JPH11224422A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH11224422A JPH11224422A JP2317998A JP2317998A JPH11224422A JP H11224422 A JPH11224422 A JP H11224422A JP 2317998 A JP2317998 A JP 2317998A JP 2317998 A JP2317998 A JP 2317998A JP H11224422 A JPH11224422 A JP H11224422A
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/743—Patterned record carriers, wherein the magnetic recording layer is patterned into magnetic isolated data islands, e.g. discrete tracks
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/596—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following for track following on disks
- G11B5/59633—Servo formatting
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/74—Record carriers characterised by the form, e.g. sheet shaped to wrap around a drum
- G11B5/82—Disk carriers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 高い線記録密度とトラック密度を同時に実現
でき、大容量の磁気記録を達成し得る磁気記録媒体及び
その製造方法を提供すること。 【解決手段】 媒体１０表面の非磁性体であるアルマイ
ト層１２の所定の位置に配列された微小な孔に埋め込ま
れた孤立した磁性体セル１３で各トラックの記録再生の
ための最小単位の記憶領域を構成するとともに、各トラ
ックを情報の記録を行うデータ領域とトラック位置を検
出するためのサーボ信号を配置したサーボ領域とに分
け、サーボ領域の磁性体セル１３はデータ領域のトラッ
クに対し半トラックピッチずれた同心円上に、データ領
域の磁性体セル１３の配置間隔の整数倍でなくかつ隣接
するトラック毎に異なる２種類の間隔で交互に配置す
る。
でき、大容量の磁気記録を達成し得る磁気記録媒体及び
その製造方法を提供すること。 【解決手段】 媒体１０表面の非磁性体であるアルマイ
ト層１２の所定の位置に配列された微小な孔に埋め込ま
れた孤立した磁性体セル１３で各トラックの記録再生の
ための最小単位の記憶領域を構成するとともに、各トラ
ックを情報の記録を行うデータ領域とトラック位置を検
出するためのサーボ信号を配置したサーボ領域とに分
け、サーボ領域の磁性体セル１３はデータ領域のトラッ
クに対し半トラックピッチずれた同心円上に、データ領
域の磁性体セル１３の配置間隔の整数倍でなくかつ隣接
するトラック毎に異なる２種類の間隔で交互に配置す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、高密度記録を可能
とする磁気記録媒体及びその製造方法に関するものであ
る。
とする磁気記録媒体及びその製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来より、磁気ディスク装置等では多数
の同心円状に配置された記録再生トラックに記録再生ヘ
ッドを正確に位置決めするため、トラック追従制御が不
可欠となっている。磁気ディスク装置の場合、自己録再
であり、光ディスク等と異なって媒体を交換することは
ないものの、情報を記録・再生する時の回転体の微細な
振動や偏芯（ＮＲＲＯ）のため、記録されたトラック
も、それをトレースする再生ヘッドの軌跡も完全な同心
円とはならず、トラックずれを生じる。
の同心円状に配置された記録再生トラックに記録再生ヘ
ッドを正確に位置決めするため、トラック追従制御が不
可欠となっている。磁気ディスク装置の場合、自己録再
であり、光ディスク等と異なって媒体を交換することは
ないものの、情報を記録・再生する時の回転体の微細な
振動や偏芯（ＮＲＲＯ）のため、記録されたトラック
も、それをトレースする再生ヘッドの軌跡も完全な同心
円とはならず、トラックずれを生じる。
【０００３】また、理想的に均一な装置内の熱分布を実
現することは困難であり、温度差による熱膨張差が目的
とするヘッドとトラックの位置誤差を生ずる。これらを
補正するためにはヘッドと媒体上のトラックの位置関係
をリアルタイムで検出し、この情報を元に位置調整を行
う必要がある。
現することは困難であり、温度差による熱膨張差が目的
とするヘッドとトラックの位置誤差を生ずる。これらを
補正するためにはヘッドと媒体上のトラックの位置関係
をリアルタイムで検出し、この情報を元に位置調整を行
う必要がある。
【０００４】従来は、最初に磁気ディスク装置を作成し
た段階で外部の位置基準を元に何も記録されていない媒
体上に装置に組み込まれたヘッドを用いて位置情報信号
を全てのトラックに亘って記録し、以降の実際の使用時
には当該位置情報を再生してヘッドと媒体上のトラック
の位置関係を検出し、位置決めを行っていた。この情報
を記録するプロセスをサーボライト（Servo Signal Wri
ting）と呼び、実際の使用時の位置決め方法をデータ面
サーボ方式と呼ぶ。
た段階で外部の位置基準を元に何も記録されていない媒
体上に装置に組み込まれたヘッドを用いて位置情報信号
を全てのトラックに亘って記録し、以降の実際の使用時
には当該位置情報を再生してヘッドと媒体上のトラック
の位置関係を検出し、位置決めを行っていた。この情報
を記録するプロセスをサーボライト（Servo Signal Wri
ting）と呼び、実際の使用時の位置決め方法をデータ面
サーボ方式と呼ぶ。
【０００５】実際に円板状の媒体をスピンドルに取り付
けると、どのように高精度に取り付けても取り付け誤差
等のために機械的偏芯が生じるが、このような位置制御
方式を採用することで記録されるトラックはほぼ同心円
状となり、かつ記録再生時に同じ情報を用いて位置決め
を行うため、ヘッドとトラックの位置関係がずれて（オ
フトラックという。）隣接するトラックの情報を間違え
て再生したり、既に記録されている隣接トラックに情報
