JP5715011B2 - 直線検出方法および基板の位置決め方法 - Google Patents
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Description
但し、k=1、2、3・・・[n−m+1]である。
ここで、各選択領域のY方向の数が少ない場合には各エッジ直線の方程式を求めるときの精度が低下する。これに対して、各選択領域の数を増加させた場合には、各エッジ直線を求めるときの精度は向上するが、これに伴って各選択領域のY方向のサイズが小さくなるために、エッジが不明瞭な場合は傷やゴミなどの影響を受けやすい。このため、この発明においては、検出エリアAをn分割した後m個の領域を選択して、各選択領域をY方向の端縁が互いに重なる状態となるように設定することから、エッジが不明瞭な場合でも検出が可能となり、各エッジ直線を求めるときの精度を向上させながら傷やゴミなどの影響を小さくすることが可能となる。
2 基板
3 マスク
4 光源
5 集光ミラー
6 ダイクロイックミラー
7 フライアイレンズ
13 支持部材
14 移動機構
15 カメラ
100 露光装置
A 検出エリア
L1 直線
L2 直線
L3 直線
Claims (4)
- 直線を含む二次元画像から直線を抽出してその位置と傾きを検出する直線検出方法において、
前記直線の両側のエッジを抽出するエッジ抽出工程と、前記直線を検出すべき検出エリアをY方向に複数個の選択領域に分割する領域分割工程との両方の工程を実行した後、前記各選択領域における前記エッジのX方向の重心位置を検出する重心検出工程と、
前記重心検出工程において検出した各選択領域における前記各エッジのX方向の重心位置を、前記直線の片方の側ごとにX方向の位置の差が一定以下のものをグルーピングすることによりラベリングするラベリング工程と、
前記ラベリング工程においてラベリングされた前記各エッジのX方向の重心位置と、前記各選択領域のY方向の重心位置とにより決定される前記各エッジの重心座標位置に対して、最小二乗法を適用することにより、これらの重心座標位置を通る直線の方程式を求める方程式特定工程と、
を備えたことを特徴とする直線検出方法。 - 直線を含む二次元画像から直線を抽出してその位置と傾きを検出する直線検出方法において、
前記直線のエッジを抽出するエッジ抽出工程と、前記直線を検出すべき検出エリアをY方向に複数個の選択領域に分割する領域分割工程との両方の工程を実行した後、前記各選択領域における前記エッジのX方向の重心位置を検出する重心検出工程と、
前記重心検出工程において検出した各選択領域における前記各エッジのX方向の重心位置を、X方向の位置に基づいてラベリングするラベリング工程と、
前記ラベリング工程においてラベリングされた前記各エッジのX方向の重心位置と、前記各選択領域のY方向の重心位置とにより決定される前記各エッジの重心座標位置に対して、最小二乗法を適用することにより、これらの重心座標位置を通る直線の方程式を求める方程式特定工程と、
を備え、
前記領域分割工程においては、複数個の選択領域のY方向の端縁が互いに重なる状態となるように、前記検出エリアをY方向に複数個の選択領域に分割することを特徴とする直線検出方法。 - 請求項1または請求項2に記載の直線検出方法において、
前記検出エリアとして複数の直線を含む検出エリアを設定するとともに、
前記ラベリング工程においては、前記重心検出工程で検出した前記各重心位置を、X方向の位置に基づいて、前記各直線に対応する重心位置毎にラベリングする直線検出方法。 - 直線部が形成された基板を位置決めする基板の位置決め方法において、
前記直線部の両側のエッジを抽出するエッジ抽出工程と、前記直線部を検出すべき検出エリアをY方向に複数個の選択領域に分割する領域分割工程との両方の工程を実行した後、前記領域分割工程で分割された各選択領域について、前記エッジ抽出工程で検出した前記直線部のX方向のエッジの位置をY方向に射影加算することにより、これらの選択領域における前記直線部のエッジのX方向の重心位置を検出する重心位置検出工程と、
前記重心検出工程において検出した各選択領域における前記各エッジのX方向の重心位置を、前記直線の片方の側ごとにX方向の位置の差が一定以下のものをグルーピングすることにより各直線部に対応する重心位置毎にラベリングするラベリング工程と、
前記ラベリング工程においてラベリングされた前記直線部のエッジのX方向の重心位置と、前記各選択領域のY方向の重心位置とにより決定される前記各エッジの重心座標位置に対して最小二乗法を適用することにより、これらの重心座標位置を通る前記直線部の方程式を求める方程式特定工程と、
前記方程式特定工程で特定された方程式に基づいて直線部の傾きを検出する傾き検出工程と、
前記傾き検出工程で検出された傾きに基づいて基板をその主面に平行な平面内で回転させることにより基板を位置決めする位置決め工程と、
を備えたことを特徴とする基板の位置決め方法。
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JP2011193491A JP5715011B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 直線検出方法および基板の位置決め方法 |
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JP2011193491A JP5715011B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 直線検出方法および基板の位置決め方法 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2013055266A JP2013055266A (ja) | 2013-03-21 |
JP5715011B2 true JP5715011B2 (ja) | 2015-05-07 |
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ID=48131979
Family Applications (1)
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JP2011193491A Active JP5715011B2 (ja) | 2011-09-06 | 2011-09-06 | 直線検出方法および基板の位置決め方法 |
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2011
- 2011-09-06 JP JP2011193491A patent/JP5715011B2/ja active Active
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