JPH11294700A - ガス供給設備 - Google Patents
ガス供給設備Info
- Publication number
- JPH11294700A JPH11294700A JP10096269A JP9626998A JPH11294700A JP H11294700 A JPH11294700 A JP H11294700A JP 10096269 A JP10096269 A JP 10096269A JP 9626998 A JP9626998 A JP 9626998A JP H11294700 A JPH11294700 A JP H11294700A
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- JP
- Japan
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- control device
- gas
- gas supply
- controllers
- controller
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 制御装置等に異常が発生した場合でもガスの
供給を継続でき、作業員の負担も軽減できる安定したガ
ス供給を行えるガス供給設備を提供する。 【解決手段】 複数のガス供給装置（シリンダーキャビ
ネット１０）のコントローラー１１を接続ラインを介し
て制御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃにそれぞれ接続し、
通常の操作を各制御装置で行えるように形成する。さら
に、複数の制御装置を相互に接続して互いに監視し、異
常発生時のバックアップとする。
供給を継続でき、作業員の負担も軽減できる安定したガ
ス供給を行えるガス供給設備を提供する。 【解決手段】 複数のガス供給装置（シリンダーキャビ
ネット１０）のコントローラー１１を接続ラインを介し
て制御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃにそれぞれ接続し、
通常の操作を各制御装置で行えるように形成する。さら
に、複数の制御装置を相互に接続して互いに監視し、異
常発生時のバックアップとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス供給設備に関
し、特に、半導体デバイスの生産工程で使用する特殊材
料ガスや高純度窒素ガス等を供給するガス供給設備にお
ける制御システムに関する。
し、特に、半導体デバイスの生産工程で使用する特殊材
料ガスや高純度窒素ガス等を供給するガス供給設備にお
ける制御システムに関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】半導体
製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性，可燃性，腐
食性といった反応性に富んだ物性を有しているため、こ
のようなガスを充填したガス容器の保管やガスの使用に
あたっては、第一に安全に十分考慮する必要がある。
製造用の特殊材料ガスは、その大半が毒性，可燃性，腐
食性といった反応性に富んだ物性を有しているため、こ
のようなガスを充填したガス容器の保管やガスの使用に
あたっては、第一に安全に十分考慮する必要がある。
【０００３】上述のような特殊な材料ガスを供給する設
備として、例えば、特許第２５０１９１３号公報に記載
されているようなオートシリンダーボックス（シリンダ
ーキャビネット）が知られている。この設備は、安全性
を考慮したキャビネット内に２本の材料ガス容器と必要
に応じて設置されるパージガス用の容器とを収納し、前
記２本の材料ガス容器を交互に使用することにより連続
的に材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されて
おり、材料ガス容器を交換する際の残ガス放出やパージ
等の際の弁の開閉操作等を自動的に行うための制御装置
が設けられている。
備として、例えば、特許第２５０１９１３号公報に記載
されているようなオートシリンダーボックス（シリンダ
ーキャビネット）が知られている。この設備は、安全性
を考慮したキャビネット内に２本の材料ガス容器と必要
に応じて設置されるパージガス用の容器とを収納し、前
記２本の材料ガス容器を交互に使用することにより連続
的に材料ガスを供給できるように配管や弁が形成されて
おり、材料ガス容器を交換する際の残ガス放出やパージ
等の際の弁の開閉操作等を自動的に行うための制御装置
が設けられている。
