JPH11214287A5 - - Google Patents
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- JPH11214287A5 JPH11214287A5 JP1998016200A JP1620098A JPH11214287A5 JP H11214287 A5 JPH11214287 A5 JP H11214287A5 JP 1998016200 A JP1998016200 A JP 1998016200A JP 1620098 A JP1620098 A JP 1620098A JP H11214287 A5 JPH11214287 A5 JP H11214287A5
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10016200A JPH11214287A (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | マーク検出方法、マーク検出装置、露光方法、露光装置、および、マーク検出プログラムを記録した記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10016200A JPH11214287A (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | マーク検出方法、マーク検出装置、露光方法、露光装置、および、マーク検出プログラムを記録した記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11214287A JPH11214287A (ja) | 1999-08-06 |
| JPH11214287A5 true JPH11214287A5 (enExample) | 2005-08-18 |
Family
ID=11909877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10016200A Withdrawn JPH11214287A (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | マーク検出方法、マーク検出装置、露光方法、露光装置、および、マーク検出プログラムを記録した記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11214287A (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4672833B2 (ja) * | 2000-06-22 | 2011-04-20 | 株式会社カネカ | 薄膜のレーザスクライブ用アライメントマークの認識方法及び装置 |
| JP2006234769A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Nikon Corp | 位置測定方法および位置測定装置 |
| US7415319B2 (en) * | 2006-04-04 | 2008-08-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| JP5550253B2 (ja) * | 2009-04-22 | 2014-07-16 | キヤノン株式会社 | マーク位置検出装置及びマーク位置検出方法、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法 |
| JP5538048B2 (ja) * | 2010-04-22 | 2014-07-02 | 日東電工株式会社 | アライメントマークの検出方法および配線回路基板の製造方法 |
| JP7278138B2 (ja) * | 2019-04-18 | 2023-05-19 | キヤノン株式会社 | 基板処理装置、物品製造方法、基板処理方法、基板処理システム、管理装置、およびプログラム |
| JP7521988B2 (ja) * | 2020-09-23 | 2024-07-24 | 株式会社Screenホールディングス | 基板位置検出方法、描画方法、基板位置検出装置および描画装置 |
-
1998
- 1998-01-28 JP JP10016200A patent/JPH11214287A/ja not_active Withdrawn
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