JPH1125669A - 半導体記憶装置 - Google Patents
半導体記憶装置Info
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- JPH1125669A JPH1125669A JP9174580A JP17458097A JPH1125669A JP H1125669 A JPH1125669 A JP H1125669A JP 9174580 A JP9174580 A JP 9174580A JP 17458097 A JP17458097 A JP 17458097A JP H1125669 A JPH1125669 A JP H1125669A
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Abstract
ク毎のアクセスを行うことで消費電力の削減をはかると
共に、全体の動作速度の向上をはかることを目的とす
る。 【解決手段】階層化ワードデコードによりワード選択を
行う半導体記憶装置は、コラムブロック毎に設けられる
サブワード線と、現在アクセスするローアドレスと次に
アクセスするローアドレスとが異なる第1の場合には現
在アクセスするコラムアドレスに対応する一つのコラム
ブロックを選択し、現在アクセスするローアドレスと次
にアクセスするローアドレスとが同一である第2の場合
には全てのコラムブロックを選択する制御回路と、選択
されたコラムブロックに於てサブワード線を選択活性化
するサブワードデコーダを含む
Description
し、詳しくは階層化ワードデコーダ方式を用いた半導体
記憶装置に関する。
選択を行うためのワード線を、メインワード線及びサブ
ワード線に階層化したものである。通常ワード線材料は
ポリシリコンであるが、ポリシリコンは配線材料として
は抵抗が高く信号遅延が大きくなるため、平行して配置
したアルミ配線とポリシリコンのワード線とを適当な間
隔でコンタクトさせ、ワード線の抵抗を下げることが行
われる。しかし集積度が増すと配線間隔が狭くなり、ア
ルミ配線をポリシリコン配線と同じピッチでパターニン
グすることが困難になる。階層化ワードデコーダ方式
は、このような問題点を克服するために採用されるもの
であり、ポリシリコンからなるワード線を遅延が許せる
程度まで分割してサブワード線とし、メインワード線に
はアルミ配線を用いることで遅延をなくすものである。
式のワード線構造を示す図である。メインワードデコー
ダ201は、ローアドレスをデコードして、複数のメイ
ンワード線213から一本を選択してHIGHにする。
メインワード線213の配線層とは別の配線層に、各メ
インワード線213に対して4本のサブワード線214
が配置される。4本のサブワード線214は、4種類の
サブワードデコーダ209乃至212に接続される。各
種類のサブワードデコーダ209乃至212は、メイン
ワード線213に直交する方向に一列に並んで、メイン
ワード線213と同一の個数だけ配置される。
ブワードデコーダ選択線215を介して、4種類のサブ
ワードデコーダ209乃至212のうちの1種類を選択
する。サブワードデコーダ209乃至212は、選択さ
れると、メインワード線213をサブワード線214に
接続する。従って、メインワードデコーダ201によっ
て選択された一本のメインワード線に於てのみ、サブワ
ードデコーダ選択回路203によって選択された一本の
サブワード線214がHIGHになる。これによって階
層的なワード選択が可能になる。例えば読みだし動作の
場合には、選択されたワードに対応する複数のメモリセ
ル配列207のデータが、複数のセンスアンプブロック
204のセンスアンプ列に読み込まれる。
うにコラム方向(図横方向)に複数のコラムブロックに
分割して配置されると共に、ロー方向(図縦方向)にも
複数のローブロックに分割して配置される。図10は、
一つのローブロックの構成を示すものであり、ローブロ
ック選択回路202が当該ローブロックのセンスアンプ
ブロック204を駆動することによって、当該ローブロ
ックが選択される。一般的に、選択されたローブロック
に対しては、全てのセンスアンプブロック204が駆動
される。
系動作であり、これに続いてCAS(column address s
trobe )系の動作が行われて、データが最終的に半導体
記憶装置から読み出される。即ちコラムデコーダ217
が、複数のコラム選択線218から、指定されたコラム
アドレスに対応するコラム選択線218を選択活性化す
る。選択されたコラム選択線218に対応して、センス
アンプブロック204のセンスアンプが選択され、その
センスアンプからデータが読み出される。
は、動作の高速化をはかると共に、消費電流を可能なか
ぎり低減することが望ましい。この要求に応えるため
に、ローアクセスを実行する時点までにコラムアドレス
を取り込んで於て、特定のコラムアドレスのコラムブロ
ックに対してのみセンスアンプを駆動することが考えら
れる。
てコラムブロックを選択活性化する構成を示す。図11
