JPH11253737A - 炭化水素蒸気回収の運転方法 - Google Patents
炭化水素蒸気回収の運転方法Info
- Publication number
- JPH11253737A JPH11253737A JP10074932A JP7493298A JPH11253737A JP H11253737 A JPH11253737 A JP H11253737A JP 10074932 A JP10074932 A JP 10074932A JP 7493298 A JP7493298 A JP 7493298A JP H11253737 A JPH11253737 A JP H11253737A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum pump
- adsorption
- gaseous hydrocarbons
- desorption
- hydrocarbons
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス状炭化水素を含む廃棄ガス等から炭化水
素をＰＳＡ法により吸収・回収する運転方法において、
真空ポンプの吸引ガス量を平準化することにより後工程
の設備の小型化が図れ、且つ安全性に優れる方法を提供
すること。 【解決手段】 吸着と脱着を交互に行う吸着装置を用
い、一方の吸着装置２ａにガス状炭化水素を含む廃棄ガ
スを通過せしめ、吸着剤にガス状炭化水素を吸着させ、
実質的にガス状炭化水素を含まない廃棄ガスを大気中に
放出し、その間に、他方の吸着装置２ｂを脱着装置に切
り換え、吸着剤に吸着したガス状炭化水素を真空ポンプ
３で吸引して該吸着剤層から離脱せしめ、この離脱した
パージ排ガスからガス状炭化水素を回収する方法におい
て、前記真空ポンプ３の吸引側の圧力を制御して、脱着
工程中の吸引ガス量を平準化する炭化水素蒸気回収の運
転方法。
素をＰＳＡ法により吸収・回収する運転方法において、
真空ポンプの吸引ガス量を平準化することにより後工程
の設備の小型化が図れ、且つ安全性に優れる方法を提供
すること。 【解決手段】 吸着と脱着を交互に行う吸着装置を用
い、一方の吸着装置２ａにガス状炭化水素を含む廃棄ガ
スを通過せしめ、吸着剤にガス状炭化水素を吸着させ、
実質的にガス状炭化水素を含まない廃棄ガスを大気中に
放出し、その間に、他方の吸着装置２ｂを脱着装置に切
り換え、吸着剤に吸着したガス状炭化水素を真空ポンプ
３で吸引して該吸着剤層から離脱せしめ、この離脱した
パージ排ガスからガス状炭化水素を回収する方法におい
て、前記真空ポンプ３の吸引側の圧力を制御して、脱着
工程中の吸引ガス量を平準化する炭化水素蒸気回収の運
転方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス状炭化水素を
含む廃棄ガス等から炭化水素をＰＳＡ法により吸収・回
収する運転方法において、設備の小型化が図れ、且つ安
全性に優れる方法に関するものである。
含む廃棄ガス等から炭化水素をＰＳＡ法により吸収・回
収する運転方法において、設備の小型化が図れ、且つ安
全性に優れる方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】光化学スモッグを引き起こす原因物質の
一つであるガス状炭化水素については、米国、欧州をは
じめとする先進国はもとより、台湾、東南アジアの工業
国においても、放出濃度が法的に厳しく規制されてい
る。日本においても大気汚染防止法による指針、悪臭防
止法や各自治体の条例等で規制されており、これらの規
制は今後さらに厳しくなる方向にある。
一つであるガス状炭化水素については、米国、欧州をは
じめとする先進国はもとより、台湾、東南アジアの工業
国においても、放出濃度が法的に厳しく規制されてい
る。日本においても大気汚染防止法による指針、悪臭防
止法や各自治体の条例等で規制されており、これらの規
制は今後さらに厳しくなる方向にある。
【０００３】ところで、ガス状炭化水素の固定発生源と
して特に問題視されている一つは、揮発性炭化水素類を
貯蔵タンクからローリー車、内航船に荷揚げ又は積み卸
