JPH11249106A - 複数の電気光学セル、特に液晶セルを製造する方法 - Google Patents

複数の電気光学セル、特に液晶セルを製造する方法

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JPH11249106A
JPH11249106A JP10364486A JP36448698A JPH11249106A JP H11249106 A JPH11249106 A JP H11249106A JP 10364486 A JP10364486 A JP 10364486A JP 36448698 A JP36448698 A JP 36448698A JP H11249106 A JPH11249106 A JP H11249106A
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cells
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plates
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JP10364486A
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Rolf Klappert
ロルフ・クラッパート
Jean-Michel Kuenzi
ジャン−ミシェル・クンツィ
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Asulab AG
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    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 少なくとも3つの基板を含む複数のセルを単
一のバッチとして作成し、次いで個別のセルに損傷を与
える危険のない安価な方法でこのバッチを個別のセルに
容易に分割することができる、集合的に製造する方法を
提供すること。 【解決手段】 本発明は、2つの外側基板および外側基
板の間に挿入された1つの中間基板からそれぞれ形成さ
れた複数の電気光学セルを集合的に製造する方法に関す
る。基板は、密封フレームによって互いに連結され、液
晶を受ける2つの空洞を形成する。この方法は、外側の
基板をスクライビングおよび破壊することによってバッ
チを分割する段階中のバッチの個別のセルへの分割を容
易にするために、最小機械強度の領域を各2重セルの輪
郭に沿って中間基板中に作成する段階を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、少なくとも3つの
基板と例えば液晶などの液体で充填された2つの空洞と
を有する、複数の電気光学または光電池を製造する方法
に関する。さらに詳細には、本発明は、このようなセル
のバッチを集合的に製造する方法であって、このバッチ
を個別のセルに分割する段階を容易にした方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】2重液晶セルは現況技術で周知であり、
例えばカラー画像表示装置を形成するように意図されて
いる。例えば特許出願第WO89/00300号に開示
されるものなど、このような2重セルは、3つの平行基
板、すなわち2つの密封フレームを用いて対にして接続
した2つの外側基板と中間基板を含む。互いに向き合っ
て位置する中間基板と各外側基板の面は1組の電極を備
え、中間基板と2つの外側基板との間にそれぞれ形成さ
れた2つの空洞は液晶で充填される。
【0003】このタイプのセルの製造は現在2つの方法
によって実行されている。
【0004】第1の方法によれば、従来のセルの2つの
バッチ、すなわち2つの基板および1つの空洞を有し、
各バッチのセルが所望の液晶を含むバッチを製造する。
2つのバッチを個別のセルに分割し、一方のバッチの各
セルを、適当な接着剤を使用してもう一方のバッチの各
セルに接着することによって組み立てる。
【0005】こうしたバッチをそれぞれ作成するには、
ガラスまたは合成材料の大きなプレートを2つ準備し、
電極および導電経路のセットのパターンをこれらのプレ
ートの対向する面に作成し、密封材料を前記プレートの
一方に付着させ、バッチの各セルの充填開口をそれぞれ
に配列し、密封材料が各電極セットの周りに延びるよう
にする。次いで2つのベース・プレートを組み立て、開
いたセルのいくつかの行を含むアセンブリを形成する。
次いで、ガラス・スクライビングおよび破壊技術(例え