の構成では、複数のセンスアンプブロック204の全て
を駆動するのではなく、指定されたコラムアドレスに対
応する一つのセンスアンプブロック204のみを動作さ
せる。コラムブロック選択回路208が、この目的のた
めに設けられるものである。
読み込んでおいて、選択されたコラムアドレスに対応し
て、特定のコラムブロックをコラムブロック選択回路2
08が選択する。コラムブロック選択回路208からの
コラムブロック選択線216は、センスアンプ制御回路
205及びサブワードデコーダ制御回路206に供給さ
れる。センスアンプ制御回路205は、ローブロック選
択回路202によって選択されたローブロックに於て、
コラムブロック選択回路208によって選択されたコラ
ムブロックのセンスアンプブロック204のみを駆動す
る。またサブワードデコーダ制御回路206は、コラム
ブロック選択回路208によって選択されたコラムブロ
ックに於てのみ、サブワードデコーダ選択回路203か
らの選択信号をサブワードデコーダ209乃至212に
供給する。
に於て、選択されたコラムブロックに対してのみメモリ
セル配列207のデータアクセスを行い、選択されたコ
ラムブロックに対してのみセンスアンプブロック204
を駆動することが出来る。これによって、RAS系動作
に関わる回路の駆動負担を軽くしてRAS系動作の高速
化を可能にすると共に、消費電力を削減することが出来
る。
ク単位でRAS系動作を実行すると、CAS系動作の速
度に制限が加えられることになる。図10の構成に於て
は、全てのコラムブロックに対してサブワード線214
を選択活性化すると共に、全てのコラムブロックに対し
てセンスアンプブロック204を駆動する。この場合、
連続してアクセスするアドレスが同一のローアドレスで
ある限り、コラム選択線218を順次選択活性化するこ
とで、異なるコラムアドレスのデータを連続的にセンス
アンプブロック204から読みだすことが出来る。それ
に対して図11の構成に於ては、各コラムブロックのデ
ータを読みだす度に、メインワード線213及びサブワ
ード線214の選択活性化を行うことになる。即ち、同
一ローアドレスをアクセスする場合であっても、毎回R
AS系の動作を実行することになる。
ことでRAS系動作の速度を上げても、図11の構成で
はコラムブロックをアクセスする度にRAS系動作を実
行する必要があるために、同一のローアドレスをアクセ
スする場合には、RAS系動作及びCAS系動作を含め
た全体の動作速度が図10の構成の場合よりも低下して
しまう。
於てコラムブロック毎のアクセスを行うことで消費電力
の削減をはかると共に、全体の動作速度の向上をはかる
ことである。
は、階層化ワードデコードによりワード選択を行う半導
体記憶装置は、コラムブロック毎に設けられるサブワー
ド線と、現在アクセスするローアドレスと次にアクセス
するローアドレスとが異なる第1の場合には現在アクセ
スするコラムアドレスに対応する一つのコラムブロック
を選択し、現在アクセスするローアドレスと次にアクセ
スするローアドレスとが同一である第2の場合には全て
のコラムブロックを選択する制御回路と、選択されたコ
ラムブロックに於て該サブワード線を選択活性化するサ
ブワードデコーダを含むことを特徴とする。
ローアドレスが同一である場合には、全てのコラムブロ
ックを選択して対応するサブワード線を活性化させる。
従って、RAS系動作を一度行うだけで、同一のローア
ドレス上で異なるコラムアクセスを連続してアクセスす
ることが可能となり、動作速度を向上させることが出来
る。
半導体記憶装置に於て、前記制御回路は、入力コマンド
が、前記第1の場合のローアクセスを指示する第1のコ
マンドと前記第2の場合のローアクセスを指示する第2
のコマンドとの何れであるかを判断するコマンド解読回
路と、該第1の場合に前記一つのコラムブロックを選択
するコラムブロック選択回路と、該第2の場合に前記全
てのコラムブロックを選択する全選択回路を含むことを
特徴とする。
るコマンドを2種類設けることによって、連続してアク
セスするローアドレスが同一の場合と異なる場合とを判
断することが出来る。請求項3の発明に於ては、請求項
1記載の半導体記憶装置に於て、前記制御回路は、前記
第2の場合に、前記一つのコラムブロックをまず選択
し、その後所定時間経過した後に前記全てのコラムブロ
ックを選択することを特徴とする。
ローアドレスが同一である場合には、全てのコラムブロ
ックを選択して対応するサブワード線を活性化させる
が、最初にアクセスするコラムブロックに対してだけは
サブワード線を先に活性化させておく。従って、RAS
系動作を一度行うだけで、同一のローアドレス上で異な
るコラムアクセスを連続してアクセスすることが可能と
なるだけでなく、回路負荷が小さいために最初のサブワ
ード線を高速に立ち上げることが可能であり、動作速度
を向上させることが出来る。
半導体記憶装置に於て、前記制御回路は、入力コマンド
が、前記第1の場合のローアクセスを指示する第1のコ