【０００４】ところが、大量のガスを使用する工場等で
複数のシリンダーキャビネットを設置している場合、各
シリンダーキャビネットに付随する制御装置は、それぞ
れ個別に機能しているため、各制御装置に異常が発生し
た場合のバックアップ機能は用意されていなかった。こ
のため、制御装置の異常によってガスの供給が停止して
しまうおそれがあった。
複数のシリンダーキャビネットを設置している場合、各
シリンダーキャビネットに付随する制御装置は、それぞ
れ個別に機能しているため、各制御装置に異常が発生し
た場合のバックアップ機能は用意されていなかった。こ
のため、制御装置の異常によってガスの供給が停止して
しまうおそれがあった。
【０００５】また、ガス容器の交換時以外にも、各種作
業をシリンダーキャビネットの前面で行うことがあるた
め、有害なガスを供給している設備では、特別な注意を
払う必要があった。さらに、制御に関するソフトウェア
やデータの変更を行う際には、各制御装置毎に個別に行
う必要があり、多大な手間と時間とを必要としていた。
業をシリンダーキャビネットの前面で行うことがあるた
め、有害なガスを供給している設備では、特別な注意を
払う必要があった。さらに、制御に関するソフトウェア
やデータの変更を行う際には、各制御装置毎に個別に行
う必要があり、多大な手間と時間とを必要としていた。
【０００６】そこで本発明は、ガス供給設備における作
業員の負担を軽減するとともに、制御装置等に異常が発
生した場合でもガスの供給を継続でき、安定したガス供
給を行えるガス供給設備を提供することを目的としてい
る。
業員の負担を軽減するとともに、制御装置等に異常が発
生した場合でもガスの供給を継続でき、安定したガス供
給を行えるガス供給設備を提供することを目的としてい
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガス供給設備の第１の構成は、ガス容器内
のガスを使用先に供給するガス供給経路及びパージ経路
を備えるとともに、各経路に設けられた弁を所定の手順
で開閉させるコントローラーを備えたガス供給装置を複
数設置したガス供給設備であって、前記複数のガス供給
装置のコントローラーを接続ラインを介して制御装置に
接続し、各コントローラーを前記制御装置で制御可能に
形成したことを特徴としている。
め、本発明のガス供給設備の第１の構成は、ガス容器内
のガスを使用先に供給するガス供給経路及びパージ経路
を備えるとともに、各経路に設けられた弁を所定の手順
で開閉させるコントローラーを備えたガス供給装置を複
数設置したガス供給設備であって、前記複数のガス供給
装置のコントローラーを接続ラインを介して制御装置に
接続し、各コントローラーを前記制御装置で制御可能に
形成したことを特徴としている。
【０００８】また、第２の構成は、ガス容器内のガスを
使用先に供給する複数のガス供給設備にそれぞれ設けら
れた制御装置同士を相互に接続し、各制御装置が常時他
の制御装置の状態を監視するとともに、制御装置に異常
が発生した際には、他の制御装置が前記異常が発生した
制御装置の代行を行うように形成したことを特徴として
いる。
使用先に供給する複数のガス供給設備にそれぞれ設けら
れた制御装置同士を相互に接続し、各制御装置が常時他
の制御装置の状態を監視するとともに、制御装置に異常
が発生した際には、他の制御装置が前記異常が発生した
制御装置の代行を行うように形成したことを特徴として
いる。
【０００９】さらに、第３の構成は、ス容器内のガスを
使用先に供給するガス供給経路及びパージ経路を備える
とともに、各経路に設けられた弁を所定の手順で開閉さ
せるコントローラーを備えたガス供給装置と、複数の前
記ガス供給装置を一つのグループとし、該グループ内の
前記コントローラーを統括する制御装置とを設け、複数
のグループの前記制御装置を接続ラインを介して相互に
接続し、一つの制御装置が他の制御装置の状態を監視
し、他の制御装置に異常が発生した際には、該異常が発
生した他の制御装置が統括していたグループ内の前記コ
ントローラーの統括を、前記一つの制御装置が他の制御
装置に代わって行うように形成したことを特徴としてい
る。
使用先に供給するガス供給経路及びパージ経路を備える
とともに、各経路に設けられた弁を所定の手順で開閉さ
せるコントローラーを備えたガス供給装置と、複数の前
記ガス供給装置を一つのグループとし、該グループ内の
前記コントローラーを統括する制御装置とを設け、複数
のグループの前記制御装置を接続ラインを介して相互に
接続し、一つの制御装置が他の制御装置の状態を監視
し、他の制御装置に異常が発生した際には、該異常が発