ば米国特許第US−A−4224093号参照)または
平行直線に沿った鋸引きにより、このアセンブリを直線
ストリップに分割する。各セルはストリップの一方の縁
部に沿って充填開口を有するので、次いでセルを充填
し、それらの開口を密封し、次いでストリップを前述の
直線に対して直角な直線に沿った個別の長方形セルに分
割する。
【0006】この方法の第1の欠点は、その結果生じる
2重セルが4つの基板を有し、その結果かなりの厚さに
なることにある。もう1つの欠点は、この場合には2つ
のプレートを接着することによって形成される中間基板
の厚さが2倍になることにより、2つの液晶の層の間の
視差の影響が増大する点である。したがってこれは表示
された画像の画質にとって明らかに有害である。さらに
この方法は多数の操作を伴い、それにより困難となり、
コストもかさむ。
【0007】第2の方法では、3つの基板を有するセル
を、従来のスクライビングおよび鋸引き技術では3つの
基板を同時に切断することができないので、1つずつ製
造する。したがって各製造段階を各セルごとに個別に実
行しなければならず、それによりこのようなセルの製造
は冗長になり、当然、バッチで実行することができる場
合よりコストがかさむ。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、少な
くとも3つの基板を含む複数のセルを単一のバッチとし
て作成し、次いで個別のセルに損傷を与える危険のない
安価な方法でこのバッチを個別のセルに容易に分割する
ことができる、集合的に製造する方法を提供することに
より、前述の従来技術の欠点を克服することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】したがって本発明は、液
体で充填された、外側基板と中間基板の間に配列された
密封フレームによってそれぞれ区切られた少なくとも2
つの空洞と、もう一方の基板と向き合う各基板の表面上
に配列された電極とをそれぞれ有する、複数の並列の電
気光学セルまたは光電池を製造する方法であって、
(a)各セルの中間基板となる、全てのセルに共通な少
なくとも1つの中間プレートと、2つの外側基板とな
る、やはり全てのセルに共通な第1および第2の外側プ
レートとを用意する段階であって、中間プレートと第1
または第2の少なくとも一方の外側プレートとが透明で
ある段階、(b)互いに向き合うように意図された第1
および第2の外側プレートと中間プレートの面に、それ
ぞれが個別のセルと関連する電極セットのパターンを形
成する段階、(c)互いに向き合うように意図された前
記面の少なくとも一方に密封材料を付着させ、それぞれ
個別のセルと関連する複数の密封フレームを形成する段
階、(d)中間プレート中で各セルの輪郭に沿って最小
機械強度の領域を形成する段階、(e)第1および第2
の外側プレートに形成された電極パターンが、中間プレ
ートに形成された電極パターンと協働するように、中間
プレートを第1および第2の外側プレートのそれぞれと
組み合せる段階、(f)密封材料を用いて第1および第
2のプレートを中間プレートに接着する段階、(g)第
1および第2の外側セルの外側表面上に、各セルの輪郭
を区切るスクライブ線を形成する段階、(h)第1およ
び第2のプレートと中間プレートとを各セルの輪郭に沿
って破壊することによって、バッチを個別のセルに分割
する段階、ならびに(i)第1および第2のプレート
と、中間プレートと、密封フレームとによって区画され
た各セルの空洞を液体で充填する段階を少なくとも含む
ことを特徴とする方法に関する。
【0010】こうした特徴の結果として、外部からアク
セス不可能な中間基板を形成するための1つまたは複数
のプレートを含むセルのバッチの集合的な製造が可能と
なり、個別のセルをバッチから分離する段階が、外側プ
レートをスクライビングおよび破壊する従来の方法でさ
らに実行される。外側プレートをスクライブ線に沿って
破壊するためにこれらに加える力は、中間プレートの抵
抗が最小の領域中で1つまたは複数の中間プレートの破
壊も引き起こし、その結果バッチの個別のセルへの分離
も引き起こす。必要なら、セルの中間基板の縁部をトリ
ミングすることもできる。
【0011】有利な実施形態によれば、最小機械強度の
領域は、中間基板を形成する中央部分が、少なくとも1
つの材料ブリッジおよび好ましくは4つの材料ブリッジ
によって中間プレートの残りの部分に接続されるよう
に、連続的または不連続な長いスリットを各セルの輪郭
に沿って切削することによって形成される。
【0012】これらのブリッジが存在することにより、
1つまたは複数の中間プレートが組立て前に様々な処理
