JPH11278968A - Ｙ２ ＳｉＯ５ 被膜の高気密化方法 - Google Patents
Ｙ２ ＳｉＯ５ 被膜の高気密化方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化を図ることがで
きる方法を提供する。 【解決手段】 Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，
ＺｎＯ，Ｎａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 のうちの１つまたは
これらを２つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理
する。
きる方法を提供する。 【解決手段】 Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，
ＺｎＯ，Ｎａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 のうちの１つまたは
これらを２つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、部材などの耐酸化
性を向上させるために当該部材の表面に設けられるＹ2
ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法に関する。
性を向上させるために当該部材の表面に設けられるＹ2
ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】炭化珪素などの部材の耐酸化性を向上さ
せる場合、例えば、特開平７−２７７８６１号公報で
は、高融点（１９８０℃）であると共に酸化雰囲気中で
安定であるＹ2 ＳｉＯ5 の被膜を当該部材の表面に修飾
することにより、部材の酸化を防止することを提案して
いる。
せる場合、例えば、特開平７−２７７８６１号公報で
は、高融点（１９８０℃）であると共に酸化雰囲気中で
安定であるＹ2 ＳｉＯ5 の被膜を当該部材の表面に修飾
することにより、部材の酸化を防止することを提案して
いる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Ｙ2 Ｓ
ｉＯ5 被膜は、外部から部材表面への酸素のアタックを
完全に防止するだけの気密性を十分に有していないこと
から、部材の用途や材質などによっては、十分に満足で
きる酸化防止効果を得ることができなかった。
ｉＯ5 被膜は、外部から部材表面への酸素のアタックを
完全に防止するだけの気密性を十分に有していないこと
から、部材の用途や材質などによっては、十分に満足で
きる酸化防止効果を得ることができなかった。
【０００４】このようなことから、本発明は、Ｙ2 Ｓｉ
Ｏ5 被膜の高気密化を図ることができる方法を提供する
ことを目的とした。
Ｏ5 被膜の高気密化を図ることができる方法を提供する
ことを目的とした。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前述した課題を解決する
ための、本発明によるＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法
は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ，Ｎ
ａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ 3 のうちの１つまたはこれらを２
つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理することを
特徴する。
ための、本発明によるＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法
は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ，Ｎ
ａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ 3 のうちの１つまたはこれらを２
つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理することを
特徴する。
【０００６】上述したＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法
において、前記酸化物にＹ2 Ｏ3 またはＳｉＯ2 のうち
の一方またはこれらの混合物を７０モル％以下の割合と
なるように混合したことを特徴とする。
において、前記酸化物にＹ2 Ｏ3 またはＳｉＯ2 のうち
の一方またはこれらの混合物を７０モル％以下の割合と
なるように混合したことを特徴とする。
【０００７】上述したＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法
において、前記熱処理の温度が１５７３〜１９７３Ｋの
範囲内であることを特徴とする。
において、前記熱処理の温度が１５７３〜１９７３Ｋの
範囲内であることを特徴とする。
【０００８】上述したＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法
において、前記熱処理の時間が１〜１００時間の範囲内
であることを特徴とする。
