JPH11303871A - 流体軸受及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】流体供給溝の成形を容易に行える流体軸受及び
その製造方法の提供。 【解決手段】流体軸受４は、外部から供給された空気を
流通させる流体流通経路６が内部に形成された軸受基材
７と、この軸受基材７の案内面３と対向する軸受面７Ａ
に設けられたシート部材８とを備える。このシート部材
８は、軸受基材７に形成された流体流通経路６に連通す
るとともに案内面３に流体を噴出する流体供給溝９が形
成されている。流体供給溝９は流体軸受４の軸受基材７
とは別部材であるシート部材８に成形されるものであ
り、シート部材８の厚さ寸法を溝の深さ寸法と同じにす
れば、シート部材８に溝９を貫通形成することで溝９の
必要深さ寸法は確保される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、案内面に沿って相
対移動可能とされる流体軸受及びその製造方法に関す
る。

【０００２】

【背景技術】三次元測定機をはじめとする多くの精密機
器の可動部の軸受として流体軸受、例えば、空気軸受、
エアパット、油静圧軸受等が用いられている。空気軸受
は案内面に向けて空気を噴出する非接触軸受であり、摩
擦、摩耗、ヒステリシス等がなく、また、案内面も微少
な凹凸を軸受隙間内に形成された空気膜により平均化で
きる効果等から運動精度がきわめて良好であるという長
所を有する。

【０００３】この空気軸受は１個のブロック体から構成
され、その内部には外部から供給された流体を流通させ
る流体流通経路が形成されており、この流体流通経路と
連通する流体供給溝が案内面と対向する軸受面に形成さ
れている。空気軸受を案内面との間で平行に支持するた
め、空気を案内面に向けて噴出する流体供給溝は、軸受
面の広い範囲において所定形状に形成されている。従来
では、ブロック体の軸受面に流体供給溝を直接形成して
おり、その成形手段として、エッチング、あるいは、回
転工具により切削加工が主に用いられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】エッチングにより流体
供給溝を成形する従来例では、軸受形状に対してエッチ
ングによる除去部位が小さいため、マスキングが容易で
はなく、成形作業が煩雑になるという問題点がある。切
削加工により流体供給溝を形成する従来例では、形成す
べき溝が非常に小さく加工も困難であり、加工時間が長
くかかるという問題点がある。流体供給溝を正確に成形
するには、加工時間の短縮が望めず、空気軸受の製造効
率の向上も限界がある。

【０００５】さらに、加工部品に寸法的なばらつきが生
じると、空気軸受の軸受面に均一な深さの流体供給溝を
形成することが困難である。その上、切削による加工の
ためバリ等の除去が必要であり、この点からも非常に手
間のかかる作業となる。特に、加工ミスが発生した場合
には、その修復は一般に困難であり、溝成形作業も慎重
にならざるを得ない。

【０００６】本発明の目的は、流体供給溝の成形を容易
に行える流体軸受及びその製造方法を提供することにあ
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】そのため、本発明は流体
供給溝を流体軸受の本体となる部材に直接成形するので
はなく、流体軸受の本体とは別の部材に流体供給溝を成
形することにより前記目的を達成しようとするものであ
る。

【０００８】具体的には、本発明の流体軸受は、案内面
に沿って相対移動可能とされるとともに前記案内面に向
けて流体を噴出する流体軸受であって、外部から供給さ
れた流体を流通させる流体流通経路が内部に形成された
軸受基材と、この軸受基材の前記案内面と対向する軸受
面に設けられたシート部材とを備え、このシート部材
は、前記軸受基材に形成された流体流通経路に連通する
とともに前記案内面に流体を噴出する流体供給溝が形成
され、かつ、前記案内面との間に非接触状態で荷重が印
加された際に所定の剛性を有することを特徴とする。ま
た、本発明の流体軸受の製造方法は、前記構成の流体軸
受を製造するため、前記流体供給溝を深さ寸法がシート
部材厚さ寸法と同じになるように前記シート部材に形成
し、このシート部材を前記流体供給溝が前記流体流通経
路と連通するように前記軸受基材の軸受面に設けたこと
を特徴とする。