マンドと前記第2の場合のローアクセスを指示する第2
のコマンドとの何れであるかを判断するコマンド解読回
路と、該第1の場合及び該第2の場合に前記一つのコラ
ムブロックを選択するコラムブロック選択回路と、該第
2の場合に該一つのコラムブロックが選択されてから所
定時間後に前記全てのコラムブロックを選択する全選択
回路を含むことを特徴とする。
るコマンドを2種類設けることによって、連続してアク
セスするローアドレスが同一の場合と異なる場合とを判
断することが出来る。請求項5の発明に於ては、階層化
ワードデコードによりワード選択を行う半導体記憶装置
は、複数のメインワード線と、選択されたメインワード
線が活性化されると所定時間後に該選択されたメインワ
ード線をリセットする第1のリセット回路と、コラムブ
ロック毎に設けられるサブワード線と、現在アクセスす
るコラムアドレスに対応する一つのコラムブロックを選
択して対応するサブワード線を選択活性化させるコラム
ブロック選択回路と、連続してアクセスする2つのロー
アドレスが互いに異なる第1の場合には該第1のリセッ
ト回路を動作させ、連続してアクセスする2つのローア
ドレスが同一である第2の場合には該第1のリセット回
路の動作を停止させる制御回路を含むことを特徴とす
る。
コマンドを入力することなく内部的にリセット動作を自
動的に行う構成に於て、連続して同一のローアドレスを
アクセスする場合には、メインワード線に対する自動リ
セット動作を停止させることで、メインワード線の立ち
上げ動作を逐次行う必要がなくなる。請求項6の発明に
於ては、請求項5記載の半導体記憶装置に於て、選択さ
れたサブワード線が活性化されると所定時間後に該選択
されたサブワード線をリセットする第2のリセット回路
を更に含むことを特徴とする。
にリセットされる。請求項7の発明に於ては、請求項5
記載の半導体記憶装置に於て、前記制御回路は、入力コ
マンドが、前記第1の場合のローアクセスを指示する第
1のコマンドと前記第2の場合のローアクセスを指示す
る第2のコマンドとの何れであるかを判断するコマンド
解読回路を含むことを特徴とする。
るコマンドを2種類設けることによって、連続してアク
セスするローアドレスが同一の場合と異なる場合とを判
断することが出来る。請求項8の発明に於ては、請求項
5記載の半導体記憶装置に於て、前記制御回路は、ロー
アドレスを保持するラッチと、該ラッチに保持される前
回アクセスしたローアドレスと現在入力される現在アク
セスするローアドレスとを比較して、両者が同一で有る
か否かを判定する比較回路を含むことを特徴とする。
現在のローアドレスとを比較することで、連続してアク
セスするローアドレスが同一の場合と異なる場合とを判
断することが出来る。請求項9の発明に於ては、請求項
8記載の半導体記憶装置に於て、前記複数のメインワー
ド線のうちで、ある一つのメインワード線が選択活性化
状態から非活性化されると、それと同時に次のメインワ
ード線が選択活性化されることを特徴とする。
ド線を選択活性化状態から非活性化するのと同時に次の
メインワード線を選択活性化するので、動作速度を向上
させることが出来る。
面を用いて説明する。図1は、本発明によるDRAMや
SDRAM等の半導体記憶装置の概略ブロック図であ
る。図1の半導体記憶装置1は、アドレスバッファ2、
コマンドバッファ/デコーダ3、データバッファ4、コ
ラム制御ユニット5、ロー制御ユニット6、及びメモリ
セル回路7を含む。
け取りバッファすると共に、ローアドレスをロー制御ユ
ニット6に供給し、コラムアドレスをコラム制御ユニッ
ト5に供給する。コマンドバッファ/デコーダ3は、コ
マンド入力を受け取りバッファすると共に、コマンド内
容をデコードする。コマンドバッファ/デコーダ3に於
けるデコード結果に従って、コラム制御ユニット5及び
ロー制御ユニット6が制御される。メモリセル回路7
は、メモリセル配列、メインワード線、サブワード線、
ビット線、センスアンプ等を含む。
するユニットであり、指定されたローアドレスのメイン
ワード線及びサブワード線を立ち上げ、対応するメモリ
セルとセンスアンプとの間でデータの読み書きを行う。
半導体記憶装置1に於て、ロー制御ユニット6によるロ
ーアドレスアクセスが実行される時点では、既にコラム
アドレスが入力されている。このコラムアドレスを参照
することによって、コラム制御ユニット5は、指定され
たコラムアドレスに対応するコラムブロックを選択す
る。この選択コラムブロックに於て、ロー制御ユニット
6がRAS系動作を実行する。即ち、選択コラムブロッ
クに於て、センスアンプの駆動とサブワード線の立ち上
げが行われる。
セルブロック)は、階層化ワードデコード方式に於て、
各サブワード線が受け持つコラムアドレスの範囲を一つ
のコラムブロックとするものである。従って例えば、サ
ブワード線が物理的なセル配列の複数のブロックにまた
がって配置され、それら複数のブロックに共有される場
合には、この複数のブロックを一つのコラムブロックと
考える。
作即ち選択コラムブロックの指定されたコラムアドレス