および操作段階を受けることができるようにするのに必
要な機械的強度と、分割段階でバッチから個別のセルを
容易に分離するのに必要なもろさとの間で折り合いをつ
けることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】本発明のその他の特徴および利点
は、添付の図面に関連して非制限的な例として与えた以
下の好ましい実施形態の説明から明らかになるであろ
う。
【0014】詳細に図1を参照すると、製造中の2重L
CDセル2(図4)のセット1が示されており、これら
のセルは全て重なった3つのプレート、すなわち2つの
外側プレート4および8ならびに中間プレート6を備え
ている。外側プレート4および8は全てのセル2に共通
であり、それぞれ各セルの上側基板4aおよび下側基板
8aを形成するためのものである。プレート6も全ての
セル2に共通であり、各セル2の中間基板6aを形成す
るためのものである。
【0015】プレート6および少なくともプレート4は
透明である。図示の実施形態では、3つのプレート4、
6、および8は透明であり、例えばガラス・プレートか
ら形成される。もちろん合成材料などその他の材料を構
想することもできる。
【0016】図5および図6も参照すると、各2重セル
2が、あるタイプの液晶をそれぞれ収容するための2つ
の空洞10および12を含むことが分かる。これら2つ
の空洞はそれぞれ、基板4aおよび6aと、基板6aお
よび8aと、プレート4および8をプレート6上に接着
するそれぞれの密封フレーム14、16とによって区画
されている。
【0017】密封フレーム14および16は各セル2の
活性表面の外側輪郭に従い、図1に示すアセンブリで
は、密封フレーム14および16は長方形構成を有す
る。これらのフレームは従来の方法で密封材料から形成
される。充填開口18、20がそれぞれ各セル2の密封
フレーム14、16中に形成されている。この開口には
セル充填後に開口18、20を密封するために使用する
接着剤止めるために使用される小壁22が配置されてい
る。
【0018】以下でさらに精密に記述するように、セル
2の充填を容易にするために、開口18、20は、各セ
ル2の同じ縁部に沿った反対側のコーナに配列する。
【0019】基板4aおよび6aの向き合う表面はそれ
ぞれ、1組の平行透明電極E4aおよびE6a1を含
み、これらのセットは互いに直角に配置される。同様
に、基板8aおよび6aの向き合う表面はそれぞれ、1
組の平行透明電極E8aおよびE6a2を含み、これら
のセットは互いに直角に配置される。分かりやすくする
ために、プレート4と向き合うように位置するプレート
6の面に付着させたセットE6a1は、図1では省略し
てある。このように電極を直角に配列することで、基板
6aと8aの間に、各マトリックスそれぞれの電極の交
差点にそのピクセルが位置する2ピクセル・マトリック
スを形成することが可能となる。同一のマトリックスの
交差する電極の両端間に制御電圧を印加することによ
り、当業者には周知のように、関係した交差点に位置す
る液晶の光学的状態を変えることができる。各電極は、
従来のフォトリソグラフィ技術によって付着させた導電
性ストリップから形成され、好ましくは酸化インジウム
スズ(ITO)から作成される。
【0020】図4、図5、および図6では、基板4a、
6a、および8aがそれぞれその他2つより横方向に突
出し、密封フレーム14および16を越える電極E4
a、E6a1、E6a2、およびE8aの延長部で形成さ
れた一連の接触パッドPC4a、PC6a1、PC6
2、PC8aを縁部付近に有する3つの直線縁部2
4、26、28を各セル2が備えていることも理解され
る。これらの接触パッドは、電極の外部接続として使用
される。図示の例では単一の縁部となるセル2の残りの
外側輪郭は、3つのガラス・プレート4、6、8に対し
て同じ位置となる。
【0021】図4では、電極E6a1を示すために基板
4aの左側のコーナが部分的に切除されていることに気
づくであろう。基板4aおよび6aは、電極E8aを示
すために右上のコーナが部分的に切除されている。
【0022】LCDセル2の製造は以下の方法で実行さ
れることが好ましい。プレート4および8は、その片面
を、従来の方法で個別のセルとそれぞれ関連する電極セ
ットE4aおよびE8aでそれぞれ被覆される。プレー
ト6はその両面を、電極セットE6a1およびE6a2
被覆される。プレート4の電極セットE4aはプレート
6の電極セットE6a1と向き合うようにされ、プレー
ト8の電極セットE8aはプレート6の電極セットE6
2と向き合うようにされる。必要なら、整列層または
