JPH11286653A - 強誘電体薄膜形成用前駆体溶液およびその製造方法 - Google Patents
強誘電体薄膜形成用前駆体溶液およびその製造方法Info
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- JPH11286653A JPH11286653A JP10105484A JP10548498A JPH11286653A JP H11286653 A JPH11286653 A JP H11286653A JP 10105484 A JP10105484 A JP 10105484A JP 10548498 A JP10548498 A JP 10548498A JP H11286653 A JPH11286653 A JP H11286653A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ゾル−ゲル法を用いて強誘電体薄膜を形成す
る場合に、多層塗布を行わずに1回だけの塗布操作によ
り、特性を発揮させるのに必要な程度の膜厚の薄膜を形
成することが可能である塗布液を調製できる前駆体溶液
が得られる方法を提供する。 【解決手段】 Tiアルコキシドの加水分解・重縮合に
よって環状構造もしくはラダー構造を有するTiアルコ
キシドオリゴマーを合成し、Zrアルコキシドの加水分
解・重縮合によってZrアルコキシドオリゴマーを合成
した後、Tiアルコキシドオリゴマーを予備加水分解さ
せ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反応させてT
i−O−Zr前駆体を得て、Ti−O−Zr前駆体とP
bアルコキシドとを反応させてPb(Ti−O−Zr)
前駆体を得る。
る場合に、多層塗布を行わずに1回だけの塗布操作によ
り、特性を発揮させるのに必要な程度の膜厚の薄膜を形
成することが可能である塗布液を調製できる前駆体溶液
が得られる方法を提供する。 【解決手段】 Tiアルコキシドの加水分解・重縮合に
よって環状構造もしくはラダー構造を有するTiアルコ
キシドオリゴマーを合成し、Zrアルコキシドの加水分
解・重縮合によってZrアルコキシドオリゴマーを合成
した後、Tiアルコキシドオリゴマーを予備加水分解さ
せ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反応させてT
i−O−Zr前駆体を得て、Ti−O−Zr前駆体とP
bアルコキシドとを反応させてPb(Ti−O−Zr)
前駆体を得る。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、PZT(Pb
(Zr,Ti)O3)やPLZT系(PbO−La2O3
−ZrO2−TiO2)のように鉛を含有したペロブスカ
イト型構造を有する複合酸化物からなる強誘電体薄膜を
形成するために使用される強誘電体薄膜形成用前駆体溶
液、ならびに、その前駆体溶液を製造するための方法に
関する。
(Zr,Ti)O3)やPLZT系(PbO−La2O3
−ZrO2−TiO2)のように鉛を含有したペロブスカ
イト型構造を有する複合酸化物からなる強誘電体薄膜を
形成するために使用される強誘電体薄膜形成用前駆体溶
液、ならびに、その前駆体溶液を製造するための方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】PZTなどのペロブスカイト系薄膜は、
高誘電率ないしは強誘電性を示し、特に優れたP−Eヒ
ステリシス特性を利用して、不揮発性の次世代メモリと
して注目されているFRAMの心臓部として用いられて
いる。通常、PZTは、スパッタ法やCVD法などの気
相成膜法、あるいはゾル−ゲル法などのような液相成膜
法で作製される。気相成膜法は、複合ペロブスカイトの
ような多成分系の薄膜の形成については、均一性の確保
に関して難点がある。一方、ゾル−ゲル法は、出発原料
が液相であるので、ペロブスカイト系薄膜の形成におい
て高い均一性が得られる。
高誘電率ないしは強誘電性を示し、特に優れたP−Eヒ
ステリシス特性を利用して、不揮発性の次世代メモリと
して注目されているFRAMの心臓部として用いられて
いる。通常、PZTは、スパッタ法やCVD法などの気
相成膜法、あるいはゾル−ゲル法などのような液相成膜
法で作製される。気相成膜法は、複合ペロブスカイトの
ような多成分系の薄膜の形成については、均一性の確保
に関して難点がある。一方、ゾル−ゲル法は、出発原料
が液相であるので、ペロブスカイト系薄膜の形成におい
て高い均一性が得られる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ゾル−ゲル法を用いて
形成したPZT薄膜は、FRAMとしての特性を発揮さ
せるためには2,500Å程度の膜厚が必要とされる。
しかしながら、現在入手し得る塗布液では、1回の塗布
操作で400Å〜500Å程度の膜厚の薄膜しか得られ
ない。このため、2,500Å程度の膜厚のPZT薄膜
を得ようとすると、従来は、塗布操作を5〜6回繰り返
して多層塗布を行う必要があった。ところが、多層塗布
は、製造プロセスの繁雑化と周辺材料への熱的ダメージ
をもたらす、といった問題点がある。
形成したPZT薄膜は、FRAMとしての特性を発揮さ
せるためには2,500Å程度の膜厚が必要とされる。
しかしながら、現在入手し得る塗布液では、1回の塗布
操作で400Å〜500Å程度の膜厚の薄膜しか得られ
ない。このため、2,500Å程度の膜厚のPZT薄膜
を得ようとすると、従来は、塗布操作を5〜6回繰り返
して多層塗布を行う必要があった。ところが、多層塗布
は、製造プロセスの繁雑化と周辺材料への熱的ダメージ
をもたらす、といった問題点がある。
【0004】この発明は、以上のような事情に鑑みてな
されたものであり、PZTやPLZTのように鉛含有ペ
ロブスカイト系強誘電体薄膜を、ゾル−ゲル法を用いて
形成する場合に、多層塗布を行わなくても、1回だけの
塗布操作により、特性を発揮させるのに必要な程度の膜
厚の薄膜を形成することが可能である塗布液を得ること
ができる強誘電体薄膜形成用前駆体溶液を提供するこ
と、ならびに、その前駆体溶液を製造するための方法を
提供することを目的とする。
されたものであり、PZTやPLZTのように鉛含有ペ
ロブスカイト系強誘電体薄膜を、ゾル−ゲル法を用いて
形成する場合に、多層塗布を行わなくても、1回だけの
塗布操作により、特性を発揮させるのに必要な程度の膜
厚の薄膜を形成することが可能である塗布液を得ること
ができる強誘電体薄膜形成用前駆体溶液を提供するこ
と、ならびに、その前駆体溶液を製造するための方法を
提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に係る発明は、
チタンアルコキシド(Tiアルコキシド)の加水分解・
重縮合によって得られるTiアルコキシドオリゴマー、
および、ジルコニウムアルコキシド(Zrアルコキシ
ド)の加水分解・重縮合によって得られるZrアルコキ
シドオリゴマー、ならびに、鉛アルコキシド(Pbアル
コキシド)を原料として得られ、ペロブスカイト系強誘
電体薄膜を形成するための前駆体溶液において、前記T
iアルコキシドオリゴマーが環状構造もしくはラダー構
造(はしご形構造)を有したものであることを特徴とす
る。
チタンアルコキシド(Tiアルコキシド)の加水分解・
重縮合によって得られるTiアルコキシドオリゴマー、
および、ジルコニウムアルコキシド(Zrアルコキシ
ド)の加水分解・重縮合によって得られるZrアルコキ
シドオリゴマー、ならびに、鉛アルコキシド(Pbアル
コキシド)を原料として得られ、ペロブスカイト系強誘
電体薄膜を形成するための前駆体溶液において、前記T
iアルコキシドオリゴマーが環状構造もしくはラダー構
造(はしご形構造)を有したものであることを特徴とす
る。
【0006】請求項2に係る発明は、請求項1記載の前
駆体溶液において、Pbアルコキシド原料の一部がカル
ボン酸残基および/またはアミノアルコール残基を有し
