JPH1064981A - ウェハのアライメント方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はウェハのアライメント方法に関し、
チップのサイズの如何に関係なく適用されるようにし、
且つ、アライメントを迅速に行えるようにしたことを課
題とする。 【解決手段】 一台のカメラを使用し、ステージ上のウ
ェハのスクライブラインの第１の交差点を含む第１の画
像をえて、この第１の画像より基準線に対するスクライ
ブラインの角度ずれを求めて、求めた角度ずれ分ステー
ジを回動させてウェハの角度ずれを補正する粗い角度合
わせ工程４０を行い、該粗い角度合わせ工程によって角
度ずれを補正した後に、上記カメラによりウェハのスク
ライブラインの別の第２の交差点を含む第２の画像をえ
て、この第２の画像中の第２の交差点と上記最初に撮像
した画像中の第１の交差点との位置関係に基づいて、上
記粗い角度合わせ工程を行った後にも取りきれずに残っ
ている基準線に対するスクライブラインの角度ずれを求
めて、求めた角度ずれ分ステージを更に回動させてウェ
ハの角度ずれを補正する微細な角度合わせ工程４１を行
うよう構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はウェハのアライメン
ト方法及び装置に関する。チップ（集積回路）の製造
は、一般には、ウェハに多数個のチップ（集積回路）を
所定の間隔をあけてマトリクス状に作り込み、次いで、
作り込んだチップを検査し、この後に、ウェハをスクラ
イブラインに沿って切断してチップを切り出して行われ
る。作り込んだチップを検査するに際しては、ステージ
上に固定されたウェハをアライメントし、この後に検査
をしている。ウェハをアライメントするのは、各チップ
の検査が自動的に且つ円滑に行われるようにするためで
ある。

【０００２】ウェハのアライメントは、チップのサイズ
に影響されずに行えることが望ましい。また、ウェハの
大径化に伴い、また、チップ内配線パターンの高密度化
に伴い、各チップの自動検査の準備としてのウェハのア
ライメントの精度の向上を図ることが要求されてきてい
る。

【０００３】また、ウェハのアライメントは短時間で完
了するものであることが望ましい。

【０００４】

【従来の技術】従来のウェハのアライメント方法は、例
えば、特開昭６３−１０４３４９号公報に記載され、図
１３に示すように、ステージ１の上方に２台のカメラ
２、３を所定の配置で設定し、各カメラ２、３が撮像し
たウェハのスクライブラインの画像に基づいて、角度ず
れを演算により求め、ステージが回動して、ウェハがア
ライメントされる構成である。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のウェハのアライ
メント方法では、ステージ上に載置されたウェハの角度
ずれによっては、一方のカメラがスクライブラインを撮
像出来ない場合が起きてしまう。また、種類によってチ
ップの大きさがまちまちであるため、場合によっては、
一方のカメラがスクライブラインを撮像出来ない場合が
起きてしまう。

【０００６】また、カメラを２台設置するため、設備費
が嵩んでしまう。そこで、本発明は上記課題を解決した
ウェハのアライメント方法及び装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、一台
のカメラを使用し、ステージ上のウェハのスクライブラ
インの第１の交差点を含む第１の画像をえて、この第１
の画像より基準線に対するスクライブラインの角度ずれ
を求めて、求めた角度ずれ分ステージを回動させてウェ
ハの角度ずれを補正する粗い角度合わせ工程を行い、該
粗い角度合わせ工程によって角度ずれを補正した後に、
上記カメラによりウェハのスクライブラインの別の第２
の交差点を含む第２の画像をえて、この第２の画像中の
第２の交差点と上記最初に撮像した画像中の第１の交差
点との位置関係に基づいて、上記粗い角度合わせ工程を
行った後にも取りきれずに残っている基準線に対するス
クライブラインの角度ずれを求めて、求めた角度ずれ分
ステージを更に回動させてウェハの角度ずれを補正する
微細な角度合わせ工程を行う構成としたものである。