に対するアクセスを行う。これによって、データバッフ
ァ4と指定コラムアドレスのセンスアンプとの間で、デ
ータの読み書きが行われる。データバッファ4は、半導
体記憶装置1外部から供給されるデータをバッファする
と共にメモリセル回路7に供給し、またメモリセル回路
7から供給されるデータをバッファして外部に出力す
る。
クは、指定されたコラムアドレスに対応する一つのコラ
ムブロックだけとは限られない。後述されるように、次
にアクセスするローアドレスが同一のローアドレスであ
る場合には、全てのコラムブロックを選択してRAS系
動作を実行する。これによって、同一のローアドレスに
アクセスする場合には、従来と同様に連続した読みだし
動作が可能となる。
於けるRAS系動作関連部分の第1の実施例を示すブロ
ック図である。図1の半導体記憶装置1に於て、コラム
デコーダ等のCAS系動作関連部分は従来技術と同様で
あるので詳細な説明は省略する。図2のRAS系動作関
連部10は、ローアドレスラッチ11、メインワード選
択回路12、メインワードデコーダ13、コントロール
信号ラッチ14、コマンド解読回路15、制御信号発生
回路16、コラムアドレス17、セルブロック選択回路
18、全選択回路19、セルブロック活性化回路20−
1乃至20−4、センスアンプブロック21−1乃至2
1−4、サブワードデコーダブロック22−1乃至22
−4を含む。
全選択回路19が設けられることを除けば、基本的に従
来のRAS系動作制御用の回路と同様である。メインワ
ードデコーダ13は、図11のメインワードデコーダ2
01に対応し、セルブロック選択回路18は、図11の
コラムブロック選択回路208に相当する。またセルブ
ロック活性化回路20−1乃至20−4の各々は、図1
1のセンスアンプ制御回路205及びサブワードデコー
ダ制御回路206に相当する。またセンスアンプブロッ
ク21−1乃至21−4の各々は、図11のセンスアン
プブロック204の各々に相当する。更に、サブワード
デコーダブロック22−1乃至22−4の各々は、図1
1のサブワードデコーダ209乃至212からなる1つ
のブロックに相当する。即ち、図2の構成例に於ては、
コラムブロックは4つ設けられていることになる。この
コラムブロックの個数は4である必要はなく、任意の個
数であってよい。
動作やCAS系動作を指示するコントロール信号(コマ
ンド)を、コマンド解読回路15に供給する。コマンド
解読回路15は、供給されたコントロール信号を解読し
て、制御信号発生回路16に回読結果を供給する。制御
信号発生回路16は、回読結果に応じて、メインワード
選択回路12、セルブロック選択回路18、全選択回路
19、セルブロック活性化回路20−1乃至20−4を
制御する。
をメインワード選択回路12に供給する。メインワード
選択回路12は、制御信号発生回路16の制御下で、ロ
ーアドレスに基づいてメインワードデコーダ13を選択
する。ここでメインワードデコーダ13は、複数個設け
られるものであって、図2には選択されたメインワード
デコーダ13のみを示す。更に、メインワードデコーダ
13は、ローアドレスに基づいて、一本のメインワード
線MWLを選択して活性化する。
作時には既に入力されているコラムアドレスを、セルブ
ロック選択回路18に供給する。セルブロック選択回路
18は、供給されたコラムアドレスに対応するセルブロ
ック(コラムブロック)を選択して、対応するセルブロ
ック活性化回路20−1乃至20−4を選択的に駆動す
る。選択されたセルブロック活性化回路は、制御信号発
生回路16の制御の下に、センスアンプブロック21−
1乃至21−4及びサブワードデコーダブロック22−
1乃至22−4を選択的に駆動する。
スするローアドレスと次にアクセスするローアドレスと
が同一か否かを、コマンド解読回路15が判断する。こ
れらの連続してアクセスするローアドレスが同一である
場合のみ、コマンド解読回路15は全選択回路19に全
選択信号を供給して、全てのコラムブロックを選択させ
る。
に異なる場合には、コマンド解読回路15は全選択信号
を供給しない。この場合に全選択回路19は、セルブロ
ック選択回路18からのセルブロック選択信号を、その
ままセルブロック活性化回路20−1乃至20−4に供
給する。即ち、セルブロック選択回路18が選択したコ
ラムブロックに於てのみ、サブワード線SWLが選択活
性化され、RAS系動作が実行される。
である場合、即ち次にアクセスするローアドレスが現在
のローアドレスと同一である場合、コマンド解読回路1
5からの全選択信号に応じて、全選択回路19は、全て
のセルブロック活性化回路20−1乃至20−4を選択
する。これにより全てのコラムブロックに於て、RAS
系動作が実行されることになる。即ち、全てのコラムブ
ロックに於てセンスアンプブロック21−1乃至21−
4が駆動されると共に、全てのコラムブロックに於てサ
ブワードデコーダブロック22−1乃至22−4が駆動
されてサブワード線SWLが選択活性化される。なお全
選択回路19は、通常技術の範囲内の単純な論理回路で
