JPH11281875A

JPH11281875A - レーザ光軸補正装置と補正方法

Info

Publication number: JPH11281875A
Application number: JP9830698A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Iwasaki; 誉志紀岩崎; Hiroshi Takahashi; 高橋　　宏
Original assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Current assignee: Taiyo Yuden Co Ltd
Priority date: 1998-03-26
Filing date: 1998-03-26
Publication date: 1999-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】レーザ光の光軸補正を自動化することができ
るようにし、煩雑なレーザ光の光軸補正を簡単に行うこ
とができるようにする。【解決手段】第一のミラー２の角度をＸ方向に変化さ
せて、マスク６の窓７により制限されたレーザ光の投影
面の照射点を移動させる。この投影面でのレーザ光の照
射点の軌跡をイメージセンサ９により撮像し、これを画
像処理し、第一のミラー２の中心とマスク６の窓７の中
心とを結ぶ正しい光軸が投影面と交差する点から前記軌
跡の両端までの距離Ｓ１、Ｓ２をそれぞれ求める。これ
らの距離Ｓ１、Ｓ２が不等であるとき、前記Ｓ１、Ｓ２
の値を用い、第二のミラー３のＸ方向のずれ角を求め、
そのずれ角を補正する。次に、前記第一のミラー２の角
度をＸ方向と直交するＹ方向に変化させて、同様にして
Ｙ方向のミラー２、３のＹ方向の角度を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光源からミラーに
より、レーザ光を導いて照射対象物に照射するレーザ光
学系において、光源から照射対象物に至るレーザ光の光
軸を正しい光軸に修正するため、ミラーの角度を調整し
て、光軸の補正を行うレーザ光軸補正装置とこれを使用
したレーザ光軸補正方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】レーザー光はエネルギー密度が高く、微
少な部分に高熱を与える事ができると共に、指向性、単
色性に優れている。この利点を利用して、局部的に高い
エネルギーを与え得る装置が広く利用され、例えばレー
ザー光を照射して照射対象物に物理的な変化を起こすレ
ーザ加工装置の他、測定、計測、さらに光通信等の分野
のにおいて広く利用されている。

【０００３】例えば、レーザー加工機は、レーザー光を
励起するするレーザー発振器と、励起されたレーザー光
を目的の部位に誘導する光学系と、レーザー光を照射す
る照射対象物を位置決めする部分とを含んでいる。この
ようなレーザ加工機では、光学系により誘導されるレー
ザー光の光路が定められた正しい位置に合致していなけ
れば、正常な動作は維持できない。

【０００４】レーザ発振器を光源とする光学系の多く
は、ハーフミラーやプリズム等の様々な光学素子が用い
られている。こらの光学素子を交換する場合、その屈折
率や厚さの違いにより、レーザ光の光軸がずれることが
ある。また、単一のレーザ光源を２つの光学系で使用す
る場合、ミラーの切り替え等に伴い、光源から照射対象
物に至るレーザ光の光軸がずれてしまうことが多い。

【０００５】レーザー光の光軸がずれていると、加工用
マスクやレンズ等の決められた位置に決められた方向か
らレーザ光を入射させることができず、装置の使用に支
障を来す。このため、所定の光軸を保っているか確認す
る必要があり、もし、光軸がずれていたら、光学系を構
成しているミラーの角度を調整して正しい光軸に修正す
る光軸補正が必要となる。レーザ光の光路を決める光学
系の光軸を補正するためには、最低２枚のミラーの角度
を変える必要がある。従来において、このような光軸補
正は、人がミラーの角度を変えながら行っていた。