【０００８】請求項２の発明は、一台のカメラを使用
し、ステージ上のウェハのスクライブラインの第１の交
差点を含む第１の画像をえて、この第１の画像より基準
線に対するスクライブラインの角度ずれを求める工程
と、求めた角度ずれ分ステージを回動させてウェハの角
度ずれを補正する角度ずれ補正工程と、ステージ又はカ
メラを移動させてスクライブラインの中心線の第１の交
点を上記カメラが撮像している画面の中心に一致させて
角度ずれ補正後の第１の画像をうる工程と、上記ステー
ジ又はカメラをを上記ウェハに作り込まれているチップ
の一辺の寸法の整数倍の距離移動させて、ウェハのスク
ライブラインの別の第２の交差点を含む第２の画像をえ
る工程と、撮像した第２の画像よりスクライブラインの
中心線の第２の交点を求める工程と、上記角度ずれ補正
後の第１の画像より得たスクライブラインの中心線の第
１交点の座標と、ステージを移動させた後に撮像した画
像より得たスクライブラインの中心線の第２の交点の座
標との位置関係に基づいて、上記角度ずれ補正工程を行
った後にも取りきれずに残っている基準線に対するスク
ライブラインの角度ずれを求める工程と、求めた角度ず
れ分ステージを回動させてウェハの角度ずれを補正する
残留角度ずれ補正工程とよりなる構成としたものであ
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】図１は、ウェハのアライメント装
置２０の概略構成を示す。アライメントされるウェハ１
０は、サイズがａ×ｂの多数個のチップ（集積回路）１
１がオリエンテーションフラット１０ａを基準に所定の
間隔をあけてマトリクス状に作り込まれた構成である。
１２はＸ方向に延在するスクライブライン、１３はＹ方
向に延在するスクライブラインであり、格子状に形成し
てある。１４−１は、スクライブライン１２，１３の第
１の交差点である。１４−２はスクライブラインの第２
の交差点である。

【００１０】ウェハのアライメント装置２０は、直交す
るＸ軸２１及びＹ軸２２とを基準に設けてある。ウェハ
のアライメント装置２０は、ウェハ１０が載置される４
次元ステージ２３と、ステージ２３を駆動するステージ
駆動装置２４と、スクライブライン１２，１３の交点１
４を撮像すべくステージ２１の上方に配された一台のＣ
ＣＤカメラ２５と、ＣＣＤカメラ２５を移動させるＣＣ
Ｄカメラ移動装置２６と、ＣＣＤカメラ２５が撮像した
画像を処理する画像を処理部２７と、制御部２８とより
なる。

【００１１】ステージ２３は、４次元、即ち、符号２３
Ｘで示すＸ方向、符号２３Ｙで示すＹ方向、符号２３Ｚ
で示すＺ方向、符号２３θで示すθ方向に移動可能であ
る。Ｘ移動方向２３ＸとＹ移動方向２３Ｙとは直交して
いる。ステージ２３は、Ｘ移動方向２３Ｘが上記のＸ軸
２１と一致し、Ｙ移動方向２３Ｙが上記のＹ軸２２と一
致するように配置してある。

【００１２】ＣＣＤカメラ移動装置２６は、ＣＣＤカメ
ラ２５を符号２６Ｘで示すＸ方向に及び符号２６Ｙで示
すＹ方向に移動させる。ＣＣＤカメラ移動装置２６は、
Ｘ移動方向２６Ｘが上記のＸ軸２１と一致し、Ｙ移動方
向２６Ｙが上記のＹ軸２２と一致するように配置してあ
る。よって、ステージ２３とＣＣＤカメラ移動装置２６
とは、ステージ２３のＸ移動方向２３ＸとＣＣＤカメラ
移動装置２６のＸ移動方向２６Ｘとが一致し、ステージ
２３のＹ移動方向２３ＹとＣＣＤカメラ移動装置２６の
Ｙ移動方向２６Ｙとが一致するように位置合わせしてあ
る。

