JPH11241950A - 赤外線検知装置 - Google Patents
赤外線検知装置Info
- Publication number
- JPH11241950A JPH11241950A JP10045129A JP4512998A JPH11241950A JP H11241950 A JPH11241950 A JP H11241950A JP 10045129 A JP10045129 A JP 10045129A JP 4512998 A JP4512998 A JP 4512998A JP H11241950 A JPH11241950 A JP H11241950A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- infrared detecting
- pad
- detecting element
- wiring board
- bonding wire
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 製造原価を安価に抑え、パッドとボンディン
グワイヤの腐食を防止し、電子冷却素子の負荷を低減す
る。 【解決手段】 赤外線検知素子を保持する固定板と、前
記固定板に一部が接着されボンディングワイヤを配線す
るためのパッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子
を保持する固定板とで構成する。
グワイヤの腐食を防止し、電子冷却素子の負荷を低減す
る。 【解決手段】 赤外線検知素子を保持する固定板と、前
記固定板に一部が接着されボンディングワイヤを配線す
るためのパッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子
を保持する固定板とで構成する。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子冷却素子で
所定の温度に制御して動作させる赤外線検知素子を備え
た赤外線検知装置に関する。
所定の温度に制御して動作させる赤外線検知素子を備え
た赤外線検知装置に関する。
【0002】
【従来の技術】図5は従来の赤外線検知装置の構成例を
示すもので、1は特許出願公表番号平8−269671
に示されるマイクロボロメータ型赤外線検出画素をアレ
イ状に配置した赤外線検出素子、2は赤外線検出素子1
上に設けられ赤外線検出素子の電気信号を伝えるボンデ
ィング用パッド、3はペルチェ効果を利用した電子冷却
素子で、赤外線検出素子1の温度を所定の温度に制御す
る。4は升状の形状を有するセラミック製のパッケージ
で、電子冷却素子3は一面を赤外線検出素子の赤外光が
入射する側と反対側の面に接着され、他面をパッケージ
4の底に接着されている。5はパッケージ4に設けられ
たパッド、6はパッケージ4の外側に設けられパッケー
ジ4の枠内部でパッド5と電気的に接続された外部端
子、7はパッド2とパッド5を電気接続するボンディン
グワイヤである。パッド5はボンディングワイヤ7にス
トレスを与えないようにパッド2と同じ高さに設けられ
ている。8はパッケージ4の枠と電子冷却素子3および
赤外線検出素子1間の隙間に注入し、パッド2とパッド
5とボンディングワイヤ7を覆うように固めたモールド
材で、パッド2とパッド5とボンディングワイヤ7を空
気から遮断し腐食を防止する。パッケージ4の枠はモー
ルド材8がボンディングワイヤ7を完全に覆っても外部
に流出しないようにパッド5とボンディングワイヤ7よ
り高くなっている。
示すもので、1は特許出願公表番号平8−269671
に示されるマイクロボロメータ型赤外線検出画素をアレ
イ状に配置した赤外線検出素子、2は赤外線検出素子1
上に設けられ赤外線検出素子の電気信号を伝えるボンデ
ィング用パッド、3はペルチェ効果を利用した電子冷却
素子で、赤外線検出素子1の温度を所定の温度に制御す
る。4は升状の形状を有するセラミック製のパッケージ
で、電子冷却素子3は一面を赤外線検出素子の赤外光が
入射する側と反対側の面に接着され、他面をパッケージ
4の底に接着されている。5はパッケージ4に設けられ
たパッド、6はパッケージ4の外側に設けられパッケー