【０００６】

【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、こ
のような光軸補正作業は熟練を要し、光軸補正を正確に
行える者は多くはない。また、光軸補正の経験を積んだ
熟練者でも、光軸補正を正確に行うためには、多くの時
間と手数がかかる。そのため、複数の光源や光学系を何
度か交換して使用するような場合、煩雑な光軸調整作業
を何度も繰り返し行わなければならず、きわめて面倒で
あった。本発明は、このような従来の課題に鑑み、レー
ザ光の光軸補正を自動化することができるようにし、煩
雑なレーザ光の光軸補正を簡単に行うことができるよう
にすることを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明では、前記の目的
を達成するため、光源１から発射されたレーザ光を導く
２つのミラー２、３の角度を調整する角度調整機構４，
５を備える。また、レーザ光の照射対照物側にレーザ光
が照射される投影面を配置し、この投影面と照射対照物
側に近い第一のミラー２との間に、ミラー２から投影面
に投影されるレーザ光の照射範囲を制限する窓７を有す
るマスク６を設け、この窓７の中心と第一のミラー２の
中心とを結ぶ直線を、正しいレーザ光の光軸とする。そ
して、第一のミラー２の傾きを変化させて、投影面上の
レーザ光の照射点を移動させ、その軌跡をイメージセン
サ９で撮像する。そして、前記の正しい光軸が投影面と
交差する点に対して、前記照射点の軌跡のずれを測定
し、これにより光軸のずれを求める。これによって２つ
のミラー２、３の角度を調整し、正しい光軸に補正す
る。

【０００８】すなわち、本発明によるレーザ光軸補正装
置は、光源１から発射したレーザ光を反射する第二のミ
ラー３と、第二のミラー３から反射されたレーザ光を反
射する第一のミラー２と、第一のミラー２から反射され
たレーザ光が照射される投影面と、この投影面に照射さ
れるレーザ光の照射角を制限する窓７を有するマスク６
と、前記第一と第二のミラー２、３の角度をそれぞれ変
える第一と第二の角度調整機構４、５と、前記第一のミ
ラー１の角度を変えたとき、マスク６で制限されたレー
ザ光の投影面上の照射点の軌跡を撮像するイメージセン
サ９とを有する。さらに、このイメージセンサ９により
得られた投影面上のレーザ光の照射点の軌跡のずれから
レーザ光軸のずれを計算すると共に、計算されたレーザ
光軸のずれを補正する信号を前記第一と第二の角度調整
機構４、５に入力し、第一と第二のミラー２、３の角度
を調整するデータ処理部１２を有する。

【０００９】ここで、マスク６の窓７は、正しい光軸が
中心を通るように配置された正方形または矩形の開口部
であり、その窓７の直交する辺は、それぞれＸ、Ｙ方向
に向いている。第一の角度調整機構４は、レーザ光の光
軸が直交する２方向にそれぞれ変わるように、第一のミ
ラー２の角度を直交するＸ及びＹ方向の２方向にそれぞ
れ変えるものである。また、第二の角度調整機構５は、
レーザ光の光軸が直交する２方向にそれぞれ変わるよう
に、第二のミラー３の角度を直交するＸ及びＹ方向の２
方向にそれぞれ変えるものである。

【００１０】このようなレーザ光軸補正装置を使用し、
レーザ光軸は次のようにして調整する。まず、第一のミ
ラー２の角度をＸ方向に変化させて、マスク６の窓７に
より制限されたレーザ光の投影面上の照射点を移動させ
る。この投影面上のレーザ光の照射点の軌跡をイメージ
センサ９により撮像し、これを画像処理し、第一のミラ
ー２の中心とマスク６の窓７の中心とを結ぶ正しい光軸
が投影面と交差する点から前記照射点の軌跡の両端まで
の距離Ｓ１、Ｓ２をそれぞれ求める。そして、これらの
距離Ｓ１、Ｓ２が不等であるとき、前記Ｓ１、Ｓ２の値
を用いて第二のミラー３のＸ方向のずれ角を求め、その
ずれ角を補正する。次に、前記第一のミラー２の角度を
Ｘ方向と直交するＹ方向に変化させて、マスク６の窓７
により制限されたレーザ光の投影面上の照射点を移動さ
せる。この投影面上のレーザ光の照射点の軌跡をイメー
ジセンサ９により撮像し、これを画像処理し、第一のミ
ラー２の中心とマスク６の窓７の中心とを結ぶ正しい光
軸が投影面と交差する点から前記照射点の軌跡の両端ま
での距離Ｓ１’、Ｓ２’をそれぞれ求める。そして、こ
れらの距離Ｓ１’、Ｓ２’が不等であるとき、前記Ｓ
１’、Ｓ２’の値を用いて第二のミラー３のＹ方向のず
れ角を求め、このずれ角を補正する。

