JPH11258072A - センサ装置及びその運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 測定すべき物理量を検出するほかにセンサ素
子及びなるべくセンサ入力回路の状態検査を可能にする
センサ装置及びその運転方法を提供する。 【構成】 センサ装置は、２つの接続点３，４を持つセ
ンサ電流回路を含むセンサ素子２と、センサ電流回路の
接続点３，４に接続されるセンサ入力回路１とを含んで
いる。センサ入力回路１は２つの電圧供給部分を含み、
これらの電圧供給部分の各々が、供給電圧Ｖｒｅｆとア
ース電圧Ｖ０との間に、抵抗ＲＨ，ＲＬと制御可能な開
閉素子Ｔ１，Ｔ２との直列回路を含み、抵抗ＲＨ，ＲＬ
と開閉素子Ｔ１，Ｔ２との間にある接続節点ＡＫ１，Ａ
Ｋ２に接続されるセンサ電流回路接続点３，４にそれぞ
れ対応している。センサ入力回路１は更に２つの測定入
力端Ｍ１，Ｍ２及び２つの制御出力端Ｓ１，Ｓ２を持つ
制御装置５を含んでいる。センサ装置は、測定過程又は
状態検査過程を実施するため両方の開閉素子Ｔ１，Ｔ２
の一方を不導通状態に切換えかつ他方を導通状態に切換
えるように、運転される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、２つの接続点を持
つ内部センサ電流回路を含むセンサ素子と、センサ電流
回路の２つの接続点に接続されるセンサ電流回路の電流
印加用及び信号取出し用センサ入力回路とを有するセン
サ装置、及びこのようなセンサ装置の運転方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】このようなセンサ装置は、例えばセンサ
素子として機械的量の影響を受けて電気抵抗を測定可能
なように変化するようなセンサ素子例えば抵抗性圧力セ
ンサが設けられる形で公知である。このようなセンサ
は、締付け防止装置及び座席使用検出装置のような監視
装置においてしばしば使用される。これらの適用事例に
おいても、センサ素子及びセンサ入力回路の規則正しい
状態に関してセンサ装置を連続的に検査できることが望
ましい。

【０００３】ドイツ連邦共和国特許第４２３７０７２号
明細書には、上記の形式のセンサ素子の従来の検査のや
り方が示されている。センサ素子は実際上終端ダイオー
ドを持つ四端子網のように設計されている。印加される
電圧の極性に応じて、ダイオードが不導通状態である
と、本来のセンサ機能が測定されるか、又はダイオード
が不導通状態であると、センサ素子の導体条片抵抗が検
査される。しかしこの検査方法によつては、センサ素子
又は制御装置からセンサ素子への給電線にある差込み接
続部の湿気のため、評価される制御装置の入力回路にお
ける万一の欠陥又は漏れ電流は検出されない。このよう
な機能障害は、誤差が検出されることなしに、測定信号
に誤りの生じることがある。

【０００４】未公開のドイツ連邦共和国特許出願公開第
１９６３５４４０号明細書には、第１及び第２の開閉手
段を使用して少なくとも２つの端子を持つ少なくとも１
つのセンサを監視する装置が記載されている。第１の開
閉手段を介して供給電圧が第１のセンサ端子へ印加可能
であり、第２のセンサ端子は、第２の開閉手段を介して
制御可能に、第２の開閉手段とアース端子との間へ挿入
される電源へ接続可能である。更にセンサに分圧器が接
続されて、この分圧器により発生される信号に基いて、
後に接続される計算装置が、センサと別のセンサ又は給
電導線との間に分路又は短路があるか否かを、確認する
ことができる。第１の開閉手段の適当な操作により、計
算装置はセンサ又はその抵抗の誤動作を確認することが
できる。

【０００５】ドイツ連邦共和国特許第１９６３２４５７
号明細書には、分圧回路を含みかつ２つの端子を持つセ
ンサの監視回路装置が記載されており、分圧回路により
一方のセンサ端子が第１の抵抗を介して供給電圧に接続
され、他方のセンサ端子が第２の抵抗を介してアース端
子に接続されている。各センサ端子のためにこれに対し
て並列に、それぞれ１つの制御可能な開閉手段が設けら
れ、付属するセンサ端子とアース電位との間に接続され
ている。開閉手段の適当な制御により、センサ端子が電
気的分離の前に交互にアースに接続されて、電磁的に供
給される外乱電圧成分を短絡する。後に接続される評価
装置は、開閉手段の始動される場合と停止される場合の
電気的に分離されるセンサ出力信号を互いに比較し、そ
れにより不正抵抗のため供給される交流電圧外乱成分が
存在するか否かを確認する。