生した他の制御装置が統括していたグループ内の前記コ
ントローラーの統括を、前記一つの制御装置が他の制御
装置に代わって行うように形成したことを特徴としてい
る。
【００１０】
【発明の実施の形態】図１は本発明のガス供給設備の一
形態例を示すブロック図である。このガス供給設備は、
多数のガス供給装置（シリンダーキャビネット）１０を
複数のグループＡ，Ｂ，Ｃに分割したものであって、各
シリンダーキャビネット１０，１０に設けられているコ
ントローラー１１，１１は、ケーブル１２，１２及びハ
ブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃを介して制御装置２０ａ，２
０ｂ，２０ｃにそれぞれ接続されている。
形態例を示すブロック図である。このガス供給設備は、
多数のガス供給装置（シリンダーキャビネット）１０を
複数のグループＡ，Ｂ，Ｃに分割したものであって、各
シリンダーキャビネット１０，１０に設けられているコ
ントローラー１１，１１は、ケーブル１２，１２及びハ
ブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃを介して制御装置２０ａ，２
０ｂ，２０ｃにそれぞれ接続されている。
【００１１】さらに、前記制御装置２０ａ，２０ｂ，２
０ｃは、ハブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃから、ケーブル２
２ａ，２２ｂ，２２ｃとハブ２３とを介して監視装置２
４に接続している。また、各コントローラー１１には、
携帯型制御装置２５の接続部がそれぞれ設けられてい
る。
０ｃは、ハブ２１ａ，２１ｂ，２１ｃから、ケーブル２
２ａ，２２ｂ，２２ｃとハブ２３とを介して監視装置２
４に接続している。また、各コントローラー１１には、
携帯型制御装置２５の接続部がそれぞれ設けられてい
る。
【００１２】前記シリンダーキャビネット１０内には、
収納したガス容器内のガスを使用先に供給するガス供給
経路や、各経路内のパージ等を行うためのパージ経路が
設けられるとともに、各経路を切換えるための複数の弁
やセンサー等が設けられている。
収納したガス容器内のガスを使用先に供給するガス供給
経路や、各経路内のパージ等を行うためのパージ経路が
設けられるとともに、各経路を切換えるための複数の弁
やセンサー等が設けられている。
【００１３】前記コントローラー１１には、各シリンダ
ーキャビネット１０内の弁を所定の手順で開閉するため
のプログラムや、ガスの漏洩等の異常を検出した際の処
理手順等のプログラムが格納されており、ガス容器交換
時のパージや異常対応処理等の操作は、このコントロー
ラー１１からの指令により行われる。また、各グループ
内のコントローラー１１は、前記ケーブル１２を介して
各グループの制御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃとネット
ワークを組んだ状態になっており、各コントローラー１
１の作動状態は、ケーブル１２を介して各制御装置２０
ａ，２０ｂ，２０ｃに伝達されている。さらに、各コン
トローラー１１内のプログラムやデータの変更は、各制
御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃから各グループ内のコン
トローラー１１に送信できるように形成されている。
ーキャビネット１０内の弁を所定の手順で開閉するため
のプログラムや、ガスの漏洩等の異常を検出した際の処
理手順等のプログラムが格納されており、ガス容器交換
時のパージや異常対応処理等の操作は、このコントロー
ラー１１からの指令により行われる。また、各グループ
内のコントローラー１１は、前記ケーブル１２を介して
各グループの制御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃとネット
ワークを組んだ状態になっており、各コントローラー１
１の作動状態は、ケーブル１２を介して各制御装置２０
ａ，２０ｂ，２０ｃに伝達されている。さらに、各コン
トローラー１１内のプログラムやデータの変更は、各制
御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃから各グループ内のコン
トローラー１１に送信できるように形成されている。
【００１４】すなわち、各グループ内のシリンダーキャ
ビネット１０は、各制御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃに
よってそれぞれ制御される状態になっており、ガス容器
の交換以外の通常の操作やデータの変更等は、各制御装
