JPH11241946A - レーザ出力測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ［課題］ 変動の少ない安定した温調を低消費電力で効
率よく行い、トータル的に低コストで信頼性の高いレー
ザ出力測定値を得る。 ［解決手段］ ハウジング内に入ったレーザ光ＬＢは、
反射ミラー、光拡散板、ＮＤフィルタ４２および可視光
遮断フィルタ４４を通ってフォトダイオード４６の受光
面に入射する。熱伝導性の第２保持体２８の肉厚側壁２
８ｄ，２８ｅの外壁面には、たとえば金属被膜抵抗体か
らなる抵抗発熱体４８とこの抵抗発熱体４８に電力を供
給するためのパワートランジスタ５０とがそれぞれ熱伝
導性の絶縁シートを介してボルトによって固着されてい
る。第２保持体２８は、抵抗発熱体４８より発生される
熱とトランジスタ５０より発生される熱とによって加熱
される。第２保持体２８には温度センサ５２も取付され
ている。温度制御回路は、温度センサ５２の出力信号を
受け取り、第２保持体２８の温度が設定温度に一致する
ようにトランジスタ５０の出力信号を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【００１０】

【産業上の利用分野】本発明は、光検出方式のレーザ出
力測定装置に関する。

【００２０】

【従来の技術】たとえばレーザ加工分野では、加工品質
を自動的に管理するために、レーザ光の出力（光強度）
を検出するレーザ出力測定装置が使われている。一般
に、レーザ出力測定装置は、カロリーメータのような光
熱変換器を用いる熱量計測方式のものと、フォトダイオ
ードのような光電変換素子を用いる光検出方式のものと
に大別される。最近は、応答速度の点から光検出方式が
主流になっている。

【００３０】ところで、この種の光電変換素子は、温度
に応じて光電変換特性が変化し、同じ出力のレーザ光を
受光しても出力信号が変わってしまう。したがって、光
電変換素子が周囲温度（大気または室内の温度）の影響
を受けるようであれば、たとえば朝と昼とではレーザ光
の出力が同じでも光電変換素子の出力信号が異なり、ひ
いてはレーザ出力測定値が違ってくる。

【００４０】そこで、周囲温度に左右されないように光
電変換素子を一定温度に保つための温調機構を設けるの
が通例となっている。従来の代表的な温調機構は、熱伝
導性の保持体に光電変換素子を取り付けるとともに、抵
抗発熱体と温度センサも取り付ける。そして、抵抗発熱
体を通電により発熱させて保持体を加熱しながら、温度
センサで保持体の温度を検出し、保持体の温度を一定に
保つように抵抗発熱体の発熱動作をオンオフ制御方式で
制御するようにしている。

【００５０】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなオンオフ
制御方式の温調機構では、加熱（オン）と冷却（オフ）
とを交互に繰り返すため、保持体ないし光電変換素子の
温度が設定温度付近で周期的に変動し、そのリップルが
光電変換素子の出力信号ひいてはレーザ出力測定値に影
響するという不具合がある。

【００６０】この問題の解決法として、温調の制御方式
をＰＩ（比例積分）制御方式あるいはＰＷＭ制御方式と
することが考えられる。これらの制御方式は、連続的に
（間断なく）抵抗発熱体を発熱させてその発熱量を可変
制御するため、リップルのない温度制御を行える。

【００７０】しかしながら、両方式とも制御回路の価格
が高くつくため、特別の工夫を用いなければトータルコ
ストの上昇を来し、リップル防止に見合うだけの利点が
得られない。さらに、ＰＷＭ制御方式は、制御回路にお
ける高周波スイッチングによって光電変換素子側の測定
回路にノイズが入るおそれがあり、この点でも採用が難
しい。

【００８０】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、変動の少ない安定した温調を低消費電力で効率
よくかつ容易に行い、トータル的に低コストで信頼性の
高いレーザ出力測定値を得るようにしたレーザ出力測定
装置を提供することを目的とする。