【００１１】このようにして、第一のミラー２の中心と
マスク６の窓７の中心とを結ぶ線が正しい光軸と一致す
るようにセットしておけば、第一のミラー２のマスク６
の窓７により制限された投影面上へのレーザ光の照射点
の軌跡のずれをイメージセンサ９で撮像して計測するこ
とにより、レーザ光の光軸のずれの有無と、そのずれの
量が数値的に把握できる。それによって、ミラー２、３
の傾きを調整し、レーザ光の光軸の或る方向のずれを補
正することができる。第一のミラー２の角度の変化を、
直交するＸ方向とＹ方向との２方向について行い、それ
ぞれ前記のような補正を行うことにより、レーザ光の光
軸が正しく補正される。

【００１２】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について、具体的且つ詳細に説明する。
図１に、本発明によるレーザ光軸補正装置の例の概略を
示す。レーザ光は、レーザ発振器や収束レンズ等を含む
光源１から発射される。この光源１から発射されたレー
ザ光は、第二のミラー３で反射され、さらに第一のミラ
ー２で反射され、照射対象物に照射される。ここでは、
照射対照物に代えて、レーザ光が照射される投影面を有
するものとして、スクリーン８が設置される。

【００１３】第一のミラー２と第二のミラー３には、例
えばステップモータと歯車減速機等からなる第一の角度
調整機構４と第二角度調整機構５が備えられている。こ
れら角度調整機構４、５により、図１に矢印で示すよう
に、第一のミラー２と第二のミラー３とが互いに直交す
る２つの方向に角度を変えることができる。ここでは、
説明の便宜上、縦方向をＸ方向、横方向をＹ方向として
説明する。

【００１４】さらに、第一のミラー２とスクリーン８と
の間に、窓７を有するマスク６が配置されている。この
マスク６の窓７は、正方形であって、その中心と前記第
一のミラー２の中心とを結ぶ線がレーザ光の正しい光軸
と一致するように配置されている。窓７の形状は矩形で
あってもよい。窓７の直交する辺は、それぞれＸ方向及
びＹ方向に向いている。

【００１５】この光学系の配置の側面図を図２と図３に
示す。これらの図は、レーザ光の光軸が正しい状態を示
している。レーザ光の正しい光軸に対する第一のミラー
２の角度をθ、第二のミラー３の角度をφで表す。例え
ば図示の例では、光源１から発射されたレーザ光が第二
のミラー３の中心に水平に入射し、これが９０゜の角度
で垂直に反射され、さらにこのレーザ光が第一のミラー
２の中心で９０゜の角度で水平に反射され、スクリーン
８に入射する。従ってこの場合、θ＝φ＝４５゜であ
る。第一のミラー２と第二のミラー３の中心間の距離を
Ｂ、第一のミラー２の中心からマスク６までの距離を
Ａ、マスク６からスクリーン８の表面までの距離をＣ
Ａ、マスク６の窓７の中心からその上下の縁までの距離
をＬとする。但し、Ｃは常数である。

