JPH11297758A - 半導体チップ、その実装構造および液晶表示装置 - Google Patents

半導体チップ、その実装構造および液晶表示装置

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JPH11297758A
JPH11297758A JP9648398A JP9648398A JPH11297758A JP H11297758 A JPH11297758 A JP H11297758A JP 9648398 A JP9648398 A JP 9648398A JP 9648398 A JP9648398 A JP 9648398A JP H11297758 A JPH11297758 A JP H11297758A
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Kinichi Maeda
謹一 前田
Kenichi Maruyama
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 バンプ電極の構造を改良してバンプ電極と電
極端子との間に多数の導電粒子を確保することにより、
異方性導電膜に含まれる導電粒子を減らしても、バンプ
電極と電極端子とを良好に電気的接続することのできる
IC、その実装構造および液晶表示装置を提供するこ
と。 【解決手段】 駆動用IC13のバンプ電極130の表
面では、異なるサイズのU字形状の突条部136がサイ
ズの昇順に重なるように並んでおり、これらの突条部1
36の各間には複数の導電粒子保持溝137が形成され
ている。いずれの導電粒子保持溝137も、駆動用IC
13の実装面13aの内側に向いた壁面137aを有し
ているので、駆動用IC13の外周側に流出しようとす
る導電粒子133をバンプ電極130と電極端子16と
の間に集めることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体チップ(以
下、ICという。)、その実装構造、およびこの実装構
造を用いた液晶表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】フェイスダウンボンディングタイプのI
Cを異方性導電膜(Anisotropic cond
ucttive film/ACF)を用いてCOG
(Chip on glass)実装する方法は、ファ
インピッチへの対応が可能であるとともに、多接点を一
括して電気的に接続できるので、液晶パネルに構成され
ている多数のストライプ状電極などの各電極端子に対し
て駆動用ICを実装するのに適している。
【0003】この異方性導電膜を用いてICを実装する
際には、図8(A)に示すように、IC実装領域9に所
定の大きさの異方性導電膜ACFを残した後、圧着ヘッ
ドTを用いて駆動用IC13を基板側に熱圧着する。そ
の結果、図8(B)に示すように異方性導電膜ACFの
樹脂分が溶融し、樹脂分が再び固化した後には、図8
(C)に示すように、駆動用IC13のバンプ電極13
0は、異方性導電膜ACFに含まれている導電粒子13
3を介して基板側の電極端子16に電気的接続する。従
って、駆動用IC13を異方性導電膜ACFを用いて実
装した場合には、バンプ電極130と電極端子16との
間に介在する導電粒子133の数が電気的抵抗や信頼性
に大きな影響を及ぼす。
【0004】ここで、図12(A)、(B)に、従来の
駆動用IC13のバンプ電極130の平面およびE−
E′断面をそれぞれ示すように、バンプ電極130は、
平面形状が矩形でその中央部分に盛り上がり部分138
を有している。また、図13(A)、(B)に、従来の
別の駆動用IC13のバンプ電極130の平面およびF
−F′断面をそれぞれ示すように、バンプ電極130の
表面に略四角形の突条部139を形成することによって
中央に凹み139aをつけ、バンプ電極130と電極端
子16との間から導電粒子133が流出しないようにし
てある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置では画素
数の増大に伴い、バンプ電極130は高密度に配置され
る傾向にある。従って、異方性導電膜ACFにおいて導
電粒子133の配合量が多いと、隣接するバンプ電極間
(電極端子間)でショートが発生するおそれがある。こ
のような問題点を解消するには、導電粒子133の配合
量を減らした異方性導電膜ACF(導電粒子分散性の低
い異方性導電膜)を使用すればよいが、従来のバンプ電
