JPH11264004A - 球形微小金属粒子の製造方法 - Google Patents
球形微小金属粒子の製造方法Info
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- JPH11264004A JPH11264004A JP10065268A JP6526898A JPH11264004A JP H11264004 A JPH11264004 A JP H11264004A JP 10065268 A JP10065268 A JP 10065268A JP 6526898 A JP6526898 A JP 6526898A JP H11264004 A JPH11264004 A JP H11264004A
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Landscapes
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 粒度が揃った球形微小金属粒子を大量に製造
することができる方法を提供する。 【解決手段】 溶融金属を、温度勾配を有する液体中を
通過させて球形金属粒子を製造する方法において、定容
積式溶融金属吐出部から溶融金属を供給することを特徴
とする。
することができる方法を提供する。 【解決手段】 溶融金属を、温度勾配を有する液体中を
通過させて球形金属粒子を製造する方法において、定容
積式溶融金属吐出部から溶融金属を供給することを特徴
とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は溶融金属から球形微
小金属粒子を製造する方法に関する。特に、粒度が揃っ
た球形微小金属粒子を大量に製造することができる方法
に関する。
小金属粒子を製造する方法に関する。特に、粒度が揃っ
た球形微小金属粒子を大量に製造することができる方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】近年、電子機器の小型軽
量化を目的にＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）パッケー
ジを用いた半導体装置の高密度実装が開発されている。
これは、ＢＧＡ基板の下面に、外部接続端子となる半田
ボールを碁盤目状に配列したものである。上記ＢＧＡ用
の半田ボールとしては、粒度分布がシャープで真球状の
微小な金属粒子であることが要求されている。
量化を目的にＢＧＡ（ボールグリッドアレイ）パッケー
ジを用いた半導体装置の高密度実装が開発されている。
これは、ＢＧＡ基板の下面に、外部接続端子となる半田
ボールを碁盤目状に配列したものである。上記ＢＧＡ用
の半田ボールとしては、粒度分布がシャープで真球状の
微小な金属粒子であることが要求されている。
【０００３】従来、微少な金属粒子を製造する方法とし
て、例えば、特開昭６１−１５９５０１号公報には超音
波振動を利用する方法が開示されている。これは、溶融
金属の液滴をノズルから超音波ホーン上に滴下させて、
加湿器等における水を霧化する場合と同様に、超音波振
動によって金属微粉末を製造するものである。
て、例えば、特開昭６１−１５９５０１号公報には超音
波振動を利用する方法が開示されている。これは、溶融
金属の液滴をノズルから超音波ホーン上に滴下させて、
加湿器等における水を霧化する場合と同様に、超音波振
動によって金属微粉末を製造するものである。
【０００４】しかしながら、超音波振動によって金属を
微粉化するため、金属粒子の粒径を、例えば±５％の範
囲の精度にコントロールすることが難しく、また、内径
の小さいノズルから効率良く溶融金属を滴下させること
ができないため、金属微粉末製造の歩留り及び生産性が
低いという問題がある。また、溶融金属が急激に冷却さ
れるため、粒子形状が楕円化したり、表面に割れ目や窪
みが発生してしまうという問題がある。
微粉化するため、金属粒子の粒径を、例えば±５％の範
囲の精度にコントロールすることが難しく、また、内径
の小さいノズルから効率良く溶融金属を滴下させること
ができないため、金属微粉末製造の歩留り及び生産性が
低いという問題がある。また、溶融金属が急激に冷却さ
れるため、粒子形状が楕円化したり、表面に割れ目や窪
みが発生してしまうという問題がある。
【０００５】一方、特開昭６１−２７９６０３号公報に
は、液体中で溶融金属を表面張力を利用して球状化する