たものであることを特徴とする。
駆体溶液において、Pbアルコキシド原料の一部がカル
ボン酸残基および/またはアミノアルコール残基を有し
たものであることを特徴とする。
【0007】請求項3に係る発明は、Tiアルコキシド
の加水分解・重縮合によってTiアルコキシドオリゴマ
ーを合成する工程と、Zrアルコキシドの加水分解・重
縮合によってZrアルコキシドオリゴマーを合成する工
程と、Tiアルコキシドオリゴマーを予備加水分解さ
せ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反応させてT
i−O−Zr前駆体を得る工程、Ti−O−Zr前駆体
とPbアルコキシドとを反応させてPb(Ti−O−Z
r)前駆体を得る工程とからなる強誘電体薄膜形成用前
駆体溶液の製造方法において、Tiアルコキシドの加水
分解・重縮合によって環状構造もしくはラダー構造を有
するTiアルコキシドオリゴマーを合成することを特徴
とする。
の加水分解・重縮合によってTiアルコキシドオリゴマ
ーを合成する工程と、Zrアルコキシドの加水分解・重
縮合によってZrアルコキシドオリゴマーを合成する工
程と、Tiアルコキシドオリゴマーを予備加水分解さ
せ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反応させてT
i−O−Zr前駆体を得る工程、Ti−O−Zr前駆体
とPbアルコキシドとを反応させてPb(Ti−O−Z
r)前駆体を得る工程とからなる強誘電体薄膜形成用前
駆体溶液の製造方法において、Tiアルコキシドの加水
分解・重縮合によって環状構造もしくはラダー構造を有
するTiアルコキシドオリゴマーを合成することを特徴
とする。
【0008】請求項4に係る発明は、請求項3記載の製
造方法において、Tiアルコキシドオリゴマーおよび/
またはZrアルコキシドを加水分解・重縮合する際に、
反応溶媒として極性溶媒と非極性溶媒とを適当に組み合
わせたものを使用することにより、Tiアルコキシドオ
リゴマーおよび/またはZrアルコキシドオリゴマーの
分子量を調整することを特徴とする。
造方法において、Tiアルコキシドオリゴマーおよび/
またはZrアルコキシドを加水分解・重縮合する際に、
反応溶媒として極性溶媒と非極性溶媒とを適当に組み合
わせたものを使用することにより、Tiアルコキシドオ
リゴマーおよび/またはZrアルコキシドオリゴマーの
分子量を調整することを特徴とする。
【0009】請求項5に係る発明は、請求項3または請
求項4記載の製造方法において、Tiアルコキシドおよ
び/またはZrアルコキシドの加水分解・重縮合反応
を、安定化配位子を加えないでマイナス10℃以下の低
温で進行させることを特徴とする。
求項4記載の製造方法において、Tiアルコキシドおよ
び/またはZrアルコキシドの加水分解・重縮合反応
を、安定化配位子を加えないでマイナス10℃以下の低
温で進行させることを特徴とする。
【0010】請求項6に係る発明は、請求項3ないし請
求項5のいずれかに記載の製造方法において、Pbアル
コキシド原料の一部がカルボン酸残基および/またはア
ミノアルコール残基を有したものであることを特徴とす
る。
求項5のいずれかに記載の製造方法において、Pbアル
コキシド原料の一部がカルボン酸残基および/またはア
ミノアルコール残基を有したものであることを特徴とす
る。
【0011】請求項1に係る発明の前駆体溶液は、環状
構造もしくはラダー構造を有したTiアルコキシドオリ
ゴマーを原料として得られるので、規則的な構造を有
し、このため、金属酸化物濃度が40%以上となるよう
に前駆体溶液を濃縮しても、金属酸化物が析出しない。
したがって、この前駆体溶液からは、1回だけの塗布操
作により必要な程度の膜厚の薄膜を形成することが可能
である高濃度の塗布液を得ることができる。また、シク
ロヘキサノールなどを溶媒に用いることで、40cps
以上の高粘度の塗布液が得られる。
構造もしくはラダー構造を有したTiアルコキシドオリ
ゴマーを原料として得られるので、規則的な構造を有
し、このため、金属酸化物濃度が40%以上となるよう
に前駆体溶液を濃縮しても、金属酸化物が析出しない。
したがって、この前駆体溶液からは、1回だけの塗布操
作により必要な程度の膜厚の薄膜を形成することが可能
である高濃度の塗布液を得ることができる。また、シク
ロヘキサノールなどを溶媒に用いることで、40cps
以上の高粘度の塗布液が得られる。
【0012】請求項2に係る発明の前駆体溶液は、Pb
アルコキシド原料の一部がカルボン酸残基および/また
はアミノアルコール残基を有したものであるので、前駆
体分子の溶解度が改善され、高濃度に濃縮した場合で
も、析出が起こるのを防止することができる。
アルコキシド原料の一部がカルボン酸残基および/また
はアミノアルコール残基を有したものであるので、前駆
体分子の溶解度が改善され、高濃度に濃縮した場合で
も、析出が起こるのを防止することができる。
【0013】請求項3に係る発明の前駆体溶液の製造方
法によると、Tiアルコキシドの加水分解・重縮合によ
って環状構造もしくはラダー構造を有するTiアルコキ
シドオリゴマーが合成されるので、そのオリゴマーから
得られる前駆体溶液は、規則的な構造を有し、このた
め、金属酸化物濃度が40%以上となるように前駆体溶
液を濃縮しても、金属酸化物が析出しない。したがっ
て、この方法により製造された前駆体溶液からは、1回
だけの塗布操作により必要な程度の膜厚の薄膜を形成す
ることが可能である高濃度の塗布液を得ることができ
る。また、シクロヘキサノールなどを溶媒に用いること
で、40cps以上の高粘度の塗布液が得られる。
法によると、Tiアルコキシドの加水分解・重縮合によ
って環状構造もしくはラダー構造を有するTiアルコキ
シドオリゴマーが合成されるので、そのオリゴマーから
得られる前駆体溶液は、規則的な構造を有し、このた
め、金属酸化物濃度が40%以上となるように前駆体溶
液を濃縮しても、金属酸化物が析出しない。したがっ
て、この方法により製造された前駆体溶液からは、1回
だけの塗布操作により必要な程度の膜厚の薄膜を形成す
ることが可能である高濃度の塗布液を得ることができ
る。また、シクロヘキサノールなどを溶媒に用いること
で、40cps以上の高粘度の塗布液が得られる。
【0014】請求項4に係る発明の製造方法によると、
Tiアルコキシドオリゴマーおよび/またはZrアルコ
キシドを加水分解・重縮合する際に、Tiアルコキシド
オリゴマーおよび/またはZrアルコキシドオリゴマー
の分子量が調整される。
Tiアルコキシドオリゴマーおよび/またはZrアルコ
キシドを加水分解・重縮合する際に、Tiアルコキシド
オリゴマーおよび/またはZrアルコキシドオリゴマー
の分子量が調整される。
【0015】請求項5に係る発明の製造方法によると、
Tiアルコキシドおよび/またはZrアルコキシドの加
水分解・重縮合反応がマイナス10℃以下の低温で進行
するので、安定化配位子を加えなくても、反応速度が抑
制され、このため、均質な成膜が可能であるような均質
な前駆体溶液を調製することができる。
Tiアルコキシドおよび/またはZrアルコキシドの加
水分解・重縮合反応がマイナス10℃以下の低温で進行
するので、安定化配位子を加えなくても、反応速度が抑
制され、このため、均質な成膜が可能であるような均質
な前駆体溶液を調製することができる。
【0016】請求項6に係る発明の製造方法によると、
Pbアルコキシド原料の一部がカルボン酸残基および/
またはアミノアルコール残基を有したものであるので、
前駆体の溶解度が改善される。
Pbアルコキシド原料の一部がカルボン酸残基および/
またはアミノアルコール残基を有したものであるので、
前駆体の溶解度が改善される。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、この発明の好適な実施形態
について説明する。
について説明する。
【0018】この発明に係る強誘電体薄膜形成用前駆体
溶液の製造方法では、まず、Tiアルコキシドを出発原