【００１６】ここで、図３に示すように、第一のミラー
２の角度を上下方向、すなわちＸ方向に変えてスクリー
ン８にレーザ光を照射する。このとき、マスク６の窓７
によってスクリーン８に照射されるレーザ光の角度が制
限される。第一のミラー２の中心とマスク６の窓７の上
下の縁を結ぶ直線の角度を、第一のミラー２と窓７の中
心を結ぶ線に対して±Δθで表すと、マスク６の窓７を
通してスクリーン８の表面に照射されるレーザ光の光軸
は、第一のミラー２と窓７の中心を結ぶ線に対して±Δ
θの範囲、合計２Δθの角度の範囲にある。第一のミラ
ー２を反射したレーザ光の光軸が２Δθの角度だけ変化
するときの第一のミラー２の回転角は、θ＝４５゜を中
心として±１／２Δθ、合計Δθである。

【００１７】第一のミラー２の中心とマスク６の窓７の
中心とを結ぶ直線の延長線のスクリーン８の交点を、仮
に「スクリーン８の中心」とする。前記レーザ光のスク
リーン８上での照射点の軌跡が、スクリーン８の中心に
対してＸ方向にそれぞれＳ１、Ｓ２の範囲にあるとす
る。この場合、レーザ光の光軸が正しいと、Ｓ１＝Ｓ２
となる。従って、イメージセンサ９で撮像したレーザ光
の照射点の軌跡により、このＸ方向の距離をＳ１、Ｓ２
を測定し、Ｓ１＝Ｓ２となれば、レーザ光の光軸が正し
く設定されていることになり、レーザ光の光軸を補正す
る必要はない。すなわち、第一のミラー２の角度を変え
る前の当初の角度でレーザ光の光軸が正しく設定されて
いることになる。第一のミラー２の角度を戻し、スクリ
ーン８の中心にレーザ光の照射点が移動するようにすれ
ば、レーザ光軸の設定は完了である。なお、スクリーン
８の中心には、その位置にポイント等のマークを付けて
おき、イメージセンサ９で認識しやすいようにする。こ
の図３においては、各寸法の関係を、次の数１のように
表すことができる。

【００１８】

【数１】

【００１９】次に、図示していないが、Ｙ方向について
も同様にして第一のミラー２の角度を変えて、Ｙ方向の
Ｓ１’、Ｓ２’を測定し、Ｓ１’＝Ｓ２’となれば、Ｙ
方向もレーザ光の光軸が正しく設定されていることにな
り、レーザ光の光軸を補正する必要はない。すなわち、
第一のミラー２の角度を変える前の当初の角度でレーザ
光の光軸が正しく設定されていることになる。

【００２０】図４は、第二のミラー３から反射されたレ
ーザ光が、図４に二点鎖線で示すように、第一のミラー
２の中心からずれた位置で反射され、その結果、レーザ
光の光軸が正しい光軸からずれている状態である。この
状態では、レーザ光の第一のミラー２での反射位置が同
ミラー２の中心からずれているので、第一のミラー２を
上下に傾けたとき、イメージセンサ９でスクリーン８の
レーザ光の照射点の軌跡を撮像することで求められるＳ
１、Ｓ２は不等となる。換言すると、マスク６で制限さ
れたレーザ光のスクリーン８上の照射点の軌跡は、スク
リーン８の中心の上下で異なった長さになる。

【００２１】ここで、図４に示す通り、レーザ光の実際
の光軸とマスク６の中心とのずれをａ、第二のミラー３
で反射したレーザ光の光軸と第一と第二のミラー２，３
の中心を結ぶ直線とがなす角、すなわち光軸のずれ角を
Δφ、第一のミラー２の中心とレーザ光の反射点との図
４における上下方向のずれをＸ１、左右方向のずれをＸ
２とする。このようにしたとき、図４に示す各三角形
は、それぞれ図５〜図７に示すような図形として抽出す
ることができる。ここでＳ１、Ｓ２とａとの関係は、図
５に示す三角形の相似関係から、次の数２のようにして
与えられる。

