JPH11271375A - 電子部品検査装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 デバイスを吸着保持するノズルの摩擦状態を
日常的に管理することができ、ノズルの磨耗による測定
検査の異常発生を防止して常時安定した測定検査を行え
ること。 【解決手段】 回転テーブルが回転すると、ノズルＮの
吸着面Ｎａの表面状態がセンサ３で検出される。次に、
ノズルＮは供給部で電子部品を吸着し測定部まで搬送す
る。ノズル昇降手段２は、ノズルＮを下降させ電子部品
を測定治具方向に移動させ、測定を開始する。処理部４
は、センサ３の検出信号によってノズルの磨耗状態を判
断し、予め定められた所定範囲を越える判断時には異常
状態を外部出力する。また、所定範囲内と判断すると、
電子部品を測定治具に接触させる際にノズルの磨耗量に
対応した補正値ΔＹを用いて接圧が一定となるようノズ
ル昇降手段２の下降量を可変制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品の各種特
性を測定する電子部品検査装置に係り、特に、電子部品
を吸着し測定部に搬送するノズルの磨耗状態等を管理し
て測定を安定化できる電子部品検査装置及び方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】電子部品（以下デバイスと略称する）の
各種電気特性は、電子部品検査装置で測定される。この
電子部品検査装置は、デバイスの供給部、測定部、回収
部、搬送部などから大略構成される。供給部のデバイス
は搬送部で１個づつ取り出し測定部に搬送される。搬送
後、測定部はデバイスの電気特性を測定する。測定後の
デバイスは、搬送部で回収部に搬送され、測定結果に応
じて所定のランク別に設けられた回収部にそれぞれ選別
回収される。このランクには良、不良選別も有する。

【０００３】この搬送部は、ハンドの端部にデバイスを
吸着保持するための吸着ノズル（以下ノズルと略称す
る）が設けられ、エア源の吸着力に基づきデバイスをハ
ンドの端部に吸着保持して搬送する。また、測定時にお
いては、ノズルがデバイスを吸着した状態のまま、ハン
ドが測定部の測定治具（テストフィクスチャ：ＴＦ）に
所定圧力で押し付ける。これにより、デバイスのリード
が測定治具に設けられた接触端子に接触し、処理部から
の測定信号がケーブル等を介してデバイスに入出力さ
れ、各種測定が行えるようになっている。測定後におい
ても、ノズルはデバイスを吸着した状態のまま、このデ
バイスを回収部まで搬送する。

【０００４】上記構成は、ハンドが供給部から回収部ま
で移動する構成の装置について説明したが、他には、図
６に示すように搬送部として回転テーブルを有する装置
もある。この装置では回転テーブル５０の周面に複数の
ハンド５１が設けられている。また、回転テーブル５０
の周面にはデバイスをハンド５１に渡す供給部５２と、
ハンド５１から測定後のデバイスを受け取る回収部５３
が設けられている。そして、この装置のハンド５１にお
いても、上記同様に端部にはノズルが設けられており、
回収部５３から受け取った後のデバイスを吸着保持状態
のまま測定部５４の測定治具５４ａに上方から押し付け
て測定器５４ｂで各種電気特性を測定させ、測定後も吸
着状態のまま回収部５３に送り出す。ここでデバイスの
受け取り及び送り出しは、回転テーブル５０が図中Ａ方
向に回転してハンド５１が供給部５２、回収部５３に位
置したときになされる。これらいずれの装置において
も、ハンドに設けられたノズルは、デバイスを吸着状態
に保持し、かつ、昇降してデバイスのリードを測定部に
向けて所定の接触圧力（接圧）で押し付ける構成となっ
ている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たノズルは、鉄などで成形されたものであり、デバイス
の測定回数が増えると、経時変化により吸着面が磨耗す
る。磨耗の原因としては、前記測定部への押し付け力が
加わる構成であることや、デバイス側の吸着面の材質な
どがある。デバイスは特にセラミック製であるときノズ
ル側が磨耗しやすい。この他、測定部の測定面とノズル
の吸着面との平行度が保たれていない場合にも生じる。

【０００６】このノズルの磨耗状態としては、全体が擦
り減る状態や、片減り、即ちノズル先端部が一方に傾斜
して擦り減る状態などがある。このようにノズルが擦り
減ると、デバイスの吸着状態が安定しなくなったり、測
定部の接触端子にデバイスを安定して押し付けることが
できなくなる（所定の接圧を得られなくなる）。例え
ば、ノズル面全体が減ればデバイス全体の接圧が低下
し、片減りでは一部のリードの接圧が低くなる。これに
より、測定部の接触端子にデバイスの全端子を良好に接
触できなくなり、測定条件を悪化させることになる。