置２０ａ，２０ｂ，２０ｃから遠隔操作で行うことが可
能となっている。例えば、各制御装置では、各シリンダ
ーキャビネット１０における弁の開閉状態、ガスの圧
力、ガスの流れ、動作状態（ガス供給中，パージ中等）
といった情報を表示したり、弁の開閉状態や動作状態を
変更したりすることが可能となっている。また、コント
ローラー１１に格納されているガス容器交換時のパージ
回数の設定変更等も、この制御装置で行うことができる
ように形成されている。
ビネット１０は、各制御装置２０ａ，２０ｂ，２０ｃに
よってそれぞれ制御される状態になっており、ガス容器
の交換以外の通常の操作やデータの変更等は、各制御装
置２０ａ，２０ｂ，２０ｃから遠隔操作で行うことが可
能となっている。例えば、各制御装置では、各シリンダ
ーキャビネット１０における弁の開閉状態、ガスの圧
力、ガスの流れ、動作状態（ガス供給中，パージ中等）
といった情報を表示したり、弁の開閉状態や動作状態を
変更したりすることが可能となっている。また、コント
ローラー１１に格納されているガス容器交換時のパージ
回数の設定変更等も、この制御装置で行うことができる
ように形成されている。
【００１５】前述のように、複数のシリンダーキャビネ
ット１０におけるそれぞれの弁の開閉等のソフトウェア
やデータを、それぞれのコントローラー１１内に格納し
ておくことにより、ガス容器交換時のパージ操作等を各
シリンダーキャビネット１０が個別に行うので、制御装
置は、通常の操作においては、各シリンダーキャビネッ
ト１０におけるガス残量の把握、ガス供給を行うシリン
ダーキャビネット１０の切換え等を行うだけでよく、負
担が軽減するだけでなく、グループ内のシリンダーキャ
ビネット１０の設置数を増減する場合でも容易に対応す
ることができる。
ット１０におけるそれぞれの弁の開閉等のソフトウェア
やデータを、それぞれのコントローラー１１内に格納し
ておくことにより、ガス容器交換時のパージ操作等を各
シリンダーキャビネット１０が個別に行うので、制御装
置は、通常の操作においては、各シリンダーキャビネッ
ト１０におけるガス残量の把握、ガス供給を行うシリン
ダーキャビネット１０の切換え等を行うだけでよく、負
担が軽減するだけでなく、グループ内のシリンダーキャ
ビネット１０の設置数を増減する場合でも容易に対応す
ることができる。
【００１６】また、各シリンダーキャビネット１０から
のガス供給を制御装置から指示することができ、複数本
のガス容器から同時にガス供給を行うこともできるの
で、大量のガス供給にも容易に対応できる。さらに、一
つのシリンダーキャビネット１０に異常が発生した場
合、このシリンダーキャビネット１０に代えてグループ
内の同一種類のガスを供給する他のシリンダーキャビネ
ット１０から直ちにガス供給を開始することができるの
で、ガス供給が途絶えることがなくなり、安定した状態
でガス供給を行うことができる。しかも、ガス容器の交
換時や異常発生時以外は、シリンダーキャビネット１０
の前面で作業を行う必要がないため、作業員の負担を大
幅に軽減することができる。
のガス供給を制御装置から指示することができ、複数本
のガス容器から同時にガス供給を行うこともできるの
で、大量のガス供給にも容易に対応できる。さらに、一
つのシリンダーキャビネット１０に異常が発生した場
合、このシリンダーキャビネット１０に代えてグループ
内の同一種類のガスを供給する他のシリンダーキャビネ
ット１０から直ちにガス供給を開始することができるの
で、ガス供給が途絶えることがなくなり、安定した状態
でガス供給を行うことができる。しかも、ガス容器の交
換時や異常発生時以外は、シリンダーキャビネット１０
の前面で作業を行う必要がないため、作業員の負担を大
幅に軽減することができる。
【００１７】さらに、本発明では、前記複数の制御装置
２０ａ，２０ｂ，２０ｃをそれぞれケーブル２２ａ，２
２ｂ，２２ｃを介して接続し、各制御装置２０ａ，２０
ｂ，２０ｃがそれぞれ他の制御装置を監視するように形
成するとともに、一つの制御装置に異常が発生した際に
は、この制御装置を監視している他の制御装置が、この
制御装置で制御していたシリンダーキャビネット１０
（コントローラー１１）の制御や監視を代行し、ガス供
給をそのまま継続できるようにしている。
２０ａ，２０ｂ，２０ｃをそれぞれケーブル２２ａ，２
２ｂ，２２ｃを介して接続し、各制御装置２０ａ，２０
ｂ，２０ｃがそれぞれ他の制御装置を監視するように形
成するとともに、一つの制御装置に異常が発生した際に
は、この制御装置を監視している他の制御装置が、この
制御装置で制御していたシリンダーキャビネット１０
（コントローラー１１）の制御や監視を代行し、ガス供