しする油槽所等であり、この際に発生する廃棄ガスは１
０〜３０％の比較的高濃度の炭化水素を含んでいる。他
の一つは、塗装施設や印刷施設等で使用する溶剤から発
生するガス状炭化水素であり、濃度は数十〜数千ｐpmと
比較的低い。このようなガス状炭化水素を含む廃棄ガス
の処理、回収方法として、高濃度については吸収液を用
いた吸収法及び吸着法が、低濃度については吸着法が従
来から広く用いられている。また、吸着法の吸着剤とし
ては、活性炭、ゼオライトが用いられている場合が大部
分である。
して特に問題視されている一つは、揮発性炭化水素類を
貯蔵タンクからローリー車、内航船に荷揚げ又は積み卸
しする油槽所等であり、この際に発生する廃棄ガスは１
０〜３０％の比較的高濃度の炭化水素を含んでいる。他
の一つは、塗装施設や印刷施設等で使用する溶剤から発
生するガス状炭化水素であり、濃度は数十〜数千ｐpmと
比較的低い。このようなガス状炭化水素を含む廃棄ガス
の処理、回収方法として、高濃度については吸収液を用
いた吸収法及び吸着法が、低濃度については吸着法が従
来から広く用いられている。また、吸着法の吸着剤とし
ては、活性炭、ゼオライトが用いられている場合が大部
分である。
【０００４】吸着法としては、装置面から固定床式及び
流動床式の方法が挙げられる。このうち、固定床式を用
いたガス状炭化水素（溶剤）を含む放散ガスを処理し、
回収する方法（装置）としては、ＴＳＡ法（温度変動吸
脱着法）、ＰＳＡ法（圧力変動吸脱着法）及び両者を組
み合わせたＴＰＳＡ法（温度圧力変動吸脱着法）が挙げ
られ、溶剤の種類や回収の条件によりこれらを使い分け
て使用している。また、該ＰＳＡ法は昇圧下で吸着、常
圧下で脱着、あるいは常圧下で吸着、減圧下で脱着を行
うもので、吸着材の吸着容量が圧力依存性をもつことを
利用して吸脱着を行うものである。また、該ＴＰＳＡ法
は、常温、常圧下で吸着し、高温、減圧下で脱着を行う
もので、ＴＳＡ法とＰＳＡ法の特徴を備えるものであ
る。そして、上記ＰＳＡ法及び上記ＴＰＳＡ法の場合、
例えば、脱着工程における当初の吸着塔の圧力はほぼ大
気圧であり、その後、真空ポンプにより吸着塔内のガス
を排気するにつれて減圧となり、最終的に、例えば２５
Torrの所定の圧力となる。
流動床式の方法が挙げられる。このうち、固定床式を用
いたガス状炭化水素（溶剤）を含む放散ガスを処理し、
回収する方法（装置）としては、ＴＳＡ法（温度変動吸
脱着法）、ＰＳＡ法（圧力変動吸脱着法）及び両者を組
み合わせたＴＰＳＡ法（温度圧力変動吸脱着法）が挙げ
られ、溶剤の種類や回収の条件によりこれらを使い分け
て使用している。また、該ＰＳＡ法は昇圧下で吸着、常
圧下で脱着、あるいは常圧下で吸着、減圧下で脱着を行
うもので、吸着材の吸着容量が圧力依存性をもつことを
利用して吸脱着を行うものである。また、該ＴＰＳＡ法
は、常温、常圧下で吸着し、高温、減圧下で脱着を行う
もので、ＴＳＡ法とＰＳＡ法の特徴を備えるものであ
る。そして、上記ＰＳＡ法及び上記ＴＰＳＡ法の場合、
例えば、脱着工程における当初の吸着塔の圧力はほぼ大
気圧であり、その後、真空ポンプにより吸着塔内のガス
を排気するにつれて減圧となり、最終的に、例えば２５
Torrの所定の圧力となる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、真空ポンプの
排気量はその容積及び回転数に依存するため、真空ポン
プの標準状態での排気量は脱着工程開始時が最大とな
り、その後徐々に減少して脱着工程の終了時に最小とな
り、脱着工程における真空ポンプの排気量は大きく変動
する。例えば、図２中、真空ポンプの排気速度３０m3/m
in、定格電力５５kW、減圧弁なしの場合の従来例のよう
に、約１分間に最大排気速度３０m3/minから最小排気速
度１m3/minまで変化する。このように真空ポンプの排気
量が変動すると、例えば冷却器、回収塔などの下流に設
置される設備の能力を前記真空ポンプの排気量の最大値
で設計する必要があり、大型化する傾向にあった。ま
た、真空ポンプの排気量の急激な変動は装置の安定性を
乱し、安全面の観点からも問題があった。
排気量はその容積及び回転数に依存するため、真空ポン