において、前記熱処理の時間が１〜１００時間の範囲内
であることを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明によるＹ2 ＳｉＯ5 被膜の
高気密化方法の実施の形態を説明する。本発明によるＹ
2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の
表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ，Ｎａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3
のうちの１つまたはこれらを２つ以上混合した酸化物を
塗布した後、熱処理することを特徴し、さらに、前記酸
化物にＹ2 Ｏ3 またはＳｉＯ2 のうちの一方またはこれ
らの混合物を混合したことを特徴としている。
高気密化方法の実施の形態を説明する。本発明によるＹ
2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の
表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ，Ｎａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3
のうちの１つまたはこれらを２つ以上混合した酸化物を
塗布した後、熱処理することを特徴し、さらに、前記酸
化物にＹ2 Ｏ3 またはＳｉＯ2 のうちの一方またはこれ
らの混合物を混合したことを特徴としている。
【００１０】ここで、Ｙ2 Ｏ3 またはＳｉＯ2 のうちの
一方またはこれらの混合物の前記酸化物中の割合が７０
モル％を越えると、前記酸化物による気密化効果が十分
に発現できなくなってしまうことから、その混合割合を
７０モル％以下とすることが好ましい。
一方またはこれらの混合物の前記酸化物中の割合が７０
モル％を越えると、前記酸化物による気密化効果が十分
に発現できなくなってしまうことから、その混合割合を
７０モル％以下とすることが好ましい。
【００１１】また、前記熱処理は、処理時間が１時間に
満たないと、部材を均一的に加熱して均質的な温度分布
を与えることが困難となってしまい、処理時間が１００
時間を越えると、工業的にコスト高となってしまうこと
から、その処理時間を１〜１００時間の範囲内とするこ
とが好ましい。
満たないと、部材を均一的に加熱して均質的な温度分布
を与えることが困難となってしまい、処理時間が１００
時間を越えると、工業的にコスト高となってしまうこと
から、その処理時間を１〜１００時間の範囲内とするこ
とが好ましい。
【００１２】一方、処理温度が１９７３Ｋを越えると、
前記酸化物とＹ2 ＳｉＯ5 被膜とが顕著に反応してＹ2
ＳｉＯ5 被膜が溶融してしまう虞を生じ、処理温度が１
５７３Ｋに満たないと、処理時間が多大（１００時間を
越える）となってしまうことから、その処理温度を１５
７３〜１９７３Ｋの範囲内とすることが好ましい。
前記酸化物とＹ2 ＳｉＯ5 被膜とが顕著に反応してＹ2
ＳｉＯ5 被膜が溶融してしまう虞を生じ、処理温度が１
５７３Ｋに満たないと、処理時間が多大（１００時間を
越える）となってしまうことから、その処理温度を１５
７３〜１９７３Ｋの範囲内とすることが好ましい。
【００１３】このようにＹ2 ＳｉＯ5 被膜に上述したよ
うな処理を施すと、上記酸化物がＹ 2 ＳｉＯ5 被膜の開
気孔内に入り込んで当該開気孔が塞がれるようになるの
で、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の気密性が大幅に向上する。
うな処理を施すと、上記酸化物がＹ 2 ＳｉＯ5 被膜の開
気孔内に入り込んで当該開気孔が塞がれるようになるの
で、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の気密性が大幅に向上する。
【００１４】したがって、外部から部材表面への酸素の
アタックを十分に防止することができるようになるの
で、満足できる酸化防止効果を常に得ることができる。
アタックを十分に防止することができるようになるの
で、満足できる酸化防止効果を常に得ることができる。
【００１５】
【実施例】本発明によるＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方
法の効果を確認するため、次のような確認試験を行っ
た。
法の効果を確認するため、次のような確認試験を行っ
た。
【００１６】［確認試験１］ ＜試験体の製作＞Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 との粉末を１：１
のモル比で混合したものを一軸プレス機で成形（約１６
ｍｍφ×１．５ｍｍｔ）した後、大気雰囲気下、１９７
３Ｋの温度で１時間加熱して焼結させることにより得
た。このようにして得られたＹ2 ＳｉＯ5 被膜は、相対
密度が約８５％、ガス透過係数が１．３×１０-11 ｍ2
／ｓ・Ｐａであった。
のモル比で混合したものを一軸プレス機で成形（約１６
ｍｍφ×１．５ｍｍｔ）した後、大気雰囲気下、１９７
３Ｋの温度で１時間加熱して焼結させることにより得
た。このようにして得られたＹ2 ＳｉＯ5 被膜は、相対
密度が約８５％、ガス透過係数が１．３×１０-11 ｍ2
／ｓ・Ｐａであった。