【００２２】

【数２】

【００２３】従って、イメージセンサ９により、スクリ
ーン８へのレーザ光の照射点の軌跡を撮像し、そのＳ
１、Ｓ２の値を測定することにより、ａを求めることが
できる。なお、第一のミラー２でのレーザ光の反射点が
同ミラー２の中心からずれている場合、第一のミラー２
の角度をその中心の回りに変えると、図８に示すよう
に、実際には２つの角度における反射点は一致せずにず
れる。すなわち、図５に示す三角形の右側の頂点は１点
でなくなる。しかしここでは、Ｌの値に比べてＡの値を
大きくとることにより、この反射点のずれを無視して、
図５に示すような単一の頂点を有する三角形として取り
扱うことができる。さらに、第一のミラー２でのレーザ
光の反射点と同ミラー２の中心までの図４において上下
及び左右方向の距離をそれぞれＸ１、Ｘ２としたとき、
それらの関係は、図６及び図７に示す図形から、次の数
３及び数４の式の通りとなる。

【００２４】

【数３】

【数４】

【００２５】前記の（３）の式と（４）の式から、次の
数５により、ａをＸ２で表すことができる。

【００２６】

【数５】

【００２７】さらに、前記の（２’）の式と（５）の式
から、次の数６により、Ｘ２を前記測定値Ｓ１、Ｓ２で
表すことができる。

【００２８】

【数６】

【００２９】そして図７により、最終的に求めるミラー
２の角度のずれΔφは、次の数７により求めることがで
きる。すなわち、イメージセンサ９により、マスク６で
制限されるスクリーン８上のレーザスポットの照射点の
軌跡を撮像し、そのＳ１、Ｓ２測定することにより、
（７）式のようにして第二のミラー３のずれ角Δφを求
めることができる。

【００３０】

【数７】

【００３１】これにより、角度調整機構５（図１参照）
を用いて、第二のミラー３の角度を変えて、そのずれ角
Δφを修正すると、第二のミラー３から反射されたレー
ザ光は、第一のミラー２の中心に照射され、反射される
ことになる。そこで、第一のミラー２の角度を再度上下
方向、すなわちＸ方向に変えてスクリーン８にレーザ光
を照射し、イメージセンサ９で撮像したレーザ光の照射
点の軌跡により、このＸ方向の距離をＳ１、Ｓ２を測定
し、Ｓ１＝Ｓ２となれば、レーザ光の光軸が正しく設定
されていることになる。第一のミラー２の角度を調整
し、スクリーン８の中心にレーザ光の照射点が移動する
ようにすれば、レーザ光軸の設定は完了である。

【００３２】次に、図示していないが、Ｙ方向について
も同様にして第一のミラー２の角度を変えて、Ｙ方向の
Ｓ１’、Ｓ２’を測定し、この値から前述のＸ方向の補
正と同様にして第二のミラー３のＹ方向のずれ角を求
め、それを修正し、レーザ光の光軸を補正する。補正が
完了したら、図１に２点鎖線で示すように、スクリーン
８を取り外し、実際の照射対照物にレーザ光を照射し、
加工、測定等を行う。

【００３３】図９は、このような計算式による処理を行
うデータ処理部１２の例である。第一のミラー２と第二
のミラー３の回転角度は、それらの角度調整機構４、５
のサーボ信号やパルス信号から得られ、入出力制御部
（１５）を介して演算部に入力される。また、イメージ
センサ９により得られた撮像データも、入出力制御部
（１５）を介して演算部に入力され、Ｓ１、Ｓ２が求め
られる。記憶部１７には、予め各光学系特有のＡ、Ｌ、
ＣＡ、Ｂ等の値が入力されており、これらのデータと前
記の角度調整機構４、５やイメージセンサ９等から得ら
れたデータを演算部で処理し、ミラー２、３の補正すべ
き角度を算出する。そして、第一の角度調整機構４や第
二の角度調整機構５にミラー２、３の補正すべき角度の
サーボ信号やパルス信号が与えられ、補正が行われる。