【０００９】この構成の本発明では、流体供給溝は流体
軸受の本体を構成する軸受基材とは別部材であるシート
部材に成形される。シート部材の厚さ寸法を溝の深さ寸
法と同じにすれば、シート部材に溝を貫通するように形
成することで溝の必要深さ寸法は確保される。このシー
ト部材が軸受基材に設けられた状態では、所定深さ寸法
の流体供給溝が形成されることになり、軸受基材に予め
形成された流体流通経路及び流体供給溝を通じて外部か
ら流体が案内面に噴出される。シート部材は、案内面と
の間に非接触状態で荷重が印加された際に所定の剛性を
有するので、流体供給溝から流体が噴出される際に、流
体供給溝に圧力がかかても崩れたりすることがない。従
って、流体軸受を構成するブロック体に直接流体供給溝
を加工する従来例に比べて、所定深さの流体供給溝を簡
単に加工することができる。また、シート部材自体の材
質を加工の容易なものを選ぶことで、流体供給溝の加工
作業が容易となる。

【００１０】本発明の流体軸受の製造方法は、前記流体
供給溝の成形を前記シート部材がサポートシートに貼付
された状態で行い、このサポートシートが貼付された前
記シート部材を前記軸受基材の軸受面に設け、その後、
前記サポートシートを前記シート部材から剥がすもので
もよい。この構成では、サポートシートに貼付した状態
でシート部材に流体供給溝の成形を行うため、流体供給
溝を環状に形成してシート部材が流体供給溝を境として
複数の部材に分けられても、これらの部材は分離するこ
となくサポートシートに保持される。そのため、流体供
給溝の形状が維持されることになり、シート部材の軸受
基材への取付作業が容易に行え、シート部材を軸受基材
に取り付けた後は不要になったサポートシートをシート
部材から剥がすだけで流体軸受の製造を簡単に行える。

【００１１】また、本発明の流体軸受の製造方法は、前
記シート部材が前記軸受基材の軸受面に設けられた感光
性樹脂層であり、この感光性樹脂層に露光現像して前記
流体供給溝を成形する構成でもよい。この構成では、軸
受基材に設けられた状態のシート部材に流体供給溝と同
じ形状のマスクを対向配置し、このマスクをシート部材
と重ねた状態でシート部材を露光現像する。すると、流
体供給溝がシート部材に形成されることになるため、複
雑な形状の流体供給溝を簡単に加工でき、流体軸受の製
造が容易に行える。

【００１２】さらに、本発明の流体軸受の製造方法は、
前記シート部材が前記軸受基材の軸受面に設けられた流
動性樹脂層であり、この流動性樹脂層に前記流体供給溝
の形状と適合する突起が設けられた均し部材を押しつ
け、前記流動性樹脂が固化した後前記均し部材を取り除
いて前記流体供給溝を成形する構成でもよい。この構成
では、流動性樹脂層に均し部材を押しつけることで突起
形状に沿って流体供給溝が成形される。流動性樹脂層が
硬化すると、流体供給溝が崩れることがなく所定形状で
維持される。そのため、流体供給溝の加工を簡単にし
て、流体軸受の製造が容易に行える。

【００１３】また、本発明の流体軸受の製造方法は、前
記シート部材が前記軸受基材の軸受面に設けられた流動
性樹脂層であり、この流動性樹脂層に前記流体供給溝の
形状と適合する突起が均し部材本体に設けられた均し部
材を押圧し、前記流動性樹脂が固化した後前記均し部材
本体を取り除き、さらに、前記突起を取り除いて前記流
体供給溝を成形する構成でもよい。この構成では、流動
性樹脂層に均し部材を押しつけることで突起形状に沿っ
て流体供給溝が成形される。流動性樹脂層が硬化した
後、均し部材本体を流動性樹脂層から離す。この状態で
は、突起が流動性樹脂層に埋設されているが、この突起
を取り除くことで、流体供給溝が崩れることがなく所定
形状で維持される。そのため、流体供給溝の加工が簡単
に行え、流体軸受の製造が容易となる。