【００１７】続いて、Ｂ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ，Ｎａ2 Ｃ
Ｏ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 の各酸化物を上記Ｙ2ＳｉＯ5 被膜の
片面にそれぞれ塗布（５ｍｇ／ｃｍ2 でスプレ塗布、た
だし、スプレ塗布し難いＢ2 Ｏ3 のみ１５ｍｇ／ｃ
ｍ2 ）したものをそれぞれ１７７３Ｋの温度で１０時間
熱処理した後、上記酸化物を塗布した面を残すように厚
さ約０．５ｍｍにそれぞれ研磨して試験体１〜４を各々
得た。
Ｏ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 の各酸化物を上記Ｙ2ＳｉＯ5 被膜の
片面にそれぞれ塗布（５ｍｇ／ｃｍ2 でスプレ塗布、た
だし、スプレ塗布し難いＢ2 Ｏ3 のみ１５ｍｇ／ｃ
ｍ2 ）したものをそれぞれ１７７３Ｋの温度で１０時間
熱処理した後、上記酸化物を塗布した面を残すように厚
さ約０．５ｍｍにそれぞれ研磨して試験体１〜４を各々
得た。
【００１８】＜試験方法＞アルゴンガスを用いて試験体
の表裏に差圧ΔＰを加え、試験体を透過した当該ガスの
流量（流速）Ｖk を大気中で石鹸膜流量計によりそれぞ
れ測定し、下記の式（１）に基づいてガス透過係数Ｋを
それぞれ求めることにより、試験体の気密性を評価す
る。
の表裏に差圧ΔＰを加え、試験体を透過した当該ガスの
流量（流速）Ｖk を大気中で石鹸膜流量計によりそれぞ
れ測定し、下記の式（１）に基づいてガス透過係数Ｋを
それぞれ求めることにより、試験体の気密性を評価す
る。
【００１９】
【数１】 Ｋ≡（Ｖk ・ｈ）／（ΔＰ・Ｓ） ・・・（１） ただし、ｈは試験体の室温での厚さ、Ｓは試験体の室温
での面積である。
での面積である。
【００２０】＜試験結果＞上述したようにして行った試
験の結果を表１に示す。
験の結果を表１に示す。
【００２１】
【表１】
【００２２】表１からわかるように、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜
は、素地のままだとガス透過係数Ｋが１．３×１０-11
ｍ2 ／ｓ・Ｐａであったのに対し、上記酸化物を塗布し
て熱処理を施すと、ガス透過係数Ｋが１．０×１０-12
〜５．０×１０-12 ｍ2 ／ｓ・Ｐａとなり、気密性が大
幅に向上した（Ｂ2 Ｏ3 で最も顕著）。
は、素地のままだとガス透過係数Ｋが１．３×１０-11
ｍ2 ／ｓ・Ｐａであったのに対し、上記酸化物を塗布し
て熱処理を施すと、ガス透過係数Ｋが１．０×１０-12
〜５．０×１０-12 ｍ2 ／ｓ・Ｐａとなり、気密性が大
幅に向上した（Ｂ2 Ｏ3 で最も顕著）。
【００２３】ここで、各試験体１〜４において、熱処理
に伴う寸法変化がみられなかったことから、これら試験
体１〜４の高気密化は、焼結による緻密化ではないと判
断される。
に伴う寸法変化がみられなかったことから、これら試験
体１〜４の高気密化は、焼結による緻密化ではないと判
断される。
【００２４】よって、このような酸化物をＹ2 ＳｉＯ5
被膜に塗布して熱処理することにより、Ｙ2 ＳｉＯ5 被
膜の高気密化を図れることが確認できた。
被膜に塗布して熱処理することにより、Ｙ2 ＳｉＯ5 被
膜の高気密化を図れることが確認できた。
【００２５】なお、酸化物としてＦｅ2 Ｏ3 を用いる
と、Ｆｅ2 Ｏ3 特有の赤褐色の呈色が熱処理後にも強く
認められ、塗布した表面のみにＦｅ2 Ｏ3 の残留が確認
された。Ｆｅ2 Ｏ3 が残留すると、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の
耐熱温度を低下させる虞があるので、Ｆｅ2 Ｏ3 は、１
７７３Ｋ以下の温度環境で使用することが好ましい。
と、Ｆｅ2 Ｏ3 特有の赤褐色の呈色が熱処理後にも強く
認められ、塗布した表面のみにＦｅ2 Ｏ3 の残留が確認
された。Ｆｅ2 Ｏ3 が残留すると、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の
耐熱温度を低下させる虞があるので、Ｆｅ2 Ｏ3 は、１
７７３Ｋ以下の温度環境で使用することが好ましい。
【００２６】［確認試験２］ ＜Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の成形＞Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 との粉
末を１：１のモル比で混合したものを黒鉛製の基材上に
溶射（大気圧プラズマ溶射法）してＹ2 ＳｉＯ5 被膜を
成形する。
末を１：１のモル比で混合したものを黒鉛製の基材上に
溶射（大気圧プラズマ溶射法）してＹ2 ＳｉＯ5 被膜を
成形する。
【００２７】＜酸化物の調整＞Ｂ2 Ｏ3 ，ＺｎＯ，Ｙ2
Ｏ3 ，ＳｉＯ2 の各酸化物を下記に示した組み合わせ
（計６種類）でそれぞれ混合して一軸プレス機でそれぞ
れ成形した後、大気雰囲気下１１７３Ｋの温度で１時間
それぞれ加熱して焼結させ、乳鉢でそれぞれ粉砕する。
Ｏ3 ，ＳｉＯ2 の各酸化物を下記に示した組み合わせ
（計６種類）でそれぞれ混合して一軸プレス機でそれぞ
れ成形した後、大気雰囲気下１１７３Ｋの温度で１時間
それぞれ加熱して焼結させ、乳鉢でそれぞれ粉砕する。
