JP5049676B2 - 圧電部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の圧電部品の製造方法の実施例であるSAWデバイスの製造方法により製造するSAWデバイス1の縦断面図を示す。
図2は、本発明の実施例のSAWデバイスの製造方法(樹脂封止工法)を説明。
2 SAWチップ
3 セラミック基板
4 バンプ
5 樹脂封止部
6 外部電極
7 IDT電極
10 治具
11 凹所
12 スキージー
P 液状樹脂
S 空間
Claims (7)
- 凹所を有する治具を用意し、該凹所に離型剤をコーティングする工程と、
前記凹所内に液状樹脂を樹脂塗布する工程と、
樹脂塗布した前記液状樹脂をレベリングする工程と、
前記治具を所定の温度範囲で、かつ液状樹脂の粘度が目的値に達するまで加熱して液状樹脂を仮硬化させる工程と、
圧電素子をフェースダウンでフリップチップ実装したセラミック実装基板を前記仮硬化した液状樹脂と貼り合せる工程と、
液状樹脂と貼り合せた前記セラミック実装基板を所定圧力で加圧しつつ、液状樹脂が所定の粘度に達するまで加熱して液状樹脂を本硬化させる工程と、
本硬化し、樹脂封止が完了した前記セラミック実装基板を前記治具から取り出す工程と、
からなることを特徴とする圧電部品の製造方法。 - 前記離型剤が、ポリテトラフルオロエチレンあるいはシリコーン系離型剤であることを特徴とする請求項1に記載の圧電部品の製造方法。
- 前記液状樹脂が、熱硬化性エポキシ樹脂であって、常温で300〜500PaS.sec、かつ、60〜90℃の加熱温度で50,000〜80,000Pas.secの粘度を有することを特徴とする請求項1に記載の圧電部品の製造方法。
- 液状樹脂を仮硬化させる前記所定の温度範囲が、60〜90℃であることを特徴とする請求項1に記載の圧電部品の製造方法。
- 液状樹脂を本硬化させる前記所定の温度範囲が、100〜150℃であることを特徴とする請求項1に記載の圧電部品の製造方法。
- 前記セラミック実装基板を加圧する所定圧力が、3〜5kg/cm2であることを特徴とする請求項1に記載の圧電部品の製造方法。
- 請求項1の製造方法により製造した圧電部品。
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