【０００７】従来の装置では、ノズルの磨耗を所定時期
経過時（例えば３０万回の測定時や、月１回単位）や、
摩擦状態の目視検査で、あるいは、装置の搬送ミス（歩
留りの低下時）が発生した時点で行っており、いずれも
ノズルの使用が不適切な状態となった後であっても継続
使用していることが多かった。これにより、装置の異常
発生後にノズル交換を行なうことが多くなり、自動検査
装置の稼働効率を低下させる問題があった。

【０００８】本発明は、上記課題を解決するためになさ
れたものであり、デバイスを吸着保持するノズルの摩擦
状態を日常的に管理することができ、ノズルの磨耗によ
る測定検査の異常発生を防止して常時安定した測定検査
を行える電子部品検査装置及び方法を提供することを目
的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の電子部品検査装置は、請求項１記載のよう
に、電子部品を吸着保持するノズル（Ｎ）と、電子部品
のリードに対し測定信号を入出力するための接触端子を
有する測定治具（５４ａ）とを含む測定部とを備え、前
記電子部品の特性を測定する電子部品検査装置におい
て、前記電子部品を吸着保持するノズル（Ｎ）の吸着面
（Ｎａ）の表面状態を検出するセンサ（３）と、前記測
定治具の接触端子に対し前記電子部品のリードを所定の
接圧で接触するように前記ノズルを所定量移動可能にさ
れたノズル昇降手段（２）と、前記センサの検出状態に
基づきノズルの磨耗状態を判断し、予め定められた所定
範囲を越える磨耗である旨の判断時には異常状態を外部
出力し、所定範囲内の磨耗である旨の判断時には該磨耗
量に対応して前記ノズル昇降手段の移動量を可変して前
記接圧を一定に制御する処理手段（４）と、を具備した
ことを特徴としている。

【００１０】また、請求項２記載のように、前記処理手
段（４）は、前記ノズル（Ｎ）の磨耗量に対応した補正
値（ΔＹ）を演算して求め、前記ノズル昇降手段（２）
に設けられた駆動源の移動量を前記補正値で可変制御す
る構成としてもよい。

【００１１】また、請求項３記載のように、前記処理手
段（４）は、前記センサ（３）から出力される検出信号
を受けてノズル（Ｎ）の一端（Ｎｂ）と他端（Ｎｃ）そ
れぞれの検出信号に基づき、ノズルの傾き量及び、全体
の磨耗量を演算して求め、傾き量と全体の磨耗量それぞ
れが前記所定範囲であるか否かを判断して、各別の前記
判断処理を行なう構成としてもよい。

【００１２】本発明の請求項４記載の電子部品検査装置
は、電子部品を吸着保持して測定部に搬送し特性を測定
する電子部品検査装置において、前記電子部品を供給す
る供給部（５２）、電子部品の特性を測定する測定部
（５４）、測定後の電子部品を回収する回収部（５３）
がそれぞれ円周位置上に配置され、前記円周位置上に配
置された供給部、測定部、回収部を通過すべく回転自在
であり、前記電子部品を供給部から測定部を介し回収部
に順次搬送するための回転テーブル（５０）と、前記回
転テーブルの周面に複数配置され、該回転テ−ブルが回
転して前記供給部、測定部、回収部の回動位置でそれぞ
れ昇降自在なハンド（５１）と、前記各ハンドの端部に
それぞれ設けられ、前記電子部品を前記回収部で吸着保
持し前記回収部までの間で連続して吸着状態を保持する
ノズル（Ｎ）と、前記ノズルに対向する前記回転テーブ
ルの周縁上の一部に固定して配置され、ノズルの吸着面
（Ｎａ）の表面状態を検出するセンサ（３）と、前記測
定部に設けられ、前記電子部品の下降時に電子部品のリ
−ドに接触する接触端子を有し電子部品に対し測定信号
を入出力する測定治具（５４ａ）と、前記電子部品のリ
ードを前記測定治具の接触端子に対し所定の接圧で接触
するよう前記ハンドの下降量を可変自在に駆動させるノ
ズル昇降手段（２）と、前記センサの検出状態に基づき
ノズルの磨耗状態を判断し、予め定められた所定範囲を
越える磨耗である旨の判断時には異常状態を外部出力
し、所定範囲内の磨耗である旨の判断時には、前記電子
部品を測定治具に接触させる際にノズルの磨耗量に対応
して前記ノズル昇降手段の下降量を可変して前記接圧を
一定に制御する処理手段（４）と、を具備したことを特
徴とする。

