JPH11207241A - レジスト塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 レジスト塗布体９にレジストを塗布する際、
レジスト塗布体９から振り切られた余剰レジストの回収
量を増大可能なレジスト塗布装置を提供する。 【解決手段】 回転軸１の一端に結合され、板状のレジ
スト塗布体９を載せる保持台２と、保持台２の下側に配
置され、回転軸１を軸心として回転し、周縁に直立壁３
Ｈを備えた回転カップ３と、保持台２の上側に配置さ
れ、レジスト注入口５を備えるとともに周縁に垂下壁４
Ｈを備え、回転カップ３とともにレジスト塗布体９を内
包するカップ蓋体４と、回転カップ３の直立壁３Ｈの下
部に設けられ、余剰レジストを回収する複数個のレジス
ト回収口６とを備えるレジスト塗布装置であり、回転カ
ップ３の周縁形状を多角形にし、複数個のレジスト回収
口６を多角形の各頂点部分に設け、複数個のレジスト回
収口６にそれぞれ連通するレジスト回収容器７を配置し
ている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レジスト塗布装置
に係わり、特に、レジストを塗布する基板にレジストを
スピン塗布する際に、余剰のレジストを有効に回収する
ことを可能にしたレジスト塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、レジストが塗布される板状のレジ
スト塗布体に、レジストをスピン塗布する場合には、回
転させたレジスト塗布体上にレジストを流し込み、回転
時の遠心力によってレジスト塗布体の塗布面にレジスト
を均一に塗布するレジスト塗布装置が用いられる。

【０００３】ここで、図２（ａ）、（ｂ）は、既知のこ
の種のレジスト塗布装置の構成の一例を示す構成図であ
って、（ａ）はレジスト塗布装置の要部を示す断面図、
（ｂ）はレジスト塗布装置のカップ蓋体を外したときの
上面図であり、（ａ）の断面図は（ｂ）の上面図におけ
るＡ−Ａ’線部分の断面を示すものである。

【０００４】図２（ａ）、（ｂ）に示されるように、レ
ジスト塗布装置は、モーター（図示なし）等の回転駆動
体に連結された回転軸２１と、回転軸２１の先端に取り
付けられ、上部にレジストが塗布される板状のレジスト
塗布体２２を載せる円板状の保持台２３と、保持台２３
の下側に配置され、中心部が回転軸２１に結合されると
ともに周縁に直立壁２４Ｈを備え、回転軸２１を軸心と
して回転する水平面が円形状の回転カップ２４と、保持
台２３の上側に固定配置され、周縁に垂下壁２５Ｈを備
えた水平面が円形状のカップ蓋体２５と、カップ蓋体２
５の中心部に設けられたレジスト注入口２６と、回転カ
ップ２４の直立壁２４Ｈの下部に、等間隔に設けられた
複数個、例えば図２（ｂ）に示されているように６個の
レジスト回収口２７と、複数個のレジスト回収口２７の
下部に設けられ、各レジスト回収口２７に連通するドレ
イン２８とを備えている。

【０００５】前記構成による既知のレジスト塗布装置
は、次のように動作する。

【０００６】板状のレジスト塗布体２２の一面（レジス
ト塗布面）にレジストを塗布する場合、まず、レジスト
塗布装置からカップ蓋体２５を取り外し、板状のレジス
ト塗布体２２をレジスト塗布面を上にして保持台２３上
に載せる。ここで、カップ蓋体２５を被せ、板状のレジ
スト塗布体２２を、回転カップ２４とカップ蓋体２５と
によって内包する。次に、回転駆動体を駆動して回転軸
２１を回転させ、その回転によって保持台２３に載せた
レジスト塗布体２２と回転カップ２４を回転させる。次
いで、カップ蓋体２５のレジスト注入口２６からレジス
ト液、例えばホトレジスト液を塗布に適した量だけ注入
し、回転しているレジスト塗布体２２上に散布する。こ
のとき、レジスト塗布体２２上に散布されたレジスト液
は、レジスト塗布体２２のレジスト塗布面に一様に拡散
し、レジスト塗布面にレジストが塗布される。レジスト
の塗布が終了した時点で、回転駆動体を駆動を停止し、
レジスト塗布装置からカップ蓋体２５を取り外して、レ
ジスト塗布体２２を取り出す。

【０００７】このとき、他にレジストを塗布する板状の
レジスト塗布体２２があった場合、レジスト塗布装置を
前述の手順と同じ手順で操作すれば、同様の過程を経
て、レジスト塗布体２２にレジストが塗布される。

