JPH11236976A - 摺動材 - Google Patents
摺動材Info
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- JPH11236976A JPH11236976A JP5737298A JP5737298A JPH11236976A JP H11236976 A JPH11236976 A JP H11236976A JP 5737298 A JP5737298 A JP 5737298A JP 5737298 A JP5737298 A JP 5737298A JP H11236976 A JPH11236976 A JP H11236976A
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- Japan
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- hard
- dimples
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- dimple
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 耐摩耗性に優れると共に靭性が大きく、かつ
安価に製作することのできる摺動材とする。 【解決手段】 下地金属材料１を環状に加工し、摺動面
となる端面に、下地ディンプル１ａを加工し、更に、ア
ルミナ、酸化クロム、酸化ニッケル等の硬質材料を溶射
するか、あるいはアモルファスカーボン、ダイヤモンド
ライクカーボン、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、
炭窒化チタン、窒化珪素等の硬質材料をプラズマＣＶＤ
又はＰＶＤにより蒸着して成膜する。これによって、摺
動面となる表面に硬質皮膜２が被着されると共に、下地
ディンプル１ａと対応するディンプル２ａが形成され
る。
安価に製作することのできる摺動材とする。 【解決手段】 下地金属材料１を環状に加工し、摺動面
となる端面に、下地ディンプル１ａを加工し、更に、ア
ルミナ、酸化クロム、酸化ニッケル等の硬質材料を溶射
するか、あるいはアモルファスカーボン、ダイヤモンド
ライクカーボン、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、
炭窒化チタン、窒化珪素等の硬質材料をプラズマＣＶＤ
又はＰＶＤにより蒸着して成膜する。これによって、摺
動面となる表面に硬質皮膜２が被着されると共に、下地
ディンプル１ａと対応するディンプル２ａが形成され
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、機器の回転軸周で
流体を密封するメカニカルシールにおいて回転軸側の密
封要素もしくはこれに摺接する静止側の密封要素として
用いられる摺動材に関するものである。
流体を密封するメカニカルシールにおいて回転軸側の密
封要素もしくはこれに摺接する静止側の密封要素として
用いられる摺動材に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】メカニカルシールは、回転軸側に設けら
れてこの回転軸と共に回転する摺動材と、非回転のハウ
ジング側に設けられた静止側の摺動材とが軸心と直交す
る端面同士で密接摺動することにより、軸周における流
体の漏洩を阻止するものであるため、その摺動材には、
優れた耐摩耗性や摺動特性が要求される。このため、摺
動材の材料としては、耐摩耗性に優れた炭化珪素、アル
ミナ等の硬質材あるいは自己潤滑性に優れたカーボン等
が用いられる。
れてこの回転軸と共に回転する摺動材と、非回転のハウ
ジング側に設けられた静止側の摺動材とが軸心と直交す
る端面同士で密接摺動することにより、軸周における流
体の漏洩を阻止するものであるため、その摺動材には、
優れた耐摩耗性や摺動特性が要求される。このため、摺
動材の材料としては、耐摩耗性に優れた炭化珪素、アル
ミナ等の硬質材あるいは自己潤滑性に優れたカーボン等
が用いられる。
【０００３】等温非圧縮性流体による潤滑下で平面同士
を摺動させた場合、前記平面が極めて平滑であれば、摺
動面間には理論的には定常状態において潤滑液膜は形成
されないが、実際のメカニカルシールでは、摺動面上に
生じた微小なうねりや、表面粗さ等の要因によって、潤