【００１３】なお、ステージ駆動装置２４は、後述する
ように、微細な角度合わせ工程４２において、ステージ
２３をこの上に載置されたウェハ１０のチップ１１のＸ
方向辺の寸法ａの整数倍の距離移動させる。ステージ２
３の移動距離は、上記の整数倍を具体的に幾つに定める
かによって、また、載置されたウェハ１０のチップ１１
のサイズによって異なる。

【００１４】画像処理部２７は、撮像したスクライブラ
インを白くすべく撮像した画像を二値化処理する。制御
部２８は、ウェハのアライメント装置２０全体の動作を
制御する。また、一般的には、上記構成のウェハのアラ
イメント装置２０は独立した装置として構成されている
のではなく、例えば、チップ検査装置の一部として構成
してあり、チップ検査装置に組み込まれている。

【００１５】次に、上記構成のウェハのアライメント装
置２０のウェハをアライメントする動作について、図２
乃至図１２を併せ参照して説明する。ウェハのアライメ
ントは、スクライブラインを利用して行っており、概
略、粗い角度合わせ工程４１と、粗い角度合わせ工程４
１に続く微細な角度合わせ工程４２とよりなる。

【００１６】最初から微細な角度合わせ工程４２を行う
おうとすると、ロードされたウェハ１０の位置ずれの程
度によっては、ＣＣＤカメラ２５がスクライブラインの
第２の交差点１４−２をとらえきれず、微細な角度合わ
せが不可能となることが起きてしまう。よって、最初
に、粗い角度合わせ工程４１を行うのは、微細な角度合
わせ工程４２においてＣＣＤカメラ２５がスクライブラ
インの第２の交差点１４−２を必ず撮像できるように
し、微細な角度合わせ工程４２が支障なく行われるよう
にするためである。

【００１７】粗い角度合わせ工程４１は、以下の工程５
０〜５６よりなる。 工程５０ 図３に示すように、ウェハ１０がロードされてステージ
２３上に吸着されて載置される。ウェハ１０は、オリエ
ンテーションフラット１０ａを基準に所定の向き（最終
的にアライメントされるべき角度に近い角度）で載置さ
れる。

【００１８】工程５１ ステージ駆動装置２４によってステージ２３が適宜移動
され、ＣＣＤカメラ２５が、図３に示すように、スクラ
イブラインの多数の交点のうち任意の一の交差点である
第１の交差点１４−１が画面の略中央に位置する第１の
画像７０を得る。以下、画像については、ウェハ１０上
の各部分を表す符号に添字Ａ又はＢを付した符号で表
す。添字Ｂは二値化処理した後の画像を表す。

【００１９】ＣＣＤカメラ２５は高い倍率のレンズを備
えており、画面７０は、拡大されたスクライブライン１
２Ａ，１３Ａ、交差点１４−１Ａ、及び、チップ１０Ａ
を有する。スクライブライン１２Ａ，１３Ａは、アライ
メントされるべき角度に対して若干時計方向にずれてい
る。このずれ状態は一例である。

【００２０】ここで、ステージ２３を動かす代わりに、
ＣＣＤカメラ２５を動かしてもよい。また、画面７０内
に交差点１４−１Ａを含めるようにしているのは、粗い
角度合わせ工程後に第１の交点を新たに見つけ出して特
定する作業を不要とするためである。

【００２１】工程５２ 画像処理部２７が、画像７０を二値化処理し、図４に示
すように、スクライブライン１２Ａ，１３Ａを、白いス
クライブライン１２Ｂ，１３Ｂとした画像７１を得る。
スクライブラインの認識を確実とするためである。

【００２２】工程５３ 図５に示すように、画面７２の上下側を、符号７３、７
４で示すように、Ｘ方向に走査し、白が連続する部分７
５、７６の計数値ｘｍを得る。この計数値ｘｍが、次の
判定式を満たすか否かを確認する。