ジ4の枠内部でパッド5と電気的に接続された外部端
子、7はパッド2とパッド5を電気接続するボンディン
グワイヤである。パッド5はボンディングワイヤ7にス
トレスを与えないようにパッド2と同じ高さに設けられ
ている。8はパッケージ4の枠と電子冷却素子3および
赤外線検出素子1間の隙間に注入し、パッド2とパッド
5とボンディングワイヤ7を覆うように固めたモールド
材で、パッド2とパッド5とボンディングワイヤ7を空
気から遮断し腐食を防止する。パッケージ4の枠はモー
ルド材8がボンディングワイヤ7を完全に覆っても外部
に流出しないようにパッド5とボンディングワイヤ7よ
り高くなっている。
【0003】次に動作について説明する。電子冷却素子
3が作動すると、環境温度が所定の温度より高い場合は
赤外線検出素子1側の面が吸熱し、パッケージ側の面が
発熱し、環境温度が所定の温度より低い場合は発熱面と
吸熱面が逆点して、赤外線検出素子1を所定の温度に到
達させる。所定の温度に到達した赤外線検出素子1は自
身が発する熱雑音が少なくなり、赤外線を検知できる状
態となる。赤外線検知素子1によって変換された電気信
号はパッド2とボンディングワイヤ7とパッド5とパッ
ケージ4と外部端子6を介して赤外線検知装置外部に取
り出される。
3が作動すると、環境温度が所定の温度より高い場合は
赤外線検出素子1側の面が吸熱し、パッケージ側の面が
発熱し、環境温度が所定の温度より低い場合は発熱面と
吸熱面が逆点して、赤外線検出素子1を所定の温度に到
達させる。所定の温度に到達した赤外線検出素子1は自
身が発する熱雑音が少なくなり、赤外線を検知できる状
態となる。赤外線検知素子1によって変換された電気信
号はパッド2とボンディングワイヤ7とパッド5とパッ
ケージ4と外部端子6を介して赤外線検知装置外部に取
り出される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】パッケージ4は赤外線
検出素子1と電気冷却素子3を内側に収め、パッケージ
4の枠はモールド材が流出しないようにパッド2、パッ
ド5およびボンディングワイヤ7の位置より高い必要が
あるため大型化する。セラミック製のパッケージの場
合、パッケージの枠の高さが高くなるほど、パッケージ
の費用が高額になる傾向があるため、パッケージを小形
化して費用を低減する必要があった。
検出素子1と電気冷却素子3を内側に収め、パッケージ
4の枠はモールド材が流出しないようにパッド2、パッ
ド5およびボンディングワイヤ7の位置より高い必要が
あるため大型化する。セラミック製のパッケージの場
合、パッケージの枠の高さが高くなるほど、パッケージ
の費用が高額になる傾向があるため、パッケージを小形
化して費用を低減する必要があった。
【0005】また、環境温度が所定の温度より高い場
合、電子冷却素子3は赤外線検出素子1側で吸熱して低
温に、パッケージ4底面側で発熱して高温になるため、
電子冷却素子3の高温側の熱がモールド材8を介して低
温側に伝わり、電子冷却素子3の負荷が大きくなり、赤
外線検知素子1が冷却されなくなるという問題があり、
電子冷却素子3の高温側から低温側への熱の伝達を低減
して、電子冷却素子3の負荷を低減する必要があった。
合、電子冷却素子3は赤外線検出素子1側で吸熱して低
温に、パッケージ4底面側で発熱して高温になるため、
電子冷却素子3の高温側の熱がモールド材8を介して低
温側に伝わり、電子冷却素子3の負荷が大きくなり、赤
外線検知素子1が冷却されなくなるという問題があり、
電子冷却素子3の高温側から低温側への熱の伝達を低減
して、電子冷却素子3の負荷を低減する必要があった。
【0006】この発明は、かかる課題を解決するものに
なされたものであり、製造原価を安価に抑え、パッドと
ボンディングワイヤの腐食を防止し、電子冷却素子の高
温側から低温側への熱の伝達を低減することにより、電
子冷却素子の負荷を低減することを目的としている。
なされたものであり、製造原価を安価に抑え、パッドと
ボンディングワイヤの腐食を防止し、電子冷却素子の高
温側から低温側への熱の伝達を低減することにより、電
子冷却素子の負荷を低減することを目的としている。
【0007】
【課題を解決するための手段】第1の発明による赤外線