を重ね書きする心配がない。
けると、どのように高精度に取り付けても取り付け誤差
等のために機械的偏芯が生じるが、このような位置制御
方式を採用することで記録されるトラックはほぼ同心円
状となり、かつ記録再生時に同じ情報を用いて位置決め
を行うため、ヘッドとトラックの位置関係がずれて（オ
フトラックという。）隣接するトラックの情報を間違え
て再生したり、既に記録されている隣接トラックに情報
を重ね書きする心配がない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、そのために、
本来情報を記録すべき媒体上の一部を位置情報に占有さ
せることになり、記憶容量が少なくなる欠点があった。
記憶可能な容量を大きくするために位置情報の記憶領域
を少なくすると、今度は位置情報の精度が下がって上述
のオフトラックが大きくなり、トラック密度を高くでき
ない欠点があった。
本来情報を記録すべき媒体上の一部を位置情報に占有さ
せることになり、記憶容量が少なくなる欠点があった。
記憶可能な容量を大きくするために位置情報の記憶領域
を少なくすると、今度は位置情報の精度が下がって上述
のオフトラックが大きくなり、トラック密度を高くでき
ない欠点があった。
【０００７】さらに、単位面積当たりの記憶容量を増や
すために線記録密度（トラックに沿った方向の記録密
度）を高めようとすると記録磁化と磁化の干渉のために
信号出力が下がるとともに、自己相関のために雑音が増
えて信号Ｓ／Ｎが下がるという欠点があった。また、ト
ラック密度を高めようとすると、位置情報の信号品質を
高めるためにより多くの位置情報エリアを割り当てる必
要があり、大容量記憶を実現することが困難であった。
すために線記録密度（トラックに沿った方向の記録密
度）を高めようとすると記録磁化と磁化の干渉のために
信号出力が下がるとともに、自己相関のために雑音が増
えて信号Ｓ／Ｎが下がるという欠点があった。また、ト
ラック密度を高めようとすると、位置情報の信号品質を
高めるためにより多くの位置情報エリアを割り当てる必
要があり、大容量記憶を実現することが困難であった。
【０００８】本発明の目的は、高い線記録密度とトラッ
ク密度を同時に実現でき、大容量の磁気記録を達成し得
る磁気記録媒体及びその製造方法を提供することにあ
る。
ク密度を同時に実現でき、大容量の磁気記録を達成し得
る磁気記録媒体及びその製造方法を提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明では前記目的を達
成するため、記録再生のための複数のトラックが媒体中
心と同一中心の同心円状に配置されてなる磁気記録媒体
において、各トラックの記録再生のための最小単位の記
憶領域が、媒体表面の非磁性体からなる層の所定の位置
に配列された微小な孔に埋め込まれた孤立した磁性体セ
ル群からなることを特徴とする。
成するため、記録再生のための複数のトラックが媒体中
心と同一中心の同心円状に配置されてなる磁気記録媒体
において、各トラックの記録再生のための最小単位の記
憶領域が、媒体表面の非磁性体からなる層の所定の位置
に配列された微小な孔に埋め込まれた孤立した磁性体セ
ル群からなることを特徴とする。
【００１０】前記構成によれば、個々の磁性体セルは互
いに磁気干渉のない単磁区微粒子として動作するため、
交換結合による磁化のゆらぎが一切なく、また、磁性材
料の静磁結合により所定の位置からずれる現象も起きな
いため、非線形な時間ずれが生じる可能性もないので、
高記録密度化が実現できると同時にＳ／Ｎを飛躍的に改
善できる。
いに磁気干渉のない単磁区微粒子として動作するため、
交換結合による磁化のゆらぎが一切なく、また、磁性材
料の静磁結合により所定の位置からずれる現象も起きな
いため、非線形な時間ずれが生じる可能性もないので、
高記録密度化が実現できると同時にＳ／Ｎを飛躍的に改
善できる。
【００１１】また、前記磁気記録媒体において、各トラ
ックは情報の記録を行うデータ領域とトラック位置を検
出するためのサーボ信号を配置したサーボ領域とを有
し、前記データ領域の磁性体セル群は同心円上に等間隔
で配置され、前記サーボ領域の磁性体セル群は前記デー
タ領域の磁性体セル群の同心円上からトラック幅の半ピ
ッチずれた同心円上に、前記データ領域の磁性体セルの
配置間隔の整数倍でなくかつ隣接するトラック毎に異な
る２種類の間隔で交互に配置されていることを特徴とす
るものによれば、一部の磁性体セルの配列を利用してサ
ーボ信号を埋め込むことができ、より高記録密度化が実
現できる。
ックは情報の記録を行うデータ領域とトラック位置を検
出するためのサーボ信号を配置したサーボ領域とを有
し、前記データ領域の磁性体セル群は同心円上に等間隔
で配置され、前記サーボ領域の磁性体セル群は前記デー
タ領域の磁性体セル群の同心円上からトラック幅の半ピ
ッチずれた同心円上に、前記データ領域の磁性体セルの
配置間隔の整数倍でなくかつ隣接するトラック毎に異な
る２種類の間隔で交互に配置されていることを特徴とす
るものによれば、一部の磁性体セルの配列を利用してサ
ーボ信号を埋め込むことができ、より高記録密度化が実
現できる。
【００１２】また、これらの磁気記録媒体の製造方法と
して、表面が薄い陽極酸化防止膜で覆われたアルミニウ
ムの基材の表面に、所定の形状を得るための雄型となる
硬脆材料で構成されたスタンパを押し付け、前記陽極酸
化防止膜の所定の位置に圧痕による膜破断部分を設ける
工程と、前記アルミニウムの基材を陽極酸化してアルマ
イトにすることで圧痕部分にポア（気孔）を形成する工
程と、前記ポアの径をエッチングにより拡大する工程
と、前記拡大したポア中に磁性金属材料を電気メッキに
より埋め込む工程とからなる方法を用いることができ
る。
して、表面が薄い陽極酸化防止膜で覆われたアルミニウ
ムの基材の表面に、所定の形状を得るための雄型となる
硬脆材料で構成されたスタンパを押し付け、前記陽極酸
化防止膜の所定の位置に圧痕による膜破断部分を設ける
工程と、前記アルミニウムの基材を陽極酸化してアルマ
イトにすることで圧痕部分にポア（気孔）を形成する工
程と、前記ポアの径をエッチングにより拡大する工程
と、前記拡大したポア中に磁性金属材料を電気メッキに
より埋め込む工程とからなる方法を用いることができ
る。
【００１３】また、この際、前記所定の形状を得るため
の雄型として、データ領域の圧痕群は同心円上に等間隔
で配置され、サーボ領域の圧痕群は前記データ領域の圧
痕群の同心円上からトラック幅の半ピッチずれた同心円
上に、前記データ領域の圧痕の配置間隔の整数倍でなく
かつ隣接するトラック毎に異なる２種類の間隔で交互に
配置されるように圧痕を形成することが可能な雄型を用
いることができる。