【０００６】ドイツ連邦共和国特許出願公開第２４２２
２６４号明細書に開示されている回路装置では、アース
電位と供給電位との間で自由に浮動できる電位を持つ回
路点が、この回路装置により、漏れ抵抗の存在の有無を
監視されることができ、そのため特別な回路構成が示さ
れている。

【０００７】ドイツ連邦共和国特許第４４００４３７号
明細書には、出力端子、電圧供給及び接地端子を持つ半
導体センサ装置が開示されており、出力端子と電圧供給
端子との間に、測定すべき物理量に相当する半導体セン
サ装置の出力電圧を発生するための外部抵抗が設けられ
ている。半導体センサ装置内には出力電圧制限回路が設
けられ、この制限回路により出力電圧が、通常は所定の
範囲内に留まり、３つの端子の１つが遮断されている
と、この範囲外の値に達し、それにより遮断を知ること
ができる。

【０００８】ドイツ連邦共和国特許出願公開第４４４３
９４１号明細書から、３つの端子及び付属する接続ケー
ブルを持つセンサの検査方法及び装置が公知であり、時
間的に前後してセンサの電圧供給端子及びアース端子が
センサ測定値の代わりにセンサ出力端子に接続される。
後に接続される評価装置は、生じる電圧レベルを所定の
比較レベルと比較して、センサ又は接続ケーブルの故障
を検出する。電圧供給端子又はアース端子をセンサ出力
端子へ接続するため、制御可能な適当な開閉手段が関係
する端子の間に設けられている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】測定すべき物理量を検
出するほかにセンサ素子及びなるべくセンサ入力回路の
状態検査を可能にする、最初にあげた種類のセンサ装置
及びこのようなセンサ装置の運転方法を提供すること
が、技術的問題として本発明の基礎になつている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は、請求項１の特
徴を持つセンサ装置及び請求項３の特徴を持つ方法の提
供によつて、この問題を解決する。

【００１１】請求項１によるセンサ装置では、センサ入
力回路が、センサ素子の２つの接続点の各々のためにそ
れぞれ電圧供給部分を含み、これらの電圧供給部分は抵
抗と制御可能な開閉素子及び場合によつては別の素子の
直列回路を含み、直列回路が供給電圧と測定電圧との間
に接続されている。センサ素子の内部センサ電流回路の
２つの接続点の各々は、抵抗と開閉素子との間にある電
圧供給部分の接続節点に接続されている。更にセンサ入
力回路は２つの測定入力端及び２つの制御出力端を持つ
制御装置を含み、これらの測定入力端の各々が両方の接
続節点のそれぞれ１つに接続され、また制御出力端が両
方の開閉素子のそれぞれ１つを制御する制御信号を出力
して、両方の開閉素子の各々が選択的に導通状態又は不
導通状態に切換えられるようにしている。従つて両方の
開閉素子の制御に応じて、測定過程又はセンサ素子及び
その前に接続されるセンサ入力回路の素子を検査する状
態検査過程を実施することができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】請求項２により発展されるセンサ
装置では、センサ素子が、関心のある物理量を検出する
センサ抵抗に対して並列にダイオードを含んでいる。異
なる極性の電圧をセンサ素子の両方の接続点へ印加する
ことにより、ダイオードの不導通状態で測定過程が行わ
れ、ダイオードの導通状態で状態検査過程が行われる。

【００１３】請求項２によるセンサ装置の運転には、特
に請求項３による方法が適している。この方法では、第
１の運転段階中に両方のセンサ素子のうち第１のセンサ
素子が導通状態にされ、第２のセンサ素子が不導通状態
にされ、第２の運転段階中逆に第１のセンサ素子が不導
通状態にされ、第２のセンサ素子が導通状態にされる。
その結果センサ装置の構成に応じて、第１の運転段階中
に測定過程が行われ、第２の運転段階中に第１の種類の
状態検査過程が行われる。特にこの種類の状態検査過程
では、センサ素子自体即ちその内部センサ電流回路とそ
の給電導線及び第１の開閉素子の具体的な開閉が監視さ
れる。更にこの測定の際万一の短絡を検出することがで
きる。