検知装置は、赤外線検知素子を保持する固定板と、前記
固定板に一部が接着されボンディングワイヤを配線する
ためのパッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子を
保持する固定板を備えたものである。
検知装置は、赤外線検知素子を保持する固定板と、前記
固定板に一部が接着されボンディングワイヤを配線する
ためのパッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子を
保持する固定板を備えたものである。
【0008】また、第2の発明による赤外線検知装置
は、赤外線検知素子を保持する固定板と、前記固定板に
一部が接着されボンディングワイヤを配線するためのパ
ッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子を保持する
固定板を備え、ボンディングワイヤをモールド材で覆っ
たものである。
は、赤外線検知素子を保持する固定板と、前記固定板に
一部が接着されボンディングワイヤを配線するためのパ
ッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子を保持する
固定板を備え、ボンディングワイヤをモールド材で覆っ
たものである。
【0009】また、第3の発明による赤外線検知装置
は、赤外線検知素子を保持する固定板と、前記固定板に
一部が接着されボンディングワイヤを配線するためのパ
ッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子を保持する
固定板と、ボンディングワイヤが配置されている周囲を
硬化前に粘度の大きい一つめのモールド材で囲むように
成形したダムを備え、硬化前に粘度の小さい二つめのモ
ールド材が前記ダムで囲まれた領域と前記赤外線検出素
子のパッドと前記ボンディングワイヤと前記可撓性配線
板のパッドとを覆ったものである。
は、赤外線検知素子を保持する固定板と、前記固定板に
一部が接着されボンディングワイヤを配線するためのパ
ッドを設けた可撓性配線板と、電子冷却素子を保持する
固定板と、ボンディングワイヤが配置されている周囲を
硬化前に粘度の大きい一つめのモールド材で囲むように
成形したダムを備え、硬化前に粘度の小さい二つめのモ
ールド材が前記ダムで囲まれた領域と前記赤外線検出素
子のパッドと前記ボンディングワイヤと前記可撓性配線
板のパッドとを覆ったものである。
【0010】
【発明の実施の形態】実施の形態1.図1はこの発明の
実施の形態1を示す断面図であり、図において1〜3は
前記従来装置と全く同一のものである。9は固定板で、
固定板9の一方の面は赤外線検出素子1の赤外光入射面
と反対側の面に接合され、他面は電子冷却素子3と接合
されている。10は可撓性配線板で、可撓性配線板10
の一端にワイヤボンディング用のパッド11を備え、他
端に中継端子12を備え、パッド11と中継端子12は
電気的に接続されており、可撓性配線板10のパッド1
1を備えた側の端は固定板9の赤外線検出素子1との接
合面側に接合されている。ボンディングワイヤ13は、
パッド2とパッド11を電気的に接続している。14は
固定板で、電子冷却素子3の固定板9と反対側の面と接
合されている。
実施の形態1を示す断面図であり、図において1〜3は
前記従来装置と全く同一のものである。9は固定板で、
固定板9の一方の面は赤外線検出素子1の赤外光入射面
と反対側の面に接合され、他面は電子冷却素子3と接合
されている。10は可撓性配線板で、可撓性配線板10
の一端にワイヤボンディング用のパッド11を備え、他
端に中継端子12を備え、パッド11と中継端子12は
電気的に接続されており、可撓性配線板10のパッド1
1を備えた側の端は固定板9の赤外線検出素子1との接
合面側に接合されている。ボンディングワイヤ13は、
パッド2とパッド11を電気的に接続している。14は
固定板で、電子冷却素子3の固定板9と反対側の面と接
合されている。
【0011】前記のように構成された赤外線検知装置で
は、赤外線検出素子1、パッド2、電子冷却素子3の動
作、機能は図5の従来装置と同じであるが、赤外線検出
素子1は固定板9に保持され、赤外線検出素子1の電気