の雄型として、データ領域の圧痕群は同心円上に等間隔
で配置され、サーボ領域の圧痕群は前記データ領域の圧
痕群の同心円上からトラック幅の半ピッチずれた同心円
上に、前記データ領域の圧痕の配置間隔の整数倍でなく
かつ隣接するトラック毎に異なる２種類の間隔で交互に
配置されるように圧痕を形成することが可能な雄型を用
いることができる。
【００１４】また、前述した製造方法において、ガラス
板の上にアルミニウム以外の導電性の金属を付着した
後、アルミニウムを０．１ミクロン以上付着してなる基
材を用いることができる。
板の上にアルミニウム以外の導電性の金属を付着した
後、アルミニウムを０．１ミクロン以上付着してなる基
材を用いることができる。
【００１５】また、前述した製造方法において、ガラス
板の上にアルミニウム以外の導電性の金属を付着した
後、軟磁性の金属を付着し、その後、アルミニウムを
０．１ミクロン以上付着してなる基材を用いることがで
きる。
板の上にアルミニウム以外の導電性の金属を付着した
後、軟磁性の金属を付着し、その後、アルミニウムを
０．１ミクロン以上付着してなる基材を用いることがで
きる。
【００１６】また、この際、軟磁性の金属としてＮｉＦ
ｅを用いることができる。また、アルミニウム以外の導
電性の金属としてＴｉまたはＣｒまたはＴａを用いるこ
とができる。また、陽極酸化防止膜として絶縁膜を用い
ることができる。さらにまた、陽極酸化防止膜として電
解液に対し難溶性の金属薄膜を用いることができる。
ｅを用いることができる。また、アルミニウム以外の導
電性の金属としてＴｉまたはＣｒまたはＴａを用いるこ
とができる。また、陽極酸化防止膜として絶縁膜を用い
ることができる。さらにまた、陽極酸化防止膜として電
解液に対し難溶性の金属薄膜を用いることができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】図１は本発明の磁気記録媒体の実
施の形態の一例を示すもので、図中、１１は基材、１２
はアルマイト層、１３はアルマイト層１２に埋め込んだ
磁性体セルである。
施の形態の一例を示すもので、図中、１１は基材、１２
はアルマイト層、１３はアルマイト層１２に埋め込んだ
磁性体セルである。
【００１８】磁性体セル１３は本磁気記録媒体１０の円
周方向に一定の間隔、具体的には数〜数１０ｎｍの一定
の間隔（データピッチ：Ｄ）で配置され、データトラッ
クを形成する。本発明の磁気記録媒体はこのようなデー
タトラックを同心円上に配置してなる。但し、後述する
ようにトラック位置信号を得るため、予めトラックの一
部にサーボ領域とするために配置を変えた磁性体セル１
３の群を配置する。
周方向に一定の間隔、具体的には数〜数１０ｎｍの一定
の間隔（データピッチ：Ｄ）で配置され、データトラッ
クを形成する。本発明の磁気記録媒体はこのようなデー
タトラックを同心円上に配置してなる。但し、後述する
ようにトラック位置信号を得るため、予めトラックの一
部にサーボ領域とするために配置を変えた磁性体セル１
３の群を配置する。
【００１９】磁性体セル１３はデータピッチのほぼ半分
程度の直径とその数倍以上の長さを持つ鉄、ニッケル、
コバルトもしくはそれらを主成分とする円柱状の金属磁
性体であり、形状異方性のため、円柱方向に磁化容易軸
があり、媒体面に垂直な方向に磁化容易軸を持つ垂直磁
気記録媒体である。磁性体セル１３同士の間は数ｎｍ以
上のアルマイト層１２で分離されており、個々の磁性体
セル１３は磁気的な交換相互作用が働かず、独立した磁
性微粒子である。
程度の直径とその数倍以上の長さを持つ鉄、ニッケル、
コバルトもしくはそれらを主成分とする円柱状の金属磁
性体であり、形状異方性のため、円柱方向に磁化容易軸
があり、媒体面に垂直な方向に磁化容易軸を持つ垂直磁
気記録媒体である。磁性体セル１３同士の間は数ｎｍ以
上のアルマイト層１２で分離されており、個々の磁性体
セル１３は磁気的な交換相互作用が働かず、独立した磁
性微粒子である。
【００２０】図２は記録再生装置の構成を示すもので、
図中、１０は前述した磁気記録媒体、２１は磁気ヘッ
ド、２２はスピンドル、２３はアクチュエータ、２４は
記録再生回路、２５は誤差増幅器、２６は切替回路、２
７はサーボアンプ、２８はクロック発生器、２９はマイ
クロプログラムコントローラである。
図中、１０は前述した磁気記録媒体、２１は磁気ヘッ
ド、２２はスピンドル、２３はアクチュエータ、２４は
記録再生回路、２５は誤差増幅器、２６は切替回路、２
７はサーボアンプ、２８はクロック発生器、２９はマイ
クロプログラムコントローラである。
【００２１】媒体１０をスピンドル２２を介して回転さ
せ、ヘッド２１と媒体１０が微小な間隙を保って相対運
動をすると、磁気ヘッド２１の下を磁性体セル１３が通
過する。この時、磁性体の磁化方向を、例えば下向きか
ら上向きもしくは上向きから下向きへの反転を「１」、
下向きのままもしくは上向きのままを「０」とする等、
所定の規約に従って情報に対応させて変化させておく
と、磁気ヘッド２１から再生される信号はその情報に磁
気ヘッド２１の伝達関数を掛けた形で検出される。
せ、ヘッド２１と媒体１０が微小な間隙を保って相対運
動をすると、磁気ヘッド２１の下を磁性体セル１３が通
過する。この時、磁性体の磁化方向を、例えば下向きか
ら上向きもしくは上向きから下向きへの反転を「１」、
下向きのままもしくは上向きのままを「０」とする等、
所定の規約に従って情報に対応させて変化させておく
と、磁気ヘッド２１から再生される信号はその情報に磁
気ヘッド２１の伝達関数を掛けた形で検出される。
【００２２】図３は本発明における磁化形状と再生出力
との関係を示すもので、同図（ａ）に示すように、記録
再生時には磁気ヘッド２１は媒体１０に近接して磁性体
セル１３の表面を相対運動するから、同図（ｂ）に示す
ように個々の磁性体セル１３の磁化方向を交互に変化さ
せることにより、同図（ｃ）に実線で示すようにヘッド
２１からの出力波形は電磁誘導により、正負のピークを
持つ波形となる。同図（ｃ）には理解を助けるために、
隣接する磁化反転部のみが単独で存在する場合の出力波
形（孤立波）を破線にて併記した。ヘッド２１からの出
力波形（実線）はこれら孤立波を重ね合わせたものとな
る。この再生波形に適当な波形処理を施すことによって
情報が復元されることは従来の磁気ディスクの場合と同
様である。
との関係を示すもので、同図（ａ）に示すように、記録
再生時には磁気ヘッド２１は媒体１０に近接して磁性体
セル１３の表面を相対運動するから、同図（ｂ）に示す
ように個々の磁性体セル１３の磁化方向を交互に変化さ
せることにより、同図（ｃ）に実線で示すようにヘッド
２１からの出力波形は電磁誘導により、正負のピークを
持つ波形となる。同図（ｃ）には理解を助けるために、