料として、Tiアルコキシドを含む溶液を加水分解・重
縮合させ、環状構造もしくはラダー構造を有するTiア
ルコキシドオリゴマーを合成し、また、Zrアルコキシ
ドを出発原料として、Zrアルコキシドを含む溶液を加
水分解・重縮合させてZrアルコキシドオリゴマーを合
成する。TiアルコキシドおよびZrアルコキシドの各
アルコキシル基の炭素数は特に限定されないが、普通に
はそれぞれアルコキシル基の炭素数が1〜5のものが使
用され、より好ましくは、それぞれアルコキシル基の炭
素数が2〜4のものが使用される。また、使用される溶
媒としては、アルコキシド原料および加水分解に用いる
水がそれぞれ可溶であって、水を添加する温度で凝固し
ないものであれば、単一溶媒でも混合溶媒でもよく、特
に限定されないが、極性溶媒としては、水を添加する温
度域での粘度、除去の容易さなどから、炭素数1〜3の
アルコールであるメタノール、エタノール、プロパノー
ルが好ましい。また、極性溶媒と非極性溶媒との組合せ
でも構わない。例えば、Tiアルコキシドを安定化配位
子の非存在下において、アルコールなどの極性溶媒中で
加水分解を行い、環状3量体あるいはラダー構造のオリ
ゴマーを合成する。また、Zrアルコキシドの加水分解
を、トルエンなどの非極性溶媒とアルコールなどの極性
溶媒とを任意の割合で混合したものを反応溶媒として行
い、これによりオリゴマーの重合度を制御する。また、
Tiアルコキシドおよび/またはZrアルコキシドのそ
れぞれの加水分解・重縮合反応をマイナス10℃以下の
低温、例えばマイナス60℃程度で進行させるようにし
てもよい。このようにアルコキシドの加水分解・重縮合
反応を低温で行うことにより、安定化配位子を加えてア
ルコキシドを安定させるようにしなくても、反応速度が
抑制され、均質な前駆体溶液が調製される。
溶液の製造方法では、まず、Tiアルコキシドを出発原
料として、Tiアルコキシドを含む溶液を加水分解・重
縮合させ、環状構造もしくはラダー構造を有するTiア
ルコキシドオリゴマーを合成し、また、Zrアルコキシ
ドを出発原料として、Zrアルコキシドを含む溶液を加
水分解・重縮合させてZrアルコキシドオリゴマーを合
成する。TiアルコキシドおよびZrアルコキシドの各
アルコキシル基の炭素数は特に限定されないが、普通に
はそれぞれアルコキシル基の炭素数が1〜5のものが使
用され、より好ましくは、それぞれアルコキシル基の炭
素数が2〜4のものが使用される。また、使用される溶
媒としては、アルコキシド原料および加水分解に用いる
水がそれぞれ可溶であって、水を添加する温度で凝固し
ないものであれば、単一溶媒でも混合溶媒でもよく、特
に限定されないが、極性溶媒としては、水を添加する温
度域での粘度、除去の容易さなどから、炭素数1〜3の
アルコールであるメタノール、エタノール、プロパノー
ルが好ましい。また、極性溶媒と非極性溶媒との組合せ
でも構わない。例えば、Tiアルコキシドを安定化配位
子の非存在下において、アルコールなどの極性溶媒中で
加水分解を行い、環状3量体あるいはラダー構造のオリ
ゴマーを合成する。また、Zrアルコキシドの加水分解
を、トルエンなどの非極性溶媒とアルコールなどの極性
溶媒とを任意の割合で混合したものを反応溶媒として行
い、これによりオリゴマーの重合度を制御する。また、
Tiアルコキシドおよび/またはZrアルコキシドのそ
れぞれの加水分解・重縮合反応をマイナス10℃以下の
低温、例えばマイナス60℃程度で進行させるようにし
てもよい。このようにアルコキシドの加水分解・重縮合
反応を低温で行うことにより、安定化配位子を加えてア
ルコキシドを安定させるようにしなくても、反応速度が
抑制され、均質な前駆体溶液が調製される。
【0019】次に、Tiアルコキシドオリゴマーを予備
加水分解させ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反
応させてTi−O−Zr前駆体を調製する。そして、T
i−O−Zr前駆体とPbアルコキシドとを反応させて
Pb(Ti−O−Zr)前駆体溶液を得る。Pbアルコ
キシド原料の一部は、カルボン酸残基および/または少
なくとも1つのアミノアルコール残基を含むPbアルコ
キシド化合物であることが好ましい。
加水分解させ、それをZrアルコキシドオリゴマーと反
応させてTi−O−Zr前駆体を調製する。そして、T
i−O−Zr前駆体とPbアルコキシドとを反応させて
Pb(Ti−O−Zr)前駆体溶液を得る。Pbアルコ
キシド原料の一部は、カルボン酸残基および/または少
なくとも1つのアミノアルコール残基を含むPbアルコ
キシド化合物であることが好ましい。
【0020】得られた前駆体溶液は、適当な濃度に濃縮
されて、強誘電体薄膜を形成するための塗布液として使
用される。また、前駆体溶液に溶媒を加えて塗布液が調
製される。ここで、従来から知られている方法により調
製された前駆体溶液は、金属酸化物の溶解性に劣るた
め、金属酸化物濃度が10%程度になるまで濃縮する
と、沈殿物の析出が始まり、調製された塗布液は、塗布
性能が著しく劣ることになる。これに対し、上記した製
造方法で得られるこの発明に係る前駆体溶液は、金属酸
化物濃度が20〜40%以上となるように濃縮しても、
沈殿物の析出は起こらない。したがって、この前駆体溶
液からは、1回の塗布操作によって2,500Å程度の
膜厚の薄膜を得ることができるような高い金属酸化物濃
度の塗布液が得られる。また、シクロヘキサノールなど
を溶媒に用いることで、40cps以上の高粘度の塗布
液が得られる。
されて、強誘電体薄膜を形成するための塗布液として使
用される。また、前駆体溶液に溶媒を加えて塗布液が調
製される。ここで、従来から知られている方法により調
製された前駆体溶液は、金属酸化物の溶解性に劣るた
め、金属酸化物濃度が10%程度になるまで濃縮する
と、沈殿物の析出が始まり、調製された塗布液は、塗布
性能が著しく劣ることになる。これに対し、上記した製
造方法で得られるこの発明に係る前駆体溶液は、金属酸
化物濃度が20〜40%以上となるように濃縮しても、
沈殿物の析出は起こらない。したがって、この前駆体溶
液からは、1回の塗布操作によって2,500Å程度の
膜厚の薄膜を得ることができるような高い金属酸化物濃
度の塗布液が得られる。また、シクロヘキサノールなど
を溶媒に用いることで、40cps以上の高粘度の塗布
液が得られる。
【0021】
【実施例】次に、この発明を具体的に適用した実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【0022】〔実施例1〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
【0023】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
【0024】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
【0025】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0026】[Pbアルコキシド原料の添加]Pb2−
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
【0027】〔実施例2〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを100mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。得られた溶液を、ドライアイス/メタノ
ールコールドバスを用いてマイナス60℃の温度に冷却
させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1モル
(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水イソ
プロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マイク
ロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。この
際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラスコ
内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱によ
り、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自然冷
却させる。得られた溶液をA液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを100mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。得られた溶液を、ドライアイス/メタノ
ールコールドバスを用いてマイナス60℃の温度に冷却
させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1モル
(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水イソ
プロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マイク
ロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。この
際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラスコ
内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱によ
り、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自然冷
却させる。得られた溶液をA液とする。
【0028】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
【0029】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
【0030】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0031】[Pbアルコキシド原料の添加]Pb2−
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
【0032】〔実施例3〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水トルエンに溶解させる。
別の容器に0.001Nの塩酸水0.1モル(1.80
g)を分取し、それを500mlの脱水トルエンで希釈
し、得られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いて
フラスコ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4ml/
min前後とする。フラスコ内の溶液を混合させた後、
オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を8時間還流
させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得られた溶液を
A液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水トルエンに溶解させる。
別の容器に0.001Nの塩酸水0.1モル(1.80
g)を分取し、それを500mlの脱水トルエンで希釈
し、得られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いて
フラスコ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4ml/
min前後とする。フラスコ内の溶液を混合させた後、
オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を8時間還流
させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得られた溶液を
A液とする。
【0033】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水ト
ルエンに溶解させる。また、0.2モル(20.02
g)のアセチルアセトンを100mlの脱水トルエンに
溶解させ、この溶液をフラスコ内のテトラノルマルブト
キシジルコニウム溶液に添加し、混合溶液を撹拌する。
そして、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を1
時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。別の容
器に0.001Nの塩酸水0.1モル(1.80g)を
分取し、それを500mlの脱水トルエンで希釈し、得
られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いてフラス
コ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4ml/min
前後とする。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイル
バスを用いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、
還流後に溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液と
する。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水ト
ルエンに溶解させる。また、0.2モル(20.02
g)のアセチルアセトンを100mlの脱水トルエンに
溶解させ、この溶液をフラスコ内のテトラノルマルブト
キシジルコニウム溶液に添加し、混合溶液を撹拌する。
そして、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を1
時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。別の容
器に0.001Nの塩酸水0.1モル(1.80g)を
分取し、それを500mlの脱水トルエンで希釈し、得
られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いてフラス
コ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4ml/min
前後とする。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイル
バスを用いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、
還流後に溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液と
する。
【0034】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水トルエンで希釈し、
得られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いてA液
に滴下する。この際の滴下速度は、4ml/min前後
とする。混合溶液を室温で30分間撹拌する。得られた
溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水トルエンで希釈し、
得られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いてA液
に滴下する。この際の滴下速度は、4ml/min前後