【００１３】また、請求項５記載のように、前記センサ
（３）は、前記回転テ−ブル（５０）の回転方向に対し
前記電子部品が未吸着状態にある前記回収部から前記供
給部までの間に配置され、前記電子部品の連続検査時に
回転テ−ブル（５０）が回転する期間中に前記複数のノ
ズル（Ｎ）それぞれの吸着面（Ｎａ）の表面状態を検出
し、前記処理手段（４）は、前記センサの検出信号に基
づき各ノズル毎に前記判断処理を制御実行する構成とし
てもよい。

【００１４】また、請求項６記載のように、前記センサ
（３）は、前記回転テ−ブル（５０）の回転方向に対し
前記電子部品が未吸着状態にある前記回収部から前記供
給部までの間に配置され、前記回転テ−ブル（５０）の
回転により前記複数のノズル（Ｎ）それぞれの吸着面
（Ｎａ）の表面状態を検出し、前記処理手段（４）は、
前記センサの検出信号に基づき各ノズル別の磨耗状態を
判断し、予め定められた所定範囲を越える磨耗である旨
の判断時には異常状態を外部出力し、所定範囲内の磨耗
である旨の判断時には、各ノズルの磨耗量に対応する前
記ノズル昇降手段の下降量を記憶部（１５）に蓄積記憶
し、対応するノズルが前記電子部品を測定治具に接触さ
せる際に該記憶部から下降量を読み出して前記接圧を一
定にする制御を実行する構成としてもよい。

【００１５】本発明の電子部品検査方法は、請求項７記
載のように、電子部品をノズル（Ｎ）で吸着保持して測
定部（５４）に搬送し、該測定部の位置にてノズルを移
動させて電子部品を測定部に接触させ特性を測定する電
子部品検査方法において、前記ノズルの吸着面（Ｎａ）
の表面状態をセンサ（３）で検出する工程と、前記電子
部品の測定時に該電子部品を前記測定部に所定の接圧で
接触させるために前記ノズルを所定量移動させる工程
と、前記センサの検出状態に基づきノズルの磨耗状態を
判断し、予め定められた所定範囲を越える磨耗である場
合には異常状態を外部出力し、所定範囲内の磨耗である
場合には、前記電子部品の測定時に該磨耗量から演算し
た補正値（ΔＹ）に基づきノズルの移動量を可変制御し
て前記接圧を一定に制御する工程と、を具備することを
特徴とする。

【００１６】上記構成によれば、電子部品はノズルＮの
吸着面Ｎａに吸着保持されて測定部５４まで移動する。
この後、ノズル昇降手段２は、ノズルＮを測定治具５４
ａの接触端子に所定の接圧となるよう所定量移動させ
る。ノズルＮの吸着面Ｎａの表面状態はセンサ３で検出
され、処理手段４に出力される。処理手段４は、センサ
３の検出状態に基づきノズルＮの磨耗状態を判断する。
そして、予め定められた所定範囲を越える磨耗である旨
の判断時には異常状態を外部出力する。また、所定範囲
内の磨耗である旨の判断時には該磨耗量に対応して演算
された補正値ΔＹを用いて前記ノズル昇降手段２の移動
量を可変する。これにより、ノズルＮの磨耗が進んだと
きの交換時期を容易に知ることができるとともに、装置
稼働中における測定治具５４ａに対する電子部品の接圧
を常時一定にできる。

【００１７】

【発明の実施の形態】次に、本発明の電子部品検査装置
の一実施形態を説明する。本発明における電子部品検査
装置は、従来技術で説明した供給部、搬送部、回収部、
測定部を有しており、詳細な説明は省略する。また、搬
送部は回転テーブルを有する構成のものを例に説明す
る。

【００１８】図１は、同装置に設けられるノズル制御手
段を示すブロック図である。このノズル制御手段は、搬
送部に設けられたハンド（ノズル）を測定治具方向に移
動（昇降）制御するノズル昇降手段２と、ノズルの吸着
面の状態を検出するセンサ３と、センサ３の検出出力に
基づきノズルの摩擦状態を判断し、摩擦状態に合わせて
ノズル昇降手段２の昇降を制御するなどの各種処理を行
なう処理手段４で大略構成されている。

【００１９】ノズル昇降手段２は、固定高さ位置で回転
する回転テーブル５０に対しハンド全体を昇降させる構
成であり、回転テーブル５０とハンドの間に設けられた
スライド軸受と、ハンドを昇降駆動する駆動源（例えば
サーボモータやパルスモータ）で構成されている。この
駆動源は処理手段４に制御されて、ハンドの昇降量（前
記接圧）を可変する。