【００３４】図１０は、前述したレーザ光軸補正装置を
使用してレーザ光軸を補正する手順を示すフローシート
である。まず、第一のミラー１の角度をＸ方向に変え
て、スクリーン８上へのレーザ光の照射点の軌跡からＳ
１、Ｓ２を求め、Ｓ１＝Ｓ２を照合する。もしそうでな
ければ、前述のようにしてＳ１、Ｓ２から第二のミラー
３のＸ方向のずれ角Δφを測定し、第二のミラー３の角
度を補正する。その後、再度Ｓ１、Ｓ２を求め、Ｓ１＝
Ｓ２を照合し、そうであればその方向のミラー２、３の
角度補正を完了する。次に、第一のミラー１の角度をＹ
方向に変えて、スクリーン８上へのレーザ光の照射点の
軌跡からＳ１’、Ｓ２’を求め、以下同様にしてミラー
２、３の角度の補正を行う。

【００３５】図１１は、本発明によるレーザ光軸補正装
置の他の例の概略を示す。図１と対応する部分は同じ符
号で示してある。図１の例では、イメージセンサ９でレ
ーザ光の照射点の軌跡を撮像するため、スクリーン８を
使用しているが、例えば、照射対象物１１そのものが平
坦面を有しており、且つその平坦面がレーザ光の照射点
を撮像しやすい場合には、スクリーン８を用いず、照射
対象物１１の平坦な面を投影面として使用することがで
きる。すなわち、第一のミラー２の角度を変化させなが
ら、マスク６の窓７を通して照射対照物１１の平坦な面
でレーザ光の照射点を移動させ、イメージセンサ９でそ
の照射点の軌跡を撮像することができる。図１１の例
は、そのような例を示しており、マスク６の窓７を通っ
たレーザ光は、折り返しミラー１０で反射され、照射対
照物１１の平坦な照射面に入射される。

【００３６】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、イ
メージセンサ９で撮像したレーザ光の或る投影点での照
射点の軌跡により、ミラー２、３の角度のずれを数値的
に計算し、それを補正することができるので、熟練を要
することなく、簡単に自動的にミラー２、３の角度を調
整し、レーザ光軸の補正を行うことができるようにな
る。これにより、光源や光学系を替えたときの、レーザ
光軸の補正作業の省力化が図れることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ光軸補正装置の例の光学系
統及び駆動系統の配置を示す概略斜視図である。

【図２】同レーザ光軸補正装置の例において、レーザ光
軸が正しい場合の光学系統の配置を示す概略側面図であ
る。

【図３】同レーザ光軸補正装置の例において、レーザ光
軸が正しい場合に、第一のミラーの角度を上下に変えた
ときのレーザ光の光軸の変化を示す概略側面図である。

【図４】同レーザ光軸補正装置の例において、レーザ光
軸が正しくない場合に、第一と第二のミラーの角度を上
下に変えたときのレーザ光の光軸の変化を示す概略側面
図である。