隣接する磁化反転部のみが単独で存在する場合の出力波
形（孤立波）を破線にて併記した。ヘッド２１からの出
力波形（実線）はこれら孤立波を重ね合わせたものとな
る。この再生波形に適当な波形処理を施すことによって
情報が復元されることは従来の磁気ディスクの場合と同
様である。
【００２３】高密度記録を実現するために磁性体セル１
３の大きさを１００ｎｍ程度以下にし、かつその間隙を
数１０ｎｍ程度以上にすると、磁性体セル１３間の交換
結合が切れ、個々の磁性体セル１３は単磁区微粒子とし
て動作する。この結果、従来の磁気記録媒体の雑音原因
であった交換結合による磁化のゆらぎが一切なくなるか
ら、従来、高密度化とともに本質的な問題であった雑音
の増加がないだけでなく、そもそもの媒体雑音そのもの
が消滅することになる。
３の大きさを１００ｎｍ程度以下にし、かつその間隙を
数１０ｎｍ程度以上にすると、磁性体セル１３間の交換
結合が切れ、個々の磁性体セル１３は単磁区微粒子とし
て動作する。この結果、従来の磁気記録媒体の雑音原因
であった交換結合による磁化のゆらぎが一切なくなるか
ら、従来、高密度化とともに本質的な問題であった雑音
の増加がないだけでなく、そもそもの媒体雑音そのもの
が消滅することになる。
【００２４】また、連続媒体を用いていた従来の磁気記
録では磁化反転位置が同じく磁性材料の静磁結合により
所定の位置からずれる現象（ＮＬＴＳ）があったが、本
発明では磁化が独立しており、磁化反転領域は磁性体セ
ル間のアルマイト層になるため、非線形な時間ずれが生
じる可能性はない。即ち、従来の磁気記録に比べ、磁化
セルが小さくなって高密度化が実現できると同時にＳ／
Ｎが飛躍的に改善されることになる。
録では磁化反転位置が同じく磁性材料の静磁結合により
所定の位置からずれる現象（ＮＬＴＳ）があったが、本
発明では磁化が独立しており、磁化反転領域は磁性体セ
ル間のアルマイト層になるため、非線形な時間ずれが生
じる可能性はない。即ち、従来の磁気記録に比べ、磁化
セルが小さくなって高密度化が実現できると同時にＳ／
Ｎが飛躍的に改善されることになる。
【００２５】なお、前述したような微小な磁性体セル１
３に対して記録再生を行うための磁気ヘッドも同様に微
小である必要があるが、このような磁気ヘッドは金属磁
性体等の導電材料からなる薄膜上に磁気記録再生用のコ
イルを形成し、これをアルミナチタンカーバイト等の絶
縁材料からなるヘッドブロックの一端に取り付ける等に
よって構成できる。
３に対して記録再生を行うための磁気ヘッドも同様に微
小である必要があるが、このような磁気ヘッドは金属磁
性体等の導電材料からなる薄膜上に磁気記録再生用のコ
イルを形成し、これをアルミナチタンカーバイト等の絶
縁材料からなるヘッドブロックの一端に取り付ける等に
よって構成できる。
【００２６】前述した磁気記録媒体を製造するには、図
４（ａ）に示すように、少なくとも表面部分が平滑なア
ルミ３１でできた基材１１の表面にレジスト等の薄い陽
極酸化防止層３２を設けた後、予め所定のピッチで針状
の突起を並べたスタンパ３３を押し当て、図４（ｂ）に
示すように、表面に微細な凹凸の痕跡３４を形成する。
凹凸痕のついた部分では陽極酸化防止層３２が破断し、
金属アルミが露出する形となる。アルミ３１をシュウ
酸、クロム酸等の電解液内にて陽極酸化すると、陽極酸
化によって形成されるアルミナ層は凹部を中心として成
長する。
４（ａ）に示すように、少なくとも表面部分が平滑なア
ルミ３１でできた基材１１の表面にレジスト等の薄い陽
極酸化防止層３２を設けた後、予め所定のピッチで針状
の突起を並べたスタンパ３３を押し当て、図４（ｂ）に
示すように、表面に微細な凹凸の痕跡３４を形成する。
凹凸痕のついた部分では陽極酸化防止層３２が破断し、
金属アルミが露出する形となる。アルミ３１をシュウ
酸、クロム酸等の電解液内にて陽極酸化すると、陽極酸
化によって形成されるアルミナ層は凹部を中心として成
長する。
【００２７】凹部には図４（ｃ）に示すように陽極酸化
時に電解液が浸透し、生成される水素が脱気するための
水素チャネルが残るから、アルミナの成長とともにこの
チャネルも成長し、ポア３５（微小な気孔）となる。陽
極酸化終了後、最初に作成した凹部の位置に細いポアが
並んだアルミナ膜（アルマイト）１２が基板表面に形成
される。
時に電解液が浸透し、生成される水素が脱気するための
水素チャネルが残るから、アルミナの成長とともにこの
チャネルも成長し、ポア３５（微小な気孔）となる。陽
極酸化終了後、最初に作成した凹部の位置に細いポアが
並んだアルミナ膜（アルマイト）１２が基板表面に形成
される。
【００２８】このようにして形成されたポアは通常、数
ｎｍ直径であり、陽極酸化防止層の厚さが大きくてもほ
とんど変わらない。
ｎｍ直径であり、陽極酸化防止層の厚さが大きくてもほ
とんど変わらない。
【００２９】このポアを燐酸溶液中に浸すと、図４
（ｄ）に示すようにポアの部分がエッチングにより拡大
される。エッチング処理後、アルマイト表面に金属の電
解メッキを施すと、図４（ｅ）に示すように拡大したポ
アの中に金属メッキが施される。この後、表面を研磨す
ると、アルミナのポア中に金属が埋め込まれた形の平滑
な膜ができる。
（ｄ）に示すようにポアの部分がエッチングにより拡大
される。エッチング処理後、アルマイト表面に金属の電
解メッキを施すと、図４（ｅ）に示すように拡大したポ
アの中に金属メッキが施される。この後、表面を研磨す
ると、アルミナのポア中に金属が埋め込まれた形の平滑
な膜ができる。
【００３０】これは陽極酸化されたアルミナ膜は電気的
に絶縁物であるのに対し、ポアの底は母材の金属が残存
している、例えば基板がアルミでできている場合には陽
極酸化が進行していない部分が、それ以外の材料、例え
ば基板がガラスの場合には陽極酸化を行うための電流を
流す電極金属が残存しているためである。実際には陽極
酸化により、初期の平滑面に比べて表面の粗度は劣化す
るため、最後に表面を研磨し、その上にさらにダイアモ
ンドライクカーボン等の保護膜をスパッタし、潤滑処理
を施して磁気ディスクとする。
に絶縁物であるのに対し、ポアの底は母材の金属が残存
している、例えば基板がアルミでできている場合には陽
極酸化が進行していない部分が、それ以外の材料、例え
ば基板がガラスの場合には陽極酸化を行うための電流を
流す電極金属が残存しているためである。実際には陽極
酸化により、初期の平滑面に比べて表面の粗度は劣化す
るため、最後に表面を研磨し、その上にさらにダイアモ
ンドライクカーボン等の保護膜をスパッタし、潤滑処理
を施して磁気ディスクとする。
【００３１】表面をアルマイト化し、そのポアを拡大し
て金属磁性体を埋め込んで媒体とすることは既に多くの