プの標準状態での排気量は脱着工程開始時が最大とな
り、その後徐々に減少して脱着工程の終了時に最小とな
り、脱着工程における真空ポンプの排気量は大きく変動
する。例えば、図２中、真空ポンプの排気速度３０m3/m
in、定格電力５５kW、減圧弁なしの場合の従来例のよう
に、約１分間に最大排気速度３０m3/minから最小排気速
度１m3/minまで変化する。このように真空ポンプの排気
量が変動すると、例えば冷却器、回収塔などの下流に設
置される設備の能力を前記真空ポンプの排気量の最大値
で設計する必要があり、大型化する傾向にあった。ま
た、真空ポンプの排気量の急激な変動は装置の安定性を
乱し、安全面の観点からも問題があった。
【０００６】したがって、本発明の目的は、ガス状炭化
水素を含む廃棄ガス等から炭化水素をＰＳＡ法により吸
収・回収する運転方法において、設備の小型化が図れ、
且つ安全性に優れる方法を提供することにある。
水素を含む廃棄ガス等から炭化水素をＰＳＡ法により吸
収・回収する運転方法において、設備の小型化が図れ、
且つ安全性に優れる方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】かかる実情において、本
発明者は鋭意検討を行った結果、真空ポンプの吸引側に
圧力制御弁を設けて、該真空ポンプの脱着工程における
吸引ガス量を平準化するように制御して運転すれば、真
空ポンプ装置後下流に設置される冷却器や回収塔を小型
化できると共に、安全性に優れる運転ができることを見
出し、本発明を完成するに至った。
発明者は鋭意検討を行った結果、真空ポンプの吸引側に
圧力制御弁を設けて、該真空ポンプの脱着工程における
吸引ガス量を平準化するように制御して運転すれば、真
空ポンプ装置後下流に設置される冷却器や回収塔を小型
化できると共に、安全性に優れる運転ができることを見
出し、本発明を完成するに至った。
【０００８】すなわち、本発明は、吸着と脱着を交互に
行う吸着装置を用い、一方の吸着装置にガス状炭化水素
を含む廃棄ガスを通過せしめ、吸着剤にガス状炭化水素
を吸着させ、実質的にガス状炭化水素を含まない廃棄ガ
スを大気中に放出し、その間に、他方の吸着装置を脱着
装置に切り換え、吸着剤に吸着したガス状炭化水素を真
空ポンプで吸引して該吸着剤層から離脱せしめ、この離
脱したパージ排ガスからガス状炭化水素を回収する方法
において、前記真空ポンプの吸引側の圧力を制御して、
脱着工程の吸引ガス量を平準化することを特徴とする炭
化水素蒸気回収の運転方法を提供するものである。
行う吸着装置を用い、一方の吸着装置にガス状炭化水素
を含む廃棄ガスを通過せしめ、吸着剤にガス状炭化水素
を吸着させ、実質的にガス状炭化水素を含まない廃棄ガ
スを大気中に放出し、その間に、他方の吸着装置を脱着
装置に切り換え、吸着剤に吸着したガス状炭化水素を真
空ポンプで吸引して該吸着剤層から離脱せしめ、この離
脱したパージ排ガスからガス状炭化水素を回収する方法
において、前記真空ポンプの吸引側の圧力を制御して、
脱着工程の吸引ガス量を平準化することを特徴とする炭
化水素蒸気回収の運転方法を提供するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て、図１に基づいて説明する。なお、図１は、本実施の
形態である廃棄ガスに含まれるガス状炭化水素回収の運
転方法を説明するフローシートであり、固定床式・ＰＳ
Ａ法を採用する。図１中、２ａは吸着塔、２ｂは脱着
塔、３は真空ポンプ、４は冷却器、５は回収塔、７ａ〜
７ｈは電磁弁、８は減圧弁、１０は圧縮機を示す。図１
において、まず、電磁弁７ｅ、７ａ、７ｄ、７ｈを開、
７ｇ、７ｃ、７ｂ、７ｆを閉の状態とする。炭化水素を
含む被処理ガスは送風機１０を経て吸着塔２ａ（脱着工
程に切り換えた後は吸着塔２ｂ）に送られ、吸着剤にガ
ス状炭化水素を吸着させ、実質的にガス状炭化水素を含
まない廃棄ガスを大気中に放出し（吸着工程）、その間
に、他方の吸着塔２ｂを脱着装置に切り換え、吸着剤に
吸着したガス状炭化水素を真空ポンプ３で吸引して該吸
着層から離脱せしめ（脱着工程）、この離脱したパージ
排ガスから冷却器４を経て回収塔５にガス状炭化水素を