フィルタや誘電体層などその他のエレメント(図示せ
ず)をこれらの電極層の上に付着させることもできる。
電極および層の付着技術は当業者には既知であり、した
がってこれについては記述しない。
【0023】前述の接触パッドが電極と同時に作成され
ることも理解されるであろう。
【0024】密封フレーム14および16ならびに壁面
22を形成するための材料をプレート4および8の電極
を形成させた面に付着させる。この材料をプレート6の
電極セットを有する面のみに付着させることも、この材
料をプレート4、6、8の向き合う各面に部分的に付着
させることもできることは明らかである。
【0025】図示の例では、密封フレーム14および1
6がそれらが関連するパターンE4a、E6a1、E8
a、およびE6a2を完全には囲まないこと、詳細に言
えば、電極E4a、E6a1、E8a、およびE6a2
一部分PC4a、PC6a1、PC8a、およびPC6
2が密封フレーム14および16を越えて横方向に延
び、前述の接触パッドを形成するようにそれらが配列さ
れることに気づくであろう。
【0026】本発明の製造方法の1段階によれば、1つ
または複数の最小機械強度の領域30が、各セルの輪郭
に沿ってプレート6中に配列される。この領域30によ
って完成した個別のセルの中間基板が形成される。領域
30は、1つまたは複数の連続スリット32を各セルの
輪郭に沿って切削することによって1実施形態に従って
形成され、基板6aを形成する中央部分が、少なくとも
1つの材料ブリッジ34、好ましくは図1および図3に
示すように4つのブリッジ34によってプレート6の残
りの部分と接続されるようにする。基板6aをプレート
6の残りの部分に接続するブリッジの幅および長さは、
基本的にプレート6の厚さに依存することになる。例え
ば、約0.3〜1mmの厚さを有するプレート6では、
ブリッジの全長、すなわち連続するスリットの端部の間
の距離は0.3〜2mmの間に含まれ、その幅はWmm
となる。
【0027】これらのスリットは、好ましくは自動制御
式の非常に高圧のウォーター・ジェット切削機を用いて
1回の作業段階で切削されることが好ましい。ウォータ
ー・ジェットおよびそれを生み出すノズルは固定式であ
ることが好ましく、この機械はプレート6を平面中で移
動させ、バッチ上の切削すべき軌道をジェットがたどる
ようにする。ただし、移動式ジェットを使用する技術を
使用することもできる。言うまでもなく、その他の手段
を使用してこれらのスリットを作成することもでき、例
えば、サンド・ジェットまたはレーザ切削機(Co2ま
たはエキシマ)を使用することもできる。
【0028】プレート6上に電極セットを形成させた後
でスリットを作成する場合には、必要なら、例えば従来
の方法でフォトレジスト層を堆積させてこのプレートの
2つの表面を保護し、それを除去する。
【0029】図示していない代替実施形態によれば、最
小強度の領域は、点線の点のように互いにわずかに間隔
をあけた複数のスリットを各セルの輪郭に沿って切削す
ることによって形成される。機械的強度の低い辺をセル
の輪郭に形成する任意タイプの形状を構想することがで
きることはもちろん明らかである。例えば、プレート6
の片面または両面にセルの輪郭をたどる溝をエッチング
し、予備処理段階中に破壊されることなくプレートに加
わる応力に耐えるのにちょうど十分な程度に非常に薄い
厚さの壁面によって基板6aがプレート6の残りの部分
に保持されるようにすることもできる。
【0030】最小機械強度の領域30を作成した後で、
プレート4および8が保持する電極セットがそれらと関
連づけられたプレート6が担持する電極セットと整列ま
たは協働するように、プレート6をプレート4および8
のそれぞれと組み合わせる。次いでフレーム14および
16を形成する密封材料を用いてプレート4および8を
プレート6に接着する。
【0031】1実施形態によれば、次いでアセンブリ1
を個別のセル2に分割する。これを行うために、プレー
ト4および8の外側表面上で各セルの輪郭を定める平行
スクライブ線を作成する。さらに詳細には、第1の一連
の平行スクライブ線をLsup1aおよびLsup1bでそ
れぞれ示される線に沿って形成し、第2の一連の平行ス
クライブ線を、線Lsup1aに対して直角な線Lsup
2aおよびLsup2bに沿って形成する。第3の一連の平
行スクライブ線も、プレート8上に、線Linf1aおよ
びLinf1bに沿って形成され、第2の一連の平行スク
ライブ線は、線Linf1aに対して直角な線Linf2a
およびLinf2bに沿って形成される。図示の例では、
これらの線は対となって密封フレーム14および16の