研究・開発がなされ、公知である。最初にスタンパを押
し当てない状態で陽極酸化を行った場合でもこのポアは
形成されるが、その生成位置はランダムに生じる最初の
酸化開始位置に支配されるから、ポアの表面での位置間
隔は当然ランダムとなることもまた公知である。その結
果、本発明に依らずにアルマイト化を行った場合には独
立磁性体微粒子状の磁性体セルを持つ媒体が形成できる
が、ポアの位置関係がランダムであることから、個々の
磁性体セルそのものを記憶単位とすることは不可能であ
った。
て金属磁性体を埋め込んで媒体とすることは既に多くの
研究・開発がなされ、公知である。最初にスタンパを押
し当てない状態で陽極酸化を行った場合でもこのポアは
形成されるが、その生成位置はランダムに生じる最初の
酸化開始位置に支配されるから、ポアの表面での位置間
隔は当然ランダムとなることもまた公知である。その結
果、本発明に依らずにアルマイト化を行った場合には独
立磁性体微粒子状の磁性体セルを持つ媒体が形成できる
が、ポアの位置関係がランダムであることから、個々の
磁性体セルそのものを記憶単位とすることは不可能であ
った。
【００３２】このような媒体を作成するには、予め当該
形状の雄型となる形状を持つスタンパを作成し、基板に
押し当ててその雌型を転写作成すれば良いことは光ディ
スク媒体の基板製造等で広く知られている。しかし、従
来のレジストへの光露光／現像、ＮｉＰメッキによるマ
スタ／スタンパ製作のプロセスでは本発明の目的とする
個々のセル寸法が１００ｎｍ以下となるような加工が困
難である。
形状の雄型となる形状を持つスタンパを作成し、基板に
押し当ててその雌型を転写作成すれば良いことは光ディ
スク媒体の基板製造等で広く知られている。しかし、従
来のレジストへの光露光／現像、ＮｉＰメッキによるマ
スタ／スタンパ製作のプロセスでは本発明の目的とする
個々のセル寸法が１００ｎｍ以下となるような加工が困
難である。
【００３３】そこで、本発明では図５（ａ）に示すよう
に、予めスタンパ材４１として窒化シリコン（Ｓｉ
Ｎ）、アモルファスカーボン等の硬脆材料を用い、その
上にレジスト４２を塗布し、該レジスト４２を電子ビー
ム（ＥＢ）露光によりパターンを形成した後（図５
（ｂ））、ＳｉＯ2等のマスク材４３を成膜する（図５
（ｃ））。
に、予めスタンパ材４１として窒化シリコン（Ｓｉ
Ｎ）、アモルファスカーボン等の硬脆材料を用い、その
上にレジスト４２を塗布し、該レジスト４２を電子ビー
ム（ＥＢ）露光によりパターンを形成した後（図５
（ｂ））、ＳｉＯ2等のマスク材４３を成膜する（図５
（ｃ））。
【００３４】レジスト４２を溶解することにより所定の
パターンのマスク４４がスタンパ材４１の上に残存する
（図５（ｄ））から、リアクティブエッチング（ＲＩ
Ｅ）等によりスタンパ材４２をエッチングし（図５
（ｅ））、最後にマスク材４３を溶解することによって
硬脆材料でできた非常に微細なパターンのスタンパ４５
を作成する（図５（ｆ））ことができる。
パターンのマスク４４がスタンパ材４１の上に残存する
（図５（ｄ））から、リアクティブエッチング（ＲＩ
Ｅ）等によりスタンパ材４２をエッチングし（図５
（ｅ））、最後にマスク材４３を溶解することによって
硬脆材料でできた非常に微細なパターンのスタンパ４５
を作成する（図５（ｆ））ことができる。
【００３５】本発明では電子ビーム露光の精度で正確に
円周上の一定の間隔で磁性体セルを形成することが可能
であり、任意の位置に磁性体セルを配置することもまた
容易である。そこで、本発明の技術的特徴を用いること
で、同心円上のトラック位置を判別するための磁性体セ
ルによるトラックサーボ信号を埋め込むこともまた可能
である。これには円周上の特定の領域に、データトラッ
クと半分だけトラックピッチがずれた状態で少なくとも
２種類のパターンを持つトラックを交互に配置すること
で実現することができる。
円周上の一定の間隔で磁性体セルを形成することが可能
であり、任意の位置に磁性体セルを配置することもまた
容易である。そこで、本発明の技術的特徴を用いること
で、同心円上のトラック位置を判別するための磁性体セ
ルによるトラックサーボ信号を埋め込むこともまた可能
である。これには円周上の特定の領域に、データトラッ
クと半分だけトラックピッチがずれた状態で少なくとも
２種類のパターンを持つトラックを交互に配置すること
で実現することができる。
【００３６】即ち、図６に示すように、各トラック（厳
密には各データトラックから半分だけトラックピッチが
ずれたトラック）の一部の領域（サーボ領域）にＡ，Ｂ
２種のサーボパターンを配置する。ここで、サーボパタ
ーンはパターンＡ，Ｂに共通に設けられるシンクビット
Ｓと、該シンクビットＳからの距離がパターンＡ，Ｂ毎
にそれぞれ異なった位置に設けられるタイミングビット
ＴA，ＴBとからなっており、それぞれ磁気ヘッドによっ
て読み取られ、図６の下半部に示すようなパルス信号を
発生する。
密には各データトラックから半分だけトラックピッチが
ずれたトラック）の一部の領域（サーボ領域）にＡ，Ｂ
２種のサーボパターンを配置する。ここで、サーボパタ
ーンはパターンＡ，Ｂに共通に設けられるシンクビット
Ｓと、該シンクビットＳからの距離がパターンＡ，Ｂ毎
にそれぞれ異なった位置に設けられるタイミングビット
ＴA，ＴBとからなっており、それぞれ磁気ヘッドによっ
て読み取られ、図６の下半部に示すようなパルス信号を
発生する。
【００３７】このパルス信号の振幅の大きさは磁気ヘッ
ドが検出する磁性体セルの幅に比例するから、磁気ヘッ
ドがデータトラックの中心を正しくトレースしている
と、タイミングビットＴA，ＴBによって異なるタイミン
グで発生する２つの信号の振幅は等しくなるが、磁気ヘ
ッドがトラックの中心位置からずれた場合、該ずれによ
って磁気ヘッドのトレースする幅が大きくなった方の信
号の振幅が大きくなり、他方の信号の振幅は小さくな
る。
ドが検出する磁性体セルの幅に比例するから、磁気ヘッ
ドがデータトラックの中心を正しくトレースしている
と、タイミングビットＴA，ＴBによって異なるタイミン
グで発生する２つの信号の振幅は等しくなるが、磁気ヘ
ッドがトラックの中心位置からずれた場合、該ずれによ
って磁気ヘッドのトレースする幅が大きくなった方の信
号の振幅が大きくなり、他方の信号の振幅は小さくな
る。
【００３８】シンクビットＳによる信号の発生を基準と
したタイミングビットＴA，ＴBによる信号が発生するタ
イミングは、シンクビットＳからタイミングビットＴ
A，ＴBまでの距離によって決まり、予め既知であるか
ら、これらのタイミングでタイミングビットＴA，ＴBに
よる信号の振幅を比較することで位置情報が得られる。
したタイミングビットＴA，ＴBによる信号が発生するタ