【００２０】センサ３は、非接触レーザ変位計で構成さ
れる。このセンサ３は、図６に示すように、ハンドの端
部（下端部）に設けられたノズルの吸着面に対向するよ
う装置側に固定設置される。このセンサ３はノズルの吸
着面に対しレーザ光（測定光）を照射し、その反射光を
位置検出素子で受光する構成である。このセンサ３は、
ノズルとセンサ３との距離に応じて位置検出素子の受光
面上での反射光の焦点位置が移動し距離に対応する検出
信号を出力する。即ち、ノズルの吸着面の凹凸は、検出
信号の変化として処理手段４に出力される。また、この
固設されたセンサ３に対し回転テーブル５０が回転し各
ノズルがこのセンサ３の測定光を受けて測定される。

【００２１】処理手段４は、ＣＰＵやＲＯＭ，ＲＡＭ，
Ｉ／Ｆなどで構成され、汎用のマイコンで構成できる。
ここで、図１に記載した処理手段４の内部ブロック構成
は、いずれもＣＰＵが実行する各処理プログラムの機能
を便宜上、分離記載したに過ぎず、図示のようなハード
ウェア構成を必要とするものではないとともに、処理プ
ログラムの実行手順の変更に対応して図示の各機能は同
様に変更される。さらに、この処理手段４は、従来技術
で説明した測定器５４ｂのハードウェアを利用して後述
する処理プログラムを実行して機能するものであり、測
定器５４ｂの一部機能として組み込むことができる。

【００２２】以下、処理手段４内部の各機能（構成）を
説明する。磨耗量演算部１０は、センサ３から出力され
る検出信号を各ノズルの検出毎に所定期間取り込み、磨
耗状態を演算処理する。図２はセンサ３によるノズルＮ
の検出状態を示す側面図である。ノズルＮは、回転テー
ブル５０により図中Ａ方向に移動する。したがって、図
２（ａ）に示すようにセンサ３は時期ｔ１にてノズルの
一端Ｎｂの変位量を検出し始め、以降、図２（ｂ）に示
す如く他端Ｎｃに達するまで（時期ｔ２まで）の間、ノ
ズルＮの吸着面Ｎａの変位量を検出し検出信号を出力す
る。

【００２３】図３は、ノズルＮの接触面に各測定値を示
す概要図である。この図では、片減りの状態にあるノズ
ルＮを示している。摩擦量演算部１０は、時期ｔ１のと
きに検出された変位量Ｙａと、時期ｔ２のときに検出さ
れた変位量Ｙｂをそれぞれ一時記憶し、これらＹａ，Ｙ
ｂに基づき下記式（１）で吸着面の傾き量Ｙ１を演算す
る。 Ｙ１＝｜Ｙａ−Ｙｂ｜ …式（１）

【００２４】また、下記式（２）で吸着面位置（平均位
置）Ｙ２を演算する。 Ｙ２＝（Ｙａ＋Ｙｂ）／２ …式（２） これら傾き量Ｙ１，吸着面位置Ｙ２は、比較部１１に出
力される。

【００２５】比較部１１は、傾き量Ｙ１を予め設定され
ている判定値Ｘ１と比較する（下記式（３）参照）。 傾き量Ｙ１＜判定値Ｘ１ …式（３） 判定値Ｘ１は、ノズルＮの接触面で許容する傾斜角度に
相当する。この判定により、傾き量Ｙ１が判定値Ｘ１よ
り大きい値のときには、傾きが大き過ぎるとして傾き量
異常の旨の異常信号を外部出力する。

【００２６】また、比較部１１は、吸着面位置Ｙ２を予
め設定されている判定値Ｘ２と比較する（下記式（４）
参照）。 吸着面位置Ｙ２＜判定値Ｘ２ …式（４） 判定値Ｘ２は、原点位置（測定治具に設けられた接触端
子の面位置に相当）からノズルＮの接触面の位置までの
間で許容する高さ（距離）に相当する。この判定によ
り、吸着面位置Ｙ２が判定値Ｘ２より大きい値のときに
は、吸着面位置が限度を越えた旨の異常信号を外部出力
する。また、吸着面位置Ｙ２を示す信号は、補正値演算
部１３に出力される。

【００２７】補正値演算部１３は、吸着面位置Ｙ２を示
す信号と、初期値設定部１２に設定された初期値Ｙ０に
基づき、下記式（５）を実行しノズルＮの減り量ΔＹを
演算する。 ΔＹ＝（Ｙ２−Ｙ０） …（５）

