JPH10106937A5 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH10106937A5 JPH10106937A5 JP1996275410A JP27541096A JPH10106937A5 JP H10106937 A5 JPH10106937 A5 JP H10106937A5 JP 1996275410 A JP1996275410 A JP 1996275410A JP 27541096 A JP27541096 A JP 27541096A JP H10106937 A5 JPH10106937 A5 JP H10106937A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- position detection
- dimensional image
- measurement direction
- mark
- detection mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8275410A JPH10106937A (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 位置検出方法及びその装置並びに投影露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8275410A JPH10106937A (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 位置検出方法及びその装置並びに投影露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10106937A JPH10106937A (ja) | 1998-04-24 |
| JPH10106937A5 true JPH10106937A5 (enExample) | 2004-09-24 |
Family
ID=17555119
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8275410A Pending JPH10106937A (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 位置検出方法及びその装置並びに投影露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10106937A (enExample) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU2001232256A1 (en) * | 2000-03-02 | 2001-09-12 | Nikon Corporation | Position measuring apparatus and aligner |
| JP5681065B2 (ja) * | 2011-08-26 | 2015-03-04 | 株式会社大日本科研 | 基板の位置決め方法 |
| JP6945601B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-10-06 | キヤノン株式会社 | パターン形成装置、決定方法、プログラム、情報処理装置及び物品の製造方法 |
| JP7096009B2 (ja) * | 2018-02-21 | 2022-07-05 | 株式会社ミツトヨ | 位置検出エンコーダ及び位置検出エンコーダの製造方法 |
| JP7530763B2 (ja) * | 2020-08-06 | 2024-08-08 | Towa株式会社 | 切断装置、及び、切断品の製造方法 |
-
1996
- 1996-09-26 JP JP8275410A patent/JPH10106937A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000021738A5 (enExample) | ||
| JPH0610694B2 (ja) | 自動焦点合せ方法及び装置 | |
| JPH03253917A (ja) | 間隔設定方法及び間隔設定装置 | |
| JPH11162832A5 (enExample) | ||
| KR970012018A (ko) | 면위치검출방법 및 이것을 이용한 주사노광방법 | |
| KR910019166A (ko) | 초점면 검출 방법 및 장치 | |
| KR950001869A (ko) | 노광장치와 이것을 이용한 디바이스제조방법 | |
| JPH1145846A5 (enExample) | ||
| JP2004022797A (ja) | マーク位置検出装置およびマーク位置検出方法 | |
| JPH10172890A5 (enExample) | ||
| JPH10106937A5 (enExample) | ||
| JPH10223525A5 (enExample) | ||
| US5786897A (en) | Method and device for measuring pattern coordinates of a pattern formed on a pattern surface of a substrate | |
| KR20040094780A (ko) | 위치검출방법, 표면형상 추정방법, 그리고, 노광장치 및이것을 이용한 디바이스의 제조방법 | |
| JP4046884B2 (ja) | 位置計測方法および該位置計測法を用いた半導体露光装置 | |
| JP3451607B2 (ja) | 位置合わせ方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | |
| JP2822229B2 (ja) | 位置合わせ方法及び装置 | |
| JP2005093697A5 (enExample) | ||
| JPH11214287A5 (enExample) | ||
| JPH10163100A5 (enExample) | ||
| JP3491206B2 (ja) | 位置合わせ方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | |
| JP3201473B2 (ja) | 最適フォーカス位置測定方法およびフォーカス位置測定用マスク | |
| JPH0992591A (ja) | 位置合わせ方法 | |
| JPH10326739A (ja) | 位置合わせ方法及び露光方法 | |
| JP2022117091A5 (ja) | 計測装置、リソグラフィ装置、物品の製造方法及び計測方法 |