側面と平行となり、当然それらが関連する密封フレーム
の境界を超えて延びる。これらの線は全て、一点鎖線で
図3に示す。
【0032】線Lsup1aは実質的にプレート6のスリ
ット32の上に延びるが、線Lsup1bはセルの外側に
向かって横方向に(図3では右側に)スリット32から
かなりずれており、プレート4がその他2つのプレート
6および8より横方向に突出する直線縁部24を構成す
る。
【0033】線Lsup2aおよびLinf2aはそれぞれ
プレート6、8中で、実質的にスリット32の上に延び
るが、線Lsup2bおよびLinf2bはそれぞれセルの
内側に向かって横方向にスリット32からかなりずれて
おり、プレート6がその他2つのプレート4および8よ
り横方向に突出する直線縁部26を解放する。
【0034】線Linf1aはセルの外側に向かって横方
向にスリット32からかなりずれており、プレート8が
その他2つのプレート4および6より横方向に突出する
直線縁部28を構成するが、線Linf1bは実質的にプ
レート8中でスリット32の上に延びる。
【0035】プレート4および8上でのこれらのスクラ
イブ線のトレーシングは、例えばダイヤモンド工具を用
いて従来の方法で実行される。
【0036】このスクライブ線を形成する段階の後で、
プレート4および8をそれぞれ線Lsup1a、Lsup
1b、Lsup2a、およびLsup2b、ならびに線線Li
nf1a、Linf1b、Linf2a、およびLinf2b
沿って破壊することにより、バッチを容易に個別のセル
に分割することができる。同時に、プレート6の最小強
度の領域30も破壊され、セル2がプレート6の残りの
部分から解放される。
【0037】各セル2の輪郭の少なくとも中間基板の破
壊箇所領域30はトリミングすることが好ましい。
【0038】次に各セル2を別々に処理し、従来の方法
でその2つの空洞を液晶で充填し、次いで充填開口1
8、20を密封する。
【0039】本発明の有利な特徴によれば、異なるタイ
プの液晶で2つの空洞10、12を同時に充填すること
ができるように、2つの充填開口18、20は各セル2
の同じ縁部に作成され、横方向に間隔をあけられる。こ
れを行うには、2つの空洞10、12のそれぞれで真空
を発生させ、次いで充填開口18、20も含めたセル2
の縁部を液晶で満たされた容器中に置く。その後容器か
らの毛管現象によって空洞10、12が充填される。
【0040】図示していない本発明の代替実施形態によ
れば、バッチ1からセル2を分割する段階は、バッチ1
を直線ストリップの形状のいくつかのサブ・アセンブリ
に分割する中間段階を含むことができる。各サブ・アセ
ンブリは、各セル2がストリップの縁部から形成された
少なくとも1つの直線縁部を含むように、1行または複
数行のセル2を含むことができる。第2の行のセルの充
填開口18、20を第1の行のそれと反対側に配置する
ことにより、最終的にセルを分離する前に各行の複数の
セル2の同時充填を達成することができる。
【0041】セル2が複数の中間基板を含む場合も本発
明の範囲内に含まれる。この場合には、中間基板が作成
されるそれぞれプレートは、前述のプレート6に準拠し
て準備する。
【0042】例えば少なくとも3つの基板を有する電気
化学タイプの1組の光電池の場合も本発明の範囲内に含
まれる。2つの基板を有するこのタイプのセルは、例え
ば特許公告第WO91/16719号および第WO95
/18456号に開示されている。したがって、既知の
手段で完全に充填されたセルをバッチとして製造し、次
いで前述のようにしてバッチを分割することができる。
【0043】液晶で充填された第1空洞、および光を吸
収してそれが関連する電極の両端子間に電圧を発生させ
ることができる生理化学システムを含む第2空洞を各セ
ルが含む、前記で規定したものなどの複数のセルのバッ
チの製造を構想することもできる。このようなシステム
は例えば特許公告第WO91/16719号および第W
O95/18456号に開示されている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による製造中の2重液晶ディスプレイ
(LCD)セルのバッチを示す展開部分概略図である。
【図2】図1の線II−IIに沿って切った中間プレー
トの概略的な断面図である。
【図3】スクライブ線形成段階(g)の後のバッチを示
す部分上面図である。
【図4】図1のバッチから切り離された2重セルを、そ
の2つの上側のコーナを切除して示す概略平面図であ
る。
【図5】図4の線V−Vに沿って切った、図1のバッチ
から切り離された2重セルを示す概略断面図である。