回収する。次に、吸着塔２ａ、２ｂは吸着工程と脱着工
程とを交互に切り換えられる。ずなわち、電磁弁７ｆ、
７ｂ、７ｃ、７ｇを開、７ｅ、７ａ、７ｄ、７ｈを閉の
状態とすることにより、前記と同様に運転する。この切
り換え時間は３〜１０分が好ましい。
て、図１に基づいて説明する。なお、図１は、本実施の
形態である廃棄ガスに含まれるガス状炭化水素回収の運
転方法を説明するフローシートであり、固定床式・ＰＳ
Ａ法を採用する。図１中、２ａは吸着塔、２ｂは脱着
塔、３は真空ポンプ、４は冷却器、５は回収塔、７ａ〜
７ｈは電磁弁、８は減圧弁、１０は圧縮機を示す。図１
において、まず、電磁弁７ｅ、７ａ、７ｄ、７ｈを開、
７ｇ、７ｃ、７ｂ、７ｆを閉の状態とする。炭化水素を
含む被処理ガスは送風機１０を経て吸着塔２ａ（脱着工
程に切り換えた後は吸着塔２ｂ）に送られ、吸着剤にガ
ス状炭化水素を吸着させ、実質的にガス状炭化水素を含
まない廃棄ガスを大気中に放出し（吸着工程）、その間
に、他方の吸着塔２ｂを脱着装置に切り換え、吸着剤に
吸着したガス状炭化水素を真空ポンプ３で吸引して該吸
着層から離脱せしめ（脱着工程）、この離脱したパージ
排ガスから冷却器４を経て回収塔５にガス状炭化水素を
回収する。次に、吸着塔２ａ、２ｂは吸着工程と脱着工
程とを交互に切り換えられる。ずなわち、電磁弁７ｆ、
７ｂ、７ｃ、７ｇを開、７ｅ、７ａ、７ｄ、７ｈを閉の
状態とすることにより、前記と同様に運転する。この切
り換え時間は３〜１０分が好ましい。
【００１０】本実施の形態は、上記運転の脱着工程にお
いて、真空ポンプ３の吸引側の圧力を制御して、脱着工
程中の吸引ガス量を少なくとも一定の時間、平準化する
ものである。すなわち、真空ポンプ３の吸引側の配管に
設置された減圧弁８は、予め設定された真空ポンプ３の
吸引側の圧力に感応して、弁の開閉を行い吸引ガス量を
制御する。減圧弁８は、脱着工程の当初は全閉の状態で
あり、真空ポンプ３へのガス吸引量を制限することによ
り吸入側圧力を設定値に維持する。例えば、真空ポンプ
の排気速度３０m3/min、定格電力５５kW、設定圧力１５
０Torr、減圧弁設置の本実施の形態のように、脱着工程
当初から約１．５分間、排気速度は５．９m3/minに維持
される（図２）。真空ポンプの吸引ガス量が一定に保た
れる時間としては、該設定圧力により異なるが、吸着工
程と脱着工程の切替え時間を５分毎とした場合、１〜４
分程度が好ましい。１分未満では、真空ポンプの排気量
の低減率が低く、冷却器や回収塔の小型化にも制限があ
る。また、残りの１分は減圧状態から常圧に戻すための
均圧時間に費やされる。その後、吸着塔２ａの圧力が下
がるにつれ圧力制御弁８は更に開かれ、ついには全開と
なり真空ポンプ３へガスは吸引される。この操作によ
り、平準化状態で真空ポンプ３へのガスの吸入量と吸入
側の圧力は一定に保たれる。また、脱着工程は前記電磁
弁７ｇ又は７ｈの開から閉又は閉から開への切替えによ
り終了する。
いて、真空ポンプ３の吸引側の圧力を制御して、脱着工
程中の吸引ガス量を少なくとも一定の時間、平準化する
ものである。すなわち、真空ポンプ３の吸引側の配管に
設置された減圧弁８は、予め設定された真空ポンプ３の
吸引側の圧力に感応して、弁の開閉を行い吸引ガス量を
制御する。減圧弁８は、脱着工程の当初は全閉の状態で
あり、真空ポンプ３へのガス吸引量を制限することによ
り吸入側圧力を設定値に維持する。例えば、真空ポンプ
の排気速度３０m3/min、定格電力５５kW、設定圧力１５
０Torr、減圧弁設置の本実施の形態のように、脱着工程
当初から約１．５分間、排気速度は５．９m3/minに維持
される（図２）。真空ポンプの吸引ガス量が一定に保た
れる時間としては、該設定圧力により異なるが、吸着工
程と脱着工程の切替え時間を５分毎とした場合、１〜４
分程度が好ましい。１分未満では、真空ポンプの排気量
の低減率が低く、冷却器や回収塔の小型化にも制限があ
る。また、残りの１分は減圧状態から常圧に戻すための
均圧時間に費やされる。その後、吸着塔２ａの圧力が下
がるにつれ圧力制御弁８は更に開かれ、ついには全開と
なり真空ポンプ３へガスは吸引される。この操作によ
り、平準化状態で真空ポンプ３へのガスの吸入量と吸入