【００９０】また、本発明は、温度変動に対して安定な
レーザ出力測定値を得るようにしたレーザ出力測定装置
を提供することを目的とする。

【０１００】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のうち請求項１の発明は、レーザ光の出力
を検出するレーザ出力測定装置において、前記レーザ光
を受光して前記レーザ光の出力を電気信号に変換する光
電変換素子と、前記光電変換素子を保持する熱伝導性の
保持体と、前記保持体に熱的に結合して取付され、通電
により発熱する発熱体と、前記保持体に熱的に結合して
取付され、前記発熱体に電力を供給する放熱性の電力用
トランジスタと、前記保持体の温度を検出する温度セン
サと、前記保持体の温度を設定温度に一致させるように
前記温度センサの出力信号にしたがって前記トランジス
タの出力電流を制御する温度制御回路とを具備すること
を特徴とする。

【０１１０】また、請求項２の発明は、上記請求項１の
発明の構成において、前記温度制御回路が、前記設定温
度に対応した基準値を与える基準値発生部と、前記温度
センサの出力信号を前記設定温度に対応した基準値と比
較してその比較誤差を表す誤差信号を発生する比較回路
と、前記誤差信号を所定の増幅率で比例増幅する比例制
御用の増幅回路と、前記誤差信号を積分する積分制御用
の積分回路と、前記増幅回路の出力信号と前記積分回路
の出力信号とを足し合わせる加算回路と、前記加算回路
の出力信号に応じて前記トランジスタの出力電流を定電
流で制御する駆動回路とを有することを特徴とする。

【０１２０】また、請求項３の発明は、レーザ光の出力
を検出するレーザ出力測定装置において、前記レーザ光
を受光して前記レーザ光の出力を電流信号に変換する光
電変換素子と、前記光電変換素子からの電流信号を入力
し、前記電流信号に対応した電圧信号を出力するための
演算増幅器と、前記演算増幅器の入力端子と出力端子と
の間に接続され、正の温度係数を有する第１の抵抗およ
び負の温度係数を有する第２の抵抗を含む帰還回路とを
具備することを特徴とする。

【０１３０】また、請求項４の発明は、上記請求項３の
発明の構成において、前記光電変換素子の温度を設定温
度に制御するための温調手段を有し、前記演算増幅器の
出力端子に得られるレーザ出力測定値の温度特性曲線の
極大点または極小点の温度を前記設定温度付近に合わせ
ることを特徴とする。

【０１４０】

【発明の実施の形態】以下、添付図を参照して本発明の
実施例を説明する。

【０１５０】図１は本発明の一実施例によるレーザ出力
測定装置のレーザ受光ユニットの全体構成を示す縦断面
図であり、図２はこの受光ユニットの要部の構成を示す
部分断面図である。

【０１６０】このレーザ受光ユニット１０において、取
付基板１１上には、一側面にレーザ光導入窓１２ａを有
する箱状のハウジング１２が設けられている。ハウジン
グ１２内には該レーザ光導入窓１２ａに対して４５゜の
向きで反射ミラー１４がミラー支持体１６に取付されて
いる。反射ミラー１４からみて反射方向に位置するハウ
ジング１２の側面には開口１２ｂが設けられている。

【０１７０】ハウジング１２の中央部には光軸と垂直な
方向に一対の棒状支持部材１８がハウジング１２の側面
にボルト２０で固定されている。これらの棒状支持部材
１８に遮光性の絶縁材たとえば樹脂からなる四角筒状の
第１保持体２２の一方の開口部（レーザ光入口部）２２
ａがボルト２４で固定されている。