【００１４】さらに、本発明の流体軸受の製造方法は、
前記軸受基材の軸受面に前記流体供給溝が形成される位
置にスペーサ部材を配置し、その後、前記軸受基材の軸
受面に流動性樹脂層を前記シート部材として設け、この
流動性樹脂層に均し部材を押しつけ、前記流動性樹脂が
固化した後前記均し部材を取り除き、さらに、前記スペ
ーサ部材を取り除いて前記流体供給溝を成形する構成で
もよい。この構成では、流動性樹脂層に均し部材を押し
つけることで突起形状に沿って流体供給溝が成形され
る。流動性樹脂層が硬化した後、均し部材を流動性樹脂
層から離す。この状態では、スペーサ部材が流動性樹脂
層に埋設されているが、このスペーサ部材を取り除くこ
とで、流体供給溝が崩れることがなく所定形状で維持さ
れる。そのため、流体供給溝の成形、ひいては、流体軸
受の製造が容易に行える。

【００１５】また、本発明の流体軸受の製造方法は、前
記シート部材が前記軸受基材の軸受面に設けられた熱可
塑性樹脂層であり、この熱可塑性樹脂層に前記流体供給
溝の形状と適合する突起が設けられた均し部材を加熱状
態で押しつけて前記流体供給溝を成形する構成でもよ
い。この構成では、熱可塑性樹脂からなるシート部材が
加熱される状態では、シート部材に均し部材を押しつけ
ることで流体供給溝が突起形状に沿って容易に成形され
る。その後、均し部材をシート部材から離すと、流体供
給溝が崩れることがなく所定形状で維持される。そのた
め、流体供給溝の加工、ひいては、流体軸受の製造が容
易に行える。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。図１には本発明の一実施形態にかか
る流体軸受の全体構成が示されている。図１において、
軌道台１と可動台２とは互いに相対移動可能に配置され
ており、軌道台１には案内面３が形成され、この案内面
３に対向するように可動台２には本実施形態の流体軸受
４が固定されている。流体軸受４は、案内面３に向けて
空気を噴出する空気軸受であって、配管５を通じて外部
の空気源（図示せず）から供給される圧縮空気（圧力P
s）を流通させる流体流通経路６が内部に形成された軸
受基材７と、この軸受基材７の案内面３と対向する軸受
面７Ａに設けられたシート部材８とを備えて構成され
る。

【００１７】軸受基材７は、ステンレス、真鍮、アルミ
ニウム、その他の金属、あるいは、硬質の合成樹脂等の
材質から略ブロック状に成形されており、その内部に形
成された流体流通経路６のシート部材８側には圧縮空気
の流量を調整する短寸円筒状の固定絞り部６Ａを有す
る。シート部材８は、ステンレス、真鍮、アルミニウ
ム、その他の金属、固体潤滑特性を有する焼結材、ある
いは、合成樹脂等の材質から厚さ寸法0.05〜0.2mmの略
平板状に成形されており、その端縁から所定寸法離れた
位置には案内面３に圧縮空気を噴出する流体供給溝９が
流体流通経路６に連通して形成されている。流体軸受４
は流体供給溝９から空気が噴出される際には、可動台２
から荷重Ｗを受けても案内面３との間に寸法ｈの間隔で
非接触状態に保持されており、そのため、シート部材８
は流体供給溝９が崩れないようにするのに十分な剛性を
有する。流体供給溝９はシート部材８の厚さと同じ寸法
の深さとされ、かつ、シート部材８の隅々まで圧縮空気
を行き渡らせるため、略「日」字状に形成されている
（図２参照）。

【００１８】次に、本発明の第１実施形態にかかる流体
軸受の製造方法を図２に基づいて説明する。まず、図２
（Ａ）に示される通り、軸受基材７に流体流通経路６を
成形するとともに、シート部材８に流体供給溝９を成形
する。第１実施形態では、軸受基材７への流体流通経路
６の成形とシート部材８への流体供給溝９の成形とを一
方を先行して行ってもよく、双方平行して同時に行って
も良い。軸受基材７に流体流通経路６を成形するため、
ドリル等で複数の孔を縦横に形成し、流体流通経路６と
して必要な部分を残し、残りは別部材の接着等を行い塞
ぐ。さらに、シート部材８に流体供給溝９を成形するた
め、シート部材８を合成樹脂、その他の材質から可撓性
シート状に形成されたサポートシート１０に貼付する。
この状態で流体供給溝９をシート部材８に切削、エッチ
ング、その他の成形手段を用いて成形する。この際、流
体供給溝９を深さ寸法がシート部材８の厚さ寸法と同じ
になるようにする。