【０００８】また、レジスト塗布体２２にレジストの塗
布を行なっている際に、回転するレジスト塗布体２２か
ら遠心力によって振り切られた余剰レジストは、同じく
回転している回転カップ２４の直立壁２４Ｈに衝突し、
直立壁２４Ｈの直下部に集まるようになる。そして、直
立壁２４Ｈの直下部に集まったレジストは、複数個のレ
ジスト回収口２７の中のいずれかのレジスト回収口２７
から適宜下部方向に流れ出し、複数個のレジスト回収口
２７に対して共通のドレイン２８を通して回収される。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】前記既知のレジスト塗
布装置は、レジスト塗布体２２にレジストを塗布する際
に、レジスト塗布体２２から振り切られた余剰レジスト
を、回転カップ２４の直立壁２４Ｈ−レジスト回収口２
７−ドレイン２８という経路によって回収する手段を備
えているが、レジスト塗布体２２から振り切られたレジ
ストが直立壁２４Ｈに付着する際に、直立壁２４Ｈにほ
ぼ均等に付着するため、付着したレジストが長い間直立
壁２４Ｈに残留し、その間にレジストの溶剤成分が揮発
してしまったり、直立壁２４Ｈの直下部にレジストが落
下したとしても、直立壁２４Ｈの直下部に沿ってほぼ均
等に集まるため、レジスト回収口２７から流れ出るレジ
ストは集まったレジストの中の極く一部であったりし、
結局のところ、ドレイン２８を通して回収されるレジス
トの量は余剰レジストの中の極く一部であって、レジス
トの回収量が少ないという問題を有している。

【００１０】本発明は、このような問題点を解決するも
ので、その目的は、レジスト塗布体にレジストを塗布す
る際、レジスト塗布体から振り切られた余剰レジストの
回収量を増大させることが可能なレジスト塗布装置を提
供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明によるレジスト塗布装置は、レジスト塗布体
を載せる保持台の下側に配置される回転カップの周縁形
状を多角形にし、複数個のレジスト回収口を多角形の各
頂点部分に設け、複数個のレジスト回収口にそれぞれ連
通するレジスト回収容器を配置した手段を具備してい
る。

【００１２】前記手段によれば、回転するレジスト塗布
体から振り切られた余剰レジストが回転カップの直立壁
に衝突し、直立壁の直下部に落下する際に、レジストが
多角形の各頂点部分に主として集まるようになる。この
とき、多角形の各頂点部分に複数個のレジスト回収口を
設けているので、レジスト回収口から流れ出すレジスト
の量が増え、余剰レジストの回収量を増大させることが
できる。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態において、レ
ジスト塗布装置は、回転軸の一端に結合され、板状のレ
ジスト塗布体を載せる保持台と、保持台の下側に配置さ
れ、回転軸を軸心として回転し、周縁に直立壁を備えた
回転カップと、保持台の上側に配置され、レジスト注入
口を備えるとともに周縁に垂下壁を備え、回転カップと
ともにレジスト塗布体を内包するカップ蓋体と、回転カ
ップの直立壁の下部に設けられ、余剰レジストを回収す
る複数個のレジスト回収口とを備えるものであって、回
転カップの周縁形状を多角形にし、複数個のレジスト回
収口を多角形の各頂点部分に設け、複数個のレジスト回
収口にそれぞれ連通するレジスト回収容器を配置してい
るものである。

【００１４】本発明の実施の形態の具体例において、レ
ジスト塗布装置は、各レジスト回収容器がそれぞれ対応
したドレインに選択的に結合される開閉可能な弁を備え
るものである。

【００１５】本発明の実施の形態の好適例において、レ
ジスト塗布装置は、回転カップの周辺形状が正６角形の
ものである。

【００１６】これらの本発明の実施の形態によれば、レ
ジスト塗布体にレジストを塗布する際に、回転するレジ
スト塗布体から振り切られた余剰レジストが回転カップ
の直立壁に衝突し、直立壁の直下部に落下する過程にお
いて、遠心力が大きくなるレジストが多角形の各頂点部
分に主として集まるようになる。そして、余剰レジスト
が多く集まっている多角形の各頂点部分に、それぞれレ
ジスト回収口を設けているので、レジスト回収口から流
れ出してレジスト回収容器内に収納される余剰レジスト
量が増えることになり、余剰レジストの回収量を増大さ
せることが可能になる。また、回収された余剰レジスト
は、レジスト回収容器内に収納されるので、レジストの
溶剤成分が揮発することがない。