【０１８０】そして、ハウジング１２の開口１２ｂ付近
で、第１保持体２２の他方の開口部（レーザ光出口部）
２２ｂに遮光性の絶縁材たとえば樹脂からなる四角筒状
の連結部材２６を介して熱伝導率の高い金属たとえばア
ルミニウムからなる四角筒状の第２保持体２８の一方の
開口部（レーザ光入口部）２８ａが接続され、この第２
保持体２８の他方の開口部（レーザ光出口部）２８ｂに
回路基板３０が接続されている。棒状支持部材１８には
光軸と平行に４本の棒状支持部材３２の一端が固定さ
れ、これらの棒状支持部材３２の他端に回路基板３０が
ボルト３４で固着されている。取付基板１１の四隅には
ボルトを通すための取付穴１１ａが形成されている。

【０１９０】第１保持体２２のレーザ光入口部２２ａに
防塵用ガラス板３６が取付され、このガラス板３６の内
側にＯリング３８を介して光拡散板４０が取付されてい
る。第２保持体２８には、レーザ光入口部２８ａから内
奥へ向かって順に複数枚たとえば３枚のＮＤフィルタ４
２と１枚の可視光遮断フィルタまたは赤外線透過フィル
タ４４が光軸方向に並べて配置され、レーザ光出口部２
８ｂ付近に光電変換素子たとえばＰＩＮフォトダイオー
ド４６が受光面をフィルタ側に向けて回路基板３０上に
取付されている。

【０２００】第２保持体２８の内壁面において、フォト
ダイオード４６の受光面より少し中心部寄りの位置に段
部２８ｃが形成され、この段部２８ｃをストッパにして
光学フィルタ４２，４４が筒状連結部材２６の端面で押
し込められることにより、光学フィルタ４２，４４が第
２保持体２８内でしっかりと保持されている。

【０２１０】レーザ光導入窓１２ａには、たとえばレー
ザ発振部（図示せず）より出射されたレーザ光をビーム
スプリッタ（図示せず）に通し、そこで反射した一部
（たとえば１％）のレーザ光ＬＢが入射される。ハウジ
ング１２内に入ったレーザ光ＬＢは、反射ミラー１４で
光路を９０゜曲げて、ガラス板３６、光拡散板４０、Ｎ
Ｄフィルタ４２および可視光遮断フィルタ４４を通って
フォトダイオード４６の受光面に入射するようになって
いる。

【０２２０】第２保持体２８の４辺の側壁は、図１に示
すように相対向する一対の肉薄な側壁と、図２に示すよ
うに相対向する一対の肉厚な側壁とからなる。

【０２３０】図２に示すように、第２保持体２８の一方
の肉厚側壁２８ｄの外壁面には、たとえば金属被膜抵抗
体からなる抵抗発熱体４８が熱伝導性の絶縁シート（図
示せず）を介してボルト（図示せず）によって固着され
ている。また、第２保持体２８の他方の肉厚側壁２８ｅ
の外壁面には、トランジスタ５０が熱伝導性の絶縁シー
ト（図示せず）を介してボルト（図示せず）によって固
着されている。

【０２４０】抵抗発熱体４８は、回路基板３０またはこ
れとは別の回路基板（図示せず）に実装されている後述
する温度制御回路の制御の下でトランジスタ５０より電
流（電力）を間断なく供給され、抵抗発熱する。抵抗発
熱体４８は第２保持体２８に熱的に結合して取付されて
いるため、抵抗発熱体４８より発生される熱で第２保持
体２８が加熱されるようになっている。

【０２５０】一方、トランジスタ５０も、抵抗発熱体４
８に供給する電流が内部抵抗を間断なく流れることで、
発熱し放熱する。そして、トランジスタ５０も第２保持
体２８に熱的に結合して取付されているため、トランジ
スタ５０より発生された熱によっても第２保持体２８が
加熱されるようになっている。

【０２６０】このように、本実施例のレーザ出力測定装
置では、レーザ受光ユニット１０において、フォトダイ
オード４６および光学フィルタ４２，４４を保持する熱
伝導性の第２保持体２８に本来の加熱用の抵抗発熱体４
８に加えて、この抵抗発熱体４８に電力を供給するため
の放熱性のトランジスタ５０も熱的に結合して取付さ
れ、抵抗発熱体４８より発生される熱とトランジスタ５
０より発生される熱とが相まって抵抗発熱体４８を加温
するように構成されている。