【００１９】サポートシート１０が貼付されたシート部
材８の裏面に粘着加工を施し、または、通常の接着剤や
熱硬化型接着剤を塗布して軸受基材７の軸受面７Ａに貼
付する。この際、シート部材８を軸受面７Ａに対向させ
るとともに、流体供給溝９が流体流通経路６と連通する
ように位置決めする。シート部材８の軸受面７Ａへの接
着等が硬化したら、図２（Ｂ）に示される通り、サポー
トシート１０の一端部を摘んでシート部材８から剥が
す。サポートシート１０をシート部材８から剥がすと、
図２（Ｃ）に示される通り、流体供給溝９を有するシー
ト部材８が軸受基材７に設けられた流体軸受４の製造が
完了する。

【００２０】従って、本実施形態では、流体軸受４
は、外部から供給された空気を流通させる流体流通経路
６が内部に形成された軸受基材７と、この軸受基材７の
案内面３と対向する軸受面７Ａに設けられたシート部材
８とを備え、このシート部材８は、軸受基材７に形成さ
れた流体流通経路６に連通するとともに案内面３に流体
を噴出する流体供給溝９が形成された構造であり、この
流体軸受４を製造するため、流体供給溝９を深さ寸法が
シート部材８の厚さ寸法と同じになるようにシート部材
８に形成し、このシート部材８を流体供給溝９が流体流
通経路６と連通するように軸受基材７の軸受面７Ａに設
ければよいから、流体軸受４の製造を容易に行うことが
でき、その製造コストを低いものにできる。つまり、従
来例では、流体軸受を構成するブロック体に流体供給溝
を直接所定深さ寸法に加工しなければならないが、本実
施形態では、流体供給溝９は流体軸受４の軸受基材７と
は別部材であるシート部材８に成形されるものであり、
シート部材８の厚さ寸法を溝の深さ寸法と同じにすれ
ば、シート部材８に溝９を貫通形成することで溝９の必
要深さ寸法は確保される。また、シート部材８自体の材
質を加工の容易なものを選ぶことで、この点からも、流
体供給溝９の加工作業が容易となる。

【００２１】さらに、本実施形態では、シート部材８
は、案内面３との間に非接触状態で荷重が印加された際
に所定の剛性を有する構造としたから、流体供給溝９か
ら空気が噴出される際に、流体供給溝９が崩れたりする
ことがない。また、第１実施形態では、流体供給溝９
の形成をシート部材８がサポートシート１０に貼付され
た状態で行い、このサポートシート１０が貼付されたシ
ート部材８を軸受基材７の軸受面７Ａに設け、その後、
サポートシート１０をシート部材８から剥がして流体軸
受４を製造したので、流体供給溝９を環状に形成してシ
ート部材８を複数の部材に分けることになっても、これ
らの部材８は流体供給溝９を境として分離することがな
く、サポートシート１０により流体供給溝９の形状が維
持されているので、シート部材８の軸受基材７への取付
作業が容易に行える。さらに、シート部材８を軸受基材
７に取り付けた後は不要になったサポートシート１０を
シート部材８から剥がすだけで流体軸受４の製造を簡単
に行える。

【００２２】次に、本発明の第２実施形態にかかる流体
軸受の製造方法を図３に基づいて説明する。第２実施形
態では図１に示される流体軸受４を図３に示される手順
で製造するものである。まず、図３（Ａ）に示される通
り、軸受基材７の軸受面７Ａ全面にシート部材８として
厚さ寸法0.05〜0.2mmの感光性樹脂層を設ける。この感
光性樹脂層は、光を受けて硬化する性質を有する光硬化
性樹脂から構成される。ここで、光硬化性樹脂は、軸受
基材７の軸受面７Ａに塗布乾燥した後、露光現像ができ
るレジストのような樹脂や紫外線により硬化するものを
いい、光造形システムに使用されるものを始め、接着剤
として使用されるもの等、市販されているものを用いる
ことができる。