イミングは、シンクビットＳからタイミングビットＴ
A，ＴBまでの距離によって決まり、予め既知であるか
ら、これらのタイミングでタイミングビットＴA，ＴBに
よる信号の振幅を比較することで位置情報が得られる。
【００３９】具体的には、図２に示す装置において、記
録再生回路２４の再生信号からクロック発生器２８及び
プログラムコントローラ２９により、後述するデータビ
ットとサーボビット（前述したシンクビットＳ及びタイ
ミングビットＴA，ＴB）とのビット間隔の相違に基づい
てシンクビットＳを抽出し、これを基準としてタイミン
グビットＴA，ＴBそれぞれに対応したタイミングで誤差
増幅器２５中の２つのサンプルホールド回路（Ｓ＆Ｈ）
をゲートしてやることにより、再生信号中からタイミン
グビットＴA，ＴBによる信号を取り出し、図７（ｂ）に
示すような、これらの信号振幅（｜Ａ｜，｜Ｂ｜）の誤
差信号（｜Ａ｜−｜Ｂ｜出力）を取り出すことができ
る。
録再生回路２４の再生信号からクロック発生器２８及び
プログラムコントローラ２９により、後述するデータビ
ットとサーボビット（前述したシンクビットＳ及びタイ
ミングビットＴA，ＴB）とのビット間隔の相違に基づい
てシンクビットＳを抽出し、これを基準としてタイミン
グビットＴA，ＴBそれぞれに対応したタイミングで誤差
増幅器２５中の２つのサンプルホールド回路（Ｓ＆Ｈ）
をゲートしてやることにより、再生信号中からタイミン
グビットＴA，ＴBによる信号を取り出し、図７（ｂ）に
示すような、これらの信号振幅（｜Ａ｜，｜Ｂ｜）の誤
差信号（｜Ａ｜−｜Ｂ｜出力）を取り出すことができ
る。
【００４０】磁性体セル１３によるデータトラックに周
知の磁気ディスク装置の場合と同様にして書き込まれ、
記録再生回路２４で再生されるトラック番号の偶奇に応
じて、切替回路２６により誤差増幅器２５の出力の極性
を切り替えると、図７（ｃ）に示すような、常にトラッ
ク中心でゼロとなり、オフトラックと誤差信号が線形の
関係（トラックずれの方向と誤差信号の極性が各トラッ
クにおいて一致）になるようなオフトラック−誤差信号
出力が得られる。
知の磁気ディスク装置の場合と同様にして書き込まれ、
記録再生回路２４で再生されるトラック番号の偶奇に応
じて、切替回路２６により誤差増幅器２５の出力の極性
を切り替えると、図７（ｃ）に示すような、常にトラッ
ク中心でゼロとなり、オフトラックと誤差信号が線形の
関係（トラックずれの方向と誤差信号の極性が各トラッ
クにおいて一致）になるようなオフトラック−誤差信号
出力が得られる。
【００４１】この誤差が小さくなるように、サーボアン
プ２７によりヘッド位置を制御することによって常にヘ
ッドとトラックの位置を正確に合致させることができ
る。
プ２７によりヘッド位置を制御することによって常にヘ
ッドとトラックの位置を正確に合致させることができ
る。
【００４２】データビットとサーボビットとの区別は予
め決められた磁気ディスクの回転角をモニターすること
で分かるが、本発明では極めて正確にデータビットの間
隔Ｄが決定されていることから、サーボビットのパター
ン間隔Ｄ′をデータビットと異なる、例えばデータビッ
トの１．２倍〜１．８倍としておけば、データの記録再
生ではあり得ない間隔であることが分かるから、これに
よって区別することができる。
め決められた磁気ディスクの回転角をモニターすること
で分かるが、本発明では極めて正確にデータビットの間
隔Ｄが決定されていることから、サーボビットのパター
ン間隔Ｄ′をデータビットと異なる、例えばデータビッ
トの１．２倍〜１．８倍としておけば、データの記録再
生ではあり得ない間隔であることが分かるから、これに
よって区別することができる。
【００４３】これはなにも２倍以内であることが必要な
わけではなく、データの各種パターンによって発生する
パルス信号の全ての周期と違っていることを利用するも
ので、データビットの整数倍でない間隔とすることで識
別できる。記録密度を高くしたい場合にはサーボ信号を
発生するための磁性体セルを孤立的に扱えるようにする
ため、より広い間隔、例えばＤ’＝４．５Ｄと広く取る
ことで、サーボ領域が多く必要とはなるが、より精度の
高いサーボ信号が得られる。
わけではなく、データの各種パターンによって発生する
パルス信号の全ての周期と違っていることを利用するも
ので、データビットの整数倍でない間隔とすることで識
別できる。記録密度を高くしたい場合にはサーボ信号を
発生するための磁性体セルを孤立的に扱えるようにする
ため、より広い間隔、例えばＤ’＝４．５Ｄと広く取る
ことで、サーボ領域が多く必要とはなるが、より精度の
高いサーボ信号が得られる。
【００４４】従来の薄膜媒体では磁性膜の交換相互作用
のために磁化遷移部位が前後の情報の記録状態や符号間
干渉によって変化し、ストリームシフトを起こすことが
あるから、間隔が異なっていても一概にデータでないと
は言い切れなかったが、本発明では予め情報を記録する
場所を磁性体セルを作ることによって決定しているた
め、可能となる。
のために磁化遷移部位が前後の情報の記録状態や符号間
干渉によって変化し、ストリームシフトを起こすことが
あるから、間隔が異なっていても一概にデータでないと
は言い切れなかったが、本発明では予め情報を記録する
場所を磁性体セルを作ることによって決定しているた
め、可能となる。
【００４５】以上、基材としてアルミを用いる例で説明
したが、実際にはより固くて平滑なガラス基板等を用
い、その上に陽極酸化、電気メッキを行うためのＴｉ，
Ｃｒ，Ｔａ等の金属層を設けた後にアルミを成膜しても
良い。この時、アルミの厚さは圧痕が正確に転写でき、
かつ最終的に目的とする磁性体セルの長さを作り込める
程度であれば良く、例えば磁性体セルの直径を５０ｎ
ｍ、データビット間隔を１００ｎｍ程度とした時には数
１００ｎｍ程度の厚さがあれば良い。
したが、実際にはより固くて平滑なガラス基板等を用
い、その上に陽極酸化、電気メッキを行うためのＴｉ，
Ｃｒ，Ｔａ等の金属層を設けた後にアルミを成膜しても
良い。この時、アルミの厚さは圧痕が正確に転写でき、
かつ最終的に目的とする磁性体セルの長さを作り込める
程度であれば良く、例えば磁性体セルの直径を５０ｎ
ｍ、データビット間隔を１００ｎｍ程度とした時には数
１００ｎｍ程度の厚さがあれば良い。
【００４６】また、金属層にＮｉＦｅ等の軟磁性金属を
用いれば、垂直記録における磁気ヘッド感度を高くでき
ることも知られており、現実にはガラス板の上にＮｉＦ
ｅ層の磁気特性を制御するためのＴｉ、Ｃｒ等の金属層
の上にＮｉＦｅ等の軟磁性層を設け、さらにアルミ層を
蒸着もしくはスパッタ法で形成したものを基材として用
いてアルマイト化したものが最も特性が良い。
用いれば、垂直記録における磁気ヘッド感度を高くでき