とする。混合溶液を室温で30分間撹拌する。得られた
溶液をC液とする。
【0035】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0036】[Pbアルコキシド原料の添加]Pb2−
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水トルエンに溶解させ、得られた溶液を
D液に添加する。オイルバスを用いた加熱により、混合
溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させ
る。その後、得られた溶液を、ロータリーエバポレータ
を用いて70℃以下の温度で所定濃度まで濃縮する。
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水トルエンに溶解させ、得られた溶液を
D液に添加する。オイルバスを用いた加熱により、混合
溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させ
る。その後、得られた溶液を、ロータリーエバポレータ
を用いて70℃以下の温度で所定濃度まで濃縮する。
【0037】〔比較例1〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。また、0.2モル(20.02g)のア
セチルアセトンを100mlの脱水イソプロピルアルコ
ールに溶解させ、この溶液をフラスコ内のテトライソプ
ロポキシチタン溶液に添加し、混合溶液を撹拌する。そ
して、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を1時
間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。別の容器
に0.001Nの塩酸水0.1モル(1.80g)を分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
で希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポンプを
用いてフラスコ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4
ml/min前後とする。フラスコ内の溶液を混合させ
た後、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を8時
間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得られた
溶液をA液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。また、0.2モル(20.02g)のア
セチルアセトンを100mlの脱水イソプロピルアルコ
ールに溶解させ、この溶液をフラスコ内のテトライソプ
ロポキシチタン溶液に添加し、混合溶液を撹拌する。そ
して、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を1時
間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。別の容器
に0.001Nの塩酸水0.1モル(1.80g)を分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
で希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポンプを
用いてフラスコ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4
ml/min前後とする。フラスコ内の溶液を混合させ
た後、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を8時
間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得られた
溶液をA液とする。
【0038】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
【0039】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
【0040】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0041】[Pbアルコキシド原料の添加]Pb2−
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
【0042】〔比較例2〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
【0043】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを500mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。別の容器に0.0
01Nの塩酸水0.1モル(1.80g)を分取し、そ
れを500mlの脱水イソプロピルアルコールで希釈
し、得られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いて
フラスコ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4ml/
min前後とする。フラスコ内の溶液を混合させた後、
オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を8時間還流
させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得られた溶液を
B液とする。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを500mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。別の容器に0.0
01Nの塩酸水0.1モル(1.80g)を分取し、そ
れを500mlの脱水イソプロピルアルコールで希釈
し、得られた溶液を、マイクロチューブポンプを用いて
フラスコ内へ滴下する。この際の滴下速度は、4ml/
min前後とする。フラスコ内の溶液を混合させた後、
オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を8時間還流
させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得られた溶液を
B液とする。
【0044】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
【0045】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0046】[Pbアルコキシド原料の添加]Pb2−
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
アミノエトキシ−アセテート[Pb(NH2CH2CH2
O)(CH3COO)]0.2モル(65.26g)を
200mlの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、
得られた溶液をD液に添加する。オイルバスを用いた加
熱により、混合溶液を2時間還流させ、還流後に溶液を
自然冷却させる。その後、得られた溶液を、ロータリー
エバポレータを用いて70℃以下の温度で所定濃度まで
濃縮する。
【0047】〔比較例3〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
【0048】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
【0049】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