あるので、その回路構成については省略する。
S系動作を示すタイミング図である。図3は、半導体記
憶装置1の同期信号であるクロック信号、半導体記憶装
置1に入力されるコマンド信号、連続するアクセスが同
一ローアドレスの場合のメインワード線及びサブワード
線の信号、及び、連続するアクセスが異なるローアドレ
スの場合のメインワード線及びサブワード線の信号を示
す。ここでRはRAS系動作を指示するコマンド、Cは
CAS系動作を指示するコマンド、Pはリセットを指示
するプリチャージコマンドを示す。図3に示されるよう
に、コマンドRとコマンドCとは、例えば連続したクロ
ックタイミングのように、時間的に接近したタイミング
で読み込まれる。
が異なるローアドレスの場合には、メインワード線MW
Lを立ち上げるとともに、選択されたコラムブロックの
サブワード線SWLが立ち上げられる。選択活性化の駆
動負荷が小さいために、メインワード線MWL及びサブ
ワード線SWLを高速に立ち上げることが出来る。連続
するアクセスが同一ローアドレスの場合には、メインワ
ード線MWLを立ち上げるとともに、全てのコラムブロ
ックのサブワード線SWLが立ち上げられる。選択活性
化の駆動負荷が大きいために、メインワード線MWL及
びサブワード線SWLの立ち上がりは比較的緩慢であ
る。しかしながら全てのコラムブロックのサブワード線
SWLを活性化するので、一回のRAS系動作で、連続
したコラムアドレスのアクセスが可能になる。
ド解読回路15が、現在のローアドレスと次のローアド
レスが同一で有るか否かを判定して全選択回路19を制
御することによって、指定されたコラムアドレスに対応
するコラムブロックに対してのみRAS系動作を実行す
るか、全てのコラムブロックに対してRAS系動作を実
行するかが切り替えられる。従って、コラムブロックを
選択的に駆動する場合には、回路負担を少なくしてRA
S系動作の速度向上をはかると共に、連続して同一のロ
ーアドレスをアクセスする場合には、一度だけRAS系
動作を行えばよいので、全体の動作速度を向上させるこ
とが出来る。
スが同一で有るか否かを判定するためには、例えばRA
Sコマンドを2種類用意しておけばよい。即ち例えばコ
マンドRAS1は、次のアクセスのローアドレスが変化
する場合に使用し、コマンドRAS2は、次のアクセス
のローアドレスが同一である場合に使用すればよい。こ
のようにして、コマンド解読回路15に於ける判断を、
容易に行うことが可能になる。
於けるRAS系動作関連部分の第2の実施例を示すブロ
ック図である。図4に於て、図2と同一の構成要素は同
一の番号で参照し、その説明は省略する。図4のRAS
系動作関連部10Aは、図2のRAS系動作関連部10
とは、遅延回路30が新たに設けられることのみが異な
る。遅延回路30は、コマンド解読回路15からの全選
択信号を、所定の遅延時間だけ遅延させた後に、全選択
回路19に供給する。
互いに異なる場合には、コマンド解読回路15は全選択
信号を供給しない。従ってこの場合の動作は、図2の第
1の実施例の場合と同一である。即ち、セルブロック選
択回路18が選択したコラムブロックに於てのみ、サブ
ワード線SWLが選択活性化され、RAS系動作が実行
される。
である場合、即ち次にアクセスするローアドレスが現在
のローアドレスと同一である場合、コマンド解読回路1
5からの全選択信号が遅延回路30によって遅延され
て、全選択回路19に供給される。従って、全選択回路
19が全てのセルブロック活性化回路20−1乃至20
−4を選択するのは、セルブロック選択回路18が一つ
のセルブロックを選択した後である。つまりまず最初
に、セルブロック選択回路18が選択した一つのセルブ
ロックに於て、サブワード線SWLが選択活性化され
る。その後、全てのセルブロックに於てサブワード線S
WLが選択活性化されることになる。
S系動作を示すタイミング図である。図5は、半導体記
憶装置1の同期信号であるクロック信号、半導体記憶装
置1に入力されるコマンド信号、連続するアクセスが同
一ローアドレスの場合のメインワード線及びサブワード
線の信号を示す。図5に示されるように、まず最初にメ
インワード線MWLを立ち上げると共に、選択されたコ
ラムブロックのサブワード線SWLが立ち上げられる。
この時の選択活性化の駆動負荷は小さいために、メイン
ワード線MWL及びサブワード線SWLを高速に立ち上
げることが出来る。所定の遅延時間後に、残りの全ての
コラムブロックに於てサブワード線SWLが立ち上げら
れる。この時は選択活性化の駆動負荷が大きいので、サ
ブワード線SWLの立ち上がりが比較的緩慢である。し
かしながら、最初のアクセス対象であるコラムブロック
に対してサブワード線SWLが既に立ち上げられている
ので、残りのコラムブロックに対する立ち上がりが緩慢
であっても問題はない。また全てのコラムブロックのサ
ブワード線SWLを選択活性化しているので、一回のR
AS系動作で、連続したコラムアドレスのアクセスが可
能になる。
コラムブロックに対してRAS系動作を実行する場合で