【００２８】《混合酸化物の種類》 （１）Ｙ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：１（モル比）で混合し
たもの（以下「ＢＺ１１」という。）（ＢＺ１１含有
量：１００モル％） （２）Ｙ2 Ｏ3 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを２：１：１（モ
ル比）で混合したもの（以下「ＹＢＺ２１１」とい
う。）（ＢＺ１１含有量：５０モル％） （３）Ｙ2 Ｏ3 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：１：１（モ
ル比）で混合したもの（以下「ＹＢＺ１１１」とい
う。）（ＢＺ１１含有量：６７モル％） （４）Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを２：
２：１：１（モル比）で混合したもの（以下「ＹＳＢＺ
２２１１」という。）（ＢＺ１１含有量：３３モル％） （５）Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：
１：１：１（モル比）で混合したもの（以下「ＹＳＢＺ
１１１１」という。）（ＢＺ１１含有量：５０モル％） （６）Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：
１：２：２（モル比）で混合したもの（以下「ＹＳＢＺ
１１２２」という。）（ＢＺ１１含有量：６７モル％）
たもの（以下「ＢＺ１１」という。）（ＢＺ１１含有
量：１００モル％） （２）Ｙ2 Ｏ3 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを２：１：１（モ
ル比）で混合したもの（以下「ＹＢＺ２１１」とい
う。）（ＢＺ１１含有量：５０モル％） （３）Ｙ2 Ｏ3 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：１：１（モ
ル比）で混合したもの（以下「ＹＢＺ１１１」とい
う。）（ＢＺ１１含有量：６７モル％） （４）Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを２：
２：１：１（モル比）で混合したもの（以下「ＹＳＢＺ
２２１１」という。）（ＢＺ１１含有量：３３モル％） （５）Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：
１：１：１（モル比）で混合したもの（以下「ＹＳＢＺ
１１１１」という。）（ＢＺ１１含有量：５０モル％） （６）Ｙ2 Ｏ3 とＳｉＯ2 とＢ2 Ｏ3 とＺｎＯとを１：
１：２：２（モル比）で混合したもの（以下「ＹＳＢＺ
１１２２」という。）（ＢＺ１１含有量：６７モル％）
【００２９】＜試験体の製作＞上述したようにして得ら
れた混合酸化物を上記Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜に下記に示した
量でそれぞれ塗布（計９種類）したら、１７７３Ｋの温
度で１０時間各々熱処理した後、大気雰囲気下、１２７
３Ｋの温度で前記基材を１時間熱処理し、当該基材を各
々酸化させて除去することにより、試験体５〜１３をそ
れぞれ得た。
れた混合酸化物を上記Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜に下記に示した
量でそれぞれ塗布（計９種類）したら、１７７３Ｋの温
度で１０時間各々熱処理した後、大気雰囲気下、１２７
３Ｋの温度で前記基材を１時間熱処理し、当該基材を各
々酸化させて除去することにより、試験体５〜１３をそ
れぞれ得た。
【００３０】 《試験体の種類》 ・試験体５ −「ＢＺ１１」 を ５ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体６ −「ＹＢＺ２１１」 を１０ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体７ −「ＹＢＺ１１１」 を１０ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体８ −「ＹＳＢＺ２２１１」を１０ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体９ −「ＹＳＢＺ１１１１」を２．５ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体１０−「ＹＳＢＺ１１１１」を ５ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体１１−「ＹＳＢＺ１１１１」を１０ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体１２−「ＹＳＢＺ１１１１」を１５ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。 ・試験体１３−「ＹＳＢＺ１１２２」を１５ｍｇ／ｃｍ2 塗布したもの。
【００３１】なお、試験体５〜８に用いたＹ2 ＳｉＯ5
被膜の素地でのガス透過係数は、４×１０-12 ｍ2 ／ｓ
・Ｐａであり、試験体９〜１３に用いたＹ2 ＳｉＯ5 被
膜の素地でのガス透過係数は、１〜２×１０-12 ｍ2 ／
ｓ・Ｐａであった。
被膜の素地でのガス透過係数は、４×１０-12 ｍ2 ／ｓ