【００２３】ｘｗ−α≦ｘｍ≦ｘｗ＋α ここで、ｘｗは、基準となるスクライブラインの上記計
数値に対応する数 αは、許容範囲を示す数である。

【００２４】上記の計数値ｘｍが上記の判定式を満たさ
ない場合には、その箇所はスクライブライン１３とは認
識されない。計数値ｘｍが上記の判定式を満たした場合
には、その箇所をスクライブライン１３Ｂと認識する。
なお、符号７３、７４で示す走査でスクライブライン１
３Ｂが認識されなかった場合には、符号７３ａ、７４ａ
で示すように、走査線７３，７４よりも少し画面７２の
中心寄り側の位置を走査させる。

【００２５】また、画面７２の左右側を、符号７７、７
８で示すように、Ｙ方向に走査し、白が連続する部分７
９、８０の計数値ｙｍを得る。この計数値ｙｍが、次の
判定式を満たすか否かを確認する。 ｙｗ−α≦ｘｍ≦ｙｗ＋α ここで、ｙｗは、基準となるスクライブラインの上記計
数値に対応する数 αは、許容範囲を示す数である。

【００２６】上記の計数値ｙｍが上記の判定式を満たさ
ない場合には、その箇所はスクライブライン１２とは認
識されない。計数値ｙｍが上記の判定式を満たした場合
には、その箇所をスクライブライン１２Ｂと認識する。
なお、符号７７、７８で示す走査でスクライブライン１
２Ｂが認識されなかった場合には、符号７７ａ、７８ａ
で示すように、走査線７７，７８よりも少し画面７２の
中心寄り側の位置を走査させる。

【００２７】工程５４ スクライブライン１３Ｂ及びスクライブライン１２Ｂが
認識されると、図６に示すように、画面７２の左側の走
査線７７が走査したとき、黒から白に変わる点であるス
クライブライン１２Ｂの始点Ｐ１の座標（ｘ１，ｙ１）
と、この始点Ｐ１から白が連続するドットの数よりスク
ライブライン１２Ｂの終点Ｐ２の座標（ｘ２，ｙ２）を
求める。同じく、画面７２の右側の走査線７８が走査し
たときの、スクライブライン１２Ｂの始点Ｐ３の座標
（ｘ３，ｙ３）と終点Ｐ４の座標（ｘ４，ｙ４）を求め
る。

【００２８】この４つの点Ｐ１〜Ｐ４の座標を演算し
て、スクライブライン１２Ｂの中心線８１を求める。同
じく、画面７２の上側の走査線７３より、スクライブラ
イン１３Ｂの始点Ｐ５の座標（ｘ５，ｙ５）と終点Ｐ６
の座標（ｘ６，ｙ６）を求め、画面７２の上側の走査線
７４より、スクライブライン１３Ｂの始点Ｐ７の座標
（ｘ７，ｙ７）と終点Ｐ８の座標（ｘ８，ｙ８）を求め
る。

【００２９】この４つの点Ｐ５〜Ｐ８の座標を演算し
て、スクライブライン１３Ｂの中心線８２を求める。 工程５５ 図７に示すように、先に求めたスクライブライン１２Ｂ
の中心線８１の両端の点Ｐ９の座標（ｘ９，ｙ９）と終
点Ｐ１０の座標（ｘ１０，ｙ１０）より、Ｙ方向のずれ
量（ドット数）ｄを求める。ｗは、画面７２のＸ方向の
ドット数であり、一般には５１２個である。

【００３０】ｄ、ｗを、次式 θ＝ｔａｎ^-1（ｄ／ｗ） に代入して、演算して、基準線２１ａに対する角度ずれ
θを求める。基準線２１ａは前記のＸ軸２１と平行な線
である。