極130の構造のままで、導電粒子133の配合量を減
らすと、その分、バンプ電極130と電極端子16との
間に介在する導電粒子133の数が減ることになるの
で、電気的抵抗が増大してしまう。
【0006】そこで、本発明の課題は、バンプ電極の構
造を改良してバンプ電極と電極端子との間に多数の導電
粒子を確保することにより、異方性導電膜に含まれる導
電粒子を減らしてもバンプ電極と電極端子とを良好に電
気的接続することのできるIC、その実装構造および液
晶表示装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るICでは、導電粒子を含む異方性導電
膜を介しての圧着により基板表面に設けられた電極端子
に電気的接続される複数のバンプ電極を備える半導体チ
ップにおいて、前記電極端子と対向する前記バンプ電極
の表面には、当該半導体チップの実装領域の内側方向に
壁面を向ける導電粒子保持溝を備えていることを特徴と
する。
【0008】本発明において、異方性導電膜を介しての
圧着により基板表面に設けられた電極端子とIC側のバ
ンプ電極とを電気的接続する際に、異方性導電膜は樹脂
分が溶融して導電粒子がICと基板との間でICの内側
領域から外周側に流出しようとする。ここで、本発明に
係るICのバンプ電極の表面には導電粒子保持溝が形成
され、この導電粒子保持溝は壁面を実装面の内側に向け
ているので、実装面の内側領域から外周側に流出しよう
とする導電粒子は、導電粒子保持溝の壁面で止められ、
導電粒子保持溝内に保持される。従って、バンプ電極と
電極端子との間に導電粒子が効率よく集められるので、
バンプ電極と電極端子との間に多数の導電粒子を確保す
ることができる。それ故、異方性導電膜に含まれる導電
粒子を減らしてもバンプ電極と電極端子とを良好に電気
的接続することができる。
【0009】本発明において、前記導電粒子保持溝は、
たとえば、前記バンプ電極の表面でチップの辺に沿って
延びる複数条の突条部が並列していることにより当該突
条部の間に構成される溝である。
【0010】本発明の別の形態において、前記導電粒子
保持溝は、前記バンプ電極の表面でV字形状、U字形
状、もしくはW字形状の突条部が前記実装面の内側に両
端部を向けていることにより当該突条部の内側に形成さ
れた溝である。
【0011】本発明のさらに別の形態において、前記導
電粒子保持溝は、前記バンプ電極の表面で前記実装面の
内側に両端部を向けた異なるサイズのU字形状あるいは
V字形状の突条部がサイズの昇順に重なるように並んで
いることにより当該突条部の間に形成された溝である。
【0012】本発明に係るICの実装構造は、各種の半
導体装置に適用できるが、液晶表示装置において、基板
間に液晶が封入された液晶パネルを構成する2枚の基板
のうちの少なくとも一方の基板にICを実装するのに用
いると、効果的である。液晶表示装置において表示品位
を向上しようとすると、画素数を増やすことになり、そ
の結果、液晶パネルに構成される電極数が増大し、電極
端子が高密度に配置されることになる。従って、電極端
子間(バンプ電極間)でのショートを防止するには、異
方性導電膜として導電粒子の配合量が少ないものを使用
することになるが、それでも、本発明に係るICの実装
構造を用いれば、バンプ電極と電極端子との間に多数の
導電粒子を確保できるので、異方性導電膜に含まれる導
電粒子を減らしてもバンプ電極と電極端子とを良好に電
気的接続することができる。
【0013】
【発明の実施の形態】添付図面を参照して、本発明の実
施の形態を説明する。
【0014】(全体構成)図1は、液晶表示装置の外観
を示す斜視図であり、図2は、その分解斜視図である
(図1及び図2において、第1の透明基板1と第2の透
明基板2のそれぞれに形成された配線は省略し、詳細は
図4及び図5に示す。)。図3は、この液晶表示装置に
おける基板への駆動用ICの実装構造を模式的に示す縦
断面図である。
【0015】図1および図2において、液晶表示装置1
0は、たとえば透明なガラスによって形成された第1の
透明基板1と、同じく透明なガラスによって形成された
第2の透明基板2とを有している。これらの基板の一方
にはシール剤3が印刷等によって形成され、このシール
剤3を挟んで第1の透明基板1と第2の透明基板2とが
接着固定されている。第1の透明基板1と第2の透明基
板2との間隙(セルギャップ)のうち、シール剤3で区
画形成された液晶封入領域40内には液晶41が封入さ
れている。第1の透明基板1の外側表面には偏光板4a
が粘着剤などによって貼られ、第2の透明基板2の外側
表面にも偏光板4bが粘着剤などで貼られている。
【0016】第2の透明基板2は第1の透明基板1より
も大きいので、第2の透明基板2に第1の透明基板1を
重ねた状態で、第2の透明基板2はその一部が第1の透
明基板1の下端縁から張り出す。
【0017】この張り出し部分にはIC実装領域9が形
成されており、ここに駆動用IC13がフェイスダウン
ボンディングによりCOG実装される。この部分での実
装構造は詳しくは後述するが、異方性導電膜を第2の透
明基板2と駆動用IC13との間に挟んだ上で、それら
を加熱圧着することによって行われる。従って、この部
分では、図3に示すように、異方性導電膜ACFを介し
て第2の透明基板2のIC実装領域9の電極端子16に
駆動用IC13のバンプ電極130が電気的接続してい
る状態にある。なお、第2の透明基板2の外側表面のう
ち、IC実装領域9と重なる領域には、第2の透明基板
2を透過してくる光が原因で駆動用IC13に誤動作が
発生することを防止するための遮光テープ11が貼られ
ている。さらに、駆動用IC13のチップ上面部には、
チップ上面部から侵入してくる光が原因で駆動用IC1
3に誤動作が発生することを防止するための遮光膜DD
が形成されている。
【0018】なお、図1および図2からわかるように、
第2の透明基板2において、IC実装領域9より下端側
には入力端子12が形成されており(破線部の入力端子
12は省略する。)、これらの入力端子12にはフレキ
シブルプリント配線基板(図示せず。)がヒートシール
などの方法で接続される。
【0019】図4および図5はそれぞれ、第1の透明基
板1および第2の透明基板2に形成した透明電極の配置
パターンを示す平面図である。
【0020】図4において、第1の透明基板1の内側表
面には、シール剤3(一点鎖線Lで示す領域付近)で区
画形成された液晶封入領域40の内側で横方向に延びる
複数のストライプ状電極6aと、液晶封入領域40の外
側でストライプ状電極6aを各端子に配線接続するため
の配線パターン6bとからなる電極パターン6(薄膜パ
ターン)が形成されている。この電極パターン6は、透
明なITO膜(Indium Tin Oxide)な
どで形成されている。
【0021】図5において、第2の透明基板2の内側表
面には、シール剤3(一点鎖線Lで示す領域付近)で区
画形成された液晶封入領域40の内側で縦方向に延びる
複数のストライプ状電極7aと、液晶封入領域40の外
側でストライプ状電極7aをIC実装領域9に配線接続
するための配線パターン7bとからなる電極パターン7
(薄膜パターン)が形成されている。この電極パターン
7も、透明なITO膜などで形成されている。
【0022】このように構成した第1の透明基板1と第
2の透明基板2とを所定箇所で電気的な接続を図りなが
ら、図1に示すように接着した状態で、第1の透明基板
1のストライプ状電極6aと第2の透明基板2のストラ
イプ状電極7aとは互いに交差し、各交差部分に画素が
構成される。また、第1の透明基板1と第2の透明基板
2との間隙において、液晶封入領域40には液晶41が
封入される。従って、駆動用IC13に駆動用電力およ
び駆動信号を送ると、駆動用IC13は、駆動信号に基
づいて希望する適宜のストライプ状電極6a、7aに電
圧を印加し、各画素における液晶41の配向状態を制御
し、液晶表示装置10に希望の像を表示する。
【0023】(IC実装領域9の構成)図6は、第2の
透明基板2に形成されているIC実装領域9、およびこ
のIC実装領域9に駆動用IC13を実装する様子を模
式的に示す説明図である。図7は、駆動用IC13に形
成したバンプ電極130の配置を示す平面図である。
【0024】図6に示すように、IC実装領域9には、
図5を参照して説明した多数の配線パターン7bの端部
が集まっており、その配線パターン7bの先端部分が電
極端子16になっている。従って、液晶表示装置10に
おいて表示品位を向上しようとすると、画素数を増やす
ことになり、その結果、液晶パネルに構成されるストラ
イプ状電極6a、7aが増大し、その分、電極端子16
が高密度に配置されることになる。
【0025】図7に示すように、駆動用IC13は、第
2の透明基板2との実装面13aに形成されているフェ
イスダウンボンディング用の複数のバンプ電極130が
チップの辺13bに沿って一列に並んでおり、このよう
なバンプ電極130も、液晶表示装置10において画素
数を増やすほど、高密度に配置されることになる。
【0026】(駆動用IC13の実装構造)このように
構成した駆動用IC13をIC実装領域9に異方性導電
膜を用いてICを実装する際には、図8(A)に示すよ
うに、IC実装領域9に相当する領域を覆うように所定
の大きさの異方性導電膜ACFを残した後、圧着ヘッド
Tを用いて駆動用IC13を第2の透明基板2に向けて
熱圧着する。その結果、図8(B)に示すように異方性
導電膜ACFの樹脂分が溶融し、溶融した樹脂が固化し
た後には、図8(C)に示すように、駆動用IC13の
バンプ電極130は、異方性導電膜ACFに含まれてい
る導電粒子133を介して第2の透明基板2の電極端子
16に電気的接続することになる。
【0027】(バンプ電極130の表面構造)このよう
にして駆動用IC13を実装する際に、異方性導電膜A
CFの溶融した樹脂分は、駆動用IC13と第2の透明
基板2との間で、図7に矢印ADで示すように、導電粒
子133とともに、駆動用IC13の実装面13aの内
側から外周側に流出しようとする。そこで、本発明で
は、以下に各形態を説明するように、バンプ電極130
の表面構造を改良し、駆動用IC13の実装面13aの
内側から外周側に流出しようとする導電粒子133をバ
ンプ電極130と基板側の電極端子16との間に集める
ことを特徴とする。
【0028】図9(A)、(B)は、本発明を適用した
駆動用IC13のバンプ電極130の平面図、およびA
−A′断面図である。
【0029】これらの図において、本形態の駆動用IC
13では、バンプ電極130の表面で、チップの辺13
bに沿って延びる複数条の突条部131が並列してお
り、これらの突条部131の間には、複数の導電粒子保
持溝132が形成されている。導電粒子保持溝132は
いずれも、チップの辺13bに沿って延びているので、
いずれの導電粒子保持溝132においても、壁面132
aが駆動用IC13の実装面13aの内側に向いてい
る。また、いずれのバンプ電極130の表面にもこのよ
うな導電粒子保持溝132が形成されているので、IC
実装領域9を囲むように内側方向に壁面132aが向い
ている。
【0030】このように構成した駆動用IC13を実装
する際には、図8を参照して説明したように、異方性導
電膜ACFを介しての熱圧着により電極端子16とバン
プ電極130とを電気的接続する。このとき、異方性導
電膜ACFは、矢印ADで示すように、樹脂分が溶融し
て導電粒子133が駆動用IC13と第2の透明基板2
との間で駆動用IC13の内側領域から外周側に流出し
ようとする。ここで、駆動用IC13のバンプ電極13
0の表面には導電粒子保持溝132が形成され、この導
電粒子保持溝132は壁面132aを駆動用IC13の
実装面13aの内側に向けているので、実装面13aの
内側から外周側に流出しようとする導電粒子133は、
導電粒子保持溝132の壁面132aで止められ、導電
粒子保持溝132内に集められる。従って、バンプ電極
130と電極端子16との間に導電粒子133が効率よ
く集められるので、バンプ電極130と電極端子16と
の間に多数の導電粒子133を確保できる。それ故、バ
ンプ電極130と電極端子16とを良好に電気的接続す
ることができる。
【0031】また、液晶表示装置10において画素数を
増やすためにバンプ電極130および電極端子16を高
密度に配置したとき、隣接するバンプ電極間(隣接する
電極端子間)でのショートを防止する方法としては、異
方性導電膜ACFに含まれる導電粒子133を減らすの
が有効であるが、このような導電粒子分散性の低い異方
性導電膜ACFを用いても、本形態の駆動用IC13に
よれば、バンプ電極130と電極端子16との間に多数
の導電粒子133を確保できるので、バンプ電極130
と電極端子16とを良好に電気的接続することができ
る。
【0032】これに対して、図12(A)、(B)に示
した従来の駆動用IC13では、駆動用IC13と第2
の透明基板2との間で駆動用IC13の内側領域から外
周側に流出しようとする異方性導電膜ACFの導電粒子
133(流出方向を矢印ADで示す。)が駆動用IC1
3のバンプ電極130と第2の透明基板2の電極端子1
6との間に流れ込む余地がない。それ故、駆動用IC1
3と第2の透明基板2との間で駆動用IC13の内側領
域から外周側に流出しようとする異方性導電膜ACFの
導電粒子133をバンプ電極130と電極端子16との
間に集めることができない。
【0033】また、図13(A)、(B)に示した従来
の駆動用IC13では、バンプ電極130の表面に突条
部139が形成されているので、駆動用IC13と第2
の透明基板2との間で駆動用IC13の内側領域から外
周側に流出しようとする異方性導電膜ACFの導電粒子
133(流出方向を矢印ADで示す。)を突条部139