・Ｐａであり、試験体９〜１３に用いたＹ2 ＳｉＯ5 被
膜の素地でのガス透過係数は、１〜２×１０-12 ｍ2 ／
ｓ・Ｐａであった。
【００３２】＜試験方法＞前述した確認試験１と同様に
して行った。
して行った。
【００３３】＜試験結果＞試験結果を表２に示す。
【００３４】
【表２】
【００３５】表２からわかるように、試験体５〜８で
は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の素地でのガス透過係数Ｋが４×
１０-12 ｍ2 ／ｓ・Ｐａであったのに対し、ＢＺ１１を
含有する上記混合酸化物を塗布して熱処理を施すと、ガ
ス透過係数Ｋが２．１×１０-1 2 〜５．８×１０-13 ｍ
2 ／ｓ・Ｐａとなり、気密性が大幅に向上することが確
認でき、試験体９〜１２では、塗布量が増えるにしたが
って、気密性が次第に高くなることが確認でき、試験体
１３では、ＹＳＢＺ１１２２を１５ｍｇ／ｃｍ2塗布す
ると、非常に優れた気密性（１．０×１０-14 ｍ2 ／ｓ
・Ｐａ）を得られることが確認できた。
は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の素地でのガス透過係数Ｋが４×
１０-12 ｍ2 ／ｓ・Ｐａであったのに対し、ＢＺ１１を
含有する上記混合酸化物を塗布して熱処理を施すと、ガ
ス透過係数Ｋが２．１×１０-1 2 〜５．８×１０-13 ｍ
2 ／ｓ・Ｐａとなり、気密性が大幅に向上することが確
認でき、試験体９〜１２では、塗布量が増えるにしたが
って、気密性が次第に高くなることが確認でき、試験体
１３では、ＹＳＢＺ１１２２を１５ｍｇ／ｃｍ2塗布す
ると、非常に優れた気密性（１．０×１０-14 ｍ2 ／ｓ
・Ｐａ）を得られることが確認できた。
【００３６】なお、各試験体５〜１３においても、熱処
理に伴う寸法変化がみられなかったことから、これら試
験体５〜１３の高気密化は、焼結による緻密化ではない
と判断される。
理に伴う寸法変化がみられなかったことから、これら試
験体５〜１３の高気密化は、焼結による緻密化ではない
と判断される。
【００３７】また、これら各試験体５〜１３の上記酸化
物塗布表面相をＸ線回折で調べたところ、Ｂ2 Ｏ3 およ
びＺｎＯの残留が認められず、また、上記酸化物を塗布
しなかった他方側の表面相もＸ線回折で同様に調べたと
ころ、結晶性の高いＹ2 ＳｉＯ5 の相と微量のＹ2 Ｏ3
の相とが認められた。すなわち、上述したような酸化物
を塗布して熱処理を施したＹ2 ＳｉＯ5 被膜のＸ線解析
結果は、上記酸化物を塗布せずに熱処理のみを施したＹ
2 ＳｉＯ5 被膜のＸ線解析結果と同様であった。
物塗布表面相をＸ線回折で調べたところ、Ｂ2 Ｏ3 およ
びＺｎＯの残留が認められず、また、上記酸化物を塗布
しなかった他方側の表面相もＸ線回折で同様に調べたと
ころ、結晶性の高いＹ2 ＳｉＯ5 の相と微量のＹ2 Ｏ3
の相とが認められた。すなわち、上述したような酸化物
を塗布して熱処理を施したＹ2 ＳｉＯ5 被膜のＸ線解析
結果は、上記酸化物を塗布せずに熱処理のみを施したＹ
2 ＳｉＯ5 被膜のＸ線解析結果と同様であった。
【００３８】よって、上記酸化物を塗布して熱処理を施
したＹ2 ＳｉＯ5 被膜は、従来のＹ 2 ＳｉＯ5 被膜と同
様な高温物性が発現できるといえる。
したＹ2 ＳｉＯ5 被膜は、従来のＹ 2 ＳｉＯ5 被膜と同
様な高温物性が発現できるといえる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によるＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密
化方法は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，Ｚｎ
Ｏ，Ｎａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 のうちの１つまたはこれ
らを２つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理する
ので、当該酸化物がＹ2 ＳｉＯ 5 被膜の開気孔内に入り
込んで当該開気孔が塞がれるようになる。このため、Ｙ
2 ＳｉＯ5 被膜の気密性を大幅に向上させることができ
るので、外部から部材表面への酸素のアタックを十分に
防止することができ、満足できる酸化防止効果を常に得
ることができる。
化方法は、Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，Ｚｎ
Ｏ，Ｎａ2 ＣＯ3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 のうちの１つまたはこれ
らを２つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理する
ので、当該酸化物がＹ2 ＳｉＯ 5 被膜の開気孔内に入り
込んで当該開気孔が塞がれるようになる。このため、Ｙ
2 ＳｉＯ5 被膜の気密性を大幅に向上させることができ
るので、外部から部材表面への酸素のアタックを十分に
防止することができ、満足できる酸化防止効果を常に得
ることができる。
【００４０】また、前記酸化物にＹ2 Ｏ3 またはＳｉＯ
2 のうちの一方またはこれらの混合物を７０モル％以下
の割合となるように混合すると、上述した効果をさらに