側の圧力は一定に保たれる。また、脱着工程は前記電磁
弁７ｇ又は７ｈの開から閉又は閉から開への切替えによ
り終了する。
【００１１】前記の如く、平準化とは、真空ポンプの吸
引側を減圧にすることにより、前記脱着工程開始から所
望の時間、真空ポンプの吸引ガス量を一定値に維持する
ことをいい、具体的には、図２中、脱着工程開始から約
１．５分間の真空ポンプの吸引ガス量が一定値を示す状
態を指す。また、上記真空ポンプ３は特に制限されない
が、完全ドライ型真空ポンプが好ましく、該真空ポンプ
３の排気速度としては、炭化水素蒸気回収装置の処理能
力により異なるが、１０〜５０m3/min、特に２０〜４０
m3/minが好ましい。
引側を減圧にすることにより、前記脱着工程開始から所
望の時間、真空ポンプの吸引ガス量を一定値に維持する
ことをいい、具体的には、図２中、脱着工程開始から約
１．５分間の真空ポンプの吸引ガス量が一定値を示す状
態を指す。また、上記真空ポンプ３は特に制限されない
が、完全ドライ型真空ポンプが好ましく、該真空ポンプ
３の排気速度としては、炭化水素蒸気回収装置の処理能
力により異なるが、１０〜５０m3/min、特に２０〜４０
m3/minが好ましい。
【００１２】本実施の形態によれば、真空ポンプ３の吸
引ガス量を平準化できるため、冷却器４及び回収塔５の
最大能力値を減少させることができ、装置の小型化が図
れ、設備コストが低減できる。また、装置の安定化が図
れ安全性が高まる。
引ガス量を平準化できるため、冷却器４及び回収塔５の
最大能力値を減少させることができ、装置の小型化が図
れ、設備コストが低減できる。また、装置の安定化が図
れ安全性が高まる。
【００１３】
【実施例】次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に
説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限す
るものではない。実施例１図１に示す炭化水素ガスを吸
着式回収法で処理する装置において、表１に示す条件で
運転を行った。真空ポンプは排気速度３０m3/min、定格
電力５５kWのものを用いた。また、真空ポンプの吸引ガ
ス量の最大値及び最小値を求めると共に、当該最大値か
ら設計される冷却器の冷却能力及び回収塔の塔径を計算
した。結果を表１に示す。
説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限す
るものではない。実施例１図１に示す炭化水素ガスを吸
着式回収法で処理する装置において、表１に示す条件で
運転を行った。真空ポンプは排気速度３０m3/min、定格
電力５５kWのものを用いた。また、真空ポンプの吸引ガ
ス量の最大値及び最小値を求めると共に、当該最大値か
ら設計される冷却器の冷却能力及び回収塔の塔径を計算
した。結果を表１に示す。
【００１４】比較例１ 真空ポンプの吸引側に、圧力制御弁を設置することなく
運転を行った以外は、実施例１と同様に行った。結果を
表１に示す。
運転を行った以外は、実施例１と同様に行った。結果を
表１に示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】
【発明の効果】本発明の炭化水素蒸気の回収の運転方法
によれば、真空ポンプの吸引ガス量を平準化できるた
め、真空ポンプの下流に設置される冷却器及び回収塔な
どの設備の最大能力値を減少させることができ、装置の
小型化が図れ設備コストが低減できる。また、装置の安
定化が図れ安全性が高まる。
によれば、真空ポンプの吸引ガス量を平準化できるた
め、真空ポンプの下流に設置される冷却器及び回収塔な
どの設備の最大能力値を減少させることができ、装置の
小型化が図れ設備コストが低減できる。また、装置の安
定化が図れ安全性が高まる。
【図１】本発明の実施の形態における炭化水素蒸気回収
の運転方法を説明するフローシートである。
の運転方法を説明するフローシートである。
【図２】平準化を説明するための図である。
２ａ 吸着塔 ２ｂ 脱着塔 ３ 真空ポンプ ４ 冷却器 ５ 回収塔 ７ａ〜７ｈ 電磁弁 ８ 減圧弁 １０ 送風機
Claims (1)