【００３１】工程５６ 制御部２８が求めた角度ずれθに応じた信号を出力し、
ステージ駆動装置２４が駆動され、ステージ２３が反時
計方向に角度θ回動される。これにより、図８に示すよ
うに、スクライブライン１２Ｂの中心線８１がＸ軸方向
に延在した状態となり、第１の画像７０が表れている一
つの画面に基づいた粗い角度合わせが完了し、例えば、
０．１度程度の精度でアライメントされた状態となる。

【００３２】なお、ステージ２３が反時計方向に角度θ
回動されると、実際には、スクライブライン１２Ｂ、１
３Ｂは画面の外に出てしまう。説明の便宜上、図８に示
すように、スクライブライン１２Ｂ，１３Ｂが画面内に
位置するように図示してある。

【００３３】更に精度良くアライメントするべく、続い
て微細な角度合わせ工程４２が行われる。微細な角度合
わせ工程４２は、以下の工程６０〜７０よりなる。 工程６０ ステージ２３を反時計方向に角度θ回動させたことによ
る中心線８１と中心線８２との交点のＸ方向移動距離と
Ｙ方向移動距離とを演算し、演算して得た情報によりス
テージ駆動装置２４を適宜駆動し、ステージ２３をＸ方
向移動距離及びＹ方向移動距離に相当する距離、逆方向
に移動させて、ステージ２３を元の位置へ復帰させる。
これにより、画像は、図９に示すように、スクライブラ
イン１２Ｂとスクライブライン１３Ｂとの第１の交差点
１４−１Ｂが、画面内に現れたものとなる。

【００３４】工程６１ 図９の画面において、第１の交差点１４−１Ｂを認識す
る。 工程６２ 図９の画面において、スクライブライン１２Ｂの中心線
８１とスクライブライン１３Ｂの中心線８２との第１の
交点Ｐ１１（第１の交差点１４−１Ｂの中心）の座標
（ｘ１１，ｙ１１）を求める。

【００３５】工程６３ ステージ駆動装置２４によりステージ２３がＸ方向及び
Ｙ方向に移動されて、図１０に示すように、第１の交点
Ｐ１１が画面７２の中心Ｏと一致した状態となる。図１
０は角度ずれ補正後の第１の画像８５を示す。

【００３６】工程６４ ステージ駆動装置２４によりステージ２３を、ウェハ１
０の一つのチップ１１のＸ方向辺の寸法ａだけＸ２方向
に移動させる。これにより、図１１（Ｂ）に示す画像が
得られる。１３Ａ−１は図３中のスクライブライン１３
ＡのＸ１方向上隣のスクライブラインである。１４−２
Ａは第２の交差点であり、スクライブライン１２Ａとス
クライブライン１３Ａ−１との交差点である。ここで、
先に粗い角度合わせを行っているため、ステージ２３を
上記のように比較的長い距離移動させた後であっても、
ＣＣＤカメラ２５はスクライブライン１２とスクライブ
ライン１３−１との第２の交差点１４−２を撮影でき、
画面７２内に第２の交差点１４−２Ａが現れている。

【００３７】工程６５ 前記の工程５２と同様に、画像処理部２７が、画像を二
値化処理し、図１２に示すように、スクライブライン１
２Ａ，１３Ａ−１を、白いスクライブライン１２Ｂ，１
３Ｂ−１とした第２の画像９０を得る。

【００３８】工程６６ 前記の工程５３と同様に、スクライブライン１３Ｂ及び
スクライブライン１２Ｂを認識する。 工程６７ 前記の工程５４と同様に、スクライブライン１２Ｂの中
心線８１ａを求め、スクライブライン１３Ｂ−１の中心
線８７を求める。ここで、中心線８１ａが中心線８１に
対してずれているのは、粗い角度合わせが完了しても僅
かの角度誤差が残っているからである。