向上させることができる。
2 のうちの一方またはこれらの混合物を７０モル％以下
の割合となるように混合すると、上述した効果をさらに
向上させることができる。
【００４１】また、前記熱処理の温度が１５７３〜１９
７３Ｋの範囲内であると、上述した効果を問題なく確実
に得ることができる。
７３Ｋの範囲内であると、上述した効果を問題なく確実
に得ることができる。
【００４２】また、前記熱処理の時間が１〜１００時間
の範囲内であると、上述した効果を効率よく得ることが
できる。
の範囲内であると、上述した効果を効率よく得ることが
できる。
Claims (4)
- 【請求項１】 Ｙ2 ＳｉＯ5 被膜の表面に、Ｂ2 Ｏ3 ，
ＺｎＯ，Ｎａ2 ＣＯ 3 ，Ｆｅ2 Ｏ3 のうちの１つまたは
これらを２つ以上混合した酸化物を塗布した後、熱処理
することを特徴するＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法。 - 【請求項２】 前記酸化物にＹ2 Ｏ3 またはＳｉＯ2 の
うちの一方またはこれらの混合物を７０モル％以下の割
合となるように混合したことを特徴とする請求項１に記
載のＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法。 - 【請求項３】 前記熱処理の温度が１５７３〜１９７３
Ｋの範囲内であることを特徴とする請求項１または２に
記載のＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法。 - 【請求項４】 前記熱処理の時間が１〜１００時間の範
囲内であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに
記載のＹ2 ＳｉＯ5 被膜の高気密化方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8554498A JPH11278968A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | Ｙ２ ＳｉＯ５ 被膜の高気密化方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8554498A JPH11278968A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | Ｙ２ ＳｉＯ５ 被膜の高気密化方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11278968A true JPH11278968A (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=13861810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8554498A Withdrawn JPH11278968A (ja) | 1998-03-31 | 1998-03-31 | Ｙ２ ＳｉＯ５ 被膜の高気密化方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11278968A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2355005A (en) * | 1999-10-04 | 2001-04-11 | Caterpillar Inc | Rare earth silicate coating on a silicon-based ceramic component formed by controlled oxidation |
-
1998
- 1998-03-31 JP JP8554498A patent/JPH11278968A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2355005A (en) * | 1999-10-04 | 2001-04-11 | Caterpillar Inc | Rare earth silicate coating on a silicon-based ceramic component formed by controlled oxidation |
| US6562409B2 (en) | 1999-10-04 | 2003-05-13 | Caterpillar Inc | Method for forming a rare earth silicate coating on a silicon based ceramic component by controlled oxidation for improved corrosion resistance |
| GB2355005B (en) * | 1999-10-04 | 2004-03-24 | Caterpillar Inc | Rare earth silicate coating on a silicon-based ceramic component by controlled oxidation for improved corrosion resistance |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050607 |