JP5681065B2 - 基板の位置決め方法 - Google Patents
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Description
2 基板
3 マスク
4 光源
5 集光ミラー
6 ダイクロイックミラー
7 フライアイレンズ
11 支持部材
12 開口部
13 支持部材
14 移動機構
15 カメラ
16 開口部
100 露光装置
101 第1アライメントマーク
102 第2アライメントマーク
Claims (5)
- X方向を向く直線部分またはY方向を向く直線部分を有する第1アライメントマークが形成された第1基板と、X方向を向く直線部分またはY方向を向く直線部分を有する第2アライメントマークが形成された第2基板とを、前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークの位置を利用して位置決めするための基板の位置決め方法であって、
前記第1アライメントマークの位置情報を取得する第1アライメントマーク位置情報取得工程と、
前記第1アライメントマークを含む検出エリアのうち、前記第1アライメントマークが占める領域を除く領域に対して、X方向およびY方向に微分および射影加算を行うことにより、前記第2アライメントマークを検出して第2アライメントマークの位置情報を取得する第2アライメントマーク位置情報取得工程と、
前記第1アライメントマーク位置情報取得工程で取得した第1アライメントマークの位置情報と、前記第2アライメントマーク位置情報取得工程で取得した第2アライメントマークの位置情報とに基づいて、前記第1基板と前記第2基板とを相対的に移動させる位置決め工程と、
を備えたことを特徴とする基板の位置決め方法。 - 請求項1に記載の基板の位置決め方法において、
前記第1アライメントマーク位置情報取得工程においては、前記第1アライメントマークを含む検出エリアに対して、X方向およびY方向に微分および射影加算を行うことにより、前記第1アライメントマークを検出して第1アライメントマークの位置情報を取得する基板の位置決め方法。 - 請求項2に記載の基板の位置決め方法において、
前記第1アライメントマークは、X方向を向く一対の線分とY方向を向く一対の線分とから構成される矩形状アライメントマークであり、前記第2アライメントマークは、X方向を向く線分とY方向を向く線分とから構成される十字状アライメントマークである基板の位置決め方法。 - 請求項3に記載の基板の位置決め方法において、
前記第2アライメントマーク位置情報取得工程においては、前記第1アライメントマークが占める領域を除く領域を複数の領域に分割し、分割後の各領域に対して、X方向およびY方向に微分および射影加算を行う基板の位置決め方法。 - X方向を向く一対の線分とY方向を向く一対の線分とから構成される矩形状の第1アライメントマークが形成された第1基板と、X方向を向く線分とY方向を向く線分とから構成される十字状の第2アライメントマークが形成された第2基板とを、前記第1アライメントマークおよび前記第2アライメントマークをX方向およびY方向に微分および射影加算してそれらの位置を特定することにより、位置決めするための基板の位置決め方法であって、
前記第1アライメントマークを含む検出エリアをX方向およびY方向に微分および射影加算することにより、前記第1アライメントマークの中心の位置を特定するとともに、前記第1アライメントマークの内側の領域に前記第2アライメントマークの中心が配置されているか否かを判定する第1判定工程と、
前記第1判定工程において、前記第1アライメントマークの内側の領域に前記第2アライメントマークの中心が配置されていると判定された場合には、前記第1判定工程における微分および射影加算の結果を利用して前記第2アライメントマークの中心の位置を特定することにより、その中心の位置と第1アライメントマークの中心の位置との位置ずれ量を演算する第1演算工程と、この第1演算工程において演算された前記第2アライメントマークの中心の位置と前記第1アライメントマークの中心の位置とが一致するように前記第1基板と前記第2基板とを相対的に移動させる第1位置決め工程とを実行し、
前記第1判定工程において、前記第1アライメントマークの内側の領域に前記第2アライメントマークの中心が配置されていないと判定された場合には、前記第1アライメントマークの各辺の外側に4個のアライメントマーク検出領域を設定する検出領域設定工程と、前記検出領域設定工程において設定された4個のアライメントマーク検出領域のうち、前記第1アライメントマークにおけるX方向を向く一対の線分と隣接するアライメントマーク検出領域に対してはX方向の微分とY方向の射影加算を実行し、前記第1アライメントマークにおけるY方向を向く一対の線分と隣接するアライメントマーク検出領域に対してはY方向の微分とX方向の射影加算を実行することにより、これら4個のアライメントマーク検出領域のいずれの領域に、前記第2アライメントマークが配置されているかを判定する第2判定工程とを実行し、
前記第2判定工程において、前記検出領域設定工程において設定された4個のアライメントマーク検出領域のうち、前記第1アライメントマークにおけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域と前記第1アライメントマークにおけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域との少なくともそれぞれ1箇所ずつの領域に前記第2アライメントマークが配置されていると判定されたときには、前記第2判定工程における微分および射影加算の結果を利用して、前記第2アライメントマークの中心の位置を特定することにより、その中心の位置と前記第1アライメントマークの中心の位置との位置ずれ量を演算する第2演算工程と、この第2演算工程において演算された前記第2アライメントマークの中心の位置と前記第1アライメントマークの中心の位置とが一致するように前記第1基板と前記第2基板とを相対的に移動させる第2位置決め工程とを実行し、
前記第2判定工程において、前記検出領域設定工程において設定された4個のアライメントマーク検出領域のうち、前記第1アライメントマークにおけるX方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域と前記第1アライメントマークにおけるY方向を向く線分と隣接するアライメントマーク検出領域のいずれか1箇所の領域に前記第2アライメントマークが配置されていると判定されたときには、当該第2アライメントマークが配置されていると判定されたアライメントマーク検出領域と前記第1アライメントマークの内側の領域とに対して微分と射影加算を実行することにより前記第2アライメントマークの端縁の位置を特定し、この端縁の位置と前記第2アライメントマークの形状情報とを比較することにより、前記第2アライメントマークの中心の位置と第1アライメントマークの中心の位置との位置ずれ量を演算する第3演算工程と、この第3演算工程において演算された前記第2アライメントマークの中心の位置と前記第1アライメントマークの中心の位置とが一致するように前記第1基板と前記第2基板とを相対的に移動させる第3位置決め工程とを実行する、
ことを特徴とする基板の位置決め方法。
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