【００２３】その後、図３（Ｂ）に示される通り、軸受
基材７に設けられた状態のシート部材８に流体供給溝と
同じ形状のマスク１１を対向配置し、このマスク１１を
シート部材８と重ねた状態でシート部材８を露光する。
すると、図３（Ｃ）に示される通り、シート部材８で
は、受光部分が硬化され、流体供給溝９を構成する非受
光部分が硬化されない状態となり、シート部材８を現像
することで、非受光部分が除去されて流体供給溝９が形
成される。なお、第２実施形態では、軸受基材４への流
体流通経路６の成形はシート部材８に流体供給溝９が成
形される前でも後でもよい。また、レーザービームの照
射によりシート部材８を露光するものでもよい。

【００２４】従って、第２実施形態では、第１実施形態
のの作用効果を奏することができる他に、軸受基材
７の軸受面７Ａにシート部材８として感光性樹脂層を設
け、この感光性樹脂層を露光現像して流体供給溝９を形
成したから、露光現像という作業により細かな流体供給
溝９を簡単に加工することができ、流体軸受４の製造が
容易に行えるという効果を奏することができる。

【００２５】次に、本発明の第３実施形態にかかる流体
軸受の製造方法を図４に基づいて説明する。第３実施形
態では図１に示される流体軸受４を図４に示される手順
で製造するものである。まず、図４（Ａ）に示される通
り、軸受基材７の軸受面７Ａ全面にシート部材８を構成
することになる流動性樹脂層を設ける。ここで、流動性
樹脂層としては、２液硬化性の樹脂一般をいい、硬化後
の摺動性が良好であることが好ましく、例えば、キャプ
テンインダストリー株式会社製の液状ターカイト（商品
名）が使用できる。

【００２６】さらに、流動性樹脂層に均し部材１２を押
しつける。この均し部材１２は平板状の均し部材本体１
２Ａに流体供給溝９の形状と適合する突起１２Ｂが一体
に設けられたものであり、突起１２Ｂの均し部材本体１
２Ａに対する突出量は流体供給溝９の深さ寸法、具体的
には、0.05〜0.2mmである。シート部材８を構成する流
動性樹脂層への均し部材１２の押圧作業は図４（Ｂ）に
示される通り、流動性樹脂層が軸受基材７の軸受面７Ａ
の隅々まで延伸し、軸受面７Ａに対してシート部材８が
均一となるまで行う。

【００２７】流動性樹脂が固化したら、図４（Ｃ）に示
される通り、均し部材１２を取り除いて流体供給溝９を
形成し、さらに軸受面７Ａからはみ出した樹脂を取り除
く。なお、第３実施形態では、軸受基材４への流体流通
経路６の成形はシート部材８に流体供給溝９が成形され
る前でも後でもよい。従って、第３実施形態では、第１
実施形態のの作用効果を奏することができる他に、
軸受基材７の軸受面７Ａにシート部材８として流動性樹
脂層を設け、この流動性樹脂層を突起１２Ｂを有する均
し部材１２を押しつけることで突起１２Ｂ形状に沿って
流体供給溝９を簡単に加工することができ、流体軸受４
の製造が容易に行えるという効果を奏することができ
る。

【００２８】次に、本発明の第４実施形態にかかる流体
軸受の製造方法を図５に基づいて説明する。第４実施形
態では図１に示される流体軸受４を図５に示される手順
で製造するものである。まず、図５（Ａ）に示される通
り、均し部材１３を用意する。この均し部材１３は平板
状の均し部材本体１３Ａに流体供給溝９の形状と適合す
る突起１３Ｂが別体に設けられたものであり、突起１３
Ｂの均し部材本体１３Ａに対する突出量は流体供給溝９
の深さ寸法、具体的には、0.05〜0.2mmである。この突
起１３Ｂはワックス等の熱可塑性樹脂を用い、ディスペ
ンサーやシルクスクリーン等で均し部材本体１３Ａに形
成される。その後、図５（Ｂ）に示される通り、軸受基
材７の軸受面７Ａ全面にシート部材８として流動性樹脂
層を設ける。この流動性樹脂層に均し部材１３を押しつ
ける。