給をそのまま継続できるようにしている。
【００１８】例えば、第１の制御装置２０ａを第２の制
御装置２０ｂが監視し、第２の制御装置２０ｂを第３の
制御装置２０ｃが監視し、第３の制御装置２０ｃを第１
の制御装置２０ａが監視するように設定する。このと
き、第２の制御装置２０ｂには、第１の制御装置２０ａ
の状態が入力されており、例えば、１秒毎にその情報が
書替えられる状態となっている。
御装置２０ｂが監視し、第２の制御装置２０ｂを第３の
制御装置２０ｃが監視し、第３の制御装置２０ｃを第１
の制御装置２０ａが監視するように設定する。このと
き、第２の制御装置２０ｂには、第１の制御装置２０ａ
の状態が入力されており、例えば、１秒毎にその情報が
書替えられる状態となっている。
【００１９】そして、第１の制御装置２０ａからの情報
の入力がなかった場合は、その時点で第１の制御装置２
０ａに異常が発生したと判断し、第２の制御装置２０ｂ
に記憶されている最新の情報に基づいて第１のグループ
Ａに属しているシリンダーキャビネット１０の制御や監
視を行うようにする。これにより、グループＡに属して
いる各シリンダーキャビネット１０は、第２の制御装置
２０ｂにより制御されて通常通り作動するので、グルー
プＡの各シリンダーキャビネット１０からのガス供給を
そのまま継続することができる。
の入力がなかった場合は、その時点で第１の制御装置２
０ａに異常が発生したと判断し、第２の制御装置２０ｂ
に記憶されている最新の情報に基づいて第１のグループ
Ａに属しているシリンダーキャビネット１０の制御や監
視を行うようにする。これにより、グループＡに属して
いる各シリンダーキャビネット１０は、第２の制御装置
２０ｂにより制御されて通常通り作動するので、グルー
プＡの各シリンダーキャビネット１０からのガス供給を
そのまま継続することができる。
【００２０】また、前記監視装置２４は、制御装置２０
ａ，２０ｂ，２０ｃの動作を監視するためのものであっ
て、各制御装置が制御している各シリンダーキャビネッ
ト１０の状態も監視できるように形成されている。した
がって、通常の状態では、この監視装置２４を作業員が
監視するだけでガス供給設備全体の状況を把握すること
ができる。
ａ，２０ｂ，２０ｃの動作を監視するためのものであっ
て、各制御装置が制御している各シリンダーキャビネッ
ト１０の状態も監視できるように形成されている。した
がって、通常の状態では、この監視装置２４を作業員が
監視するだけでガス供給設備全体の状況を把握すること
ができる。
【００２１】しかも、各ケーブルをスター結線により接
続しているので、１本のケーブルが切断したときでも、
該ケーブルが接続したシリンダーキャビネットだけが停
止状態となるだけであり、他のシリンダーキャビネット
の運転には全く影響を与えることがないので、ガス供給
が停止することはなく、安定したガス供給を継続するこ
とができる。
続しているので、１本のケーブルが切断したときでも、
該ケーブルが接続したシリンダーキャビネットだけが停
止状態となるだけであり、他のシリンダーキャビネット
の運転には全く影響を与えることがないので、ガス供給
が停止することはなく、安定したガス供給を継続するこ
とができる。
【００２２】さらに、前記携帯型制御装置２５は、該携
帯型制御装置２５を接続したシリンダーキャビネット１
０のコントローラー１１に対してのみ、前記制御装置と
同様の監視や制御あるいはプログラム，データの書替え
を行えるように形成されており、例えば、弁の点検や交
換等の保守作業を行う場合、異常発生時の処理等の場合
に使用する。また、この携帯型制御装置２５は、前記制
御装置よりも優先順位が高く、これを接続したシリンダ
ーキャビネット１０に対しては、前記制御装置からの制
御操作が行えないように設定されている。
帯型制御装置２５を接続したシリンダーキャビネット１
０のコントローラー１１に対してのみ、前記制御装置と
同様の監視や制御あるいはプログラム，データの書替え
を行えるように形成されており、例えば、弁の点検や交
換等の保守作業を行う場合、異常発生時の処理等の場合
に使用する。また、この携帯型制御装置２５は、前記制
御装置よりも優先順位が高く、これを接続したシリンダ
ーキャビネット１０に対しては、前記制御装置からの制
御操作が行えないように設定されている。
【００２３】なお、シリンダーキャビネットの設置数は
任意であり、グループ数も任意に設定することが可能で
ある。
任意であり、グループ数も任意に設定することが可能で
ある。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス供給
設備によれば、ガス供給を安定した状態で行うことがで