【図6】図4の線VI−VIに沿って切った、図1のバ
ッチから切り離された2重セルを示す概略断面図であ
る。
【符号の説明】
1 2重LCDセルのセット 4 外側プレート 4a 上側基板 6 中間プレート 6a 中間基板 8 外側プレート 8a 下側基板 14 密封フレーム 16 密封フレーム 18 充填開口 20 充填開口 22 小壁 30 最小機械強度の領域 32 スリット 34 材料ブリッジ

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液体で充填された、外側基板と中間基板
    の間に配列された密封フレームによってそれぞれ区切ら
    れた少なくとも2つの空洞と、 他の基板と向き合う各基板の表面上に配列された電極と
    をそれぞれ有する、複数の並列の電気光学セルまたは光
    電池を製造する方法であって、 (a)中間プレートと第1または第2の少なくとも一方
    の外側プレートが透明であって、各セルの中間基板とな
    る、全てのセルに共通な少なくとも1つの中間プレート
    と、2つの外側基板となる、やはり全てのセルに共通な
    第1および第2の外側プレートとを用意する段階、 (b)第1および第2の外側プレートと中間プレートの
    互いに向き合う面に個別のセルと関連する電極セットの
    パターンを形成する段階、 (c)互いに向き合う前記面の少なくとも一方に密封材
    料を付着させ、それぞれ個別のセルと関連する複数の密
    封フレームを形成する段階、 (d)中間プレート中に各セルの輪郭に沿って最小機械
    強度の領域を形成する段階、 (e)第1および第2の外側プレートに形成された電極
    パターンが、中間プレートに形成された電極パターンと
    協働するように中間プレートを第1および第2の外側プ
    レートのそれぞれと組み合せる段階、 (f)密封材料を用いて第1および第2のプレートを中
    間プレートに接着する段階、 (g)第1および第2の外側セルの外側表面上に、各セ
    ルの輪郭を区切るスクライブ線を形成する段階、 (h)第1および第2のプレートと中間プレートとを各
    セルの輪郭に沿って破壊することによって、バッチを個
    別のセルに分割する段階、ならびに (i)第1および第2のプレートと、中間プレートと、
    密封フレームとによって区画された各セルの空洞を液体
    で充填する段階を少なくとも含む方法。
  2. 【請求項2】 前記最小機械強度の領域が、中間基板を
    形成する中央部分が、少なくとも1つの材料ブリッジに
    よって中間プレートの残りの部分に接続されるように、
    連続的または不連続なスリットを各2重セルの輪郭に沿
    って切削することによって形成される請求項1に記載の
    方法。
  3. 【請求項3】 中間基板を形成する中央の切削部分が、
    4つの材料ブリッジによって中間基板の残りの部分に接
    続される請求項2に記載の方法。
  4. 【請求項4】 最小強度の領域が、各セルの輪郭に沿っ
    て互いにわずかに間隔をあけた複数のスリットを切削す
    ることによって形成される請求項1に記載の方法。
  5. 【請求項5】 バッチからセルを分離する段階(h)
    が、各セルがストリップの縁部から形成された少なくと
    も1つの直線縁部を含むように、前記バッチを1行また
    は複数行のセルをそれぞれ含むいくつかのストリップに
    分割する中間段階を含む請求項4に記載の方法。
  6. 【請求項6】 ストリップへの分割がセル充填段階の前
    に実行される請求項5に記載の方法。
  7. 【請求項7】 段階(c)中に、充填開口が各セルの各
    空洞に対して形成される請求項1に記載の方法。
  8. 【請求項8】 各セルが直線縁部を有し、同一のセルの
    充填開口が複数その縁部に互いに離して作成される請求
    項7に記載の方法。
  9. 【請求項9】 前記第1および第2のプレートならびに
    中間プレートがガラスから作成される請求項1に記載の
    方法。
  10. 【請求項10】 少なくとも中間基板の破壊箇所領域で
    各セルの輪郭をトリミングする段階をさらに含む請求項
    1に記載の方法。
  11. 【請求項11】 第1空洞が液晶で充填され、第2空洞
    が、光を吸収してそれが関連する電極の両端子間に電圧
    を発生させることができる生理化学システムを含む請求
    項1に記載の方法。
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