ることも知られており、現実にはガラス板の上にＮｉＦ
ｅ層の磁気特性を制御するためのＴｉ、Ｃｒ等の金属層
の上にＮｉＦｅ等の軟磁性層を設け、さらにアルミ層を
蒸着もしくはスパッタ法で形成したものを基材として用
いてアルマイト化したものが最も特性が良い。
【００４７】本発明では前述したように陽極酸化を防止
する層を表面に設けて所定の場所以外のポア形成を抑制
しているが、陽極酸化防止層は所定の位置以外の場所で
の酸化開始を防止するためのもので、目的とするセル間
隔の変化が小さい場合にはなくとも良い。
する層を表面に設けて所定の場所以外のポア形成を抑制
しているが、陽極酸化防止層は所定の位置以外の場所で
の酸化開始を防止するためのもので、目的とするセル間
隔の変化が小さい場合にはなくとも良い。
【００４８】また、電気化学反応を抑制するだけである
から、レジスト以外にもスタンパ押圧により容易に破砕
されるＳｉ０2やＳｉ3Ｎ4、ダイヤモンドライクカーボ
ン等の絶縁性膜を１０ｎｍ程度用いても良く、ＡｕやＰ
ｔ等の電気化学電位が水素に比べて正で電解液に難溶性
の金属薄膜を用いても良い。
から、レジスト以外にもスタンパ押圧により容易に破砕
されるＳｉ０2やＳｉ3Ｎ4、ダイヤモンドライクカーボ
ン等の絶縁性膜を１０ｎｍ程度用いても良く、ＡｕやＰ
ｔ等の電気化学電位が水素に比べて正で電解液に難溶性
の金属薄膜を用いても良い。
【００４９】絶縁膜を陽極酸化防止層に用いた場合には
スタンパの押圧によりアルミの露出した部分でのみ電気
化学反応が生じることは論を待たない。この場合、真
実、通電面積が小さく、陽極酸化電流は小さくて済む反
面、極端な間隔変動のある場合には電界集中を生じるか
ら、電流密度調整を細かく行う必要がある。
スタンパの押圧によりアルミの露出した部分でのみ電気
化学反応が生じることは論を待たない。この場合、真
実、通電面積が小さく、陽極酸化電流は小さくて済む反
面、極端な間隔変動のある場合には電界集中を生じるか
ら、電流密度調整を細かく行う必要がある。
【００５０】金属薄膜を陽極酸化防止層に用いた場合、
電界分布は均一であり、金属薄膜表面でも電気分解が生
じるが、酸素のアルミへの表面からの進入がないから前
述したようなポアが構成されず、所定の位置にのみ磁性
体セルを形成することができる。
電界分布は均一であり、金属薄膜表面でも電気分解が生
じるが、酸素のアルミへの表面からの進入がないから前
述したようなポアが構成されず、所定の位置にのみ磁性
体セルを形成することができる。
【００５１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、極
めて高密度な情報記憶の可能な磁気ディスク装置を安価
にかつ簡単に実現することができる。これは、大容量の
情報記憶を必然とする情報化社会の飛躍的発展を支える
上で重要であるばかりでなく、新しい情報利用の展開が
可能となる。
めて高密度な情報記憶の可能な磁気ディスク装置を安価
にかつ簡単に実現することができる。これは、大容量の
情報記憶を必然とする情報化社会の飛躍的発展を支える
上で重要であるばかりでなく、新しい情報利用の展開が
可能となる。
【図１】本発明の磁気記録媒体の実施の形態の一例を示
す拡大モデル図
す拡大モデル図
【図２】本発明の磁気記録媒体に対する記録再生装置の
構成図
構成図
【図３】磁化形状と再生出力との関係を示す説明図
【図４】本発明の磁気記録媒体の製造工程図
【図５】本発明の磁気記録媒体の製造に用いるスタンパ
の製造工程図
の製造工程図
【図６】磁気記録媒体上の磁性体セルの配置及びこれに
基づく再生信号の一例の説明図
基づく再生信号の一例の説明図
【図７】データトラックに対するサーボパターンの配置
及びこれに基づく位置情報の一例の説明図
及びこれに基づく位置情報の一例の説明図
１０：磁気記録媒体、１１：基材、１２：アルマイト
層、１３：磁性体セル、２１：磁気ヘッド、２２：スピ
ンドル、２３：アクチュエータ、２４：記録再生回路、
２５：誤差増幅器、２６：切替回路、２７：サーボアン
プ、２８：クロック発生器、２９：マイクロプログラム
コントローラ、３１：アルミ、３２：陽極酸化防止層、
３３，４５：スタンパ、３４：圧痕、３５：ポア、４
１：スタンパ材、４２：レジスト、４３：マスク材、４
４：マスク。
層、１３：磁性体セル、２１：磁気ヘッド、２２：スピ
ンドル、２３：アクチュエータ、２４：記録再生回路、
２５：誤差増幅器、２６：切替回路、２７：サーボアン
プ、２８：クロック発生器、２９：マイクロプログラム
コントローラ、３１：アルミ、３２：陽極酸化防止層、
３３，４５：スタンパ、３４：圧痕、３５：ポア、４
１：スタンパ材、４２：レジスト、４３：マスク材、４
４：マスク。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 覚知 正美 東京都新宿区西新宿３丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 玉村 敏昭 東京都新宿区西新宿３丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 中尾 正史 東京都新宿区西新宿３丁目19番２号 日本 電信電話株式会社内 (72)発明者 越本 泰弘 東京都武蔵野市御殿山１丁目１番３号 エ ヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株 式会社内 (72)発明者 益田 秀樹 東京都八王子市別所２−13−２−510
Claims (10)
- 【請求項１】 記録再生のための複数のトラックが媒体
中心と同一中心の同心円状に配置されてなる磁気記録媒
体において、 各トラックの記録再生のための最小単位の記憶領域が、
媒体表面の非磁性体からなる層の所定の位置に配列され
た微小な孔に埋め込まれた孤立した磁性体セル群からな
ることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気記録媒体において、 各トラックは情報の記録を行うデータ領域とトラック位
置を検出するためのサーボ信号を配置したサーボ領域と
を有し、 前記データ領域の磁性体セル群は同心円上に等間隔で配
置され、 前記サーボ領域の磁性体セル群は前記データ領域の磁性
体セル群の同心円上からトラック幅の半ピッチずれた同
心円上に、前記データ領域の磁性体セルの配置間隔の整
数倍でなくかつ隣接するトラック毎に異なる２種類の間
隔で交互に配置されていることを特徴とする磁気記録媒
体。 - 【請求項３】 表面が薄い陽極酸化防止膜で覆われたア
ルミニウムの基材の表面に、所定の形状を得るための雄
型となる硬脆材料で構成されたスタンパを押し付け、前
記陽極酸化防止膜の所定の位置に圧痕による膜破断部分