【００３９】工程６８ 前記の工程６２と同様に、スクライブライン１２Ｂの中
心線８１ａとスクライブライン１３Ｂ−１の中心線８７
との第２の交点Ｐ１２（第２の交差点１４−２Ｂの中
心）の座標（ｘ１２，ｙ１２）を求める。

【００４０】工程６９ 前記の工程５５と同様に、上記の第２の交点Ｐ１２の座
標（ｘ１２，ｙ１２）と先に求めた第１の交点Ｐ１１の
座標（ｘ１１，ｙ１１）より、Ｙ方向のずれ量（ドット
数）ｄ１を求める。ｗ１は、ステージ２３の移動量ａで
ある。

【００４１】ｄ１、ｗ１を、次式 θ１＝ｔａｎ^-1（ｄ１／ｗ１） に代入して、演算して基準線２１ｂに対する角度ずれθ
１を求める。 工程７０ 制御部２８が求めた角度ずれθ１に応じた信号を出力
し、ステージ駆動装置２４が駆動され、ステージ２３が
反時計方向に微少な角度θ１回動される。

【００４２】これにより、微細な角度合わせが完了し、
例えば、０．０１度オーダの精度でアライメントされた
状態となる。ここで、前記の工程６４において、ステー
ジ駆動装置２４によりステージ２３を、Ｘ２方向に、ウ
ェハ１０の一つのチップ１１のＸ方向辺の寸法ａの複数
倍、即ち、複数チップ分移動させてもよい。このように
すると、上記の式中、ｗ１の数値及びｄ１の数値が大
きくなって、角度θ１がより精度良く求まる。

【００４３】また、前記の工程６４において、ステージ
駆動装置２４によりステージ２３を、Ｙ方向に、ウェハ
１０の一つのチップ１１のＹ方向辺の寸法ｂの複数倍移
動させてもよい。なお、ステージ２３をチップ１１の一
辺の整数倍移動させるのは、ＣＣＤカメラが第２の交点
Ｐ１２を撮影できるようにするためであり、ステージ２
３の移動距離は厳密にチップ１１の一辺の整数倍に限る
ものではなく、ＣＣＤカメラがの撮影する範囲内に上記
第２の交点Ｐ１２が含まれる距離であればよい。

【００４４】また、上記の工程７０を完了した後に、再
度、工程６３から工程７０を行い、このとき、工程６４
ではステージ２３を上記の工程６４で移動させた距離よ
り更に長い距離移動させることによって、更に微細な角
度合わせを行うことが出来る。

【００４５】なお、制御部２８及び画像処理部２７はア
ライメントアルゴリズムを搭載したマイクロコンピュー
タ３０で構成してあり、上記のアライメント動作は自動
的に行われる。

【００４６】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、一台のカメラを使用し、ステージ上のウェハの
スクライブラインの第１の交差点を含む第１の画像をえ
て、この第１の画像より基準線に対するスクライブライ
ンの角度ずれを求めて、求めた角度ずれ分ステージを回
動させてウェハの角度ずれを補正する粗い角度合わせ工
程を行い、該粗い角度合わせ工程によって角度ずれを補
正した後に、上記カメラによりウェハのスクライブライ
ンの別の第２の交差点を含む第２の画像をえて、この第
２の画像中の第２の交差点と上記最初に撮像した画像中
の第１の交差点との位置関係に基づいて、上記粗い角度
合わせ工程を行った後にも取りきれずに残っている基準
線に対するスクライブラインの角度ずれを求めて、求め
た角度ずれ分ステージを更に回動させてウェハの角度ず
れを補正する微細な角度合わせ工程を行う構成としたも
のであるため、一台のカメラを使用しただけの設備によ
って、ウェハの角度ずれを補正出来る。また、カメラと
ウェハとの相対位置が変化してカメラがスクライブライ
ンの別の交差点を撮影するようにしてあるため、チップ
の種類による制限を受けることなく、ウェハの角度ずれ
を補正出来る。即ち、チップのサイズの如何に関係なく
適用できる。