【０２７０】第２保持体２８の肉厚側壁２８ｅの中には
温度センサたとえばサーミスタ５２が埋め込まれてい
る。この温度センサ５２の端子５２ａは、回路基板３０
の外側に突出し、回路基板３０上の配線を介して上記温
度制御回路の入力端子に接続されている。

【０２８０】図３に、本実施例における温度制御回路の
回路構成を示す。この温度制御回路５４は、アナログ式
の比較回路５６、基準値発生部５８、比例増幅回路６
０、積分回路６２、加算回路６４および演算増幅器６６
を有し、ＰＩ制御方式の温度制御を行うように構成され
ている。

【０２９０】比較回路５６は、温度センサ５２からの温
度検出信号ＴＳを基準値発生部５８からの設定温度（た
とえば４５゜Ｃ）に対応した基準値ＴＡと比較し、その
比較誤差（ＴＡ−ＴＳ）を表す誤差信号δを生成する。
比較回路５６からの誤差信号δは比例増幅回路６０で比
例増幅されるとともに積分回路６２で積分され、両回路
６０，６２の出力信号が加算回路６４で足し合わされた
ものが制御信号ＣＳとして演算増幅器６６の非反転入力
端子に入力される。

【０３００】演算増幅器６６は、その出力端子がＮＰＮ
型パワートランジスタ５０のベース端子に接続され、反
転入力端子がトランジスタ５０のエミッタ端子に接続さ
れるとともに抵抗６８を介してアースに接続されてい
る。そして、トランジスタ５０のコレクタ端子は抵抗発
熱体４８を介して電源電圧ＶB の電圧端子７０に接続さ
れている。これら演算増幅器６６、トランジスタ５０、
抵抗６８および電源電圧ＶB によって、制御信号ＣＳに
応じた一定の出力電流ＩC を抵抗発熱体４８に流すため
の定電流回路が構成されている。

【０３１０】この温度制御回路５４において、第２保持
体２８の温度が設定温度より下がると、比較回路５６よ
り正の誤差信号＋δが生成され、制御信号ＣＳが大きく
なってトランジスタ５０の出力電流ＩC が増大する。そ
うすると、抵抗発熱体４８およびトランジスタ５０より
それぞれ発生される熱が増加し、第２保持体２８の温度
が上昇する。

【０３２０】反対に、第２保持体２８の温度が設定温度
を越えて高くなると、比較回路５６より負の誤差信号−
δが生成され、制御信号ＣＳが小さくなってトランジス
タ５０の出力電流ＩC が減少する。そうすると、抵抗発
熱体４８およびトランジスタ５０よりそれぞれ発生され
る熱が減少し、第２保持体２８の温度が下がる。

【０３３０】こうして、トランジスタ５０の出力電流Ｉ
C に応じて抵抗発熱体４８およびトランジスタ５０がそ
れぞれ発熱し、それらを足し合わせた熱で第２保持体２
８が加温され、この第２保持体２８の温度が設定温度に
一致するようにトランジスタ５０の出力電流ＩC が連続
的に間断なく制御される。

【０３４０】このように、第２保持体２８の温度が設定
温度付近に安定に保たれることで、第２保持体２８に保
持されている光学フィルタ４２，４４およびフォトダイ
オード４６は、周囲温度に関係なく、またレーザ光ＬＢ
のエネルギーに影響されることなく、ほぼ一定の温度で
動作する。これによって、高精度で信頼性の高いレーザ
出力測定値が得られる。

【０３５０】しかも、本来の加熱用の抵抗発熱体４８に
よる発熱だけでなく、これに電力を供給するためのトラ
ンジスタ５０による発熱も第２保持体２８の加温に寄与
するので、加熱効率が高く、そのぶん消費電力が節減さ
れる。ＰＩ制御では、発熱用の電流が間断無く供給され
るため、この消費電力節減の効果は大きい。

【０３６０】また、温度制御回路５４においては、定電
流回路によってトランジスタ５０の出力電流（コレクタ
電流）ＩC を制御することによって総発熱量ないし加熱
量を簡単かつ正確に制御できる。したがって、ハードウ
ェア回路としては従来のオンオフ制御方式の制御回路よ
りも相当高くつくものの、設計・製作は比較的簡単であ
る。

【０３７０】この設計容易性に上記のような低消費電力
の利点が相まって、装置のトータルコストを低く押さえ
ることができる。また、ＰＷＭ制御方式の制御回路のよ
うな高周波数のスイッチング動作を行わないため、フォ
トダイオード４６側の測定回路にノイズを与えるおそれ
もない。

【０３８０】図４に、本実施例におけるレーザ出力測定
装置を適用したＹＡＧレーザ加工システムの構成を示
す。図４において、図１〜図３中のものと対応する部分
には同一の符号を付してある。

【０３９０】このＹＡＧレーザ加工システムは、ＹＡＧ
レーザ発振器７４より発振出力されるレーザ光ＬＢの出
力をフィードバック方式で制御するようにしたものであ
る。

【０４００】ＹＡＧレーザ発振器７４にはＹＡＧロッ
ド、励起光発生手段（励起ランプまたは半導体レーザ
等）および光共振器等が内蔵されており、レーザ電源７
２からの励起電流に応じて励起光発生手段が点灯し、そ
の光エネルギーで励起されたＹＡＧロッドから所定の波
長成分を有する光が出射され、光共振器で特定波長の光
が共振増幅されて、レーザ光ＬＢが出力される。このレ
ーザ光ＬＢはビームスプリッタ７６を通され、そこで反
射した一部のレーザ光ＬＢが本実施例のレーザ出力測定
装置の受光ユニット１０に導かれる。

【０４１０】ビームスプリッタ７６を透過した大部分の
レーザ光ＬＢは、そのまま光学レンズ（図示せず）を介
して被加工物（図示せず）に照射されるか、あるいはい
ったん入射ユニット（図示せず）に入射され、そこから
光ファィバ（図示せず）を介して遠隔の出射ユニットへ
送られ、出射ユニットから被加工物に照射される。

【０４２０】レーザ出力測定装置のフォトダイオード４
６より出力される電気信号ＩLBは光電流としての信号で
あり、この光電流の信号ＩLBが光電流−電圧変換回路７
８で電圧信号ＳLBに変換される。変換回路７８より得ら
れる電圧信号ＳLBは、サンプル・ホールド回路８０およ
びディジタル／アナログ変換回路８２によってディジタ
ル信号に変換されてからＣＰＵ８４に入力される。

【０４３０】ＣＰＵ８４は、メモリ８６に格納されてい
るプログラムによって動作し、入力したレーザ出力検出
信号ＳLBに所定の校正または補正演算等を施して、レー
ザ光ＬＢの出力の測定値を求める。そして、ＣＰＵ８４
は、求めたレーザ出力測定値を入力部９０より入力され
メモリ８６に格納されているレーザ出力設定値と比較し
て比較誤差を求め、その比較誤差を零にするような制御
信号ＣＳをレーザ電源７２に与える。また、必要に応じ
てレーザ出力測定値その他のデータを表示部８８を通じ
て表示する。さらに、入力部９０より入力された設定温
度に対応した基準値データを温調制御回路５４内の基準
値発生部５８に与える。

【０４４０】図５に本実施例における光電流−電圧変換
回路７８の回路構成例を示し、図６にこの変換回路７８
におけるセンサ出力の温度特性を示す。

【０４５０】この光電流−電圧変換回路７８は演算増幅
器９２および帰還抵抗９４，９６から構成される。演算
増幅器９２の非反転入力端子が接地され、反転入力端子
にフォトダイオード４６の出力端子（アノード端子）が
接続され、この反転入力端子と出力端子との間に抵抗９
４，９６が直列に接続される。