を設ける工程と、 前記アルミニウムの基材を陽極酸化してアルマイトにす
ることで圧痕部分にポア（気孔）を形成する工程と、 前記ポアの径をエッチングにより拡大する工程と、 前記拡大したポア中に磁性金属材料を電気メッキにより
埋め込む工程とからなることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の磁気記録媒体の製造方法
において、 前記所定の形状を得るための雄型が、データ領域の圧痕
群は同心円上に等間隔で配置され、サーボ領域の圧痕群
は前記データ領域の圧痕群の同心円上からトラック幅の
半ピッチずれた同心円上に、前記データ領域の圧痕の配
置間隔の整数倍でなくかつ隣接するトラック毎に異なる
２種類の間隔で交互に配置されるように圧痕を形成する
ことが可能な雄型であることを特徴とする磁気記録媒体
の製造方法。 - 【請求項５】 請求項３または４記載の磁気記録媒体の
製造方法において、ガラス板の上にアルミニウム以外の
導電性の金属を付着した後、アルミニウムを０．１ミク
ロン以上付着してなる基材を用いることを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。 - 【請求項６】 請求項３または４記載の磁気記録媒体の
製造方法において、ガラス板の上にアルミニウム以外の
導電性の金属を付着した後、軟磁性の金属を付着し、そ
の後、アルミニウムを０．１ミクロン以上付着してなる
基材を用いることを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。 - 【請求項７】 請求項６記載の磁気記録媒体の製造方法
において、前記軟磁性の金属がＮｉＦｅであることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項８】 請求項５乃至７いずれか記載の磁気記録
媒体の製造方法において、前記アルミニウム以外の導電
性の金属がＴｉまたはＣｒまたはＴａであることを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項９】 請求項３乃至８いずれか記載の磁気記録
媒体の製造方法において、前記陽極酸化防止膜が絶縁膜
であることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項１０】 請求項３乃至８いずれか記載の磁気記
録媒体の製造方法において、前記陽極酸化防止膜が電解
液に対し難溶性の金属薄膜であることを特徴とする磁気
記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2317998A JPH11224422A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2317998A JPH11224422A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11224422A true JPH11224422A (ja) | 1999-08-17 |
Family
ID=12103426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2317998A Pending JPH11224422A (ja) | 1998-02-04 | 1998-02-04 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11224422A (ja) |
Cited By (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001009800A (ja) * | 1999-04-27 | 2001-01-16 | Canon Inc | ナノ構造体及びその製造方法 |
| US6611034B2 (en) | 2000-09-08 | 2003-08-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic device and solid-state magnetic memory |
| JP2004066447A (ja) * | 2002-06-07 | 2004-03-04 | Canon Inc | 構造体、機能性構造体及び磁気記録媒体の製造方法 |
| US6717777B2 (en) | 2000-09-08 | 2004-04-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic device with porous layer and method for manufacturing the same, and solid magnetic memory |
| US6737668B2 (en) | 2000-07-03 | 2004-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing structure with pores and structure with pores |
| WO2004070709A1 (en) * | 2003-02-07 | 2004-08-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Structure, optical device, magnetic device, magnetic recording medium and manufacturing method thereof |
| US6791797B2 (en) | 2002-03-08 | 2004-09-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Cylindrical magnetic recording medium and method for manufacturing the same |
| US6804081B2 (en) | 2001-05-11 | 2004-10-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Structure having pores and its manufacturing method |
| US6829159B2 (en) | 2000-08-31 | 2004-12-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Magnetic device |
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