風をフィン
部材間に通風させる通路を形成するダクトとを設けたこ
とにより、複数の冷却ファンからの冷却風が各フィン部
材の中央部で干渉せず、冷却風の流れが停滞するのを防
止することができる。
【0026】この発明の請求項3に係る素子冷却装置
は、所定の間隔を介して整列され良伝熱性の薄板状部材
で形成された多数のフィン部材と、各フィン部材の一端
側が一方の面に当接され、他方の表面に被冷却素子が装
着される受熱板と、各フィン部材に挿着され、その内部
を真空排気した後に作動液が所定量封入されて成る複数
のパイプ部材とを有する素子冷却装置において、フィン
部材の上方位置に複数配置された冷却ファンと、各冷却
ファン毎に冷却風通路を分担させるようフィン部材内部
に配置された仕切板と、各冷却ファン端部とフィン部材
の端部とに連結され、冷却ファンからの冷却風をフィン
部材間に通風させる通路を形成する通風ダクトと、通風
ダクトの外側に配置され、フィン部材間を流れた冷却風
を同一方向に排出する排出ダクトとを設けたことによ
り、全ての冷却風を当該素子冷却装置が設置される制御
盤等の排気口のみから冷却風を排気することができ、温
度の上昇した冷却風が制御盤等の内部部品に当たるのを
防止でき、制御盤等の内部で制約を受けることなく設置
することができる。
【0027】この発明の請求項4に係る素子冷却装置
は、請求項2又は請求項3において、複数の冷却ファン
を送風容量の異なる冷却ファンで構成したことにより、
フィン部材の左右を通過する冷却風の風量を均等にする
ことができ、受熱板の温度の均一化を図ることができ
る。
【0028】この発明の請求項5に係る素子冷却装置
は、請求項2又は請求項3において、複数の冷却ファン
毎に冷却風が通過するフィン部材の距離が異なる配置構
成としたことにより、フィン部材の左右を通過する冷却
風の風量を均等にすることができ、受熱板の温度の均一
化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1を示す正面図であ
る。
【図2】 この発明の実施の形態2を示す正面図であ
る。
【図3】 この発明の実施の形態3を示す側面図であ
る。
【図4】 この発明の実施の形態3を示す正面図であ
る。
【図5】 この発明の実施の形態4を示す正面図であ
る。
【図6】 この発明の実施の形態5を示す正面図であ
る。
【図7】 従来装置を示す斜視図である。
【図8】 従来装置を示す正面図である。
【符号の説明】 1 フィン部材、1a 一端側、1b 他端側、2 パ
イプ部材、3 受熱板、5 通風ダクト、6 案内ダク
ト、7 冷却ファン、8 仕切板、9 ダクト、10
排出ダクト、12 冷却ファン、13 冷却ファン。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定の間隔を介して整列され良伝熱性の
    薄板状部材で形成された多数のフィン部材と、上記各フ
    ィン部材の一端側が一方の面に当接され、他方の表面に
    被冷却素子が装着される受熱板と、上記各フィン部材に
    挿着され、その内部を真空排気した後に作動液が所定量
    封入されて成る複数のパイプ部材とを有する素子冷却装
    置において、上記フィン部材の上方位置に配置された冷
    却ファンと、上記各フィン部材の他端側に装着され、上
    記冷却ファンからの冷却風の導入口を有し、上記各フィ
    ン部材間に冷却風通路を形成する通風ダクトと、上記冷
    却ファンと上記通風ダクトの導入口部と連結され、上記
    冷却ファンからの冷却風を上記通風ダクトの導入口部に
    案内する案内ダクトとを備えたことを特徴とする素子冷
    却装置。
  2. 【請求項2】 所定の間隔を介して整列され良伝熱性の
    薄板状部材で形成された多数のフィン部材と、上記各フ
    ィン部材の一端側が一方の面に当接され、他方の表面に
    被冷却素子が装着される受熱板と、上記各フィン部材に
    挿着され、その内部を真空排気した後に作動液が所定量
    封入されて成る複数のパイプ部材とを有する素子冷却装
    置において、上記フィン部材の上方位置に複数配置され
    た冷却ファンと、上記各冷却ファン毎に冷却風通路を分
    担させるよう上記フィン部材内部に配置された仕切板
    と、上記各冷却ファン端部と上記フィン部材の端部とに
    連結され、上記冷却ファンからの冷却風を上記フィン部
    材間に通風させる通路を形成するダクトとを備えたこと
    を特徴とする素子冷却装置。
  3. 【請求項3】 所定の間隔を介して整列され良伝熱性の
    薄板状部材で形成された多数のフィン部材と、上記各フ
    ィン部材の一端側が一方の面に当接され、他方の表面に
    被冷却素子が装着される受熱板と、上記各フィン部材に
    挿着され、その内部を真空排気した後に作動液が所定量
    封入されて成る複数のパイプ部材とを有する素子冷却装
    置において、上記フィン部材の上方位置に複数配置され
    た冷却ファンと、上記各冷却ファン毎に冷却風通路を分
    担させるよう上記フィン部材内部に配置された仕切板
    と、上記各冷却ファン端部と上記フィン部材の端部とに
    連結され、上記冷却ファンからの冷却風を上記フィン部
    材間に通風させる通路を形成する通風ダクトと、上記通
    風ダクトの外側に配置され、上記フィン部材間を流れた
    冷却風を同一方向に排出する排出ダクトとを備えたこと
    を特徴とする素子冷却装置。
  4. 【請求項4】 上記請求項2又は請求項3において、複
    数の冷却ファンを送風容量の異なる冷却ファンで構成し
    たことを特徴とする素子冷却装置。
  5. 【請求項5】 上記請求項2又は請求項3において、複
    数の冷却ファン毎に冷却風が通過する上記フィン部材の
    距離が異なる配置構成としたことを特徴とする素子冷却
    装置。
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