【００２８】初期値設定部１２に設定される初期値Ｙ０
は、基準となる（減りのない）ノズルＮａを用いたとき
における原点位置から、このノズルＮａまでの間の高さ
（距離）に相当する。この初期値Ｙ０は、予め基準とな
るノズルＮｘを装着したときにこのノズルＮ０をセンサ
３で測定して得る。そして、この測定時の値を初期値Ｙ
０として初期値設定部１２に記憶設定する。また、装置
で検査するデバイスの種類が変わったときにノズルＮ０
を別の種類のものに変更した場合にもこのノズルＮ０を
実測して初期値Ｙ０を初期値設定部１２に設定する。

【００２９】昇降制御駆動部１４は、補正値ΔＹに基づ
き、ノズル昇降手段２のモータに出力する駆動信号（ノ
ズルＮの下降量）をこの補正値ΔＹに相当する分だけ可
変制御する。即ち、デバイスを測定治具５４ａに押し付
けるときの下降量をこの補正値ΔＹだけ可変させる。こ
こで、モータがサーブモータである場合には、サーボ量
を可変制御する。一方、モータがパルスモータである場
合には、駆動パルスを可変制御する。この可変制御は、
実際に装置が稼働してデバイスを測定している期間中に
行われ各ノズル別に用意された補正値ΔＹ（詳細は後
述）により行なわれる。なお、センサ３は、図６に示す
ようにハンド５１（ノズルＮ）がデバイスを保持してい
ない状態にある箇所（範囲Ｂ内）に配置される。

【００３０】そして、回転テーブル５０には、複数のハ
ンド５１（ノズルＮ）が設けられており、センサ３は、
各ノズルＮ（Ｎ１，Ｎ２，…，Ｎｎ）毎に接触面Ｎａの
状態を検出し、各ノズルＮについて補正値ΔＹに基づき
下降量が可変制御される。

【００３１】ここで、昇降制御駆動部１４は、各ノズル
Ｎ別の補正値ΔＹを記憶部１５に記憶する構成としても
よい。図４は、記憶部１５におけるデータ構造図であ
り、各ノズルＮ（Ｎ１，Ｎ２，…，Ｎｎ）についてそれ
ぞれの補正値ΔＹ（ΔＹ１，ΔＹ２，…，ΔＹｎ）がテ
ーブル形式で格納される。そして、各ノズルＮがデバイ
スを測定治具５４ａに押し付けるときに記憶部１５から
対応するノズルＮの補正値ΔＹを読み出し、ノズル昇降
手段２に対し、下降量の駆動信号をこの補正値ΔＹだけ
可変させて出力することができる。

【００３２】以下、上記構成による装置の動作を説明す
る。上述したように、この電子部品検査装置は、デバイ
スの測定中にノズルＮの磨耗を判別する構成である。以
下の説明では、デバイスの測定動作については省略し、
本願発明の要旨とするノズルＮの磨耗判別処理について
説明する。また、センサ３の設置位置は、図６に示すよ
うに、各ハンド５１の移動位置の間、即ち、センサ３上
でノズルＮが停止せず連続移動する位置に設けた例につ
いて説明する。

【００３３】図５は、ノズルＮの磨耗判別処理を示すフ
ローチャートである。デバイス搬送のためにノズルＮが
設けられた回転テーブル５０が回転し（ＳＰ１）ノズル
Ｎがセンサ３部分を通過するとき、センサ３はノズルＮ
の一端Ｎｂを検出する（ＳＰ２）。このとき（時期ｔ
１）におけるノズルＮの一端Ｎａの変位量Ｙａは、処理
手段４の摩擦量演算部１０に取込まれる（ＳＰ３）。

【００３４】回転テーブル５０が回転を続けると、セン
サ３はノズルＮの他端Ｎｃを検出する（ＳＰ４）。この
とき（時期ｔ２）におけるノズルＮの他端Ｎｂの変位量
Ｙｂは、処理手段４の摩擦量演算部１０に取込まれる
（ＳＰ５）。

【００３５】上記時期ｔ１，ｔ２における変位量Ｙａ，
Ｙｂの取り込みタイミングは、センサ３の変位出力の大
幅な変動を検出したときであるとしてそれぞれ得ること
ができる。なお、回転テーブル５０の停止時に各ノズル
Ｎの一端Ｎａがセンサ３の検出位置上に位置する構成で
あるときには、この停止時に一端Ｎａの変位量Ｙａを検
出できる。また、ノズルＮの他端Ｎｂの検出は、回転テ
ーブル５０が移動開始してから他端Ｎｂがセンサ３の検
出位置上を通過するに相当する期間経過時（時期ｔ２）
に行なう構成としてもよい。この期間はソフトウェアタ
イマなど計時手段を用いて行える。

【００３６】次に、磨耗量演算部１０は、変位量Ｙａ，
Ｙｂに基づき、上記式（１）で吸着面の傾き量Ｙ１を演
算する。また、上記式（２）で吸着面位置（平均位置）
Ｙ２を演算する。これら傾き量Ｙ１，吸着面位置Ｙ２を
比較部１１に出力する（ＳＰ６）。

【００３７】比較部１１は、上記式（３）で傾き量Ｙ１
を予め設定されている判定値Ｘ１と比較する（ＳＰ
７）。傾き量Ｙ１が判定値Ｘ１より大きい値のときには
（ＳＰ７-NO ）、傾きが大き過ぎるとして傾き量異常の
旨の異常信号を外部出力する。また、上記式（４）で吸
着面位置Ｙ２を予め設定されている判定値Ｘ２と比較す
る（ＳＰ８）。吸着面位置Ｙ２が判定値Ｘ２より大きい
値のときには（ＳＰ８-NO ）、吸着面位置が限度を越え
た旨の異常信号を外部出力する。そして、吸着面位置Ｙ
２を示す信号は、補正値演算部１３に出力される。

【００３８】次に、補正値演算部１３は、上記式（５）
により、吸着面位置Ｙ２を示す信号と、初期値設定部１
２に設定された初期値Ｙ０に基づきノズルＮの減り量Δ
Ｙを演算する（ＳＰ９）。そして、昇降制御駆動部１４
は、補正値ΔＹに基づきノズル昇降手段２に出力する駆
動信号をこの補正値ΔＹに相当する分だけ可変制御する
（ＳＰ１０）。

【００３９】これにより、ノズル昇降手段２は、デバイ
スを測定部５４の測定治具５４ａで測定するときにノズ
ルＮの下降量（モータの移動量）を補正値ΔＹだけ可変
して押し付ける。例えば、ノズルＮが磨耗して吸着面位
置Ｙ２が大きくなったときには、ノズル昇降手段２は、
補正値ΔＹ分だけノズルＮ（ハンド５１）の下降量をよ
り多く下降させる。これにより、測定治具５４ａの接触
端子に接触するデバイスのリードはノズルＮが磨耗して
も一定の接圧にでき、測定信号の入出力を安定に維持で
き測定に影響を与えない。

【００４０】そして、上記処理によれば、ノズルＮの吸
着面Ｎａが磨耗しても、この吸着面Ｎａが所定角度範囲
内の傾斜で、かつ、全体の磨耗量が所定値以内であると
きには、このノズルＮの継続使用が許可されることとな
り、ノズルＮの磨耗状態を管理できるようになる。ま
た、使用が許可されたノズルＮは、デバイスの吸着を安
定して行え搬送不良を防止できるとともに、また、ノズ
ルＮの磨耗状態に応じてデバイス測定時におけるノズル
Ｎの下降量を可変制御するため、デバイスのリードを測
定治具の接触端子に一定な接圧で接触させることができ
るようになる。これにより、常時デバイスの測定を安定
して行えるようになる。

【００４１】上記一連のノズル磨耗の判別処理は、ある
１つのノズルＮ１に対しての処理である。回転テーブル
５０には、複数のハンド５１が設けられ各ハンド５１に
はそれぞれノズルＮ１〜Ｎｎが設けられている。したが
って、回転テーブル５０が回転する毎に、各ノズルＮ１
〜Ｎｎに対しそれぞれ上記ノズルの磨耗判別処理が繰返
し実行されることになる。

【００４２】ところで、この繰返し実行にあたり、昇降
制御駆動部１４は、図４のデータ構造図に示すように、
テーブル形式で各ノズルＮ別の補正値ΔＹを記憶部１５
に記憶する処理を実行してもよい（ＳＰ１１）。即ち、
この処理は、各ノズルＮに対するセンサ３の磨耗検出を
装置稼働中連続して行わない場合に実行される。例え
ば、装置の起動開始時のみ、あるいは稼働中所定時間経
過毎に間欠的に行う場合などに実行される。

【００４３】ＳＰ１１のこの処理を実行する場合には、
回転テーブル５０が１回転するまでの間、昇降制御駆動
部１４は、各ノズルＮ別の補正値ΔＹを記憶部１５に記
憶させる。この後、センサ３の検出を停止させてから以
降は、各ノズルＮ１〜Ｎｎがデバイスを測定治具５４ａ
に装着するときに記憶部１５のテーブルを参照して、各
ノズルＮ１〜Ｎｎそれぞれの補正値ΔＹ１，ΔＹｎを読
み出し、ノズル昇降手段２に対し、下降量の駆動信号を
この補正値ΔＹだけ可変させて出力する。

【００４４】上記実施の形態では、ノズルＮを有するハ
ンド５１が回転テーブル５０に複数個設けられた構成を
例に説明したが、本願発明の上述したノズル磨耗判別に
かかる構成は、他に、Ｘ，Ｙ軸方向に移動自在なアーム
に単一個のノズルＮが設けられた構成にも適用すること
ができる。この構成においても、ノズルＮの磨耗状態に
応じてノズルＮの下降量を補正値ΔＹで補正して下降量
を可変制御できる。

【００４５】また、センサ３として非接触レーザ変位計
を用いる構成について説明したが、他に、磁気センサを
用いたり、ノズルＮの吸着面Ｎａに接触する接触センサ
を用いても同様の作用効果を得ることができる。

【００４６】

【発明の効果】本発明によれば、ノズルの吸着面の磨耗
状態がすすんだときにはこのノズルの交換時期を簡単に
知ることができ、磨耗状態を容易に管理できるようにな
る。また、使用許可されたノズルを用いた装置稼働時に
は、ノズルの磨耗量に対応して測定治具に対するノズル
の移動量が可変制御されるため、ノズルの磨耗状態が変
化しても電子部品を測定治具の接触端子に常に一定な接
圧で接触させることができるようになる。これにより、
常時デバイスの測定を安定して行えるようになる。同時
に、このノズルの磨耗状態が管理されるため、装置稼働
中におけるデバイスの吸着を安定して行え搬送不良を防
止できる。これにより、本発明の電子部品検査装置によ
れば、電子部品の測定を常時安定して行えるようにな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の電子部品検査装置の要部構成を示すブ
ロック図。