【0050】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0051】[Pb原料の添加]酢酸鉛(II)三水和物
0.2モル(75.86g)を200mlの脱水イソプ
ロピルアルコールに溶解させ、得られた溶液をD液に添
加する。オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を2
時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。その
後、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて
70℃以下の温度で所定濃度まで濃縮する。
0.2モル(75.86g)を200mlの脱水イソプ
ロピルアルコールに溶解させ、得られた溶液をD液に添
加する。オイルバスを用いた加熱により、混合溶液を2
時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。その
後、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用いて
70℃以下の温度で所定濃度まで濃縮する。
【0052】〔比較例4〕 [Tiアルコキシドの加水分解・重縮合]乾燥管、ジム
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
ロート冷却管、温度計およびシリコンゴム製のセプタム
を装着した2リットル四つ口丸底フラスコに、マグネチ
ックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ中に0.1モ
ル(28.42g)のテトライソプロポキシチタンを分
取し、それを500mlの脱水イソプロピルアルコール
に溶解させる。別の容器に0.001Nの塩酸水0.1
モル(1.80g)を分取し、それを500mlの脱水
イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液を、マ
イクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下する。
この際の滴下速度は、4ml/min前後とする。フラ
スコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用いた加熱
により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に溶液を自
然冷却させる。得られた溶液をA液とする。
【0053】[Zrアルコキシドの加水分解・重縮合]
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
乾燥管、ジムロート冷却管、温度計およびシリコンゴム
製のセプタムを装着した2リットル四つ口丸底フラスコ
に、マグネチックスターラ用撹拌子を入れる。フラスコ
中に0.1モル(38.37g)のテトラノルマルブト
キシジルコニウムを分取し、それを400mlの脱水イ
ソプロピルアルコールに溶解させる。また、0.2モル
(20.02g)のアセチルアセトンを100mlの脱
水イソプロピルアルコールに溶解させ、この溶液をフラ
スコ内のテトラノルマルブトキシジルコニウム溶液に添
加し、混合溶液を撹拌する。そして、オイルバスを用い
た加熱により、混合溶液を1時間還流させ、還流後に溶
液を自然冷却させる。別の容器に0.001Nの塩酸水
0.1モル(1.80g)を分取し、それを500ml
の脱水イソプロピルアルコールで希釈し、得られた溶液
を、マイクロチューブポンプを用いてフラスコ内へ滴下
する。この際の滴下速度は、4ml/min前後とす
る。フラスコ内の溶液を混合させた後、オイルバスを用
いた加熱により、混合溶液を8時間還流させ、還流後に
溶液を自然冷却させる。得られた溶液をB液とする。
【0054】[Tiアルコキシドオリゴマー(A液)の
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
部分加水分解]0.001Nの塩酸水0.033モル
(0.60g)を150mlの脱水イソプロピルアルコ
ールで希釈し、得られた溶液を、マイクロチューブポン
プを用いてA液に滴下する。この際の滴下速度は、4m
l/min前後とする。混合溶液を室温で30分間撹拌
する。得られた溶液をC液とする。
【0055】[Ti−O−Zr前駆体の調製]B液をC
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
液に添加し、オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。得
られた溶液をD液とする。
【0056】[Pbアルコキシド原料の添加]Pb(I
I)エトキシド0.2モル(59.46g)を200m
lの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、得られた
溶液に0.4モルのアセチルアセトンを添加した後、オ
イルバスを用いた加熱により、混合溶液を1時間還流さ
せ、還流後に溶液を自然冷却させ、得られた溶液をD液
に添加する。オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。そ
の後、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用い
て70℃以下の温度で所定濃度まで濃縮する。
I)エトキシド0.2モル(59.46g)を200m
lの脱水イソプロピルアルコールに溶解させ、得られた
溶液に0.4モルのアセチルアセトンを添加した後、オ
イルバスを用いた加熱により、混合溶液を1時間還流さ
せ、還流後に溶液を自然冷却させ、得られた溶液をD液
に添加する。オイルバスを用いた加熱により、混合溶液
を2時間還流させ、還流後に溶液を自然冷却させる。そ
の後、得られた溶液を、ロータリーエバポレータを用い
て70℃以下の温度で所定濃度まで濃縮する。
【0057】〔溶液の濃縮試験〕実施例1ないし実施例
3および比較例1ないし比較例4でそれぞれ得られた溶
液を濃縮し、不溶成分が析出する金属酸化物濃度をそれ
ぞれ調べた。また、実施例1ないし実施例3でそれぞれ
得られた前駆体溶液については、Tiアルコキシドオリ
ゴマーの重合度を凝固点降下法により測定した。それら
の結果を表1に示す。
3および比較例1ないし比較例4でそれぞれ得られた溶
液を濃縮し、不溶成分が析出する金属酸化物濃度をそれ
ぞれ調べた。また、実施例1ないし実施例3でそれぞれ
得られた前駆体溶液については、Tiアルコキシドオリ
ゴマーの重合度を凝固点降下法により測定した。それら
の結果を表1に示す。
【0058】
【表1】
【0059】表1に示した結果から分かるように、この
発明に係る前駆体溶液は、40%以上の濃度に濃縮して
も沈殿物の析出が起こらず、高濃度の塗布液を調製する
ことができる。
発明に係る前駆体溶液は、40%以上の濃度に濃縮して
も沈殿物の析出が起こらず、高濃度の塗布液を調製する
ことができる。
【0060】〔成膜試験〕実施例1ないし実施例3およ
び比較例1ないし比較例4でそれぞれ得られた溶液を、
金属酸化物濃度が15%となるように濃縮し、あるい
は、濃縮可能濃度にまで濃縮して、それぞれ塗布液を調
製し、それぞれの塗布液をスピンコーティング法により
シリコン基板の表面に塗布して成膜した。このときのス
ピン回転数は、2,000rpmとして、その回転数で
30秒間、基板を回転保持した。その後に、塗布膜を実
験室雰囲気下で乾燥させ、次いで、10℃/minの昇
温速度で700℃の温度まで加熱し、その温度で30分
間保持した後、自然冷却させた。それぞれ得られた薄膜
の膜状態、膜厚および結晶化状態を表2に示す。
び比較例1ないし比較例4でそれぞれ得られた溶液を、
金属酸化物濃度が15%となるように濃縮し、あるい
は、濃縮可能濃度にまで濃縮して、それぞれ塗布液を調