【００１４】請求項４により発展される方法では、更に
第３及び第４の運転段階が設けられ、これらの運転段階
中に別の状態検査過程が行われる。第３の運転段階では
両方の開閉素子が不導通状態に切換えられ、それにより
アース電圧に対する漏れ電流の検出が可能になる。第４
の運転段階では、両方の開閉素子が導通状態に切換えら
れ、それによりこれらの開閉素子及びそれぞれの開閉素
子と供給電圧との間に設けられている抵抗の機能を検査
することができる。この方法の別の構成では、請求項５
に従つて第１ないし第４の運転段階が自動的に前後して
循環的に行われるので、こうして運転されるセンサ装置
により測定過程が連続的に行われ、その間にセンサ素子
及びセンサ入力回路をその規則正しい機能について検査
することができる。

【００１５】本発明の有利な実施例が図面に示されてお
り、以下に説明される。

【００１６】

【実施例】図１に示すセンサ装置は、抵抗センサ素子２
即ち例えば圧力のような機械的量の影響をそれにより生
じるその内部センサ電流回路の抵抗変化により検出する
センサ素子を含んでいる。例えば上記のドイツ連邦共和
国特許４２３７０７２号明細書に構成を示されているこ
のようなセンサ素子は、例えば締付け防止装置又は座席
使用検出装置に使用される。特にセンサ素子は光センサ
素子例えば直列抵抗を持つ光ダイオードであつてもよ
い。センサ素子２はいわば四端子網のように設計され、
その一端にはダイオードＤがあり、他端にはセンサ電流
回路の２つの接続点３，４が設けられている。センサ素
子２は図１では等価回路図で示され、この等価回路図か
らわかるように、接続点３，４の間に端部のダイオード
に対して並列にセンサ抵抗ＲＰが設けられ、例えば感圧
導体ループの形に形成されている。センサ抵抗ＲＰに対
して並列にコンデンサＣが接続されている。ダイオード
Ｄは直列抵抗ＲＳを介してセンサ抵抗ＲＰの両方の端子
に接続されている。従つて接続点３，４へ印加される電
圧の極性に応じて、センサ素子２の本来の測定機能が果
たされ、その際ダイオードＤが不導通状態になるか、又
はセンサ素子２の体抵抗が検査され、その時後述するよ
うにダイオードＤが導通する。

【００１７】更にセンサ装置はセンサ素子２に付属する
センサ入力回路１を含み、このセンサ入力回路１は、２
つの制御出力端Ｓ１，Ｓ２を持つ制御装置５、２つの測
定入力端Ｍ１，Ｍ２、及び制御装置５とセンサ素子２と
の間に設けられる回路構造を含んでいる。この回路構造
は、２つの電圧供給部分を持つ電圧供給段を含み、これ
らの電圧供給部分の各々が付属するセンサ素子接続点
３，４に対応している。第１の接続点３に対応する第１
の電圧供給部分は、制御可能な開閉素子として運転され
るトランジスタＴ１及びその開閉区間と供給電圧Ｖｒｅ
ｆとの間に接続されるプルアツプ抵抗ＲＨから成る直列
回路を含み、トランジスタＴ１の開閉区間は他方の側で
アース電圧Ｖ０に接続されている。アース電圧Ｖ０とト
ランジスタＴ１との間にプルダウン抵抗ＲＴ１が選択的
に接続されている。トランジスタＴ１の制御電極は制御
導線抵抗ＲＶ１を介して制御装置５の第１の制御出力端
Ｓ１に接続されている。トランジスタＴ１とプルアツプ
抵抗ＲＨとの間にある接続節点ＡＫ１は、付属する測定
端子抵抗ＲＷ１を介して、制御装置５の第１の測定入力
端１に接続されている。更にこの接続節点ＡＫ１は付属
するセンサ素子接続点３に接続され、この接続導線中に
選択的に高周波低域フイルタＦ１が挿入されている。