あっても、コラムアドレスに応じて選択されたコラムブ
ロックに於てサブワード線SWLを先に選択活性化する
ので、高速なRAS系動作を実現出来る。更に、一度だ
けRAS系動作を行えばよいので、全体の動作速度を向
上させることが出来る。
於けるRAS系動作関連部分の第3の実施例を示すブロ
ック図である。図6に於て、図2と同一の構成要素は同
一の番号で参照し、その説明は省略する。図6のRAS
系動作関連部10Bは、図2のRAS系動作関連部10
に対してリセット回路40及び41が付加されると共
に、制御信号発生回路16Bがリセット回路40及び4
1の動作を制御する。また図6のRAS系動作関連部1
0Bに於ては、図2の全選択回路19が取り除かれる。
られることにより、ビット線やデータバスのプリチャー
ジを行うと共に、選択されたメインワード線MWL及び
サブワード線SWLのリセットを行う。このようなリセ
ット動作は、プリチャージコマンドに対応する信号を内
部的に生成することで、外部からプリチャージコマンド
を与えることなく自動的に実行することが可能である。
リセット動作を内部的に実行すれば、高速動作を実現可
能であり、そのような技術の一例が本発明の発明者によ
る特願平9−145406に開示されている。
内部リセット動作の為に設けられるものである。リセッ
ト回路40は、メインワード選択回路12がメインワー
ドを選択すると、所定時間後にメインワード選択回路1
2をリセットし、メインワード線MWLを非活性化す
る。同様に、リセット回路41は、セルブロック選択回
路18がコラムブロックを選択すると、所定時間後にセ
ルブロック選択回路18をリセットし、サブワード線S
WLを非活性化する。
ット回路40及び41を備えた構成に於て、制御信号発
生回路16Bは、連続してアクセスするアドレスが同一
のローアドレスである場合には、メインワード選択回路
12をリセットするリセット回路40のリセット動作を
停止させる。即ち、次にアクセスするアドレスが同一の
ローアドレスである場合には、メインワード選択回路1
2はリセットされることなく、選択されたメインワード
線MWLを立ち上げたまま保持する。次のコマンドが来
てローアドレスが変化することが分かった時点で、制御
信号発生回路16Bは、リセット回路40にメインワー
ド選択回路12をリセットさせ、これによってメインワ
ード線MWLを非活性化する。
ーアドレスである場合には、リセット動作は通常どおり
行われ、メインワード線MWLは選択活性化された後に
所定時間後にリセットされる。図7は、図6の第3の実
施例の場合のRAS系動作を示すタイミング図である。
図7は、半導体記憶装置1の同期信号であるクロック信
号、半導体記憶装置1に入力されるコマンド信号、連続
するアクセスが同一ローアドレスの場合のメインワード
線及びサブワード線の信号を示す。
ワード線MWLを立ち上げると共に、最初に選択された
コラムブロックのサブワード線SWLが立ち上げられ
る。この時の選択活性化の駆動負荷は小さいために、メ
インワード線MWL及びサブワード線SWLを高速に立
ち上げることが出来る。所定の遅延時間後に、最初に立
ち上げられたサブワード線SWLは、リセット回路41
によってリセットされる。同様にして、順次選択される
コラムブロックに対して、サブワード線SWLが順次立
ち上げられ、所定時間後に順次リセットされる。
をアクセスする場合には、メインワード線MWLが活性
化状態に保持された状態で、サブワード線SWLを順次
活性化して、指定されたコラムアドレスを順次アクセス
することが出来る。最後のサブワード線SWL及びメイ
ンワード線MWLが非活性化される際には、駆動容量が
十分に小さくなっているので、高速に信号レベルを下げ
ることが出来る。
らプリチャージコマンドを入力することなくリセット回
路によって自動的にメインワード線及びサブワード線を
リセットする構成に於て、連続して同一のローアドレス
をアクセスする場合には、リセット回路の動作を停止す
ることによって、選択活性化されたメインワード線を活
性化状態に保つ。これによって、同一のローアドレスに
対して連続してアクセスする場合に、メインワード線の
立ち上げを逐次行う必要がないので、全体の動作速度を
向上させることが出来る。
於けるRAS系動作関連部分の第4の実施例を示すブロ
ック図である。図8に於て、図6と同一の構成要素は同
一の番号で参照し、その説明は省略する。図8のRAS
系動作関連部10Cは、図6のRAS系動作関連部10
Bに対してアドレス比較回路50とアドレスラッチ51
とが付加される。上述の第1乃至第3の実施例に於て
は、例えば連続して同一のローアドレスにアクセスする
RASコマンドと、異なるローアドレスにアクセスする
RASコマンドとを、別々に用意しておいて、入力され
たコマンドの内容を解読することによって、動作の切り
換えを行っていた。それに対して図8の第4の実施例に
於ては、アドレスラッチ51に前回のRAS系動作のロ
ーアドレスを記憶しておき、現在のローアドレスと前回