【００４７】また、最初に、最初にえた第１の画像に基
づいて粗い角度合わせ工程を行い、次いで第１の画像と
第２の画像とに基づいて微細な角度合わせ工程を行うた
め、即ち、角度合わせを段階的に行うため、ウェハをス
テージ上に搭載したときの角度ずれが大きい場合であっ
ても、ウェハの角度ずれを確実に補正出来る。

【００４８】また、最初の粗い角度合わせ工程において
スクライブラインの交差点を含む画像を得ているため、
この画像中の交差点を利用することによって、異なる２
つの交差点を利用した微細な角度合わせ工程において、
新たに２つの交差点を特定する必要は無く、新たに１つ
の交差点を特定すれば足り、よって、ウェハの角度ずれ
の補正を迅速に出来る。

【００４９】請求項２の発明によれば、一台のカメラを
使用し、ステージ上のウェハのスクライブラインの第１
の交差点を含む第１の画像をえて、この第１の画像より
基準線に対するスクライブラインの角度ずれを求める工
程と、求めた角度ずれ分ステージを回動させてウェハの
角度ずれを補正する角度ずれ補正工程と、ステージ又は
カメラを移動させてスクライブラインの中心線の第１の
交点を上記カメラが撮像している画面の中心に一致させ
て角度ずれ補正後の第１の画像をうる工程と、上記ステ
ージ又はカメラをを上記ウェハに作り込まれているチッ
プの一辺の寸法の整数倍の距離移動させて、ウェハのス
クライブラインの別の第２の交差点を含む第２の画像を
える工程と、撮像した第２の画像よりスクライブライン
の中心線の第２の交点を求める工程と、上記角度ずれ補
正後の第１の画像より得たスクライブラインの中心線の
第１交点の座標と、ステージを移動させた後に撮像した
画像より得たスクライブラインの中心線の第２の交点の
座標との位置関係に基づいて、上記角度ずれ補正工程を
行った後にも取りきれずに残っている基準線に対するス
クライブラインの角度ずれを求める工程と、求めた角度
ずれ分ステージを回動させてウェハの角度ずれを補正す
る残留角度ずれ補正工程とよりなる構成としたものであ
るため、一台のカメラを使用しただけの設備によって、
ウェハの角度ずれを補正出来る。また、カメラとウェハ
との相対位置が変化してカメラがスクライブラインの別
の第２の交差点を撮影するようにしてあるため、チップ
の種類による制限を受けることなく、ウェハの角度ずれ
を補正出来る。即ち、チップのサイズの如何に関係なく
適用できる。

【００５０】また、最初に、最初にえた第１の画像に基
づいて角度ずれ補正工程を行い、次いで第１の画像と第
２の画像とに基づいて残留角度ずれ補正工程を行うた
め、即ち、角度合わせを段階的に行うため、ウェハをス
テージ上に搭載したときの角度ずれが大きい場合であっ
ても、ウェハの角度ずれを確実に補正出来る。

【００５１】また、最初の角度ずれ補正工程においてス
クライブラインの第１の交差点を含む第１の画像を得て
いるため、この第１の画像中の第１の交差点を利用する
ことによって、異なる２つの交差点を利用した残留角度
ずれ補正工程において、新たに２つの交差点を特定する
必要は無く、新たに１つの交差点を特定すれば足り、よ
って、ウェハの角度ずれの補正を迅速に出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例になるウェハのアライメント
方法を実施するための設備を示す図である。