- 【請求項１】 吸着と脱着を交互に行う吸着装置を用
い、一方の吸着装置にガス状炭化水素を含む廃棄ガスを
通過せしめ、吸着剤にガス状炭化水素を吸着させ、実質
的にガス状炭化水素を含まない廃棄ガスを大気中に放出
し、その間に、他方の吸着装置を脱着装置に切り換え、
吸着剤に吸着したガス状炭化水素を真空ポンプで吸引し
て該吸着剤層から離脱せしめ、この離脱したパージ排ガ
スからガス状炭化水素を回収する方法において、前記真
空ポンプの吸引側の圧力を制御して、脱着工程中の吸引
ガス量を平準化することを特徴とする炭化水素蒸気回収
の運転方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07493298A JP3409836B2 (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 炭化水素蒸気回収の運転方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07493298A JP3409836B2 (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 炭化水素蒸気回収の運転方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11253737A true JPH11253737A (ja) | 1999-09-21 |
| JP3409836B2 JP3409836B2 (ja) | 2003-05-26 |
Family
ID=13561633
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07493298A Expired - Lifetime JP3409836B2 (ja) | 1998-03-09 | 1998-03-09 | 炭化水素蒸気回収の運転方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3409836B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011078973A (ja) * | 2004-12-22 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | ガス状炭化水素の処理・回収装置及び方法 |
| CN108194990A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-06-22 | 四川特空科技有限公司 | 一种双通道负压空气净化装置 |
| JP2020032381A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置、気体処理方法 |
| WO2020050389A1 (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | システム エンジ サービス株式会社 | 排ガス処理方法及び装置 |
-
1998
- 1998-03-09 JP JP07493298A patent/JP3409836B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011078973A (ja) * | 2004-12-22 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp | ガス状炭化水素の処理・回収装置及び方法 |
| CN108194990A (zh) * | 2018-01-30 | 2018-06-22 | 四川特空科技有限公司 | 一种双通道负压空气净化装置 |
| JP2020032381A (ja) * | 2018-08-31 | 2020-03-05 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置、気体処理方法 |
| WO2020050389A1 (ja) * | 2018-09-05 | 2020-03-12 | システム エンジ サービス株式会社 | 排ガス処理方法及び装置 |
