JP7236888B2 - 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法 - Google Patents

真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7236888B2
JP7236888B2 JP2019048665A JP2019048665A JP7236888B2 JP 7236888 B2 JP7236888 B2 JP 7236888B2 JP 2019048665 A JP2019048665 A JP 2019048665A JP 2019048665 A JP2019048665 A JP 2019048665A JP 7236888 B2 JP7236888 B2 JP 7236888B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
volatile organic
route
organic compound
adsorption tower
gas
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019048665A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020146668A (ja
Inventor
彰夫 松岡
晃弘 塔本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurimoto Ltd
Original Assignee
Kurimoto Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurimoto Ltd filed Critical Kurimoto Ltd
Priority to JP2019048665A priority Critical patent/JP7236888B2/ja
Publication of JP2020146668A publication Critical patent/JP2020146668A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7236888B2 publication Critical patent/JP7236888B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02ATECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Landscapes

  • Treating Waste Gases (AREA)

Description

この発明は、揮発性有機化合物を含むガスを排出する前に、ガスから揮発性有機化合物を処理する装置に関する。
工場から発生する排ガスには、そのまま大気中に排出すると問題を起こす溶剤などの揮発性有機化合物が含まれる場合がある。この場合、排ガスを大気中に排出する前に、含有している揮発性有機化合物を処理しなければならない。その方法として、活性炭等の吸着剤を内蔵した吸着塔で、排ガス中に含まれる揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させ、ガス中の濃度を低減させて大気へ排出する。
その後、吸着剤に吸着された揮発性有機化合物を脱離させて、吸着塔を再利用可能にする。この脱離作業をしている間は当然に吸着ができないため、通常は複数の吸着塔を並列に設置し、一つの吸着塔が吸着をしている間に、他の吸着塔で脱離を行うという工程を循環して運用する。
吸着剤から揮発性有機化合物を脱離させる方法としては、加熱した水蒸気を接触して脱離させる方法や(例えば特許文献1)、吸着塔を真空吸引して脱離させる方法(例えば特許文献2)などがある。
吸着塔の吸着剤に吸着させた揮発性有機化合物を真空吸引により脱着させる場合の運用例を図4を用いて説明する。吸着塔11a、11b(まとめて11という)が二基並列に設けられ、それぞれの内部には揮発性有機化合物である溶剤を吸着する吸着剤が充填された吸着剤収容部12a,12b(まとめて12という)が設けられている。吸着塔11a,11bの上部には、内部へ揮発性有機化合物含有ガスAを導入する導入口バルブ21a,21bと、塔内の気体を真空吸引するための吸引口バルブ23a,23bが設けられている。一方、吸着塔11a,11bの下部には、溶剤を吸着された後の処理後ガスBが排出される排出口バルブ22a,22bが設けてある。排出口バルブ22a,22bの先には原ガスブロワ16が設けてある。原ガスブロワ16によって生じた圧力により、揮発性有機化合物含有ガスAは吸着塔11a、11bに導入され、処理後ガスBが排出される。一方、吸引口バルブ23a,23bの先には真空ポンプ17が設けてあり、脱離された溶剤のガスを含む減圧された有機化合物同伴ガスDが真空吸引される。真空吸引されて大気圧に戻された高濃度ガスEは、コンデンサ18bで冷却水Gにより冷却される。これにより、高濃度ガスEに含まれた溶剤は液化した回収有機化合物Fとして回収される。
それぞれの導入口バルブ21a,21b(まとめて21という)、排出口バルブ22a,22b(まとめて22という)、吸引口バルブ23a,23b(まとめて23という)は、独立して開閉可能である。これらを、吸着を行う吸着塔11と、脱離を行う吸着塔11とで切り替える。吸着を担当する方の吸着塔11では、導入口バルブ21と排出口バルブ22とが開放され、吸引口バルブ23が閉鎖される。導入口21から導入された揮発性有機化合物含有ガスAは吸着剤収容部12の吸着剤に溶剤を吸収されて、溶剤含有量を抑制され、原ガスブロワ16から大気へ放出される。一方、脱離して再生させている方の吸着塔11では、導入口バルブ21と排出口バルブ22とが閉鎖され、吸引口バルブ23が開放される。吸着塔11内は減圧されて、吸着剤収容部12の吸着剤に吸着していた溶剤が脱離されて吸引され、コンデンサ18bで凝縮されて回収される。
当然のことながら、吸着塔11の吸着能力を十全に再生させるためには、十分に揮発性有機化合物を脱離させる必要がある。そのためには減圧させる真空ポンプ17には十分な能力が求められる。
特開2014-168741号公報 特開平6-63350号公報
しかしながら、脱離開始時には吸着塔内の圧力は大気圧であり、真空ポンプから排気されるガス量は開始直後に極端に大きくなる。このピークのガス量を処理可能とするには、処理能力が特に大きなコンデンサを設置しなければならなかった。だが、ピークを経過した後はそれほど大きな処理能力を必要としないため、コンデンサの運用能力には無駄が多かった。
そこでこの発明は、減圧によって脱離させる揮発性有機化合物の処理装置において、処理に必要な負荷を低減させることを目的とする。
この発明は、
揮発性有機化合物を吸着する活性炭を充填する吸着剤収容部を有する吸着塔により、揮発性有機化合物含有ガスの揮発性有機化合物濃度を前記活性炭に吸着させることで減少させ、
吸着後は前記吸着塔内の気体を真空ポンプにより吸引して減圧させることで前記活性炭から前記揮発性有機化合物を脱離させる揮発性有機化合物処理装置を運用するにあたり、
前記吸着塔と前記真空ポンプとの間に、通過風量が異なる二本以上のルートを有する並列区間を設け、
それぞれのルートには独立して動作可能な弁を有し、
前記脱離を開始する際に、比較的通過風量が小さな前記ルートの弁を開放させた後に、比較的通過風量が大きな前記ルートの弁を開放させる運用方法により、上記の課題を解決したのである。
これは次のような新たな知見に基づくものである。吸着を終えた吸着塔について脱離を開始するにあたって、まず比較的通過風量が小さな前記ルートの弁を開放させると、吸着塔内が緩やかに減圧され始める。比較的通過風量が小さなとは、後から開放させる比較的通過風量が大きなルートに比べて小さいことをいい、バルブなどで調整する。概ね、比率にして1/3以下に小さいことが望ましい。
通過風量が小さなルートのみ開放された場合、通過風量が大きなルートが開放された場合と比べて、脱離開始直後に真空ポンプに導入されるガスの体積は同じでも、吸着塔から供給されるガスの質量は減るので、真空ポンプの出口で大気圧に戻した段階での体積は減少することになる。すると、コンデンサが処理しなければならないガス量を抑制することができる。その上で、吸着塔内の圧力がある程度低下した段階で比較的通過風量が大きな前記ルートの弁を開放させると、真空ポンプに導入されるガスの体積は増大するが、既に圧力が低下しているため、真空ポンプの出口で大気圧に戻すと体積は大幅に縮小することになる。このため、真空ポンプの出口から排出されたコンデンサが処理しなければならないガス量の増加が抑制できる。このタイミングは、コンデンサに入る風量を1/nに抑えようとする場合、圧力が大気圧の1/nまで下がった段階で切り替えるとよい。
単に、従来よりも通過風量が小さなルートのみで吸引すると、コンデンサへの負荷を抑えることができる代わりに、吸着塔内を十分に減圧させるために必要な時間がかかりすぎてしまう。この発明にかかる運用方法では、まず比較的通過風量が小さなルートで吸引して最初にコンデンサが処理する気体のピーク量を抑制する。その後所定の時間が経過した後に、比較的通過風量が大きなルートで吸引することで十分に減圧できるまでにかかる時間を抑制する。また、あらかじめ比較的通過風量が小さなルートで減圧させておくと、比較的通過風量が大きなルートを開放しても、コンデンサに到達するガス量の増大は十分に抑えることができる。
コンデンサの入口に供給されるガス量と、コンデンサが有する必要がある伝熱面積とは比例関係にあり、ピーク時の風量を1/nにすれば、コンデンサが必要とする伝熱面積も1/nに抑制することができる。
この発明により、揮発性有機化合物の脱離に必要とするコンデンサの処理能力を抑制でき、運用上の負荷及びコストを下げ、揮発性有機化合物の処理を従来よりも省エネルギーで行うことができる。