【図２】ノズルの磨耗検出状態を説明するための側面
図。

【図３】ノズルの磨耗判断のための各部の測定値を示す
図。

【図４】記憶部の記憶状態を示すデータ構造図。

【図５】本装置の磨耗判別処理を示すフローチャート。

【図６】電子部品検査装置の全体構成を示す平面図。

【符号の説明】

２…ノズル昇降手段、３…センサ、４…処理手段、１０
…磨耗量演算部、１１…比較部、１２…初期値設定部、
１３…補正値演算部、１４…昇降制御駆動部、１５…記
憶部、５０…回転テーブル、５１…ハンド、５４…測定
部、５４ａ…測定治具、Ｎ…ノズル、Ｎａ…吸着面。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子部品を吸着保持するノズル（Ｎ）
   と、電子部品のリードに対し測定信号を入出力するため
   の接触端子を有する測定治具（５４ａ）とを含む測定部
   とを備え、前記電子部品の特性を測定する電子部品検査
   装置において、 前記電子部品を吸着保持するノズル（Ｎ）の吸着面（Ｎ
   ａ）の表面状態を検出するセンサ（３）と、 前記測定治具の接触端子に対し前記電子部品のリードを
   所定の接圧で接触するように前記ノズルを所定量移動可
   能にされたノズル昇降手段（２）と、 前記センサの検出状態に基づきノズルの磨耗状態を判断
   し、予め定められた所定範囲を越える磨耗である旨の判
   断時には異常状態を外部出力し、所定範囲内の磨耗であ
   る旨の判断時には該磨耗量に対応して前記ノズル昇降手
   段の移動量を可変して前記接圧を一定に制御する処理手
   段（４）と、を具備したことを特徴とする電子部品検査
   装置。
2. 【請求項２】 前記処理手段（４）は、前記ノズル
   （Ｎ）の磨耗量に対応した補正値（ΔＹ）を演算して求
   め、前記ノズル昇降手段（２）に設けられた駆動源の移
   動量を前記補正値で可変制御する請求項１記載の電子部
   品検査装置。
3. 【請求項３】 前記処理手段（４）は、前記センサ
   （３）から出力される検出信号を受けてノズル（Ｎ）の
   一端（Ｎｂ）と他端（Ｎｃ）それぞれの検出信号に基づ
   き、ノズルの傾き量及び、全体の磨耗量を演算して求
   め、傾き量と全体の磨耗量それぞれが前記所定範囲であ
   るか否かを判断して、各別の前記判断処理を行なう請求
   項１記載の電子部品検査装置。
4. 【請求項４】 電子部品を吸着保持して測定部に搬送し
   特性を測定する電子部品検査装置において、 前記電子部品を供給する供給部（５２）、電子部品の特
   性を測定する測定部（５４）、測定後の電子部品を回収
   する回収部（５３）がそれぞれ円周位置上に配置され、 前記円周位置上に配置された供給部、測定部、回収部を
   通過すべく回転自在であり、前記電子部品を供給部から
   測定部を介し回収部に順次搬送するための回転テーブル
   （５０）と、 前記回転テーブルの周面に複数配置され、該回転テ−ブ
   ルが回転して前記供給部、測定部、回収部の回動位置で
   それぞれ昇降自在なハンド（５１）と、 前記各ハンドの端部にそれぞれ設けられ、前記電子部品
   を前記回収部で吸着保持し前記回収部までの間で連続し
   て吸着状態を保持するノズル（Ｎ）と、 前記ノズルに対向する前記回転テーブルの周縁上の一部
   に固定して配置され、ノズルの吸着面（Ｎａ）の表面状
   態を検出するセンサ（３）と、 前記測定部に設けられ、前記電子部品の下降時に電子部
   品のリ−ドに接触する接触端子を有し電子部品に対し測
   定信号を入出力する測定治具（５４ａ）と、 前記電子部品のリードを前記測定治具の接触端子に対し
   所定の接圧で接触するよう前記ハンドの下降量を可変自
   在に駆動させるノズル昇降手段（２）と、 前記センサの検出状態に基づきノズルの磨耗状態を判断
   し、予め定められた所定範囲を越える磨耗である旨の判
   断時には異常状態を外部出力し、所定範囲内の磨耗であ
   る旨の判断時には、前記電子部品を測定治具に接触させ
   る際にノズルの磨耗量に対応して前記ノズル昇降手段の
   下降量を可変して前記接圧を一定に制御する処理手段
   （４）と、を具備したことを特徴とする電子部品検査装
   置。
5. 【請求項５】 前記センサ（３）は、前記回転テ−ブル
   （５０）の回転方向に対し前記電子部品が未吸着状態に
   ある前記回収部から前記供給部までの間に配置され、前
   記電子部品の連続検査時に回転テ−ブル（５０）が回転
   する期間中に前記複数のノズル（Ｎ）それぞれの吸着面
   （Ｎａ）の表面状態を検出し、 前記処理手段（４）は、前記センサの検出信号に基づき
   各ノズル毎に前記判断処理を制御実行する請求項４記載
   の電子部品検査装置。
6. 【請求項６】 前記センサ（３）は、前記回転テ−ブル
   （５０）の回転方向に対し前記電子部品が未吸着状態に
   ある前記回収部から前記供給部までの間に配置され、前
   記回転テ−ブル（５０）の回転により前記複数のノズル
   （Ｎ）それぞれの吸着面（Ｎａ）の表面状態を検出し、 前記処理手段（４）は、前記センサの検出信号に基づき
   各ノズル別の磨耗状態を判断し、予め定められた所定範
   囲を越える磨耗である旨の判断時には異常状態を外部出
   力し、所定範囲内の磨耗である旨の判断時には、各ノズ
   ルの磨耗量に対応する前記ノズル昇降手段の下降量を記
   憶部（１５）に蓄積記憶し、対応するノズルが前記電子
   部品を測定治具に接触させる際に該記憶部から下降量を
   読み出して前記接圧を一定にする制御を実行する請求項
   ４記載の電子部品検査装置。
7. 【請求項７】 電子部品をノズル（Ｎ）で吸着保持して
   測定部（５４）に搬送し、該測定部の位置にてノズルを
   移動させて電子部品を測定部に接触させ特性を測定する
   電子部品検査方法において、 前記ノズルの吸着面（Ｎａ）の表面状態をセンサ（３）
   で検出する工程と、 前記電子部品の測定時に該電子部品を前記測定部に所定
   の接圧で接触させるために前記ノズルを所定量移動させ
   る工程と、 前記センサの検出状態に基づきノズルの磨耗状態を判断
   し、予め定められた所定範囲を越える磨耗である場合に
   は異常状態を外部出力し、所定範囲内の磨耗である場合
   には、前記電子部品の測定時に該磨耗量から演算した補
   正値（ΔＹ）に基づきノズルの移動量を可変制御して前
   記接圧を一定に制御する工程と、を具備することを特徴
   とする電子部品検査方法。