【００１８】第２のセンサ素子接続点４のためにほぼ同
じ回路構造が設けられている。付属する電圧供給部分
も、同様に制御可能な開閉素子として用いられるトラン
ジスタＴ２を含み、このトランジスタＴ２の開閉区間は
一方ではプルアツプ抵抗ＲＬを介して供給電圧Ｖｒｅｆ
に接続され、他方では選択的にプルダウン抵抗ＲＴ２を
介してアース電圧Ｖ０に接続されている。このトランジ
スタＴ２の制御電極は付属する制御導線抵抗ＲＶ２を介
して第２の制御出力端Ｓ２に接続されている。トランジ
スタＴ２と付属するプルアツプ抵抗ＲＬとの間にはセン
サ入力回路１の第２の接続節点ＡＫ２があつて、一方で
は測定導線抵抗ＲＷ２を介して制御装置５の第２の測定
入力端２に接続され、他方では第２のセンサ素子接続点
４に接続され、第２のセンサ素子接続点４の接続導線中
に高周波低域フイルタＦ２が設けられている。両方のフ
イルタＦ１，Ｆ２により、必要な場合妨害信号を充分抑
制することができる。

【００１９】プルアツプ抵抗ＲＨ，ＲＬ及びプルダウン
又はコレクタ抵抗ＲＴ１，ＲＴ２が、適用事例に応じて
適当に大きさを定められることは明らかである。例えば
第１のプルアツプ抵抗ＲＨの抵抗値を１０ｋΩとし、第
２のプルアツプ抵抗ＲＬの抵抗値を２ｋΩとし、選択的
に使用される第１のプルダウン抵抗ＲＴ１の抵抗値を第
３のプルアツプ抵抗ＲＬの値の４分の１即ちＲＴ１＝Ｒ
Ｌ／４とし、選択的に使用される第２のプルダウン抵抗
ＲＴ２の抵抗値を第１のプルダウン抵抗ＲＴ１の５分の
１即ちＲＴ２＝ＲＴ１／５とすることができる。

【００２０】図１のセンサ装置はなるべく次のように運
転される。即ち制御装置５は、自動的に循環的に交互に
前後して、両方のデイジタル制御出力端Ｓ１，Ｓ２を介
して、低い信号レベル又は高い信号レベルにある制御信
号の全部で４つの可能な組合わせを出力し、その際例え
ば両方のトランジスタＴ１，Ｔ２は低い制御信号レベル
で不導通状態に、高い制御信号レベルで導通状態に切換
えられるものと仮定する。従つてこれは、このように定
義される運転サイクル内の４つの異なる運転段階に相当
する。図２は、第１の制御出力端Ｓ１から出力される制
御信号の信号推移を上の部分図に示し、第２の制御出力
端Ｓ２から出力される制御信号の信号推移を中間の部分
図に示し、下の部分図には走査段階が示され、この走査
段階中に、制御装置５の両方の測定入力端Ｍ１，Ｍ２に
現われる電圧が評価される。

【００２１】図２の線図において、図示した運転サイク
ルは時点ｔ_０に始まり、この時点に第２の制御出力端Ｓ
２は高いレベルへ切換えられるので、付属するトランジ
スタＴ２が導通し、第１の制御出力端Ｓ１は低いレベル
に留まるので、付属するトランジスタＴ１は不導通であ
る。それにより第１のセンサ素子接続点３には供給電圧
Ｖｒｅｆが印加され、第２の接続点４にはアース電圧Ｖ
０が印加され、即ちセンサ素子２のための測定過程を実
施するための条件が与えられる。なぜならば、この場合
そのダイオードＤが不導通状態に切換えられ、センサ抵
抗ＲＰが供給電圧Ｖｒｅｆとアース電圧Ｖ０との間に第
１のプルアツプ抵抗ＲＨを持つ分圧器を形成するからで
ある。制御装置５は、その第１の測定入力端Ｍ１にかか
る電圧を、センサ素子２の現在の抵抗値に一義的に関係
するアナログ測定量として検出する。制御装置５はこの
アナログ測定電圧信号をデイジタル信号に変換し、それ
から現在のセンサ素子抵抗値従つて検出すべき機械的量
の現在の測定値を決定する。第２の測定入力端Ｍ２にか
かる測定電圧の検出により、この第１の運転段階中に制
御装置５は、トランジスタＴ２の正しい切換えを監視す
ることができる。なぜならば、このトランジスタＴ２の
正しくない切換えの場合、接続節点ＡＫ２の電位はアー
ス電圧Ｖ０に近い適当に低い電圧へ変化しないからであ
る。

【００２２】両方の測定入力端Ｍ１，Ｍ２に現われる電
圧は、次の運転段階への切換えの直前即ち制御信号レベ
ルの変化の直前に走査される。こうして接続導線を含む
全センサ入力回路１及びセンサ素子２のＲＣ時定数が考
慮される。走査時点ｔ_１の直後に、測定過程の実施のた
めに用いられる前述した第１の運転段階から第２の運転
段階への切換えが行われ、そのためにまず第２の制御出
力端Ｓ２が低い信号レベルへ切換えられ、続いて第１の
制御出力端Ｓ１が高い信号レベルへ切換えられる。それ
により第１のトランジクタＴ１が導通状態にあり、第２
のトランジスタＴ２が不導通状態にあり、即ちセンサ素
子２は、第１の運転段階とは逆の極性でセンサ入力回路
１に接続されている。従つてそのダイオードＤは導通状
態に切換えられる。時点ｔ_２まで必要な待ち時間を待つ
た後第２の測定入力端Ｍ２に現われる電圧の検出及び評
価により、この第２の運転段階において制御装置５は、
センサ入力回路１とセンサ素子２との間の接続導線及び
センサ素子２自体の導体ループを障害のないことに関し
て、また第１のトランジクタＴ１を正しい切換えに関し
て、監視することができる。更に第２の運転段階におけ
るこの測定の際、万一の短絡も検出することができる。

【００２３】第２の運転段階の走査時点ｔ_２直後に、第
１の制御出力端Ｓ１が低い信号レベルへ変化することに
より、第３の運転段階への切換えが行われる。この第３
の運転段階で両方のトランジスタＴ１，Ｔ２が不導通状
態へ切換えられるので、センサ素子２の接続点３，４は
それぞれのプルアツプ抵抗ＲＨ，ＲＬを介して供給電圧
Ｖｒｅｆに接続される。必要な待ち時間の経過後、制御
装置５は時点ｔ_３に測定入力端Ｍ１，Ｍ２にかかる両方
の電圧を問い合わせる。これらの電圧の評価により、制
御装置５は場合によつては生じるアース電圧Ｖ０への漏
れ電流を検出することができる。

【００２４】第３の運転段階におけるこの漏れ電流検査
後、走査時点ｔ_３の直後に第４の運転段階への切換えが
行われ、この運転段階において両方の制御出力端Ｓ１，
Ｓ２が高い信号レベルへ切換えられる。それによりこの
第４の運転段階において両方のトランジスタＴ１，Ｔ２
が導通するので、場合によつてはセンサ素子２に小さい
電圧差がかかる。時点ｔ_４までの待ち時間の経過後、両
方の測定入力端Ｍ１，Ｍ２における電圧の走査により、
制御装置５はこの電圧差の値を検出し、それにより付属
するプルアツプ抵抗ＲＨ，ＲＬを含めて両方のトランジ
スタＴ１，Ｔ２の機能を検査する。この状態検査過程
は、コレクタ抵抗又はプルダウン抵抗ＲＴ１，ＲＴ２が
存在する時、所定のように行われる。これらの抵抗は両
方のプルアツプ抵抗ＲＨ，ＲＬより著しく選ばれている
ので、他の３つの運転段階における測定過程がコレクタ
抵抗ＲＴ１，ＲＴ２の存在により影響を受けることがな
い。

【００２５】時点ｔ_４における測定電圧の走査後、両方
の制御出力端Ｓ１，Ｓ２が低いレベルに切換えられ、そ
れにより４つの運転段階を含む運転サイクルが終了さ
れ、この運転サイクルに次の運転サイクルが続く。従つ
て上述した運転態様により、各運転サイクルの第１の運
転段階中に連続して、測定すべき物理量が検出されるだ
けでなく、各運転サイクルの３つの後続の運転段階にお
いてセンサ装置のすべての重要な素子、即ちセンサ素子
２及び付属するセンサ入力回路１の素子が、その規則正
しい機能に関して検査される。センサ素子２即ちその内
部センサ電流回路の監視に関して、両方のプルアツプ抵
抗ＲＨ，ＲＬの例として示した大きさ設定に基いて、制
御装置５により次の評価が可能である。第１の運転段階
における測定過程中に測定されるセンサ抵抗ＲＰが約５
０ｋΩより小さいと、センサ素子２の操作状態が検出さ
れる。ダイオードＤが導通する第３の運転段階において
センサ素子２の直列抵抗ＲＳが約５ｋΩより大きいと、
導線の切断が推論される。接続点３，４の間にあるセン
サ抵抗ＲＰが約１５０Ωより小さいと、導線の短絡が検
出される。