この発明にかかる運用方法を実行する揮発性有機化合物処理装置の構成例図 2基の吸着塔でこの発明にかかる運用方法を実行する吸着と脱着の状態遷移図 (a)脱離開始時点の吸引口付近の構成図、(b)メイン側吸引口を開いた時点の構成図 従来の真空吸引による脱離を実行する揮発性有機化合物処理装置の構成例図
以下、この発明の実施形態を説明する。この発明は、揮発性有機化合物含有ガスの濃度を低減させて大気中へ排出可能とし、その分の揮発性有機化合物を吸着剤に吸着させる揮発性有機化合物の処理装置10の運用方法である。この処理装置10で吸着を行う吸着塔11は吸着剤として活性炭を有し、吸着された揮発性有機化合物は真空ポンプ17で減圧されることで吸着剤から脱離させて、吸着剤を繰り返し利用できる。脱離させた揮発性有機化合物は凝縮して回収する。図1はこれらの一連のサイクルを行う処理装置10の全体像の例を示す。
この発明にかかる運用方法で運用する処理装置で処理する揮発性有機化合物とは、常圧で加熱することで気体になり得る有機化合物であり、特に常温で液体であるものが吸着処理しやすい。例えば、メタノール、エタノール、イソプロピルアルコール等の炭素数が1~8程度のアルコール、トルエン、ベンゼンなどの芳香族有機化合物などの、炭化水素系の溶剤が挙げられる。
個々の吸着塔11(11a,11b)は角形又は円筒形であり、装置内部には、揮発性有機化合物を吸着し、真空吸引にて脱着できる吸着剤を充填させた吸着剤収容部12を設けてある。この吸着剤としては、粒状活性炭を用いることができる。吸着塔11の内部を上下方向に通過するためには、必ず吸着剤収容部12を通過しなければならない。吸着剤収容部12の底面と上面はどちらも吸着塔11内に格納されている。このような吸着塔11が並列に複数基設けられている。図1の例では2基の吸着塔11a,11bを記載しているが、2基に限定されるものではなく、3基以上でもよい。
吸着塔11の吸着剤収容部12より上端側には、揮発性有機化合物含有ガスAの導入口13が設けてあり、原ガスブロワ16によって生じた圧力によって揮発性有機化合物含有ガスAが導入される。吸着剤収容部12より下端側には、揮発性有機化合物が吸着剤に吸着されることでその濃度が低下した処理後ガスBの排出口14が設けてある。排出口14は大気中へ放出するものである。
また、揮発性有機化合物を脱着した有機化合物同伴ガスDを減圧吸引するための吸引口15が、吸着剤収容部12の上端よりも上端側に設けてある。この吸引口15から有機化合物同伴ガスDが搬送される。
有機化合物同伴ガスDは、真空ポンプ17によって吸引されることで、減圧した状態で真空ポンプ17に到達する。真空ポンプ17の出口からは大気圧に戻って容積が小さくなった高濃度ガスEが排出される。この高濃度ガスEはコンデンサ18aに供給されて冷却水Gにより冷却される。冷却により有機化合物同伴ガスDに含まれていた揮発性有機化合物を分離回収する(回収有機化合物F)。
それぞれの吸着塔11への入口及び出口にはバルブを設けてある。すなわち、導入口13a,13bには導入口バルブ21a,21bを、排出口14a,14bには排出口バルブ22a,22bを、それぞれ設けてある。
一方、吸引口15から先は複数本に分岐し、並列区間が設けられ、真空ポンプ17より手前で合流している。並列区間を構成する分岐したそれぞれのルートは、通過する風量が異なるように調整されている。図では吸着塔11a,11bごとに、2本に分岐している。分岐したうち、時間あたりの通過風量が比較的大きな方の経路をメインルート、比較的小さな方の経路をサブルートと呼ぶ。メインルートにはメインルートバルブ23a,23bを設け、サブルートにはサブルートバルブ24a,24bを設けてある。
前記メインルートと前記サブルートの時間あたりの通過風量の比率は20:1~3:1であることが好ましく、10:1~5:1であるとより好ましい。3:1よりも比が小さいと、脱離開始直後にピークとなるコンデンサ18aが処理すべき処理量を低減させる効果が十分に発揮されず、コンデンサ18aに要求される処理能力が十分に抑制できない。一方、20:1よりも比が大きいと、前記サブルートを先行して開放させることで吸着塔11内をある程度減圧させるために必要な時間が掛かりすぎてしまい、他方の吸着塔の吸着が終わるまでに脱離が完了しなかったり、減圧が不十分なまま前記メインルートを開放しなければならなくなってコンデンサ18aが処理すべき処理量のピークが十分に低減させられないおそれがある。
なお、前記ルートが3本以上に分岐している場合には、後述する開放順に2番目になるルートと1番目になるルートとの通過風量の比率が前記の範囲であると好ましい。
上記の通過風量の比率を調整する手法としては、例えば前記サブルートに通過風量を調整できる通過風量調整バルブ25a,25bを設け、これを調整することで上記の範囲に調整することができる。