信号はボンディングワイヤ13と可撓性配線板10を介
して赤外線検知装置外部へ伝えられ、従来装置と同等の
機能を得ることができる。固定板9、可撓性配線板1
0、および固定板14はいずれも板状であるため、製造
に要する材料が少量ですみ、製造費用が安価に抑えるこ
とが可能である。
は、赤外線検出素子1、パッド2、電子冷却素子3の動
作、機能は図5の従来装置と同じであるが、赤外線検出
素子1は固定板9に保持され、赤外線検出素子1の電気
信号はボンディングワイヤ13と可撓性配線板10を介
して赤外線検知装置外部へ伝えられ、従来装置と同等の
機能を得ることができる。固定板9、可撓性配線板1
0、および固定板14はいずれも板状であるため、製造
に要する材料が少量ですみ、製造費用が安価に抑えるこ
とが可能である。
【0012】実施の形態2.図2はこの発明の実施の形
態2を示す断面図であり、図において、1、2、3、9
〜14は前記発明の実施の形態1と全く同一のものであ
る。15は固定板9の赤外線検出素子1との接合面側に
設けられパッド2とパッド11とボンディングワイヤ1
3を覆うモールド材である。
態2を示す断面図であり、図において、1、2、3、9
〜14は前記発明の実施の形態1と全く同一のものであ
る。15は固定板9の赤外線検出素子1との接合面側に
設けられパッド2とパッド11とボンディングワイヤ1
3を覆うモールド材である。
【0013】前記のように構成された赤外線検知装置で
は、赤外線検出素子1、パッド2、電子冷却素子3、固
定板9、可撓性配線板10、パッド11、中継端子1
2、ボンディングワイヤ13、固定板14の動作、機能
はこの発明の実施の形態1と同一であるが、モールド材
15がパッド2とボンディングワイヤ7とパッド11を
覆って空気を遮断し、腐食を防止する。
は、赤外線検出素子1、パッド2、電子冷却素子3、固
定板9、可撓性配線板10、パッド11、中継端子1
2、ボンディングワイヤ13、固定板14の動作、機能
はこの発明の実施の形態1と同一であるが、モールド材
15がパッド2とボンディングワイヤ7とパッド11を
覆って空気を遮断し、腐食を防止する。
【0014】また、モールド材15は固定板9の赤外線
検出素子1との接合面側に設けられており、モールド材
15が電子冷却素子3の高温側の熱を低温側に伝えるこ
とはないので、電子冷却素子3の高温側から低温側への
熱の伝達を低減して、電子冷却素子3の負荷を低減す
る。
検出素子1との接合面側に設けられており、モールド材
15が電子冷却素子3の高温側の熱を低温側に伝えるこ
とはないので、電子冷却素子3の高温側から低温側への
熱の伝達を低減して、電子冷却素子3の負荷を低減す
る。
【0015】実施の形態3.図3はこの発明の実施の形
態3を示す断面図であり、図において、1、2、3、
7、9〜14は前記発明の実施の形態1と全く同一のも
のである。16は硬化前に粘度が大きいモールド材でパ
ッド2とパッド9とボンディングワイヤ13の外周を囲
み赤外線検出素子1と固定板9と可撓性配線板10上に
密着するよう成形されたダムで、17はダム16で囲ま
れた領域とパッド2とパッド11とボンディングワイヤ
13を覆う硬化前に粘度の小さいモールド材である。
態3を示す断面図であり、図において、1、2、3、
7、9〜14は前記発明の実施の形態1と全く同一のも
のである。16は硬化前に粘度が大きいモールド材でパ
ッド2とパッド9とボンディングワイヤ13の外周を囲
み赤外線検出素子1と固定板9と可撓性配線板10上に
密着するよう成形されたダムで、17はダム16で囲ま
れた領域とパッド2とパッド11とボンディングワイヤ
13を覆う硬化前に粘度の小さいモールド材である。
【0016】図4はこの発明の実施の形態3を示すダム
16周辺の詳細断面図である。モールド材17は粘度が
小さいため、パッド2とボンディングワイヤ13間の隙
間やパッド11とボンディングワイヤ13間の隙間にま
で浸透し、ダム16は粘度の小さいモールド材17が流
出しないようせき止める。
16周辺の詳細断面図である。モールド材17は粘度が
小さいため、パッド2とボンディングワイヤ13間の隙
間やパッド11とボンディングワイヤ13間の隙間にま
で浸透し、ダム16は粘度の小さいモールド材17が流