【００２６】上述した例のほかに本発明によるセンサ装
置の別の実現が可能なことは明らかである。例えば図示
したセンサ素子２の代わりに、他のいかなる抵抗性セン
サ素子、又はいずれにせよ測定すべき物理量の影響で抵
抗を変化する他のセンサ素子も設けることができる。適
用事例に応じてセンサ装置を、運転サイクル毎に図示し
た４つの運転段階より少ない運転段階でも、例えば第１
の２つ又は３つの運転段階のみで運転することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】抵抗性センサ素子及び付属するセンサ入力回路
を持つセンサ装置の回路図である。

【図２】運転サイクル中における図１のセンサ装置の信
号の時間的推移を示す図である。

【符号の説明】

１ センサ入力回路 ２ センサ素子 ３，４ 接続点 ５ 制御装置 ＲＨ，ＲＬ 抵抗 Ｔ１，Ｔ２ 制御可能な開閉素子 Ｖｒｅｆ 供給電圧 Ｖ０ アース電圧 ＡＫ１，ＡＫ２ 接続節点 Ｍ１，Ｍ２ 測定入力端 Ｓ１，Ｓ２ 制御出力端

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２つの接続点（３，４）を持つ内部セン
   サ電流回路を含むセンサ素子（２）と、センサ電流回路
   の２つの接続点（３，４）に接続されるセンサ電流回路
   の電流印加用及び信号取出し用センサ入力回路（１）と
   を有するセンサ装置において、 センサ入力回路（１）が、２つの電圧供給部分を持つ電
   圧供給段と、２つの測定入力端（Ｍ１，Ｍ２）及び２つ
   の制御出力端（Ｓ１，Ｓ２）を持つ制御装置（５）とを
   含み、 電圧供給段の２つの電圧供給部分の各々が、少なくとも
   抵抗（ＲＨ，ＲＬ）及び供給電圧（Ｖｒｅｆ）とアース
   電圧（Ｖ０）との間の制御可能な開閉素子（Ｔ１，Ｔ
   ２）から成る直列回路を含み、かつそれぞれ１つのセン
   サ電流回路接続点（３，４）に付属し、それぞれのセン
   サ電流回路接続点（３，４）が、付属する電圧供給部分
   の抵抗（ＲＨ，ＲＬ）と開閉素子（Ｔ１，Ｔ２）との間
   にあるそれぞれの接続節点（ＡＫ１，ＡＫ２）に接続さ
   れ、 制御装置（５）の２つの測定入力端（Ｍ１，Ｍ２）の各
   々が、両方の接続節点（ＡＫ１，ＡＫ２）のそれぞれ１
   つに接続され、かつ２つの制御出力端（Ｓ１，Ｓ２）が
   両方の開閉素子（Ｔ１，Ｔ２）のそれぞれ１つの制御用
   制御信号を出力して、両方の開閉素子（Ｔ１，Ｔ２）の
   各々が選択的に導通状態又は不導通状態に切換えられる
   ようにすることを特徴とする、センサ装置。
2. 【請求項２】 内部センサ電流回路が、等価回路図にお
   いてセンサ抵抗（ＲＰ）及びそれに対して並列にダイオ
   ード（Ｄ）を含み、かつその接続点（３，４）に、測定
   過程を実施するため測定電圧を、また状態検査過程を実
   施するため測定電圧の極性とは逆の極性を持つ第１の検
   査電圧を印加可能であることを特徴とする、請求項１に
   記載のセンサ装置。
3. 【請求項３】 測定過程を実施するため第１の運転段階
   中に、制御装置（５）により、両方の開閉素子（Ｔ１，
   Ｔ２）のうち第１の開閉素子を導通状態に、他方即ち第
   ２の開閉素子を阻止状態に切換え、第１の状態検査過程
   を実施するため第２の運転段階中に、第１の開閉素子を
   不導通状態に、第２の開閉素子を導通状態に切換えるこ
   とを特徴とする、請求項２に記載の運転方法。
4. 【請求項４】 第２の状態検査過程を実施するため第３
   の運転段階中に、制御装置（５）により、両方の開閉素
   子（Ｔ１，Ｔ２）を不導通状態に切換え、第３の状態検
   査過程を実施するため第４の運転段階中に、両方の開閉
   素子を導通状態に切換えることを特徴とする、請求項３
   に記載の方法。
5. 【請求項５】 第１ないし第４の運転段階を制御装置
   （５）により循環して順次実施することを特徴とする、
   請求項４に記載の方法。