この発明にかかる揮発性有機化合物処理装置の運用方法について、図2に示すシーケンス図と、図3に示す状態図を用いて説明する。まず、吸着塔11aで吸着を開始する際には(S101)、導入口バルブ21aと、排出口バルブ22aを開放し、吸引口15aのサブルートバルブ24a、メインルートバルブ23aは閉鎖する。吸着が終わったら導入口バルブ21aと、排出口バルブ22aを一旦閉鎖すると同時に、吸着塔11bで吸着を開始する(S102)。次に、吸着塔11aでは脱離を開始する(S103~)。このとき、まずサブルートバルブ24aを開放し、メインルートバルブ23aは閉鎖したままとする(S103)。このときの状態を図3(a)に示す。サブルートのみ開放されているため、通過風量が制限されており、吸着塔11aの中の減圧は緩やかに進行する。これにより、コンデンサ18aが処理しなければならないガス量も抑制されている。
次に、サブルートの開放から、吸着塔11a内の気圧が十分に低下したら、メインルートのメインルートバルブ23aを開放し、メインルートとサブルートの両方から吸引を行う(S104)。この状態を図3(b)に示す。メインルートを通過する風量が増えるが、このときまでに既に吸着塔11aの内のガスはある程度抜けているので、コンデンサ18aが処理しなければならないガス量が過度に上がることを抑制している。ここで、S103からS104に切り替えるタイミングは、予め吸着塔11a内の気圧の変動を測定しておき、最適と思われるタイミングになるようにタイマー制御しておいてもよいし、吸着塔11a内に設けた圧力計の値を測定しながら、適切な気圧になった時点で切り替えてもよい。その後、吸着塔11a内の圧力が十分に低下したら脱離を終了する(S105)。
メインルートバルブ23a,23bを開放する時点(S103→S104,S106→S107)における吸着塔11a、11b内の圧力は、5kPa以上であると好ましく、10kPa以上であるとより好ましい。なお、5kPaは大気圧の1/20であり、10kPaは大気圧の1/10に相当する。一方、33kPa以下であると好ましく、20kPa以下であるとより好ましい。なお、33kPaは大気圧の1/3であり、20kPaは大気圧の1/5に相当する。5kPa未満までサブルートのみで減圧するには時間が掛かりすぎ、脱離が間に合わなくなるおそれがある。一方、33kPaを超えていると、まだ残存しているガスが多いため、メインルートバルブ23a,23bを開放したときにコンデンサ18aにかかる負荷が大きくなりすぎてしまう。
なお、メインルートバルブ23a,23bを開放した後、吸着塔11a,11b内が所定の気圧以下になるまで減圧し、吸着剤から揮発性有機化合物を脱離させる。この減圧停止気圧は、溶剤の種類によって適宜変更してよい値である。なお、この終了タイミングは吸着塔11a、11b内に設けた圧力計を基準にして終了してもよいし、過去の運用時における測定から、目標とする圧力にまで低下したと判断できる時点で終了してもよい。ただし、吸着を続けている吸着塔11bの吸着能力の低下が限界に達する前に終了する必要がある。
次に、脱離によって吸着能力を取り戻した吸着塔11aで再度吸着を行う(S106)。このとき、吸着塔11bではまずサブルートバルブ24bのみを開放して、吸引減圧させて脱離を開始させる。その後吸着塔11b内の圧力が上記の範囲となったら、メインルートバルブ23bを開放する(S107)。その後、吸着塔11b内の圧力が十分に低下したら脱離を終了する(S108)。これらのタイミングの基準となる吸着塔11b内の圧力は、吸着塔11aでの脱離の際の基準と同じである。以後(S109~)、交互に吸着と脱離を繰り返すたびに、脱離の際には先にサブルートを開放し、次いでメインルートを開放する。
以下、この発明の実施例を示す。(株)栗本鐵工所製吸着塔(活性炭層面積:0.1m、活性炭層厚:1.0m)に、通過風速0.16m/sとなるように、トルエン濃度1%となる揮発性有機化合物含有ガスAを導入し、吸着時間10分となるように吸着を行った。
メインルート及びサブルートの通過風量の比は5:1であり、真空ポンプの能力は2m/minのものを用いた。コンデンサとしては多管式のもの(伝熱面積:0.2m)を用いた。サブルートで20kPaとなるまで減圧した後に、メインルートを開放したところ、コンデンサは十分にガスを処理可能であった。
比較例として、サブルートを持たずメインルートのみの装置を用いて、大気圧の時点でメインルートを開放して吸引を行ったところ、実施例のコンデンサでは能力が不足してしまい、伝熱面積が1.0mである多管式コンデンサが必要となった。
10 処理装置
11,11a,11b 吸着塔
12,12a,12b 活性炭(吸着剤収容部)
13,13a,13b 導入口
14,14a,14b 排出口
15,15a,15b 吸引口
16 原ガスブロワ
17 真空ポンプ
18a,18b コンデンサ
21,21a,21b 導入口バルブ
22,22a,22b 排出口バルブ
23,23a,23b メインルートバルブ(吸引口バルブ)
24a,24b サブルートバルブ
25a,25b 通過風量調整バルブ
A 揮発性有機化合物含有ガス
B 処理後ガス
D 有機化合物同伴ガス
E 高濃度ガス
G 冷却水
F 回収有機化合物