で一旦はせき止めることができても、導電粒子133は
突条部139の内側に進入することはない。従って、導
電粒子133は、突条部139で一旦はせき止めること
ができても、溶融した樹脂分とともに、そこから流出し
てしまう。それ故、駆動用IC13と第2の透明基板2
との間で駆動用IC13の内側領域から外周側に流出し
ようとする異方性導電膜ACFの導電粒子133をバン
プ電極130と電極端子16との間に集めることができ
ない。
【0034】(バンプ電極130の別の表面構造)図1
0(A)、(B)は、本発明を適用した別の駆動用IC
13のバンプ電極130の平面図、およびB−B′断面
図である。
【0035】これらの図において、本形態の駆動用IC
13では、バンプ電極130の表面でV字形状の突条部
134が駆動用IC13の基板との実装面13aの内側
に両端部134bを向けており、この突条部134の内
側には導電粒子保持溝135が形成されている。ここ
で、導電粒子保持溝135の内部において、壁面135
aは駆動用IC13の実装面13aの内側に向いてい
る。また、いずれのバンプ電極130の表面にもこのよ
うな導電粒子保持溝135が形成されているので、IC
実装領域9を囲むように内側方向に壁面135aが向い
ている。
【0036】このように構成した駆動用IC13を実装
する際にも、図8を参照して説明したように、異方性導
電膜ACFを介しての熱圧着により電極端子16とバン
プ電極130とを電気的接続する。このとき、異方性導
電膜ACFは、矢印ADで示すように、樹脂分が溶融し
て導電粒子133が駆動用IC13と第2の透明基板2
との間で駆動用IC13の内側領域から外周側に流出し
ようとするが、外周側に流出しようとする導電粒子13
3は、導電粒子保持溝135の壁面135aで止めら
れ、導電粒子保持溝135内に集められる。従って、バ
ンプ電極130と電極端子16との間に多数の導電粒子
133を確保できるので、導電粒子133を減らした異
方性導電膜ACF(導電粒子分散性の低い異方性導電膜
ACF)を用いても、バンプ電極130と電極端子16
とを良好に電気的接続することができる。
【0037】なお、V字形状の突条部134に代えて、
U字形状やW字形状の突条部134を形成しても同様な
効果を得ることができる。
【0038】(バンプ電極130のさらに別の表面構
造)図11(A)、(B)は、本発明を適用した駆動用
IC13のバンプ電極130の平面図、およびC−C′
断面図である。
【0039】これらの図において、本形態の駆動用IC
13では、バンプ電極130の表面で駆動用IC13の
基板との実装面13aの内側に両端部136bを向けた
異なるサイズのU字形状の突条部136が内側から外側
にサイズの昇順に重なるように並んでおり、これらの突
条部136の各間には、複数の導電粒子保持溝137が
形成されている。いずれの導電粒子保持溝137も、内
側には、駆動用IC13の実装面13aの内側に向いた
壁面137aを有している。また、いずれのバンプ電極
130の表面にもこのような導電粒子保持溝137が形
成されているので、IC実装領域9を囲むように内側方
向に壁面137aが向いている。なお、突条部136
は、U字形状に限らず、V字形状に形成されることもあ
る。
【0040】このように構成した駆動用IC13を実装
する際にも、図8を参照して説明したように、異方性導
電膜ACFを介しての熱圧着により電極端子16とバン
プ電極130とを電気的接続する。このとき、異方性導
電膜ACFは、矢印ADで示すように、樹脂分が溶融し
て導電粒子133が駆動用IC13と第2の透明基板2
との間で駆動用IC13の内側領域から外周側に流出し
ようとするが、外周側に流出しようとする導電粒子13
3は、導電粒子保持溝137の壁面137aで止めら
れ、導電粒子保持溝137内に集められる。従って、バ
ンプ電極130と電極端子16との間に多数の導電粒子
133を確保できるので、導電粒子133を減らした異
方性導電膜ACF(導電粒子分散性の低い異方性導電膜
ACF)を用いても、バンプ電極130と電極端子16
とを良好に電気的接続することができる。
【0041】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、異方
性導電膜を介しての熱圧着により基板側の電極端子とI
C側のバンプ電極とを電気的接続する際に、ICと基板
との間で内側領域から外周側に流出しようとする導電粒
子を、バンプ電極の表面に形成した導電粒子保持溝で集
める。従って、本発明によれば、バンプ電極と電極端子
との間に多数の導電粒子を確保することができるので、