【００１７】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。

【００１８】図１（ａ）、（ｂ）は、本発明によるレジ
スト塗布装置の一実施例の構成を示す構成図であって、
（ａ）は装置の要部構成部分を示す断面図、（ｂ）はカ
ップ蓋体を外したときの上面図であり、（ａ）の断面図
は（ｂ）の上面図におけるＡ−Ａ’線部分の断面を示す
ものである。

【００１９】図１（ａ）、（ｂ）において、１は回転
軸、２は保持台、３は回転カップ、３Ｈは直立壁、４は
カップ蓋体、４Ｈは垂下壁、５はレジスト注入口、６は
レジスト回収口、７はレジスト回収容器、７Ｂは弁、８
はドレイン、９はレジスト塗布体、１０は筐体である。

【００２０】そして、回転軸１は、一端に図示されてい
ないモーター等の回転駆動部が結合され、他端部に円板
状の保持台２が取り付けられる。回転カップ３は、水平
面が正６角形状のもので、保持台２の下側に配置され、
中心部が回転軸１に結合され、周縁に水平面が正６角形
状の直立壁３Ｈが設けられる。カップ蓋体４は、水平面
が円形状のもので、保持台２の上側に固定配置され、周
縁に水平面が円形状の垂下壁４Ｈが設けられる。レジス
ト注入口５は、カップ蓋体４の中心部に、軸心が回転軸
１の軸心と同じ位置になるように設けられる。６個のレ
ジスト回収口６は、回転カップ３の正６角形の各頂点部
分の直立壁３Ｈの直下部にそれぞれ設けられる。６個の
レジスト回収容器７は、対応するレジスト回収口６の下
部に、対応するレジスト回収口６に連通状態で設けら
れ、下部に開閉可能な弁７Ｂが設けられる。ドレイン８
は、筐体１０の外周部分の６個のレジスト回収容器７の
下部に設けられる。レジスト塗布体９は、レジスト塗布
面を有する板状のもので、円板状の保持台２の上部に載
せられ、回転カップ３及びカップ蓋体４によって内包さ
れる。

【００２１】前記構成による本実施例のレジスト塗布装
置は、次のように動作する。

【００２２】板状のレジスト塗布体９のレジスト塗布面
にレジストを塗布する場合には、始めに、レジスト塗布
装置からカップ蓋体４を取り外し、板状のレジスト塗布
体９を、レジスト塗布面を上にして保持台２上に載せ
る。次に、レジスト塗布装置にカップ蓋体４を被せ、板
状のレジスト塗布体９の上下及び周辺を、直立壁３Ｈを
有する回転カップ３と垂下壁４Ｈを有するカップ蓋体４
とによって内包する。次いで、回転駆動体を駆動して回
転軸１を回転させ、回転軸１の回転により保持台２に載
せたレジスト塗布体９を回転させ、同時に回転カップ３
も回転させる。続いて、カップ蓋体４に設けたレジスト
注入口５からレジスト液（例えばホトレジスト液）をレ
ジスト塗布に適した量だけ注入し、回転しているレジス
ト塗布体９上に散布する。このとき、レジスト塗布体９
上に散布されたレジスト液は、レジスト塗布体９の回転
によってレジスト塗布面に一様に拡散し、レジスト塗布
面にレジストの塗布が行なわれる。レジスト塗布体９へ
のレジストの塗布が終了した時点に、回転駆動体の駆動
を停止し、レジスト塗布体９や回転カップ３の回転を停
止させた後、レジスト塗布装置からカップ蓋体４を取り
外し、レジストが塗布されたレジスト塗布体９を取り出
す。

【００２３】ここで、他にレジストを塗布する板状のレ
ジスト塗布体９があった場合には、レジスト塗布装置を
前述の手順と同じ手順で操作することにより、同様の動
作過程を経て、レジスト塗布体９にレジストが塗布され
る。

【００２４】また、本実施例においても、レジスト塗布
体９にレジストの塗布が行われているときに、回転する
レジスト塗布体９から遠心力によって振り切られた余剰
レジストは、同じく回転している回転カップ３の直立壁
３Ｈに衝突し、直立壁３Ｈの直下部に集まるようになる
が、水平面が正６角形状の直立壁３Ｈを用いているの
で、余剰レジストは、遠心力が大きく働く正６角形状の
各頂点付近の直立壁３Ｈの直下部に多く集まるようにな
る。そして、正６角形状の各頂点付近の直立壁３Ｈの直
下部に集まった多くの余剰レジストは、同じく正６角形
状の各頂点部分に配置された６個のレジスト回収口６か
ら適宜下部方向に流れ出し、６個のレジスト回収口６の
下部にそれぞれ設けられている６個のレジスト回収容器
７内に収納される。