Claims (1)

  1. 揮発性有機化合物を吸着する活性炭を充填する吸着剤収容部を有する吸着塔により、揮発性有機化合物含有ガスの揮発性有機化合物濃度を前記活性炭に吸着させることで減少させ、
    吸着後は前記吸着塔内の気体を真空ポンプにより吸引して減圧させることで前記活性炭から前記揮発性有機化合物を脱離させる揮発性有機化合物処理装置を運用するにあたり、
    前記揮発性有機化合物処理装置は、
    前記吸着塔と前記真空ポンプとの間に、通過風量が異なる二本以上のルートを有する並列区間を設けてあり
    比較的通過風量が大きな前記ルートと、比較的通過風量が小さな前記ルートとの、通過風量の比が、20:1~3:1であり、
    前記真空ポンプから排出された高濃度ガスを冷却するコンデンサを有し、
    前記コンデンサにて前記高濃度ガスに含まれる前記揮発性有機化合物を凝縮させることができ、
    それぞれのルートには独立して動作可能な弁を有し、
    前記脱離を開始する際に、比較的通過風量が小さな前記ルートの弁を開放させた後に、吸着塔内の圧力が5kPa以上33kPa以下である時点で比較的通過風量が大きな前記ルートの弁を開放させる、
    揮発性有機化合物処理装置の運用方法。
JP2019048665A 2019-03-15 2019-03-15 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法 Active JP7236888B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019048665A JP7236888B2 (ja) 2019-03-15 2019-03-15 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019048665A JP7236888B2 (ja) 2019-03-15 2019-03-15 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020146668A JP2020146668A (ja) 2020-09-17
JP7236888B2 true JP7236888B2 (ja) 2023-03-10