【０４６０】帰還抵抗９４，９６のうち、一方の抵抗９
４は普通の抵抗で、正の温度係数を有する。しかし、他
方の抵抗９６はたとえば負特性サーミスタからなり、負
の温度係数を有する。

【０４７０】演算増幅器９２からなる光電流−電圧変換
回路７８において、帰還回路をこのような正の温度係数
を有する抵抗９４と負の温度係数を有する抵抗９６との
直列抵抗回路で構成すると、演算増幅器９２の出力電圧
またはセンサ出力（補正前のレーザ出力測定値）ＳLBの
温度特性は図６の実線の曲線ＬA で示すようなものとな
り、ある温度Ｔp でセンサ出力ＳLBが極小となる。

【０４８０】この極小点の温度ＴP は、フォトダイオー
ド４６の温度特性、両抵抗９４，９６の温度係数等のパ
ラメータに依存して決まる。逆の見方をすれば、これら
パラメータを適当に選択することで、極小点温度ＴP を
所望の温度つまり温調の設定温度（たとえば４５゜Ｃ）
付近に合わせることができる。

【０４９０】なお、図６において、鎖線の曲線ＬB は帰
還回路を正の温度係数を有する抵抗９４だけで構成した
場合のセンサ出力ＳLBの温度特性を示し、点線の曲線Ｌ
C は帰還回路を負の温度係数を有する抵抗９６だけで構
成した場合のセンサ出力ＳLBの温度特性を示す。

【０５００】このように、光電流−電圧変換回路７８に
おけるセンサ出力ＳLBの温度特性の極小点ＴP を温調設
定温度付近に合わせることで、たとえ温調温度にリップ
ル等の変動があっても、センサ出力ＳLBは極小点Ｓp 付
近で変動するため、その変動幅は温度の変動幅と比較し
て極めて小さく、安定したレーザ出力測定値が保証され
る。

【０５１０】図７に光電流−電圧変換回路７８の回路構
成の変形例を示し、図８にこの変形例におけるセンサ出
力の温度特性を示す。

【０５２０】この変形例のように、正の温度係数を有す
る抵抗９４と負の温度係数を有する抵抗９６との並列抵
抗回路で帰還回路を構成すると、センサ出力ＳLBの温度
特性は図８の実線の曲線ＬA で示すようなものとなり、
ある温度Ｔp でセンサ出力ＳLBが極大となる。

【０５３０】この場合も、センサ出力ＳLBの温度特性の
極大点ＴP を温調設定温度付近に合わせることで、上記
と同様に温度変動に対して安定したレーザ出力測定値が
得られる。

【０５４０】上記した実施例におけるレーザ出力測定装
置１０の光学・機構系の構成（図１および図２）、温度
制御回路５４の構成（図３）、レーザ加工システムの構
成（図４）および光電流−電圧変換回路７８の構成（図
５，図７）は一例であって、本発明はこれらの構成例に
限定されるわけではなく、その技術思想の範囲内で種々
の変形が可能である。

【０５５０】たとえば、フォトダイオード４６を保持す
る保持体２８は種々の形状・構造を採ることが可能であ
り、この保持体２８に対する発熱体４８およびトランジ
スタ５０の取付位置・取付態様も種々の選択が可能であ
る。温度制御回路５４も種々の変形が可能であり、ＰＩ
制御方式以外の制御方式であってもよい。

【０５６０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光電変換素子を保持する熱伝導性の保持体に本来の加熱
用の発熱体と共にこの発熱体に電力を供給するための電
力用のトランジスタをも熱的に結合させて取付し、保持
体の温度を設定温度に一致させるように該トランジスタ
の出力電流を制御するようにしたので、変動の少ない安
定した温調を低消費電力で効率よくかつ容易に行い、ト
ータル的に低コストで信頼性の高いレーザ出力測定値を
得ることができる。