【００２５】６個のレジスト回収容器７は、通常、下部
に設けられている弁７Ｂが閉じており、レジスト注入口
５を通して供給された余剰レジストが収納されるが、余
剰レジストの回収時に、弁７Ｂを開くと、レジスト回収
容器７内に収納されていた余剰レジストがドレイン８に
流れ、余剰レジストを回収することができるものであ
る。

【００２６】このように、本実施例のレジスト塗布装置
によれば、回転カップ３の直立壁３Ｈを水平面が正６角
形状になるように構成し、その正６角形の各頂点部分の
直立壁３Ｈの直下部にそれぞれレジスト回収口６を配置
しているので、回転するレジスト塗布体９から振り切ら
れた余剰レジストが回転カップ３の直立壁３Ｈに衝突
し、直立壁３Ｈの直下部に落下する際に、各レジスト回
収口６の近くの余剰レジストの集量が大きくなり、その
結果、各レジスト回収口６から流れ出てレジスト回収容
器７内に収納される余剰レジスト量を増やすことがで
き、余剰レジストの回収量を増大させることができる。

【００２７】この場合、各レジスト回収口６から流れ出
た余剰レジストは、それぞれレジスト回収容器７内に収
納されるので、回収した余剰レジストの溶剤成分が揮発
するのを避けることができる。

【００２８】なお、本実施例においては、回転カップ３
の直立壁３Ｈの水平面の形状が正６角形である例を挙げ
て説明したが、本発明による直立壁３Ｈの水平面の形状
は正６角形である場合に限られるものでなく、他の形
状、例えば、正５角形や正８角形等の正多角形であって
もよく、各頂点の配置箇所が必ずしも規則的でない５角
形、６角形、８角形等の多角形であってもよい。

【００２９】また、本実施例においては、塗布されるレ
ジストがホトレジストである例を挙げて説明したが、本
発明によるレジスタはホトレジストである場合に限られ
るものでなく、他の種類のレジストであってもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、レジス
ト塗布体にレジストを塗布する際に、回転するレジスト
塗布体から振り切られた余剰レジストが回転カップの直
立壁に衝突し、直立壁の直下部に落下する際に、余剰レ
ジストが多く集まる多角形の各頂点部分にそれぞれレジ
スト回収口を設けているので、レジスト回収口から流れ
出してレジスト回収容器内に収納される余剰レジスト量
が増えることになり、余剰レジストの回収量を増大させ
ることができるという効果がある。

【００３１】また、本発明によれば、回収した余剰レジ
ストをレジスト回収容器内に収納させるようにしたの
で、回収した余剰レジストにおける溶剤成分が揮発する
のを避けられるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレジスト塗布装置の一実施例の構
成を示す構成図である。

【図２】既知のレジスト塗布装置の構成の一例を示す構
成図である。

【符号の説明】

１ 回転軸 ２ 保持台 ３ 回転カップ ３Ｈ 直立壁 ４ カップ蓋体 ４Ｈ 垂下壁 ５ レジスト注入口 ６ レジスト回収口 ７ レジスト回収容器 ７Ｂ 弁 ８ ドレイン ９ レジスト塗布体 １０ 筐体

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転軸の一端に結合され、板状のレジス
   ト塗布体を載せる保持台と、前記保持台の下側に配置さ
   れ、前記回転軸を軸心として回転し、周縁に直立壁を備
   えた回転カップと、前記保持台の上側に配置され、レジ
   スト注入口を備えるとともに周縁に垂下壁を備え、前記
   回転カップとともに前記レジスト塗布体を内包するカッ
   プ蓋体と、前記回転カップの直立壁の下部に設けられ、
   余剰レジストを回収する複数個のレジスト回収口とを備
   えるレジスト塗布装置において、前記回転カップの周縁
   形状を多角形にし、前記複数個のレジスト回収口を前記
   多角形の各頂点部分に設け、前記複数個のレジスト回収
   口にそれぞれ連通するレジスト回収容器を配置している
   ことを特徴とするレジスト塗布装置。
2. 【請求項２】 前記各レジスト回収容器は、下部に開閉
   可能な弁を備えていることを特徴とする請求項１に記載
   のレジスト塗布装置。
3. 【請求項３】 前記回転カップの周辺形状は、正６角形
   であることを特徴とする請求項１または２に記載のレジ
   スト塗布装置。