Family

ID=72431343

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019048665A Active JP7236888B2 (ja) 2019-03-15 2019-03-15 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7236888B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112275089A (zh) * 2020-10-15 2021-01-29 河南中烟工业有限责任公司 一种废水处理污染气体净化系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012066250A (ja) 2012-01-06 2012-04-05 Jfe Engineering Corp 揮発性有機化合物の除去・回収方法
WO2014080984A1 (ja) 2012-11-22 2014-05-30 Uji Shigekazu 揮発性有機化合物回収装置

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5154735A (en) * 1990-03-29 1992-10-13 John Zink Company, A Division Of Koch Engineering Co., Inc. Process for recovering hydrocarbons from air-hydrocarbon vapor mixtures
JPH0663350A (ja) * 1992-08-24 1994-03-08 Ebara Corp 溶剤の回収方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012066250A (ja) 2012-01-06 2012-04-05 Jfe Engineering Corp 揮発性有機化合物の除去・回収方法
WO2014080984A1 (ja) 2012-11-22 2014-05-30 Uji Shigekazu 揮発性有機化合物回収装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2020146668A (ja) 2020-09-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5506396B2 (ja) オゾン濃縮装置
WO2008053680A1 (fr) Dispositif et procédé pour la concentration de gaz inflammable
JP3921203B2 (ja) ガス分離方法および装置
KR101715826B1 (ko) 유기 용매의 제거 방법 및 제거 장치
CN111566044A (zh) 在低温温度下从气体或液体流中回收氙的吸附性方法
JP7236888B2 (ja) 真空脱着式揮発性有機化合物回収装置の運用方法
JP5861177B2 (ja) 有機溶剤の脱着方法および有機溶剤の脱着装置
JP2017056383A (ja) 二酸化炭素回収装置および二酸化炭素回収方法
JP2840563B2 (ja) 放散ガスに含まれる濃厚なガス状炭化水素の処理・回収方法
JP2007014919A (ja) 排ガス処理装置および排ガス処理システム
KR20200137961A (ko) 가스 치환용 드라이룸
JP6970631B2 (ja) 揮発性有機化合物処理装置の運用方法
JP2001104738A (ja) 医療用酸素濃縮器
JP6067368B2 (ja) 吸着材の再生装置、吸着材の再生方法、二酸化炭素精製装置、および二酸化炭素精製方法
JP5847978B1 (ja) 吸着された揮発性有機化合物の回収方法
TWI856079B (zh) 有機溶劑回收系統
JPH1199314A (ja) 炭化水素蒸気回収の運転方法
JPH05337323A (ja) 溶剤の回収方法
JP2013017930A (ja) 吸着剤を利用した水分除去、冷熱の回収を行う、低温液化voc回収方法におけるvoc回収率の向上方法
JP2001149742A (ja) 有機溶剤の回収方法
JP3223253B2 (ja) フロンの再生方法及び再生装置
JP2008119570A (ja) Voc回収装置及びvoc回収方法
JPH11253737A (ja) 炭化水素蒸気回収の運転方法
JP5256252B2 (ja) ガス処理方法およびガス処理設備
JPH0342013A (ja) 溶剤回収装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220131

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221114

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230120

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230131

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230228

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7236888

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150