方法が開示されている。これは、加熱ゾーンと冷却ゾー
ンとを順次に有する液体の加熱ゾーンで、供給管を振動
機により振動させて溶融金属を放出し、その表面張力で
球状化した金属粒子を冷却ゾーンで凝固させて金属粉末
を製造するものである。
は、液体中で溶融金属を表面張力を利用して球状化する
方法が開示されている。これは、加熱ゾーンと冷却ゾー
ンとを順次に有する液体の加熱ゾーンで、供給管を振動
機により振動させて溶融金属を放出し、その表面張力で
球状化した金属粒子を冷却ゾーンで凝固させて金属粉末
を製造するものである。
【０００６】しかし、この方法でも、供給管の振動数で
粒子サイズを規制するため、金属粒子の粒径を高精度に
コントロールすることが難しく、金属微粉末製造の歩留
り及び生産性が低いという問題がある。
粒子サイズを規制するため、金属粒子の粒径を高精度に
コントロールすることが難しく、金属微粉末製造の歩留
り及び生産性が低いという問題がある。
【０００７】この発明は上記で示した従来の問題点に鑑
みて成されたものであって、粒度分布がシャープで真球
状の微小金属粒子を、歩留り及び生産性良く大量に製造
することができる方法を提供することを目的とする。
みて成されたものであって、粒度分布がシャープで真球
状の微小金属粒子を、歩留り及び生産性良く大量に製造
することができる方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、溶融金属を、
温度勾配を有する熱媒中を通過させて球形金属粒子を製
造する方法において、定容積式溶融金属吐出部から溶融
金属を供給することを特徴とする方法に関するものであ
る。
温度勾配を有する熱媒中を通過させて球形金属粒子を製
造する方法において、定容積式溶融金属吐出部から溶融
金属を供給することを特徴とする方法に関するものであ
る。
【０００９】本発明においては、例えば円筒状の容器中
に熱媒を満たし、該容器上方の一部分を加熱して、該容
器内の熱媒の温度を金属の融点より高く保ち、その下方
の他の部分の熱媒を金属の凝固点以下に保った状態で、
容器上部に設けた定容積式溶融金属吐出部から溶融金属
を吐出する。そして、金属粒子が金属の融点より高い熱
媒中を重力によって落下していく間に、その表面張力に
よって球状化し、温度の低い部分の熱媒により凝固する
ことにより、球形微小金属粒子を製造することができ
る。
に熱媒を満たし、該容器上方の一部分を加熱して、該容
器内の熱媒の温度を金属の融点より高く保ち、その下方
の他の部分の熱媒を金属の凝固点以下に保った状態で、
容器上部に設けた定容積式溶融金属吐出部から溶融金属
を吐出する。そして、金属粒子が金属の融点より高い熱
媒中を重力によって落下していく間に、その表面張力に
よって球状化し、温度の低い部分の熱媒により凝固する
ことにより、球形微小金属粒子を製造することができ
る。
【００１０】本発明で用いられる金属としては、特に制
限はなく、金属単体や合金が使用でき、その融点で熱媒
が使用可能なものであればよい。
限はなく、金属単体や合金が使用でき、その融点で熱媒
が使用可能なものであればよい。
【００１１】熱媒としては、液体または気体が用いられ
る。液体としては、金属と反応しないものであって、金
属の融点で沸騰、発泡、分解等が起こらないものである
ことが必要である。例えば、ポリエチレングリコール、
シリコンオイル、動植物油脂、鉱物油脂、溶融塩類等を
使用することができる。気体としては、金属と反応しな
いものであればよく、例えば、窒素、ヘリウム等の不活
性ガスが挙げられる。
る。液体としては、金属と反応しないものであって、金
属の融点で沸騰、発泡、分解等が起こらないものである
ことが必要である。例えば、ポリエチレングリコール、
シリコンオイル、動植物油脂、鉱物油脂、溶融塩類等を
使用することができる。気体としては、金属と反応しな
いものであればよく、例えば、窒素、ヘリウム等の不活
性ガスが挙げられる。
【００１２】本発明においては、定容積式溶融金属吐出
部を用いて溶融金属を供給することにより、粒度が揃っ
た球形微小金属粒子を生産性良く大量に製造することが
できる。本発明における定容積式溶融金属吐出部として
は、複数の一定容積の開孔部を有する円盤が固定されて
おり、その上下に１つ以上の開口部を有する２対の円盤
が該開口部が重ならない状態で同時回転可能に設けられ
ているものが使用される。図２にその一例を示す。図２
の定容積式溶融金属吐出部において、１１は、複数の一
定容積の開孔部１４を有する円盤であり、枠体１０に固
定されている。１２及び１３は４つの開口部１５及び１
６を有する２対の円盤であり、１１の上下に開口部１５
と開口部１６を４５度ずらした状態で回転軸１７に同時
回転するように取り付けられている。溶融金属５は、円
盤１２が回転するとその開口部１５を通って円盤１１の
開孔部１４に充填される。そして、開孔部１４に充填さ
れた一定容積の溶融金属が円盤１３が回転してその開口
部１６が下に来た時に、開口部１６を通って吐出され
る。
部を用いて溶融金属を供給することにより、粒度が揃っ
た球形微小金属粒子を生産性良く大量に製造することが
できる。本発明における定容積式溶融金属吐出部として
は、複数の一定容積の開孔部を有する円盤が固定されて
おり、その上下に１つ以上の開口部を有する２対の円盤
が該開口部が重ならない状態で同時回転可能に設けられ
ているものが使用される。図２にその一例を示す。図２
の定容積式溶融金属吐出部において、１１は、複数の一
定容積の開孔部１４を有する円盤であり、枠体１０に固
定されている。１２及び１３は４つの開口部１５及び１
６を有する２対の円盤であり、１１の上下に開口部１５
と開口部１６を４５度ずらした状態で回転軸１７に同時
回転するように取り付けられている。溶融金属５は、円
盤１２が回転するとその開口部１５を通って円盤１１の
開孔部１４に充填される。そして、開孔部１４に充填さ
れた一定容積の溶融金属が円盤１３が回転してその開口
部１６が下に来た時に、開口部１６を通って吐出され
る。
【００１３】また、定容積式溶融金属吐出部として、表
面に複数の一定容積の凹部を有するボールバルブが上下
方向に回転自在に設けられているものを使用することも
できる。図３にその一例を示す。図３の定容積式溶融金
属吐出部において、２１は、複数の一定容積の凹部２２
を有するボールバルブであり、軸２３に固定されてい
る。ボールバルブ２１は、外周の枠体２４に対して、上
下の溶融金属入口部２５と溶融金属出口部２６を除いて
全周を密接させて上下方向に回転自在に設けられてい
る。溶融金属５は、溶融金属入口部２５からボールバル
ブ２１の凹部２２に充填される。そして、ボールバルブ
２１が回転してその凹部２２が下に来た時に、溶融金属
出口部２６へ吐出される。
面に複数の一定容積の凹部を有するボールバルブが上下
方向に回転自在に設けられているものを使用することも
できる。図３にその一例を示す。図３の定容積式溶融金
属吐出部において、２１は、複数の一定容積の凹部２２
を有するボールバルブであり、軸２３に固定されてい
る。ボールバルブ２１は、外周の枠体２４に対して、上
下の溶融金属入口部２５と溶融金属出口部２６を除いて
全周を密接させて上下方向に回転自在に設けられてい
る。溶融金属５は、溶融金属入口部２５からボールバル
ブ２１の凹部２２に充填される。そして、ボールバルブ
２１が回転してその凹部２２が下に来た時に、溶融金属
出口部２６へ吐出される。
【００１４】本発明においては、金属粒子が温度勾配を
有する熱媒中を通過する際の下記式（１）で表されるＲ
ｅが０＜Ｒｅ＜５００、好ましくは、０＜Ｒｅ＜３００
となる条件で金属粒子を製造することが望ましい。 Ｒｅ＝ρｕＤ／μ （１） ここで、 ｕ：金属粒子の終末速度（cm/s）で下記式で定義され
る。 （０＜Ｒｅ＜２の場合） ｕ＝ｇ（ρm−ρ）Ｄ2／１８μ （２＜Ｒｅ＜５００の場合）ｕ＝｛４ｇ2（ρm−ρ）2Ｄ3／２２５μρ｝1/3 Ｄ：金属粒子の直径（cm） ρm：金属の密度（g/cm3） ρ：熱媒の密度（g/cm3） μ：熱媒の粘度（g/s・cm） ｇ：重力の加速度（cm/s2） なお、これらはいずれも金属粒子の融点における値を使
用するものとする。また、Ｒｅが２付近では、ｕは２＜
Ｒｅ＜５００の場合の値を採用するものとする。Ｒｅが
０＜Ｒｅ＜５００となる条件で溶融金属を供給すること
により、真球状の微小金属粒子を歩留り良く製造するこ
とができる。Ｒｅが５００以上になると、粒子の変形が
起こり易くなるので好ましくない。
有する熱媒中を通過する際の下記式（１）で表されるＲ
ｅが０＜Ｒｅ＜５００、好ましくは、０＜Ｒｅ＜３００
となる条件で金属粒子を製造することが望ましい。 Ｒｅ＝ρｕＤ／μ （１） ここで、 ｕ：金属粒子の終末速度（cm/s）で下記式で定義され
る。 （０＜Ｒｅ＜２の場合） ｕ＝ｇ（ρm−ρ）Ｄ2／１８μ （２＜Ｒｅ＜５００の場合）ｕ＝｛４ｇ2（ρm−ρ）2Ｄ3／２２５μρ｝1/3 Ｄ：金属粒子の直径（cm） ρm：金属の密度（g/cm3） ρ：熱媒の密度（g/cm3） μ：熱媒の粘度（g/s・cm） ｇ：重力の加速度（cm/s2） なお、これらはいずれも金属粒子の融点における値を使
用するものとする。また、Ｒｅが２付近では、ｕは２＜
Ｒｅ＜５００の場合の値を採用するものとする。Ｒｅが
０＜Ｒｅ＜５００となる条件で溶融金属を供給すること
により、真球状の微小金属粒子を歩留り良く製造するこ
とができる。Ｒｅが５００以上になると、粒子の変形が
起こり易くなるので好ましくない。
【００１５】また、温度勾配を有する熱媒を、金属の融
点以上である高温部分と金属の融点未満である低温部分
とに設定する場合、低温部分の温度勾配を２０℃／５０
ｃｍ以下とすることが望ましい。特に、粒子径が４００
〜８００μｍの金属粒子を製造する場合に、低温部分の
温度勾配を１０〜２０℃／５０ｃｍの範囲とすることが
好ましい。低温部分の温度勾配が２０℃／５０ｃｍより
も大きくなると、粒子形状が楕円化したり、表面に割れ
目や窪みが発生し易くなるので、歩留りが悪くなる。
点以上である高温部分と金属の融点未満である低温部分
とに設定する場合、低温部分の温度勾配を２０℃／５０
ｃｍ以下とすることが望ましい。特に、粒子径が４００
〜８００μｍの金属粒子を製造する場合に、低温部分の
温度勾配を１０〜２０℃／５０ｃｍの範囲とすることが
好ましい。低温部分の温度勾配が２０℃／５０ｃｍより
も大きくなると、粒子形状が楕円化したり、表面に割れ
目や窪みが発生し易くなるので、歩留りが悪くなる。
【００１６】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。実施例で
使用した金属粒子の製造装置の概略図を図１に示す。図
１において、直径１５０ｍｍ、長さ２０００ｍｍの円筒
状容器１の上部に、定容積式溶融金属吐出部２が固定さ
れている。円筒状容器１には、熱媒である液体３が満た
されており、４個のバンドヒーター４ａ、４ｂ、４ｃ、
４ｄにより所定の温度に保持されている。 実施例１ 定容積式溶融金属吐出部２は、図２に示す装置を使用し
た。円盤１１は、厚みが０．２ｍｍで、開孔部２１が
１．０５ｍｍφの円筒形のものを使った。また、熱媒と
して菜種油を用い、４個のバンドヒーター４ａ、４ｂ、
４ｃ、４ｄの中心部の液温Ｔ4a、Ｔ4b、Ｔ4c、Ｔ4dをそ
れぞれ、２４０℃、１９０℃、１８３℃、１７０℃とし
た。このときの低温部分の温度勾配は１５℃／５０ｃｍ
である。溶融金属５として、ＢＧＡ用の半田（Ｓｎ６３
ｗｔ％、Ｐｂ３７ｗｔ％、融点１８３℃）を用い、円盤
１２及び１３を４３ｒｐｍで回転させながら、溶融金属
を吐出させ、球形の金属微粒子を製造した。得られた金
属粒子は、球形で割れ目、窪みが全くなく、表面は平滑
で金属光沢を呈していた。また目標の粒径７６０μｍ±
２０μｍの範囲に８０％が入っていた。また、この条件
での、Ｒｅは１７９（ｕ：３５．４cm/s、Ｄ：７６０μ
ｍ、ρm：８．４２g/cm3、ρ：０．８０６g/cm3、μ：
０．０１２１g/s・cm、ｇ：９８０cm/s2）であった。
使用した金属粒子の製造装置の概略図を図１に示す。図
１において、直径１５０ｍｍ、長さ２０００ｍｍの円筒
状容器１の上部に、定容積式溶融金属吐出部２が固定さ
れている。円筒状容器１には、熱媒である液体３が満た
されており、４個のバンドヒーター４ａ、４ｂ、４ｃ、
４ｄにより所定の温度に保持されている。 実施例１ 定容積式溶融金属吐出部２は、図２に示す装置を使用し
た。円盤１１は、厚みが０．２ｍｍで、開孔部２１が
１．０５ｍｍφの円筒形のものを使った。また、熱媒と
して菜種油を用い、４個のバンドヒーター４ａ、４ｂ、
４ｃ、４ｄの中心部の液温Ｔ4a、Ｔ4b、Ｔ4c、Ｔ4dをそ
れぞれ、２４０℃、１９０℃、１８３℃、１７０℃とし
た。このときの低温部分の温度勾配は１５℃／５０ｃｍ
である。溶融金属５として、ＢＧＡ用の半田（Ｓｎ６３
ｗｔ％、Ｐｂ３７ｗｔ％、融点１８３℃）を用い、円盤
１２及び１３を４３ｒｐｍで回転させながら、溶融金属
を吐出させ、球形の金属微粒子を製造した。得られた金
属粒子は、球形で割れ目、窪みが全くなく、表面は平滑
で金属光沢を呈していた。また目標の粒径７６０μｍ±
２０μｍの範囲に８０％が入っていた。また、この条件
での、Ｒｅは１７９（ｕ：３５．４cm/s、Ｄ：７６０μ
ｍ、ρm：８．４２g/cm3、ρ：０．８０６g/cm3、μ：
０．０１２１g/s・cm、ｇ：９８０cm/s2）であった。
【００１７】実施例２ 定容積式溶融金属吐出部２は、図３に示す装置を使用し
た。ボールバルブ２１は直径１．２０ｍｍの半球状の凹
部２２を有するものを使った。また、熱媒は実施例１と
同じ条件とした。実施例１と同じ溶融金属５を用い、ボ
ールバルブ２１を２２ｒｐｍで回転させながら、溶融金
属を吐出させ、球形の金属微粒子を製造した。得られた
金属粒子は、球形で割れ目、窪みが全くなく、表面は平
滑で金属光沢を呈していた。また目標の粒径７６０μｍ
±２０μｍの範囲に６３％が入っていた。
た。ボールバルブ２１は直径１．２０ｍｍの半球状の凹
部２２を有するものを使った。また、熱媒は実施例１と
同じ条件とした。実施例１と同じ溶融金属５を用い、ボ
ールバルブ２１を２２ｒｐｍで回転させながら、溶融金
属を吐出させ、球形の金属微粒子を製造した。得られた
金属粒子は、球形で割れ目、窪みが全くなく、表面は平
滑で金属光沢を呈していた。また目標の粒径７６０μｍ
±２０μｍの範囲に６３％が入っていた。
【００１８】比較例１ 定容積式溶融金属吐出部２に代えて、溶融金属滴下ノズ
ルに加振器を取り付けた溶融金属吐出部を使用した。ま
た、熱媒は実施例１と同じ条件とした。溶融金属滴下ノ
ズルの内径を１ｍｍ、加振器の振動数を１８００Ｈｚと
して溶融金属を吐出させ、金属微粒子を製造した。得ら
れた金属粒子は、目標の粒径７６０μｍ±２０μｍの範
囲に６％しか入っていなかった。
ルに加振器を取り付けた溶融金属吐出部を使用した。ま
た、熱媒は実施例１と同じ条件とした。溶融金属滴下ノ
ズルの内径を１ｍｍ、加振器の振動数を１８００Ｈｚと
して溶融金属を吐出させ、金属微粒子を製造した。得ら
れた金属粒子は、目標の粒径７６０μｍ±２０μｍの範
囲に６％しか入っていなかった。
【図１】図１は、実施例で使用した金属粒子の製造装置
の概略図である。
の概略図である。
【図２】図２は、実施例１で使用した定容積式溶融金属
吐出部２の概略図である。
吐出部２の概略図である。
【図３】図３は、実施例２で使用した定容積式溶融金属
吐出部２の概略図である。
吐出部２の概略図である。
１…金属微粒子製造装置 ２…定容積式溶融金属吐出部 ３…熱媒 ４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ…バンドヒーター ５…溶融金属 １０…枠体 １１、１２、１３…円盤 １４…開孔部 １５、１６…開口部 １７…回転軸 ２１…ボールバルブ ２２…凹部 ２３…軸 ２４…枠体 ２５…溶融金属入口部 ２６…溶融金属出口部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡部 章 千葉県東葛飾郡関宿町木間ヶ瀬791 山石 金属株式会社関宿工場内 (72)発明者 米山 稔 千葉県東葛飾郡関宿町木間ヶ瀬791 山石 金属株式会社関宿工場内
Claims (5)
- 【請求項１】溶融金属を、温度勾配を有する熱媒中を通
過させて球形金属粒子を製造する方法において、定容積
式溶融金属吐出部から溶融金属を供給することを特徴と
する球形微小金属粒子の製造方法。 - 【請求項２】定容積式溶融金属吐出部が、複数の一定容
積の開孔部を有する円盤が固定されており、その上下に
１つ以上の開口部を有する２対の円盤が該開口部が重な
らない状態で同時回転可能に設けられてなることを特徴
とする請求項１記載の球形微小金属粒子の製造方法。 - 【請求項３】定容積式溶融金属吐出部が、表面に複数の
一定容積の凹部を有するボールバルブが上下方向に回転
自在に設けられてなることを特徴とする請求項１記載の
球形微小金属粒子の製造方法。 - 【請求項４】溶融金属を、温度勾配を有する熱媒中を通
過させて球形金属粒子を製造する方法において、下記式
（１）で表されるＲｅが０＜Ｒｅ＜５００となる条件で
金属粒子を製造することを特徴とする請求項１記載の球
形微小金属粒子の製造方法。 Ｒｅ＝ρｕＤ／μ （１） ここで、 ｕ：金属粒子の終末速度（cm/s）で下記式で定義され
る。 （０＜Ｒｅ＜２の場合） ｕ＝ｇ（ρm−ρ）Ｄ2／１８μ （２＜Ｒｅ＜５００の場合）ｕ＝｛４ｇ2（ρm−ρ）2Ｄ3／２２５μρ｝1/3 Ｄ：金属粒子の直径（cm） ρm：金属の密度（g/cm3） ρ：熱媒の密度（g/cm3） μ：熱媒の粘度（g/s・cm） ｇ：重力の加速度（cm/s2） - 【請求項５】温度勾配を有する熱媒が、金属の融点以上
である高温部分と金属の融点未満である低温部分からな
り、低温部分の温度勾配を２０℃／５０ｃｍ以下とする
ことを特徴とする請求項４記載の球形微小金属粒子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10065268A JPH11264004A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 球形微小金属粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10065268A JPH11264004A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 球形微小金属粒子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11264004A true JPH11264004A (ja) | 1999-09-28 |
Family
ID=13282017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10065268A Pending JPH11264004A (ja) | 1998-03-16 | 1998-03-16 | 球形微小金属粒子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11264004A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003035308A1 (fr) * | 2001-10-26 | 2003-05-01 | Miyazaki Prefecture | Particule metallique spherique pour monodispersion et procede permettant de produire celles-ci |
| US6676726B1 (en) * | 1998-12-25 | 2004-01-13 | Nippon Steel Corporation | Method and apparatus for manufacturing minute metallic sphere |
| JP2008179902A (ja) * | 2008-04-21 | 2008-08-07 | Dowa Holdings Co Ltd | 球状体の製造方法と製造装置 |
-
1998
- 1998-03-16 JP JP10065268A patent/JPH11264004A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6676726B1 (en) * | 1998-12-25 | 2004-01-13 | Nippon Steel Corporation | Method and apparatus for manufacturing minute metallic sphere |
| WO2003035308A1 (fr) * | 2001-10-26 | 2003-05-01 | Miyazaki Prefecture | Particule metallique spherique pour monodispersion et procede permettant de produire celles-ci |
| US6884278B2 (en) | 2001-10-26 | 2005-04-26 | Miyazaka Prefecture | Monodisperse spherical metal particles and manufacturing method therefor |
| US7291200B2 (en) | 2001-10-26 | 2007-11-06 | Miyazaki Prefecture | Monodisperse spherical metal particles and manufacturing method therefor |
| JP2008179902A (ja) * | 2008-04-21 | 2008-08-07 | Dowa Holdings Co Ltd | 球状体の製造方法と製造装置 |
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