製し、それぞれの塗布液をスピンコーティング法により
シリコン基板の表面に塗布して成膜した。このときのス
ピン回転数は、2,000rpmとして、その回転数で
30秒間、基板を回転保持した。その後に、塗布膜を実
験室雰囲気下で乾燥させ、次いで、10℃/minの昇
温速度で700℃の温度まで加熱し、その温度で30分
間保持した後、自然冷却させた。それぞれ得られた薄膜
の膜状態、膜厚および結晶化状態を表2に示す。
【0061】
【表2】
【0062】表2に示した結果より、この発明に係る前
駆体溶液から調製された塗布液を用いて形成された薄膜
は、膜状態が良好で、1回の塗布操作で十分な膜厚を有
していることが分かる。
駆体溶液から調製された塗布液を用いて形成された薄膜
は、膜状態が良好で、1回の塗布操作で十分な膜厚を有
していることが分かる。
【0063】
【発明の効果】請求項1に係る発明の強誘電体薄膜形成
用前駆体溶液は、PZTやPLZTのように鉛含有ペロ
ブスカイト系強誘電体薄膜を、ゾル−ゲル法を用いて形
成する場合に、多層塗布を行わなくても、1回だけの塗
布操作により、FRAMなどとしての特性を発揮させる
のに必要な程度の膜厚、例えば2,500Å程度の膜厚
の薄膜を形成することが可能である塗布液を調製するこ
とができる。そして、多層塗布を行う必要が無いので、
製造プロセスを簡単化することが可能であり、周辺材料
への熱的ダメージをもたらすといった問題も無い。
用前駆体溶液は、PZTやPLZTのように鉛含有ペロ
ブスカイト系強誘電体薄膜を、ゾル−ゲル法を用いて形
成する場合に、多層塗布を行わなくても、1回だけの塗
布操作により、FRAMなどとしての特性を発揮させる
のに必要な程度の膜厚、例えば2,500Å程度の膜厚
の薄膜を形成することが可能である塗布液を調製するこ
とができる。そして、多層塗布を行う必要が無いので、
製造プロセスを簡単化することが可能であり、周辺材料
への熱的ダメージをもたらすといった問題も無い。
【0064】請求項2に係る発明の前駆体溶液では、前
駆体の溶解度が著しく改善されるので、高濃度化を容易
にし、厚膜化に寄与する。
駆体の溶解度が著しく改善されるので、高濃度化を容易
にし、厚膜化に寄与する。
【0065】請求項3に係る発明の前駆体溶液の製造方
法によると、PZTやPLZTのように鉛含有ペロブス
カイト系強誘電体薄膜を、ゾル−ゲル法を用いて形成す
る場合に、多層塗布を行わなくても、1回だけの塗布操
作により、FRAMなどとしての特性を発揮させるのに
必要な程度の膜厚、例えば2,500Å程度の膜厚の薄
膜を形成することが可能である塗布液を調製することが
できる強誘電体薄膜形成用前駆体溶液が得られる。
法によると、PZTやPLZTのように鉛含有ペロブス
カイト系強誘電体薄膜を、ゾル−ゲル法を用いて形成す
る場合に、多層塗布を行わなくても、1回だけの塗布操
作により、FRAMなどとしての特性を発揮させるのに
必要な程度の膜厚、例えば2,500Å程度の膜厚の薄
膜を形成することが可能である塗布液を調製することが
できる強誘電体薄膜形成用前駆体溶液が得られる。
【0066】請求項4に係る発明の製造方法では、Ti
アルコキシドオリゴマーおよび/またはZrアルコキシ
ドを加水分解・重縮合したときに、適当な分子量のTi
アルコキシドオリゴマーおよび/またはZrアルコキシ
ドオリゴマーが得られ、請求項3に係る発明の上記効果
が確実に奏される。
アルコキシドオリゴマーおよび/またはZrアルコキシ
ドを加水分解・重縮合したときに、適当な分子量のTi
アルコキシドオリゴマーおよび/またはZrアルコキシ
ドオリゴマーが得られ、請求項3に係る発明の上記効果
が確実に奏される。
【0067】請求項5に係る発明の製造方法では、安定
化配位子を用いずに、均質な成膜が可能であるような均
質な前駆体溶液を調製することができるので、熱分解特
性が改善され、膜質の向上が図られる。
化配位子を用いずに、均質な成膜が可能であるような均
質な前駆体溶液を調製することができるので、熱分解特
性が改善され、膜質の向上が図られる。
【0068】請求項6に係る発明の製造方法では、前駆
体の溶解度が改善されるので、高濃度化に寄与しあるい
はコーティング液の保存安定性が改善される。
体の溶解度が改善されるので、高濃度化に寄与しあるい
はコーティング液の保存安定性が改善される。
Claims (6)
- 【請求項1】 チタンアルコキシドの加水分解・重縮合
によって得られるチタンアルコキシドオリゴマー、およ
び、ジルコニウムアルコキシドの加水分解・重縮合によ
って得られるジルコニウムアルコキシドオリゴマー、な
らびに、鉛アルコキシドを原料として得られ、ペロブス
カイト系強誘電体薄膜を形成するための前駆体溶液にお
いて、 前記チタンアルコキシドオリゴマーが環状構造もしくは
ラダー構造を有したものであることを特徴とする強誘電
体薄膜形成用前駆体溶液。 - 【請求項2】 鉛アルコキシド原料の一部がカルボン酸
残基および/またはアミノアルコール残基を有したもの
である請求項1記載の強誘電体薄膜形成用前駆体溶液。 - 【請求項3】 チタンアルコキシドの加水分解・重縮合
によってチタンアルコキシドオリゴマーを合成する工程
と、 ジルコニウムアルコキシドの加水分解・重縮合によって
ジルコニウムアルコキシドオリゴマーを合成する工程
と、 チタンアルコキシドオリゴマーを予備加水分解させ、そ
れをジルコニウムアルコキシドオリゴマーと反応させて
Ti−O−Zr前駆体を得る工程、 Ti−O−Zr前駆体と鉛アルコキシドとを反応させて
Pb(Ti−O−Zr)前駆体を得る工程とからなる強
誘電体薄膜形成用前駆体溶液の製造方法において、 チタンアルコキシドの加水分解・重縮合によって環状構
造もしくはラダー構造を有するチタンアルコキシドオリ
ゴマーを合成することを特徴とする強誘電体薄膜形成用
前駆体溶液の製造方法。 - 【請求項4】 チタンアルコキシドオリゴマーおよび/
またはジルコニウムアルコキシドを加水分解・重縮合す
る際に、反応溶媒として極性溶媒と非極性溶媒とを適当
に組み合わせたものを使用することにより、チタンアル
コキシドオリゴマーおよび/またはジルコニウムアルコ
キシドオリゴマーの分子量を調整する請求項3記載の強
誘電体薄膜形成用前駆体溶液の製造方法。 - 【請求項5】 チタンアルコキシドおよび/またはジル
コニウムアルコキシドの加水分解・重縮合反応を、安定
化配位子を加えないでマイナス10℃以下の低温で進行
させる請求項3または請求項4記載の強誘電体薄膜形成
用前駆体溶液の製造方法。 - 【請求項6】 鉛アルコキシド原料の一部がカルボン酸
残基および/またはアミノアルコール残基を有したもの
である請求項3ないし請求項5のいずれかに記載の強誘
電体薄膜形成用前駆体溶液の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10105484A JPH11286653A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 強誘電体薄膜形成用前駆体溶液およびその製造方法 |
DE69909875T DE69909875T2 (de) | 1998-03-31 | 1999-03-26 | Vorstufenlösung zur Herstellung einer Dünnschicht aus einem ferroelektrischen Material und Verfahren zur Herstellung |
EP99106336A EP0950726B1 (en) | 1998-03-31 | 1999-03-26 | Precursor solution for forming thin film of ferroelectric substance and production process thereof |