異方性導電膜に含まれる導電粒子を減らしてもバンプ電
極と電極端子とを良好に電気的接続することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、液晶表示装置の外観を示す斜視図であ
る。
【図2】図1に示す液晶表示装置の分解斜視図である。
【図3】図1に示す液晶表示装置の第2の透明基板への
駆動用ICの実装構造を模式的に示す縦断面図である。
【図4】図1に示す液晶表示装置の第1の透明基板に形
成した透明電極の配置パターンを示す平面図である。
【図5】図1に示す液晶表示装置の第2の透明基板に形
成した透明電極の配置パターンを示す平面図である。
【図6】図1に示す液晶表示装置において、第2の透明
基板に対する駆動用ICの実装部分の説明図である。
【図7】図6に示す駆動用ICに形成したバンプ電極の
配置を示す平面図である。
【図8】(A)、(B)、(C)は、第2の透明基板に
対する駆動用ICの実装工程を示す工程断面図である。
【図9】(A)、(B)はそれぞれ、本発明を適用した
駆動用ICのバンプ電極の平面図、およびそのA−A′
断面図である
【図10】(A)、(B)はそれぞれ、本発明を適用し
た別の駆動用ICのバンプ電極の平面図、およびそのB
−B′断面図である
【図11】(A)、(B)はそれぞれ、本発明を適用し
たさらに別の駆動用ICのバンプ電極の平面図、および
そのC−C′断面図である
【図12】(A)、(B)はそれぞれ、従来の駆動用I
Cのバンプ電極の平面図、およびそのE−E′断面図で
ある
【図13】(A)、(B)はそれぞれ、従来の別の駆動
用ICのバンプ電極の平面図、およびそのF−F′断面
図である
【符号の説明】
1 第1の透明基板 2 第2の透明基板 3 シール剤 4a、4b 偏光板 6、7 電極パターン(薄膜パターン) 6a、7a ストライプ状電極 6b、7b 配線パターン 9 IC実装領域 10 液晶表示装置 13 駆動用IC 16 電極端子 40 液晶封入領域 41 液晶 130 バンプ電極 131、134、136 バンプ電極表面の突条部 132、135、137 バンプ電極表面の導電粒子保
持溝 132a、135a、137a 導電粒子保持溝の壁面 133 異方性導電膜の導電粒子 ACF 異方性導電膜

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 導電粒子を含む異方性導電膜を介しての
    圧着により基板表面に設けられた電極端子に電気的接続
    される複数のバンプ電極を備える半導体チップにおい
    て、 前記電極端子と対向する前記バンプ電極の表面には、当
    該半導体チップの実装領域の内側方向に壁面を向ける導
    電粒子保持溝を備えていることを特徴とする半導体チッ
    プ。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記導電粒子保持溝
    は、前記バンプ電極の表面でチップの辺に沿って延びる
    複数条の突条部が並列していることにより当該突条部の
    間に形成された溝であることを特徴とする半導体チッ
    プ。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記導電粒子保持溝
    は、前記バンプ電極の表面でV字形状、U字形状若しく
    はW字形状の突条部が前記実装面の内側に両端部を向け
    ていることにより当該突条部の内側に形成された溝であ
    ることを特徴とする半導体チップ。
  4. 【請求項4】 請求項1において、前記導電粒子保持溝
    は、前記バンプ電極の表面で前記実装面の内側に両端部
    を向けた異なるサイズのU字形状あるいはV字形状の突
    条部がサイズの昇順に重なるように並んでいることによ
    り当該突条部の間に形成された溝であることを特徴とす
    る半導体チップ。
  5. 【請求項5】 請求項1ないし4のいずれかに規定する
    半導体チップを前記異方性導電膜を用いて前記基板に圧
    着したことを特徴とする半導体チップの実装構造。
  6. 【請求項6】 請求項5に規定する半導体チップの実装
    構造を用いた液晶表示装置であって、基板間に液晶が封
    入された液晶パネルを構成する2枚の基板のうちの少な
    くとも一方の基板に前記半導体チップが実装されている
    ことを特徴とする液晶表示装置。
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