のローアドレスとを、アドレス比較回路50によって比
較する。アドレス比較回路50は、2つのローアドレス
が同一である場合には、制御信号発生回路16Cにその
旨を通知する。
セスが同一のローアドレスに対する場合には、リセット
回路40のリセット動作を停止させ、選択されたメイン
ワード線MWLを立ち上げたまま保持する。次のローア
ドレスが入力されてローアドレスが変化することが分か
った時点で、制御信号発生回路16Cは、リセット回路
40にメインワード選択回路12をリセットさせる。こ
れによってメインワード線MWLが非活性化される。ま
た同時に、制御信号発生回路16Cは、メインワード選
択回路12に次のメインワード線MWLを選択させる。
S系動作を示すタイミング図である。図9は、半導体記
憶装置1の同期信号であるクロック信号、半導体記憶装
置1に入力されるコマンド信号、連続するアクセスが同
一ローアドレスの場合のメインワード線及びサブワード
線の信号を示す。図9に示されるように、まず最初にメ
インワード線MWLを立ち上げると共に、最初に選択さ
れたコラムブロックのサブワード線SWLが立ち上げら
れる。この時の選択活性化の駆動負荷は小さいために、
メインワード線MWL及びサブワード線SWLを高速に
立ち上げることが出来る。所定の遅延時間後に、最初に
立ち上げられたサブワード線SWLは、リセット回路4
1によってリセットされる。同様にして、順次選択され
るコラムブロックに対して、サブワード線SWLが順次
立ち上げられ、所定時間後に順次リセットされる。
後、メインワード線MWLが非活性化される。この際、
既にサブワード線SWLが非選択になっているので、あ
るメインワード線MWLの非活性化と次のメインワード
線MWLの活性化とを同時に行うことが出来る。このよ
うに第4の実施例に於ては、外部からプリチャージコマ
ンドを入力することなくリセット回路によって自動的に
メインワード線及びサブワード線をリセットする構成に
於て、現在のローアドレスと前回のローアドレスとを比
較することにより、連続して同一のローアドレスをアク
セスするか否かを判断する。連続して同一のローアドレ
スをアクセスする場合には、リセット回路の動作を停止
することによって、選択活性化されたメインワード線を
活性化状態に保つ。これによって、同一のローアドレス
に対して連続してアクセスする場合に、メインワード線
の立ち上げを逐次行う必要がないので、全体の動作速度
を向上させることが出来る。またあるメインワード線を
非活性化すると同時に次のメインワード線を活性化する
ことが可能であるので、メインワード線切り換えに要す
る時間を削減することが出来る。
たが、本発明は上記実施例に限定されることなく、特許
請求の範囲に記載される範囲内で変更・変形が可能なも
のである。
セスするローアドレスが同一である場合には、全てのコ
ラムブロックを選択して対応するサブワード線を活性化
させる。従って、RAS系動作を一度行うだけで、同一
のローアドレス上で異なるコラムアクセスを連続してア
クセスすることが可能となり、動作速度を向上させるこ
とが出来る。
指示するコマンドを2種類設けることによって、連続し
てアクセスするローアドレスが同一の場合と異なる場合
とを判断することが出来る。請求項3の発明に於ては、
連続してアクセスするローアドレスが同一である場合に
は、全てのコラムブロックを選択して対応するサブワー
ド線を活性化させるが、最初にアクセスするコラムブロ
ックに対してだけはサブワード線を先に活性化させてお
く。従って、RAS系動作を一度行うだけで、同一のロ
ーアドレス上で異なるコラムアクセスを連続してアクセ
スすることが可能となるだけでなく、回路負荷が小さい
ために最初のサブワード線を高速に立ち上げることが可
能であり、動作速度を向上させることが出来る。
指示するコマンドを2種類設けることによって、連続し
てアクセスするローアドレスが同一の場合と異なる場合
とを判断することが出来る。請求項5の発明に於ては、
外部からプリチャージコマンドを入力することなく内部
的にリセット動作を自動的に行う構成に於て、連続して
同一のローアドレスをアクセスする場合には、メインワ
ード線に対する自動リセット動作を停止させることで、
メインワード線の立ち上げ動作を逐次行う必要がなくな
る。
自動的にリセットされる。請求項7の発明に於ては、ロ
ーアクセスを指示するコマンドを2種類設けることによ
って、連続してアクセスするローアドレスが同一の場合
と異なる場合とを判断することが出来る。請求項8の発
明に於ては、前回のローアドレスと現在のローアドレス
とを比較することで、連続してアクセスするローアドレ
スが同一の場合と異なる場合とを判断することが出来
る。
ンワード線を選択活性化状態から非活性化するのと同時
に次のメインワード線を選択活性化するので、動作速度
を向上させることが出来る。
記憶装置の概略ブロック図である。
動作関連部分の第1の実施例を示すブロック図である。
すタイミング図である。
動作関連部分の第2の実施例を示すブロック図である。