【図２】本発明の一実施例になるウェハのアライメント
方法の手順を示す図である。

【図３】ＣＣＤカメラによる最初の撮像を説明する図で
ある。

【図４】二値化処理された画像を示す図である。

【図５】スクライブラインを認識する動作を説明する図
である。

【図６】スクライブラインの中心線を求める動作を説明
する図である。

【図７】ウェハの角度ずれθを求める動作を説明する図
である。

【図８】粗い角度合わせが完了した状態を示す図であ
る。

【図９】工程６０完了後の画像を示す図である。

【図１０】工程６３完了後の画像を示す図である。

【図１１】工程６４完了後の画面を示す図である。

【図１２】工程６６、６７、６８、６９を説明する図で
ある。

【図１３】従来例を示す図である。

【符号の説明】

１０ ウェハ １０ａ オリエンテーションフラット １１ チップ（集積回路） １２ Ｘ方向に延在するスクライブライン １３、１３−１ Ｙ方向に延在するスクライブライン １４−１，１４−２ スクライブラインの交差点 １４−１Ａ，１４−１Ｂ 第１の交差点 １４−２Ａ，１４−２Ｂ 第２の交差点 ２０ ウェハのアライメント装置 ２１ Ｘ軸 ２１ 基準線 ２２ Ｙ軸 ２３ ４次元ステージ ２４ ステージ駆動装置 ２５ 一台のＣＣＤカメラ ２６ ＣＣＤカメラ移動装置 ２７ 画像処理部 ２８ 制御部 ３０ マイクロコンピュータ ４１ 粗い角度合わせ工程 ４２ 微細な角度合わせ工程 ７２ 第１の画像 ８１、８１ａ，８２、８７ 中心線 ８５ 角度補正後の第１の画像 ９０ 第２の画像 Ｐ１１ 第１の交点 Ｐ１２ 第２の交点

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一台のカメラを使用し、ステージ上のウ
   ェハのスクライブラインの第１の交差点を含む第１の画
   像をえて、この第１の画像より基準線に対するスクライ
   ブラインの角度ずれを求めて、求めた角度ずれ分ステー
   ジを回動させてウェハの角度ずれを補正する粗い角度合
   わせ工程を行い、 該粗い角度合わせ工程によって角度ずれを補正した後
   に、上記カメラによりウェハのスクライブラインの別の
   第２の交差点を含む第２の画像をえて、この第２の画像
   中の第２の交差点と上記最初に撮像した画像中の第１の
   交差点との位置関係に基づいて、上記粗い角度合わせ工
   程を行った後にも取りきれずに残っている基準線に対す
   るスクライブラインの角度ずれを求めて、求めた角度ず
   れ分ステージを更に回動させてウェハの角度ずれを補正
   する微細な角度合わせ工程を行う構成としたことを特徴
   とするウェハのアライメント方法。
2. 【請求項２】 一台のカメラを使用し、ステージ上のウ
   ェハのスクライブラインの第１の交差点を含む第１の画
   像をえて、この第１の画像より基準線に対するスクライ
   ブラインの角度ずれを求める工程と、 求めた角度ずれ分ステージを回動させてウェハの角度ず
   れを補正する角度ずれ補正工程と、 ステージ又はカメラを移動させてスクライブラインの中
   心線の第１の交点を上記カメラが撮像している画面の中
   心に一致させて角度ずれ補正後の第１の画像をうる工程
   と、 上記ステージ又はカメラをを上記ウェハに作り込まれて
   いるチップの一辺の寸法の整数倍の距離移動させて、ウ
   ェハのスクライブラインの別の第２の交差点を含む第２
   の画像をえる工程と、 撮像した第２の画像よりスクライブラインの中心線の第
   ２の交点を求める工程と、 上記角度ずれ補正後の第１の画像より得たスクライブラ
   インの中心線の第１交点の座標と、ステージを移動させ
   た後に撮像した画像より得たスクライブラインの中心線
   の第２の交点の座標との位置関係に基づいて、上記角度
   ずれ補正工程を行った後にも取りきれずに残っている基
   準線に対するスクライブラインの角度ずれを求める工程
   と、 求めた角度ずれ分ステージを回動させてウェハの角度ず
   れを補正する残留角度ずれ補正工程とよりなる構成とし
   たことを特徴とするウェハのアライメント方法。