出しないようせき止める。
【0017】前記のように構成された赤外線検知装置で
は、赤外線検出素子1、パッド2、電子冷却素子3、固
定板9、可撓性配線板10、パッド11、中継端子1
2、ボンディングワイヤ13、固定板14の動作、機能
はこの発明の実施の形態1と同一であるが、モールド材
17はパッド2、パッド11とボンディングワイヤ13
を覆い、パッド2とボンディングワイヤ13間の隙間や
パッド11とボンディングワイヤ13間の隙間に浸透
し、パッド2とパッド11およびボンディングワイヤ1
3が空気に触れることを防ぎ、腐食を防止する。
は、赤外線検出素子1、パッド2、電子冷却素子3、固
定板9、可撓性配線板10、パッド11、中継端子1
2、ボンディングワイヤ13、固定板14の動作、機能
はこの発明の実施の形態1と同一であるが、モールド材
17はパッド2、パッド11とボンディングワイヤ13
を覆い、パッド2とボンディングワイヤ13間の隙間や
パッド11とボンディングワイヤ13間の隙間に浸透
し、パッド2とパッド11およびボンディングワイヤ1
3が空気に触れることを防ぎ、腐食を防止する。
【0018】また、固定板9の赤外線検出素子1との接
合面側に設けられたモールド材17は電子冷却素子3の
高温側の熱を低温側に伝えることがないので、電子冷却
素子3の高温側から低温側への熱の伝達を低減して、電
子冷却素子3の負荷を低減する。
合面側に設けられたモールド材17は電子冷却素子3の
高温側の熱を低温側に伝えることがないので、電子冷却
素子3の高温側から低温側への熱の伝達を低減して、電
子冷却素子3の負荷を低減する。
【0019】
【発明の効果】第1の発明によれば、固定板や可撓性配
線板が板状であるため、製造に要する材料が少量です
み、製造費用が安価に抑えることが可能である。
線板が板状であるため、製造に要する材料が少量です
み、製造費用が安価に抑えることが可能である。
【0020】また、第2の発明によれば、固定板や可撓
性配線板が板状であるため、製造に要する材料が少量で
すみ、製造費用が安価に抑えることが可能である。
性配線板が板状であるため、製造に要する材料が少量で
すみ、製造費用が安価に抑えることが可能である。
【0021】また、モールド材がパッドとボンディング
ワイヤを覆ってパッドとボンディングワイヤが空気に触
れるのを防ぎ、腐食を防止する。
ワイヤを覆ってパッドとボンディングワイヤが空気に触
れるのを防ぎ、腐食を防止する。
【0022】さらに、固定板の赤外線検出素子側に設け
られたモールド材は電子冷却素子の高温側の熱を低温側
に伝えることはないので、電子冷却素子の高温側から低
温側への熱の伝達を低減して、電子冷却素子の負荷を低
減する。
られたモールド材は電子冷却素子の高温側の熱を低温側
に伝えることはないので、電子冷却素子の高温側から低
温側への熱の伝達を低減して、電子冷却素子の負荷を低
減する。
【0023】また、第3の発明によれば、固定板や可撓
性配線板が板状であるため、製造に要する材料が少量で
すみ、製造費用が安価に抑えることが可能である。
性配線板が板状であるため、製造に要する材料が少量で
すみ、製造費用が安価に抑えることが可能である。
【0024】また、硬化前に粘性の低いモールド材がパ
ッドとボンディングワイヤ間の隙間まで浸透し、パッド
とボンディングワイヤが空気に触れるのを防ぎ、腐食を
防止する。
ッドとボンディングワイヤ間の隙間まで浸透し、パッド
とボンディングワイヤが空気に触れるのを防ぎ、腐食を
防止する。
【0025】さらに、固定板の赤外線検出素子側に設け
られたモールド材は電子冷却素子の高温側の熱を低温側
に伝えることはないので、電子冷却素子の高温側から低
温側への熱の伝達を低減して、電子冷却素子の負荷を低
減する。
られたモールド材は電子冷却素子の高温側の熱を低温側
に伝えることはないので、電子冷却素子の高温側から低
温側への熱の伝達を低減して、電子冷却素子の負荷を低
減する。
【図1】 この発明の実施の形態1を示す断面図であ
る。
る。
【図2】 この発明の実施の形態2を示す断面図であ
る。
る。
【図3】 この発明の実施の形態3を示す断面図であ
る。
る。
【図4】 この発明の実施の形態3におけるダム付近を
示す詳細図である。