【０５７０】また、本発明によれば、光電変換素子から
の電流信号を電圧信号に変換するための演算増幅器の帰
還回路を正の温度係数を有する抵抗と負の温度係数を有
する抵抗との合成抵抗で構成することにより、温度変動
に対して安定したレーザ出力測定値を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるレーザ出力測定装置の
受光ユニットの全体構成を示す縦断面図である。

【図２】実施例における受光ユニットの要部の構成を示
す部分断面図である。

【図３】実施例における温度制御回路の回路構成を示す
ブロック図である。

【図４】実施例におけるレーザ出力測定装置を適用した
ＹＡＧレーザ加工システムの構成を示すブロック図であ
る。

【図５】実施例における光電流−電圧変換回路の回路構
成例を示す回路図である。

【図６】図５の光電流−電圧変換回路におけるセンサ出
力の温度特性を示す図である。

【図７】実施例における光電流−電圧変換回路の変形例
を示す回路図である。

【図８】図７の光電流−電圧変換回路におけるセンサ出
力の温度特性を示す図である。

【符号の説明】

１０ レーザ受光ユニット ２８ 第２保持体 ４６ フォトダイオード ４８ 抵抗発熱体 ５０ パワートランジスタ ５６ 比較回路 ５８ 基準値発生部 ６０ 比例増幅回路 ６２ 積分回路 ６４ 加算回路 ６６ 演算増幅器 ９２ 演算増幅器 ９４，９６ 抵抗

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 レーザ光の出力を測定するレーザ出力測
   定装置において、 前記レーザ光を受光して前記レーザ光の出力を電気信号
   に変換する光電変換素子と、 前記光電変換素子を保持する熱伝導性の保持体と、 前記保持体に熱的に結合して取付され、通電により発熱
   する発熱体と、 前記保持体に熱的に結合して取付され、前記発熱体に電
   力を供給する電力用トランジスタと、 前記保持体の温度を検出する温度センサと、 前記保持体の温度を設定温度に一致させるように前記温
   度センサの出力信号にしたがって前記トランジスタの出
   力電流を制御する温度制御回路とを具備することを特徴
   とするレーザ出力測定装置。
2. 【請求項２】 前記温度制御回路が、前記設定温度に対
   応した基準値を与える基準値発生部と、前記温度センサ
   の出力信号を前記設定温度に対応した基準値と比較して
   その比較誤差を表す誤差信号を発生する比較回路と、前
   記誤差信号を所定の増幅率で比例増幅する比例制御用の
   増幅回路と、前記誤差信号を積分する積分制御用の積分
   回路と、前記増幅回路の出力信号と前記積分回路の出力
   信号とを足し合わせる加算回路と、前記加算回路の出力
   信号に応じて前記トランジスタの出力電流を定電流で制
   御する駆動回路とを有することを特徴とする請求項１に
   記載のレーザ出力測定装置。
3. 【請求項３】 レーザ光の出力を検出するレーザ出力測
   定装置において、 前記レーザ光を受光して前記レーザ光の出力を電流信号
   に変換する光電変換素子と、 前記光電変換素子からの電流信号を入力し、前記電流信
   号に対応した電圧信号を出力するための演算増幅器と、 前記演算増幅器の入力端子と出力端子との間に接続さ
   れ、正の温度係数を有する第１の抵抗および負の温度係
   数を有する第２の抵抗を含む帰還回路とを具備すること
   を特徴とするレーザ出力測定装置。
4. 【請求項４】 前記光電変換素子の温度を設定温度に制
   御するための温調手段を有し、前記演算増幅器の出力端
   子に得られるレーザ出力測定値の温度特性曲線の極大点
   または極小点の温度を前記設定温度付近に合わせること
   を特徴とする請求項３に記載のレーザ出力測定装置。