すタイミング図である。
動作関連部分の第3の実施例を示すブロック図である。
すタイミング図である。
動作関連部分の第4の実施例を示すブロック図である。
すタイミング図である。
構造を示す図である。
ックを選択活性化する構成を示す図である。
ク活性化回路 21−1、21−2、21−3、21−4 センスアン
プブロック 22−1、22−2、22−3、22−4 サブワード
デコーダブロック 30 遅延回路 40、41 リセット回路 50 アドレス比較回路 51 アドレスラッチ 201 メインワードデコーダ 202 ローブロック選択回路 203 サブワードデコーダ選択回路 204 センスアンプブロック 205 センスアンプ制御回路 206 サブワードデコーダ制御回路 207 メモリセル配列 208 コラムブロック選択回路 209、210、211、212 サブワードデコーダ 213 メインワード線 214 サブワード線 215 サブワードデコーダ選択線 216 コラムブロック選択線 217 コラムデコーダ 218 コラム選択線
Claims (9)
- 【請求項1】階層化ワードデコードによりワード選択を
行う半導体記憶装置であって、 コラムブロック毎に設けられるサブワード線と、 現在アクセスするローアドレスと次にアクセスするロー
アドレスとが異なる第1の場合には現在アクセスするコ
ラムアドレスに対応する一つのコラムブロックを選択
し、現在アクセスするローアドレスと次にアクセスする
ローアドレスとが同一である第2の場合には全てのコラ
ムブロックを選択する制御回路と、 選択されたコラムブロックに於て該サブワード線を選択
活性化するサブワードデコーダを含むことを特徴とする
半導体記憶装置。 - 【請求項2】前記制御回路は、 入力コマンドが、前記第1の場合のローアクセスを指示
する第1のコマンドと前記第2の場合のローアクセスを
指示する第2のコマンドとの何れであるかを判断するコ
マンド解読回路と、 該第1の場合に前記一つのコラムブロックを選択するコ
ラムブロック選択回路と、 該第2の場合に前記全てのコラムブロックを選択する全
選択回路を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体
記憶装置。 - 【請求項3】前記制御回路は、前記第2の場合に、前記
一つのコラムブロックをまず選択し、その後所定時間経
過した後に前記全てのコラムブロックを選択することを
特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。 - 【請求項4】前記制御回路は、 入力コマンドが、前記第1の場合のローアクセスを指示
する第1のコマンドと前記第2の場合のローアクセスを
指示する第2のコマンドとの何れであるかを判断するコ
マンド解読回路と、 該第1の場合及び該第2の場合に前記一つのコラムブロ
ックを選択するコラムブロック選択回路と、 該第2の場合に該一つのコラムブロックが選択されてか
ら所定時間後に前記全てのコラムブロックを選択する全
選択回路を含むことを特徴とする請求項3記載の半導体
記憶装置。 - 【請求項5】階層化ワードデコードによりワード選択を
行う半導体記憶装置であって、 複数のメインワード線と、 選択されたメインワード線が活性化されると所定時間後
に該選択されたメインワード線をリセットする第1のリ
セット回路と、 コラムブロック毎に設けられるサブワード線と、 現在アクセスするコラムアドレスに対応する一つのコラ
ムブロックを選択して対応するサブワード線を選択活性
化させるコラムブロック選択回路と、 連続してアクセスする2つのローアドレスが互いに異な
る第1の場合には該第1のリセット回路を動作させ、連
続してアクセスする2つのローアドレスが同一である第
2の場合には該第1のリセット回路の動作を停止させる
制御回路を含むことを特徴とする半導体記憶装置。 - 【請求項6】選択されたサブワード線が活性化されると
所定時間後に該選択されたサブワード線をリセットする
第2のリセット回路を更に含むことを特徴とする請求項
5記載の半導体記憶装置。 - 【請求項7】前記制御回路は、入力コマンドが、前記第
1の場合のローアクセスを指示する第1のコマンドと前
記第2の場合のローアクセスを指示する第2のコマンド
との何れであるかを判断するコマンド解読回路を含むこ
とを特徴とする請求項5記載の半導体記憶装置。 - 【請求項8】前記制御回路は、 ローアドレスを保持するラッチと、 該ラッチに保持される前回アクセスしたローアドレスと
現在入力される現在アクセスするローアドレスとを比較
して、両者が同一で有るか否かを判定する比較回路を含
むことを特徴とする請求項5記載の半導体記憶装置。 - 【請求項9】前記複数のメインワード線のうちで、ある
一つのメインワード線が選択活性化状態から非活性化さ
れると、それと同時に次のメインワード線が選択活性化
されることを特徴とする請求項8記載の半導体記憶装
置。
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