【００２９】シート部材８を構成する流動性樹脂層への
均し部材１３の押圧作業は図５（Ｃ）に示される通り、
流動性樹脂層が軸受基材７の軸受面７Ａの隅々まで延伸
し、軸受面７Ａに対してシート部材８が均一となるまで
行う。流動性樹脂が固化したら、図５（Ｄ）に示される
通り、均し部材本体１３Ａを流動性樹脂層から離す。こ
の状態では、突起１３Ｂが均し部材本体１３Ａから離れ
シート部材８を構成する流動性樹脂層に埋設された状態
となる。その後、図５（Ｅ）に示される通り、端縁から
はみ出された流動性樹脂を取り除きさらに、突起１３Ｂ
を取り除いて流体供給溝９をシート部材８に形成する。
なお、第４実施形態では、軸受基材４への流体流通経路
６の成形はシート部材８に流体供給溝９が成形される前
でも後でもよい。

【００３０】従って、第４実施形態では、第１実施形態
のの作用効果を奏することができる他に、軸受基材
７の軸受面７Ａにシート部材８として流動性樹脂層を設
け、この流動性樹脂層を突起１３Ｂが均し部材本体１３
Ａに別体に設けられた均し部材１３を押しつけたから、
第３実施形態と同様に、突起１３Ｂ形状に沿って流体供
給溝９を簡単に加工することができ、流体軸受４の製造
が容易に行えるという効果を奏することができる。

【００３１】次に、本発明の第５実施形態にかかる流体
軸受の製造方法を図６に基づいて説明する。第５実施形
態では図１に示される流体軸受４を図６に示される手順
で製造するものである。まず、図６（Ａ）に示される通
り、軸受基材７の軸受面７Ａにおいて流体供給溝９が形
成される位置にスペーサ部材１４Ａを配置する。このス
ペーサ部材１４Ａはワックス等の熱可塑性樹脂を用い、
ディスペンサーやシルクスクリーン等で形成されるが、
第４実施形態の突起１３Ｂに比べて突出量を大きくする
とともに、その幅寸法を小さくして多少潰れて広がるよ
うにする。

【００３２】その後、図６（Ｂ）に示される通り、軸受
基材７の軸受面７Ａ全面にシート部材８として流動性樹
脂層を設ける。この流動性樹脂層に均し部材１４Ｂを押
しつける。この均し部材１４Ｂは平板状に形成されたも
のである。シート部材８を構成する流動性樹脂層への均
し部材１４Ｂの押圧作業は図６（Ｃ）に示される通り、
流動性樹脂層が軸受基材７の軸受面７Ａの隅々まで延伸
し、軸受面７Ａに対してシート部材８が均一となるまで
行う。この際、スペーサ部材１４Ａは均し部材１４Ｂに
よって押し潰され、その時の幅寸法が流体供給溝９の幅
寸法と同じになるようにする。

【００３３】流動性樹脂が固化したら、図６（Ｄ）に示
される通り、均し部材１４Ｂを流動性樹脂層から離す。
この状態では、スペーサ部材１４Ａがシート部材８を構
成する流動性樹脂層に埋設された状態となる。その後、
図６（Ｅ）に示される通り、端縁からはみ出された流動
性樹脂を取り除き、さらに、スペーサ部材１４Ａを取り
除いて流体供給溝９をシート部材８に形成する。なお、
第５実施形態では、軸受基材４への流体流通経路６の成
形はシート部材８に流体供給溝９が成形される前でも後
でもよい。

【００３４】従って、第５実施形態では、第１実施形態
のの作用効果を奏することができる他に、軸受基材
７の軸受面７Ａにおいて流体供給溝９が形成される位置
にスペーサ部材１４Ａを配置し、その後、軸受基材７の
軸受面７Ａに流動性樹脂層をシート部材８として設け、
この流動性樹脂層に均し部材１４Ｂを押しつけ、流動性
樹脂が固化した後均し部材１４Ｂを取り除き、さらに、
スペーサ部材１４Ａを取り除いて流体供給溝９を形成し
たから、流体供給溝９の成形、ひいては、流体軸受４の
製造が容易に行える。

