JP4400156B2 - レーザ用出力モニタ - Google Patents
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Description
力できるレーザパワーが比較的低く限定されること、測定のためのレーザ照射時間が短時間に限定されること、測定インターバルがある程度必要であることから、すぐに繰返し測定をすることができないなど、使用上の利便性に劣る点があった。
部と接しており受光部で変換された熱を外部へ排熱する放熱部と、受光部の温度を計測する温度検出部とからなるレーザ用出力モニタにおいて、温度検出部は、受光部のうち放熱部と接触していない部分の前記レーザ光のビーム径よりも広い範囲を測定範囲とし、非接触で温度計測が可能としたことにより、応答性が速く繰返し照射に対しても再現性よく応答するレーザ光出力モニタを安価に実現することができる。
の金属パターンを用いたが、図2や図3に示すように、非接触放射温度センサ5を受光板押さえ4あるいはヒートシンク3に圧入させ直接接触するようにすることで、非接触放射温度センサ5と受光板押さえ4あるいはヒートシンク3の接触面積を大きくして熱流路を確保するようにしてもよい。
2 受光板
3 ヒートシンク(放熱部)
4 受光板押さえ
5 非接触放射温度センサ(放射温度計)
6 信号処理基板
Claims (12)
- 入射したレーザ光のエネルギを熱に変換する受光板と、
前記受光板と部分的に接しており前記受光板で変換された熱を外部へ排熱する放熱部と、前記受光板の温度を計測するために、前記受光板の入射面とは反対側に配置された温度検出部と、
前記温度検出部を実装する基板と、
前記温度検出部と前記受光板との間に空間を設けて、前記基板と前記受光板との間に設けられた受光板押さえとを有するレーザ用出力モニタにおいて、
前記温度検出部は、前記受光板のうち前記放熱部と接触していない部分の範囲内で前記レーザ光のビーム径よりも広い範囲を測定範囲とし、非接触で温度計測が可能であり、
前記空間は、前記受光板の温度を変動させる気流を防ぐ簡易気密構造である、レーザ用出力モニタ。 - 入射したレーザ光のエネルギを熱に変換する受光板と、
前記受光板と部分的に接しており前記受光板で変換された熱を外部へ排熱する放熱部と、前記受光板の温度を計測するために、前記受光板の入射面とは反対側に配置された温度検出部と、
前記温度検出部を実装する基板と、
前記温度検出部と前記受光板との間に空間を設けて、前記基板と前記受光板との間に設けられた受光板押さえとを有するレーザ用出力モニタにおいて、
前記基板の大部分に銅箔パターンを設けるか、前記温度検出部と前記受光板押さえとを直接接触させるか、前記温度検出部と前記放熱部とを直接接触させることで、前記受光板と前記温度検出部との間に伝熱経路を確保する、レーザ用出力モニタ。 - 前記温度検出部は、前記測定範囲の平均的な温度を計測する、請求項1または2に記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記温度検出部は放射温度計である請求項1から3のいずれかに記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記温度検出部は2次元温度分布を測定できる放射温度計アレイからなる請求項1から3のいずれかに記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記受光板と前記温度検出部との間の空間を、前記受光板の温度を変動させる気流を防ぐ簡易気密構造とした請求項2から5のいずれかに記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記受光板と前記温度検出部との間に前記受光板を固定するための前記受光板押さえが設けられており、前記受光板押さえが簡易気密構造を構成する請求項6記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記受光板と前記温度検出部との間に前記受光板で変換された熱を放熱する前記放熱部を備え、前記放熱部が簡易気密構造を構成する請求項6記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記温度検出部を実装する基板を備え、前記基板が簡易気密構造を構成する請求項6から8記載のいずれかに記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記受光板と前記温度検出部との間に伝熱経路を備えた請求項1および3から9のいずれかに記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記温度検出部を実装している基板面の大部分に銅箔パターンを設けることで前記伝熱経路を確保する請求項10記載のレーザ用出力モニタ。
- 前記銅箔パターンに平坦にハンダ処理を行なった請求項11記載のレーザ用出力モニタ。
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