滑液膜が形成される。しかし、摺動中は、前記うねりや
表面粗さは摩擦熱等によって変化しており、この変化に
伴う潤滑液膜の厚さの変動によって、摺動面における摩
擦係数や発熱量も変動するため、摺動材をＰＶ値等の著
しく高い過酷な条件で使用すると、摩擦係数の平均値や
最大値及び摺動発熱量が増大して、摺動面の微小な変質
や破壊等が進展する。
を摺動させた場合、前記平面が極めて平滑であれば、摺
動面間には理論的には定常状態において潤滑液膜は形成
されないが、実際のメカニカルシールでは、摺動面上に
生じた微小なうねりや、表面粗さ等の要因によって、潤
滑液膜が形成される。しかし、摺動中は、前記うねりや
表面粗さは摩擦熱等によって変化しており、この変化に
伴う潤滑液膜の厚さの変動によって、摺動面における摩
擦係数や発熱量も変動するため、摺動材をＰＶ値等の著
しく高い過酷な条件で使用すると、摩擦係数の平均値や
最大値及び摺動発熱量が増大して、摺動面の微小な変質
や破壊等が進展する。
【０００４】例えば、炭化珪素等の硬質摺動材は、自己
潤滑性を有するカーボンからなる摺動材と組み合わせて
使用した場合に、摩擦熱によってカーボン側の摺動面に
ブリスタと呼ばれる火膨れによる虫食い状の異常損耗が
しばしば発生することが知られている。このような摺動
面の破壊は、摺動面間の液体潤滑膜が完全に消滅したた
めに発生するものである。
潤滑性を有するカーボンからなる摺動材と組み合わせて
使用した場合に、摩擦熱によってカーボン側の摺動面に
ブリスタと呼ばれる火膨れによる虫食い状の異常損耗が
しばしば発生することが知られている。このような摺動
面の破壊は、摺動面間の液体潤滑膜が完全に消滅したた
めに発生するものである。
【０００５】そこで近年は、摺動特性の向上を図るため
に、摺動面に多数のディンプルを規則的な配列パターン
で形成した摺動材が開発されている。この種の摺動材に
よれば、上述した摺動面でのブリスタ等の発生を有効に
防止することができる。これは、摺動面に形成された多
数のディンプルが潤滑液溜りとして機能することによっ
て、過酷な摺動条件でも安定した潤滑液膜を形成し、ま
た、スパイラル状の方向性をもったディンプルが摺動面
に介入する潤滑液にポンプ作用を与えることによって、
潤滑液膜の厚さ及び密封対象液の漏洩量を適切に制御
し、摺動面の潤滑及び冷却が促されるからである。
に、摺動面に多数のディンプルを規則的な配列パターン
で形成した摺動材が開発されている。この種の摺動材に
よれば、上述した摺動面でのブリスタ等の発生を有効に
防止することができる。これは、摺動面に形成された多
数のディンプルが潤滑液溜りとして機能することによっ
て、過酷な摺動条件でも安定した潤滑液膜を形成し、ま
た、スパイラル状の方向性をもったディンプルが摺動面
に介入する潤滑液にポンプ作用を与えることによって、
潤滑液膜の厚さ及び密封対象液の漏洩量を適切に制御
し、摺動面の潤滑及び冷却が促されるからである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、炭化珪
素やアルミナ等のファインセラミックスは硬質ではある
が破壊靭性値が著しく小さく、すなわち脆いといった問
題が指摘される。したがって、このような材料からなる
摺動材を回転軸側の密封要素として用いた場合、回転速
度が極めて高速になると、遠心力による内部引張応力が
増大して破損してしまう恐れがあり、運搬中や装着作業
時の衝撃によっても破損の恐れがある。また、摺動材全
体をこのようなファインセラミックスで製作すると、材
料コストが嵩むといった問題も指摘される。
素やアルミナ等のファインセラミックスは硬質ではある
が破壊靭性値が著しく小さく、すなわち脆いといった問
題が指摘される。したがって、このような材料からなる
摺動材を回転軸側の密封要素として用いた場合、回転速
度が極めて高速になると、遠心力による内部引張応力が
増大して破損してしまう恐れがあり、運搬中や装着作業
時の衝撃によっても破損の恐れがある。また、摺動材全
体をこのようなファインセラミックスで製作すると、材
料コストが嵩むといった問題も指摘される。
【０００７】本発明は、上記のような事情のもとになさ
れたもので、その技術的課題とするところは、耐摩耗性
に優れると共に靭性が大きく、かつ安価に製作すること
ができる摺動材を提供することにある。
れたもので、その技術的課題とするところは、耐摩耗性
に優れると共に靭性が大きく、かつ安価に製作すること
ができる摺動材を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述した技術的課題を有
効に解決するための手段として、本発明に係る摺動材
は、環状の下地金属材料の表面に硬質皮膜が被着され、
摺動面全域に、略一定の断面形状を有する多数のディン
プルを規則的な配列パターンで形成することによって、
ディンプルによる潤滑液膜の厚さ及び密封対象液の漏洩
量の適切な制御機能をもたせ、下地金属材料による強靭
性と、その摺動面を含む表面に被着した硬質皮膜による
耐摩耗性を得るものである。前記下地金属材料として
は、例えば工具鋼、ステンレス鋼、アルミニウム等の一
般的な金属材料や、あるいは高合金鋼等の特殊金属材料
から、密封対象流体の特性、温度あるいは材料価格等を
考慮して適切に選択される。
効に解決するための手段として、本発明に係る摺動材
は、環状の下地金属材料の表面に硬質皮膜が被着され、
摺動面全域に、略一定の断面形状を有する多数のディン
プルを規則的な配列パターンで形成することによって、
ディンプルによる潤滑液膜の厚さ及び密封対象液の漏洩
量の適切な制御機能をもたせ、下地金属材料による強靭
性と、その摺動面を含む表面に被着した硬質皮膜による
耐摩耗性を得るものである。前記下地金属材料として
は、例えば工具鋼、ステンレス鋼、アルミニウム等の一
般的な金属材料や、あるいは高合金鋼等の特殊金属材料
から、密封対象流体の特性、温度あるいは材料価格等を
考慮して適切に選択される。
【０００９】硬質皮膜としては、アルミナ、酸化クロ
ム、酸化ニッケル等の硬質材料から選択された材料を下
地金属材料に溶射することにより形成されたものや、あ
るいはアモルファスカーボン、ダイヤモンドライクカー
ボン、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、炭窒化チタ
ン、窒化珪素等の硬質材料から選択された材料を下地金
属材料に蒸着することによって形成されたものが好適で
ある。
ム、酸化ニッケル等の硬質材料から選択された材料を下
地金属材料に溶射することにより形成されたものや、あ
るいはアモルファスカーボン、ダイヤモンドライクカー
ボン、炭化珪素、炭化チタン、窒化チタン、炭窒化チタ
ン、窒化珪素等の硬質材料から選択された材料を下地金
属材料に蒸着することによって形成されたものが好適で
ある。
【００１０】ディンプルの配列パターンとしては、例え
ば摺動方向に対して傾斜したスパイラル状の方向性をも
って形成することによって、摺動面間に介入する潤滑液
に対するポンプ作用を奏するため、潤滑液膜の厚さ及び
密封対象液の漏洩量を適切に制御することができる。
ば摺動方向に対して傾斜したスパイラル状の方向性をも
って形成することによって、摺動面間に介入する潤滑液
に対するポンプ作用を奏するため、潤滑液膜の厚さ及び
密封対象液の漏洩量を適切に制御することができる。
【００１１】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る摺動材の一
実施形態を示す摺動面付近の概略的な断面斜視図で、以
下のような方法により製作されたものである。まず工具
鋼、ステンレス鋼、アルミニウム等の一般的な金属材料
や、あるいは高合金鋼等の特殊金属材料から選定した下
地金属材料１を環状に加工し、摺動面となる端面（軸心
と垂直な平面）に、下地ディンプル１ａの加工を行う。
その方法としては、公知のサンドブラスト用感光フィル
ムを保護マスクとして用いたサンドブラスト加工や、あ
るいはエッチングによる加工法を採用することができ
る。
実施形態を示す摺動面付近の概略的な断面斜視図で、以
下のような方法により製作されたものである。まず工具
鋼、ステンレス鋼、アルミニウム等の一般的な金属材料
や、あるいは高合金鋼等の特殊金属材料から選定した下
地金属材料１を環状に加工し、摺動面となる端面（軸心
と垂直な平面）に、下地ディンプル１ａの加工を行う。
その方法としては、公知のサンドブラスト用感光フィル
ムを保護マスクとして用いたサンドブラスト加工や、あ
るいはエッチングによる加工法を採用することができ
る。
【００１２】次に、下地ディンプル１ａを形成した下地
金属材料１の表面に、アルミナ、酸化クロム、酸化ニッ
ケル等の硬質材料を溶射するか、あるいはアモルファス
カーボン、ダイヤモンドライクカーボン、炭化珪素、炭
化チタン、窒化チタン、炭窒化チタン、窒化珪素等の硬
質材料をプラズマＣＶＤ又はＰＶＤにより蒸着して成膜
する。これによって、摺動面となる表面に硬質皮膜２が
被着されると共に、下地ディンプル１ａと対応するディ
ンプル２ａが形成される。下地金属材料１の表面に加工
する下地ディンプル１ａの大きさは、硬質皮膜２の膜厚
及び成膜後の最終的なディンプル２ａの大きさを考慮し
て決定される。図示の例においては、ディンプル２ａの
平面形状が長円形であり、その長手方向が摺動方向（摺
動材の円周方向）に対して角度θで傾斜したスパイラル
状の方向性をもって形成されている。
金属材料１の表面に、アルミナ、酸化クロム、酸化ニッ
ケル等の硬質材料を溶射するか、あるいはアモルファス
カーボン、ダイヤモンドライクカーボン、炭化珪素、炭
化チタン、窒化チタン、炭窒化チタン、窒化珪素等の硬
質材料をプラズマＣＶＤ又はＰＶＤにより蒸着して成膜
する。これによって、摺動面となる表面に硬質皮膜２が
被着されると共に、下地ディンプル１ａと対応するディ
ンプル２ａが形成される。下地金属材料１の表面に加工
する下地ディンプル１ａの大きさは、硬質皮膜２の膜厚
及び成膜後の最終的なディンプル２ａの大きさを考慮し
て決定される。図示の例においては、ディンプル２ａの
平面形状が長円形であり、その長手方向が摺動方向（摺
動材の円周方向）に対して角度θで傾斜したスパイラル
状の方向性をもって形成されている。
【００１３】通常、加工可能なディンプルの最小径は５
０μｍ程度であるが、上述の方法によれば、硬質皮膜２
の表面に形成されるディンプル２ａは、下地金属材料の
表面に形成された下地ディンプル１ａより膜厚の分だけ
小さくなるので、５０μｍより小径のディンプル２ａを
形成することも可能である。しかも、下地ディンプル１
ａの縁部が鋭く立ち上がっていても、硬質皮膜２によっ
てディンプル２ａの縁部は湾曲面となるので、相手摺動
材に対する攻撃性（おろし金作用）も少なくなる。ま
た、下地金属材料１の表面への下地ディンプル１ａの加
工は、硬質材料へのディンプル加工に比較して容易に行
うことができる。
０μｍ程度であるが、上述の方法によれば、硬質皮膜２
の表面に形成されるディンプル２ａは、下地金属材料の
表面に形成された下地ディンプル１ａより膜厚の分だけ
小さくなるので、５０μｍより小径のディンプル２ａを
形成することも可能である。しかも、下地ディンプル１
ａの縁部が鋭く立ち上がっていても、硬質皮膜２によっ
てディンプル２ａの縁部は湾曲面となるので、相手摺動
材に対する攻撃性（おろし金作用）も少なくなる。ま
た、下地金属材料１の表面への下地ディンプル１ａの加
工は、硬質材料へのディンプル加工に比較して容易に行
うことができる。
【００１４】
【実施例】図２は、以下に説明する摺動試験を行うメカ
ニカルシール試験機を概略的に示すものである。すなわ
ちこのメカニカルシール試験機は、試料である固定環１
０をガスケット１２を介して非回転状態に支持するケー
シング１１と、このケーシング１１の内周に回転自在に
挿通された回転軸１３と、この回転軸１３の外周にパッ
キン１４を介して軸方向移動自在に支持され前記固定環
１と軸方向に対向される回転環１５と、この回転環１５
を軸方向に付勢してその摺動面を前記固定環１の摺動面
に密接させるバネ１６とを備え、ケーシング１１〜回転
環１５による密封空間には密封対象液Ｗが封入される。
ニカルシール試験機を概略的に示すものである。すなわ
ちこのメカニカルシール試験機は、試料である固定環１
０をガスケット１２を介して非回転状態に支持するケー
シング１１と、このケーシング１１の内周に回転自在に
挿通された回転軸１３と、この回転軸１３の外周にパッ
キン１４を介して軸方向移動自在に支持され前記固定環
１と軸方向に対向される回転環１５と、この回転環１５
を軸方向に付勢してその摺動面を前記固定環１の摺動面
に密接させるバネ１６とを備え、ケーシング１１〜回転
環１５による密封空間には密封対象液Ｗが封入される。
【００１５】上述のメカニカルシール試験機に、固定環
１０として下記の実施例の摺動材を組み込んだ場合と比
較例の摺動材を組み込んだ場合の摺動試験を行い、その
結果を比較した。 実施例 固定環１０として、３６Ｎｉ−Ｆｅ合金からなる下地金
属材料の表面にＣＶＤ法によって厚さ３０μｍの炭化珪
素皮膜を形成し、その摺動面に、幅６０μｍ、長さ１２
０μｍの略楕円形であって、長径を摺動方向（固定環１
０の円周方向）に対して４５°傾斜させたディンプル
を、摺動面の面積に対し８％の面積率で有するものを用
いた。 比較例 固定環１０として、炭化珪素のみからなる材料に、ディ
ンプルを実施例と同様に形成したものを用いた。
１０として下記の実施例の摺動材を組み込んだ場合と比
較例の摺動材を組み込んだ場合の摺動試験を行い、その
結果を比較した。 実施例 固定環１０として、３６Ｎｉ−Ｆｅ合金からなる下地金
属材料の表面にＣＶＤ法によって厚さ３０μｍの炭化珪
素皮膜を形成し、その摺動面に、幅６０μｍ、長さ１２
０μｍの略楕円形であって、長径を摺動方向（固定環１
０の円周方向）に対して４５°傾斜させたディンプル
を、摺動面の面積に対し８％の面積率で有するものを用
いた。 比較例 固定環１０として、炭化珪素のみからなる材料に、ディ
ンプルを実施例と同様に形成したものを用いた。
【００１６】この摺動試験は下記の条件で行い、摺動面
における摩擦係数、固定環１０の摺動面から１ｍｍの深
さにおける温度、１００時間摺動後の固定環１０及び回
転環１５の摺動面摩耗量を測定した。 試験条件 (1) 回転環１５の材質 樹脂含浸カーボン (2) 密封対象液Ｗ 水道水 (3) 摺動面の周速 ８．６９ｍ／ｓ (4) 密封対象液Ｗの温度 ２５℃ (5) 摺動面の面圧 １．１ＭＰａ
における摩擦係数、固定環１０の摺動面から１ｍｍの深
さにおける温度、１００時間摺動後の固定環１０及び回
転環１５の摺動面摩耗量を測定した。 試験条件 (1) 回転環１５の材質 樹脂含浸カーボン (2) 密封対象液Ｗ 水道水 (3) 摺動面の周速 ８．６９ｍ／ｓ (4) 密封対象液Ｗの温度 ２５℃ (5) 摺動面の面圧 １．１ＭＰａ
【００１７】上記試験の結果は、実施例及び比較例共ほ
ぼ同じ測定値が得られ、平均の摩擦係数＝０．０６、固
定環１０の摺動面から１ｍｍの深さにおける温度＝３３
℃であり、固定環１０の摩耗量≒０、回転環１５の摩耗
量＝０．１μｍであった。したがって実施例の摺動材
は、炭化珪素のみからなる摺動材と同様の摺動性が得ら
れることが確認された。
ぼ同じ測定値が得られ、平均の摩擦係数＝０．０６、固
定環１０の摺動面から１ｍｍの深さにおける温度＝３３
℃であり、固定環１０の摩耗量≒０、回転環１５の摩耗
量＝０．１μｍであった。したがって実施例の摺動材
は、炭化珪素のみからなる摺動材と同様の摺動性が得ら
れることが確認された。
【００１８】
【発明の効果】本発明の摺動材によると、摺動面に形成
されたディンプルによって潤滑液膜の厚さ及び密封対象
液の漏洩量の適切な制御機能をもたせ、摺動面に硬質皮
膜を被着したことによって耐摩耗性を得るものであるた
め、全体が前記硬質皮膜と同材質のファインセラミック
スで製作された摺動材と同等の摺動特性が得られ、しか
も下地金属材料の有する靭性によって耐衝撃性や引張強
度が著しく向上し、全体をファインセラミックスで製作
する場合に比較して材料コスト及び加工コストを著しく
低減することができる。
されたディンプルによって潤滑液膜の厚さ及び密封対象
液の漏洩量の適切な制御機能をもたせ、摺動面に硬質皮
膜を被着したことによって耐摩耗性を得るものであるた
め、全体が前記硬質皮膜と同材質のファインセラミック
スで製作された摺動材と同等の摺動特性が得られ、しか
も下地金属材料の有する靭性によって耐衝撃性や引張強
度が著しく向上し、全体をファインセラミックスで製作
する場合に比較して材料コスト及び加工コストを著しく
低減することができる。
【図１】本発明に係る摺動材の摺動面付近の概略的な拡
大断面図である。
大断面図である。
【図２】摺動材の摺動試験に用いるメカニカルシール試
験機を軸心を通る平面で切断した概略的な半断面図であ
る。
験機を軸心を通る平面で切断した概略的な半断面図であ
る。
１ 下地金属材料 １ａ 下地ディンプル ２ 硬質皮膜 ２ａ ディンプル
Claims (3)
- 【請求項１】 環状の下地金属材料の表面に硬質皮膜が
被着され、摺動面全域に、略一定の断面形状を有する多
数のディンプルが規則的な配列パターンで形成されたこ
とを特徴とする摺動材。 - 【請求項２】 請求項１に記載された硬質皮膜が、アル
ミナ、酸化クロム、酸化ニッケル等の硬質材料から選択
され、溶射により形成されたものであることを特徴とす
る摺動材。 - 【請求項３】 請求項１に記載された硬質皮膜が、アモ
ルファスカーボン、ダイヤモンドライクカーボン、炭化
珪素、炭化チタン、窒化チタン、炭窒化チタン、窒化珪
素等の硬質材料から選択され、蒸着により形成されたも
のであることを特徴とする摺動材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5737298A JPH11236976A (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | 摺動材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5737298A JPH11236976A (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | 摺動材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11236976A true JPH11236976A (ja) | 1999-08-31 |
Family
ID=13053772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5737298A Withdrawn JPH11236976A (ja) | 1998-02-24 | 1998-02-24 | 摺動材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11236976A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1559806A1 (de) * | 2004-01-28 | 2005-08-03 | Ford Global Technologies, LLC, A subsidary of Ford Motor Company | Durch thermisches Spritzen aufgebrachte eisenhaltige Schicht einer Gleitfläche, insbesondere für Zylinderlaufflächen von Motorblöcken |
| US7500676B2 (en) * | 2002-04-02 | 2009-03-10 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding element |
| JP2009516130A (ja) * | 2005-11-15 | 2009-04-16 | メッカノテクニカ ウンブラ エス．ピー．エー． | ポンプのセラミック製機械用シールリングに対する表面処理工程および前述の工程により得られたリング |
| WO2010137521A1 (ja) | 2009-05-25 | 2010-12-02 | イーグル工業株式会社 | シール装置 |
| US20160195139A1 (en) * | 2013-09-18 | 2016-07-07 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding parts |
| EP2470743A4 (en) * | 2009-08-26 | 2016-07-13 | Baker Hughes Inc | SYNERGIC SURFACE MODIFICATION FOR A BEARING SEAL |
| WO2016121739A1 (ja) * | 2015-01-31 | 2016-08-04 | イーグル工業株式会社 | 摺動部品 |
| US9970478B2 (en) | 2013-09-18 | 2018-05-15 | Eagle Industry Co., Ltd. | Sliding parts |
| JP2019015401A (ja) * | 2017-07-04 | 2019-01-31 | イーグル工業株式会社 | メカニカルシール |
| JP2019027466A (ja) * | 2017-07-27 | 2019-02-21 | 日本ピラー工業株式会社 | メカニカルシール |
-
1998
- 1998-02-24 JP JP5737298A patent/JPH11236976A/ja not_active Withdrawn
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