【図５】図４において、一部の図形を抽出した幾何図形
である。

【図６】図４において、他の一部の図形を抽出した幾何
図形である。

【図７】図４において、他の一部の図形を抽出した幾何
図形である。

【図８】図４において、第一のミラー反射点を示す要部
拡大側面図である。

【図９】前記光軸補正装置のデータ処理部の例を示すブ
ロック図である。

【図１０】前記光軸補正装置により、レーザ光軸の補正
をする手順の例を示すフローシートである。

【図１１】本発明によるレーザ光軸補正装置の他の例の
光学系統及び駆動系統の配置を示す概略斜視図である。

【符号の説明】

１光源２第一のミラー３第二のミラー４第一の角度調整機構５第二の角度調整機構６マスク７マスクの窓８マスク９イメージセンサ１２データ処理部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ミラー（２）、（３）を介して光源
（１）から照射対照物（１１）にレーザ光を導く光学系
の光軸を補正する装置において、光源（１）から発射さ
れたレーザ光を反射する第二のミラー（３）と、第二の
ミラー（３）から反射されたレーザ光を反射する第一の
ミラー（２）と、第一のミラー（２）から反射されたレ
ーザ光が照射される投影面と、この投影面に照射される
レーザ光の照射角を制限する窓（７）を有するマスク
（６）と、前記第一と第二のミラー（２）、（３）の角
度をそれぞれ変える第一と第二の角度調整機構（４）、
（５）と、前記第一のミラー１の角度を変えたとき、マ
スク（６）で制限されたレーザ光の投影面上の照射点の
軌跡を撮像するイメージセンサ（９）と、このイメージ
センサ（９）により得られた投影面上のレーザ光の照射
点の軌跡のずれからレーザ光軸のずれを計算すると共
に、計算されたレーザ光軸のずれを補正する信号を前記
第一と第二の角度調整機構（４）、（５）に入力し、第
一と第二のミラー（２）、（３）の角度を調整するデー
タ処理部（１２）とを有することを特徴とするレーザ光
軸補正装置。
【請求項２】マスク（６）の窓（７）は、正しい光軸
が中心を通るように配置された正方形または矩形の開口
部であることを特徴とする請求項１に記載のレーザ光軸
補正装置。
【請求項３】第一の角度調整機構（４）は、レーザ光
の光軸が直交する２方向にそれぞれ変わるように、第一
のミラー（２）の角度を直交するＸ及びＹ方向の２方向
にそれぞれ変えるものであることを特徴とする請求項１
に記載のレーザ光軸補正装置。
【請求項４】第二の角度調整機構（５）は、レーザ光
の光軸が直交する２方向にそれぞれ変わるように、第二
のミラー（３）の角度を直交するＸ及びＹ方向の２方向
にそれぞれ変えるものであることを特徴とする請求項３
に記載のレーザ光軸補正装置。
【請求項５】ミラー（２）、（３）を介して光源
（１）から照射対照物（１１）にレーザ光を導く光学系
の光軸を補正する方法において、前記請求項１〜４に記
載の何れかのレーザ光軸補正装置を使用し、第一のミラ
ー（２）の角度をＸ方向に変化させて、マスク（６）の
窓（７）により制限されたレーザ光の投影面上の照射点
を移動させる工程と、投影面上のレーザ光の照射点の軌
跡をイメージセンサ９により撮像し、これを画像処理
し、第一のミラー（２）の中心とマスク（６）の窓
（７）の中心とを結ぶ正しい光軸が投影面と交差する点
から前記照射点の軌跡の両端までの距離（Ｓ１）、（Ｓ
２）をそれぞれ求める工程と、これらの距離（Ｓ１）、
（Ｓ２）が不等であるとき、前記Ｓ１、Ｓ２の値を用い
て第二のミラー（３）のＸ方向のずれ角を求め、そのず
れ角を補正する工程と、前記第一のミラー（２）の角度
をＸ方向と直交するＹ方向に変化させて、マスク（６）
の窓（７）により制限されたレーザ光の投影面上の照射
点を移動させる工程と、投影面上のレーザ光の照射点の
軌跡をイメージセンサ９により撮像し、これを画像処理
し、第一のミラー（２）の中心とマスク（６）の窓
（７）の中心とを結ぶ正しい光軸が投影面と交差する点
から前記照射点の軌跡の両端までの距離（Ｓ１’）、
（Ｓ２’）をそれぞれ求める工程と、これらの距離（Ｓ
１’）、（Ｓ２’）が不等であるとき、前記（Ｓ
１’）、（Ｓ２’）の値を用いて第二のミラー（３）の
Ｙ方向のずれ角を求め、このずれ角を補正する工程とを
有することを特長とするレーザ光軸補正方法。