【００３５】次に、本発明の第６実施形態にかかる流体
軸受の製造方法を図７に基づいて説明する。まず、図７
（Ａ）に示される通り、ヒータ１５Ａを備えた加熱炉１
５に軸受基材７を配置するとともに、この軸受基材７の
軸受面７Ａ全面にシート部材８を構成するとこになる熱
可塑性樹脂層を設ける。この熱可塑性樹脂層を構成する
樹脂は、射出成形等で使用される一般的なものである。
さらに、熱可塑性樹脂層に前記均し部材１２を押しつけ
る。

【００３６】シート部材８を構成する熱可塑性樹脂層へ
の均し部材１２の押圧作業は図４（Ｂ）に示される通
り、熱可塑性樹脂層が軸受基材７の軸受面７Ａの隅々ま
で延伸し、軸受面７Ａに対してシート部材８が均一とな
るまで行う。その後、図７（Ｃ）に示される通り、均し
部材１２を取り除いて流体供給溝９を形成し、さらに軸
受面７Ａからはみ出した樹脂を取り除く。なお、第６実
施形態では、軸受基材４への流体流通経路６の成形はシ
ート部材８に流体供給溝９が成形される前でも後でもよ
い。

【００３７】従って、第６実施形態では、第１実施形態
のの作用効果を奏することができる他に、シート部
材８を軸受基材７の軸受面７Ａに設けられた熱可塑性樹
脂層とし、この熱可塑性樹脂層に流体供給溝９の形状と
適合する突起１３Ｂが設けられた均し部材１２を加熱状
態で押しつけて流体供給溝９を形成したから、流体供給
溝９の加工、ひいては、流体軸受４の製造が容易に行え
る。

【００３８】なお、本発明は前述の実施の形態に限定さ
れるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での
変形、改良等は本発明に含まれるものである。例えば、
前記実施の形態では流体軸受４を空気軸受としたが、本
発明では流体軸受をエアパット、油静圧軸受としてもよ
い。さらに、絞り部６Ａは必ずしも設けることを要しな
い。絞り部６Ａを設ける場合には、その配置場所は前記
実施形態のように流体流通経路６に限定されるものでは
なく、流体供給溝９自体であってもよい。

【００３９】また、絞り部６Ａは前記実施形態の形状に
限定されるものではなく、例えば、溝を形成する部材の
細長い開口部と直交するように基材上に流体供給溝を形
成し、接合した部分で絞りが形成されるものでもよい。
さらにまた、前記実施形態では、絞り部６Ａを固定式の
ものにしたが、可変式のものでもよい。

【００４０】

【発明の効果】このような本発明によれば、外部から供
給された流体を流通させる流体流通経路が内部に形成さ
れた軸受基材と、この軸受基材の案内面と対向する軸受
面に設けられたシート部材とを備えて流体軸受を構成
し、このシート部材は、軸受基材に形成された流体流通
経路に連通するとともに案内面に流体を噴出する流体供
給溝が形成された構造であり、この流体軸受を製造する
ため、流体供給溝を深さ寸法がシート部材の厚さ寸法と
同じになるようにシート部材に形成し、このシート部材
を流体供給溝が流体流通経路と連通するように軸受基材
の軸受面に設ければよいから、流体軸受の製造を容易に
行うことができ、その製造コストを低いものにできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態にかかる流体軸受の全体構
成を示す断面図である。