き、作業員の負担も大幅に軽減することができる。ま
た、ガス供給量の変更にも容易に対応することができ
る。
設備によれば、ガス供給を安定した状態で行うことがで
き、作業員の負担も大幅に軽減することができる。ま
た、ガス供給量の変更にも容易に対応することができ
る。
【図１】 本発明のガス供給設備の一形態例を示すブロ
ック図である。
ック図である。
１０…シリンダーキャビネット、１１…コントローラ
ー、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ…制御装置、２４…監視装
置、２５…携帯型制御装置
ー、２０ａ，２０ｂ，２０ｃ…制御装置、２４…監視装
置、２５…携帯型制御装置
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス容器内のガスを使用先に供給するガ
ス供給経路及びパージ経路を備えるとともに、各経路に
設けられた弁を所定の手順で開閉させるコントローラー
を備えたガス供給装置を複数設置したガス供給設備であ
って、前記複数のガス供給装置のコントローラーを接続
ラインを介して制御装置に接続し、各コントローラーを
前記制御装置で制御可能に形成したことを特徴とするガ
ス供給設備。 - 【請求項２】 ガス容器内のガスを使用先に供給する複
数のガス供給設備にそれぞれ設けられた制御装置同士を
相互に接続し、各制御装置が常時他の制御装置の状態を
監視するとともに、制御装置に異常が発生した際には、
他の制御装置が前記異常が発生した制御装置の代行を行
うように形成したことを特徴とするガス供給設備。 - 【請求項３】 ガス容器内のガスを使用先に供給するガ
ス供給経路及びパージ経路を備えるとともに、各経路に
設けられた弁を所定の手順で開閉させるコントローラー
を備えたガス供給装置と、複数の前記ガス供給装置を一
つのグループとし、該グループ内の前記コントローラー
を統括する制御装置とを設け、複数のグループの前記制
御装置を接続ラインを介して相互に接続し、一つの制御
装置が他の制御装置の状態を監視し、他の制御装置に異
常が発生した際には、該異常が発生した他の制御装置が
統括していたグループ内の前記コントローラーの統括
を、前記一つの制御装置が他の制御装置に代わって行う
ように形成したことを特徴とするガス供給設備。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10096269A JPH11294700A (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ガス供給設備 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10096269A JPH11294700A (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ガス供給設備 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11294700A true JPH11294700A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14160443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10096269A Pending JPH11294700A (ja) | 1998-04-08 | 1998-04-08 | ガス供給設備 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11294700A (ja) |
Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS63206099A (ja) * | 1987-02-12 | 1988-08-25 | マイテル・コーポレーション | ビルディング内の分散機能の監視制御システム |
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| JPH07115423A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-05-02 | Hitachi Ltd | 伝送制御方式 |
-
1998
- 1998-04-08 JP JP10096269A patent/JPH11294700A/ja active Pending
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