US09/280,991 US6068690A (en) | 1998-03-31 | 1999-03-30 | Precursor solution for forming thin film of ferroelectric substance and production process thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10105484A JPH11286653A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 強誘電体薄膜形成用前駆体溶液およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11286653A true JPH11286653A (ja) | 1999-10-19 |
Family
ID=14408876
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10105484A Pending JPH11286653A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | 強誘電体薄膜形成用前駆体溶液およびその製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6068690A (ja) |
EP (1) | EP0950726B1 (ja) |
JP (1) | JPH11286653A (ja) |
DE (1) | DE69909875T2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005336334A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 非晶質酸化チタン複合塗膜形成用コーティング組成物、それを用いた塗膜およびその用途 |
JP2010006997A (ja) * | 2008-06-28 | 2010-01-14 | Matsumoto Fine Chemical Co Ltd | 無機粒子バインダー組成物 |
US9969651B2 (en) | 2014-04-23 | 2018-05-15 | Ricoh Company, Ltd. | Precursor sol-gel solution, electromechanical transducer element, liquid droplet discharge head, and inkjet recording apparatus |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100385894B1 (ko) * | 2000-08-25 | 2003-06-02 | 대한민국 (창원대학 공작기계기술연구센터) | 밀링석출공정에 의한 압전 세라믹스 제조방법 |
US7868049B2 (en) * | 2007-06-29 | 2011-01-11 | Industrial Technology Research Institute | Organic/inorganic hybrid material and method for manufacturing the same |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3407087C2 (de) * | 1984-02-27 | 1994-07-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München | Verfahren und Lack zur Herstellung von kratzfesten Beschichtungen |
US4808315A (en) * | 1986-04-28 | 1989-02-28 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Porous hollow fiber membrane and a method for the removal of a virus by using the same |
US5032559A (en) * | 1989-05-05 | 1991-07-16 | Gte Products Corporation | Method of preparing barium, titanium, zirconium oxide ferroelectric ceramic compositions |
JPH06305713A (ja) * | 1993-04-16 | 1994-11-01 | Texas Instr Japan Ltd | ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法及びキャパシタの製造方法、及びその原料溶液 |
DE4332831C1 (de) * | 1993-09-27 | 1994-10-06 | Fraunhofer Ges Forschung | Formkörper auf der Basis von PZT (Pb(Zr,Ti)O¶3¶, Bleizirkonat-Bleititanat), Verfahren und Zwischenprodukt zu deren Herstellung |
JPH07252664A (ja) * | 1994-03-14 | 1995-10-03 | Texas Instr Japan Ltd | ゾルーゲル法による強誘電体膜の形成方法、キャパシタの製造方法、その原料溶液の調製方法及びその原料溶液 |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP10105484A patent/JPH11286653A/ja active Pending
-
1999
- 1999-03-26 DE DE69909875T patent/DE69909875T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-26 EP EP99106336A patent/EP0950726B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1999-03-30 US US09/280,991 patent/US6068690A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005336334A (ja) * | 2004-05-27 | 2005-12-08 | Ube Nitto Kasei Co Ltd | 非晶質酸化チタン複合塗膜形成用コーティング組成物、それを用いた塗膜およびその用途 |
JP2010006997A (ja) * | 2008-06-28 | 2010-01-14 | Matsumoto Fine Chemical Co Ltd | 無機粒子バインダー組成物 |
US9969651B2 (en) | 2014-04-23 | 2018-05-15 | Ricoh Company, Ltd. | Precursor sol-gel solution, electromechanical transducer element, liquid droplet discharge head, and inkjet recording apparatus |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0950726A3 (en) | 2002-05-02 |
EP0950726A2 (en) | 1999-10-20 |
DE69909875D1 (de) | 2003-09-04 |
EP0950726B1 (en) | 2003-07-30 |
DE69909875T2 (de) | 2004-09-30 |
US6068690A (en) | 2000-05-30 |
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