| CN112118900A (zh) * | 2018-09-05 | 2020-12-22 | 系统工程服务有限公司 | 废气处理方法及装置 |
| JPWO2020050389A1 (ja) * | 2018-09-05 | 2021-06-10 | システム エンジ サービス株式会社 | 排ガス処理方法及び装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3409836B2 (ja) | 2003-05-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100346487B1 (ko) | 압력 스윙 흡착 가스 흐름 제어 방법 및 그 장치 | |
| JP2823835B2 (ja) | ガス状炭化水素を含む廃棄ガスから炭化水素を回収する方法 | |
| JP2007105657A (ja) | ガス処理装置 | |
| JP2001110284A (ja) | ガス回収装置 | |
| WO2007000960A1 (ja) | 希薄な揮発性炭化水素を含む大量の排ガス浄化方法 | |
| JP2005000862A (ja) | 吸着装置及び吸着方法 | |
| JP3409836B2 (ja) | 炭化水素蒸気回収の運転方法 | |
| JPH037413B2 (ja) | ||
| JP4575673B2 (ja) | ガソリンベーパーの回収方法及び回収装置 | |
| JP2832372B2 (ja) | 有機溶剤貯蔵容器の排ガス処理方法 | |
| JP2009247962A (ja) | 希薄な揮発性炭化水素を含む大量の排ガス浄化方法 | |
| JP2925522B2 (ja) | ガス状炭化水素を含む廃棄ガスから炭化水素を液状で回収する方法 | |
| KR20010114209A (ko) | 폐기 가스 중에 포함되는 희박한 가스상태 탄화 수소의처리방법 및 이 방법을 실시하기 위한 장치 | |
| JPH1157372A (ja) | 冷却凝縮を用いた炭化水素蒸気の回収方法 | |
| JP4851432B2 (ja) | 揮発性有機物回収処理装置及びこれを有する揮発性有機物回収処理システム | |
| JP7236888B2 (ja) | 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法 | |
| JPH1199314A (ja) | 炭化水素蒸気回収の運転方法 | |
| JP4911139B2 (ja) | 揮発性有機化合物の除去・回収方法 | |
| JP2000117048A (ja) | 揮発性石油化合物の吸着式補集装置及び吸着回収装置 | |
| JP3068272B2 (ja) | 可燃性揮発性有機化合物の回収方法 | |
| JP4611355B2 (ja) | ガス処理方法およびガス処理設備 | |
| JP2005095858A (ja) | 揮発性炭化水素を含む排ガスの浄化方法 | |
| JP2004098014A (ja) | 揮発性有機化合物含有ガスの処理方法 | |
| JP7435933B1 (ja) | 有機溶剤回収システム | |
| JP3788814B2 (ja) | 溶剤回収処理方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110320 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120320 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130320 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130320 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140320 Year of fee payment: 11 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |