JPH11228110A - オゾン発生素子 - Google Patents
オゾン発生素子Info
- Publication number
- JPH11228110A JPH11228110A JP4871298A JP4871298A JPH11228110A JP H11228110 A JPH11228110 A JP H11228110A JP 4871298 A JP4871298 A JP 4871298A JP 4871298 A JP4871298 A JP 4871298A JP H11228110 A JPH11228110 A JP H11228110A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive layer
- discharge electrode
- protective layer
- generating element
- ozone generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 誘電体を挟んで放電電極と接地電極を設け、
前記放電電極を覆う保護層をそなえたオゾン発生素子に
おいて、接着剤中に発生する気泡をなくし、放電効果を
向上させる 【解決手段】 誘電体３を挟んで放電電極１と接地電極
２を設け、前記放電電極１を覆う保護層４をそなえたオ
ゾン発生素子において、放電電極１を含む誘電体３の表
面に形成したゲル化時間が短く気泡を含まない接着剤層
５を設ける。この接着剤層５と保護層４との間に、前記
接着剤層と保護層に密着し、前記接着剤層５よりゲル化
時間が長い中間接着剤層７を設け、接着剤層相互を密着
した状態でヒートプレスにより加圧硬化させてある。
前記放電電極を覆う保護層をそなえたオゾン発生素子に
おいて、接着剤中に発生する気泡をなくし、放電効果を
向上させる 【解決手段】 誘電体３を挟んで放電電極１と接地電極
２を設け、前記放電電極１を覆う保護層４をそなえたオ
ゾン発生素子において、放電電極１を含む誘電体３の表
面に形成したゲル化時間が短く気泡を含まない接着剤層
５を設ける。この接着剤層５と保護層４との間に、前記
接着剤層と保護層に密着し、前記接着剤層５よりゲル化
時間が長い中間接着剤層７を設け、接着剤層相互を密着
した状態でヒートプレスにより加圧硬化させてある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、沿面放電によって
オゾンを発生させるオゾン発生素子に関する。
オゾンを発生させるオゾン発生素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、沿面放電を用いるオゾン発生素子
は、集成マイカなどの誘電体を挟んで放電電極と接地電
極をそなえ、この電極間に高周波高電圧を印加して沿面
放電を発生させ、放電領域に接触する原料ガス中の酸素
分子をオゾン化して、脱臭、殺菌などに利用されている
が、前記放電電極の酸化や消耗を防ぐため、先に本出願
人は、特願平８−２３９８４３号で放電電極を覆う保護
層を設けることを提案している。保護層をそなえたオゾ
ン発生素子は、たとえば図２に示すように、放電電極１
と接地電極２を仮止めした誘電体３を接着剤たとえばワ
ニスに浸漬して、誘電体表面に放電電極１の高さまで接
着剤層１０をコーティングし、この接着剤層１０の上に
保護層４を重ねてヒートプレスを行い、保護層４を放電
電極１の上に接着させるようにしている。
は、集成マイカなどの誘電体を挟んで放電電極と接地電
極をそなえ、この電極間に高周波高電圧を印加して沿面
放電を発生させ、放電領域に接触する原料ガス中の酸素
分子をオゾン化して、脱臭、殺菌などに利用されている
が、前記放電電極の酸化や消耗を防ぐため、先に本出願
人は、特願平８−２３９８４３号で放電電極を覆う保護
層を設けることを提案している。保護層をそなえたオゾ
ン発生素子は、たとえば図２に示すように、放電電極１
と接地電極２を仮止めした誘電体３を接着剤たとえばワ
ニスに浸漬して、誘電体表面に放電電極１の高さまで接
着剤層１０をコーティングし、この接着剤層１０の上に
保護層４を重ねてヒートプレスを行い、保護層４を放電
電極１の上に接着させるようにしている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、このような
オゾン発生素子の製作時に、放電電極１と接地電極２を
取り付けた誘電体３の表面にコーティングされた接着剤
層１０の上に保護層４を重ねると、コーティングされた
接着剤に空気が混入されている場合だけでなく、保護層
４の下面と接着剤層１０との接触面に微小な空隙を生じ
て空気が入っており、この状態で加熱接着させると、加
熱時に圧力を加えても空隙内の空気が完全に排出されな
いで硬化し、接触面間に残った空気で気泡１１を生じて
いる。このように、接着時に排出されないで残った空気
によって接着剤層１０の中や保護層４と接着剤との間、
とくに放電電極１の近傍に気泡１１を生じると、放電電
極１と接地電極２間に高電圧を印加したときに、この気
泡１１に強い電界が作用してボイド放電を発生し、絶縁
特性を低下させるだけでなく、保護層上面の原料ガスに
接触する本来の沿面放電のための放電電圧が低下し、有
効なオゾン発生を阻害する欠点がある。本発明は、この
ような接着剤中に発生する気泡をなくして、放電効果を
向上させるものである。
オゾン発生素子の製作時に、放電電極１と接地電極２を
取り付けた誘電体３の表面にコーティングされた接着剤
層１０の上に保護層４を重ねると、コーティングされた
接着剤に空気が混入されている場合だけでなく、保護層
４の下面と接着剤層１０との接触面に微小な空隙を生じ
て空気が入っており、この状態で加熱接着させると、加
熱時に圧力を加えても空隙内の空気が完全に排出されな
いで硬化し、接触面間に残った空気で気泡１１を生じて
いる。このように、接着時に排出されないで残った空気
によって接着剤層１０の中や保護層４と接着剤との間、
とくに放電電極１の近傍に気泡１１を生じると、放電電
極１と接地電極２間に高電圧を印加したときに、この気
泡１１に強い電界が作用してボイド放電を発生し、絶縁
特性を低下させるだけでなく、保護層上面の原料ガスに
接触する本来の沿面放電のための放電電圧が低下し、有
効なオゾン発生を阻害する欠点がある。本発明は、この
ような接着剤中に発生する気泡をなくして、放電効果を
向上させるものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】このため、放電電極と誘
電体とを一体にした状態で、放電電極を含む誘電体の表
面に、気泡を含まない接着剤をコーティングしたゲル化
時間が短い接着剤層を形成させ、保護層の放電電極側に
同様に気泡を含まない接着剤をコーティングした接着剤
層をそなえ、この接着剤層と保護層との間に、前記接着
剤層と保護層に密着させ、前記接着剤層よりゲル化時間
が長い中間接着剤層を設けてヒートプレスを行って加圧
硬化させている。なお、放電電極を含む誘電体の表面と
保護層の表面に、あらかじめゲル化時間が短く気泡を含
まない未硬化の接着剤層を形成し、両方の接着剤層相互
間に、この接着剤層に密着させゲル化時間が長く気泡を
含まない中間接着剤層を設けて、ヒートプレスを行うよ
うにし、中間接着剤層のゲル化時間をている。また、放
電電極を含む誘電体の表面と保護層の表面に、あらかじ
め形成させる未硬化の接着剤層は、誘電体側の接着剤層
のゲル化時間が短く、保護層側の接着剤層のゲル化時間
が長くなるようにし、中間接着剤層のゲル化時間を、誘
電体側の接着剤層より長く、保護層側の接着剤層より短
くするようにしてよい。なお、いずれの場合において
も、中間接着剤層を、放電電極側から保護層側に重なる
複数の気泡を含まない接着剤層で形成することができ、
前記複数の接着剤層が、誘電体側から保護層側に向かっ
て次第にゲル化時間が長くなるようにしておけばよい。
電体とを一体にした状態で、放電電極を含む誘電体の表
面に、気泡を含まない接着剤をコーティングしたゲル化
時間が短い接着剤層を形成させ、保護層の放電電極側に
同様に気泡を含まない接着剤をコーティングした接着剤
層をそなえ、この接着剤層と保護層との間に、前記接着
剤層と保護層に密着させ、前記接着剤層よりゲル化時間
が長い中間接着剤層を設けてヒートプレスを行って加圧
硬化させている。なお、放電電極を含む誘電体の表面と
保護層の表面に、あらかじめゲル化時間が短く気泡を含
まない未硬化の接着剤層を形成し、両方の接着剤層相互
間に、この接着剤層に密着させゲル化時間が長く気泡を
含まない中間接着剤層を設けて、ヒートプレスを行うよ
うにし、中間接着剤層のゲル化時間をている。また、放
電電極を含む誘電体の表面と保護層の表面に、あらかじ
め形成させる未硬化の接着剤層は、誘電体側の接着剤層
のゲル化時間が短く、保護層側の接着剤層のゲル化時間
が長くなるようにし、中間接着剤層のゲル化時間を、誘
電体側の接着剤層より長く、保護層側の接着剤層より短
くするようにしてよい。なお、いずれの場合において
も、中間接着剤層を、放電電極側から保護層側に重なる
複数の気泡を含まない接着剤層で形成することができ、
前記複数の接着剤層が、誘電体側から保護層側に向かっ
て次第にゲル化時間が長くなるようにしておけばよい。
【０００５】
【発明の実施の形態】誘電体の一方の面に、高電圧を印
加する放電電極をそなえ、この放電電極とともに誘電体
の面に、ゲル化時間が短く気泡を含まない接着剤を、塗
布、スプレーあるいは浸漬などによってコーティングし
た接着剤層を形成させ、前記誘電体の他方の面に接地電
極を放電電極と同時に、あるいは別個に接着させる。こ
のように誘電体とともに放電電極を覆って形成したゲル
化時間が短い接着剤層の上に、ゲル化時間が長い中間接
着剤層をコーティングし、この中間接着剤層の上に保護
層を重ねることにより、接着剤層相互間に間隙を設けな
いで、誘電体と放電電極および保護層を重ねた状態にし
てヒートプレスを行うことができ、加熱による中間接着
剤層の流動により、接着剤層相互を放電電極の近傍に気
泡を生じることなく一体化させる。なお、放電電極を含
む誘電体の表面に形成した接着剤層と、必要に応じて保
護層の表面に形成した接着剤層を、半硬化状にしておけ
ば作業が容易になる。また、中間接着剤層を、ゲル化時
間の異なる複数の接着剤層にしてもよく、この場合に、
放電電極を含む誘電体側の接着剤層から保護層の接着剤
層に向けて次第にゲル化時間が長くなるようにするのが
よい。
加する放電電極をそなえ、この放電電極とともに誘電体
の面に、ゲル化時間が短く気泡を含まない接着剤を、塗
布、スプレーあるいは浸漬などによってコーティングし
た接着剤層を形成させ、前記誘電体の他方の面に接地電
極を放電電極と同時に、あるいは別個に接着させる。こ
のように誘電体とともに放電電極を覆って形成したゲル
化時間が短い接着剤層の上に、ゲル化時間が長い中間接
着剤層をコーティングし、この中間接着剤層の上に保護
層を重ねることにより、接着剤層相互間に間隙を設けな
いで、誘電体と放電電極および保護層を重ねた状態にし
てヒートプレスを行うことができ、加熱による中間接着
剤層の流動により、接着剤層相互を放電電極の近傍に気
泡を生じることなく一体化させる。なお、放電電極を含
む誘電体の表面に形成した接着剤層と、必要に応じて保
護層の表面に形成した接着剤層を、半硬化状にしておけ
ば作業が容易になる。また、中間接着剤層を、ゲル化時
間の異なる複数の接着剤層にしてもよく、この場合に、
放電電極を含む誘電体側の接着剤層から保護層の接着剤
層に向けて次第にゲル化時間が長くなるようにするのが
よい。
【０００６】
【実施例】図１は、本発明によるオゾン発生素子の断面
を示す説明図で、１は放電電極、２は接地電極、３はセ
ラミック、集成マイカ、ガラスなどからなる誘電体、４
は天然マイカなどの保護層、５、６は接着剤層、７は中
間接着剤層、８は絶縁板である。放電電極１と誘電体３
を治具で挟み一体に重ねた状態に保持し、この放電電極
１と誘電体３の表面に、気泡を含まないようにした接着
剤をスプレー、塗布あるいは浸漬などによってコーティ
ングするとともに、放電電極１と誘電体３との間にも接
着剤を侵入させた後、溶剤揮発作業を行ってゲル化時間
が短い接着剤層５を形成させている。この実施例では接
着剤層５に、１２０Ｃ゜で２０分のゲル化時間をもつエ
ポキシ系接着剤を１５分加熱処理したものを用いてお
り、放電電極１と誘電体３の間に浸透させ、また厚さを
調節するため、溶剤で希釈して粘度を調整している。こ
のため、放電電極１の周囲の誘電体３に接する段差の部
分には、接着剤層５が余分に付着してなだらかな傾斜に
なっている。なお、誘電体３の他方の面にも接着剤層５
を形成し、接地電極を同時にあるいは別個に接着させ
る。保護層４はたとえば天然マイカで構成しており、こ
の実施例では誘電体３と同じエポキシ系接着剤を加熱処
理しないでコーティングした接着剤層６をそなえてい
る。
を示す説明図で、１は放電電極、２は接地電極、３はセ
ラミック、集成マイカ、ガラスなどからなる誘電体、４
は天然マイカなどの保護層、５、６は接着剤層、７は中
間接着剤層、８は絶縁板である。放電電極１と誘電体３
を治具で挟み一体に重ねた状態に保持し、この放電電極
１と誘電体３の表面に、気泡を含まないようにした接着
剤をスプレー、塗布あるいは浸漬などによってコーティ
ングするとともに、放電電極１と誘電体３との間にも接
着剤を侵入させた後、溶剤揮発作業を行ってゲル化時間
が短い接着剤層５を形成させている。この実施例では接
着剤層５に、１２０Ｃ゜で２０分のゲル化時間をもつエ
ポキシ系接着剤を１５分加熱処理したものを用いてお
り、放電電極１と誘電体３の間に浸透させ、また厚さを
調節するため、溶剤で希釈して粘度を調整している。こ
のため、放電電極１の周囲の誘電体３に接する段差の部
分には、接着剤層５が余分に付着してなだらかな傾斜に
なっている。なお、誘電体３の他方の面にも接着剤層５
を形成し、接地電極を同時にあるいは別個に接着させ
る。保護層４はたとえば天然マイカで構成しており、こ
の実施例では誘電体３と同じエポキシ系接着剤を加熱処
理しないでコーティングした接着剤層６をそなえてい
る。
【０００７】誘電体３と放電電極１の接着剤層５の上
に、接着剤層５よりゲル化時間が長い接着剤、１２０Ｃ
゜で２０分のゲル化時間をもつエポキシ系接着剤を８分
加熱処理したものを用い、粘度がある状態で空隙がない
ように塗布などでコーティングして中間接着剤層７を形
成し、この中間接着剤層７の上に、保護層４の接着剤層
６を重ねて中間接着剤層７の粘度によって密着させ、こ
の状態でヒートプレスにより加熱し、接着剤層５、６と
ともに中間接着剤層７を加圧硬化させた。したがって、
ヒートプレスをするときの接着剤層の状態は、接着剤層
５が放電電極１に気泡のない状態で密着したままで、ゲ
ル化時間が短いのでほとんど流動せず、この接着剤層５
と接着剤層６との間に挟まれた中間接着剤層７は、ゲル
化時間が長いために両側の接着剤層５と６に良好な状態
でなじみ、各接着剤層間に空気を巻き込むことがないの
で、接着剤層の中に放電電極１の近傍を含めて気泡を発
生することがない。なお、誘電体３と放電電極１の接着
剤層５および保護層４の接着剤層６は、半硬化状態にし
ておいてもよく、接着剤層５と接着剤層６のゲル化時間
を同じ程度にして、これよりも長いゲル化時間の中間接
着剤層７を用いることもでき、保護層４の接着剤層６を
前記実施例のように中間接着剤層のゲル化時間より長く
し、あるいは省くようにしてもよい。また、中間接着剤
層７は、複数の層で構成し、誘電体側から保護層側に向
かって次第にゲル化時間が長くなるようにしてもよい。
また、保護層は、平面性がよく、しかも耐コロナ性、耐
オゾン性が優れている天然マイカで構成することが良
い。
に、接着剤層５よりゲル化時間が長い接着剤、１２０Ｃ
゜で２０分のゲル化時間をもつエポキシ系接着剤を８分
加熱処理したものを用い、粘度がある状態で空隙がない
ように塗布などでコーティングして中間接着剤層７を形
成し、この中間接着剤層７の上に、保護層４の接着剤層
６を重ねて中間接着剤層７の粘度によって密着させ、こ
の状態でヒートプレスにより加熱し、接着剤層５、６と
ともに中間接着剤層７を加圧硬化させた。したがって、
ヒートプレスをするときの接着剤層の状態は、接着剤層
５が放電電極１に気泡のない状態で密着したままで、ゲ
ル化時間が短いのでほとんど流動せず、この接着剤層５
と接着剤層６との間に挟まれた中間接着剤層７は、ゲル
化時間が長いために両側の接着剤層５と６に良好な状態
でなじみ、各接着剤層間に空気を巻き込むことがないの
で、接着剤層の中に放電電極１の近傍を含めて気泡を発
生することがない。なお、誘電体３と放電電極１の接着
剤層５および保護層４の接着剤層６は、半硬化状態にし
ておいてもよく、接着剤層５と接着剤層６のゲル化時間
を同じ程度にして、これよりも長いゲル化時間の中間接
着剤層７を用いることもでき、保護層４の接着剤層６を
前記実施例のように中間接着剤層のゲル化時間より長く
し、あるいは省くようにしてもよい。また、中間接着剤
層７は、複数の層で構成し、誘電体側から保護層側に向
かって次第にゲル化時間が長くなるようにしてもよい。
また、保護層は、平面性がよく、しかも耐コロナ性、耐
オゾン性が優れている天然マイカで構成することが良
い。
【０００８】
【発明の効果】このように本発明は、誘電体を挟んで放
電電極と接地電極を設け、前記放電電極の上に保護層を
そなえたオゾン発生素子において、放電電極を含む誘電
体の表面にゲル化時間が短く気泡を含まない接着剤層を
そなえ、この接着剤層と保護層との間に、前記接着剤層
と保護層に密着させ、前記接着剤層よりゲル化時間が長
い中間接着剤層を設けてあるので、ヒートプレスによる
加圧硬化時に、接着剤層相互間に空隙がなく、放電電極
側の接着剤層はほとんど流動せず、中間接着剤層が流動
して良好な状態でほかの接着剤層や保護層に密着し、各
接着剤層内や層間に空気を巻き込むことなく硬化し、放
電電極の近傍を含めて接着剤層の中に気泡を発生するこ
とがなく、ボイド放電を防止し、接着剤の劣化をなくす
とともに、オゾン発生のための沿面放電を有効に発生さ
せ得る効果がある。また、中間接着剤層により誘電体側
の接着剤層および保護層との接着状態が良好になり、素
子の構成要素を確実に保持させる。
電電極と接地電極を設け、前記放電電極の上に保護層を
そなえたオゾン発生素子において、放電電極を含む誘電
体の表面にゲル化時間が短く気泡を含まない接着剤層を
そなえ、この接着剤層と保護層との間に、前記接着剤層
と保護層に密着させ、前記接着剤層よりゲル化時間が長
い中間接着剤層を設けてあるので、ヒートプレスによる
加圧硬化時に、接着剤層相互間に空隙がなく、放電電極
側の接着剤層はほとんど流動せず、中間接着剤層が流動
して良好な状態でほかの接着剤層や保護層に密着し、各
接着剤層内や層間に空気を巻き込むことなく硬化し、放
電電極の近傍を含めて接着剤層の中に気泡を発生するこ
とがなく、ボイド放電を防止し、接着剤の劣化をなくす
とともに、オゾン発生のための沿面放電を有効に発生さ
せ得る効果がある。また、中間接着剤層により誘電体側
の接着剤層および保護層との接着状態が良好になり、素
子の構成要素を確実に保持させる。
【０００９】なお、放電電極を含む誘電体の表面に形成
した接着剤層と、中間接着剤層および保護層の面に形成
した接着剤層のゲル化時間を、保護層側に向けて次第に
長くすることにより、接着剤層が放電電極側から順次硬
化し、相互の接着性を良好にして気泡の発生を確実に防
ぐことができる。
した接着剤層と、中間接着剤層および保護層の面に形成
した接着剤層のゲル化時間を、保護層側に向けて次第に
長くすることにより、接着剤層が放電電極側から順次硬
化し、相互の接着性を良好にして気泡の発生を確実に防
ぐことができる。
【図１】本発明の実施例を示す説明用の断面構成図であ
る。
る。
【図２】従来の例を説明する断面構成図である。
【符号の説明】 １ 放電電極 ２ 接地電極 ３ 誘電体 ４ 保護層 ５、６ 接着剤層 ７ 中間接着剤層 １０ 接着剤層 １１ 気泡
Claims (5)
- 【請求項１】 誘電体を挟んで放電電極と接地電極を設
け、前記放電電極を覆う保護層をそなえたオゾン発生素
子において、放電電極を含む誘電体の表面に形成したゲ
ル化時間が短く気泡を含まない接着剤層をそなえ、この
接着剤層と保護層との間に、前記接着剤層と保護層に密
着させ、前記接着剤層よりゲル化時間が長い中間接着剤
層を設けたことを特徴とするオゾン発生素子。 - 【請求項２】 誘電体を挟んで放電電極と接地電極を設
け、前記放電電極を覆う保護層をそなえたオゾン発生素
子において、放電電極を含む誘電体の表面と保護層の表
面に、あらかじめ形成したゲル化時間が短く気泡を含ま
ない未硬化の接着剤層をそなえ、両方の接着剤層相互間
に、この接着剤層よりゲル化時間が長く気泡を含まない
中間接着剤層を設けたことを特徴とするオゾン発生素
子。 - 【請求項３】 誘電体を挟んで放電電極と接地電極を設
け、前記放電電極を覆う保護層をそなえたオゾン発生素
子において、放電電極を含む誘電体の表面にあらかじめ
形成したゲル化時間が短く気泡を含まない未硬化の接着
剤層と、保護層の表面にあらかじめ形成したゲル化時間
が長く気泡を含まない未硬化の接着剤層をそなえ、両方
の接着剤層相互間に、誘電体側の接着剤層よりゲル化時
間が長く保護層側の接着剤層よりゲル化時間が短く気泡
を含まない中間接着剤層を設けたことを特徴とするオゾ
ン発生素子。 - 【請求項４】 前記中間接着剤層が、放電電極側から保
護層側に重なる複数の気泡を含まない接着剤層で形成さ
れ、前記複数の接着剤層が、誘電体側から保護層側に向
かって次第にゲル化時間が長くなっている請求項１また
は２または３のオゾン発生素子。 - 【請求項５】 前記保護層が、天然マイカで構成されて
いる請求項１ないし４のいずれかのオゾン発生素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4871298A JPH11228110A (ja) | 1998-02-14 | 1998-02-14 | オゾン発生素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4871298A JPH11228110A (ja) | 1998-02-14 | 1998-02-14 | オゾン発生素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11228110A true JPH11228110A (ja) | 1999-08-24 |
Family
ID=12810930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4871298A Pending JPH11228110A (ja) | 1998-02-14 | 1998-02-14 | オゾン発生素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11228110A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002268334A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Ricoh Co Ltd | 放電装置及びこれを用いた画像形成装置 |
-
1998
- 1998-02-14 JP JP4871298A patent/JPH11228110A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002268334A (ja) * | 2001-03-13 | 2002-09-18 | Ricoh Co Ltd | 放電装置及びこれを用いた画像形成装置 |
| JP4653329B2 (ja) * | 2001-03-13 | 2011-03-16 | 株式会社リコー | 放電装置及びこれを用いた画像形成装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200304683A (en) | Packaging method for saw element and saw device having the resin-sealed saw element | |
| KR20050072421A (ko) | 표면실장형 탄성표면파 소자의 제조방법 | |
| US8614118B2 (en) | Component bonding method, component laminating method and bonded component structure | |
| JPWO2019065010A1 (ja) | エラストマー製圧電素子、及びエラストマー製圧電素子の製造方法 | |
| JP3365302B2 (ja) | Ｅｌ表示パネルの製造方法 | |
| JPH11228110A (ja) | オゾン発生素子 | |
| JPH0256830B2 (ja) | ||
| JP4522560B2 (ja) | 多層配線基板とその製造方法 | |
| KR970067732A (ko) | 접착 조성물의 수축으로 인한 파손이 적은 반도체 칩과 기판 사이의 전기적 접속을 갖는 반도체 소자 및 그 실장 방법 | |
| JP2837031B2 (ja) | 樹脂キートップ付シリコーンキースイッチの製造法 | |
| JP2013239479A (ja) | 半導体装置 | |
| TW201104819A (en) | Ball grid array printed circuit board, packaging structure and fabricating methid thereof | |
| JP2004104087A (ja) | 電子デバイスの製造方法 | |
| JP2002128510A (ja) | オゾン発生素子の製造方法 | |
| JP3041964U (ja) | オゾン発生器 | |
| JP2002151340A (ja) | 積層鉄芯製造方法および積層鉄芯 | |
| JPH05145002A (ja) | 半導体装置 | |
| KR20230072576A (ko) | 인쇄후막히터 제조방법 | |
| JP2003023223A (ja) | 回路用金属基板及び半導体装置 | |
| JP3189621B2 (ja) | ダイボンディング方法および基板 | |
| JP3050224B1 (ja) | 樹脂封止型半導体装置及びそのリ―ド端子部分被覆法 | |
| JP5049676B2 (ja) | 圧電部品及びその製造方法 | |
| JPS61266486A (ja) | スポツト接着方法 | |
| JPH11195945A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| JPS63288076A (ja) | 圧電セラミック積層体電子部品の製造方法 |