【図２】本発明の第１実施形態にかかる流体軸受の製造
手順を説明する概略斜視図である。

【図３】本発明の第２実施形態にかかる流体軸受の製造
手順を説明する概略図である。

【図４】本発明の第３実施形態にかかる流体軸受の製造
手順を説明する概略図である。

【図５】本発明の第４実施形態にかかる流体軸受の製造
手順を説明する概略図である。

【図６】本発明の第５実施形態にかかる流体軸受の製造
手順を説明する概略図である。

【図７】本発明の第６実施形態にかかる流体軸受の製造
手順を説明する概略図である。

【符号の説明】

３ 案内面 ４ 流体軸受 ６ 流体流通経路 ７ 軸受基材 ７Ａ 軸受面 ８ シート部材 ９ 流体供給溝 １０ サポートシート 12,13,14B 均し部材 12A,13A 均し部材本体 12B,13B 突起 14A スペーサ部材 15A ヒータ １５ 加熱炉

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】案内面に沿って相対移動可能とされるとと
   もに前記案内面に向けて流体を噴出する流体軸受であっ
   て、外部から供給された流体を流通させる流体流通経路
   が内部に形成された軸受基材と、この軸受基材の前記案
   内面と対向する軸受面に設けられたシート部材とを備
   え、このシート部材は、前記軸受基材に形成された流体
   流通経路に連通するとともに前記案内面に流体を噴出す
   る流体供給溝が形成され、かつ、前記案内面との間に非
   接触状態で荷重が印加された際に所定の剛性を有するこ
   とを特徴とする流体軸受。
2. 【請求項２】請求項１に記載の流体軸受を製造する流体
   軸受の製造方法であって、前記流体供給溝を深さ寸法が
   シート部材厚さ寸法と同じになるように前記シート部材
   に形成し、このシート部材を前記流体供給溝が前記流体
   流通経路と連通するように前記軸受基材の軸受面に設け
   たことを特徴とする流体軸受の製造方法。
3. 【請求項３】請求項２に記載の流体軸受の製造方法であ
   って、前記流体供給溝の成形は前記シート部材をサポー
   トシートに貼付した状態で行い、このサポートシートが
   貼付された前記シート部材を前記軸受基材の軸受面に設
   け、その後、前記サポートシートを前記シート部材から
   剥がすことを特徴とする流体軸受の製造方法。
4. 【請求項４】請求項２に記載の流体軸受の製造方法であ
   って、前記シート部材は前記軸受基材の軸受面に設けら
   れた感光性樹脂層であり、この感光性樹脂層に露光現像
   して前記流体供給溝を成形することを特徴とする流体軸
   受の製造方法。
5. 【請求項５】請求項２に記載の流体軸受の製造方法であ
   って、前記シート部材は前記軸受基材の軸受面に設けら
   れた流動性樹脂層であり、この流動性樹脂層に前記流体
   供給溝の形状と適合する突起が設けられた均し部材を押
   しつけ、前記流動性樹脂が固化した後前記押圧部材を取
   り除いて前記流体供給溝を成形することを特徴とする流
   体軸受の製造方法。
6. 【請求項６】請求項２に記載の流体軸受の製造方法であ
   って、前記シート部材は前記軸受基材の軸受面に設けら
   れた流動性樹脂層であり、この流動性樹脂層に前記流体
   供給溝の形状と適合する突起が均し部材本体に設けられ
   た均し部材を押圧し、前記流動性樹脂が固化した後前記
   均し部材本体を取り除き、さらに、前記突起を取り除い
   て前記流体供給溝を成形することを特徴とする流体軸受
   の製造方法。
7. 【請求項７】請求項２に記載の流体軸受の製造方法であ
   って、前記軸受基材の軸受面に前記流体供給溝が形成さ
   れる位置にスペーサ部材を配置し、その後、前記軸受基
   材の軸受面に流動性樹脂層を前記シート部材として設
   け、この流動性樹脂層に均し部材を押しつけ、前記流動
   性樹脂が固化した後前記均し部材を取り除き、さらに、
   前記スペーサ部材を取り除いて前記流体供給溝を成形す
   ることを特徴とする流体軸受の製造方法。
8. 【請求項８】請求項２に記載の流体軸受の製造方法であ
   って、前記シート部材は前記軸受基材の軸受面に設けら
   れた熱可塑性樹脂層であり、この熱可塑性樹脂層に前記
   流体供給溝の形状と適合する突起が設けられた均し部材
   を加熱状態で押しつけて前記流体供給溝を成形すること
   を特徴とする流体軸受の製造方法。