示す詳細図である。
【図5】 従来の赤外線検知装置を示す構成図である。
1 赤外線検出素子、2 パッド、3 電子冷却素子、
4 パッケージ、5パッド、6 外部端子、7 ボンデ
ィングワイヤ、8 モールド材、9 固定板、10 可
撓性配線板、11 パッド、12 中継端子、13 ボ
ンディングワイヤ、14 固定板、15 モールド材、
16 ダム、17 モールド材。
4 パッケージ、5パッド、6 外部端子、7 ボンデ
ィングワイヤ、8 モールド材、9 固定板、10 可
撓性配線板、11 パッド、12 中継端子、13 ボ
ンディングワイヤ、14 固定板、15 モールド材、
16 ダム、17 モールド材。
Claims (3)
- 【請求項1】 赤外線を検出する画素をアレイ状に配置
しボンディングワイヤを配線するためのパッドを備えた
赤外線検出素子と、この赤外線検出素子の赤外光が入射
する側と反対側の面に接着された固定板と、この固定板
の赤外線検出素子が接合している面に一部が接合され一
方端にボンディングワイヤを配線するためのパッドと他
端に電気信号を取り出す中継端子とを備え前記パッドと
前記中継端子間が電気的に接続された可撓性配線板と、
この可撓性配線板のパッドと前記赤外線検出素子のパッ
ドを電気的に結合するボンディングワイヤと、前記固定
板の赤外線検出素子を接合した面と反対側の面に接合し
た電子冷却素子と、この電子冷却素子の前記固定板を接
合した側と反対側に接合した固定板で構成されることを
特徴とする赤外線検知装置。 - 【請求項2】 前記赤外線検出素子のパッドと前記ボン
ディングワイヤと前記可撓性配線板のパッドを覆うよう
にモールドを施した構造を特徴とする請求項1記載の赤
外線検知装置。 - 【請求項3】 前記ボンディングワイヤが配置されてい
る周囲を硬化前に粘度の大きい一つめのモールド材で囲
むように成形したダムを有し、硬化前に粘度の小さい二
つめのモールド材が前記ダムで囲まれた領域と前記赤外
線検出素子のパッドと前記ボンディングワイヤと前記可
撓性配線板のパッドとを覆う構造を特徴とする請求項1
記載の赤外線検知装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10045129A JPH11241950A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 赤外線検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10045129A JPH11241950A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 赤外線検知装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11241950A true JPH11241950A (ja) | 1999-09-07 |
Family
ID=12710670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10045129A Pending JPH11241950A (ja) | 1998-02-26 | 1998-02-26 | 赤外線検知装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11241950A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006057191A1 (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | 赤外線検出装置 |
-
1998
- 1998-02-26 JP JP10045129A patent/JPH11241950A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006057191A1 (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | 赤外線検出装置 |
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